JP2000223484A - 半導体製造装置用副生成物除去装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 副生成物を大量に回収することができ、メン
テナンス期間を大幅に延長することができて経済性を向
上させることができる。 【解決手段】 排気ガスを導入して排出し、この間に排
気ガスを冷却面により冷却して発生する副生成物を冷却
面に付着させるようにしたトラップ２と、トラップ２の
冷却面に付着している副生成物を掻落とす掻落とし装置
３とを備える。トラップ２は、少なくとも一部の冷却面
に冷却タンクを用いることができ、トラップボディ４に
おける下側に落下する副生成物を溜める回収タンク２１
を備えることができ、この場合、トラップボディ４と回
収タンク２１との間に仕切用バルブを備えることができ
る。冷却面に付着した副生成物を適宜掻落とし装置３に
より掻落とすことにより、副生成物の除去効率を常に高
く維持することができ、しかも、トラップ２内の流路面
積をほぼ一定としてコンダクタンスを低下させないよう
にすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、メタルＣＶＤ、シ
リコンナイトライドプロセス等のように副生成物を発生
する半導体製造装置のプロセスチャンバーの排気系にお
いて、塩化アンモニウム、塩化アルミニウム等の副生成
物を発生させて除去するために用いる装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、上記のように副生成物を発生させ
て除去するためにトラップが用いられている。従来のト
ラップとしては、フィルタ方式、冷却フィン方式、バッ
ファ方式が知られている。フィルタ方式のトラップにつ
いて概略説明すると、トラップボディの上部と底部に排
気管の途中で接続される流入口と排出口が形成され、上
記トラップボディ内に上記排出口を覆うようにフィルタ
が設けられている。そして、排気管を流れる排気ガス
（反応ガス）をトラップボディ内に導き、反応ガス中の
副生成物をフィルタにより除去することができる。

【０００３】冷却フィン方式のトラップについて概略説
明すると、トラップボディの上部と底部に排気管の途中
で接続される流入口と排出口が形成され、上記トラップ
ボディ内の中央部に冷却タンクが設けられるとともに、
上記冷却タンクに冷却フィンの基部が連設されている。
冷却タンクには冷却水供給管と排水管とが接続されて冷
却タンクに冷却水が供給されることにより冷却フィンが
冷却されるようになっている。そして、排気管を流れる
排気ガスをトラップボディ内に導き、冷却フィンで冷却
して発生する副生成物を冷却フィン上に堆積させること
ができる。

【０００４】バッファ方式のトラップについて概略説明
すると、トラップボディが冷却タンクにより構成される
とともに、トラップボディの内側に筒状の冷却タンクが
設けられ、各冷却タンクに冷却水供給管と排水管とが接
続されている。トラップボディの上部、若しくは下部と
底部に排気の途中で接続される流入口と流出口が形成さ
れている。そして、排気管を流れる排気ガスをトラップ
ボディ内に導き、冷却タンクの冷却面で冷却して発生す
る副生成物を冷却面に堆積させ、所望量の副生成物が堆
積するとトラップボディの底部上に落下させて堆積させ
ることができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例のうち、フィルタ方式のトラップでは、冷却水を不
要とすることができる利点があるが、トラップ効率を上
げると（メッシュを小さくすると）詰まりやすく、メッ
シュが小さいとコンダクタンスが悪くなり、頻繁に分
解、消掃等のメンテナンスを行わなければならない。ま
た、フィルタは、粉体となっていない反応前のガスの状
態では除去することができず、更にはフィルタは消耗品
でコストが高いなどの問題がある。

【０００６】上記従来例のうち、冷却フィン式のトラッ
プでは、排気ガスを冷却することができる面積が大き
く、副生成物の除去効率に優れ、コンダクタンスも大き
くなる利点を有するが、フィンに副生成物が堆積する
と、冷却効率、すなわち、副生成物の除去効率に劣るた
め、頻繁に分解、清掃等のメンテナンスを行わなければ
ならないなどの問題がある。

【０００７】上記従来例のうち、バッファ式のトラップ
では、排気ガスの通過面積を配管断面積より大きくする
ことができてコンダクタンスを大きくできるばかりでな
く、バッファ効果と冷却タンク面との直接接触による冷
却効率、すなわち、副生成物の除去効率に優れている利
点を有するが、冷却面に副生成物が堆積すると、冷却効
率、すなわち、副生成物の除去効率に劣るため、頻繁に
分解、消掃等のメンテナンスを行わなければならないな
どの問題がある。

【０００８】上記のように従来のいずれの方式のトラッ
プにおいても、メンテナンスに際してトラップや配管を
分解する必要があるため、その作業は煩わしく、また、
その際、堆積している副生成物が有害である場合には、
この有害な副生成物が大気にさらされて事故を起こすお
それがあった。

【０００９】本発明は、上記のような従来の問題を解決
しようとするものであり、副生成物の除去効率とコンダ
クタンスを悪化させることなく、大量の副生成物を回収
することができ、したがって、メンテナンス期間を大幅
に延長することができて経済性を向上させることができ
るようにした半導体製造装置用副生成物除去装置を提供
することを目的する。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の半導体製造装置用副生成物除去装置は、排気
ガスを導入して排出し、この間に排気ガスを冷却面によ
り冷却して発生する副生成物を上記冷却面に付着させる
ようにしたトラップと、このトラップの冷却面に付着し
ている副生成物を掻落とす掻落とし装置とを備えたもの
である。

【００１１】そして、上記構成において、少なくとも一
部の冷却面を冷却水の給排可能な冷却タンクにより構成
することができる。

【００１２】また、トラップが、トラップボディにおけ
る下側の開放側に取外し可能に取付けられ、落下する副
生成物を溜める回収タンクを備えるようにすることがで
き、この場合、トラップボディと回収タンクとの間に仕
切用バルブを備えることができる。

【００１３】上記のように構成された本発明によれば、
排気ガスをトラップ内に導き、冷却面で冷却して発生す
る副生成物を冷却面に付着させ、この付着した副生成物
を適宜掻落とし装置により掻落とすことにより、副生成
物の除去効率を常に高く維持することができ、しかも、
トラップ内の流路面積をほぼ一定としてコンダクタンス
を低下させないようにすることができるので、大量の副
生成物を回収することができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の形態について図面
を参照しながら説明する。まず、本発明の第１の実施形
態について説明する。図１ないし図４は本発明の第１の
実施形態に係る半導体製造装置用副生成物除去装置を示
し、図１は一部破断正面図、図２は平面図、図３は縦断
面図、図４は図３のＡ−Ａ矢視断面図である。

【００１５】図１ないし図４に示すように、本実施形態
における半導体製造装置用副生成物除去装置１はトラッ
プ２と副生成物の掻落とし装置３とから構成されてい
る。トラップ２について説明すると、トラップボディ４
は円筒状に形成され、上端外周にフランジ部５が一体に
設けられ、下端外周にフランジ部６が一体に設けられ、
上部に流入口７が設けられ、流入口７の先端外周にフラ
ンジ部８が一体に設けられている。冷却タンク９は外筒
１０と内筒１１がトラップボディ４に対して同心状に配
置され、外筒１０と内筒１１との間の底部が底蓋１２に
よりシール状態に閉塞されている。内筒１１は外筒１０
の上方へ突出され、上端外周にフランジ部１３が一体に
設けられ、内筒１１の上方突出部には側方へ開放する排
出口１４が接続され、排出口１４の先端外周にフランジ
部１５が一体に設けられている。外筒１０の上端と内筒
１１の上部外周において冷却タンク９の上部をシール状
態にに閉塞する上蓋１６が取付けられ、上蓋１６は外筒
１０より大径に形成されている。上蓋１６がトラップボ
ディ４のフランジ部５にＯリング１７を介在させて重ね
られ、ねじ１８によりシール状態に連結されている。

【００１６】冷却タンク９の上蓋１６には冷却水供給管
１９と排水管２０とが内部に連通状態で取付けられ、冷
却水供給管１９はその先端の供給口が冷却タンク９の底
部付近に達するように配置されている。そして、冷却水
供給管１９から冷却タンク９内に冷却水を供給し、排水
管２０により冷却タンク９から排水することにより、冷
却タンク９内を冷却水で満たすことができる。回収タン
ク２１は有底の円筒状に形成され、上端外周にフランジ
部２２が一体に設けられている。このフランジ部２２の
上面はトラップボディ４における下端のフランジ部６の
下面にＯリング２３を介して重ねられ、クランプ２４に
より離脱可能でシール状態に取付けられる。

【００１７】その一例として、フランジ部６、２２は重
ねられた状態で基部側から外周側に至るに従い、次第に
薄肉となる傾斜面を有するように形成されている。一
方、締着バンド２５がヒンジ部２６により開閉可能に連
結され、締着バンド２５の内側はフランジ部６，２２の
外形に対応する形状に形成されている。そして、締着バ
ンド２５がフランジ部６，２２に嵌められ、締着バンド
２５の端部間が締着具２７により締着されることによ
り、フランジ部６，２２がシール状態に連結される。回
収タンク２１の上部外側には取っ手２８が取付けられて
いる。

【００１８】上記のようなトラップ２はＯリング１７、
２３を除き、金属材により構成されている。トラップ２
の流入口７のフランジ部８には排気ガス用の配管９にお
ける上流側のフランジ部３０がシール状態で離脱可能に
連結され、排出口１４のフランジ部１５には配管２９に
おける下流側のフランジ部３１がシール状態で離脱可能
に連結されている。そして、高温の排気ガスは上流側の
配管２９から流入口７を通ってトラップ２内に流入し、
トラップボディ４の内周面と冷却タンク９の外周面との
間を下降し、続いて、冷却タンク９の内側を上昇し、排
出口１４から下流側の配管２９へ排出されるようになっ
ている。この間、排気ガスはトラップボディ４との接触
により冷却されるとともに、冷却タンク９との接触によ
り冷却され、この冷却に伴って発生した副生成物がトラ
ップボディ４の内周面と冷却タンク９の外周面および内
周面に付着して堆積されるようになっている。

【００１９】副生成物の掻落とし装置３について説明す
ると、冷却タンク９の下方でその直径方向に軸受部材３
２が配置され、軸受部材３２の両端部がねじ３３により
冷却タンク９の底蓋１２に取付けられている。冷却タン
ク９における内筒１１の上端のフランジ部１３には上蓋
３４がＯリング３５を介して重ねられている。フランジ
部１３と上蓋３４の外周部はフランジ部６と２４と同様
の形状に形成され、上記と同様の構成のクランプ３６に
よりシール状態で離脱可能に取付けられている。上蓋３
４上には支持フレーム３７がねじ３８により取付けられ
ている。上蓋３４および支持フレーム３７にはシールユ
ニット３９が取付けられている。シールユニット３９に
シール状態で挿通された鉛直方向の回転軸４０の下端部
が上蓋３４に軸受（図示省略）を介して回転可能に支持
され、回転軸４０の下端部にはコネクタ４１を介してス
クレーパ軸４２の上端部が一体に回転し得るように連結
されている。

【００２０】スクレーパ軸４２は冷却タンク９の中心部
に挿通され、スクレーパ軸４２の下方突出部が軸受部材
３２に軸受４３を介して回転可能に支持されている。冷
却タンク９の内周面に付着した副生成物を掻落とすため
のスクレーパ４４は一対の金属板が長手方向の中央部で
ほぼ９０度に折り曲げられ、中央部が背中合わせでスク
レーパ軸４２にねじ４５により取外し可能に固定され、
スクレーパ軸４４と一体に回転し得るようになってい
る。このようにスクレーパ４４は９０度ごとに冷却タン
ク９の半径方向に延びて各長手方向の外縁部が冷却タン
ク９の内面に上下方向のほぼ全長に亘って接触されるよ
うになっている。スクレーパ４４には所望間隔ごとに外
縁部から内方へ向かって水平方向に切溝４６が形成さ
れ、切溝４６による上下の区画部分が自身のばね性によ
り自由に変形し得るようになっている。したがって、ス
クレーパ軸４４が冷却タンク９の軸心と多少ずれていて
もスクレーパ４４をスクレーパ軸４４と共に回転させた
際、スクレーパ４４を冷却タンク９の内周面に確実に接
触させることができるようになっている。

【００２１】スクレーパ軸４４の下方突出端部にはスク
レーパアーム４７の基部がねじ４８により取外し可能に
固定されている。スクレーパアーム４７はトラップボデ
ィ４および回収タンク２１の半径方向に延び、続いてト
ラップボディ４と冷却タンク９との間でトラップボディ
４の上端付近まで延びるように垂直方向に起立されてい
る。トラップボディ４の内周面に付着した副生成物を掻
落とすためのスクレーパ４９と冷却タンク９の外周面に
付着した副生成物を掻落とすためのスクレーパ５０は金
属板が鉤の手状に折り曲げられ、各基部がスクレーパア
ーム４７の垂直起立部にねじ５１により取外し可能に固
定され、スクレーパ４９、５０はスクレーパアーム４７
を介してスクレーパ軸４４と共に回転し得るようになっ
ている。スクレーパ４９と５０は長手方向の外縁部がト
ラップボディ４の内面と冷却タンク９の外面に上下方向
の全長に亘って接触されるようになっている。スクレー
パ４９、５０には上記スクレーパ４４と同様に、所望間
隔ごとに外縁部から内方へ向かって水平方向に切溝５
２、５３が形成され、切溝５２、５３による上下の区画
部分が自身のばね性により自由に変形し得るようになっ
ている。したがって、スクレーパアーム４７の垂直起立
部がトラップボディ４の内面と冷却タンク９の外面との
中心に対して多少ずれていてもスクレーパ４９、５０を
スクレーパ軸４４と共に回転させた際、スクレーパ４９
をトラップボディ４の内周面に、スクレーパ５０を冷却
タンク９の外周面にそれぞれ確実に接触させることがで
きるようになっている。

【００２２】支持フレーム３７の外端部下部にモータ５
４およびその減速機５５が支持され、減速機５５の出力
軸５６上にはプーリー５７が取付けられている。一方、
上記スクレーパ軸４２と一体の回転軸４０の上端部には
プーリー５８が取り付けられている。これらプーリー５
７，５８にはベルト５９が掛けられている。したがっ
て、モータ５４の駆動により減速機５５を介して出力軸
５６およびプーリー５７が回転され、これに伴い、ベル
ト５９を介してプーリー５８、回転軸４０、スクレーパ
軸４２、スクレーパ−４４、スクレーパアーム４７、ス
クレーパ４９，５０等が一体に回転されるようになって
いる。

【００２３】以上の構成において、以下、その動作につ
いて説明する。冷却水供給管１９から冷却水を冷却タン
ク９内に供給し、排水管２０により冷却タンク９から排
水することにより、冷却タンク９内を冷却水で満たす。
このとき、上記のように冷却水供給管１９は供給口を冷
却タンク９の底部付近に配置し、排水管２０を冷却タン
ク９の上部に配置しているので、冷却タンク９の冷却水
が暖められても、冷却水を冷却水タンク９内の底部に供
給し、暖められた上部の水を冷却タンク９から排出する
ことができ、冷却タンク９内の対流を向上させて冷却タ
ンク９内を常に冷却水で満たすことができる。このよう
にして準備を完了すると、真空ポンプ（図示省略）の駆
動により配管２９を利用して高温の排気ガスを流す。こ
の高温の排気ガスは上流側の配管２９から流入口７を通
ってトラップ２内に流入し、トラップボディ４の内周面
と冷却タンク９の外周面との間を下降し、続いて、冷却
タンク９の内側を上昇し、排出口１４から下流側の配管
２９へ排出される。このようにトラップ２内を通過する
排気ガスは高温であり、一方、トラップボディ４は特に
冷却されていなくとも、金属製で冷たいので、このトラ
ップボディ４との接触により冷却されるとともに、冷却
タンク９との接触により効率的に冷却され、この冷却に
伴って発生した塩化アンモニウム、塩化アルミニウム等
の副生成物がトラップボディ４の内周面と冷却タンク９
の外周面および内周面に付着し、次第に堆積していく。

【００２４】副生成物が所望量、堆積状態に付着する
と、上記のようにモータ５４の駆動によりプーリー５
７、ベルト５９、プーリー５８等を介してスクレーパ軸
４２、スクレーパ４４、スクレーパアーム４７、スクレ
ーパ４９、５０等を一体に回転させる。上記のようにス
クレーパ４４は冷却タンク９の内周面に接触状態で回転
し、スクレーパ４９と５０はトラップボディ４の内周面
と冷却タンク９の外周面に接触状態で回転するので、各
面に堆積状態で付着している副生成物を掻落とし、自重
により落下させて回収タンク２１内に符号６０で示すよ
うに溜めることができる。副生成物の掻落とし後、モー
タ５４の駆動を停止する。なお、モータ５４を常時、駆
動してスクレーパ４４、４９、５０を連続的に回転さ
せ、冷却タンク９の内周面、トラップボディ４の内周
面、冷却タンク９の外周面に付着した副生成物を堆積す
る前に掻落とすこともでき、要するに、上記各面に付着
した副生成物を適宜、スクレーパ４４、４９、５０の回
転により掻落とすことができる。

【００２５】回収タンク２１内に副生成物が所望量溜ま
ると、半導体製造装置の駆動休止時において、クランプ
２４を外して回収タンク２１をトラップボディ４から外
し、取っ手２８の利用により回収タンク２１を所望の場
所へ運搬し、処分することができる。処分後、回収タン
ク２１をクランプ２４によりトラップボディ４の下端に
取付け、再び、上記と同様にして副生成物の回収を行う
ことができる。また、メンテナンスに際しては掻落とし
装置３をトラップ２から外して分解するとともに、トラ
ップ２を分解することにより、各部の清掃等を行うこと
ができる。

【００２６】次に、本発明の第２の実施形態について説
明する。図５は本発明の第２の実施形態に係る半導体製
造装置用副生成物除去装置を示す一部破断概略構成図で
ある。

【００２７】本実施形態においては、上記第１の実施形
態と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、
主として構成の異なる点について説明する。本実施形態
の特徴とするところは、図５に示すように、トラップボ
ディ４と回収タンク２１との間に仕切用バルブを備え、
掻落とし装置３により掻落とした副生成物を回収タンク
２１に落下させることができるとともに、回収タンク２
１をトラップボディ４から外す際にトラップボディ４側
と回収タンク２１側とをそれぞれ閉塞し得るように構成
した点にある。

【００２８】その一例について説明すると、トラップボ
ディ４の下部が下端部側に至るに従い、次第に小径とな
るように形成され、トラップボディ４の下端部に筒状の
排出口６０が連設されている。一方、回収タンク２１の
上部に筒状の投入口６１が連設されている。排出口６０
と投入口６１とは互いのフランジ部６２と６３が上記と
同様に構成されたクランプ６４によりシール状態で分離
可能に接続されている。排出口６０の途中にはゲートバ
ルブ６５が挿入され、投入口６１の途中にはゲートバル
ブ６６が挿入されている。排出口６０におけるゲートバ
ルブ６５の下流側は下流側の配管２９とに配管６７によ
り接続されるとともに、窒素ガスの供給源（図示省略）
とに配管６８により接続されている。配管６７の途中に
はベローズバルブ６９が挿入され、配管６８の途中には
ベローズバルブ７０が挿入されている。

【００２９】以上の構成において、以下、その動作につ
いて説明する。ゲートバルブ６５を閉じた状態で、上流
側の配管２９から排気ガスをトラップ２内に導入し、下
流側の配管２９に排出し、この間、上記第１の実施形態
と同様に、トラップボディ４の内周面と冷却タンク９の
外周面および内周面により排気ガスを冷却して発生した
副生成物をそれらの冷却面に付着させる。そして、上記
第１の実施形態と同様にして掻落とし装置３の駆動によ
り冷却タンク９の内周面、トラップボディ４の内周面、
冷却タンク９の外周面に付着している副生成物を掻落と
す際には、ベローズバルブ６９、７０を閉じ、ゲートバ
ルブ６５、６６を開いておくことにより、掻落とされた
副生成物が自重によりゲートバルブ６５、６６を通って
回収タンク２１内に落下する。

【００３０】回収タンク２１内に副生成物が溜まると、
回収タンク２１内が真空排気されている状態であれば、
まず、ゲートバルブ６５を閉じる。次に、ベローズベル
ブ７０を開き、窒素ガスを回収タンク２１内に供給して
大気圧にする。次に、ゲートバルブ６６を閉じる。その
後、クランプ６４を外すことにより密閉状態の回収タン
ク２１を密閉状態のトラップボディ４に対して外すこと
ができる。そして、回収タンク２１内の副生成物が有害
物である場合には、安定化処理を行った後、処分する。

【００３１】回収タンク２１を再びトラップボディ４に
取付けるには、回収タンク２１をトラップボディ４に対
し、クランプ６４によりシール状態に取付ける。ここ
で、トラップボディ４側が真空状態であるとすれば、ゲ
ートバルブ６６を開いた状態でベローズバルブ６９を開
けて配管２９，６７を介して回収タンク２１内を真空排
気する。その後、ベローズバルブ６９を閉じ、ゲートバ
ルブ６５を開けることにより、副生成物の回収状態とな
る。

【００３２】なお、上記第２の実施形態におけるバルブ
の配置、種類については適宜選択することができ、その
作動もトラップボディ４側と回収タンク２１側とが真空
状態であるか否かによって操作の順序を変更することが
でき、要するにトラップボディ４側と回収タンク２１側
とを密閉状態に仕切って回収タンク２１を回収すること
ができるようにすればよい。また、上記第１、第２の実
施形態においては排気ガスの冷却面として冷却タンク９
を用いているが、排気ガスは高温であるので、冷却タン
クを用いることなく、金属材料のみにより冷却面を構成
しても排気ガスを冷却して副生成物を付着させることが
できる。更に、トラップボディ４を下方に延長して開閉
可能な底蓋を設け、この延長部に副生成物を溜め、底蓋
の開放により副生成物を取り出すようにすれば、回収タ
ンクを用いなくてもよい。このほか、本発明は、その基
本的技術思想を逸脱しない範囲で種々設計変更すること
ができる。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、排
気ガスをトラップ内に導き、冷却面で冷却して発生する
副生成物を冷却面に付着させ、この付着した副生成物を
適宜掻落とし装置により掻落とすことにより、副生成物
の除去効率を常に高く維持することができ、しかも、ト
ラップ内の流路面積をほぼ一定としてコンダクタンスを
低下させないようにすることができるので、大量の副生
成物を回収することができる。したがって、メンテナン
ス期間を大幅に延長することができて経済性の向上を図
ることができる。

【００３４】また、少なくとも一部の冷却面を冷却水の
給排可能な冷却タンクにより構成することにより、副生
成物の回収効率を更に一層向上させることができる。

【００３５】また、トラップボディの下側に副生成物の
回収タンクを備えることがにより、トラップボディをコ
ンパクト化して大量の生成物を回収することができ、し
かも、副生成物の処理を容易に行うことができる。

【００３６】また、トラップボディと回収タンクとの間
に仕切用バルブを備え、掻落とし装置により掻落とした
副生成物を回収タンクに落下させることができるととも
に、回収タンクをトラップボディから外す際にトラップ
ボディ側と回収タンク側とをそれぞれ閉塞し得るように
仕切ることにより、副生成物が有害であっても安全に回
収することができて廃棄処理することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態に係る半導体製造装置
用副生成物除去装置を示す一部破断正面図である。

【図２】同半導体製造装置用副生成物除去装置を示す平
面図である。

【図３】同半導体製造装置用副生成物除去装置を示す縦
断面図である。

【図４】同半導体製造装置用副生成物除去装置を示し、
図３のＡ−Ａ矢視断面図である。

【図５】本発明の第２の実施形態に係る半導体製造装置
用副生成物除去装置を示す一部破断概略構成図である。

【符号の説明】

１ 半導体製造装置用副生成物除去装置 ２ トラップ ３ 掻落とし装置 ４ トラップボディ ７ 流入口 ９ 冷却タンク １４ 排出口 １９ 冷却水供給管 ２０ 排水管 ２１ 回収タンク ２４ クランプ ２９ 排気ガス用の配管 ４２ スクレーパ軸 ４４ スクレーパ ４９ スクレーパ ５０ スクレーパ ６５ ゲートバルブ ６６ ゲートバルブ ６９ ベローズバルブ ７０ ベローズバルブ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 排気ガスを導入して排出し、この間に排
   気ガスを冷却面により冷却して発生する副生成物を上記
   冷却面に付着させるようにしたトラップと、このトラッ
   プの冷却面に付着している副生成物を掻落とす掻落とし
   装置とを備えた半導体製造装置用副生成物除去装置。
2. 【請求項２】 少なくとも一部の冷却面が冷却水を給排
   し得る冷却タンクにより構成された請求項１記載の半導
   体製造装置用副生成物除去装置。
3. 【請求項３】 トラップが、トラップボディにおける下
   側の開放側に取外し可能に取付けられ、落下する副生成
   物を溜める回収タンクを備えた請求項１または２記載の
   半導体製造装置用副生成物除去装置。
4. 【請求項４】 トラップボディと回収タンクとの間に仕
   切用バルブを備えた請求項１ないし３のいずれかに記載
   の半導体製造装置用副生成物除去装置。