JP2000241647A - 光学部品の製造装置およびその製造方法ならびに光学部品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 生産性を向上させた光導波路などの光学部品
の製造装置およびその製造方法ならびに光学部品を提供
する。 【解決手段】 光学部品製造装置１は、感光性を有する
高分子フィルムの被処理体２を巻着する送りロール３
と、送りロール３に巻着された被処理体２を巻き取る巻
き取りロール４と、被処理体２に光を照射する紫外線光
源などの光源６と、被処理体２と光源６との間に配設さ
れるマスク７とを有する。また、被処理体２の駆動手段
として、送りロール３と巻き取りロール４との間に、一
対のガイドロール５ａ，５ｂを有する。ガイドロール５
ａ，５ｂのいずれか一方には、例えば被処理体２の巻き
取り長を測定する光センサなどの不図示の回転位置セン
サが具備されており、巻き取りロール４には、回転位置
センサにより測定された巻き取り長を検知して回転駆動
する不図示の回転駆動装置が具備されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は光学部品の製造装置
およびその製造方法ならびに光学部品に関し、さらに詳
しくは、フィルム状の被処理体に形成した光導波路など
の光学部品の製造装置およびその製造方法ならびに光学
部品に関する。

【０００２】

【従来の技術】光導波路などの光学部品の製造におい
て、通常、支持体上に真空中で成膜を行ったり、あるい
は、配線材料を塗布するなどにより配線パターンの形成
を行うので、多くの工数を要する問題点がある。また、
一般に使用される支持体は硬質の材料であり、フレキシ
ブル性に欠けるため、連続的な生産が困難でスループッ
トが小となるなどの問題点があった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、係る問題点
に鑑み、多くの工数を必要とせずスループットを向上さ
せた光導波路などの光学部品の製造装置およびその製造
方法ならびに光学部品を提供することが課題である。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の光学部品の製造
装置は、感光性を有する被処理体を巻着する送りロール
と、送りロールに巻着された被処理体の、一定長の引き
出しと停止とを繰り返し行う間欠駆動手段と、被処理体
を巻き取る巻き取りロールと、被処理体に光を照射する
光源と、被処理体と光源との間に配設されるマスクとを
有し、被処理体の停止と同期して光源から光を照射し、
被処理体の一定長の範囲にマスクのパターン情報を用い
てパターンを間欠的に順次形成することを特徴とする。

【０００５】送りロールと巻き取りロールとの間の被処
理体に密着して被処理体を冷却するキャンロールを具備
することが望ましく、マスクは、キャンロールの外形形
状にならった形状を有することが望ましい。

【０００６】被処理体は、光源からの照射光により屈折
率が変化する高分子フィルムであることが望ましく、光
源は、紫外線光源およびレーザ光源のうちのいずれか一
方であることが望ましい。

【０００７】本発明の光学部品の製造方法は、感光性を
有する被処理体を巻着した送りロールから被処理体を引
き出すとともに、被処理体を巻き取りロールにより巻き
取る工程と、被処理体にマスクを介して光を照射する工
程とを有し、被処理体の一定長の引き出しと停止とを間
欠的に繰り返し行いつつ、被処理体の停止と同期して光
を照射し、被処理体の一定長の範囲にマスクのパターン
情報を用いてパターンを間欠的に順次露光形成すること
を特徴とする。

【０００８】光を照射する工程は、送りロールと巻き取
りロールとの間の被処理体を冷却する工程を有すること
が望ましい。

【０００９】被処理体は、光により屈折率が変化する高
分子フィルムであることが望ましく、光は、紫外線光お
よびレーザ光のうちのいずれか一方であることが望まし
い。

【００１０】本発明の光学部品は、請求項６に記載の光
学部品の製造方法を用いて作製されたことを特徴とす
る。光学部品は、光導波路であることが望ましい。

【００１１】本発明の光学部品の製造装置および光学部
品の製造方法によれば、光導波路などの光学部品のパタ
ーンをフレキシブルな被処理体に形成し、フィルム状の
被処理体の移動と停止とを間欠的に行うことにより、多
くの工数を必要とせず、スループットを大としつつ、連
続的に容易に作製できる。本発明の光学部品によれば、
フレキシブルな実装が可能となり、高密度に実装される
光配線に適用できる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例につ
いて図を参照して説明する。図１は、フィルム状の被処
理体を用いた光学部品の製造装置の一例を示す概略断面
図であり、図２はパターンを形成するためのマスクの一
例を示す概略平面図、図３は、光学部品の一例を示し、
被処理体にパターンを形成後、コネクタを取り付けた光
導波路の概略斜視図、図４はフィルム状の被処理体を用
いた他の光学部品の製造装置の概略断面図である。

【００１３】実施の形態例１ 光学部品製造装置１は、感光性を有するポリカーボネー
トなどの高分子フィルムの被処理体２を巻着する送りロ
ール３と、送りロール３に巻着された被処理体２を巻き
取る巻き取りロール４と、被処理体２に光を照射する例
えば紫外線光源やレーザ光源などの光源６と、被処理体
２と光源６との間に配設されるマスク７とを有する。ま
た、被処理体２の駆動手段として、例えば送りロール３
と巻き取りロール４との間に、一対のガイドロール５
ａ，５ｂを有する。ガイドロール５ａ，５ｂのいずれか
一方には、例えば被処理体２の巻き取り長を測定する例
えば光センサやパルスジェネレータなどの不図示の回転
位置センサが具備されており、巻き取りロールには、回
転位置センサにより測定された巻き取り長を検知して駆
動制御する不図示の回転駆動装置が具備されている。

【００１４】マスク７は、図２のように、例えば薄い鋼
板上に形成された平板からなり、例えば複数の光導波路
を形成するためのネガ型パターンなどのパターン情報８
を有し、一定のマスク長９を有する。

【００１５】上記の光学部品製造装置１を用いて、光学
部品を製造する方法を説明する。感光性を有する被処理
体２を巻着した送りロール３から被処理体２を引き出す
とともに、被処理体２を巻き取りロール４により巻き取
る工程と、被処理体２にマスク７を介して光源６を用い
て光を照射する工程とを有し、被処理体２の一定長の引
き出しと停止とを間欠的に繰り返し行いつつ、被処理体
２の停止と同期して光を照射し、一定長に相当する被処
理体２のマスク長９の範囲にマスク７のパターン情報８
を用いてパターンを間欠的に順次露光形成する。

【００１６】この場合、例えばガイドロール５ｂに設け
られた回転位置センサにより、被処理体２の巻き取り量
を測定し、その情報を巻き取りロール４の回転駆動装置
に送り、回転駆動装置は、一定長の巻き取り量を検知し
て、被処理体２を一定長引き出すとともに、停止する。
次に、停止した状態で、光源６に情報を送り、光源６は
光を一定時間照射する。光を照射後、さらに巻き取りロ
ール４を駆動して一定長の被処理体２を引き出し、再度
停止し、光を照射する。このような間欠的動作を繰り返
すことにより、被処理体２に順次、パターンの露光を行
うことができる。被処理体２とマスク７は、光を照射す
るときは密着してもよく、走行するときは、一定の間隔
で離して配設することが好ましい。

【００１７】上記の工程により、被処理体２は、光源６
により紫外線光やレーザ光などの光を照射されるが、マ
スク７により、遮蔽されていない領域では、光が照射さ
れるために屈折率の変化が生じパターンが形成される。

【００１８】上記の方法の他に、被処理体２を駆動する
回転駆動装置として、例えばガイドロール５ｂとの間に
被処理体２を挟んで回転駆動することにより被処理体２
を引き出すピンチローラを用いることもできる。この場
合、ピンチローラ自体に設けられた回転位置センサによ
り被処理体２の巻き取り量を検知することにより、巻き
取りロールの回転駆動を制御することができる。

【００１９】実施の形態例２ 図４は、実施の形態例１の光学部品の製造装置の変形例
であり、この装置を用いても、同様に光導波路などの光
学部品を形成できる。図４のように、光学部品製造装置
１において、ガイドロール５ａとガイドロール５ｂとの
間に、キャンロール１０が配設され、被処理体２がキャ
ンロール１０に密着して冷却されつつ走行する。キャン
ロール１０は不図示の冷却装置により冷却され、また不
図示の回転駆動装置により回転駆動してもよい。この場
合、マスク７は、キャンロール１０の外形にならった形
状であることが好ましく、高精度のパターンを形成する
ことができる。その他の動作は実施の形態例１と同様で
ある。

【００２０】実施の形態例３ 上記の光学部品の製造方法を用いることにより、例えば
図３のようなフレキシブルな被処理体に形成された光導
波路などの光学部品を作製することができる。光導波路
などの光学部品１１は、ポリカーボネートフィルムなど
の被処理体２に例えば光導波路を形成するためパターン
１２が形成され、被処理体２の両端にコネクタ１３ａ、
１３ｂが接続されて構成される。このようなフレキシブ
ルな光学部品１１を用いれば、直線上では接続が不可能
な部分での光配線に適用することができる。このよう
な、フレキシブルな光導波路などの光学部品１１は高密
度実装に有効な手段として用いることができる。

【００２１】

【発明の効果】本発明の光学部品の製造装置およびこれ
を用いた光学部品の製造方法によればフレキシブルな光
導波路などの光学部品を、多くの工数を必要とせず、ス
ループットを大としつつ、連続的に容易に作製できる。
本発明の光学部品によれば、高密度に実装される光配線
に適用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係わる光学部品の製造装置の一例を
示す概略断面図である。

【図２】 本発明に係わる光学パターンを形成するため
のマスクの一例を示す概略平面図である。

【図３】 本発明に係わる光学部品の一例を示す光導波
路の概略斜視図である。

【図４】 本発明に係わる光学部品の製造装置の他の例
を示す概略断面図である。

【符号の説明】

１…光学部品製造装置、２…被処理体、３…送りロー
ル、４…巻き取りロール、５ａ，５ｂ…ガイドロール、
６…光源、７…マスク、８…パターン情報、９…マスク
長、１０…キャンロール、１１…光学部品、１２…パタ
ーン、１３ａ，１３ｂ…コネクタ

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 感光性を有する被処理体を巻着する送り
   ロールと、 前記送りロールに巻着された前記被処理体の、一定長の
   引き出しと停止とを繰り返し行う間欠駆動手段と、 前記被処理体を巻き取る巻き取りロールと、 前記被処理体に光を照射する光源と、 前記被処理体と前記光源との間に配設されるマスクとを
   有し、 前記被処理体の停止と同期して前記光源から光を照射
   し、前記被処理体の一定長の範囲に前記マスクのパター
   ン情報を用いてパターンを間欠的に順次形成することを
   特徴とする光学部品の製造装置。
2. 【請求項２】 前記送りロールと前記巻き取りロールと
   の間の前記被処理体に密着して前記被処理体を冷却する
   キャンロールを具備することを特徴とする請求項１に記
   載の光学部品の製造装置。
3. 【請求項３】 前記マスクは、前記キャンロールの外形
   形状にならった形状を有することを特徴とする請求項２
   に記載の光学部品の製造装置。
4. 【請求項４】 前記被処理体は、前記光源からの照射光
   により屈折率が変化する高分子フィルムであることを特
   徴とする請求項１に記載の光学部品の製造装置。
5. 【請求項５】 前記光源は、紫外線光源およびレーザ光
   源のうちのいずれか一方であることを特徴とする請求項
   １に記載の光学部品の製造装置。
6. 【請求項６】 感光性を有する被処理体を巻着した送り
   ロールから前記被処理体を引き出すとともに、前記被処
   理体を巻き取りロールにより巻き取る工程と、 前記被処理体にマスクを介して光を照射する工程とを有
   し、 前記被処理体の一定長の引き出しと停止とを間欠的に繰
   り返し行いつつ、前記被処理体の停止と同期して光を照
   射し、前記被処理体の一定長の範囲に前記マスクのパタ
   ーン情報を用いてパターンを間欠的に順次露光形成する
   ことを特徴とする光学部品の製造方法。
7. 【請求項７】 前記光を照射する工程は、前記送りロー
   ルと前記巻き取りロールとの間の前記被処理体を冷却す
   る工程を有することを特徴とする請求項６に記載の光学
   部品の製造方法。
8. 【請求項８】 前記被処理体は、前記光により屈折率が
   変化する高分子フィルムであることを特徴とする請求項
   ６に記載の光学部品の製造方法。
9. 【請求項９】 前記光は、紫外線光およびレーザ光のう
   ちのいずれか一方であることを特徴とする請求項６に記
   載の光学部品の製造方法。
10. 【請求項１０】 請求項６に記載の光学部品の製造方法
    を用いて作製されたことを特徴とする光学部品。
11. 【請求項１１】 前記光学部品が光導波路であることを
    特徴とする請求項１０に記載の光学部品。