JP2000210615A - コ―ティング装置、コ―ティング方法、および電子部品、ならびに電子部品の製造方法 - Google Patents
コ―ティング装置、コ―ティング方法、および電子部品、ならびに電子部品の製造方法Info
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Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 水溶性のコーティング材であっても被処理物
にはじかれることなく被覆することができるコーティン
グ装置、さらに、コーティング材をはじくことのない電
子部品を提供することにある。 【解決手段】 被処理物の表面を表面改質処理する表面
改質手段と、被処理物にコーティング材を被覆するコー
ティング手段とを備えてなることを特徴とする。また、
素子本体と前記素子本体の表面に形成された電極とから
なる電子部品素子と、前記電子部品素子表面に形成され
た表面改質層と、前記表面改質層上に形成されたコーテ
ィング層とからなることを特徴とする。
にはじかれることなく被覆することができるコーティン
グ装置、さらに、コーティング材をはじくことのない電
子部品を提供することにある。 【解決手段】 被処理物の表面を表面改質処理する表面
改質手段と、被処理物にコーティング材を被覆するコー
ティング手段とを備えてなることを特徴とする。また、
素子本体と前記素子本体の表面に形成された電極とから
なる電子部品素子と、前記電子部品素子表面に形成され
た表面改質層と、前記表面改質層上に形成されたコーテ
ィング層とからなることを特徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は電子部品、特に表面
に塗料や樹脂等のコーティング材を被覆した電子部品お
よびその製造方法、ならびに塗料や樹脂等をコーティン
グするコーティング装置に関する。
に塗料や樹脂等のコーティング材を被覆した電子部品お
よびその製造方法、ならびに塗料や樹脂等をコーティン
グするコーティング装置に関する。
【0002】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】従来
より、圧電共振子やサーミスタ等の電子部品は、セラミ
ック等の素子本体と、この素子本体の表面上に形成され
た電極と、この電極に電気的に接続したリード端子とか
らなる。素子本体およびこれらの接続部は、外的衝撃や
湿気等から保護するために熱硬化性樹脂等からなる外装
樹脂によってコーティングされている。
より、圧電共振子やサーミスタ等の電子部品は、セラミ
ック等の素子本体と、この素子本体の表面上に形成され
た電極と、この電極に電気的に接続したリード端子とか
らなる。素子本体およびこれらの接続部は、外的衝撃や
湿気等から保護するために熱硬化性樹脂等からなる外装
樹脂によってコーティングされている。
【0003】従来の外装樹脂のコーティング方法として
は、ディッピング外装法、粉体外装法や、注型外装法等
がある。ディッピング外装法は、外装樹脂を有機溶剤中
に溶かして樹脂ペーストとしたものの中に、電子部品素
子を挿入し、電子部品素子の表面に樹脂ペーストを付着
させる方法である。また、粉体外装法は、外装樹脂粉末
を流動浸漬や静電塗装等によって直接電子部品素子の表
面に付着させる方法である。また、注型外装法は、あら
かじめ作成しておいた注型に電子部品素子を入れ、外装
樹脂を注入して電子部品素子の表面に付着させる方法で
ある。
は、ディッピング外装法、粉体外装法や、注型外装法等
がある。ディッピング外装法は、外装樹脂を有機溶剤中
に溶かして樹脂ペーストとしたものの中に、電子部品素
子を挿入し、電子部品素子の表面に樹脂ペーストを付着
させる方法である。また、粉体外装法は、外装樹脂粉末
を流動浸漬や静電塗装等によって直接電子部品素子の表
面に付着させる方法である。また、注型外装法は、あら
かじめ作成しておいた注型に電子部品素子を入れ、外装
樹脂を注入して電子部品素子の表面に付着させる方法で
ある。
【0004】一方、従来から用いられている有機溶剤系
のコーティング材は作業環境に悪影響を及ぼすうえ、防
爆設備が必要であることから、近年、水性のコーティン
グ材を使用するようになってきた。しかしながら、水性
のコーティング材を用いる場合には、被処理物が金属質
を有する素子本体であったり、電子部品素子の表面に形
成された電極材料や、バッファー層等の有機質膜といっ
た、コーティング材に対するはじき性に富む材質であっ
たりすると、製造履歴や各材質のロットばらつきによっ
てコーティング材をはじくという問題がある。
のコーティング材は作業環境に悪影響を及ぼすうえ、防
爆設備が必要であることから、近年、水性のコーティン
グ材を使用するようになってきた。しかしながら、水性
のコーティング材を用いる場合には、被処理物が金属質
を有する素子本体であったり、電子部品素子の表面に形
成された電極材料や、バッファー層等の有機質膜といっ
た、コーティング材に対するはじき性に富む材質であっ
たりすると、製造履歴や各材質のロットばらつきによっ
てコーティング材をはじくという問題がある。
【0005】これは、被処理物である電子部品素子表面
の分子にコーティング材の分子と引き付け合う官能基、
特に極性基が多く存在しないために、被処理物の表面上
に均一にコーティング層を形成できず、部分的にコーテ
ィング材が液滴となって存在することが原因となってい
る。
の分子にコーティング材の分子と引き付け合う官能基、
特に極性基が多く存在しないために、被処理物の表面上
に均一にコーティング層を形成できず、部分的にコーテ
ィング材が液滴となって存在することが原因となってい
る。
【0006】本発明の目的は、水溶性のコーティング材
であっても被処理物にはじかれることなく被覆すること
ができるコーティング装置およびそのコーティング方
法、さらに、コーティング材をはじくことのない電子部
品、およびその製造方法を提供することにある。
であっても被処理物にはじかれることなく被覆すること
ができるコーティング装置およびそのコーティング方
法、さらに、コーティング材をはじくことのない電子部
品、およびその製造方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は上記のような目
的に鑑みてなされたものである。第1の発明のコーティ
ング装置は、被処理物の表面を表面改質処理する表面改
質手段と、被処理物にコーティング材を被覆するコーテ
ィング手段とを備えてなることを特徴とする。
的に鑑みてなされたものである。第1の発明のコーティ
ング装置は、被処理物の表面を表面改質処理する表面改
質手段と、被処理物にコーティング材を被覆するコーテ
ィング手段とを備えてなることを特徴とする。
【0008】また、第2の発明のコーティング方法は、
被処理物の表面を表面改質処理する工程と、被処理物に
コーティング材を被覆する工程とを備えてなることを特
徴とする。
被処理物の表面を表面改質処理する工程と、被処理物に
コーティング材を被覆する工程とを備えてなることを特
徴とする。
【0009】このような構成または方法にすることによ
って、被処理物の表面改質を行って極性基を形成した
後、連続的にコーティング材の被覆を行えるので、コー
ティング材が被処理物にはじかれることがなくなり、よ
り確実なコーティングを行うことができる。
って、被処理物の表面改質を行って極性基を形成した
後、連続的にコーティング材の被覆を行えるので、コー
ティング材が被処理物にはじかれることがなくなり、よ
り確実なコーティングを行うことができる。
【0010】また、第3の発明の電子部品の製造方法に
おいては、前記表面改質処理は、酸素を含むガス中に前
記電子部品素子を放置し、放電を起こすことによってな
されることが好ましい。
おいては、前記表面改質処理は、酸素を含むガス中に前
記電子部品素子を放置し、放電を起こすことによってな
されることが好ましい。
【0011】また、第4の発明の電子部品の製造方法に
おいては、前記表面改質処理は、酸素を含むガス中にお
いて前記電子部品素子に紫外線を照射することによって
なされることが好ましい。
おいては、前記表面改質処理は、酸素を含むガス中にお
いて前記電子部品素子に紫外線を照射することによって
なされることが好ましい。
【0012】このような表面改質処理にすることによっ
て、確実に被処理物表面に極性基を形成することができ
る。
て、確実に被処理物表面に極性基を形成することができ
る。
【0013】また、第5に発明の電子部品は、素子本体
と前記素子本体の表面に形成された電極とからなる電子
部品素子と、前記電子部品素子表面に形成された表面改
質層と、前記表面改質層上に形成されたコーティング層
とからなることを特徴とする。
と前記素子本体の表面に形成された電極とからなる電子
部品素子と、前記電子部品素子表面に形成された表面改
質層と、前記表面改質層上に形成されたコーティング層
とからなることを特徴とする。
【0014】また、第6の発明の電子部品の製造方法
は、素子本体と前記素子本体の表面に形成された電極と
からなる電子部品素子の表面を表面改質処理した後に、
前記電子部品素子表面にコーティング材を被覆すること
を特徴とする。
は、素子本体と前記素子本体の表面に形成された電極と
からなる電子部品素子の表面を表面改質処理した後に、
前記電子部品素子表面にコーティング材を被覆すること
を特徴とする。
【0015】このような構成または製造方法にすること
によって、電子部品素子がコーティング材をはじくこと
なく確実に被覆することができる。すなわち、直接電子
部品素子表面にコーティング材を被覆せず、表面改質層
を介しているため、表面改質層に形成された極性基とコ
ーティング材の分子とが引き合ってコーティング材がは
じかれることを防止できる。
によって、電子部品素子がコーティング材をはじくこと
なく確実に被覆することができる。すなわち、直接電子
部品素子表面にコーティング材を被覆せず、表面改質層
を介しているため、表面改質層に形成された極性基とコ
ーティング材の分子とが引き合ってコーティング材がは
じかれることを防止できる。
【0016】また、第7の発明の電子部品の製造方法に
おいては、前記表面改質処理は、酸素を含むガス中に前
記電子部品素子を放置し、放電を起こすことによってな
されることが好ましい。
おいては、前記表面改質処理は、酸素を含むガス中に前
記電子部品素子を放置し、放電を起こすことによってな
されることが好ましい。
【0017】また、第8の発明の電子部品の製造方法に
おいては、前記表面改質処理は、酸素を含むガス中にお
いて前記電子部品素子に紫外線を照射することによって
なされることが好ましい。
おいては、前記表面改質処理は、酸素を含むガス中にお
いて前記電子部品素子に紫外線を照射することによって
なされることが好ましい。
【0018】このような表面改質処理にすることによっ
て、確実に電子部品素子表面に極性基を形成することが
できる。
て、確実に電子部品素子表面に極性基を形成することが
できる。
【0019】
【発明の実施の形態】次に、本発明のコーティング装置
の実施の形態について説明する。図1は本発明のコーテ
ィング装置を示す概略断面図、図2は本発明のコーティ
ング装置の他の実施形態を示す概略断面図、図3は本発
明のコーティング装置のさらに他の実施形態を示す概略
断面図である。
の実施の形態について説明する。図1は本発明のコーテ
ィング装置を示す概略断面図、図2は本発明のコーティ
ング装置の他の実施形態を示す概略断面図、図3は本発
明のコーティング装置のさらに他の実施形態を示す概略
断面図である。
【0020】図1に示すように、本発明のコーティング
装置は、表面処理機構と、コーティング機構と、被処理
物を搬送する搬送機構と、これらを収納する装置本体と
から構成されている。被処理物の進行方向に、表面処理
機構、コーティング機構の順となるように配置されてい
る。
装置は、表面処理機構と、コーティング機構と、被処理
物を搬送する搬送機構と、これらを収納する装置本体と
から構成されている。被処理物の進行方向に、表面処理
機構、コーティング機構の順となるように配置されてい
る。
【0021】上記表面処理機構は、表面処理槽と、被処
理物の表面改質手段とを備えている。表面処理槽は内部
で被処理物の表面処理を行うためのものであり、ステン
レス等の金属製である。また、表面改質手段は、紫外線
の照射、放電等があり、これら単独もしくは組み合わせ
て使用する。なお、紫外線を照射する場合、使用する紫
外線の波長は130〜200nmが好ましい。
理物の表面改質手段とを備えている。表面処理槽は内部
で被処理物の表面処理を行うためのものであり、ステン
レス等の金属製である。また、表面改質手段は、紫外線
の照射、放電等があり、これら単独もしくは組み合わせ
て使用する。なお、紫外線を照射する場合、使用する紫
外線の波長は130〜200nmが好ましい。
【0022】上記コーティング機構は、コーティング槽
と、被処理物にコーティング材を被覆するコーティング
手段とを備えている。コーティング槽は内部でコーティ
ングを行うためのものであり、ポリエチレン、ポリプロ
ピレン、テフロン等のプラスチックや、ステンレス等の
金属製である。また、コーティング手段は、コーティン
グ材の噴霧、コーティング材への浸漬、コーティング材
の刷毛塗り等がある。
と、被処理物にコーティング材を被覆するコーティング
手段とを備えている。コーティング槽は内部でコーティ
ングを行うためのものであり、ポリエチレン、ポリプロ
ピレン、テフロン等のプラスチックや、ステンレス等の
金属製である。また、コーティング手段は、コーティン
グ材の噴霧、コーティング材への浸漬、コーティング材
の刷毛塗り等がある。
【0023】上記搬送機構は、被処理物を表面改質機
構、コーティング機構の順に搬送するものであり、保持
穴や粘着性を持たせたキャリアテープ、搬送ベルト等が
挙げられる。
構、コーティング機構の順に搬送するものであり、保持
穴や粘着性を持たせたキャリアテープ、搬送ベルト等が
挙げられる。
【0024】(第1実施形態)以下、第1実施形態のコ
ーティング装置について説明する。図1は第1実施形態
のコーティング装置の概略断面図を示す。
ーティング装置について説明する。図1は第1実施形態
のコーティング装置の概略断面図を示す。
【0025】図1に示すように、本実施形態のコーティ
ング装置1は、表面処理機構2と、コーティング機構3
と、これらを通過するように被処理物6を搬送する搬送
機構4とから構成されている。なお、本実施形態では被
処理物としてリード線付きセラミック素子を用いてい
る。表面処理機構2は、表面処理槽2bと、表面改質手
段2aとを備えており、表面改質手段2aは、リード線
付きセラミック素子6に紫外線を照射する紫外線照射灯
2a1と、表面処理槽内に酸素を含むガスを供給するガ
ス供給管2a2とからなり、紫外線照射灯2a1はリード
線付きセラミック素子6の進行方向に沿って配置されて
いる。また紫外線照射灯2a1には低圧水銀灯を用いて
いる。照射される紫外線は、254nmと185nmの波長
の紫外線が含まれており、出力は140Wである。ま
た、ガス供給管2a2からは、酸素分圧が25%の酸素
含有ガスが供給されている。
ング装置1は、表面処理機構2と、コーティング機構3
と、これらを通過するように被処理物6を搬送する搬送
機構4とから構成されている。なお、本実施形態では被
処理物としてリード線付きセラミック素子を用いてい
る。表面処理機構2は、表面処理槽2bと、表面改質手
段2aとを備えており、表面改質手段2aは、リード線
付きセラミック素子6に紫外線を照射する紫外線照射灯
2a1と、表面処理槽内に酸素を含むガスを供給するガ
ス供給管2a2とからなり、紫外線照射灯2a1はリード
線付きセラミック素子6の進行方向に沿って配置されて
いる。また紫外線照射灯2a1には低圧水銀灯を用いて
いる。照射される紫外線は、254nmと185nmの波長
の紫外線が含まれており、出力は140Wである。ま
た、ガス供給管2a2からは、酸素分圧が25%の酸素
含有ガスが供給されている。
【0026】コーティング機構3は、コーティング槽3
cと、コーティング手段3aとを備えており、コーティ
ング手段3aは、リード線付きセラミック素子6の進行
方向に沿って、それぞれ対向する位置に設けられた液体
状のコーティング材5をリード線付きセラミック素子6
に噴霧するスプレーノズルである。このスプレーノズル
3aは、互いに対向するように設けてもよいし、交互に
対向するように設けてもよい。
cと、コーティング手段3aとを備えており、コーティ
ング手段3aは、リード線付きセラミック素子6の進行
方向に沿って、それぞれ対向する位置に設けられた液体
状のコーティング材5をリード線付きセラミック素子6
に噴霧するスプレーノズルである。このスプレーノズル
3aは、互いに対向するように設けてもよいし、交互に
対向するように設けてもよい。
【0027】搬送機構4は、リード線付きセラミック素
子6のリード端子を保持する保持穴を有する紙製のキャ
リアテープ4aと、このキャリアテープ4aをリール状
に巻き取る巻芯4bと、この巻芯を駆動する駆動手段
(図示しない)とからなる。また、本実施形態において
は、搬送機構4の搬送速度は20mm/sであり、紫外線
照射灯との距離はそれぞれ5mmである。
子6のリード端子を保持する保持穴を有する紙製のキャ
リアテープ4aと、このキャリアテープ4aをリール状
に巻き取る巻芯4bと、この巻芯を駆動する駆動手段
(図示しない)とからなる。また、本実施形態において
は、搬送機構4の搬送速度は20mm/sであり、紫外線
照射灯との距離はそれぞれ5mmである。
【0028】(第2実施形態)以下、第2実施形態につ
いて説明する。図2は第2実施形態のコーティング装置
を示す概略断面図である。本実施形態の表面改質手段2
aは、リード線付きセラミック素子6を介して対向する
ように放電電極2a3と対向電極2a4とを配置し、コロ
ナ放電を生じさせてセラミック素子6の表面を改質させ
るものである。
いて説明する。図2は第2実施形態のコーティング装置
を示す概略断面図である。本実施形態の表面改質手段2
aは、リード線付きセラミック素子6を介して対向する
ように放電電極2a3と対向電極2a4とを配置し、コロ
ナ放電を生じさせてセラミック素子6の表面を改質させ
るものである。
【0029】この他の構成は第1実施形態と同様である
ため、同じ符号を付して説明を省略する。
ため、同じ符号を付して説明を省略する。
【0030】(第3実施形態)以下、第3実施形態につ
いて説明する。図3は第3実施形態のコーティング装置
を示す概略断面図である。本実施形態のコーティング手
段は、液体もしくはスラリー状のコーティング材5が入
ったディップ槽にリード線付きセラミック素子6を浸漬
するものである。浸漬方法は、キャリアテープ4aによ
って水平方向に保持されているリード線付きセラミック
素子6がディップ槽3b上に来たときにガイドローラ
(図示しない)によってキャリアテープ4aを90゜捻
り、リード線付きセラミック素子6を下向きにしてディ
ップ槽3bに浸漬させる方法である。また、1回の浸漬
で所望の厚さのコーティングが得られない場合は、この
工程を繰り返し設けてもよい。その場合は、各ディップ
槽3bの間にリード線付きセラミック素子6に付着した
コーティング材5をヒータ等によって乾燥させる工程を
設けることが好ましい。
いて説明する。図3は第3実施形態のコーティング装置
を示す概略断面図である。本実施形態のコーティング手
段は、液体もしくはスラリー状のコーティング材5が入
ったディップ槽にリード線付きセラミック素子6を浸漬
するものである。浸漬方法は、キャリアテープ4aによ
って水平方向に保持されているリード線付きセラミック
素子6がディップ槽3b上に来たときにガイドローラ
(図示しない)によってキャリアテープ4aを90゜捻
り、リード線付きセラミック素子6を下向きにしてディ
ップ槽3bに浸漬させる方法である。また、1回の浸漬
で所望の厚さのコーティングが得られない場合は、この
工程を繰り返し設けてもよい。その場合は、各ディップ
槽3bの間にリード線付きセラミック素子6に付着した
コーティング材5をヒータ等によって乾燥させる工程を
設けることが好ましい。
【0031】この他の構成は第1実施形態と同様である
ため、同じ符号を付して説明を省略する。
ため、同じ符号を付して説明を省略する。
【0032】なお、本発明のコーティング装置は、上記
の第1実施形態から第3実施形態に限定するものではな
く、例えば、第1実施形態の表面改質手段と第2実施形
態の表面改質手段とを備えたものであってもよい。
の第1実施形態から第3実施形態に限定するものではな
く、例えば、第1実施形態の表面改質手段と第2実施形
態の表面改質手段とを備えたものであってもよい。
【0033】次に、本発明の電子部品の実施の形態につ
いて説明する。図4は本発明の電子部品を示す概略断面
図である。
いて説明する。図4は本発明の電子部品を示す概略断面
図である。
【0034】図4に示すように、本発明の電子部品10
は、素子本体12と電極13とからなる電子部品素子1
1と、電子部品素子11表面に形成された表面改質層1
5と、これらを被覆するコーティング材からなるコーテ
ィング層16とから構成されている。
は、素子本体12と電極13とからなる電子部品素子1
1と、電子部品素子11表面に形成された表面改質層1
5と、これらを被覆するコーティング材からなるコーテ
ィング層16とから構成されている。
【0035】上記素子本体12は、無機有機複合材やセ
ラミック材に電極を形成したものであり、例えば、内部
電極とを積層した積層型であってもよいし、円板状の単
板型であってもよい。また、誘電体、圧電体、半導体等
の特性、用途にも限定されるものではない。
ラミック材に電極を形成したものであり、例えば、内部
電極とを積層した積層型であってもよいし、円板状の単
板型であってもよい。また、誘電体、圧電体、半導体等
の特性、用途にも限定されるものではない。
【0036】上記電極13は、導電性を有する金属から
なり、銀、パラジウム、銅、ニッケル等の単体もしくは
混合物が用いられる。
なり、銀、パラジウム、銅、ニッケル等の単体もしくは
混合物が用いられる。
【0037】上記表面改質層15は、コーティング材の
分子と反応する極性基が形成されており、コーティング
材が被覆する全面にわたって形成されている。
分子と反応する極性基が形成されており、コーティング
材が被覆する全面にわたって形成されている。
【0038】上記コーティング材は、外装樹脂、塗料等
が挙げられるが、特に限定はしない。具体的には、エポ
キシ樹脂、フェノール樹脂、シリコーン樹脂、ウレタン
樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド、ポリアミド、ポリエ
ステル等が用いられる。また、その状態も液体状であっ
てもよいし、粉末状であってもよい。
が挙げられるが、特に限定はしない。具体的には、エポ
キシ樹脂、フェノール樹脂、シリコーン樹脂、ウレタン
樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド、ポリアミド、ポリエ
ステル等が用いられる。また、その状態も液体状であっ
てもよいし、粉末状であってもよい。
【0039】
【実施例】上記第1実施形態のコーティング装置を用い
てコーティング材の被覆を行った。被処理物には、両主
面にワックスを点滴固化させた圧電セラミック素子を用
い、コーティング材として水性エポキシ塗料を用いた。
なお、同様の圧電セラミック素子の表面改質を行わずに
コーティング処理を行い、比較例とした。その後、それ
ぞれの素子表面上のコーティング材のはじき率を算出し
た。その結果を表1に示す。なお、実施例、比較例それ
ぞれ100個ずつコーティング処理を行った。このう
ち、素子表面が露出しているものの割合をはじき率とし
て算出した。
てコーティング材の被覆を行った。被処理物には、両主
面にワックスを点滴固化させた圧電セラミック素子を用
い、コーティング材として水性エポキシ塗料を用いた。
なお、同様の圧電セラミック素子の表面改質を行わずに
コーティング処理を行い、比較例とした。その後、それ
ぞれの素子表面上のコーティング材のはじき率を算出し
た。その結果を表1に示す。なお、実施例、比較例それ
ぞれ100個ずつコーティング処理を行った。このう
ち、素子表面が露出しているものの割合をはじき率とし
て算出した。
【0040】
【表1】
【0041】表1に示すように、素子表面の表面改質を
行ったものについては、素子表面がコーティング材をは
じくことは全くなく、逆に素子表面の表面改質を行わな
かったものについては、全ての素子がコーティング材を
はじくことがわかった。
行ったものについては、素子表面がコーティング材をは
じくことは全くなく、逆に素子表面の表面改質を行わな
かったものについては、全ての素子がコーティング材を
はじくことがわかった。
【0042】
【発明の効果】本発明のコーティング装置は、被処理物
の表面を表面改質処理する表面改質手段と、被処理物に
コーティング材を被覆するコーティング手段とを備えて
なる。
の表面を表面改質処理する表面改質手段と、被処理物に
コーティング材を被覆するコーティング手段とを備えて
なる。
【0043】また、本発明のコーティング方法は、被処
理物の表面を表面改質処理する工程と、被処理物にコー
ティング材を被覆する工程とを備えてなる。
理物の表面を表面改質処理する工程と、被処理物にコー
ティング材を被覆する工程とを備えてなる。
【0044】このような構成または方法にすることによ
って、被処理物の表面改質を行って極性基を形成した
後、連続的にコーティング材の被覆を行えるので、コー
ティング材が被処理物がにはじかれることがなくなり、
より確実なコーティングを行うことができる。
って、被処理物の表面改質を行って極性基を形成した
後、連続的にコーティング材の被覆を行えるので、コー
ティング材が被処理物がにはじかれることがなくなり、
より確実なコーティングを行うことができる。
【0045】また、表面改質処理は、酸素を含むガス中
に電子部品素子を放置し、放電を起こすことによってな
されるか、および/または、酸素を含むガス中において
電子部品素子に紫外線を照射することによってなされる
ので、確実に被処理物表面に極性基を形成することがで
きる。
に電子部品素子を放置し、放電を起こすことによってな
されるか、および/または、酸素を含むガス中において
電子部品素子に紫外線を照射することによってなされる
ので、確実に被処理物表面に極性基を形成することがで
きる。
【0046】また、本発明の電子部品は、素子本体と素
子本体の表面に形成された電極とからなる電子部品素子
と、電子部品素子表面に形成された表面改質層と、表面
改質層上に形成されたコーティング層とからなる。
子本体の表面に形成された電極とからなる電子部品素子
と、電子部品素子表面に形成された表面改質層と、表面
改質層上に形成されたコーティング層とからなる。
【0047】また、本発明の電子部品の製造方法は、素
子本体と前記素子本体の表面に形成された電極とからな
る電子部品素子の表面を表面改質処理した後に、電子部
品素子表面にコーティング材を被覆するものである。
子本体と前記素子本体の表面に形成された電極とからな
る電子部品素子の表面を表面改質処理した後に、電子部
品素子表面にコーティング材を被覆するものである。
【0048】このような構成または製造方法にすること
によって、電子部品素子がコーティング材をはじくこと
なく確実に被覆することができる。すなわち、直接電子
部品素子表面にコーティング材を被覆せず、表面改質層
を介しているため、表面改質層に形成された極性基とコ
ーティング材の分子とが反応してコーティング材がはじ
かれることを防止できる。
によって、電子部品素子がコーティング材をはじくこと
なく確実に被覆することができる。すなわち、直接電子
部品素子表面にコーティング材を被覆せず、表面改質層
を介しているため、表面改質層に形成された極性基とコ
ーティング材の分子とが反応してコーティング材がはじ
かれることを防止できる。
【0049】また、表面改質処理は、酸素を含むガス中
に電子部品素子を放置し、放電を起こすことによってな
されるか、または/および紫外線を照射することによっ
てなされることが好ましい。
に電子部品素子を放置し、放電を起こすことによってな
されるか、または/および紫外線を照射することによっ
てなされることが好ましい。
【0050】このような表面改質処理にすることによっ
て、確実に電子部品素子表面に極性基を形成することが
できる。
て、確実に電子部品素子表面に極性基を形成することが
できる。
【図1】第1実施形態のコーティング装置を示す概略断
面図。
面図。
【図2】第2実施形態のコーティング装置を示す概略断
面図。
面図。
【図3】第3実施形態のコーティング装置を示す概略断
面図。
面図。
【図4】本発明の電子部品を示す概略断面図。
1 コーティング装置 2 表面改質機構 2a 表面改質手段 2b 表面処理槽 3 コーティング機構 3a スプレーノズル(コーティング
手段) 3b ディップ槽(コーティング手
段) 3c コーティング槽 4 搬送機構 5 コーティング材 6 被処理物 10 電子部品 11 電子部品素子 12 素子本体 13 電極 14 リード端子 15 表面改質層 16 コーティング層
手段) 3b ディップ槽(コーティング手
段) 3c コーティング槽 4 搬送機構 5 コーティング材 6 被処理物 10 電子部品 11 電子部品素子 12 素子本体 13 電極 14 リード端子 15 表面改質層 16 コーティング層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C09D 161/04 C09D 163/00 163/00 167/00 167/00 175/04 175/04 177/00 177/00 179/08 Z 179/08 183/04 183/04 H01L 41/22 Z Fターム(参考) 4D075 AA01 AA52 AA65 AB03 BB44X BB46X BB49X BB56X DB14 DC21 EA06 4J038 CG141 DA031 DB001 DD001 DG001 DH001 DJ021 DL031 MA08 MA09 NA12 PA08 PC01 PC02 PC03 5F061 AA01 BA03 CA07 CA10 CB02 CB13
Claims (8)
- 【請求項1】 被処理物の表面を表面改質処理する表面
改質手段と、被処理物にコーティング材を被覆するコー
ティング手段とを備えてなることを特徴とするコーティ
ング装置。 - 【請求項2】 被処理物の表面を表面改質処理する工程
と、被処理物にコーティング材を被覆する工程とを備え
てなることを特徴とするコーティング方法。 - 【請求項3】 前記表面改質処理は、酸素を含むガス中
において前記電子部品素子に紫外線を照射することによ
ってなされることを特徴とする請求項2に記載のコーテ
ィング方法。 - 【請求項4】 前記表面改質処理は、酸素を含むガス中
に前記被処理物を放置し、放電を起こすことによってな
されることを特徴とする請求項2または請求項3に記載
のコーティング方法 - 【請求項5】 素子本体と前記素子本体の表面に形成さ
れた電極とからなる電子部品素子と、前記電子部品素子
表面に形成された表面改質層と、前記表面改質層上に形
成されたコーティング層とからなることを特徴とする電
子部品。 - 【請求項6】 素子本体と前記素子本体の表面に形成さ
れた電極とからなる電子部品素子の表面を表面改質処理
した後に、前記電子部品素子表面にコーティング材を被
覆することを特徴とする電子部品の製造方法。 - 【請求項7】 前記表面改質処理は、酸素を含むガス中
において前記電子部品素子に紫外線を照射することによ
ってなされることを特徴とする請求項6に記載の電子部
品の製造方法。 - 【請求項8】 前記表面改質処理は、酸素を含むガス中
に前記電子部品素子を放置し、放電を起こすことによっ
てなされることを特徴とする請求項6または請求項7に
記載の電子部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1743399A JP2000210615A (ja) | 1999-01-26 | 1999-01-26 | コ―ティング装置、コ―ティング方法、および電子部品、ならびに電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1743399A JP2000210615A (ja) | 1999-01-26 | 1999-01-26 | コ―ティング装置、コ―ティング方法、および電子部品、ならびに電子部品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000210615A true JP2000210615A (ja) | 2000-08-02 |
Family
ID=11943898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1743399A Pending JP2000210615A (ja) | 1999-01-26 | 1999-01-26 | コ―ティング装置、コ―ティング方法、および電子部品、ならびに電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000210615A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7019438B2 (en) | 2002-06-21 | 2006-03-28 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive film device |
| US7067961B2 (en) | 2002-07-12 | 2006-06-27 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive film device, and manufacturing method of the device |
| US7267840B2 (en) | 2002-08-02 | 2007-09-11 | Ngk Insulators, Ltd. | Manufacturing method of piezoelectric/electrostrictive film type device |
| KR101158353B1 (ko) * | 2010-10-18 | 2012-06-22 | 주식회사 케이씨텍 | 대면적 기판의 도포액 도포장치 |
| JP2013507787A (ja) * | 2009-10-12 | 2013-03-04 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. | 圧電部材の欠陥の修復 |
-
1999
- 1999-01-26 JP JP1743399A patent/JP2000210615A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7019438B2 (en) | 2002-06-21 | 2006-03-28 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive film device |
| US7067961B2 (en) | 2002-07-12 | 2006-06-27 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive film device, and manufacturing method of the device |
| US7267840B2 (en) | 2002-08-02 | 2007-09-11 | Ngk Insulators, Ltd. | Manufacturing method of piezoelectric/electrostrictive film type device |
| JP2013507787A (ja) * | 2009-10-12 | 2013-03-04 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. | 圧電部材の欠陥の修復 |
| KR101158353B1 (ko) * | 2010-10-18 | 2012-06-22 | 주식회사 케이씨텍 | 대면적 기판의 도포액 도포장치 |
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