JP2000236107A

JP2000236107A - フォトダイオードアレイ相対感度測定方法及びこれを用いた測定装置

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Publication number: JP2000236107A
Application number: JP11035579A
Authority: JP
Inventors: Akira Miura; 明三浦; Yoshihiro Sanpei; 義広三瓶; Katsutoshi Sakakibara; 勝利榊原; Tadashige Fujita; 忠重藤田; Kyoichi Akasaka; 恭一赤坂; Hirotaka Toyoda; 啓孝豊田
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 1999-02-15
Filing date: 1999-02-15
Publication date: 2000-08-29

Abstract

(57)【要約】【課題】一般的な光源でフォトダイオードアレイの相
対感度測定が可能なフォトダイオードアレイ相対感度測
定方法及びこれを用いた測定装置を実現する。【解決手段】フォトダイオードアレイ相対感度測定方
法において、異なる照射位置の２つのガウスビームの一
部を重ね合わせて被測定対象のフォトダイオードアレイ
に入射しておき、フォトダイオードアレイを構成する個
々のフォトダイオード素子の出力を取り込み、記フォト
ダイオードアレイの相対感度を求める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フォトダイオード
アレイ相対感度測定方法に関し、特に一般的な光源でフ
ォトダイオードアレイの相対感度測定が可能なフォトダ
イオードアレイ相対感度測定方法及びこれを用いた測定
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、フォトダイオードアレイの相対感
度を測定するためには、空間的に均一なパワー分布を有
する光源からの出力光をフォトダイオードアレイに照射
して、フォトダイオードアレイを構成する各フォトダイ
オード素子の出力を測定することにより当該フォトダイ
オードアレイの相対感度を得ている。

【０００３】図８はこのような従来のフォトダイオード
アレイの相対感度を測定する装置の一例を示す構成ブロ
ック図である。図８において１は空間的に均一なパワー
分布を有する光源、２は光学系、３は被測定対象である
フォトダイオードアレイ、４は信号処理回路である。

【０００４】光源１の出力光は光ファイバやレンズ等の
光学部品により構成された光学系２を介して被測定対象
であるフォトダイオードアレイ３に入射される。フォト
ダイオードアレイ３を構成する個々のフォトダイオード
素子の出力は信号処理回路４に接続される。

【０００５】ここで、図８に示す従来例の動作を説明す
る。光源１の出力光は空間的に均一のパワー分布を有す
るのでフォトダイオードアレイ３を構成する個々のフォ
トダイオード素子には同一強度の光が入射される。従っ
て、個々のフォトダイオード素子の出力を信号処理回路
４で取り込むことにより個々のフォトダイオード素子間
の相対的な感度分布、言い換えれば、フォトダイオード
アレイ３の相対感度を得ることができる。

【０００６】この結果、フォトダイオードアレイ３を構
成する個々のフォトダイオード素子に対して同一強度の
光を入射して個々のフォトダイオード素子の出力を測定
することにより、フォトダイオードアレイの相対感度を
測定することが可能になる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、図８中に例示
した空間的に均一のパワー分布を有する特殊な光源を実
現するためには、言い換えれば、光を空間的にランダム
な分布にするためには白色光源及び拡散板等を組み合わ
せた大掛りな光学系を用いると共に比較的低めのパワー
を出力することにより出力光を安定化させる必要がある
と言った問題点があった。すなわち、このような光源を
実現するためには光学系が大規模になると共に出力でき
るパワーも小さくなると言った課題があった。

【０００８】一方、フォトダイオードアレイには高感度
である電荷蓄積型のものや感度の低い非蓄積型のものが
存在し、前者は上述の白色光源を用い低パワーで空間的
に均一のパワー分布を有する光源であっても図８に示す
ような装置により相対感度を測定することが可能である
が、後者の場合には低パワーであるため相対感度の測定
が困難であると言った課題があった。従って本発明が解
決しようとする課題は、一般的な光源でフォトダイオー
ドアレイの相対感度測定が可能なフォトダイオードアレ
イ相対感度測定方法及びこれを用いた測定装置を実現す
ることにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために、本発明のうち請求項１記載の発明は、フォト
ダイオードアレイ相対感度測定方法において、異なる照
射位置の２つのガウスビームの一部を重ね合わせて被測
定対象のフォトダイオードアレイに入射しておき、前記
フォトダイオードアレイを構成する個々のフォトダイオ
ード素子の出力を取り込み、前記フォトダイオードアレ
イの相対感度を求めることにより、個々のフォトダイオ
ード素子にはほぼ同一強度の光が入射されるので、一般
的な光源でフォトダイオードアレイの相対感度を測定す
ることが可能になる。

【００１０】請求項２記載の発明は、フォトダイオード
アレイ相対感度測定方法において、照射位置を変化させ
てガウスビームを被測定対象のフォトダイオードアレイ
に順次入射しておき、前記フォトダイオードアレイを構
成する個々のフォトダイオード素子の各照射位置におけ
る出力を順次取り込み、得られた前記フォトダイオード
素子の各照射位置における出力を平均して前記フォトダ
イオードアレイの相対感度を求めることにより、個々の
フォトダイオード素子には等価的にほぼ同一強度の光が
入射されるので、一般的な光源でフォトダイオードアレ
イの相対感度を測定することが可能になる。

【００１１】請求項３記載の発明は、請求項２記載の発
明であるフォトダイオードアレイ相対感度測定方法にお
いて、前記ガウスビームの出射位置を変化させて前記照
射位置を変化させることにより、個々のフォトダイオー
ド素子には等価的にほぼ同一強度の光が入射されるの
で、一般的な光源でフォトダイオードアレイの相対感度
を測定することが可能になる。

【００１２】請求項４記載の発明は、請求項２記載の発
明であるフォトダイオードアレイ相対感度測定方法にお
いて、前記フォトダイオードアレイの位置を変化させて
前記照射位置を変化させることにより、個々のフォトダ
イオード素子には等価的にほぼ同一強度の光が入射され
るので、一般的な光源でフォトダイオードアレイの相対
感度を測定することが可能になる。

【００１３】請求項５記載の発明は、フォトダイオード
アレイ相対感度を測定する測定装置において、異なる照
射位置の２つのガウスビームの一部を重ね合わせて被測
定対象のフォトダイオードアレイに入射する光源装置
と、前記フォトダイオードアレイを構成する個々のフォ
トダイオード素子の出力を取り込み前記フォトダイオー
ドアレイの相対感度を求める信号処理回路とを備えたこ
とにより、個々のフォトダイオード素子にはほぼ同一強
度の光が入射されるので、一般的な光源でフォトダイオ
ードアレイの相対感度を測定することが可能になる。

【００１４】請求項６記載の発明は、フォトダイオード
アレイ相対感度を測定する測定装置において、照射位置
を変化させてガウスビームを被測定対象のフォトダイオ
ードアレイに順次入射する光源装置と、前記フォトダイ
オードアレイを構成する個々のフォトダイオード素子の
各照射位置における出力を順次取り込むと共に出力を平
均して前記フォトダイオードアレイの相対感度を求める
信号処理装置とを備えたことにより、個々のフォトダイ
オード素子には等価的にほぼ同一強度の光が入射される
ので、一般的な光源でフォトダイオードアレイの相対感
度を測定することが可能になる。

【００１５】請求項７記載の発明は、請求項６記載の発
明である測定装置において、前記光源装置で前記ガウス
ビームの出射位置を変化させて前記照射位置を変化させ
ることにより、個々のフォトダイオード素子には等価的
にほぼ同一強度の光が入射されるので、一般的な光源で
フォトダイオードアレイの相対感度を測定することが可
能になる。

【００１６】請求項８記載の発明は、請求項６記載の発
明である測定装置において、位置制御手段で前記フォト
ダイオードアレイの位置を変化させて前記照射位置を変
化させることにより、個々のフォトダイオード素子には
等価的にほぼ同一強度の光が入射されるので、一般的な
光源でフォトダイオードアレイの相対感度を測定するこ
とが可能になる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下本発明を図面を用いて詳細に
説明する。図１は本発明に係るフォトダイオードアレイ
の相対感度の測定方法を用いた測定装置の一実施例を示
す構成ブロック図である。図１において３ａは被測定対
象であるフォトダイオードアレイ、５は出射位置の異な
る２つのガウスビームを出力する光源及び光学系から構
成される光源装置，６は信号処理回路、１００及び１０
１は光源装置５から同時に出力される出射位置の異なる
ガウスビームである。

【００１８】光源装置５からのガウスビーム１００はフ
ォトダイオードアレイ３ａの中心部から一端にかけて入
射され、ガウスビーム１０１はフォトダイオードアレイ
３ａの中心部から他端にかけて入射されると共に互いの
ガウスビームの一部が重なり合うように入射される。フ
ォトダイオードアレイ３ａを構成する個々のフォトダイ
オード素子の出力は信号処理回路６に接続される。

【００１９】ここで、図１に示す測定装置の動作を図２
を用いて説明する。図２（Ａ）はフォトダイオードアレ
イ３ａに入射されるガウスビームの状態を示す平面図で
あり、図２（Ｂ）は２つのガウスビームの重ね合わせに
よるパワー分布を示す特性曲線図である。図２中”ＧＢ
０１”及び”ＧＢ０２”に示すガウスビームはスポット
サイズが”ωｘ”及び”ωｙ”であり、それぞれのガウ
スビームの中心の間隔は”Ｌ”である。

【００２０】単一のガウスビームのパワー分布”Ｐ”
は、Ｐ＝exp{−(２・ｘ²／ωｘ²)−(２・ｙ²／ωｙ²)} （１）となる。

【００２１】このような単一のガウスビームにより個々
のフォトダイオード素子に照射されるパワーは式（１）
を各フォトダイオード素子のｘ軸方向の距離で積分した
値になるが、個々のフォトダイオード素子のサイズはガ
ウスビームのスポットサイズと比較して非常に小さいの
でその積分値はガウス分布そのものになり、積分値”
ｆ”は、ｆ＝exp{−(２・ｘ²／ωｘ²)} （２）となる。

【００２２】一方、図２に示すようにガウスビームの中
心を”Ｌ”だけ隔てて２つのガウスビームを重ね合わせ
た場合のパワー分布”Ｆ”は、Ｆ＝exp{−２・(ｘ＋Ｌ／２)²／ωｘ²} ＋exp{−２・(ｘ−Ｌ／２)²／ωｘ²} （３）となる。

【００２３】ここで、例えば、図２に示すフォトダイオ
ードアレイ３ａがピッチ”５０μｍ”で２５６素子のフ
ォトダイオード素子から構成されていると考えれば、フ
ォトダイオードアレイ３ａの長さは”１２．８ｍｍ”と
なる。

【００２４】そして、スポットサイズ”ωｘ”に対して
図２中”ＲＰ０１”に示すリップルが最小になる場合の
ビーム間距離”Ｌ”及びリップル値を求めると図３に示
すような表になる。図３はスポットサイズ、ビーム間距
離及びリップルの関係を示す表である。

【００２５】すなわち、２つのガウスビームを重ね合わ
せて被測定対象であるフォトダイオードアレイ３ａに入
射することにより、フォトダイオードアレイ３ａの長さ
内においては図２中”ＲＰ０１”に示すリップルが小さ
く、言い換えれば、フォトダイオードアレイ３ａに入射
される光が空間的に均一なパワー分布であることにな
る。

【００２６】このため、フォトダイオードアレイ３ａを
構成する個々のフォトダイオード素子にはほぼ同一強度
の光が入射されるので、個々のフォトダイオード素子の
出力を信号処理回路６で取り込むことにより個々のフォ
トダイオード素子間の相対的な感度分布、言い換えれ
ば、フォトダイオードアレイ３ａの相対感度を得ること
ができる。

【００２７】この結果、２つのガウスビームを重ね合わ
せてフォトダイオードアレイ３ａに入射することによ
り、個々のフォトダイオード素子にはほぼ同一強度の光
が入射されるので、一般的な光源でフォトダイオードア
レイ３ａの相対感度を測定することが可能になる。

【００２８】但し、図３から分かるようにスポットサイ
ズ”ωｘ”を大きくして行くにしたがってリップルが小
さくなって行くものの個々のフォトダイオード素子に入
射される光のパワーが小さくなるので実用上ではリップ
ル若しくはパワーのどちらを優先するかによりスポット
サイズ”ωｘ”が決定される。

【００２９】また、図４はガウスビームが１つの場合の
本発明に係るフォトダイオードアレイの相対感度の測定
方法を用いた測定装置の一実施例を示す構成ブロック図
である。図４において３ａは図１と同一符号を付してあ
り、５ａは１つのガウスビームの出射位置を切り換えて
出力する光源及び光学系から構成される光源装置，６ａ
は信号処理回路、１０２及び１０２ａは光源装置５ａか
ら出射位置を切り換えて出力されるガウスビームであ
る。

【００３０】光源装置５ａからのガウスビーム１０２は
フォトダイオードアレイ３ａの中心部から一端にかけて
入射され、この時のフォトダイオードアレイ３ａを構成
する個々のフォトダイオード素子の出力は信号処理回路
６に接続される。

【００３１】光源装置５ａからの出射位置が切り換えら
れたガウスビーム１０２ａはフォトダイオードアレイ３
ａの中心部から他端にかけて入射され、この時のフォト
ダイオードアレイ３ａを構成する個々のフォトダイオー
ド素子の出力は信号処理回路６に接続される。そして、
信号処理回路６は２つの過程で測定した値の平均値を求
めることにより、フォトダイオードアレイ３ａの相対感
度を求める。

【００３２】例えば、ガウスビーム１０２及び１０２ａ
によって得られたフォトダイオードアレイの出力を”Ｐ
１”及び”Ｐ２”とすれば、このフォトダイオードアレ
イ３ａの相対感度”Ｓｒ”は、Ｓｒ＝(Ｐ１＋Ｐ２)／２（４）で求めることができる。

【００３３】図５はフォトダイオードアレイ３ａに順次
入射されるガウスビームの状態を示す平面図であり、図
５中”ＧＢ１１”は現在照射されているガウスビーム、
図５中”ＧＢ１２”は出射位置の切り換えによって照射
されるガウスビームである。２つのガウスビームが時系
列的に照射される以外は図２（Ａ）に示す平面図と同一
であり、スポットサイズ”ωｘ”を調整して出力の平均
処理を行うことによってフォトダイオードアレイ３ａに
入射される光は等価的に空間的に均一なパワー分布であ
ることになる。

【００３４】このため、フォトダイオードアレイ３ａを
構成する個々のフォトダイオード素子には等価的にほぼ
同一強度の光が入射されるので、個々のフォトダイオー
ド素子の出力を信号処理回路６で取り込んで平均するこ
とにより個々のフォトダイオード素子間の相対的な感度
分布、言い換えれば、フォトダイオードアレイ３ａの相
対感度を得ることができる。

【００３５】この結果、１つのガウスビームの照射位置
を切り換えてフォトダイオードアレイ３ａに入射し、個
々に得られた出力を平均することにより、個々のフォト
ダイオード素子には等価的にほぼ同一強度の光が入射さ
れるので、一般的な光源でフォトダイオードアレイ３ａ
の相対感度を測定することが可能になる。

【００３６】ここで、スポットサイズ”ωｘ”の調整方
法を説明する。但し、説明の簡単のために図４に示す実
施例を例にとって説明する。すなわち、図６は１枚のシ
リンドリカルレンズによりスポットサイズ”ωｘ”を調
整する場合の光源装置５ａ内の光学系の一実施例を示す
構成図であり、図６において７は光ファイバ、８はシリ
ンドリカルレンズである。

【００３７】光ファイバ７は光源装置５ａ内光源（図示
せず。）からの出力光を導いてシリンドリカルレンズ８
に出射し、シリンドリカルレンズ８を透過した光は図６
中”ＲＦ０１”に示す参照面に位置するフォトダイオー
ドアレイに入射される。

【００３８】図６中”ａ”、”ｂ”、”ｆ”及び”ｚ”
に示す値は光ファイバ７の口径を”ωｆ”、シリンドリ
カルレンズの倍率を”ｍ”とすればそれぞれ、１／ａ＋１／ｂ＝１／ｆ（５）ｍ＝ｂ／ａ（６） ωｘ＝(ａ＋ｂ＋ｚ)・λ／πωｆ（７） ωｙ＝(ωｆ・ｂ／ａ){１＋(λ／πωｆ²)²・ｚ²}^1/2 （８）という関係を有する。

【００３９】ここで、例えば、図３に示す表からスポッ
トサイズ”ωｘ”を”約１２ｍｍ”に、また、スポット
サイズ”ωｙ”を”約１ｍｍ”にするように設計する場
合を考えれば、式（７）が”１２ｍｍ”に、式（８）
が”１ｍｍ”になるように個々の値を選択すればよ
く、”λ＝１．５６μｍ”、”ωｆ＝５μｍ”とすれ
ば、ｆ＝２７ｍｍ（９）ａ＝４２．８８ｍｍ（１０）ｂ＝７２．９ｍｍ（１１）ｚ＝６ｍｍ（１２）ｍ＝１．７（１３）となる。

【００４０】図３に示す表から”ωｘ＝１２ｍｍ”の場
合には”Ｌ＝１３．１５ｍｍ”でリップルが”２．５
％”で最小になるので、光ファイバ７の図６中”ＯＦ０
１”に示す出射口から図６中”ＲＦ０１”に示す参照面
までの距離”Ａ”は、Ａ＝ａ＋ｂ＋ｚ＝４２．８８＋７２．９＋６＝１２２ｍｍ（１３）となる。

【００４１】また、図７は２枚のシリンドリカルレンズ
によりスポットサイズ”ωｘ”を調整する場合の光源装
置５ａ内の光学系の一実施例を示す構成図であり、図７
において７ａは光ファイバ、９及び１０はシリンドリカ
ルレンズである。

【００４２】光ファイバ７ａは光源装置５ａ内光源（図
示せず。）からの出力光を導いてシリンドリカルレンズ
９に出射し、シリンドリカルレンズ９を透過した光はさ
らにシリンドリカルレンズ１０を介して図７中”ＲＦ１
１”に示す参照面に位置するフォトダイオードアレイに
入射される。

【００４３】図７中”ａ’”、”ｆ１”、”ｆ２”及
び”ｚ’”に示す値は光ファイバ７ａの口径を”ω
ｆ’”、シリンドリカルレンズ１０の出力光のウェスト
の径を”ω０”とすればそれぞれ、 ωｘ＝(λ／πω)・ｆ１（１４） ωｙ＝ω０{１＋(λ／πω０²)²・ｚ’²}^1/2 （１５） ω０＝(ｆ２／ｆ１)・ωｆ（１６）という関係を有する。

【００４４】ここで、例えば、図３に示す表からスポッ
トサイズ”ωｘ”を”約１２ｍｍ”に、また、スポット
サイズ”ωｙ”を”約１ｍｍ”にするように設計する場
合を考えれば、式（１４）が”１２ｍｍ”に、式（１
５）が”１ｍｍ”になるように個々の値を選択すればよ
く、”λ＝１．５６μｍ”、”ωｆ’＝５μｍ”とすれ
ば、ｆ１＝１２０ｍｍ（１７）ｆ２＝１２０ｍｍ（１８）ｚ’＝１０ｍｍ（１９）となる。

【００４５】図7中”ＯＦ１１”に示す光ファイバ７ａ
の出射口から図７中”ＲＦ１１”に示す参照面までの光
線のマトリックスは、ｆ１＝ｆ２とすれば、

【数１】となる。

【００４６】従って、ガウスビームの中心間距離”Ｌ”
と図７に示す光ファイバ７ａの移動距離”ｌ”との関係
は、Ｌ＝(ａ’＋ｚ’)・ｌ／ｆ１（２１）となる。

【００４７】図３に示す表から”Ｌ＝１３．１５ｍｍ”
でリップルが”２．５％”で最小になるので、（ａ’＋ｚ’）・ｌ＝Ｌ・ｆ１＝１３．１５×１２０＝１５７８ｍｍ（２２）となり、例えば、”ｌ＝６ｍｍ”とすれば、ａ’＋ｚ’＝２６３ｍｍ（２３） ∴ａ’＝２５３ｍｍ（２４）となる。

【００４８】光ファイバ７ａの図７中”ＯＦ１１”に示
す出射口から図７中”ＲＦ１１”に示す参照面までの距
離”Ａ’”は、Ａ’＝ｆ１＋ａ’＋ｚ’＋ｆ２＝１２０＋２６３＋１２０＝５０３ｍｍ（２５）となる。

【００４９】なお、図４に示す実施例では光源装置５ａ
側でガウスビームの出射位置を切り換えることにより個
々のフォトダイオード素子には等価的にほぼ同一強度の
光が入射されるようにしているが、被測定対象であるフ
ォトダイオードアレイ３ａ自身を位置制御手段により図
４中”ＤＴ０１”に示す方向に”Ｌ”に相当する距離を
移動させても構わない。この場合には光源装置５ａにお
ける照射位置の切り換えが不要になるので構成が簡単に
なる。

【００５０】また、図１に示す実施例では２つのガウス
ビームを重ね合わせて空間的に均一なパワー分布を有す
る光源を実現しているが、３以上のガウスビームを重ね
合わせても構わない。この場合、構成は複雑ななるもの
のより均一なパワー分布になる。

【００５１】また、図４に示す実施例においても同様に
１つのガウスビームの照射位置を２回切り換えてフォト
ダイオードアレイ３ａに入射しているが、３回以上照射
位置を切り換えてフォトダイオードアレイ３ａに入射し
ても構わない。この場合、構成は複雑ななるもののより
均一なパワー分布になる。

【００５２】

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。請求項１及び請
求項５の発明によれば、２つのガウスビームを重ね合わ
せてフォトダイオードアレイに入射することにより、個
々のフォトダイオード素子にはほぼ同一強度の光が入射
されるので、一般的な光源でフォトダイオードアレイの
相対感度を測定することが可能になる。

【００５３】また、請求項２乃至請求項４及び請求項６
乃至請求項８の発明によれば、１つのガウスビームの照
射位置を切り換えてフォトダイオードアレイに入射し、
個々に得られた出力を平均することにより、個々のフォ
トダイオード素子には等価的にほぼ同一強度の光が入射
されるので、一般的な光源でフォトダイオードアレイの
相対感度を測定することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るフォトダイオードアレイの相対感
度の測定方法を用いた測定装置の一実施例を示す構成ブ
ロック図である。

【図２】フォトダイオードアレイに入射されるガウスビ
ームの状態を示す平面図及び２つのガウスビームの重ね
合わせによるパワー分布を示す特性曲線図である。

【図３】スポットサイズ、ビーム間距離及びリップルの
関係を示す表である。

【図４】ガウスビームが１つの場合の本発明に係るフォ
トダイオードアレイの相対感度の測定方法を用いた測定
装置の一実施例を示す構成ブロック図である。

【図５】フォトダイオードアレイに順次入射されるガウ
スビームの状態を示す平面図である。

【図６】１枚のシリンドリカルレンズによりスポットサ
イズを調整する場合の光源装置内の光学系の一実施例を
示す構成図である。

【図７】２枚のシリンドリカルレンズによりスポットサ
イズを調整する場合の光源装置内の光学系の一実施例を
示す構成図である。

【図８】従来のフォトダイオードアレイの相対感度を測
定する装置の一例を示す構成ブロック図である。

【符号の説明】

１光源２光学系３，３ａフォトダイオードアレイ４，６，６ａ信号処理回路５，５ａ光源装置１００，１０１，１０２，１０２ａガウスビーム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者藤田忠重東京都武蔵野市中町２丁目９番32号横河電機株式会社内 (72)発明者赤坂恭一東京都武蔵野市中町２丁目９番32号横河電機株式会社内 (72)発明者豊田啓孝東京都武蔵野市中町２丁目９番32号横河電機株式会社内Ｆターム(参考） 5F049 MA01 NA20 RA02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】フォトダイオードアレイ相対感度測定方法
において、異なる照射位置の２つのガウスビームの一部を重ね合わ
せて被測定対象のフォトダイオードアレイに入射してお
き、前記フォトダイオードアレイを構成する個々のフォトダ
イオード素子の出力を取り込み、前記フォトダイオードアレイの相対感度を求めることを
特徴とするフォトダイオードアレイ相対感度測定方法。
【請求項２】フォトダイオードアレイ相対感度測定方法
において、照射位置を変化させてガウスビームを被測定対象のフォ
トダイオードアレイに順次入射しておき、前記フォトダイオードアレイを構成する個々のフォトダ
イオード素子の各照射位置における出力を順次取り込
み、得られた前記フォトダイオード素子の各照射位置におけ
る出力を平均して前記フォトダイオードアレイの相対感
度を求めることを特徴とするフォトダイオードアレイ相
対感度測定方法。
【請求項３】前記ガウスビームの出射位置を変化させて
前記照射位置を変化させることを特徴とする請求項２記
載のフォトダイオードアレイ相対感度測定方法。
【請求項４】前記フォトダイオードアレイの位置を変化
させて前記照射位置を変化させることを特徴とする請求
項２記載のフォトダイオードアレイ相対感度測定方法。
【請求項５】フォトダイオードアレイ相対感度を測定す
る測定装置において、異なる照射位置の２つのガウスビームの一部を重ね合わ
せて被測定対象のフォトダイオードアレイに入射する光
源装置と、前記フォトダイオードアレイを構成する個々のフォトダ
イオード素子の出力を取り込み前記フォトダイオードア
レイの相対感度を求める信号処理回路とを備えたことを
特徴とする測定装置。
【請求項６】フォトダイオードアレイ相対感度を測定す
る測定装置において、照射位置を変化させてガウスビームを被測定対象のフォ
トダイオードアレイに順次入射する光源装置と、前記フォトダイオードアレイを構成する個々のフォトダ
イオード素子の各照射位置における出力を順次取り込む
と共に出力を平均して前記フォトダイオードアレイの相
対感度を求める信号処理装置とを備えたことを特徴とす
る測定装置。
【請求項７】前記光源装置で前記ガウスビームの出射位
置を変化させて前記照射位置を変化させることを特徴と
する請求項６記載の測定装置。
【請求項８】位置制御手段で前記フォトダイオードアレ
イの位置を変化させて前記照射位置を変化させることを
特徴とする請求項６記載の測定装置。