JP2000219568A - セラミックス物品 - Google Patents
セラミックス物品Info
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- JP2000219568A JP2000219568A JP11329935A JP32993599A JP2000219568A JP 2000219568 A JP2000219568 A JP 2000219568A JP 11329935 A JP11329935 A JP 11329935A JP 32993599 A JP32993599 A JP 32993599A JP 2000219568 A JP2000219568 A JP 2000219568A
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- ceramics
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- infrared ray
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 可視光に対して不透明でありながら、容易
に、しかも効率よく内部構造の測定や検査が行える管状
又は棒状のセラミックス物品を提供する。 【解決手段】 可視光に対して不透明な管状又は棒状の
セラミックス物品において、空気中から入射する波長１
５５０ｎｍの赤外線の厚さ１ｍｍにおける透過率が４５
％以上、好ましくは６０％以上である赤外線透過セラミ
ックスからなることを特徴とする。
に、しかも効率よく内部構造の測定や検査が行える管状
又は棒状のセラミックス物品を提供する。 【解決手段】 可視光に対して不透明な管状又は棒状の
セラミックス物品において、空気中から入射する波長１
５５０ｎｍの赤外線の厚さ１ｍｍにおける透過率が４５
％以上、好ましくは６０％以上である赤外線透過セラミ
ックスからなることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、管状又は棒状のセ
ラミックス物品に関するものである。
ラミックス物品に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】セラミックス材料は諸工業において幅広
く使用されている。特に微細な内孔を有する精密毛細管
をはじめとして、精密な形状の管状又は棒状のセラミッ
クス部品が、光学部品や電子部品、あるいはそれらの固
定部材、案内部材、整列部材、補強部材、被覆部材、接
続部材等として数多く製品化されている。このような精
密部品の製造においては、内孔寸法等の内部寸法を精度
良く測定することや、気泡やクラック等の内部欠陥を検
出することが重要な課題となっている。
く使用されている。特に微細な内孔を有する精密毛細管
をはじめとして、精密な形状の管状又は棒状のセラミッ
クス部品が、光学部品や電子部品、あるいはそれらの固
定部材、案内部材、整列部材、補強部材、被覆部材、接
続部材等として数多く製品化されている。このような精
密部品の製造においては、内孔寸法等の内部寸法を精度
良く測定することや、気泡やクラック等の内部欠陥を検
出することが重要な課題となっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】可視光に対して透明な
材料の場合、光学的な測定機器を用いれば、内部寸法の
測定や欠陥の検出が容易に行える。しかしながら、一般
にセラミックス材料は可視光に対して不透明であるた
め、このような手段を用いることができない。
材料の場合、光学的な測定機器を用いれば、内部寸法の
測定や欠陥の検出が容易に行える。しかしながら、一般
にセラミックス材料は可視光に対して不透明であるた
め、このような手段を用いることができない。
【０００４】そのため、寸法精度の測定には各種精密ゲ
ージ類を使用せざるを得ず、ゲージの届かない内部の測
定が行えないことや、測定に手間がかかるといった問題
がある。また、内部欠陥の検出には超音波や放射線を用
いる方法等がしばしば行われるが、これらの方法はいず
れも測定装置が複雑であったり、検査の効率が低いとい
う問題がある。
ージ類を使用せざるを得ず、ゲージの届かない内部の測
定が行えないことや、測定に手間がかかるといった問題
がある。また、内部欠陥の検出には超音波や放射線を用
いる方法等がしばしば行われるが、これらの方法はいず
れも測定装置が複雑であったり、検査の効率が低いとい
う問題がある。
【０００５】本発明の目的は、可視光に対して不透明で
ありながら、容易に、しかも効率よく内部構造の測定や
検査が行える管状又は棒状のセラミックス物品を提供す
ることである。
ありながら、容易に、しかも効率よく内部構造の測定や
検査が行える管状又は棒状のセラミックス物品を提供す
ることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記課題
を解決するために鋭意研究を重ねた結果、セラミックス
の中には可視光に対して不透明であっても赤外線には透
明なものがあること、及びこのような赤外線透過セラミ
ックスを使用して作製した管状物や棒状物は、赤外線を
利用することによって容易に内部構造の測定や検査が行
えることを見いだし、本発明を提案するに至った。
を解決するために鋭意研究を重ねた結果、セラミックス
の中には可視光に対して不透明であっても赤外線には透
明なものがあること、及びこのような赤外線透過セラミ
ックスを使用して作製した管状物や棒状物は、赤外線を
利用することによって容易に内部構造の測定や検査が行
えることを見いだし、本発明を提案するに至った。
【０００７】即ち、本発明のセラミックス物品は、可視
光に対して不透明な管状又は棒状のセラミックス物品に
おいて、空気中から入射する波長１５５０ｎｍの赤外線
の厚さ１ｍｍにおける透過率が４５％以上、好ましくは
６０％以上である赤外線透過セラミックスからなること
を特徴とする。
光に対して不透明な管状又は棒状のセラミックス物品に
おいて、空気中から入射する波長１５５０ｎｍの赤外線
の厚さ１ｍｍにおける透過率が４５％以上、好ましくは
６０％以上である赤外線透過セラミックスからなること
を特徴とする。
【０００８】なお本発明において、”可視光に対して不
透明”とは、可視光を用いて内部構造の測定や検査を行
うことが困難なものであり、具体的には可視域（３８０
〜７６０ｎｍ）における直進光の平均透過率が厚さ１ｍ
ｍで５０％以下であることを意味する。
透明”とは、可視光を用いて内部構造の測定や検査を行
うことが困難なものであり、具体的には可視域（３８０
〜７６０ｎｍ）における直進光の平均透過率が厚さ１ｍ
ｍで５０％以下であることを意味する。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明のセラミックス物品は、可
視光に対して不透明な赤外線透過セラミックスからな
る。赤外線透過率は、波長１５５０ｎｍにおいて厚さ１
ｍｍで４５％以上である。ここで波長１５５０ｎｍの赤
外線透過率に着目した理由を述べる。測定や検査に赤外
線を用いるには、赤外線レーザーの発光、受光部品が必
要となるが、現在入手可能なものの波長は７９０ｎｍ、
１３１０ｎｍ、１５５０ｎｍ等である。一般に波長が長
くなると測定の分解能が低くなるため、測定精度が低下
するが、セラミックス中を光線が透過するためには波長
は長い方が有利である。本発明者等の研究によれば、波
長１５５０ｎｍの受発光部品を使用すれば、サブミクロ
ンの測定精度を確保しつつ測定に充分な透過光量を得易
いことが分かった。また１５５０ｎｍの赤外線透過率が
厚さ１ｍｍで４５％以上あれば、この波長の赤外線を用
いて精度の良い測定や検査を行うことが可能である。
視光に対して不透明な赤外線透過セラミックスからな
る。赤外線透過率は、波長１５５０ｎｍにおいて厚さ１
ｍｍで４５％以上である。ここで波長１５５０ｎｍの赤
外線透過率に着目した理由を述べる。測定や検査に赤外
線を用いるには、赤外線レーザーの発光、受光部品が必
要となるが、現在入手可能なものの波長は７９０ｎｍ、
１３１０ｎｍ、１５５０ｎｍ等である。一般に波長が長
くなると測定の分解能が低くなるため、測定精度が低下
するが、セラミックス中を光線が透過するためには波長
は長い方が有利である。本発明者等の研究によれば、波
長１５５０ｎｍの受発光部品を使用すれば、サブミクロ
ンの測定精度を確保しつつ測定に充分な透過光量を得易
いことが分かった。また１５５０ｎｍの赤外線透過率が
厚さ１ｍｍで４５％以上あれば、この波長の赤外線を用
いて精度の良い測定や検査を行うことが可能である。
【００１０】なお本発明の物品を測定又は検査する場
合、必ずしも１５５０ｎｍの赤外線を使用する必要はな
い。つまり要求される測定又は検査の精度や、セラミッ
クスの赤外線透過特性等によっては、１５５０ｎｍの赤
外線よりも他の波長の赤外線を使用する方が有利な場合
もあるためである。
合、必ずしも１５５０ｎｍの赤外線を使用する必要はな
い。つまり要求される測定又は検査の精度や、セラミッ
クスの赤外線透過特性等によっては、１５５０ｎｍの赤
外線よりも他の波長の赤外線を使用する方が有利な場合
もあるためである。
【００１１】また本発明のセラミックス物品は、１５５
０ｎｍにおける反射率をＲ、反射係数と吸収係数の和を
μとしたとき、（１−Ｒ）2 ≧０．８４、かつ、μ≦
０．７／ｍｍの条件を満たすことが好ましい。その理由
を以下に示す。
０ｎｍにおける反射率をＲ、反射係数と吸収係数の和を
μとしたとき、（１−Ｒ）2 ≧０．８４、かつ、μ≦
０．７／ｍｍの条件を満たすことが好ましい。その理由
を以下に示す。
【００１２】透過率Ｔと肉厚Ｌとの関係は、Ｔ＝Ａｅｘ
ｐ（−μＬ）の式で表される。なお定数Ａは（１−Ｒ）
2 で置き換えられる。この式から明らかなように、材料
の肉厚Ｌが一定の時、透過率は定数Ａ及びμによって決
まる。肉厚Ｌが１ｍｍのときに透過率Ｔが４５％以上と
なるようなＡとμの組み合わせは無数にあるが、Ａが
０．８４より小さい場合、又はμが０．７／ｍｍより大
きい場合、肉厚Ｌが大きい場合の透過率の減少が著し
い。このためこのような材料からなる物品は、１５５０
ｎｍの赤外線で測定・検査できる範囲が肉厚の小さいも
のに限られてしまい、実用的でない。
ｐ（−μＬ）の式で表される。なお定数Ａは（１−Ｒ）
2 で置き換えられる。この式から明らかなように、材料
の肉厚Ｌが一定の時、透過率は定数Ａ及びμによって決
まる。肉厚Ｌが１ｍｍのときに透過率Ｔが４５％以上と
なるようなＡとμの組み合わせは無数にあるが、Ａが
０．８４より小さい場合、又はμが０．７／ｍｍより大
きい場合、肉厚Ｌが大きい場合の透過率の減少が著し
い。このためこのような材料からなる物品は、１５５０
ｎｍの赤外線で測定・検査できる範囲が肉厚の小さいも
のに限られてしまい、実用的でない。
【００１３】なお、上記赤外線透過セラミックスは、具
体的には狭義のセラミックス（アルミナ、ジルコニア
等）に限られるものではなく、ガラス（乳白ガラス、着
色ガラス等）、ガラスセラミックス等を含む広義のセラ
ミックスからなる。これら材料の赤外線透過率の調節
は、種々の方法により行うことができる。例えば、狭義
のセラミックスやガラスセラミックスでは析出結晶の粒
径やマトリックス相との屈折率の差を、また乳白ガラス
では分相により生じる異種粒子の粒径や各相の屈折率の
差をそれぞれ制御すること等により赤外線透過率を調節
することができる。
体的には狭義のセラミックス（アルミナ、ジルコニア
等）に限られるものではなく、ガラス（乳白ガラス、着
色ガラス等）、ガラスセラミックス等を含む広義のセラ
ミックスからなる。これら材料の赤外線透過率の調節
は、種々の方法により行うことができる。例えば、狭義
のセラミックスやガラスセラミックスでは析出結晶の粒
径やマトリックス相との屈折率の差を、また乳白ガラス
では分相により生じる異種粒子の粒径や各相の屈折率の
差をそれぞれ制御すること等により赤外線透過率を調節
することができる。
【００１４】各材料の製造方法を以下に述べる。
【００１５】狭義のセラミックスの場合、例えばジルコ
ニアのように結晶系が正方晶系に属するものや、アルミ
ナのように六方晶系でも複屈折が小さな結晶を、ホット
プレス法等によって１３００〜１８００℃で成形し、気
泡をできるだけ少なくなるように焼結させればよい。
ニアのように結晶系が正方晶系に属するものや、アルミ
ナのように六方晶系でも複屈折が小さな結晶を、ホット
プレス法等によって１３００〜１８００℃で成形し、気
泡をできるだけ少なくなるように焼結させればよい。
【００１６】ガラスセラミックス材料の場合、例えば重
量％でＳｉＯ2 ６０〜７５％、Ａｌ2Ｏ3 １５〜２８
％、Ｌｉ2Ｏ １．８〜５％、Ｋ2Ｏ ０〜１０％、Ｔｉ
Ｏ2１．５〜５％、ＺｒＯ2 ０〜４％を含有するガラス
を９００〜１２５０℃の範囲で熱処理し結晶化させ、β
−石英固溶体やβ−スポジュメン固溶体等を析出させた
ものや、ＳｉＯ2 ５０〜８０％、Ｌｉ2Ｏ ８〜１３
％、Ｐ2Ｏ5 １〜４％、Ａｌ2Ｏ3 １〜１１％、ＺｎＯ
０〜７％、Ｋ2Ｏ ０〜６％を含有するガラスを８０
０〜１１００℃で結晶化させ、珪酸リチウム、クオー
ツ、クリストバライト等を析出させたものが使用でき
る。これらのガラスセラミックスは、殆どの場合、結晶
相とガラス相が混在しているが、結晶相とマトリックス
相の屈折率差を小さくするために、ガラス中に金属元
素、半導体元素等を添加剤として加えておくことで赤外
線の透過率を向上させることができる。なお、ここでは
結晶相とガラス相の存在比を考慮する必要はない。
量％でＳｉＯ2 ６０〜７５％、Ａｌ2Ｏ3 １５〜２８
％、Ｌｉ2Ｏ １．８〜５％、Ｋ2Ｏ ０〜１０％、Ｔｉ
Ｏ2１．５〜５％、ＺｒＯ2 ０〜４％を含有するガラス
を９００〜１２５０℃の範囲で熱処理し結晶化させ、β
−石英固溶体やβ−スポジュメン固溶体等を析出させた
ものや、ＳｉＯ2 ５０〜８０％、Ｌｉ2Ｏ ８〜１３
％、Ｐ2Ｏ5 １〜４％、Ａｌ2Ｏ3 １〜１１％、ＺｎＯ
０〜７％、Ｋ2Ｏ ０〜６％を含有するガラスを８０
０〜１１００℃で結晶化させ、珪酸リチウム、クオー
ツ、クリストバライト等を析出させたものが使用でき
る。これらのガラスセラミックスは、殆どの場合、結晶
相とガラス相が混在しているが、結晶相とマトリックス
相の屈折率差を小さくするために、ガラス中に金属元
素、半導体元素等を添加剤として加えておくことで赤外
線の透過率を向上させることができる。なお、ここでは
結晶相とガラス相の存在比を考慮する必要はない。
【００１７】ガラス材料の場合、例えば重量％でＳｉＯ
2 ６０〜７０％、Ａｌ2Ｏ3 ３〜１４％、Ｂ2Ｏ3 １
〜４％、ＢａＯ １〜３％、ＺｎＯ ０〜５％、Ｎａ2
Ｏ１０〜２２％を含む分相乳白ガラスが使用できる。
2 ６０〜７０％、Ａｌ2Ｏ3 ３〜１４％、Ｂ2Ｏ3 １
〜４％、ＢａＯ １〜３％、ＺｎＯ ０〜５％、Ｎａ2
Ｏ１０〜２２％を含む分相乳白ガラスが使用できる。
【００１８】なお何れの場合においても、良好な赤外線
透過特性を得るためには、析出結晶や異種粒子の粒径を
３μｍ以下にすることが好ましく、屈折率差もできるだ
け小さい方が好ましい。またガラスやガラスセラミック
スの場合、赤外域に吸収をもつ着色イオンの含有量を制
御することによって赤外線透過率を調整することも可能
である。
透過特性を得るためには、析出結晶や異種粒子の粒径を
３μｍ以下にすることが好ましく、屈折率差もできるだ
け小さい方が好ましい。またガラスやガラスセラミック
スの場合、赤外域に吸収をもつ着色イオンの含有量を制
御することによって赤外線透過率を調整することも可能
である。
【００１９】また本発明のセラミックス物品を電子部品
等の精密部品用途に使用する場合、赤外線透過セラミッ
クスとして、ジルコニア、アルミナ等を析出結晶とする
狭義のセラミックスや、β−石英固溶体、β−スポジュ
ウメン固溶体、珪酸リチウム等を析出結晶とするガラス
セラミックスを使用することが望ましい。これらは機械
的、熱的、化学的特性に優れており、精密部品用途に好
適な材料である。
等の精密部品用途に使用する場合、赤外線透過セラミッ
クスとして、ジルコニア、アルミナ等を析出結晶とする
狭義のセラミックスや、β−石英固溶体、β−スポジュ
ウメン固溶体、珪酸リチウム等を析出結晶とするガラス
セラミックスを使用することが望ましい。これらは機械
的、熱的、化学的特性に優れており、精密部品用途に好
適な材料である。
【００２０】
【実施例】以下、実施例に基づいて本発明を説明する。
【００２１】表１は本発明の実施例（試料Ｎｏ．１〜
５）、表２は比較例（試料Ｎｏ．６、７）を示してい
る。
５）、表２は比較例（試料Ｎｏ．６、７）を示してい
る。
【００２２】
【表１】
【００２３】
【表２】
【００２４】まず、表に示した不透明なセラミックス材
料を用意し、直径２．５ｍｍ、長さ１０ｍｍの円柱状に
加工した後、超音波加工によって直径０．１ｍｍの内孔
を形成して毛細管状試料を作成した。
料を用意し、直径２．５ｍｍ、長さ１０ｍｍの円柱状に
加工した後、超音波加工によって直径０．１ｍｍの内孔
を形成して毛細管状試料を作成した。
【００２５】なお試料Ｎｏ．１、２及び６の作製に用い
たセラミックス材料は、Ｌｉ2 Ｏ−Ａｌ2 Ｏ3 −ＳｉＯ
2 系ガラスセラミックスであり、Ｌｉ2 Ｏ−Ａｌ2 Ｏ3
−ＳｉＯ2 系ガラスを、それぞれ９５０℃で２時間、１
０００℃で１時間、１２００℃で２時間熱処理して結晶
化させたものである。試料Ｎｏ．３で用いたセラミック
ス材料は、Ｎａ2 Ｏ−Ａｌ2 Ｏ3 −ＳｉＯ2 系ガラスか
らなる乳白ガラスであり、原料を１５５０℃にて溶融
後、徐冷してガラスを分相させることによって異種粒子
を生成させたものである。試料Ｎｏ．４、５及び７で用
いたセラミックス材料は、アルミナセラミック及びジル
コニアセラミックであり、原料にバインダーを加えて混
練した後、ホットプレス法により焼結させて作製した。
たセラミックス材料は、Ｌｉ2 Ｏ−Ａｌ2 Ｏ3 −ＳｉＯ
2 系ガラスセラミックスであり、Ｌｉ2 Ｏ−Ａｌ2 Ｏ3
−ＳｉＯ2 系ガラスを、それぞれ９５０℃で２時間、１
０００℃で１時間、１２００℃で２時間熱処理して結晶
化させたものである。試料Ｎｏ．３で用いたセラミック
ス材料は、Ｎａ2 Ｏ−Ａｌ2 Ｏ3 −ＳｉＯ2 系ガラスか
らなる乳白ガラスであり、原料を１５５０℃にて溶融
後、徐冷してガラスを分相させることによって異種粒子
を生成させたものである。試料Ｎｏ．４、５及び７で用
いたセラミックス材料は、アルミナセラミック及びジル
コニアセラミックであり、原料にバインダーを加えて混
練した後、ホットプレス法により焼結させて作製した。
【００２６】また表中の赤外線透過率は、波長１５５０
ｎｍのレーザー光を試料に照射し、直進光の透過光量を
測定することによって求めた。平均可視光透過率は、分
光光度計を用いて、試料に３８０〜７６０ｎｍの可視光
を照射して直進光の透過光量を測定することにより求め
た。定数Ａは、試料の屈折率を測定し、次式によって求
めた。ここでｎ1 は空気の屈折率、ｎ2 は試料の屈折率
を示す。
ｎｍのレーザー光を試料に照射し、直進光の透過光量を
測定することによって求めた。平均可視光透過率は、分
光光度計を用いて、試料に３８０〜７６０ｎｍの可視光
を照射して直進光の透過光量を測定することにより求め
た。定数Ａは、試料の屈折率を測定し、次式によって求
めた。ここでｎ1 は空気の屈折率、ｎ2 は試料の屈折率
を示す。
【００２７】 Ｒ＝｛（ｎ1 −ｎ2 ）／（ｎ1 ＋ｎ2 ）｝2 Ａ＝（１−Ｒ）2 定数μは、赤外透過率Ｔ、定数Ａ、試料肉厚Ｌから、次
式によって求めた。
式によって求めた。
【００２８】μ＝ｌｎ（Ａ／Ｔ）／Ｌ 析出結晶又は異種粒子の粒径は、走査型電子顕微鏡を用
いて測定した。
いて測定した。
【００２９】次に、各試料について、赤外線による内孔
測定の可否を評価した。この評価は、まず１５５０ｎｍ
の赤外レーザービームを試料の直径方向に走査させ、各
試料の直径方向の位置に対する透過率分布を測定した。
次にこの透過率分布から、内径部分が明確に特定できる
もの（図１）を○、特定が困難なもの（図２）を×とし
た。
測定の可否を評価した。この評価は、まず１５５０ｎｍ
の赤外レーザービームを試料の直径方向に走査させ、各
試料の直径方向の位置に対する透過率分布を測定した。
次にこの透過率分布から、内径部分が明確に特定できる
もの（図１）を○、特定が困難なもの（図２）を×とし
た。
【００３０】その結果、赤外線透過率の高いセラミック
ス材料を用いて作製した実施例の各試料は、赤外線によ
る内孔測定が可能であった。これに対して赤外線透過率
の低い材料からなる比較例の各試料は、内孔測定が不可
能であった。
ス材料を用いて作製した実施例の各試料は、赤外線によ
る内孔測定が可能であった。これに対して赤外線透過率
の低い材料からなる比較例の各試料は、内孔測定が不可
能であった。
【００３１】これらの事実は、本発明のセラミックス物
品が、１５５０ｎｍの赤外線による内部構造の測定、検
査が可能であることを示している。
品が、１５５０ｎｍの赤外線による内部構造の測定、検
査が可能であることを示している。
【００３２】
【発明の効果】上述のように、本発明のセラミックス物
品は、光学的な手法で内部寸法の測定や、気泡やクラッ
ク等の内部欠陥の検査が行える。このため、欠陥がな
く、しかも精密な寸法精度が要求される光学部品や電子
部品、あるいはそれらの固定部材、案内部材、整列部
材、補強部材、被覆部材、接続部材等の精密部品として
好適である。
品は、光学的な手法で内部寸法の測定や、気泡やクラッ
ク等の内部欠陥の検査が行える。このため、欠陥がな
く、しかも精密な寸法精度が要求される光学部品や電子
部品、あるいはそれらの固定部材、案内部材、整列部
材、補強部材、被覆部材、接続部材等の精密部品として
好適である。
【図１】内孔測定が可能な毛細管状試料の断面透過率分
布を示す説明図である。
布を示す説明図である。
【図２】内孔測定が不可能な毛細管状試料の断面透過率
分布を示す説明図である。
分布を示す説明図である。
Claims (2)
- 【請求項１】 可視光に対して不透明な管状又は棒状の
セラミックス物品において、空気中から入射する波長１
５５０ｎｍの赤外線の厚さ１ｍｍにおける透過率が４５
％以上である赤外線透過セラミックスからなることを特
徴とするセラミックス物品。 - 【請求項２】 １５５０ｎｍにおける反射率をＲ、反射
係数と吸収係数の和をμとしたとき、（１−Ｒ）2 ≧
０．８４、かつ、μ≦０．７／ｍｍの条件を満たす赤外
線透過セラミックスからなることを特徴とする請求項１
のセラミックス物品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11329935A JP2000219568A (ja) | 1998-11-24 | 1999-11-19 | セラミックス物品 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10-332292 | 1998-11-24 | ||
| JP33229298 | 1998-11-24 | ||
| JP11329935A JP2000219568A (ja) | 1998-11-24 | 1999-11-19 | セラミックス物品 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006301030A Division JP2007039335A (ja) | 1998-11-24 | 2006-11-07 | セラミックス物品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000219568A true JP2000219568A (ja) | 2000-08-08 |
Family
ID=26573376
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11329935A Pending JP2000219568A (ja) | 1998-11-24 | 1999-11-19 | セラミックス物品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000219568A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2025158741A1 (ja) * | 2024-01-26 | 2025-07-31 | Tdk株式会社 | コイル部品及びその製造方法 |
-
1999
- 1999-11-19 JP JP11329935A patent/JP2000219568A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2025158741A1 (ja) * | 2024-01-26 | 2025-07-31 | Tdk株式会社 | コイル部品及びその製造方法 |
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