JP2000208848A - 反射型波長選択素子の曲げ機構の固定装置 - Google Patents
反射型波長選択素子の曲げ機構の固定装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】レーザ装置に振動や衝撃を与えても、反射型波
長選択素子の波長選択特性を安定させることができるよ
うにする。 【解決手段】曲げ機構２が固定手段８によって固定され
る。これにより曲げ機構２によって入射光Ｌの波面の曲
率に応じて曲げられた反射型波長選択素子１の形状を維
持することができる。
長選択素子の波長選択特性を安定させることができるよ
うにする。 【解決手段】曲げ機構２が固定手段８によって固定され
る。これにより曲げ機構２によって入射光Ｌの波面の曲
率に応じて曲げられた反射型波長選択素子１の形状を維
持することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、光共振器の一方
を構成する反射型波長選択素子を曲げることによって該
反射型波長選択素子から出射されるレーザ光の波面を補
正する反射型波長選択素子用曲げ機構の固定装置に関す
る。
を構成する反射型波長選択素子を曲げることによって該
反射型波長選択素子から出射されるレーザ光の波面を補
正する反射型波長選択素子用曲げ機構の固定装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置製造用のステッパの光源とし
てエキシマレーザが利用されている。
てエキシマレーザが利用されている。
【０００３】図６はエキシマレーザに使用される光共振
器の全体構成図である。
器の全体構成図である。
【０００４】この図６では、光共振器１３のレーザチャ
ンバ１４は紙面に垂直な方向に陽極および陰極が対向し
て配設された放電電極１５を有し、レーザチャンバ１４
内に充填されたハロゲンガス、希ガス、バッファガスな
どからなるレーザガスを放電電極１５間の放電によって
励起させてレーザ発振を行う。
ンバ１４は紙面に垂直な方向に陽極および陰極が対向し
て配設された放電電極１５を有し、レーザチャンバ１４
内に充填されたハロゲンガス、希ガス、バッファガスな
どからなるレーザガスを放電電極１５間の放電によって
励起させてレーザ発振を行う。
【０００５】レーザチャンバ１４の両レーザ出射口には
ウィンドウ１６が設けられている。また、レーザチャン
バ１４とフロントミラー１７との間およびレーザチャン
バ１４と狭帯域化モジュール１８との間にはビーム幅を
制限するスリット１９が設けられている。
ウィンドウ１６が設けられている。また、レーザチャン
バ１４とフロントミラー１７との間およびレーザチャン
バ１４と狭帯域化モジュール１８との間にはビーム幅を
制限するスリット１９が設けられている。
【０００６】狭帯域化モジュール１８は、この場合、ビ
ームエキスパンダ２０と角度分散型波長選択素子である
グレーティング１とで構成されている。ビームエキスパ
ンダ２０は、図示せぬ１個以上のプリズムによって構成
されており、入射されたレーザ光のビーム幅を拡大して
グレーティング１に入射する。
ームエキスパンダ２０と角度分散型波長選択素子である
グレーティング１とで構成されている。ビームエキスパ
ンダ２０は、図示せぬ１個以上のプリズムによって構成
されており、入射されたレーザ光のビーム幅を拡大して
グレーティング１に入射する。
【０００７】すなわち、この図６では、フロントミラー
１７とグレーティング１との間で光共振器が構成されて
いる。
１７とグレーティング１との間で光共振器が構成されて
いる。
【０００８】図６の構成において、レーザチャンバ１４
で発振されたレーザ光は、狭帯域化モジュール１８に入
射され、ビームエキスパンダ２０でそのビーム幅が拡大
される。さらに、該拡大されたレーザ光Ｌはグレーティ
ング１に入射されて回折されることにより、所定の波長
成分のレーザ光のみが入射光と同じ方向に折り返され
る。グレーティング１で折り返されたレーザ光は、ビー
ムエキスパンダ２０でビーム幅が縮小された後、レーザ
チャンバ１４に入射される。すなわちグレーティング１
は、レーザ光を反射することによって波長を選択すると
いう反射型波長選択素子である。
で発振されたレーザ光は、狭帯域化モジュール１８に入
射され、ビームエキスパンダ２０でそのビーム幅が拡大
される。さらに、該拡大されたレーザ光Ｌはグレーティ
ング１に入射されて回折されることにより、所定の波長
成分のレーザ光のみが入射光と同じ方向に折り返され
る。グレーティング１で折り返されたレーザ光は、ビー
ムエキスパンダ２０でビーム幅が縮小された後、レーザ
チャンバ１４に入射される。すなわちグレーティング１
は、レーザ光を反射することによって波長を選択すると
いう反射型波長選択素子である。
【０００９】レーザチャンバ１４を通過して増幅された
レーザ光は、フロントミラー１７を介してその一部が出
力光として取り出されると共に、残りが再度レーザチャ
ンバ１４に戻って増幅される。
レーザ光は、フロントミラー１７を介してその一部が出
力光として取り出されると共に、残りが再度レーザチャ
ンバ１４に戻って増幅される。
【００１０】ところで光共振器内においては、様々な原
因によって、レーザ光の波面はダイバージェンス（拡が
り）および曲率を有することになる。
因によって、レーザ光の波面はダイバージェンス（拡が
り）および曲率を有することになる。
【００１１】例えば、上記のように光共振器１３内にス
リット１９が配置されている場合には、このスリット１
９による回折によりスリット１９通過後の光は球面波と
なる。
リット１９が配置されている場合には、このスリット１
９による回折によりスリット１９通過後の光は球面波と
なる。
【００１２】また、共振器１３内に配置されている光学
素子自身の収差によって波面が歪むこともある。例え
ば、狭帯域化素子として用いられるプリズムエキスパン
ダ２０のような透過型の光学素子では (a)内部の屈折率分布が完全に一様ではない (b)プリスムの研磨面が歪んでいる などにより、この光学素子を通過したレーザ光の波面は
凸面または凹面の曲率を持つものとなる。
素子自身の収差によって波面が歪むこともある。例え
ば、狭帯域化素子として用いられるプリズムエキスパン
ダ２０のような透過型の光学素子では (a)内部の屈折率分布が完全に一様ではない (b)プリスムの研磨面が歪んでいる などにより、この光学素子を通過したレーザ光の波面は
凸面または凹面の曲率を持つものとなる。
【００１３】そして、このような曲率を有する波面を持
つレーザ光Ｌが平坦な形状のグレーティング１に入射さ
れた場合は、グレーティング１による波長選択性能を低
下させてしまうことになる。すなわち、グレーティング
１へのレーザ光Ｌの入射波面が曲率を持つ場合は、グレ
ーティング１のそれぞれの溝にレーザ光Ｌが異なる角度
で入射されることになるので、グレーティング１の波長
選択特性が低下する。
つレーザ光Ｌが平坦な形状のグレーティング１に入射さ
れた場合は、グレーティング１による波長選択性能を低
下させてしまうことになる。すなわち、グレーティング
１へのレーザ光Ｌの入射波面が曲率を持つ場合は、グレ
ーティング１のそれぞれの溝にレーザ光Ｌが異なる角度
で入射されることになるので、グレーティング１の波長
選択特性が低下する。
【００１４】そこで、従来技術においては、グレーティ
ングに入射するレーザ光の波面に一致するようにグレー
ティング自体をグレーティングへの入射波面の曲率に応
じて曲げることにより、上記不具合に対処するようにし
ていた。
ングに入射するレーザ光の波面に一致するようにグレー
ティング自体をグレーティングへの入射波面の曲率に応
じて曲げることにより、上記不具合に対処するようにし
ていた。
【００１５】図７（ａ）、（ｂ）は、上記従来技術を示
す図である。
す図である。
【００１６】同図（ａ）、（ｂ）のグレーティング１に
おいては、その両端部を支持する支持部材９と、その中
央部を把持する把持部材２１と、把持部材２１を介して
グレーティング１の中央部を押し方向または引き方向に
移動させる曲げ機構（押し部材２、バネ３）が備えられ
ている。かかる曲げ機構によってグレーティング１自体
を任意に曲げる（あるいは曲げを修正する）ことができ
るようになっている。
おいては、その両端部を支持する支持部材９と、その中
央部を把持する把持部材２１と、把持部材２１を介して
グレーティング１の中央部を押し方向または引き方向に
移動させる曲げ機構（押し部材２、バネ３）が備えられ
ている。かかる曲げ機構によってグレーティング１自体
を任意に曲げる（あるいは曲げを修正する）ことができ
るようになっている。
【００１７】すなわち、同図（ａ）に示すように、入射
光Ｌの進行方向からみて波面が凹面となる場合には、把
持部材２１を介してグレーティング１の中央部を入射方
向Ｘ１に移動させて、グレーティング１の入射面が凸面
になるように成形する。また、同図（ｂ）に示すよう
に、入射光Ｌの進行方向からみて波面が凸面となる場合
には、把持部材２１を介してグレーティング１の中央部
を入射方向と逆の方向Ｘ２に移動させてグレーティング
１の入射面が凹面になるように成形する。
光Ｌの進行方向からみて波面が凹面となる場合には、把
持部材２１を介してグレーティング１の中央部を入射方
向Ｘ１に移動させて、グレーティング１の入射面が凸面
になるように成形する。また、同図（ｂ）に示すよう
に、入射光Ｌの進行方向からみて波面が凸面となる場合
には、把持部材２１を介してグレーティング１の中央部
を入射方向と逆の方向Ｘ２に移動させてグレーティング
１の入射面が凹面になるように成形する。
【００１８】上記押し機構には、マイクロメータなどが
用いられナノメートル単位の高い精度で曲げている。
用いられナノメートル単位の高い精度で曲げている。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】このように従来技術に
あっては、マイクロメータなどを用いてナノメートル単
位の高い精度で曲げているので、微小な曲げズレも許容
することができない。従って、工場でレーザ装置を生産
する場合、グレーティングを曲げ調整した後は、調整位
置からのズレを一切不可とする必要がある。
あっては、マイクロメータなどを用いてナノメートル単
位の高い精度で曲げているので、微小な曲げズレも許容
することができない。従って、工場でレーザ装置を生産
する場合、グレーティングを曲げ調整した後は、調整位
置からのズレを一切不可とする必要がある。
【００２０】しかしながら、レーザ装置を搬送する際の
振動や衝撃でグレーティングの形状が容易に変化してし
まう。
振動や衝撃でグレーティングの形状が容易に変化してし
まう。
【００２１】このためマイクロメータで曲げた後のグレ
ーティングの形状が維持されず高い精度を維持すること
ができないという問題がある。
ーティングの形状が維持されず高い精度を維持すること
ができないという問題がある。
【００２２】この場合、グレーティングへの入射波面の
曲率にグレーティングの形状が対応できずグレーティン
グの波長選択特性の低下を招いてしまう。
曲率にグレーティングの形状が対応できずグレーティン
グの波長選択特性の低下を招いてしまう。
【００２３】本発明はこのような実情に鑑みてなされた
ものであり、レーザ装置に振動や衝撃を与えても、反射
型波長選択素子の波長選択特性を安定させることができ
るようにすることを解決課題とするものである。
ものであり、レーザ装置に振動や衝撃を与えても、反射
型波長選択素子の波長選択特性を安定させることができ
るようにすることを解決課題とするものである。
【００２４】
【課題を解決するための手段及び作用効果】そこで本発
明では、光共振器の一方を構成する反射型波長選択素子
の反射面を、当該反射面に入射するレーザ光波面の曲率
に応じて曲げる曲げ機構を備えた反射型波長選択素子の
曲げ機構において、前記曲げ機構を固定する固定手段を
備えたことを特徴とする。
明では、光共振器の一方を構成する反射型波長選択素子
の反射面を、当該反射面に入射するレーザ光波面の曲率
に応じて曲げる曲げ機構を備えた反射型波長選択素子の
曲げ機構において、前記曲げ機構を固定する固定手段を
備えたことを特徴とする。
【００２５】この発明によれば、図１に示すように曲げ
機構２が固定手段８によって固定される。これにより、
曲げ機構２によって入射光Ｌの波面の曲率に応じて曲げ
られた反射型波長選択素子１の形状を維持することがで
きる。このためレーザ装置を工場から出荷した後は反射
型波長選択素子１の曲げ形状の調整位置からのズレを一
切不可にすることができる。
機構２が固定手段８によって固定される。これにより、
曲げ機構２によって入射光Ｌの波面の曲率に応じて曲げ
られた反射型波長選択素子１の形状を維持することがで
きる。このためレーザ装置を工場から出荷した後は反射
型波長選択素子１の曲げ形状の調整位置からのズレを一
切不可にすることができる。
【００２６】従って、レーザ装置に振動や衝撃を与えて
も、反射型波長選択素子１の波長選択特性を安定させる
ことができる。
も、反射型波長選択素子１の波長選択特性を安定させる
ことができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の反
射型波長選択素子の曲げ機構の固定装置の実施形態につ
いて詳細に説明する。
射型波長選択素子の曲げ機構の固定装置の実施形態につ
いて詳細に説明する。
【００２８】図１は、反射型波長選択素子の曲げ機構の
固定装置の第１の実施形態を示したものである。なお図
１において、前述の図６、図７と同一の構成要素には同
一の符号を付しており、これらの構成要素の説明につい
ては適宜省略する。
固定装置の第１の実施形態を示したものである。なお図
１において、前述の図６、図７と同一の構成要素には同
一の符号を付しており、これらの構成要素の説明につい
ては適宜省略する。
【００２９】図１は実施形態装置の側面を断面にて示し
ている。
ている。
【００３０】グレーティング１は光共振器１３の一方を
構成する反射型波長選択素子である。このグレーティン
グ１はその反射面が、当該反射面に入射するレーザ光Ｌ
の波面の曲率に応じて押圧または引っ張ることによって
曲げられるように構成されている。すなわち、図７
（ａ）、（ｂ）に示すようにグレーティング１の両端部
はグレーティング支持部材９によって支持されている。
グレーティング１の中央部は把持部材２１によって把持
されている。グレーティング支持部材９は、グレーティ
ング支持バネ１０を介してグレーティング１の上端を押
圧することでグレーティング１を下側支持部材７に固定
支持している。
構成する反射型波長選択素子である。このグレーティン
グ１はその反射面が、当該反射面に入射するレーザ光Ｌ
の波面の曲率に応じて押圧または引っ張ることによって
曲げられるように構成されている。すなわち、図７
（ａ）、（ｂ）に示すようにグレーティング１の両端部
はグレーティング支持部材９によって支持されている。
グレーティング１の中央部は把持部材２１によって把持
されている。グレーティング支持部材９は、グレーティ
ング支持バネ１０を介してグレーティング１の上端を押
圧することでグレーティング１を下側支持部材７に固定
支持している。
【００３１】このグレーティング１を曲げる曲げ機構は
次のように構成されている。
次のように構成されている。
【００３２】曲げ機構は、把持部材２１を介してグレー
ティング１の中央部を押し方向または引き方向に移動さ
せる押し部材２とバネ３，４と、調整ボルト５とから構
成されている。曲げ機構２、３、４、５は、把持部材２
１に一端が接続され、他端が押し部材２に接続されたバ
ネ３、４と、ボルト頭部が下向きになり、かつボルト先
端部が押し部材２の傾斜部Ｋに当接される態様で下側支
持部材７に螺合されている調整ボルト５と、調整ボルト
５が矢印Ｙ１、Ｙ２方向に直動するに応じて調整ボルト
５の先端部が傾斜部Ｋに当接される位置が変化されグレ
ーティング１の反射面を曲げる方向Ｘ１，Ｘ２方向にス
ライドする押し部材２とから構成されている。
ティング１の中央部を押し方向または引き方向に移動さ
せる押し部材２とバネ３，４と、調整ボルト５とから構
成されている。曲げ機構２、３、４、５は、把持部材２
１に一端が接続され、他端が押し部材２に接続されたバ
ネ３、４と、ボルト頭部が下向きになり、かつボルト先
端部が押し部材２の傾斜部Ｋに当接される態様で下側支
持部材７に螺合されている調整ボルト５と、調整ボルト
５が矢印Ｙ１、Ｙ２方向に直動するに応じて調整ボルト
５の先端部が傾斜部Ｋに当接される位置が変化されグレ
ーティング１の反射面を曲げる方向Ｘ１，Ｘ２方向にス
ライドする押し部材２とから構成されている。
【００３３】押し部材２は上側支持部材６と下側支持部
材７との間でスライドする。図３は、押し部材２の斜視
図を示したものである。押し部材２が上側支持部材６と
下側支持部材７と接触する面Ａ、Ｂは摩擦係数の小さい
仕上げ面とされている。
材７との間でスライドする。図３は、押し部材２の斜視
図を示したものである。押し部材２が上側支持部材６と
下側支持部材７と接触する面Ａ、Ｂは摩擦係数の小さい
仕上げ面とされている。
【００３４】調整ボルト５は、ボルト頭部が下側より回
転操作が可能な態様で下側支持部材７に螺合されてい
る。
転操作が可能な態様で下側支持部材７に螺合されてい
る。
【００３５】本実施形態では、押し部材２を上側支持部
材６と下側支持部材７との間で固定する固定用止めネジ
８が下側支持部材７に螺合されている。固定用止めネジ
８は、ネジ頭部が下側より回転操作が可能な態様でか
つ、ネジ先端部が押し部材２の下面に当接される態様で
螺合されている。
材６と下側支持部材７との間で固定する固定用止めネジ
８が下側支持部材７に螺合されている。固定用止めネジ
８は、ネジ頭部が下側より回転操作が可能な態様でか
つ、ネジ先端部が押し部材２の下面に当接される態様で
螺合されている。
【００３６】以下本実施形態の動作について説明する。
【００３７】まず、曲げ機構２，３、４、５によってグ
レーティング１の反射面が曲げられる。
レーティング１の反射面が曲げられる。
【００３８】すなわち、図７（ａ）に示すように、入射
光Ｌの進行方向からみてレーザ光Ｌの波面が凹面となる
場合を想定する。このときは調整ボルト５の頭部が右側
に回転操作される。このため調整ボルト５は図中上向き
方向Ｙ１に直動する。すると調整ボルト５の先端部と押
し部材２の傾斜部Ｋとの当接位置が上方向にずれてい
く。この結果押し部材２は図中左方向Ｘ１にスライドす
る。このため把持部材２１を介してグレーティング１の
中央部が入射方向Ｘ１に押し方向に移動されて、グレー
ティング１の入射面が凸面になるように成形される。そ
してグレーティング１の反射面に入射するレーザ光Ｌの
波面の曲率に応じた位置まで押し部材２がスライドした
時点で調整ボルト５の調整が終了する。
光Ｌの進行方向からみてレーザ光Ｌの波面が凹面となる
場合を想定する。このときは調整ボルト５の頭部が右側
に回転操作される。このため調整ボルト５は図中上向き
方向Ｙ１に直動する。すると調整ボルト５の先端部と押
し部材２の傾斜部Ｋとの当接位置が上方向にずれてい
く。この結果押し部材２は図中左方向Ｘ１にスライドす
る。このため把持部材２１を介してグレーティング１の
中央部が入射方向Ｘ１に押し方向に移動されて、グレー
ティング１の入射面が凸面になるように成形される。そ
してグレーティング１の反射面に入射するレーザ光Ｌの
波面の曲率に応じた位置まで押し部材２がスライドした
時点で調整ボルト５の調整が終了する。
【００３９】次に、図７（ｂ）に示すように、入射光Ｌ
の進行方向からみてレーザ光Ｌの波面が凸面となる場合
を想定する。このときは調整ボルト５の頭部が左側に回
転操作される。このため調整ボルト５は図中下向き方向
Ｙ２に直動する。すると調整ボルト５の先端部と押し部
材２の傾斜部Ｋとの当接位置が下方向にずれていく。こ
の結果押し部材２は図中右方向Ｘ２にスライドする。こ
のため把持部材２１を介してグレーティング１の中央部
が入射方向と逆方向Ｘ２にバネ３，４のバネ力によって
移動されて、グレーティング１の入射面が凹面になるよ
うに成形される。そしてグレーティング１の反射面に入
射するレーザ光Ｌの波面の曲率に応じた位置まで押し部
材２がスライドした時点で調整ボルト５の調整が終了す
る。
の進行方向からみてレーザ光Ｌの波面が凸面となる場合
を想定する。このときは調整ボルト５の頭部が左側に回
転操作される。このため調整ボルト５は図中下向き方向
Ｙ２に直動する。すると調整ボルト５の先端部と押し部
材２の傾斜部Ｋとの当接位置が下方向にずれていく。こ
の結果押し部材２は図中右方向Ｘ２にスライドする。こ
のため把持部材２１を介してグレーティング１の中央部
が入射方向と逆方向Ｘ２にバネ３，４のバネ力によって
移動されて、グレーティング１の入射面が凹面になるよ
うに成形される。そしてグレーティング１の反射面に入
射するレーザ光Ｌの波面の曲率に応じた位置まで押し部
材２がスライドした時点で調整ボルト５の調整が終了す
る。
【００４０】このようにして調整ボルト５による調整が
終了すると固定用止めネジ８がネジ頭部が回転操作され
る。これにより固定用止めネジ８の先端部が押し部材２
の下面に当接され押し部材２が固定される。
終了すると固定用止めネジ８がネジ頭部が回転操作され
る。これにより固定用止めネジ８の先端部が押し部材２
の下面に当接され押し部材２が固定される。
【００４１】以上のように本実施形態によれば、押し部
材２を固定するようにしているので押し部材２によって
入射光Ｌの波面の曲率に応じて曲げられたグレーティン
グ１の形状を維持することができる。このためレーザ装
置を工場から出荷した後はグレーティング１の曲げ形状
の調整位置からのズレを一切不可にすることができる。
従って、レーザ装置に振動や衝撃を与えても、グレーテ
ィング１の波長選択特性を安定させることができる。な
お、本実施形態では押し部材２をネジ８を用いて固定す
ることによってグレーティング１の形状を維持するよう
にしているが、調整ボルト５をロックナット等によって
固定することによってグレーティング１の形状を維持す
るようにしてもよい。また、ネジやロックナット等を用
いることなく押し部材２を接着等により固定してもよ
い。
材２を固定するようにしているので押し部材２によって
入射光Ｌの波面の曲率に応じて曲げられたグレーティン
グ１の形状を維持することができる。このためレーザ装
置を工場から出荷した後はグレーティング１の曲げ形状
の調整位置からのズレを一切不可にすることができる。
従って、レーザ装置に振動や衝撃を与えても、グレーテ
ィング１の波長選択特性を安定させることができる。な
お、本実施形態では押し部材２をネジ８を用いて固定す
ることによってグレーティング１の形状を維持するよう
にしているが、調整ボルト５をロックナット等によって
固定することによってグレーティング１の形状を維持す
るようにしてもよい。また、ネジやロックナット等を用
いることなく押し部材２を接着等により固定してもよ
い。
【００４２】なお、調整ボルト５の調整が終了し、固定
用止めネジ８によって押し部材２が固定された後は、調
整ボルト５を下側支持部材７から取り外してもよい。
用止めネジ８によって押し部材２が固定された後は、調
整ボルト５を下側支持部材７から取り外してもよい。
【００４３】図２は図１とは異なる実施形態を示してい
る。なお図２において、前述の図１と同一の構成要素に
は同一の符号を付しており、これらの構成要素の説明に
ついては適宜省略する。
る。なお図２において、前述の図１と同一の構成要素に
は同一の符号を付しており、これらの構成要素の説明に
ついては適宜省略する。
【００４４】図２に示す実施形態装置では図１の調整ボ
ルト５の代わりにマイクロメータ１２が使用されてい
る。すなわち、マイクロメータ１２は操作部が下向きに
なり、かつ先端部が押し引き部材２の傾斜部Ｋに当接さ
れる態様で下側支持部材７に配設されている。従ってマ
イクロメータ１２は、下側より回転操作が可能になって
いる。
ルト５の代わりにマイクロメータ１２が使用されてい
る。すなわち、マイクロメータ１２は操作部が下向きに
なり、かつ先端部が押し引き部材２の傾斜部Ｋに当接さ
れる態様で下側支持部材７に配設されている。従ってマ
イクロメータ１２は、下側より回転操作が可能になって
いる。
【００４５】また、図１に示すように押し部材２を下側
から固定する固定用止めネジ８の代わりに押し部材２を
上側から固定する固定用止めネジ１１が使用されてい
る。すなわち固定用止めネジ１１は押し部材２を上側支
持部材６と下側支持部材７との間で固定するべく上側支
持部材６に螺合されている。固定用止めネジ１１は、ネ
ジ頭部が上側より回転操作が可能な態様でかつ、ネジ先
端部が押し部材２の上面に当接される態様で螺合されて
いる。
から固定する固定用止めネジ８の代わりに押し部材２を
上側から固定する固定用止めネジ１１が使用されてい
る。すなわち固定用止めネジ１１は押し部材２を上側支
持部材６と下側支持部材７との間で固定するべく上側支
持部材６に螺合されている。固定用止めネジ１１は、ネ
ジ頭部が上側より回転操作が可能な態様でかつ、ネジ先
端部が押し部材２の上面に当接される態様で螺合されて
いる。
【００４６】よって図２に示す実施形態では、マイクロ
メータ１２の回転操作に応じて押し部材２がスライドし
グレーティング１の反射面が入射光Ｌの曲率に応じた形
状に曲げられる。
メータ１２の回転操作に応じて押し部材２がスライドし
グレーティング１の反射面が入射光Ｌの曲率に応じた形
状に曲げられる。
【００４７】そして、このようなマイクロメータ１２の
調整が終了した後は固定用止めネジ１１によって押し部
材２が固定される。従って図２の実施形態においても図
１の実施形態と同様にレーザ装置に振動や衝撃を与えて
も、グレーティング１の波長選択特性を安定させること
ができるという効果が得られる。
調整が終了した後は固定用止めネジ１１によって押し部
材２が固定される。従って図２の実施形態においても図
１の実施形態と同様にレーザ装置に振動や衝撃を与えて
も、グレーティング１の波長選択特性を安定させること
ができるという効果が得られる。
【００４８】なお、以上説明した実施形態では、ネジ
８、１１を用いて押し部材２を固定するようにしている
が、図４に示すように板状の部材Ｃ、Ｄを用いて上側か
ら固定してもよくまた下側から固定してもよく、また上
側、下側の両方から固定してもよい。
８、１１を用いて押し部材２を固定するようにしている
が、図４に示すように板状の部材Ｃ、Ｄを用いて上側か
ら固定してもよくまた下側から固定してもよく、また上
側、下側の両方から固定してもよい。
【００４９】また図５に示すように板状の部材Ｇ、Ｈを
用いて一方の側面から固定してもよくまた他方の側面か
ら固定してもよく、また、一方の側面、他方の側面の両
方から固定してもよい。さらに上下左右の全ての面を固
定してもよい。
用いて一方の側面から固定してもよくまた他方の側面か
ら固定してもよく、また、一方の側面、他方の側面の両
方から固定してもよい。さらに上下左右の全ての面を固
定してもよい。
【図１】図１は本発明に係わる反射型波長選択素子の曲
げ機構の固定装置の第１の実施形態を示す図である。
げ機構の固定装置の第１の実施形態を示す図である。
【図２】図２は本発明に係わる反射型波長選択素子の曲
げ機構の固定装置の第２の実施形態を示す図である。
げ機構の固定装置の第２の実施形態を示す図である。
【図３】図３は図１に示す押し部材の斜視図である。
【図４】図４は、図１、図２に示す実施形態の変形例を
示す図である。
示す図である。
【図５】図５は、図１、図２に示す実施形態の変形例を
示す図である。
示す図である。
【図６】図６は実施形態の装置が組み込まれたレーザ装
置の光共振器の構成を示す図である。
置の光共振器の構成を示す図である。
【図７】図７（ａ）、（ｂ）はレーザ光の波面の曲率に
応じてグレーティングの反射面が曲げられる様子を示す
図である。
応じてグレーティングの反射面が曲げられる様子を示す
図である。
１…グレーティング ２…押し部材 ３、４…バネ ５…調整ボルト ６…上側支持部材 ７…下側支持部材 ８、１１…固定用止めネジ ９…グレーティング支持部材 １０…グレーティング支持バネ １２…マイクロメータ １３…光共振器 １４…レーザチャンバ １５…放電電極 １６…ウィンドウ １７…出力ミラー １８…狭帯域化モジュール １９…スリット ２０…ビームエキスパンダ ２１…把持部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 五十嵐 徹 栃木県小山市横倉新田400 株式会社小松 製作所小山工場内 Ｆターム(参考） 5F072 AA06 JJ05 KK07 KK30 YY09
Claims (1)
- 【請求項１】 光共振器の一方を構成する反射型波長
選択素子の反射面を、当該反射面に入射するレーザ光の
波面の曲率に応じて曲げる曲げ機構を備えた反射型波長
選択素子の曲げ機構において、 前記曲げ機構を固定する固定手段を備えたことを特徴と
する反射型波長選択素子の曲げ機構の固定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11010652A JP2000208848A (ja) | 1999-01-19 | 1999-01-19 | 反射型波長選択素子の曲げ機構の固定装置 |
| US09/484,424 US7006538B2 (en) | 1999-01-19 | 2000-01-18 | Apparatus for locking bending mechanism that bends reflex type wavelength selection element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11010652A JP2000208848A (ja) | 1999-01-19 | 1999-01-19 | 反射型波長選択素子の曲げ機構の固定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000208848A true JP2000208848A (ja) | 2000-07-28 |
Family
ID=11756165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11010652A Pending JP2000208848A (ja) | 1999-01-19 | 1999-01-19 | 反射型波長選択素子の曲げ機構の固定装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7006538B2 (ja) |
| JP (1) | JP2000208848A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1330859A4 (en) * | 2000-10-31 | 2005-04-13 | Cymer Inc | INTELLIGENT LASER WITH FAST DEFORMABLE GRILLE |
| WO2016075806A1 (ja) * | 2014-11-14 | 2016-05-19 | ギガフォトン株式会社 | 狭帯域化モジュール、狭帯域化レーザ装置、及び、狭帯域化モジュールを位置決めする方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100595984C (zh) * | 2007-05-18 | 2010-03-24 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 准三维调整结构 |
| US8144739B2 (en) * | 2008-10-24 | 2012-03-27 | Cymer, Inc. | System method and apparatus for selecting and controlling light source bandwidth |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3579839A (en) * | 1968-11-05 | 1971-05-25 | Robert J Kowalski | Archery bow sight |
| US4022523A (en) * | 1976-01-26 | 1977-05-10 | Arthur D. Little, Inc. | Adjustable focal length cylindrical mirror assembly |
| US5095492A (en) * | 1990-07-17 | 1992-03-10 | Cymer Laser Technologies | Spectral narrowing technique |
| US5237580A (en) * | 1990-10-12 | 1993-08-17 | Coherent, Inc. | RF excited CO2 slab waveguide laser |
| US5856991A (en) * | 1997-06-04 | 1999-01-05 | Cymer, Inc. | Very narrow band laser |
| US6212217B1 (en) * | 1997-07-01 | 2001-04-03 | Cymer, Inc. | Smart laser with automated beam quality control |
-
1999
- 1999-01-19 JP JP11010652A patent/JP2000208848A/ja active Pending
-
2000
- 2000-01-18 US US09/484,424 patent/US7006538B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1330859A4 (en) * | 2000-10-31 | 2005-04-13 | Cymer Inc | INTELLIGENT LASER WITH FAST DEFORMABLE GRILLE |
| WO2016075806A1 (ja) * | 2014-11-14 | 2016-05-19 | ギガフォトン株式会社 | 狭帯域化モジュール、狭帯域化レーザ装置、及び、狭帯域化モジュールを位置決めする方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20030072347A1 (en) | 2003-04-17 |
| US7006538B2 (en) | 2006-02-28 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050225 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070522 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070712 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070925 |