JP2000227169A

JP2000227169A - 絞り弁付きマニホールドおよびそれを用いた搬送装置

Info

Publication number: JP2000227169A
Application number: JP11029809A
Authority: JP
Inventors: Makoto Makino; 誠牧野
Original assignee: Nichiden Machinery Ltd
Current assignee: Canon Machinery Inc
Priority date: 1999-02-08
Filing date: 1999-02-08
Publication date: 2000-08-15

Abstract

(57)【要約】【課題】複数個の真空吸着を形成するエアー回路にお
いて、そのエアー制御機器及びそれらを具備する装置全
体の省スペース化を図ると共に信頼性を高める。【解決手段】絞り弁１２と電磁弁１３の一対からなる
多数のエアー制御手段が集約し一体化して組み込んで、
装置等に組み込む際、吸着ノズル１５までの間のエアー
配管や電気配線をする必要をなくし、それによりレイア
ウトを簡素化し、省スペース化及び装置の小型化を図
る。部品を個々に組み込んだり配管・配線をしていた手
間を省くことにより、装置の組立製造工数を低減してコ
ストを下げる。同時に、集約一体化することで安価とな
り、加えて調整の容易化と精度の向上にも寄与する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、絞り弁付きマニ
ホールドおよびこれを用いた搬送装置に関し、特に電子
部品等の組立や製造におけるチップ部品のワークを移送
・搬送する際に利用する吸着ノズルでの着脱を制御する
ためにの絞り弁付きマニホールドとこれを用いた搬送装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ワークを吸着ノズルで吸着して移送した
り搬送したりする装置は、電子部品の製造・検査や部品
の各種処理に利用されている。この場合、ワークの着脱
制御にエアーの圧力を利用して行われる。例えば、本発
明者の提案する搬送装置のエアー回路切り替え装置で
は、間欠的に回動するターンテーブルの周辺に等角度間
隔に配置した複数の吸着ノズルでワークを吸着保持した
り開放したりするのに電磁弁を制御するため、真空源と
高圧源のエアー源を切り替える搬送装置を開示している
（特開平１０−１５２２２２号公報参照）。この装置に
おいて、ワークをピックアップし所定位置にプレースす
る移送機構が多数用いられ、それらは真空吸着によりワ
ークを把持し、真空を破壊することによりワークを載置
している。

【０００３】真空吸着と真空破壊のためには負圧と正圧
２系統のエアー源が必要となり、それらを切り替えるこ
とによりワークの把持時間を制御することも必要とされ
る。例えば、間欠動作でワークを順次移送しつつ各種の
検査処理をする場合に、所要の検査時間が異なる場合の
処理能力を改善するために、把持していたワークを高速
にかつ確実に離すことができるように、真空状態を強制
的に正圧にするよう真空破壊が行われ、その際に、ワー
クの大きさ・重さ・真空破壊時間に応じて、保持力や時
間を調整する必要がある。本発明者はそうした場合の手
段にダミーポシションの設置を提案するものもある（特
開平１０−２６０２２７号公報参照）。

【０００４】図４は本発明の前提となるこの種のマニホ
ールドと吸着ノズルの配置構成を示す概略図である。吸
着ノズル５はマニホールド１との間に絞り弁継ぎ手２と
電磁弁３をエアーチューブ４を介して結合される。マニ
ホールド１は、図示しないが圧力の異なるエアー源の入
口が接続され、本体内で分岐配管した多数の出口にエア
ーチューブ４を接続して構成されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】多数の吸着ノズル５を
絞り弁継ぎ手３や電磁弁４を経由して分技配管のマニホ
ールド１に接続する場合、取付け上の問題のほかに複雑
なチューブ４の引き回しが装置組立を複雑化し、調整機
能の低下を招くことが判明した。例えば、タイミングの
微調整ができないとか、高速対応ができないとかの欠点
が生じ、かつ調整操作の複雑さからの見分けの困難さと
調整工数の増加を招いていた。また、複数個の真空吸着
回路を有する搬送装置を製作する場合、マニホールド１
から吸着ノズル５までの間に絞り弁継ぎ手２および電磁
弁３が必要で、かつそれらをエアーチューブ４で配管し
たり、電源と配線したりするために、装置が煩雑になり
比較的大きな空間スペースを必要とし、結果的に装置の
小型化を図るのが困難であった。

【０００６】また、複数個の吸着ノズル５を設ける場
合、それに対応したエアー通路を有する必要があるの
で、エアー通路の数だけの絞り弁継ぎ手２と電磁弁３を
別個に配置しなければならず、その取付けのみならず特
定の吸着ノズル５とに対応した絞り弁継ぎ手２および電
磁弁３の識別が困難であった。

【０００７】したがって、本発明の目的は上述する欠陥
に鑑み提案されたものであり、これらの問題を解消する
改良されたマニホールドの提供であり、このようなマニ
ホールドを用いた改良された搬送装置の提供である。

【課題を解決するための手段】本発明によれば、エアー
通路に調整可能な絞り弁を設け、調整されたエアーの通
路を切替え制御する電磁弁を複数個併設した取付用本体
部材からなる絞り弁付きマニホールドが開示される。

【０００８】特に、異なる圧力のエアー供給源に配管さ
れた２ポートのエアー入力口と、複数個の吸着ノズルに
配管された、多数ポートのエアー出力口を有する取付用
本体部材、各吸着ノズルのエアー流量を調整可能にする
複数個の絞り弁および各吸着ノズルの動作状態を切替え
る複数個の電磁弁を具備し、前記絞り弁および電磁弁が
単一の本体部材に取付けられ、取付けスペースを小さく
することを特徴とする絞り弁付きマニホールドを提示す
る。

【０００９】また、間欠動で回転するターンテーブルの
周辺に等角度間隔で配置した複数個の吸着ノズルにより
ワークを着脱自在に制御する搬送装置において、複数個
の吸着ノズルはチューブを介してマニホールドの出力口
と結合され、このマニホールドは異なる圧力のエアー供
給源に配管された２ポートのエアー入力口と複数個の吸
着ノズルに配管された多数ポートのエアー出力口を有す
る取付用本体部材、各ノズルのエアー流量を調整可能に
する複数個の絞り弁および各吸着ノズルの動作状態を切
替える複数個の電磁弁を具備し、前記ワークの着脱を真
空吸着と真空破壊の制御により行うことを特徴とする絞
り弁付きマニホールドを用いた搬送装置を提供する。

【００１０】また、マニホールドに絞り弁と電磁弁を一
体化して取付けているために、マニホールドから吸着ノ
ズルまでの間のエアー通路に付加物を別個に組み込んだ
りエアーチューブ等で配管・配線する必要がなくなる。
それゆえにかかるレイアウトが簡素化され、省スペース
たなり装置の小型化が可能になる。

【００１１】さらに、構成部品を個々に組み込んだり、
配管・配線をしていた手間を省くことができ、装置の製
造組立工数を低減し、低コスト化が可能になる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下本発明を実施例により詳述す
る。本発明のマニホールド１０は、図１に示すように、
異なる圧力のエアー供給源１８、１９に配管される２ポ
ートのエアー入力口１６、１７と複数個の吸着ノズル１
５にエアーチューブ１４で配管される多数ポートのエア
ー出力口２０を有する取付用本体部材１１により構成さ
れる。各吸着ノズル１５のエアー流量を調整可能にする
ための複数個の絞り弁１２および各吸着ノズルの動作状
態を切替える複数個の電磁弁１３が単一の本体部材１１
に取付けられる。したがって、本発明に係るマニホール
ドはその取付けスペースを小さくすることができ、省ス
ペース化が可能な絞り弁付きマニホールドとなる。

【００１３】また、本発明のマニホールド１０におい
て、電磁弁１３および絞り弁１２はそれぞれ一対で制御
手段となり、絞り弁１２を電磁弁１３の入口側で異なる
圧力のエアー供給源に介在させることで吸着ノズル１５
の調整操作を容易・簡素にすることができる。

【００１４】特に、絞り弁１２の本体部材の取付け位置
が、エアー供給源の高圧側の正圧エアー源１９とし、か
つ吸着ノズル１５に配管される出力口と同一面とするこ
とで、吸着ノズル１５の動作調整を容易かつ簡素化する
ことができる。

【００１５】図２は本発明のマニホールド１０のエアー
通路を示し、絞り弁１２と電磁弁１３の配置関係を示し
ている。本体部材１１のポートＰ１６には、真空吸着す
るための負圧エアー源１８から負圧が供給され、ポート
Ｒ１７には真空破壊の際必要な正圧エアーが正圧エアー
源１９から供給される。ポートＡ２０にはエアーチュー
ブ１４を介して吸着ノズル１５が接続されている。更
に、本発明のマニホールド１０では、本体部材１１の分
岐配管と一体化されて絞り弁１２が、図２に示すよう
に、ポートＲ１７側の正圧エアー源１９と電磁弁１３と
の間に接続されており、真空破壊時の調整が可能とな
る。なお、図２は３ポートの電磁弁１３を配する例であ
るが、４・５ポートの電磁弁を配する場合も同じ機能を
発揮できる。

【００１６】

【実施例】図３は本発明の絞り弁付きマニホールド１０
を用いた搬送装置３０の具体例を示している。この実施
例は、間欠的に回動してインデックス送りされるターン
テーブル３３上のワーク３５を、その停止中に吸着ノズ
ル１５で吸着保持した後、別の固定ステージ３４に移送
し所定の処理を施し、処理後に再び元の位置に戻す機能
を持った搬送装置３０の概要図である。すなわち、複数
個の真空吸着ノズル１５を有し、複数位置での移し替え
を行う搬送装置である。ここで、マニホールド１０の本
体部材１１は、搬送装置３０のセンターバルブ３２と配
管部分が直接結合されることで、エアーチューブ１４が
短縮できエアー抵抗を低減できる。

【００１７】

【発明の効果】上述するように構成された本発明のマニ
ホールドは、次のような効果を奏する。第一の効果は、
本発明のマニホールドが絞り弁と電磁弁の一対からなる
多数のエアー制御手段が集約し一体化して組み込まれた
ものであるから、装置等に組み込む際、吸着ノズルまで
の間のエアー配管や電気配線をする必要がなく、それに
よりレイアウトが簡素化され、極めて省スペース化が図
れるため、装置の小型化が実現する。

【００１８】同時に、流体に不活性ガスを使用すること
により、酸化等の発生を防止することができ、酸化を嫌
うワークの搬送にも問題なく対応できる。

【００１９】また、これまで部品を個々に組み込んだり
配管・配線をしていた手間を省くことができるために、
装置の組立製造工数を低減してコストを下げることが可
能になる。同時に、使用する部品点数においても、個々
に購入する場合に比べると、集約一体化することで安価
となり、加えて調整の容易化と精度の向上にも寄与でき
る。

【００２０】また、間欠的に回動してインデックス送り
されるターンテーブル上のワークを、その停止中に吸着
ノズルで吸着保持した後、別の固定ステージに移送し所
定の処理を施し、処理後に再び元の位置に戻す機能を持
った搬送装置で、複数個の真空吸着ノズルを有し、複数
位置での移し替えを行う場合、マニホールドの本体部材
を、搬送装置のセンターバルブと直接結合することによ
り、チューブが短縮でき流体抵抗を低減できる。

【００２１】それに、複数個のエアー回路を有する装置
の場合も、各回路に対応した絞り弁と電磁弁が近接して
マニホールド上に配置されるために、或る吸着ノズルに
対応した絞り弁および電磁弁の識別が明確になり、装置
の調整・保全作業が容易になる。

【００２２】また、ばらばらの部品をエアーチューブ等
による配管・配線をする必要がなく、その接続個所が減
り、接続部分からのエアー漏れ等の不具合もなくなるた
めに、装置の信頼性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示すマニホールドの要部を
示す斜視図

【図２】図１に示すマニホールドのエアー通路の回路
図

【図３】図１のマニホールドを用いた搬送装置の斜視
図

【図４】本発明の前提となるマニホールドの構成概略
図

【符号の説明】

１０絞り弁付きマニホールド１１本体部材１２絞り弁１３電磁弁１４エアーチューブ１５吸着ノズル１６ポートＰ１７ポートＲ１８負圧エアー源１９正圧エアー源２０ポートＡ３０搬送装置３２センターバルブ３３ターンテーブル３４固定ステージ３５ワーク

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】流体の通路に調整可能な絞り弁を設け、調
整された流体通路を切替え制御する電磁弁を複数個併設
した取付用本体部材からなる絞り弁付きマニホールド。
【請求項２】請求項１に記載したマニホールドにおい
て、流体を気体とする絞り弁付きマニホールド。
【請求項３】請求項１に記載したマニホールドにおい
て、前記絞り弁は、前記各電磁弁の流体入力側に挿入さ
れ、電磁弁出力側の流体流量を制御し、所望流量に調整
可能にすることを特徴とする絞り弁付きマニホールド。
【請求項４】請求項３に記載したマニホールドにおい
て、前記電磁弁はその出力側にワークを着脱自在にする
吸着ノズルを結合し、電磁弁の切替え制御によりワーク
の着脱動作をさせるようにしたことを特徴とする絞り弁
付きマニホールド。
【請求項５】異なる圧力のエアー源（１８、１９）に配
管された２ポートのエアー入力口（１６、１７）と複数
個の吸着ノズル（１５）に配管された多数ポートのエア
ー出力口（２０）を有する取付用本体部材（１１）、各
吸着ノズルのエアー流量を調整可能にする複数個の絞り
弁（１２）および各吸着ノズルの動作状態を切替える複
数個の電磁弁（１３）を具備し、前記絞り弁および電磁
弁が単一の本体部材に取付けられ、取付けスペースを小
さくすることを特徴とする絞り弁付きマニホールド。
【請求項６】請求項５に記載したマニホールドにおい
て、前記電磁弁および絞り弁はそれぞれ一対で制御手段
となり、前記絞り弁を電磁弁の入口側で異なる圧力のエ
アー源に介在させて前記吸着ノズルの調整操作を容易・
簡素にすることを特徴とする絞り弁付きマニホールド。
【請求項７】前記絞り弁の前記本体部材の取付け位置
が、前記エアー源の高圧側であり、かつ前記吸着ノズル
に配管される出力口と同一面として、吸着ノズルのエア
ー流量調整を容易かつ簡素化することを特徴とする請求
項４に記載した絞り弁付きマニホールド。
【請求項８】間欠動で回転するターンテーブル（３３）
の周辺に等角度間隔で配置した複数個の吸着ノズル（１
５）によりワーク（３５）を着脱自在に制御する搬送装
置において、前記複数個の吸着ノズルはチューブを介し
て本体部材（１１）のエアー出力口（２０）と結合さ
れ、前記マニホールドは異なる圧力のエアー源（１８、
１９）に配管された２ポートのエアー入力口（１６、１
７）と複数個の吸着ノズル（１５）に配管された多数ポ
ートのエアー出力口（２０）を有する取付用本体部材
（１１）、各ノズルのエアー流量を調整可能にする複数
個の絞り弁（１２）および各ノズルの動作状態を切替え
る複数個の電磁弁（１３）を具備し、前記ワークの着脱
を真空吸着と真空破壊の制御により行うことを特徴とす
る絞り弁付きマニホールドを用いた搬送装置。
【請求項９】請求項８に記載した搬送装置において、前
記ターンテーブルはセンターバルブを有し、前記マニホ
ールドはその出力口が直接にセンターバルブに接続され
ており、各吸着ノズルがこのセンターバルブを介して配
管されたことを特徴とする絞り弁付きマニホールドを用
いた搬送装置。
【請求項１０】請求項９に記載された搬送装置におい
て、前記装置は前記ノズルが異なるエアー源の切替えに
よるワークの吸着保持と開放の切替え制御を前記電磁弁
により行い、前記センターバルブと前記マニホールドと
の直結配管による配管短縮でスピードアップするように
したことを特徴とする絞り弁付きマニホールドを用いた
搬送装置。