JP2000221105A - 光ファイバ端面検査装置および方法 - Google Patents
光ファイバ端面検査装置および方法Info
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- JP2000221105A JP2000221105A JP11020778A JP2077899A JP2000221105A JP 2000221105 A JP2000221105 A JP 2000221105A JP 11020778 A JP11020778 A JP 11020778A JP 2077899 A JP2077899 A JP 2077899A JP 2000221105 A JP2000221105 A JP 2000221105A
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- Japan
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- optical fiber
- groove
- axis
- light reflecting
- face
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- Pending
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Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 干渉顕微鏡により光ファイバ端面を観察する
際のその光ファイバ軸を干渉顕微鏡の光軸に平行にセッ
トする作業を容易化する。 【解決手段】 Ｖ溝ブロック２０の光ファイバ心線１０
がセットされるＶ溝に直交する側面を、そのＶ溝の長さ
方向に精密に垂直な光反射面２２として形成し、このＶ
溝ブロック２０を直交３軸の各方向に傾斜可能な傾斜ユ
ニット３０上に設置する。Ｖ溝ブロック２０のＶ溝にセ
ットされる光ファイバ心線１０の先端面およびＶ溝ブロ
ック２０の光反射面２２の側に干渉顕微鏡４０を配し、
これにより光反射面２２を観察し、干渉縞が生じないよ
うに傾斜ユニット３０を調整して各方向の傾斜を定め
る。光反射面２２の画像において干渉縞が生じないよう
に調整できれば、光反射面２２が干渉顕微鏡４０の光軸
４５に対して精密に直角になり、光ファイバ心線１０の
軸が光軸４５に精密に平行になるよう調整できたことに
なる。
際のその光ファイバ軸を干渉顕微鏡の光軸に平行にセッ
トする作業を容易化する。 【解決手段】 Ｖ溝ブロック２０の光ファイバ心線１０
がセットされるＶ溝に直交する側面を、そのＶ溝の長さ
方向に精密に垂直な光反射面２２として形成し、このＶ
溝ブロック２０を直交３軸の各方向に傾斜可能な傾斜ユ
ニット３０上に設置する。Ｖ溝ブロック２０のＶ溝にセ
ットされる光ファイバ心線１０の先端面およびＶ溝ブロ
ック２０の光反射面２２の側に干渉顕微鏡４０を配し、
これにより光反射面２２を観察し、干渉縞が生じないよ
うに傾斜ユニット３０を調整して各方向の傾斜を定め
る。光反射面２２の画像において干渉縞が生じないよう
に調整できれば、光反射面２２が干渉顕微鏡４０の光軸
４５に対して精密に直角になり、光ファイバ心線１０の
軸が光軸４５に精密に平行になるよう調整できたことに
なる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、光ファイバの切
断端面が軸に対して直角になっているかあるいは凹凸が
あるか等の端面の状態を検査する装置および方法に関す
る。
断端面が軸に対して直角になっているかあるいは凹凸が
あるか等の端面の状態を検査する装置および方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバを付き合わせ接続するような
場合、端面が軸に対して直角でかつ鏡面になっている必
要がある。光ファイバ切断装置は、上記のような端面が
得られるように光ファイバを切断するものであり、つね
に良好な端面が得られることが保証されていなければな
らない。そこで、光ファイバ切断装置の製造工程におい
て、実際にその切断装置で光ファイバを切断してみて、
その切断状況の良否を判定することで、その光ファイバ
切断装置そのものの最終的なチェックを行っている。光
ファイバ端面検査装置はこのような用途に用いられる。
場合、端面が軸に対して直角でかつ鏡面になっている必
要がある。光ファイバ切断装置は、上記のような端面が
得られるように光ファイバを切断するものであり、つね
に良好な端面が得られることが保証されていなければな
らない。そこで、光ファイバ切断装置の製造工程におい
て、実際にその切断装置で光ファイバを切断してみて、
その切断状況の良否を判定することで、その光ファイバ
切断装置そのものの最終的なチェックを行っている。光
ファイバ端面検査装置はこのような用途に用いられる。
【０００３】従来の光ファイバ端面検査装置は、マイケ
ルソン干渉計やミロー型干渉対物レンズを用いた干渉顕
微鏡により構成されているが、いずれにしても、光軸に
対して基準面を正確に垂直にセットする必要があり、そ
の上で、基準面と試料面との距離的差異に応じて干渉縞
を発生させるものである。すなわち、この光ファイバ端
面検査装置によって光ファイバの切断端面の状態（切断
角度など）を観察しようとすれば、光ファイバ軸が干渉
顕微鏡の光軸に正確に平行となるように被観察光ファイ
バをセットする必要がある。
ルソン干渉計やミロー型干渉対物レンズを用いた干渉顕
微鏡により構成されているが、いずれにしても、光軸に
対して基準面を正確に垂直にセットする必要があり、そ
の上で、基準面と試料面との距離的差異に応じて干渉縞
を発生させるものである。すなわち、この光ファイバ端
面検査装置によって光ファイバの切断端面の状態（切断
角度など）を観察しようとすれば、光ファイバ軸が干渉
顕微鏡の光軸に正確に平行となるように被観察光ファイ
バをセットする必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
光ファイバ端面検査装置では、被観察光ファイバの軸を
光軸に対して厳密に平行にセットすることは難しく、そ
の調整に非常に多くの手間をかける必要があり、またそ
の作業者には経験も要求される。
光ファイバ端面検査装置では、被観察光ファイバの軸を
光軸に対して厳密に平行にセットすることは難しく、そ
の調整に非常に多くの手間をかける必要があり、またそ
の作業者には経験も要求される。
【０００５】この発明は、上記に鑑み、比較的簡単な構
成で、被観察光ファイバの軸を光軸に対して厳密に平行
にセットすることを、経験の浅い作業者でも容易に行う
ことができるように改善した、光ファイバ端面検査装置
および方法を提供することを目的とする。
成で、被観察光ファイバの軸を光軸に対して厳密に平行
にセットすることを、経験の浅い作業者でも容易に行う
ことができるように改善した、光ファイバ端面検査装置
および方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明による光ファイバ端面検査装置において
は、表面に被観察光ファイバをセットするためのＶ溝が
形成され、かつそのＶ溝の長さ方向に垂直な光反射面と
された側面が形成されているＶ溝ブロックと、該Ｖ溝ブ
ロックを直交３軸方向に傾斜可能に保持する傾斜ユニッ
トと、上記Ｖ溝ブロックの光反射面とされた側面方向に
配置される干渉顕微鏡とが備えられることが特徴となっ
ている。
め、この発明による光ファイバ端面検査装置において
は、表面に被観察光ファイバをセットするためのＶ溝が
形成され、かつそのＶ溝の長さ方向に垂直な光反射面と
された側面が形成されているＶ溝ブロックと、該Ｖ溝ブ
ロックを直交３軸方向に傾斜可能に保持する傾斜ユニッ
トと、上記Ｖ溝ブロックの光反射面とされた側面方向に
配置される干渉顕微鏡とが備えられることが特徴となっ
ている。
【０００７】また、この発明による光ファイバ端面検査
方法では、表面に被観察光ファイバをセットするための
Ｖ溝が形成され、かつそのＶ溝の長さ方向に垂直な光反
射面とされた側面が形成されているＶ溝ブロックを、傾
斜ユニットにより直交３軸方向に傾斜可能に保持し、干
渉顕微鏡によって上記Ｖ溝ブロックの光反射面とされた
側面を観察しながら、傾斜ユニットの傾きを調整した
後、上記のＶ溝にセットされた被観察光ファイバの端面
を干渉顕微鏡で観察することが特徴となっている。
方法では、表面に被観察光ファイバをセットするための
Ｖ溝が形成され、かつそのＶ溝の長さ方向に垂直な光反
射面とされた側面が形成されているＶ溝ブロックを、傾
斜ユニットにより直交３軸方向に傾斜可能に保持し、干
渉顕微鏡によって上記Ｖ溝ブロックの光反射面とされた
側面を観察しながら、傾斜ユニットの傾きを調整した
後、上記のＶ溝にセットされた被観察光ファイバの端面
を干渉顕微鏡で観察することが特徴となっている。
【０００８】Ｖ溝ブロックは、直交３軸方向に傾斜可能
な傾斜ユニットにより保持されているので、あらゆる方
向に傾けることができる。このＶ溝ブロックの、光反射
面とされた側面の方向には干渉顕微鏡が配置される。干
渉顕微鏡で、この側面を観察しながら、干渉縞が発生し
ないように傾斜ユニットの傾きを調整することにより、
その顕微鏡の光軸に対してその側面が正確に直角となる
よう調整することが容易にできる。この側面はＶ溝の長
さ方向に垂直に形成されているので、Ｖ溝に被観察光フ
ァイバをセットすれば、その光ファイバの軸はこの側面
と正確に直角つまり顕微鏡の光軸に対して正確に平行と
なる。そのため、被観察光ファイバの端面により生じる
干渉縞を干渉顕微鏡で観察することによって、その端面
の光ファイバ軸に対する角度やその端面に生じた凹凸状
態の検査が可能になる。
な傾斜ユニットにより保持されているので、あらゆる方
向に傾けることができる。このＶ溝ブロックの、光反射
面とされた側面の方向には干渉顕微鏡が配置される。干
渉顕微鏡で、この側面を観察しながら、干渉縞が発生し
ないように傾斜ユニットの傾きを調整することにより、
その顕微鏡の光軸に対してその側面が正確に直角となる
よう調整することが容易にできる。この側面はＶ溝の長
さ方向に垂直に形成されているので、Ｖ溝に被観察光フ
ァイバをセットすれば、その光ファイバの軸はこの側面
と正確に直角つまり顕微鏡の光軸に対して正確に平行と
なる。そのため、被観察光ファイバの端面により生じる
干渉縞を干渉顕微鏡で観察することによって、その端面
の光ファイバ軸に対する角度やその端面に生じた凹凸状
態の検査が可能になる。
【０００９】
【発明の実施の形態】つぎに、この発明の実施の形態に
ついて図面を参照しながら詳細に説明する。図１に示す
ように、被観測光ファイバである光ファイバ心線（の被
覆が剥離された部分）１０がＶ溝ブロック２０に、ファ
イバクランプ２３によってクランプされるようになって
いる。つまり、このＶ溝ブロック２０には、図２に示す
ようにＶ溝２１が形成されていて、そのＶ溝２１に入る
ように光ファイバ心線１０がセットされる。そして、こ
のＶ溝ブロック２０のＶ溝２１の長さ方向に直角な側面
２２は光反射面とされている。この側面２２に、たとえ
ば照明光を反射するような表面処理が施されたり、ある
いは反射型平行オプティカルフラットが貼り合わされる
ことにより光反射面とされている。この光反射面２２
は、Ｖ溝２１の長さ方向に対して厳密に垂直となるよう
に精密加工される。
ついて図面を参照しながら詳細に説明する。図１に示す
ように、被観測光ファイバである光ファイバ心線（の被
覆が剥離された部分）１０がＶ溝ブロック２０に、ファ
イバクランプ２３によってクランプされるようになって
いる。つまり、このＶ溝ブロック２０には、図２に示す
ようにＶ溝２１が形成されていて、そのＶ溝２１に入る
ように光ファイバ心線１０がセットされる。そして、こ
のＶ溝ブロック２０のＶ溝２１の長さ方向に直角な側面
２２は光反射面とされている。この側面２２に、たとえ
ば照明光を反射するような表面処理が施されたり、ある
いは反射型平行オプティカルフラットが貼り合わされる
ことにより光反射面とされている。この光反射面２２
は、Ｖ溝２１の長さ方向に対して厳密に垂直となるよう
に精密加工される。
【００１０】このＶ溝ブロック２０は、傾斜ユニット３
０により保持される。この傾斜ユニット３０はあらゆる
方向、つまり直交３軸をＸ，Ｙ，Ｚ（横、縦、高さ）と
したときその各軸の回り方向に傾斜させられるようにな
っているとともに、高さ方向（Ｚ方向）へ移動できるよ
うにされている。すなわち、Ｖ溝ブロック２０はまず回
転ステージ３１上に載置されているが、この回転ステー
ジ３１は矢印ｃに示すようにＺ軸の回りに回転できるよ
うになっている。この回転ステージはＸＹ軸傾斜ステー
ジ３２上に載せられている。このＸＹ軸傾斜ステージ３
２は、矢印ｂに示すようにＸ軸回りとＹ軸回りとにそれ
ぞれ独立に傾斜できるようにされたものである。このＸ
Ｙ傾斜ステージ３２はＺ軸方向ガイドステージ３３によ
りＺ方向（矢印ａ方向）に移動できるように保持され
る。
０により保持される。この傾斜ユニット３０はあらゆる
方向、つまり直交３軸をＸ，Ｙ，Ｚ（横、縦、高さ）と
したときその各軸の回り方向に傾斜させられるようにな
っているとともに、高さ方向（Ｚ方向）へ移動できるよ
うにされている。すなわち、Ｖ溝ブロック２０はまず回
転ステージ３１上に載置されているが、この回転ステー
ジ３１は矢印ｃに示すようにＺ軸の回りに回転できるよ
うになっている。この回転ステージはＸＹ軸傾斜ステー
ジ３２上に載せられている。このＸＹ軸傾斜ステージ３
２は、矢印ｂに示すようにＸ軸回りとＹ軸回りとにそれ
ぞれ独立に傾斜できるようにされたものである。このＸ
Ｙ傾斜ステージ３２はＺ軸方向ガイドステージ３３によ
りＺ方向（矢印ａ方向）に移動できるように保持され
る。
【００１１】ＸＹ軸傾斜ステージ３２はたとえば図３の
ように構成されている。ここではその１軸回り方向の傾
斜を可能とする機構のみを示す。基台５１の上に傾斜台
５２を置き、基台５１の上面の一端に設けた支点５３で
支持して、この支点５３を中心にして、つまり図の支点
５３における紙面に直角な軸の回りに、回転できるよう
にする。この傾斜台５２に軸止されたレバー５５を、基
台５１中央のスプリング収納孔５６に収納されたスプリ
ング５４で引っ張ることにより傾斜台５２を基台５１側
へ、つまり図の時計回り方向に付勢する。基台５１の他
端側には調整ネジ５７が設けられていて、この先端に傾
斜台５２が突き当たるようにされる。この調整ネジ５７
を回してその先端の突出量を調整することにより、傾斜
角度の調整ができる。支点５３における回転軸をＸ軸と
平行とするなら、これの下（または上）に同様な機構
を、その支点軸がＹ軸と平行になるように重ね合わせる
ことにより、Ｘ軸回りとＹ軸回りとにそれぞれ独立に傾
斜できることになる。
ように構成されている。ここではその１軸回り方向の傾
斜を可能とする機構のみを示す。基台５１の上に傾斜台
５２を置き、基台５１の上面の一端に設けた支点５３で
支持して、この支点５３を中心にして、つまり図の支点
５３における紙面に直角な軸の回りに、回転できるよう
にする。この傾斜台５２に軸止されたレバー５５を、基
台５１中央のスプリング収納孔５６に収納されたスプリ
ング５４で引っ張ることにより傾斜台５２を基台５１側
へ、つまり図の時計回り方向に付勢する。基台５１の他
端側には調整ネジ５７が設けられていて、この先端に傾
斜台５２が突き当たるようにされる。この調整ネジ５７
を回してその先端の突出量を調整することにより、傾斜
角度の調整ができる。支点５３における回転軸をＸ軸と
平行とするなら、これの下（または上）に同様な機構
を、その支点軸がＹ軸と平行になるように重ね合わせる
ことにより、Ｘ軸回りとＹ軸回りとにそれぞれ独立に傾
斜できることになる。
【００１２】Ｖ溝ブロック２０のＶ溝２１にセットされ
た光ファイバ心線１０の先端方向つまりＶ溝ブロック２
０の光反射面２２側には、干渉顕微鏡４０が配置され
る。ここでは干渉顕微鏡４０は、ミロー型干渉対物レン
ズにより構成されたものを用いているが、他のタイプの
干渉顕微鏡でもよいことはもちろんである。この干渉顕
微鏡４０は、光軸４５上にミロー型干渉対物レンズ４１
と接眼レンズ４２とを有するとともに、その間にハーフ
ミラー４３を備え、光源４４からの光を導入するように
している。ミロー型干渉対物レンズ４１は光軸４１方向
に矢印ｄに示すように移動してフォーカス調整ができる
ようにされている。
た光ファイバ心線１０の先端方向つまりＶ溝ブロック２
０の光反射面２２側には、干渉顕微鏡４０が配置され
る。ここでは干渉顕微鏡４０は、ミロー型干渉対物レン
ズにより構成されたものを用いているが、他のタイプの
干渉顕微鏡でもよいことはもちろんである。この干渉顕
微鏡４０は、光軸４５上にミロー型干渉対物レンズ４１
と接眼レンズ４２とを有するとともに、その間にハーフ
ミラー４３を備え、光源４４からの光を導入するように
している。ミロー型干渉対物レンズ４１は光軸４１方向
に矢印ｄに示すように移動してフォーカス調整ができる
ようにされている。
【００１３】ここで、干渉顕微鏡４０が光ファイバ心線
１０の先端の端面を観察するように設置されており、Ｖ
溝ブロック２０におけるこの先端側の側面は光反射面２
２とされているため、その光反射面２２も、干渉顕微鏡
４０の視野内に入ることになる。そこで、この干渉顕微
鏡４０によって観察することにより光反射面２２につき
干渉縞が生じていないかどうかを観察する。この観察を
行いながら、ＸＹ傾斜ステージ３２および回転ステージ
３１を調整してＸ、Ｙ、Ｚの３軸の各々について傾斜角
度の調整を行う。干渉縞が生じないように調整できれ
ば、光反射面２２が干渉顕微鏡４０の光軸４５に精密に
直角にセットされたことになる。
１０の先端の端面を観察するように設置されており、Ｖ
溝ブロック２０におけるこの先端側の側面は光反射面２
２とされているため、その光反射面２２も、干渉顕微鏡
４０の視野内に入ることになる。そこで、この干渉顕微
鏡４０によって観察することにより光反射面２２につき
干渉縞が生じていないかどうかを観察する。この観察を
行いながら、ＸＹ傾斜ステージ３２および回転ステージ
３１を調整してＸ、Ｙ、Ｚの３軸の各々について傾斜角
度の調整を行う。干渉縞が生じないように調整できれ
ば、光反射面２２が干渉顕微鏡４０の光軸４５に精密に
直角にセットされたことになる。
【００１４】このことは、Ｖ溝２１の長さ方向が干渉顕
微鏡４０の光軸４５に精密に平行にセットされたことを
意味する。このような調整ができた後、Ｚ軸方向ガイド
ステージ３３により矢印ａ方向に移動し、光ファイバ心
線１０の先端の端面が干渉顕微鏡４０の視野中心に位置
するように調整し、この端面の観察を行う。この端面が
光ファイバ心線１０の軸に直角で鏡面状であるなら、干
渉縞は発生しない。ところが、端面が直角でなかった
り、完全にフラットでなくて凹凸があるようなら、干渉
縞が発生し、その角度や凹凸状態を知ることが可能とな
る。
微鏡４０の光軸４５に精密に平行にセットされたことを
意味する。このような調整ができた後、Ｚ軸方向ガイド
ステージ３３により矢印ａ方向に移動し、光ファイバ心
線１０の先端の端面が干渉顕微鏡４０の視野中心に位置
するように調整し、この端面の観察を行う。この端面が
光ファイバ心線１０の軸に直角で鏡面状であるなら、干
渉縞は発生しない。ところが、端面が直角でなかった
り、完全にフラットでなくて凹凸があるようなら、干渉
縞が発生し、その角度や凹凸状態を知ることが可能とな
る。
【００１５】なお、上記はこの発明の一つの実施の形態
に関して説明したものであり、具体的な構造などはこの
発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々に変更できることは
言うまでもないことであろう。すなわち、Ｖ溝ブロック
２０を直交３軸方向に傾斜可能に保持する傾斜ユニット
３０の構造は図示のものに限らない。干渉顕微鏡４０に
ついても他のタイプのものを使用することができる。
に関して説明したものであり、具体的な構造などはこの
発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々に変更できることは
言うまでもないことであろう。すなわち、Ｖ溝ブロック
２０を直交３軸方向に傾斜可能に保持する傾斜ユニット
３０の構造は図示のものに限らない。干渉顕微鏡４０に
ついても他のタイプのものを使用することができる。
【００１６】また、Ｖ溝ブロック２０の側面２２は、Ｖ
溝の長さ方向に正確に垂直な光反射面であればどのよう
なものでもよい。この光反射面とされた側面２２に代わ
るものとして、図４に示すようなゲージ２５の端面２６
を用いてもよい。このゲージ２５は、石英ガラスあるい
はスチールなどで被観測光ファイバである光ファイバ心
線１０と同様な形状の円柱形に作成されており、その端
面２６が円柱の中心軸に高精度に直角に形成されてい
る。そして、この端面２６は、高精度に平坦な鏡面に加
工されることが望ましい。
溝の長さ方向に正確に垂直な光反射面であればどのよう
なものでもよい。この光反射面とされた側面２２に代わ
るものとして、図４に示すようなゲージ２５の端面２６
を用いてもよい。このゲージ２５は、石英ガラスあるい
はスチールなどで被観測光ファイバである光ファイバ心
線１０と同様な形状の円柱形に作成されており、その端
面２６が円柱の中心軸に高精度に直角に形成されてい
る。そして、この端面２６は、高精度に平坦な鏡面に加
工されることが望ましい。
【００１７】このゲージ２５を測定される光ファイバ心
線１０が配置されるＶ溝２１あるいはこれと高精度に平
行に形成されたＶ溝２４に配置して、その端面２６を干
渉顕微鏡４０で観察して干渉縞が生じないように傾斜ユ
ニット３０を調整する。こうして、端面２６が干渉顕微
鏡４０の光軸４５に精密に直角にセットされた状態に調
整できる。すると、Ｖ溝２４とＶ溝２１とは精密に平行
とされているので、Ｖ溝２１の長さ方向が干渉顕微鏡４
０の光軸４５に精密に平行にセットされたことになる。
そのため、このＶ溝２１に配置された光ファイバ心線１
０の端面を干渉顕微鏡で観察してその縞模様により端面
の品質を検査することができる。１つのＶ溝２１に最初
ゲージ２５を配置して上記の調整を行った後、観測すべ
き光ファイバ心線１０に置き換えるようにすれば、この
Ｖ溝２１と平行なＶ溝２４を作っておく必要はなくな
る。
線１０が配置されるＶ溝２１あるいはこれと高精度に平
行に形成されたＶ溝２４に配置して、その端面２６を干
渉顕微鏡４０で観察して干渉縞が生じないように傾斜ユ
ニット３０を調整する。こうして、端面２６が干渉顕微
鏡４０の光軸４５に精密に直角にセットされた状態に調
整できる。すると、Ｖ溝２４とＶ溝２１とは精密に平行
とされているので、Ｖ溝２１の長さ方向が干渉顕微鏡４
０の光軸４５に精密に平行にセットされたことになる。
そのため、このＶ溝２１に配置された光ファイバ心線１
０の端面を干渉顕微鏡で観察してその縞模様により端面
の品質を検査することができる。１つのＶ溝２１に最初
ゲージ２５を配置して上記の調整を行った後、観測すべ
き光ファイバ心線１０に置き換えるようにすれば、この
Ｖ溝２１と平行なＶ溝２４を作っておく必要はなくな
る。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、この発明による光
ファイバ端面検査装置および方法によれば、観察すべき
光ファイバ端面と同じ側にあるＶ溝ブロック側面を、Ｖ
溝の長さ方向に直角な光反射面としているので、このＶ
溝ブロック側面を干渉顕微鏡で観察してその干渉縞によ
りこの側面を干渉顕微鏡の光軸に直角なものとする調整
を容易に行うことができる。このことは、Ｖ溝の長さ方
向つまりＶ溝にセットされる光ファイバの軸を干渉顕微
鏡の光軸に平行なものとする調整が容易に行えることを
意味する。これにより、経験の浅い作業者でも容易に光
ファイバ端面の検査が行えるようになる。しかも装置の
構成としても比較的簡単な構成となっている。
ファイバ端面検査装置および方法によれば、観察すべき
光ファイバ端面と同じ側にあるＶ溝ブロック側面を、Ｖ
溝の長さ方向に直角な光反射面としているので、このＶ
溝ブロック側面を干渉顕微鏡で観察してその干渉縞によ
りこの側面を干渉顕微鏡の光軸に直角なものとする調整
を容易に行うことができる。このことは、Ｖ溝の長さ方
向つまりＶ溝にセットされる光ファイバの軸を干渉顕微
鏡の光軸に平行なものとする調整が容易に行えることを
意味する。これにより、経験の浅い作業者でも容易に光
ファイバ端面の検査が行えるようになる。しかも装置の
構成としても比較的簡単な構成となっている。
【図１】この発明の実施の形態を示す模式図。
【図２】同実施の形態におけるＶ溝ブロックを示す模式
的な斜視図。
的な斜視図。
【図３】同実施の形態におけるＸＹ傾斜ステージの例を
模式的に示す断面図。
模式的に示す断面図。
【図４】変形例におけるＶ溝ブロック部分を示す模式的
な斜視図。
な斜視図。
１０ 光ファイバ心線 ２０ Ｖ溝ブロック ２１、２４ Ｖ溝 ２２ 光反射面 ２３ ファイバクランプ ２５ ゲージ ２６ ゲージの端面 ３０ 傾斜ユニット ３１ 回転ステージ ３２ ＸＹ軸傾斜ステージ ３３ Ｚ軸方向ガイドステージ ４０ 干渉顕微鏡 ４１ ミロー型干渉対物レンズ ４２ 接眼レンズ ４３ ハーフミラー ４４ 光源 ４５ 光軸 ５１ 基台 ５２ 傾斜台 ５３ 支点 ５４ スプリング ５５ レバー ５６ スプリング収納孔 ５７ 調整ネジ
Claims (2)
- 【請求項１】 表面に被観察光ファイバをセットするた
めのＶ溝が形成され、かつそのＶ溝の長さ方向に垂直な
光反射面とされた側面が形成されているＶ溝ブロック
と、該Ｖ溝ブロックを直交３軸方向に傾斜可能に保持す
る傾斜ユニットと、上記Ｖ溝ブロックの光反射面とされ
た側面方向に配置される干渉顕微鏡とを備えることを特
徴とする光ファイバ端面検査装置。 - 【請求項２】 表面に被観察光ファイバをセットするた
めのＶ溝が形成され、かつそのＶ溝の長さ方向に垂直な
光反射面とされた側面が形成されているＶ溝ブロック
を、傾斜ユニットにより直交３軸方向に傾斜可能に保持
し、干渉顕微鏡によって上記Ｖ溝ブロックの光反射面と
された側面を観察しながら、傾斜ユニットの傾きを調整
した後、上記のＶ溝にセットされた被観察光ファイバの
端面を干渉顕微鏡で観察することを特徴とする光ファイ
バ端面検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11020778A JP2000221105A (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 光ファイバ端面検査装置および方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11020778A JP2000221105A (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 光ファイバ端面検査装置および方法 |
Publications (1)
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|---|---|
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ID=12036612
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP11020778A Pending JP2000221105A (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 光ファイバ端面検査装置および方法 |
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|---|---|
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Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1323902A2 (en) | 2001-12-28 | 2003-07-02 | Hitachi Unisia Automotive Ltd. | Ignition timing control apparatus for internal combustion engine and method thereof |
| JP2004012335A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-01-15 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 被検体の傾き誤差調整支援方法 |
| JP2004286595A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | Fuji Photo Optical Co Ltd | クランプ装置の傾き調整方法 |
| EP1223451A3 (en) * | 2001-01-05 | 2004-11-03 | Leica Microsystems Heidelberg GmbH | Interference microscope and method for operating an interference microscope |
| JP2020060387A (ja) * | 2018-10-05 | 2020-04-16 | 三菱電線工業株式会社 | 光学系端面検査具 |
| WO2024018737A1 (ja) * | 2022-07-21 | 2024-01-25 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバの端面観察装置及び光ファイバの端面観察方法 |
-
1999
- 1999-01-28 JP JP11020778A patent/JP2000221105A/ja active Pending
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| US7742226B2 (en) | 2001-01-05 | 2010-06-22 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Interference microscope, and method for operating an interference microscope |
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| EP4560283A4 (en) * | 2022-07-21 | 2025-11-19 | Sumitomo Electric Industries | OPTICAL FIBER END-FRONT OBSERVATION DEVICE AND METHOD FOR OPTICAL FIBER END-FRONT OBSERVATION |
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