JP2000218792A - インクジェットヘッド - Google Patents
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- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 歩留まりが悪く、コストが高い。
【解決手段】 流路ノズル板１はインク滴を吐出するた
めの複数のノズル４及び各ノズル４が連通するインク液
室６の側壁の一部を形成する凹部１１を形成した金属材
料からなる一体構造をなす。
めの複数のノズル４及び各ノズル４が連通するインク液
室６の側壁の一部を形成する凹部１１を形成した金属材
料からなる一体構造をなす。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットヘッ
ドに関し、特にノズル及びインク液室を金属材料の一体
構造で形成したインクジェットヘッドに関する。
ドに関し、特にノズル及びインク液室を金属材料の一体
構造で形成したインクジェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、プリンタ、ファクシミリ、複写
装置等の画像形成装置として用いるインクジェット記録
装置において用いるインクジェットヘッドとして、イン
ク滴を吐出する複数のノズルと、各ノズルが連通するイ
ンク液室（吐出室、加圧液室、インク流路、加圧室、圧
力室などとも称される。）を形成する流路形成部材と、
各インク液室内のインクを加圧してノズルからインク滴
を吐出させるためのエネルギーを発生する圧電素子等の
電気機械変換素子、或いはヒータ等の電気熱変換素子、
若しくは電極などの静電気力発生手段などからなるエネ
ルギー発生手段（アクチュエータ）とを備え、このアク
チュエータを画像情報に応じて駆動することで所要のノ
ズルからインク滴を吐出させて画像を記録する。
装置等の画像形成装置として用いるインクジェット記録
装置において用いるインクジェットヘッドとして、イン
ク滴を吐出する複数のノズルと、各ノズルが連通するイ
ンク液室（吐出室、加圧液室、インク流路、加圧室、圧
力室などとも称される。）を形成する流路形成部材と、
各インク液室内のインクを加圧してノズルからインク滴
を吐出させるためのエネルギーを発生する圧電素子等の
電気機械変換素子、或いはヒータ等の電気熱変換素子、
若しくは電極などの静電気力発生手段などからなるエネ
ルギー発生手段（アクチュエータ）とを備え、このアク
チュエータを画像情報に応じて駆動することで所要のノ
ズルからインク滴を吐出させて画像を記録する。
【０００３】このようにインクジェットヘッドにおい
て、従来からノズルを形成するノズル形成部材やインク
液室を形成する流路形成部材、並びにノズル穴の形成方
法やインク液室の形成方法としては、従来から種々のも
のが提案されている。例えば、特開平３−２８６８７０
号公報に記載されているように、インク液室を形成する
流路形成部材とノズルを形成したノズル基板とを熱拡散
法によって接合してノズル形成基板を得るようにしたイ
ンクジェットヘッドが提案されている。
て、従来からノズルを形成するノズル形成部材やインク
液室を形成する流路形成部材、並びにノズル穴の形成方
法やインク液室の形成方法としては、従来から種々のも
のが提案されている。例えば、特開平３−２８６８７０
号公報に記載されているように、インク液室を形成する
流路形成部材とノズルを形成したノズル基板とを熱拡散
法によって接合してノズル形成基板を得るようにしたイ
ンクジェットヘッドが提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たようにインク液室を形成する流路形成部材とノズルを
形成したノズル基板とを熱拡散法によって接合する場
合、ノズル基板は板厚が薄くてハンドリング性が悪く、
また電析応力によるノズル基板の変形が生じ易く、大面
積の接合を行う工程が容易でないうえ、接合位置合わ
せ、拡散接合等の工程が長くなり、歩留まりが悪く、プ
ロセスコストが高くなる。
たようにインク液室を形成する流路形成部材とノズルを
形成したノズル基板とを熱拡散法によって接合する場
合、ノズル基板は板厚が薄くてハンドリング性が悪く、
また電析応力によるノズル基板の変形が生じ易く、大面
積の接合を行う工程が容易でないうえ、接合位置合わ
せ、拡散接合等の工程が長くなり、歩留まりが悪く、プ
ロセスコストが高くなる。
【０００５】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、歩留まりを向上し、コストを低減することを目的
とする。
あり、歩留まりを向上し、コストを低減することを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１のインクジェットヘッドは、ノズル及びイ
ンク液室の少なくとも一部を金属材料からなる一体構造
の流路ノズル部材で形成した構成とした。
め、請求項１のインクジェットヘッドは、ノズル及びイ
ンク液室の少なくとも一部を金属材料からなる一体構造
の流路ノズル部材で形成した構成とした。
【０００７】請求項２のインクジェットヘッドは、上記
請求項１のインクジェットヘッドにおいて、前記流路ノ
ズル部材はノズルが電析で形成され、インク液室がエッ
チングで形成されている構成とした。
請求項１のインクジェットヘッドにおいて、前記流路ノ
ズル部材はノズルが電析で形成され、インク液室がエッ
チングで形成されている構成とした。
【０００８】請求項３のインクジェットヘッドは、上記
請求項１又は２のインクジェットヘッドにおいて、前記
流路ノズル部材には前記インク液室にインクを供給する
流体抵抗を有するインク供給路が形成されている構成と
した。
請求項１又は２のインクジェットヘッドにおいて、前記
流路ノズル部材には前記インク液室にインクを供給する
流体抵抗を有するインク供給路が形成されている構成と
した。
【０００９】請求項４のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至３のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記流路ノズル部材のノズル面には撥水処理層が
形成されている構成とした。
請求項１乃至３のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記流路ノズル部材のノズル面には撥水処理層が
形成されている構成とした。
【００１０】請求項５のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至４のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記流路ノズル部材には別体で形成された流路基
板が接合されている構成とした。
請求項１乃至４のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記流路ノズル部材には別体で形成された流路基
板が接合されている構成とした。
【００１１】請求項６のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至５のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記流路基板には前記インク液室にインクを供給
する流体抵抗を有するインク供給路が形成されている構
成とした。
請求項１乃至５のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記流路基板には前記インク液室にインクを供給
する流体抵抗を有するインク供給路が形成されている構
成とした。
【００１２】請求項７のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至６のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて前記流路ノズル部材にはめっき処理が施されている
構成とした。
請求項１乃至６のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて前記流路ノズル部材にはめっき処理が施されている
構成とした。
【００１３】請求項８のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至７のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記流路ノズル部材と前記インク液室を加圧する
アクチュエータ部材とが接合用金属層を介して拡散接合
されている構成とした。
請求項１乃至７のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記流路ノズル部材と前記インク液室を加圧する
アクチュエータ部材とが接合用金属層を介して拡散接合
されている構成とした。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１は本発明に係るインクジ
ェットヘッドの模式的断面図である。このインクジェッ
トヘッドは、流路ノズル部材１と、この流路ノズル部材
１とは別体で形成した流路基板２と、アクチュエータ基
板３とを接合してなり、ノズル４と、各ノズル４が連通
するインク液室６と、各インク液室６にインクを供給す
るインク供給路となる流体抵抗部７と、各インク液室６
に流体抵抗部７を介してインクを供給する共通インク流
路８を形成している。
図面を参照して説明する。図１は本発明に係るインクジ
ェットヘッドの模式的断面図である。このインクジェッ
トヘッドは、流路ノズル部材１と、この流路ノズル部材
１とは別体で形成した流路基板２と、アクチュエータ基
板３とを接合してなり、ノズル４と、各ノズル４が連通
するインク液室６と、各インク液室６にインクを供給す
るインク供給路となる流体抵抗部７と、各インク液室６
に流体抵抗部７を介してインクを供給する共通インク流
路８を形成している。
【００１５】ここで、流路ノズル板１はインク滴を吐出
するための複数のノズル４及び各ノズル４が連通するイ
ンク液室６の側壁の一部を形成する凹部１１を形成した
金属材料からなる一体構造をなし、例えばノズル４は電
析で形成し、凹部１１はエッチングで形成している。
するための複数のノズル４及び各ノズル４が連通するイ
ンク液室６の側壁の一部を形成する凹部１１を形成した
金属材料からなる一体構造をなし、例えばノズル４は電
析で形成し、凹部１１はエッチングで形成している。
【００１６】そして、この流路ノズル板１のノズル面に
は撥水処理層１２を形成している。この撥水処理層１２
は、例えば、ＰＴＦＥ−Ｎi共析メッキやフッ素樹脂の
電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂（例えばフッ化ピッ
チなど）を蒸着コートしたもの、シリコン系樹脂・フッ
素系樹脂の溶剤塗布後の焼き付け等で形成できる。
は撥水処理層１２を形成している。この撥水処理層１２
は、例えば、ＰＴＦＥ−Ｎi共析メッキやフッ素樹脂の
電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂（例えばフッ化ピッ
チなど）を蒸着コートしたもの、シリコン系樹脂・フッ
素系樹脂の溶剤塗布後の焼き付け等で形成できる。
【００１７】流路基板２は、インク液室６の一部を形成
する貫通部１３と、流体抵抗部７を形成する溝部１４、
及び共通インク流路８の側壁を形成する貫通部１５を形
成している。この流路基板２は予めエッチングにより貫
通部１３、１５及び溝部１４を形成してあり、流路ノズ
ル部材１と接合する。
する貫通部１３と、流体抵抗部７を形成する溝部１４、
及び共通インク流路８の側壁を形成する貫通部１５を形
成している。この流路基板２は予めエッチングにより貫
通部１３、１５及び溝部１４を形成してあり、流路ノズ
ル部材１と接合する。
【００１８】そして、流路基板２とアクチュエータ基板
３とは接合用金属層１６を介して接合している。このア
クチュエータ基板３としては、インク液室６内のインク
を加圧するためのエネルギーを発生する例えば圧電素子
などの電気機械変換素子１７を備えている。なお、アク
チュエータとしてはこれに限らず、発熱抵抗体を用いる
もの、或いは振動板と電極との静電力を用いるものなど
にも適用することができる。
３とは接合用金属層１６を介して接合している。このア
クチュエータ基板３としては、インク液室６内のインク
を加圧するためのエネルギーを発生する例えば圧電素子
などの電気機械変換素子１７を備えている。なお、アク
チュエータとしてはこれに限らず、発熱抵抗体を用いる
もの、或いは振動板と電極との静電力を用いるものなど
にも適用することができる。
【００１９】このようにノズル及びインク液室の少なく
とも一部を金属材料からなる一体構造の流路ノズル部材
で形成することで、基板合わせや接合の必要がなくな
り、歩留まりが向上して低コスト化を図れる。また、イ
ンク滴吐出に大きな影響を与えるノズル周りの流路液室
形状を良好に保ち、すり鉢状にインク液室をノズルに向
けて絞り込むような形状に形成できて液滴吐出効率を向
上させることができ、更に高分子等の接着層を介在して
いないことからも吐出効率の向上を図れる。
とも一部を金属材料からなる一体構造の流路ノズル部材
で形成することで、基板合わせや接合の必要がなくな
り、歩留まりが向上して低コスト化を図れる。また、イ
ンク滴吐出に大きな影響を与えるノズル周りの流路液室
形状を良好に保ち、すり鉢状にインク液室をノズルに向
けて絞り込むような形状に形成できて液滴吐出効率を向
上させることができ、更に高分子等の接着層を介在して
いないことからも吐出効率の向上を図れる。
【００２０】そこで、このインクジェットヘッドの各部
品の製造工程について図２以降をも参照して説明する。
まず、図２（ａ）に示すように、薄膜金属板２１の一面
にノズル位置に対応するフォトレジストパターン２２を
形成し、他面にインク液室位置に対応する開口を有する
フォトレジストパターン２３を形成した後、同図（ｂ）
に示すように、薄膜金属板２１のフォトレジストパター
ン２２を形成した面に金属を電析させて薄膜金属板２１
と一体の金属薄膜２４を成膜する。
品の製造工程について図２以降をも参照して説明する。
まず、図２（ａ）に示すように、薄膜金属板２１の一面
にノズル位置に対応するフォトレジストパターン２２を
形成し、他面にインク液室位置に対応する開口を有する
フォトレジストパターン２３を形成した後、同図（ｂ）
に示すように、薄膜金属板２１のフォトレジストパター
ン２２を形成した面に金属を電析させて薄膜金属板２１
と一体の金属薄膜２４を成膜する。
【００２１】次いで、同図（ｃ）に示すように、薄膜金
属板２１のフォトレジストパターン２３を形成した面に
エッチングを施してインク液室６を形成する凹部１１を
形成する。その後、同図（ｄ）に示すように、フォトレ
ジストパターン２２、２３を除去することによって、流
路ノズル板１を得ることができる。
属板２１のフォトレジストパターン２３を形成した面に
エッチングを施してインク液室６を形成する凹部１１を
形成する。その後、同図（ｄ）に示すように、フォトレ
ジストパターン２２、２３を除去することによって、流
路ノズル板１を得ることができる。
【００２２】このように流路ノズル板のノズルは電析で
形成し、インク液室はエッチングで形成することによっ
て、ノズル形状精度を高精度に保ちながら低コストでノ
ズルとインク液室が金属一体構造をなす流路ノズル板を
得ることができる。
形成し、インク液室はエッチングで形成することによっ
て、ノズル形状精度を高精度に保ちながら低コストでノ
ズルとインク液室が金属一体構造をなす流路ノズル板を
得ることができる。
【００２３】また、ノズル面に撥水処理層を形成する場
合には、図３（ａ）に示すように、薄膜金属板２１に一
面にノズル位置に対応するフォトレジストパターン２２
を形成し、他面にフォトレジストパターン２６を形成し
た後、同図（ｂ）に示すように、薄膜金属板２１のフォ
トレジストパターン２２を形成した面に金属を電析させ
て薄膜金属板２１と一体の金属薄膜２４を成膜し、更に
同図（ｃ）に示すように、電析後金属薄膜２４表面に表
面処理層１２を成膜する。
合には、図３（ａ）に示すように、薄膜金属板２１に一
面にノズル位置に対応するフォトレジストパターン２２
を形成し、他面にフォトレジストパターン２６を形成し
た後、同図（ｂ）に示すように、薄膜金属板２１のフォ
トレジストパターン２２を形成した面に金属を電析させ
て薄膜金属板２１と一体の金属薄膜２４を成膜し、更に
同図（ｃ）に示すように、電析後金属薄膜２４表面に表
面処理層１２を成膜する。
【００２４】次いで、同図（ｄ）に示すように、薄膜金
属板２１の他面にインク液室に対応する開口を有するフ
ォトレジストパターン２３を形成した面にエッチングを
施してインク液室６を形成する凹部１１を形成する。そ
の後、同図（ｅ）に示すように、フォトレジストパター
ン２２、２３を除去することによって、ノズル面に表面
処理層１２を有する流路ノズル板１を得ることができ
る。
属板２１の他面にインク液室に対応する開口を有するフ
ォトレジストパターン２３を形成した面にエッチングを
施してインク液室６を形成する凹部１１を形成する。そ
の後、同図（ｅ）に示すように、フォトレジストパター
ン２２、２３を除去することによって、ノズル面に表面
処理層１２を有する流路ノズル板１を得ることができ
る。
【００２５】その後、同図（ｆ）に示すように、インク
液室６の一部を形成する貫通部１３と、流体抵抗部７を
形成する溝部１４、及び共通インク流路８の側壁を形成
する貫通部１５を形成した流路基板２を接合する。
液室６の一部を形成する貫通部１３と、流体抵抗部７を
形成する溝部１４、及び共通インク流路８の側壁を形成
する貫通部１５を形成した流路基板２を接合する。
【００２６】このように、流路ノズル板１に別に形成し
た流路基板２を接合してインク液室を含む流路を形成す
ることにより、接合する流路基板２は両面エッチングが
行えるようになるので、高精度のエッチングパターンを
得ることができる。また、流路ノズル板１を薄くするこ
とができてエッチング精度が向上し、高密度の流路ノズ
ル板を得ることができる。
た流路基板２を接合してインク液室を含む流路を形成す
ることにより、接合する流路基板２は両面エッチングが
行えるようになるので、高精度のエッチングパターンを
得ることができる。また、流路ノズル板１を薄くするこ
とができてエッチング精度が向上し、高密度の流路ノズ
ル板を得ることができる。
【００２７】さらに、１枚の流路ノズル板１でインク液
室６を形成した場合には図４（ａ）に示すようにエッチ
ングの広がりが大きくなるのに対して、同図（ｂ）に示
すようにエッチングの広がりを小さくすることができ
る。また、接合する流路基板２は両面エッチングやプレ
ス等で形成することができるので、低コストでよりイン
ク流れのスムーズなインク流路を形成できる。
室６を形成した場合には図４（ａ）に示すようにエッチ
ングの広がりが大きくなるのに対して、同図（ｂ）に示
すようにエッチングの広がりを小さくすることができ
る。また、接合する流路基板２は両面エッチングやプレ
ス等で形成することができるので、低コストでよりイン
ク流れのスムーズなインク流路を形成できる。
【００２８】次に、流路ノズル板１の他の例について図
５及び図６を参照して説明する。図５に示す流路ノズル
板１は単層でインク液室６となる凹部３１と、流体抵抗
部７となる溝部３２と、共通インク流路８となる貫通部
３３を形成したものである。これにより安価で高機能の
流路ノズル板を得ることができる。
５及び図６を参照して説明する。図５に示す流路ノズル
板１は単層でインク液室６となる凹部３１と、流体抵抗
部７となる溝部３２と、共通インク流路８となる貫通部
３３を形成したものである。これにより安価で高機能の
流路ノズル板を得ることができる。
【００２９】また、図６に示す流路ノズル板１は単層で
インク液室６となる凹部３１等を形成するものである
が、ここでは表面に鍍金膜３４を成膜している。これに
よって耐インク性が向上する。
インク液室６となる凹部３１等を形成するものである
が、ここでは表面に鍍金膜３４を成膜している。これに
よって耐インク性が向上する。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１のインク
ジェットヘッドによれば、ノズル及びインク液室の少な
くとも一部を金属一体構造の流路ノズル部材で形成した
ので、高吐出効率のインクジェットヘッドを歩留まり良
く低コストで得ることができる。
ジェットヘッドによれば、ノズル及びインク液室の少な
くとも一部を金属一体構造の流路ノズル部材で形成した
ので、高吐出効率のインクジェットヘッドを歩留まり良
く低コストで得ることができる。
【００３１】請求項２のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１のインクジェットヘッドにおいて、流
路ノズル部材はノズルが電析で形成され、インク液室が
エッチングで形成されている構成としたので、高精度の
ノズルを有する流路ノズル部材を低コストで得ることが
できる。
ば、上記請求項１のインクジェットヘッドにおいて、流
路ノズル部材はノズルが電析で形成され、インク液室が
エッチングで形成されている構成としたので、高精度の
ノズルを有する流路ノズル部材を低コストで得ることが
できる。
【００３２】請求項３のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１又は２のインクジェットヘッドにおい
て、流路ノズル部材にはインク液室にインクを供給する
流体抵抗を有するインク供給路が形成されている構成と
したので、安価で高機能のインクジェットヘッドを得る
ことができる。
ば、上記請求項１又は２のインクジェットヘッドにおい
て、流路ノズル部材にはインク液室にインクを供給する
流体抵抗を有するインク供給路が形成されている構成と
したので、安価で高機能のインクジェットヘッドを得る
ことができる。
【００３３】請求項４のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至３のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、流路ノズル部材のノズル面には撥水処理
層が形成されている構成としたので、インク滴噴射特性
に優れたインクジェットヘッドを得られる。
ば、上記請求項１乃至３のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、流路ノズル部材のノズル面には撥水処理
層が形成されている構成としたので、インク滴噴射特性
に優れたインクジェットヘッドを得られる。
【００３４】請求項５のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至４のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、流路ノズル部材には別体で形成された流
路基板が接合されている構成としたので、高密度ノズル
を有する流路ノズル部材を得られる。
ば、上記請求項１乃至４のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、流路ノズル部材には別体で形成された流
路基板が接合されている構成としたので、高密度ノズル
を有する流路ノズル部材を得られる。
【００３５】請求項６のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至５のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、流路基板にはインク液室にインクを供給
する流体抵抗を有するインク供給路が形成されている構
成としたので、より高機能なインクジェットヘッドを得
ることができる。
ば、上記請求項１乃至５のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、流路基板にはインク液室にインクを供給
する流体抵抗を有するインク供給路が形成されている構
成としたので、より高機能なインクジェットヘッドを得
ることができる。
【００３６】請求項７のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至６のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて流路ノズル部材にはめっき処理が施されて
いる構成としたので、耐インク性が向上する。
ば、上記請求項１乃至６のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて流路ノズル部材にはめっき処理が施されて
いる構成としたので、耐インク性が向上する。
【００３７】請求項８のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至７のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、流路ノズル部材とインク液室を加圧する
アクチュエータ部材とが接合用金属層を介して拡散接合
されている構成としたので、アクチュエータ部材を確実
に接合することができる。
ば、上記請求項１乃至７のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、流路ノズル部材とインク液室を加圧する
アクチュエータ部材とが接合用金属層を介して拡散接合
されている構成としたので、アクチュエータ部材を確実
に接合することができる。
【図１】本発明を適用したインクジェットヘッドの模式
的説明図
的説明図
【図２】流路ノズル板の製造工程を説明する説明図
【図３】流路ノズル板の他の製造工程を説明する説明図
【図４】流路ノズル板の単層構造と流路基板と接合した
複層構造のエッチングの広がりを説明する説明図
複層構造のエッチングの広がりを説明する説明図
【図５】流路ノズル板の他の例を説明する模式的断面図
【図６】流路ノズル板の更に他の例を説明する模式的断
面図
面図
１…流路ノズル板、２…流路基板、３…アクチュエータ
基板、４…ノズル、６…インク液室、７…流体抵抗部、
８…共通インク流路。
基板、４…ノズル、６…インク液室、７…流体抵抗部、
８…共通インク流路。
Claims (8)
- 【請求項１】 複数のノズルと、各ノズルが連通するイ
ンク液室とを有し、このインク液室内のインクを加圧す
ることで前記ノズルからインク滴を吐出させるインクジ
ェットヘッドにおいて、前記ノズル及びインク液室の少
なくとも一部を金属材料からなる一体構造の流路ノズル
部材で形成したことを特徴とするインクジェットヘッ
ド。 - 【請求項２】 請求項１に記載のインクジェットヘッド
において、前記流路ノズル部材はノズルが電析で形成さ
れ、インク液室がエッチングで形成されていることを特
徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載のインクジェット
ヘッドにおいて、前記流路ノズル部材には前記インク液
室にインクを供給する流体抵抗を有するインク供給路が
形成されていることを特徴とするインクジェットヘッ
ド。 - 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれかに記載のイン
クジェットヘッドにおいて、前記流路ノズル部材のノズ
ル面には撥水処理層が形成されていることを特徴とする
インクジェットヘッド。 - 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれかに記載のイン
クジェットヘッドにおいて、前記流路ノズル部材には別
体で形成された流路基板が接合されていることを特徴と
するインクジェットヘッド。 - 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれかに記載のイン
クジェットヘッドにおいて、前記流路基板には前記イン
ク液室にインクを供給する流体抵抗を有するインク供給
路が形成されていることを特徴とするインクジェットヘ
ッド。 - 【請求項７】 請求項１乃至６のいずれかに記載のイン
クジェットヘッドにおいて前記流路ノズル部材にはめっ
き処理が施されていることを特徴とするインクジェット
ヘッド。 - 【請求項８】 請求項１乃至７のいずれかに記載のイン
クジェットヘッドにおいて、前記流路ノズル部材と前記
インク液室を加圧するアクチュエータ部材とが接合用金
属層を介して拡散接合されていることを特徴とするイン
クジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2563899A JP2000218792A (ja) | 1999-02-03 | 1999-02-03 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2563899A JP2000218792A (ja) | 1999-02-03 | 1999-02-03 | インクジェットヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000218792A true JP2000218792A (ja) | 2000-08-08 |
Family
ID=12171402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2563899A Withdrawn JP2000218792A (ja) | 1999-02-03 | 1999-02-03 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000218792A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007307774A (ja) * | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、画像形成装置 |
| US7568785B2 (en) | 2003-06-27 | 2009-08-04 | Sharp Kabushiki Kaisha | Nozzle plate and method of manufacturing the same |
| US8025361B2 (en) | 2007-11-20 | 2011-09-27 | Seiko Epson Corporation | Liquid jet head and liquid jet apparatus |
| US8141983B2 (en) | 2007-02-09 | 2012-03-27 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid jet head and image forming apparatus |
-
1999
- 1999-02-03 JP JP2563899A patent/JP2000218792A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7568785B2 (en) | 2003-06-27 | 2009-08-04 | Sharp Kabushiki Kaisha | Nozzle plate and method of manufacturing the same |
| JP2007307774A (ja) * | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、画像形成装置 |
| US8141983B2 (en) | 2007-02-09 | 2012-03-27 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid jet head and image forming apparatus |
| US8025361B2 (en) | 2007-11-20 | 2011-09-27 | Seiko Epson Corporation | Liquid jet head and liquid jet apparatus |
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