JP2000241505A - 半導体検査装置の制御システム、及びその制御用メッセージ変換方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、上記課題を解決するため、半導体
検査装置の半導体検査処理を制御する制御システムにお
いて、それぞれ異なるオペレーティングシステムを持つ
制御用コンピュータに対する制御用メッセージ定義デー
タの開発および管理の負担を減らすとともに、入出力装
置に出力されるメッセージの形式を統一して、ユーザの
開発及び管理負担を軽減することを目的とする。 【解決手段】 制御部１１１は、入出力装置１０から各
種指示信号が入力されると、記憶装置１２内の一定形式
のメッセージ記憶部１２１から対応する一定形式の制御
用メッセージ定義データを読み出し、メッセージ定義変
換処理により制御用コンピュータ１１に適用されたオペ
レーティングシステムに対応する固定形式の制御用メッ
セージ定義データに変換して固定形式のメッセージ記憶
部１２２に格納し、この格納した固定形式の制御用メッ
セージ定義データにより半導体検査装置１３における各
種半導体検査処理を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体検査装置に
おける半導体検査処理を制御する制御システムに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】今日、企業において利用されるコンピュ
ータシステムでは、パーソナルコンピュータおよびワー
クステーション等のプラットフォームが多様化してお
り、ユーザの要求に応じて多様なプラットフォーム上で
同一のシステムを動かす必要が生じている。そのため、
あるシステムを別のプラットフォームに移植したり、同
時に複数のプラットフォームで開発するすることは、ご
く一般的に行われるようになった。コンピュータシステ
ムのプラットフォームには、ハードウェアとソフトウェ
アがあるが、メッセージの記憶形式は、ソフトウェアプ
ラットフォーム（オペレーティングシステム）に依存す
る。

【０００３】また、コンピュータで利用されるオペレー
ティングシステムの違いにより、コンピュータシステム
上で提供されているメッセージの登録方法は異なり、登
録されたメッセージの記憶形式も異なる。この登録され
たメッセージの記憶形式を以後メッセージ定義と表現す
る。

【０００４】ここで、図３に基づいて従来のコンピュー
タシステムにおけるメッセージ定義の管理方法と出力方
法について説明する。尚、図３に示すコンピュータシス
テムは、各種の半導体製品の性能および特性を検査する
半導体検査装置３３を制御する半導体検査システムであ
る。

【０００５】図３においては、３０は入出力装置、３１
は制御用コンピュータ、３２は記憶装置、３３は半導体
検査装置である。そして、制御用コンピュータ３１は、
制御部３１１を、記憶装置３２は、メッセージ記憶部３
２１を持つ。制御用コンピュータ３１は、入出力装置３
０、記憶装置３２と半導体検査装置３３の制御を行う。
従来の半導体検査システムのメッセージ定義の管理に
ついて説明する。

【０００６】記憶装置３２のメッセージ記憶部３２１に
は、制御用コンピュータ３１に適用されたオペレーオペ
レーティングシステムに固有な形式のメッセージの定義
が存在する。このメッセージ定義は、制御用コンピュー
タ３１に適用されるオペレーティングシステムにより全
く異なる。

【０００７】そのため、制御用コンピュータ３１のオペ
レーティングシステムのみが異なる半導体検査システム
が複数存在していた場合には、制御用コンピュータ３１
のオペレーティングシステム毎にメッセージ定義の開発
および管理を行う必要があった。

【０００８】次に、図３の半導体検査システムにおける
メッセージ出力方法について説明する。

【０００９】記憶装置３２のメッセージ記憶部３２１
は、制御用コンピュータ３１のオペレーティングシステ
ムに依存したメッセージの定義が存在する。

【００１０】半導体検査装置３３から制御用コンピュー
タ３１に信号が送信された場合、制御用コンピュータ３
１の制御部３１１は、記憶装置３２のメッセージ記憶部
３２１に存在する制御用コンピュータ３１のオペレーテ
ィングシステムに固有な形式のメッセージ定義から必要
なメッセージを獲得し、制御用コンピュータ３１のオペ
レーティングシステムに固有な形式のメッセージを入出
力装置３０に出力する。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の図３に示した半導体検査装置３３を制御する制御用
コンピュータ３１にあっては、制御用コンピュータ３１
に適用するオペレーティングシステムが異なると、制御
用コンピュータ３１のオペレーティングシステムに合わ
せたメッセージの定義を新たに開発し、記憶装置３２の
メッセージ記憶部３２１に準備する必要があった。その
ため、制御用コンピュータ３１に適用される異なるオペ
レーティングシステム毎にメッセージの定義を開発しな
ければならず、メッセージ定義の開発や管理等で負担が
大きくなるという問題があった。

【００１２】また、半導体検査装置３３を制御する制御
用コンピュータ３１に適用されるオペレーティングシス
テムが異なることによって、入出力装置３０に出力され
るメッセージの出力形式が異なり、そのメッセージの出
力形式をオペレーティングシステム毎に設定する操作が
ユーザにとって負担となっていた。

【００１３】本発明は、上記課題を解決するため、半導
体検査装置の半導体検査処理を制御する制御システムに
おいて、それぞれ異なるオペレーティングシステムを持
つ制御用コンピュータに対する制御用メッセージ定義デ
ータの開発および管理の負担を減らすとともに、入出力
装置に出力されるメッセージの形式を統一して、ユーザ
の開発及び管理負担を軽減することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
半導体検査処理を制御する半導体検査装置の制御システ
ムにおいて、所定のオペレーティングシステムに依存し
ない半導体検査に関わる一定形式の制御用メッセージ定
義データを格納する第１の記憶手段と、この第１の記憶
手段に格納された一定形式の制御用メッセージ定義デー
タを所定のオペレーティングシステムに依存する固定形
式の制御用メッセージ定義データに変換するメッセージ
定義変換手段と、このメッセージ定義変換手段により変
換された固定形式の制御用メッセージ定義データを格納
する第２の記憶手段と、を備えたことを特徴としてい
る。

【００１５】この請求項１記載の発明によれば、半導体
検査処理を制御する半導体検査装置の制御システムにお
いて、所定のオペレーティングシステムに依存しない半
導体検査に関わる一定形式の制御用メッセージ定義デー
タを第１の記憶手段に格納し、メッセージ定義変換手段
が、この第１の記憶手段に格納された一定形式の制御用
メッセージ定義データを所定のオペレーティングシステ
ムに依存する固定形式の制御用メッセージ定義データに
変換し、この変換された固定形式の制御用メッセージ定
義データを第２の記憶手段に格納する。

【００１６】請求項４記載の発明は、半導体検査装置の
半導体検査処理を制御する制御システムにおいて制御用
メッセージ定義データを変換するための制御用メッセー
ジ変換方法であって、所定のオペレーティングシステム
に依存しない半導体検査に関わる一定形式の制御用メッ
セージ定義データを第１の記憶手段に格納する第１の工
程と、この第１の記憶手段に格納された一定形式の制御
用メッセージ定義データを所定のオペレーティングシス
テムに依存する固定形式の制御用メッセージ定義データ
に変換する第２の工程と、この変換された固定形式の制
御用メッセージ定義データを第２の記憶手段に格納する
第３の工程と、を含むことを特徴としている。

【００１７】この請求項４記載の発明によれば、半導体
検査装置の半導体検査処理を制御する制御システムにお
いて制御用メッセージ定義データを変換するための制御
用メッセージ変換方法であって、所定のオペレーティン
グシステムに依存しない半導体検査に関わる一定形式の
制御用メッセージ定義データを第１の記憶手段に格納す
る第１の工程と、この第１の記憶手段に格納された一定
形式の制御用メッセージ定義データを所定のオペレーテ
ィングシステムに依存する固定形式の制御用メッセージ
定義データに変換する第２の工程と、この変換された固
定形式の制御用メッセージ定義データを第２の記憶手段
に格納する第３の工程と、を含む。

【００１８】したがって、一定形式の制御用メッセージ
定義データだけを管理すれば良く、オペレーティングシ
ステムに固有の制御用メッセージ定義データを管理する
必要がなくなり、ユーザーは、半導体検査システムにお
ける制御用メッセージの開発及び管理を共通に行うこと
ができる。その結果、半導体検査システムにおいて制御
用コンピュータに適用されるオペレーティングシステム
に依存した制御用メッセージの開発及び管理を行う必要
がなくなり、開発及び管理コストを低減できる。

【００１９】この場合、請求項２に記載する発明のよう
に、請求項１記載の半導体検査装置の制御システムにお
いて、前記第２の記憶手段に格納された固定形式の制御
用メッセージ定義データを前記一定形式の制御用メッセ
ージ定義データに変換するメッセージ変換手段を更に備
えることが有効である。

【００２０】この請求項２記載の発明によれば、前記第
２の記憶手段に格納された固定形式の制御用メッセージ
定義データを前記一定形式の制御用メッセージ定義デー
タに変換するメッセージ変換手段を更に備える。

【００２１】この場合、請求項５に記載する発明のよう
に、請求項４記載の制御用メッセージ変換方法におい
て、前記第２の記憶手段に格納された固定形式の制御用
メッセージ定義データを前記一定形式の制御用メッセー
ジ定義データに変換する第４の工程を更に含むことが有
効である。

【００２２】この請求項５記載の発明によれば、前記第
２の記憶手段に格納された固定形式の制御用メッセージ
定義データを前記一定形式の制御用メッセージ定義デー
タに変換する第４の工程を更に含む。

【００２３】また、請求項３に記載する発明のように、
請求項１及び２記載の半導体検査装置の制御システムに
おいて、前記メッセージ定義変換手段は、外部から入力
される所定の指示信号を前記第１の記憶手段に格納され
た一定形式の制御用メッセージ定義データに基づいて前
記固定形式の制御用メッセージ定義データに変換し、前
記メッセージ変換手段は、前記半導体検査装置から入力
される所定の信号を前記第２の記憶手段に格納された固
定形式の制御用メッセージ定義データに基づいて前記一
定形式の制御用メッセージ定義データに変換することが
有効である。

【００２４】この請求項３記載の発明によれば、前記メ
ッセージ定義変換手段は、外部から入力される所定の指
示信号を前記第１の記憶手段に格納された一定形式の制
御用メッセージ定義データに基づいて前記固定形式の制
御用メッセージ定義データに変換し、前記メッセージ変
換手段は、前記半導体検査装置から入力される所定の信
号を前記第２の記憶手段に格納された固定形式の制御用
メッセージ定義データに基づいて前記一定形式の制御用
メッセージ定義データに変換する。

【００２５】また、請求項６に記載する発明のように、
請求項４及び５記載の制御用メッセージ変換方法におい
て、前記第２の工程では、外部から入力される所定の指
示信号を前記第１の記憶手段に格納された一定形式の制
御用メッセージ定義データに基づいて前記固定形式の制
御用メッセージ定義データに変換し、前記第４の工程で
は、前記半導体検査装置から入力される所定の信号を前
記第２の記憶手段に格納された固定形式の制御用メッセ
ージ定義データに基づいて前記一定形式の制御用メッセ
ージ定義データに変換することが有効である。

【００２６】この請求項６記載の発明によれば、前記第
２の工程では、外部から入力される所定の指示信号を前
記第１の記憶手段に格納された一定形式の制御用メッセ
ージ定義データに基づいて前記固定形式の制御用メッセ
ージ定義データに変換し、前記第４の工程では、前記半
導体検査装置から入力される所定の信号を前記第２の記
憶手段に格納された固定形式の制御用メッセージ定義デ
ータに基づいて前記一定形式の制御用メッセージ定義デ
ータに変換する。

【００２７】したがって、制御システムに適用されたオ
ペレーティングシステムとは異なる一定形式の制御用メ
ッセージ定義データが利用可能となり、半導体検査シス
テムに対する制御用メッセージの定義内容を統一させる
ことができ、異なるオペレーティングシステムが適用さ
れた制御用コンピュータを備えた半導体検査システムに
対しても、統一した制御用メッセージ定義内容を利用す
ることが可能になる。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
の形態を詳細に説明する。図１、図２は、本発明を適用
した一実施の形態における半導体検査システム１を示す
図である。

【００２９】まず、構成を説明する。図１は、本実施の
形態における半導体検査システム１の要部構成を示すブ
ロック図である。図１において、半導体検査システム１
は、入出力装置１０、制御用コンピュータ１１、記憶装
置１２、及び半導体検査装置１３により構成されてい
る。

【００３０】入出力装置１０は、半導体検査に関わる各
種指示を入力する各種キーボードと、半導体検査に関わ
る各種検査状態や各種検査データ等を表示するディスプ
レイとを含み、キーボードからの各種入力信号を制御用
コンピュータ１１に出力するとともに、制御用コンピュ
ータ１１から入力される各種表示データをディスプレイ
に表示する。

【００３１】制御用コンピュータ１１は、入出力装置１
０、記憶装置１２及び半導体検査装置１３の各部の制御
を行う制御部１１１を備え、制御用コンピュータ１１に
は、所定のオペレーティングシステムが適用されてい
る。

【００３２】制御部１１１は、半導体検査装置１３にお
ける各種半導体検査処理を制御する場合は、入出力装置
１０から半導体検査に関わる各種指示信号が入力される
と、記憶装置１２内の一定形式のメッセージ記憶部１２
１から対応する一定形式の制御用メッセージ定義データ
を読み出し、メッセージ定義変換処理により制御用コン
ピュータ１１に適用されたオペレーティングシステムに
対応する固定形式の制御用メッセージ定義データに変換
し、この変換した固定形式の制御用メッセージ定義デー
タを記憶装置１２内の固定形式のメッセージ記憶部１２
２に格納し、この固定形式のメッセージ記憶部１２２に
格納した固定形式の制御用メッセージ定義データにより
半導体検査装置１３において実行される各種半導体検査
処理を制御する。

【００３３】また、制御部１１１は、半導体検査装置１
３からの検査情報を入出力装置１０のディスプレイに表
示させる場合は、半導体検査装置１３から半導体検査の
検査状態等を示す各種検査信号が入力されると、この検
査信号に基づいて記憶装置１２内の固定形式のメッセー
ジ記憶部１２２から対応する固定形式の制御用メッセー
ジ定義データを読み出し、後述するメッセージ変換処理
（図２参照）により、読み出した固定形式の制御用メッ
セージ定義データを一定形式の制御用メッセージ定義デ
ータに変換して入出力装置１０に出力することにより、
半導体検査状態を示す内容をディスプレイに表示させ
る。

【００３４】記憶装置１２は、一定形式のメッセージ記
憶部１２１と固定形式のメッセージ記憶部１２２とを備
え、一定形式のメッセージ記憶部１２１には、制御用コ
ンピュータ１１に適用されたオペレーティングシステム
に依存しない一定形式の制御用メッセージ定義データを
格納し、固定形式のメッセージ記憶部１２２には、制御
用コンピュータ１１に適用されたオペレーティングシス
テムに依存する固定形式の制御用メッセージ定義データ
を格納する。なお、この固定形式のメッセージ記憶部１
２２には、上記制御部１１１において実行されるメッセ
ージ定義変換処理において一定形式の制御用メッセージ
定義データから変換された固定形式の制御用メッセージ
定義データが格納される。

【００３５】したがって、制御用コンピュータ１１の制
御部では、記憶装置１２内の一定形式のメッセージ記憶
部１２１と固定形式のメッセージ記憶部１２２とに格納
された各制御用メッセージ定義データの管理について
は、一定形式のメッセージ記憶部１２１に格納する制御
用メッセージ定義データのみを管理すればよい。

【００３６】半導体検査装置１３は、各種半導体集積回
路に対して各種半導体検査処理を実行する機能を有し、
制御用コンピュータ１１から入力される固定形式の制御
用メッセージ定義データに基づく制御信号により、その
各種半導体検査処理の実行内容が制御され、その半導体
検査状態を示す各種検査信号を制御用コンピュータ１１
に出力する。

【００３７】次に、本実施の形態における動作を説明す
る。まず、制御用コンピュータ１１において実行される
メッセージ定義変換処理を含めた半導体検査処理の制御
処理について説明する。

【００３８】制御部１１１は、半導体検査装置１３にお
ける各種半導体検査処理を制御する際に、入出力装置１
０から半導体検査に関わる各種指示信号が入力される
と、記憶装置１２内の一定形式のメッセージ記憶部１２
１から対応する一定形式の制御用メッセージ定義データ
を読み出し、メッセージ定義変換処理により制御用コン
ピュータ１１に適用されたオペレーティングシステムに
対応する固定形式の制御用メッセージ定義データに変換
し、この変換した固定形式の制御用メッセージ定義デー
タを記憶装置１２内の固定形式のメッセージ記憶部１２
２に格納し、この固定形式のメッセージ記憶部１２２に
格納した固定形式の制御用メッセージ定義データにより
半導体検査装置１３において実行される各種半導体検査
処理を制御する。

【００３９】次いで、制御用コンピュータ１１において
実行されるメッセージ変換処理を含めた半導体検査信号
の出力処理について説明する。

【００４０】制御部１１１は、半導体検査装置１３から
の検査情報を入出力装置１０のディスプレイに表示させ
る場合は、半導体検査装置１３から半導体検査の検査状
態等を示す各種検査信号が入力されると、この検査信号
に基づいて記憶装置１２内の固定形式のメッセージ記憶
部１２２から対応する固定形式の制御用メッセージ定義
データを読み出し、メッセージ変換処理により、読み出
した固定形式の制御用メッセージ定義データを一定形式
の制御用メッセージ定義データに変換して入出力装置１
０に出力することにより、半導体検査状態を示す内容を
ディスプレイに表示させる。

【００４１】制御用コンピュータ１１を中心に実行され
るメッセージ変換処理について図２のメッセージ変換処
理の流れを示す図を参照して説明する。

【００４２】半導体検査装置１３から半導体検査の検査
状態等を示す各種検査信号が制御用コンピュータ１１に
出力されると、制御部１１１は、メッセージ検索処理２
１１を実行し、半導体検査装置１３から入力された検査
信号に基づいて、記憶装置１２内の固定形式のメッセー
ジ記憶部１２２に格納された制御用コンピュータ１１に
適用されたオペレーティングシステムに依存する固有な
形式の制御用メッセージ定義データ群の中から必要な制
御用メッセージ定義データを読み出す。続いて、制御部
１１１は、メッセージ形式変換処理２１２を実行し、読
み出した制御用メッセージ定義データを制御用コンピュ
ータ１１に適用されたオペレーティングシステムに依存
しない一定形式の制御用メッセージ定義データに変換
し、この変換した一定形式の制御用メッセージ定義デー
タを入出力装置１０に出力することにより、半導体検査
状態を示す内容をディスプレイに表示させる。

【００４３】以上のように、本実施の形態の半導体検査
システム１においては、記憶装置１２内に制御用コンピ
ュータ１１に適用されたオペレーティングシステムに依
存しない一定形式の制御用メッセージ定義データを格納
する一定形式のメッセージ記憶部１２１と、そのオペレ
ーティングシステムに依存する固定形式の制御用メッセ
ージ定義データを格納する固定形式のメッセージ記憶部
１２２とを備えた。

【００４４】さらに、制御用コンピュータ１１では、入
出力装置１０から入力される指示信号を、一定形式のメ
ッセージ記憶部１２１に格納された対応する制御用メッ
セージ定義データをメッセージ定義変換により固有形式
の制御用メッセージ定義データに変換して固定形式のメ
ッセージ記憶部１２２に格納して半導体検査処理を制御
し、半導体検査装置１３から入力される検査信号を、固
定形式のメッセージ記憶部１２２に格納された対応する
制御用メッセージ定義データをメッセージ変換により一
定形式の制御用メッセージ定義データに変換して入出力
装置１０に出力するようにした。

【００４５】このため、制御用コンピュータ１１では、
一定形式のメッセージ記憶部１２１に格納された制御用
メッセージ定義データだけを管理すれば良く、オペレー
ティングシステムに固有の制御用メッセージ定義データ
を管理する必要がなくなり、ユーザーは、半導体検査シ
ステムにおける制御用メッセージの開発及び管理を共通
に行うことができる。その結果、半導体検査システムに
おいて制御用コンピュータに適用されるオペレーティン
グシステムに依存した制御用メッセージの開発及び管理
を行う必要がなくなり、開発及び管理コストを低減でき
る。

【００４６】また、一定形式のメッセージ記憶部１２１
には、制御用コンピュータ１１に適用されたオペレーテ
ィングシステムに依存しない一定形式の制御用メッセー
ジ定義データを格納するとともに、制御用コンピュータ
１１では、固定形式のメッセージ記憶部１２２に格納さ
れた固定形式の制御用メッセージ定義データを統一され
た一定形式の制御用メッセージ定義データに変換するメ
ッセージ変換機能を備えたため、制御用コンピュータ１
１に適用されたオペレーティングシステムとは異なる一
定形式の制御用メッセージ定義が利用可能となり、半導
体検査システムに対する制御用メッセージの定義内容を
統一させることができ、異なるオペレーティングシステ
ムが適用された制御用コンピュータを備えた半導体検査
システムに対しても、統一した制御用メッセージ定義内
容を利用することが可能になる。

【００４７】

【発明の効果】請求項１記載の発明の半導体検査装置の
制御システム、及び請求項４記載の発明の制御用メッセ
ージ変換方法によれば、一定形式の制御用メッセージ定
義データだけを管理すれば良く、オペレーティングシス
テムに固有の制御用メッセージ定義データを管理する必
要がなくなり、ユーザーは、半導体検査システムにおけ
る制御用メッセージの開発及び管理を共通に行うことが
できる。その結果、半導体検査システムにおいて制御用
コンピュータに適用されるオペレーティングシステムに
依存した制御用メッセージの開発及び管理を行う必要が
なくなり、開発及び管理コストを低減できる。

【００４８】請求項２及び３記載の発明の半導体検査装
置の制御システム、及び請求項５及び６記載の発明の制
御用メッセージ変換方法によれば、制御システムに適用
されたオペレーティングシステムとは異なる一定形式の
制御用メッセージ定義データが利用可能となり、半導体
検査システムに対する制御用メッセージの定義内容を統
一させることができ、異なるオペレーティングシステム
が適用された制御用コンピュータを備えた半導体検査シ
ステムに対しても、統一した制御用メッセージ定義内容
を利用することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した一実施の形態における半導体
検査システム１の要部構成を示すブロック図である。

【図２】図１の制御用コンピュータ１１を中心にして実
行されるメッセージ変換処理の流れを示す図である。

【図３】従来の半導体検査システムの要部構成を示すブ
ロック図である。

【符号の説明】

１ 半導体検査システム １０ 入出力装置 １１ 制御用コンピュータ １１１ 制御部 １２ 記憶装置 １２１ 一定形式のメッセージ記憶部 １２２ 固定形式のメッセージ記憶部 １３ 半導体検査装置

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体検査処理を制御する半導体検査装置
   の制御システムにおいて、 所定のオペレーティングシステムに依存しない半導体検
   査に関わる一定形式の制御用メッセージ定義データを格
   納する第１の記憶手段と、 この第１の記憶手段に格納された一定形式の制御用メッ
   セージ定義データを所定のオペレーティングシステムに
   依存する固定形式の制御用メッセージ定義データに変換
   するメッセージ定義変換手段と、 このメッセージ定義変換手段により変換された固定形式
   の制御用メッセージ定義データを格納する第２の記憶手
   段と、 を備えたことを特徴とする半導体検査装置の制御システ
   ム。
2. 【請求項２】前記第２の記憶手段に格納された固定形式
   の制御用メッセージ定義データを前記一定形式の制御用
   メッセージ定義データに変換するメッセージ変換手段を
   更に備えたことを特徴とする請求項１記載の半導体検査
   装置の制御システム。
3. 【請求項３】前記メッセージ定義変換手段は、外部から
   入力される所定の指示信号を前記第１の記憶手段に格納
   された一定形式の制御用メッセージ定義データに基づい
   て前記固定形式の制御用メッセージ定義データに変換
   し、 前記メッセージ変換手段は、前記半導体検査装置から入
   力される所定の信号を前記第２の記憶手段に格納された
   固定形式の制御用メッセージ定義データに基づいて前記
   一定形式の制御用メッセージ定義データに変換すること
   を特徴とする請求項１及び２記載の半導体検査装置の制
   御システム。
4. 【請求項４】半導体検査装置の半導体検査処理を制御す
   る制御システムにおいて制御用メッセージ定義データを
   変換するための制御用メッセージ変換方法であって、 所定のオペレーティングシステムに依存しない半導体検
   査に関わる一定形式の制御用メッセージ定義データを第
   １の記憶手段に格納する第１の工程と、 この第１の記憶手段に格納された一定形式の制御用メッ
   セージ定義データを所定のオペレーティングシステムに
   依存する固定形式の制御用メッセージ定義データに変換
   する第２の工程と、 この変換された固定形式の制御用メッセージ定義データ
   を第２の記憶手段に格納する第３の工程と、 を含むことを特徴とする制御用メッセージ変換方法。
5. 【請求項５】前記第２の記憶手段に格納された固定形式
   の制御用メッセージ定義データを前記一定形式の制御用
   メッセージ定義データに変換する第４の工程を更に含む
   ことを特徴とする請求項４記載の制御用メッセージ変換
   方法。
6. 【請求項６】前記第２の工程では、外部から入力される
   所定の指示信号を前記第１の記憶手段に格納された一定
   形式の制御用メッセージ定義データに基づいて前記固定
   形式の制御用メッセージ定義データに変換し、 前記第４の工程では、前記半導体検査装置から入力され
   る所定の信号を前記第２の記憶手段に格納された固定形
   式の制御用メッセージ定義データに基づいて前記一定形
   式の制御用メッセージ定義データに変換することを特徴
   とする請求項４及び５記載の制御用メッセージ変換方
   法。