JP2000229289A - フッ素含有水の処理方法 - Google Patents
フッ素含有水の処理方法Info
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- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
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- Y02A20/124—Water desalination
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
- Removal Of Specific Substances (AREA)
- Water Treatment By Electricity Or Magnetism (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 フッ素イオンを含む回収水を混合した原水を
電気脱塩装置で処理するに当り、電気脱塩装置の濃縮室
におけるフッ化カルシウムスケールの生成を防止して長
期に亘り安定に処理を行う。 【解決手段】 フッ素含有水を電気脱塩装置に供給して
処理する方法において、電気脱塩装置に供給される水の
カルシウム濃度［Ｃａ］（ｍｇ／Ｌ）及びフッ素濃度
［Ｆ］（ｍｇ／Ｌ）と電気脱塩装置の水回収率（生産水
量／供給水量）［Ｒ］の関係が、下記式を満たすように
処理を行う。 ［Ｃａ］×［Ｆ］2／｛１−［Ｒ］｝＜５０
電気脱塩装置で処理するに当り、電気脱塩装置の濃縮室
におけるフッ化カルシウムスケールの生成を防止して長
期に亘り安定に処理を行う。 【解決手段】 フッ素含有水を電気脱塩装置に供給して
処理する方法において、電気脱塩装置に供給される水の
カルシウム濃度［Ｃａ］（ｍｇ／Ｌ）及びフッ素濃度
［Ｆ］（ｍｇ／Ｌ）と電気脱塩装置の水回収率（生産水
量／供給水量）［Ｒ］の関係が、下記式を満たすように
処理を行う。 ［Ｃａ］×［Ｆ］2／｛１−［Ｒ］｝＜５０
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はフッ素含有水を電気
脱塩装置で処理する方法に係り、特に、電子産業分野等
の純水製造装置において、フッ素イオンを含む回収水を
混合した原水を電気脱塩装置で処理するに当り、電気脱
塩装置の濃縮室におけるフッ化カルシウム（ＣａＦ2）
スケールの生成を防止して長期に亘り安定に処理を行う
方法に関する。
脱塩装置で処理する方法に係り、特に、電子産業分野等
の純水製造装置において、フッ素イオンを含む回収水を
混合した原水を電気脱塩装置で処理するに当り、電気脱
塩装置の濃縮室におけるフッ化カルシウム（ＣａＦ2）
スケールの生成を防止して長期に亘り安定に処理を行う
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体、レンズ、液晶等の洗浄用
水、医薬用水等に用いられる脱塩水の製造には、電極の
間に複数のアニオン交換膜及びカチオン交換膜を交互に
配列して濃縮室と脱塩室とを交互に形成した電気脱塩装
置が多用されている。電気脱塩装置は効率的な脱塩処理
が可能であり、イオン交換樹脂のような再生を必要とせ
ず、完全な連続採水が可能で、極めて高純度の水が得ら
れるという優れた効果を奏する。なお、電気脱塩装置に
は、脱塩室にアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂とが
混合して充填されているものと、脱塩室にイオン交換樹
脂が充填されていないものとがあるが、処理水の水質向
上の点では、脱塩室にイオン交換樹脂が充填されたもの
の方が効果的である。
水、医薬用水等に用いられる脱塩水の製造には、電極の
間に複数のアニオン交換膜及びカチオン交換膜を交互に
配列して濃縮室と脱塩室とを交互に形成した電気脱塩装
置が多用されている。電気脱塩装置は効率的な脱塩処理
が可能であり、イオン交換樹脂のような再生を必要とせ
ず、完全な連続採水が可能で、極めて高純度の水が得ら
れるという優れた効果を奏する。なお、電気脱塩装置に
は、脱塩室にアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂とが
混合して充填されているものと、脱塩室にイオン交換樹
脂が充填されていないものとがあるが、処理水の水質向
上の点では、脱塩室にイオン交換樹脂が充填されたもの
の方が効果的である。
【０００３】電気脱塩装置では、脱塩室に流入した原水
中のイオンが親和力、濃度及び移動度に基いて電位をか
けた電極の方向（被処理水の流れに対して直角方向）に
移動し、更に、脱塩室と濃縮室とを仕切るカチオン交換
膜又はアニオン交換膜を横切って移動し、すべての室に
おいて電荷の中和が保たれるようになる。そして、イオ
ン交換膜の半浸透特性及び電位により、原水のイオンは
脱塩室では減少し、隣りの濃縮室では濃縮されることに
なる。このため、脱塩室から脱塩水が回収される。
中のイオンが親和力、濃度及び移動度に基いて電位をか
けた電極の方向（被処理水の流れに対して直角方向）に
移動し、更に、脱塩室と濃縮室とを仕切るカチオン交換
膜又はアニオン交換膜を横切って移動し、すべての室に
おいて電荷の中和が保たれるようになる。そして、イオ
ン交換膜の半浸透特性及び電位により、原水のイオンは
脱塩室では減少し、隣りの濃縮室では濃縮されることに
なる。このため、脱塩室から脱塩水が回収される。
【０００４】このような電気脱塩装置におけるスケール
発生の要因として、硬度成分があることは知られてい
る。しかし、一般的に、電気脱塩装置の原水としては、
水道水、工水等が供給されるため、電気脱塩装置に流入
する供給水にフッ素イオンが含まれていることは殆どな
く、このため、従来においては電気脱塩装置でＣａＦ2
のスケールが問題になることはなかった。
発生の要因として、硬度成分があることは知られてい
る。しかし、一般的に、電気脱塩装置の原水としては、
水道水、工水等が供給されるため、電気脱塩装置に流入
する供給水にフッ素イオンが含まれていることは殆どな
く、このため、従来においては電気脱塩装置でＣａＦ2
のスケールが問題になることはなかった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、近年、電子産
業分野等の純水製造装置への電気脱塩装置の適用が進む
一方で、水の有効利用を目的として、工場の回収水を原
水に混合して処理するケースが多くなってきている。こ
のようなケースでは、回収水中に含まれるフッ素イオン
が電気脱塩装置で濃縮される際に、ＣａＦ2のスケール
を生成し、スケール障害を引き起こす。
業分野等の純水製造装置への電気脱塩装置の適用が進む
一方で、水の有効利用を目的として、工場の回収水を原
水に混合して処理するケースが多くなってきている。こ
のようなケースでは、回収水中に含まれるフッ素イオン
が電気脱塩装置で濃縮される際に、ＣａＦ2のスケール
を生成し、スケール障害を引き起こす。
【０００６】本発明は上記従来の問題点を解決し、フッ
素含有水を電気脱塩装置で処理するに当り、電気脱塩装
置の濃縮室におけるＣａＦ2スケールの生成を防止して
長期に亘り安定な処理を行うことができるフッ素含有水
の処理方法を提供することを目的とする。
素含有水を電気脱塩装置で処理するに当り、電気脱塩装
置の濃縮室におけるＣａＦ2スケールの生成を防止して
長期に亘り安定な処理を行うことができるフッ素含有水
の処理方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のフッ素含有水の
処理方法は、フッ素含有水を電気脱塩装置に供給して処
理する方法において、電気脱塩装置に供給される水のカ
ルシウム濃度［Ｃａ］（ｍｇ／Ｌ）及びフッ素濃度
［Ｆ］（ｍｇ／Ｌ）と電気脱塩装置の水回収率（生産水
量／供給水量）［Ｒ］の関係が、下記式を満たすように
処理を行うことを特徴とする。
処理方法は、フッ素含有水を電気脱塩装置に供給して処
理する方法において、電気脱塩装置に供給される水のカ
ルシウム濃度［Ｃａ］（ｍｇ／Ｌ）及びフッ素濃度
［Ｆ］（ｍｇ／Ｌ）と電気脱塩装置の水回収率（生産水
量／供給水量）［Ｒ］の関係が、下記式を満たすように
処理を行うことを特徴とする。
【０００８】 ［Ｃａ］×［Ｆ］2／｛１−［Ｒ］｝＜５０ 即ち、本発明者は、フッ素イオンを含む供給水を電気脱
塩装置において処理する様々なケースについて、ＣａＦ
2スケール障害の有無と供給水の条件及び運転条件を比
較検討した結果、これらに一定の関連性があり、上記式
を満たすように処理を行った場合には、ＣａＦ2のスケ
ール障害を防止できることを見出し、本発明を完成させ
た。
塩装置において処理する様々なケースについて、ＣａＦ
2スケール障害の有無と供給水の条件及び運転条件を比
較検討した結果、これらに一定の関連性があり、上記式
を満たすように処理を行った場合には、ＣａＦ2のスケ
ール障害を防止できることを見出し、本発明を完成させ
た。
【０００９】なお、供給水条件が上記式を満たし難い場
合、上記式を満足するための手段としては、水回収率
［Ｒ］を小さくすることが最も簡単な手段であるが、こ
の場合には、生産水量が少なく、濃縮水の量が多くなり
生産性が低下するため、水の有効利用の面で望ましくな
い。
合、上記式を満足するための手段としては、水回収率
［Ｒ］を小さくすることが最も簡単な手段であるが、こ
の場合には、生産水量が少なく、濃縮水の量が多くなり
生産性が低下するため、水の有効利用の面で望ましくな
い。
【００１０】従って、この場合には、フッ素含有水をイ
オン交換樹脂で処理して、スケール成分のフッ素イオン
又はカルシウムイオンを予め除去し、［Ｒ］を小さくす
ることなく上記式を満たすようにすることが好ましい。
オン交換樹脂で処理して、スケール成分のフッ素イオン
又はカルシウムイオンを予め除去し、［Ｒ］を小さくす
ることなく上記式を満たすようにすることが好ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を詳細
に説明する。
に説明する。
【００１２】本発明の方法は、フッ素含有水を電気脱塩
装置で処理するに当り、電気脱塩装置の供給水のカルシ
ウム濃度（ｍｇ／Ｌ）を［Ｃａ］とし、及びフッ素濃度
（ｍｇ／Ｌ）を［Ｆ］とし、電気脱塩装置の水回収率
（生産水量／供給水量）を［Ｒ］としたときに、これら
の関係が、下記式を満たすように処理を行うものであ
る。
装置で処理するに当り、電気脱塩装置の供給水のカルシ
ウム濃度（ｍｇ／Ｌ）を［Ｃａ］とし、及びフッ素濃度
（ｍｇ／Ｌ）を［Ｆ］とし、電気脱塩装置の水回収率
（生産水量／供給水量）を［Ｒ］としたときに、これら
の関係が、下記式を満たすように処理を行うものであ
る。
【００１３】 ［Ｃａ］×［Ｆ］2／｛１−［Ｒ］｝＜５０ 上記関係式の［Ｃａ］×［Ｆ］2／｛１−［Ｒ］｝の値
が５０以上であると、電気脱塩装置の濃縮室においてＣ
ａＦ2スケールが生成し、スケール障害が発生する。こ
の値は、特に４０以下、とりわけ３０以下となるよう
に、供給水の条件や運転条件を調整するのが好ましい。
が５０以上であると、電気脱塩装置の濃縮室においてＣ
ａＦ2スケールが生成し、スケール障害が発生する。こ
の値は、特に４０以下、とりわけ３０以下となるよう
に、供給水の条件や運転条件を調整するのが好ましい。
【００１４】上記の関係式を満たすためには、電気脱塩
装置の水回収率（供給水量に対する生産水量の比）
［Ｒ］を小さくすることが最も容易な方法であるが、水
回収率［Ｒ］を過度に小さくすることは、前述の如く、
生産性の面で好ましくない。従って、本発明では、下記
の又はの方法を採用して供給水のフッ素イオン濃度
又はカルシウムイオン濃度を低減し、水回収率［Ｒ］を
０．８以上、好ましくは０．９〜０．９５に維持した上
で上記関係式を満たすようにするのが好ましい。
装置の水回収率（供給水量に対する生産水量の比）
［Ｒ］を小さくすることが最も容易な方法であるが、水
回収率［Ｒ］を過度に小さくすることは、前述の如く、
生産性の面で好ましくない。従って、本発明では、下記
の又はの方法を採用して供給水のフッ素イオン濃度
又はカルシウムイオン濃度を低減し、水回収率［Ｒ］を
０．８以上、好ましくは０．９〜０．９５に維持した上
で上記関係式を満たすようにするのが好ましい。
【００１５】 供給水中のフッ素イオン濃度を低減さ
せるために、アニオン交換樹脂を充填した非再生式イオ
ン交換装置で前処理する。ただし、アニオン交換樹脂に
よるフッ素イオンの除去では、定期的な樹脂の入れ替え
が必要となる。このような定期的なメンテナンスを少な
くするためには、アニオン交換樹脂として弱塩基性のア
ニオン交換樹脂を用いることが望ましい。弱塩基性アニ
オン交換樹脂は強塩基性アニオン交換樹脂よりも若干イ
オン交換性能が不足するが、半導体工場等の回収水中に
含まれるフッ素イオンはＨＦの形態が主体であり、中性
塩（ＮａＦ等）は少ないので、弱塩基性のアニオン交換
樹脂でも十分に除去できる。
せるために、アニオン交換樹脂を充填した非再生式イオ
ン交換装置で前処理する。ただし、アニオン交換樹脂に
よるフッ素イオンの除去では、定期的な樹脂の入れ替え
が必要となる。このような定期的なメンテナンスを少な
くするためには、アニオン交換樹脂として弱塩基性のア
ニオン交換樹脂を用いることが望ましい。弱塩基性アニ
オン交換樹脂は強塩基性アニオン交換樹脂よりも若干イ
オン交換性能が不足するが、半導体工場等の回収水中に
含まれるフッ素イオンはＨＦの形態が主体であり、中性
塩（ＮａＦ等）は少ないので、弱塩基性のアニオン交換
樹脂でも十分に除去できる。
【００１６】この場合、弱塩基性アニオン交換樹脂は、
単独で用いても良いが、原水のＦ形態によっては、強塩
基性アニオン交換樹脂と混合して用いても良い。
単独で用いても良いが、原水のＦ形態によっては、強塩
基性アニオン交換樹脂と混合して用いても良い。
【００１７】 供給水中のカルシウムイオン濃度を低
減させるために、カチオン交換樹脂を充填した非再生式
イオン交換装置で前処理する。この場合においても、カ
チオン交換樹脂によるカルシウムイオンの除去で、定期
的な樹脂の入れ替えが必要となることから、このような
定期的なメンテナンスを少なくするために、カチオン交
換樹脂として弱酸性のカチオン交換樹脂を用いることが
望ましい。弱酸性カチオン交換樹脂は、強酸性カチオン
交換樹脂よりも若干イオン交換性能が不足するが、供給
水中に含まれるカルシウムイオンはＣａ（ＨＣＯ3）2の
形態が主体であり、中性塩（ＣａＣｌ等）は少ないの
で、弱酸性のカチオン交換樹脂も十分に除去できる。
減させるために、カチオン交換樹脂を充填した非再生式
イオン交換装置で前処理する。この場合においても、カ
チオン交換樹脂によるカルシウムイオンの除去で、定期
的な樹脂の入れ替えが必要となることから、このような
定期的なメンテナンスを少なくするために、カチオン交
換樹脂として弱酸性のカチオン交換樹脂を用いることが
望ましい。弱酸性カチオン交換樹脂は、強酸性カチオン
交換樹脂よりも若干イオン交換性能が不足するが、供給
水中に含まれるカルシウムイオンはＣａ（ＨＣＯ3）2の
形態が主体であり、中性塩（ＣａＣｌ等）は少ないの
で、弱酸性のカチオン交換樹脂も十分に除去できる。
【００１８】この場合、弱酸性カチオン交換樹脂は、単
独で用いても良いが、原水のＣａ形態によっては、強酸
性カチオン交換樹脂と混合して用いても良い。
独で用いても良いが、原水のＣａ形態によっては、強酸
性カチオン交換樹脂と混合して用いても良い。
【００１９】上記，を共に採用することも可能であ
るが、本発明では前記関係式を満たしていればよく、一
般的には、，のいずれか一方を採用するのみで十分
であり、設備の簡略化の面からも、，のいずれか一
方を採用するのが経済的で有利である。
るが、本発明では前記関係式を満たしていればよく、一
般的には、，のいずれか一方を採用するのみで十分
であり、設備の簡略化の面からも、，のいずれか一
方を採用するのが経済的で有利である。
【００２０】なお、フッ素イオン濃度又はカルシウムイ
オン濃度の低減のための手段は上記，に何ら制限さ
れず、逆浸透（ＲＯ）膜分離装置や薬品再生型イオン交
換樹脂塔などを採用しても良い。一般に、電気脱塩装置
の前処理手段としてＲＯ膜分離装置が設けられているこ
とから、このような場合においてＲＯ膜分離装置でフッ
素イオン濃度又はカルシウムイオン濃度を低減するため
には、２機以上のＲＯ膜分離装置を直列に配置して多段
ＲＯ処理を行うことになる。ただし、設備や運転の簡便
性の面からは、上記又はの手段を採用するのが有利
である。
オン濃度の低減のための手段は上記，に何ら制限さ
れず、逆浸透（ＲＯ）膜分離装置や薬品再生型イオン交
換樹脂塔などを採用しても良い。一般に、電気脱塩装置
の前処理手段としてＲＯ膜分離装置が設けられているこ
とから、このような場合においてＲＯ膜分離装置でフッ
素イオン濃度又はカルシウムイオン濃度を低減するため
には、２機以上のＲＯ膜分離装置を直列に配置して多段
ＲＯ処理を行うことになる。ただし、設備や運転の簡便
性の面からは、上記又はの手段を採用するのが有利
である。
【００２１】本発明において用いる電気脱塩装置は、複
数のアニオン交換膜及びカチオン交換膜を交互に配列し
て濃縮室と脱塩室とを交互に形成した一般的なものであ
り、脱塩室にアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との
混合樹脂が充填されたものであっても、充填されていな
いものであっても良いが、処理水（生産水）の水質の向
上の面からは、脱塩室にアニオン交換樹脂とカチオン交
換樹脂の混合樹脂が充填されているものが好ましい。
数のアニオン交換膜及びカチオン交換膜を交互に配列し
て濃縮室と脱塩室とを交互に形成した一般的なものであ
り、脱塩室にアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との
混合樹脂が充填されたものであっても、充填されていな
いものであっても良いが、処理水（生産水）の水質の向
上の面からは、脱塩室にアニオン交換樹脂とカチオン交
換樹脂の混合樹脂が充填されているものが好ましい。
【００２２】このような本発明のフッ素含有水の処理方
法は、電子産業分野等の純水製造装置における、フッ素
イオンを含む回収水を混合した原水の処理に極めて有効
である。
法は、電子産業分野等の純水製造装置における、フッ素
イオンを含む回収水を混合した原水の処理に極めて有効
である。
【００２３】
【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明する。
り具体的に説明する。
【００２４】なお、実施例及び比較例で用いた電気脱塩
装置は、（栗田工業（株）製「ピュアエース」）（処理
水量１０００Ｌ／ｈｒ）であり、この電気脱塩装置は、
脱塩室に強塩基性アニオン交換樹脂（三菱化学（株）製
「ＳＡ１０Ａ」）と強酸性カチオン交換樹脂（三菱化学
（株）製「ＳＫ１Ｂ」）とが３５：６５（容量比）で充
填されたものである。
装置は、（栗田工業（株）製「ピュアエース」）（処理
水量１０００Ｌ／ｈｒ）であり、この電気脱塩装置は、
脱塩室に強塩基性アニオン交換樹脂（三菱化学（株）製
「ＳＡ１０Ａ」）と強酸性カチオン交換樹脂（三菱化学
（株）製「ＳＫ１Ｂ」）とが３５：６５（容量比）で充
填されたものである。
【００２５】実施例１ 半導体工場の回収水と市水とを混合した原水を、図１に
示すフローに従って、活性炭塔１、ＲＯ膜分離装置２で
順次処理し、次いで弱塩基性アニオン交換樹脂を充填し
た非再生式アニオン交換装置３で処理した後電気脱塩装
置４の供給水として水回収率［Ｒ］＝０．９５で処理し
た。
示すフローに従って、活性炭塔１、ＲＯ膜分離装置２で
順次処理し、次いで弱塩基性アニオン交換樹脂を充填し
た非再生式アニオン交換装置３で処理した後電気脱塩装
置４の供給水として水回収率［Ｒ］＝０．９５で処理し
た。
【００２６】このとき電気脱塩装置４の供給水のＣａ濃
度は０．３ｍｇ／Ｌ、Ｆ濃度は０．１ｍｇ／Ｌ以下で、
［Ｃａ］×［Ｆ］2／｛１−［Ｒ］｝＝０．３×（０．
１）2／（１−０．９５）＝０．０６であった。
度は０．３ｍｇ／Ｌ、Ｆ濃度は０．１ｍｇ／Ｌ以下で、
［Ｃａ］×［Ｆ］2／｛１−［Ｒ］｝＝０．３×（０．
１）2／（１−０．９５）＝０．０６であった。
【００２７】電気脱塩装置４を３ヶ月間連続運転した
後、電気脱塩装置４を解体して濃縮室におけるＣａＦ2
スケールの有無を調べたところ、ＣａＦ2スケールは全
く生成していなかった。
後、電気脱塩装置４を解体して濃縮室におけるＣａＦ2
スケールの有無を調べたところ、ＣａＦ2スケールは全
く生成していなかった。
【００２８】実施例２ 半導体工場の回収水と市水とを混合した原水を、図２に
示すフローに従って、活性炭塔１、ＲＯ膜分離装置２で
順次処理し、次いで弱酸性カチオン交換樹脂を充填した
非再生式カチオン交換装置５で処理した後電気脱塩装置
４の供給水として水回収率［Ｒ］＝０．９５で処理し
た。
示すフローに従って、活性炭塔１、ＲＯ膜分離装置２で
順次処理し、次いで弱酸性カチオン交換樹脂を充填した
非再生式カチオン交換装置５で処理した後電気脱塩装置
４の供給水として水回収率［Ｒ］＝０．９５で処理し
た。
【００２９】このとき電気脱塩装置４の供給水のＣａ濃
度は０．１ｍｇ／Ｌ以下、Ｆ濃度は３ｍｇ／Ｌで、［Ｃ
ａ］×［Ｆ］2／｛１−［Ｒ］｝＝０．１×（３）2／
（１−０．９５）＝１８であった。
度は０．１ｍｇ／Ｌ以下、Ｆ濃度は３ｍｇ／Ｌで、［Ｃ
ａ］×［Ｆ］2／｛１−［Ｒ］｝＝０．１×（３）2／
（１−０．９５）＝１８であった。
【００３０】電気脱塩装置４を３ヶ月間連続運転した
後、電気脱塩装置４を解体して濃縮室におけるＣａＦ2
スケールの有無を調べたところ、ＣａＦ2スケールは全
く生成していなかった。
後、電気脱塩装置４を解体して濃縮室におけるＣａＦ2
スケールの有無を調べたところ、ＣａＦ2スケールは全
く生成していなかった。
【００３１】比較例１ 半導体工場の回収水と市水とを混合した原水を、図３に
示すフローに従って、活性炭塔１、ＲＯ膜分離装置２で
順次処理した後電気脱塩装置４の供給水として水回収率
［Ｒ］＝０．９５で処理した。
示すフローに従って、活性炭塔１、ＲＯ膜分離装置２で
順次処理した後電気脱塩装置４の供給水として水回収率
［Ｒ］＝０．９５で処理した。
【００３２】このとき電気脱塩装置４の供給水のＣａ濃
度は０．３ｍｇ／Ｌ、Ｆ濃度は３ｍｇ／Ｌで、［Ｃａ］
×［Ｆ］2／｛１−［Ｒ］｝＝０．３×（３）2／（１−
０．９５）＝５４であった。
度は０．３ｍｇ／Ｌ、Ｆ濃度は３ｍｇ／Ｌで、［Ｃａ］
×［Ｆ］2／｛１−［Ｒ］｝＝０．３×（３）2／（１−
０．９５）＝５４であった。
【００３３】電気脱塩装置４を３ヶ月間連続運転した
後、電気脱塩装置４を解体して濃縮室におけるＣａＦ2
スケールの有無を調べたところ、ＣａＦ2スケールの生
成が認められた。
後、電気脱塩装置４を解体して濃縮室におけるＣａＦ2
スケールの有無を調べたところ、ＣａＦ2スケールの生
成が認められた。
【００３４】比較例２ 実施例２において、電気脱塩装置４の水回収率［Ｒ］を
上げて０．９９としたこと以外は同様にして処理を行っ
た。このときの運転条件は［Ｃａ］×［Ｆ］2／｛１−
［Ｒ］｝＝０．１×（３）2／（１−０．９９）＝９０
であった。
上げて０．９９としたこと以外は同様にして処理を行っ
た。このときの運転条件は［Ｃａ］×［Ｆ］2／｛１−
［Ｒ］｝＝０．１×（３）2／（１−０．９９）＝９０
であった。
【００３５】電気脱塩装置４を３ヶ月間連続運転した
後、電気脱塩装置４を解体して濃縮室におけるＣａＦ2
スケールの有無を調べたところ、ＣａＦ2スケールの生
成が認められた。
後、電気脱塩装置４を解体して濃縮室におけるＣａＦ2
スケールの有無を調べたところ、ＣａＦ2スケールの生
成が認められた。
【００３６】実施例３ 比較例１において、電気脱塩装置４の水回収率［Ｒ］を
下げて０．９０としたこと以外は同様にして処理を行っ
た。このときの運転条件は［Ｃａ］×［Ｆ］2／｛１−
［Ｒ］｝＝０．３×（３）2／（１−０．９０）＝２７
であった。
下げて０．９０としたこと以外は同様にして処理を行っ
た。このときの運転条件は［Ｃａ］×［Ｆ］2／｛１−
［Ｒ］｝＝０．３×（３）2／（１−０．９０）＝２７
であった。
【００３７】電気脱塩装置４を３ヶ月間連続運転した
後、電気脱塩装置４を解体して濃縮室におけるＣａＦ2
スケールの有無を調べたところ、ＣａＦ2スケールは全
く生成していなかった。
後、電気脱塩装置４を解体して濃縮室におけるＣａＦ2
スケールの有無を調べたところ、ＣａＦ2スケールは全
く生成していなかった。
【００３８】なお、上記実施例１〜３及び比較例１，２
のいずれにおいても得られた処理水（生産水）の比抵抗
は１６〜１８ＭΩ・ｃｍであり、処理水の水質には差異
はなかった。
のいずれにおいても得られた処理水（生産水）の比抵抗
は１６〜１８ＭΩ・ｃｍであり、処理水の水質には差異
はなかった。
【００３９】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明のフッ素含有
水の処理方法によれば、電子産業分野等の純水製造装置
等において、フッ素イオンを含む回収水を混合した原水
のようなフッ素含有水を電気脱塩装置で処理するに当
り、電気脱塩装置の濃縮室におけるフッ化カルシウムス
ケールの生成を防止して長期に亘り安定に処理を行うこ
とができる。
水の処理方法によれば、電子産業分野等の純水製造装置
等において、フッ素イオンを含む回収水を混合した原水
のようなフッ素含有水を電気脱塩装置で処理するに当
り、電気脱塩装置の濃縮室におけるフッ化カルシウムス
ケールの生成を防止して長期に亘り安定に処理を行うこ
とができる。
【００４０】請求項２の方法によれば、脱塩水の生産性
を落とすことなく、フッ化カルシウムのスケール障害を
有効に防止することができる。
を落とすことなく、フッ化カルシウムのスケール障害を
有効に防止することができる。
【図１】実施例１における処理方法を示す系統図であ
る。
る。
【図２】実施例２における処理方法を示す系統図であ
る。
る。
【図３】比較例１における処理方法を示す系統図であ
る。
る。
１ 活性炭塔 ２ ＲＯ膜分離装置 ３ 非再生式アニオン交換装置 ４ 電気脱塩装置 ５ 非再生式カチオン交換装置
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年２月１７日（１９９９．２．１
７）
７）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２４】なお、実施例及び比較例で用いた電気脱塩
装置は、（栗田工業（株）製「ピュアエース」）（処理
水量１０００Ｌ／ｈｒ）であり、この電気脱塩装置は、
脱塩室に強塩基性アニオン交換樹脂と強酸性カチオン交
換樹脂とが３５：６５（容量比）で充填されたものであ
る。
装置は、（栗田工業（株）製「ピュアエース」）（処理
水量１０００Ｌ／ｈｒ）であり、この電気脱塩装置は、
脱塩室に強塩基性アニオン交換樹脂と強酸性カチオン交
換樹脂とが３５：６５（容量比）で充填されたものであ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D006 GA03 KA01 KA72 KB11 KB12 KB30 PA10 PB07 PB27 PB28 PC01 4D025 AA06 AB06 AB19 BA09 BA10 BA14 BA15 DA03 DA05 DA06 4D038 AA05 AB40 AB59 BA04 BB06 BB08 BB09 4D061 DA05 DB19 DC13 EA09 EB01 EB13 FA06 FA08 FA09 GC19
Claims (2)
- 【請求項１】 フッ素含有水を電気脱塩装置に供給して
処理する方法において、電気脱塩装置に供給される水の
カルシウム濃度［Ｃａ］（ｍｇ／Ｌ）及びフッ素濃度
［Ｆ］（ｍｇ／Ｌ）と電気脱塩装置の水回収率（生産水
量／供給水量）［Ｒ］の関係が、下記式を満たすように
処理を行うことを特徴とするフッ素含有水の処理方法。 ［Ｃａ］×［Ｆ］2／｛１−［Ｒ］｝＜５０ - 【請求項２】 請求項１において、フッ素含有水をイオ
ン交換樹脂で処理した後、電気脱塩装置に供給すること
を特徴とするフッ素含有水の処理方法。
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000229289A true JP2000229289A (ja) | 2000-08-22 |
| JP3473472B2 JP3473472B2 (ja) | 2003-12-02 |
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ID=12262822
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02895499A Expired - Fee Related JP3473472B2 (ja) | 1999-02-05 | 1999-02-05 | フッ素含有水の処理方法 |
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| JP (1) | JP3473472B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002096068A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-02 | Japan Organo Co Ltd | 脱塩排水の処理方法及び装置 |
| JP2002119974A (ja) * | 2000-10-12 | 2002-04-23 | Kurita Water Ind Ltd | 純水の製造方法 |
| WO2013099304A1 (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-04 | 三菱重工メカトロシステムズ株式会社 | 排水処理装置 |
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- 1999-02-05 JP JP02895499A patent/JP3473472B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2013138977A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-18 | Mitsubishi Heavy Industries Mechatronics Systems Ltd | 排水処理装置 |
| CN103930380A (zh) * | 2011-12-28 | 2014-07-16 | 三菱重工机电系统株式会社 | 废水处理装置 |
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