JP2000242918A

JP2000242918A - 磁気記録媒体

Info

Publication number: JP2000242918A
Application number: JP3755399A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Yatagai; 洋谷田貝; Shinichi Matsumura; 伸一松村
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1999-02-16
Filing date: 1999-02-16
Publication date: 2000-09-08

Abstract

(57)【要約】【課題】大記録容量を達成できるとともに、優れた走
行耐久性、そしてデータの記録、読み出しに対する高い
信頼性を有する。【解決手段】非磁性支持体と、非磁性支持体の一主面
上に形成された強磁性金属薄膜とを有する磁気記録媒体
であって、非磁性支持体は、少なくとも、他主面を構成
する第１の芳香族ポリアミドフィルムと、第１の芳香族
ポリアミドフィルム上に形成された第２の芳香族ポリア
ミドフィルムとを有するとともに、第１の芳香族ポリア
ミドフィルム中に含有される不活性粒子が第２の芳香族
ポリアミドフィルム中に含有される不活性粒子と比較し
て大とされてなり、非磁性支持体は、第１の芳香族ポリ
アミドフィルムを除いた厚みが２．０μｍ以上であり、
さらに、非磁性支持体の上記強磁性金属薄膜が形成され
る面とは反対側の面上に、少なくとも結合剤と針状非磁
性顔料とを含有するバックコート層が形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、非磁性支持体の一
主面上に強磁性金属薄膜が形成されてなる磁気記録媒体
に関し、特に大容量のテープストリーマとして用いて好
適な磁気記録媒体に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ミニコンピュータ、パーソナルコ
ンピュータなどのオフィスコンピュータの普及に伴っ
て、外部記憶媒体としてコンピュータデータを記録する
ための磁気テープ（いわゆるテープストリーマ）の研究
が盛んに行われている。このような用途の磁気テープの
実用化に際しては、特に、コンピュータの小型化、情報
処理能力の増大と相まって記録の大容量化、小型化を達
成するために記録容量の向上が強く要求される。また磁
気テープの使用環境の広がりによる幅広い環境条件下
（特に、変動の激しい温湿度条件下など）での使用、デ
ータ保存に対する信頼性、更に高速での繰り返し使用に
よる多数回走行におけるデータの安定した記録、読み出
し等の性能に対する信頼性なども従来に増して要求され
ている。

【０００３】一般に、磁気テープは、合成樹脂などの可
撓性材料からなる非磁性支持体上に磁性層が設けられた
構成とされている。そして、上述したような大容量（体
積記録容量）を達成するためには、磁性粉末の粒子サイ
ズを小さくする、その分散性を向上させる、あるいは磁
性層を更に薄膜化するなどの方法により磁性層自体の記
録密度を高めると共に、磁気テープの全厚を薄くするこ
とが有効な手法であるとされている。

【０００４】従来より、磁気記録媒体用の非磁性支持体
としては、ポリエステル、主としてポリエチレンテレフ
タレートフィルムが用いられている。特に、ホームビデ
オカセットテープ、例えば、８ｍｍテープの支持体とし
ては、７〜１０μｍ程度のポリエチレンテレフタレート
フィルムが用いられ、コンピュータのデータバックアッ
プ用のテープストリーマとしては５〜７μｍ程度のポリ
エチレンフィルムが用いられている。

【０００５】また、例えば、特開平６−２１５３５０号
公報に開示されているように、非磁性支持体としてポリ
エステルを主成分とし、具体的にはポリエチレンナフタ
レートフィルムを用いることによって、ビデオテープと
して使用される磁気記録媒体の記録時間を延長させてい
る。

【０００６】一方、上述したようなポリエチレンテレフ
タレートフィルムやポリエチレンナフタレートフィルム
の代わりに、非磁性支持体としてポリアミドフィルムを
用いることが検討され、実用化されてきている。ポリア
ミドフィルムは、ポリエチレンテレフタレートフィルム
に比べて強度が大きく、このポリアミドフィルムを支持
体として用いた磁気記録媒体は、厚さを薄くすることが
可能であり、ビデオカセットフィルムの長時間記録化、
テープストリーマの大容量化に対応した磁気記録媒体と
して注目されている。特に、テープストリーマにおいて
は、２年〜３年で容量が倍密度化されており、大容量化
に対応するため、ますます磁気記録媒体の薄型化が望ま
れる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、非磁性
支持体の剛性は、非磁性支持体のヤング率をＥ、厚さを
ｔとしたときにＥ×ｔ³で表されるため、例えば、同一
の剛性を保ったまま非磁性支持体の厚さを半分にするに
は、支持体の材料のヤング率を８倍にしなければならな
い。従って、単に非磁性支持体の厚みを薄くしただけで
は、機械的強度が不十分である。

【０００８】ところで、一般に磁気記録媒体において高
密度記録化を図るためには、その表面をある程度平滑化
してスペーシングロスを極力減少させる必要がある。し
かしながら、磁気記録媒体は、表面をあまり平坦にしす
ぎると、ヘッドタッチや走行性等において支障を来たし
てしまうので、表面の微細形状を制御することにより適
切な表面性を確保する必要がある。

【０００９】さらに、磁気ヘッドと磁気記録媒体との間
の相対速度は増大しており、磁性層の摩耗が少ない高耐
久性の磁気記録媒体が求められており、この観点から
も、磁気記録媒体は、その表面の微細形状の制御が不可
欠となっている。

【００１０】一方、磁気記録媒体は、磁性層が強磁性金
属薄膜からなる場合、その厚さが薄いことから、磁性層
が非磁性支持体の表面性の影響を受けやすく、非磁性支
持体の表面状態、すなわち、非磁性支持体表面の凹凸が
そのまま磁性層表面の凹凸として発現する。

【００１１】従って、強磁性金属薄膜を有する磁気記録
媒体においては、その非磁性支持体の表面形状を制御す
ることにより、磁性層表面の微細形状を適切な状態にす
る必要がある。このような状況において、スペーシング
ロスを低減させるためには、非磁性支持体の表面を平滑
化させる必要がある。しかしながら、非磁性支持体で
は、強磁性金属薄膜を形成する面を平滑化すると、製造
工程上のハンドリングが困難なものとなってしまうとい
った問題がある。

【００１２】本発明は、上述したような従来の実情に鑑
みて提案されたものであり、大記録容量を達成できると
ともに、優れた走行耐久性、そしてデータの記録、読み
出しに対する高い信頼性を有する大容量のテープストリ
ーマ用の磁気記録媒体を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体
は、非磁性支持体と、上記非磁性支持体の一主面上に形
成された強磁性金属薄膜とを有する磁気記録媒体であっ
て、上記非磁性支持体は、少なくとも、他主面を構成す
る第１の芳香族ポリアミドフィルムと、上記第１の芳香
族ポリアミドフィルム上に形成された第２の芳香族ポリ
アミドフィルムとを有するとともに、上記第１の芳香族
ポリアミドフィルム中に含有される不活性粒子が上記第
２の芳香族ポリアミドフィルム中に含有される不活性粒
子と比較して大とされてなり、上記非磁性支持体は、上
記第１の芳香族ポリアミドフィルムを除いた厚みが２．
０μｍ以上であり、さらに、上記非磁性支持体の上記強
磁性金属薄膜が形成される面とは反対側の面上に、少な
くとも結合剤と針状非磁性顔料とを含有するバックコー
ト層が形成されていることを特徴とする。

【００１４】上述したような本発明に係る磁気記録媒体
では、非磁性支持体における強磁性金属薄膜が形成され
た面と反対側の主面の表面が、第１の芳香族ポリアミド
フィルムに含有される不活性粒子の影響を受けることと
なる。このため、この磁気記録媒体においては、この主
面が所望の表面粗度を示す。また、この磁気記録媒体で
は、第１の芳香族ポリアミドフィルムと強磁性金属薄膜
との間に、少なくとも第２の芳香族ポリアミドフィルム
を有している。このため、上記強磁性金属薄膜が形成さ
れる主面の表面に対しては、第１の芳香族ポリアミドフ
ィルムに含有される比較的大きな不活性粒子の影響が小
となっている。したがって、この磁気記録媒体では、強
磁性金属薄膜の表面が所望の優れた表面性を有すること
となる。さらに、この磁気記録媒体では、上記非磁性支
持体の上記強磁性金属薄膜が形成される面とは反対側の
面上に、少なくとも結合剤と針状非磁性顔料とを含有す
るバックコート層を形成するバックコート層が形成され
ているので、磁気記録媒体の剛性が高まり、走行時の変
形が極力抑えられて耐久性が向上する。

【００１５】また、本発明の磁気記録媒体は、非磁性支
持体と、上記非磁性支持体の一主面上に形成された強磁
性金属薄膜とを有する磁気記録媒体であって、上記非磁
性支持体は、少なくとも、他主面を構成する第１の芳香
族ポリアミドフィルムと、上記第１の芳香族ポリアミド
フィルム上に形成された第２の芳香族ポリアミドフィル
ムとを有するとともに、上記第１の芳香族ポリアミドフ
ィルム中に含有される不活性粒子が上記第２の芳香族ポ
リアミドフィルム中に含有される不活性粒子と比較して
大とされてなり、上記非磁性支持体は、上記第１の芳香
族ポリアミドフィルムを除いた厚みが２．０μｍ以上で
あり、さらに、上記非磁性支持体の上記強磁性金属薄膜
が形成される面とは反対側の面上に、金属薄膜が形成さ
れていることを特徴とする。

【００１６】上述したような本発明に係る磁気記録媒体
では、非磁性支持体における強磁性金属薄膜が形成され
た面と反対側の主面の表面が、第１の芳香族ポリアミド
フィルムに含有される不活性粒子の影響を受けることと
なる。このため、この磁気記録媒体においては、この主
面が所望の表面粗度を示す。また、この磁気記録媒体で
は、第１の芳香族ポリアミドフィルムと強磁性金属薄膜
との間に、少なくとも第２の芳香族ポリアミドフィルム
を有している。このため、上記強磁性金属薄膜が形成さ
れる主面の表面に対しては、第１の芳香族ポリアミドフ
ィルムに含有される比較的大きな不活性粒子の影響が小
となっている。したがって、この磁気記録媒体では、強
磁性金属薄膜の表面が所望の優れた表面性を有すること
となる。さらに、この磁気記録媒体では、上記非磁性支
持体の上記強磁性金属薄膜が形成される面とは反対側の
面上に、金属薄膜が形成されているので、磁気記録媒体
の剛性が高まり、走行時の変形が極力抑えられて耐久性
が向上する。

【００１７】

【発明の実施の形態】〈第１の実施の形態〉以下、本発
明の実施の形態について詳細に説明する。

【００１８】本実施の形態として示す磁気記録媒体は、
図１に示すように、非磁性支持体１と、この非磁性支持
体１の一主面１ａ上に形成された強磁性金属薄膜２とを
備えるものである。また、この磁気記録媒体において、
非磁性支持体１は、少なくとも、比較的大きな不活性粒
子を有し、他主面１ｂを構成する第１の芳香族ポリアミ
ドフィルム３と、比較的小さな不活性粒子を有し、第１
の芳香族ポリアミドフィルム３上に形成された第２の芳
香族ポリアミドフィルム４とから構成されている。さら
に、この磁気記録媒体において、非磁性支持体１は、第
１の芳香族ポリアミドフィルム３を除いた厚みが２．０
μｍ以上とされてなる。そして、この磁気記録媒体で
は、上記非磁性支持体の他主面１ｂ上に、少なくとも結
合剤と針状非磁性顔料とを含有するバックコート層５が
形成されている。

【００１９】以下、非磁性支持体１、強磁性金属薄膜２
及びバックコート層５、並びに、これら各層に用いられ
る結合剤及び添加剤について順に詳述する。

【００２０】非磁性支持体１先ず、非磁性支持体１は、上述したように、第１の芳香
族ポリアミドフィルム３及び第２の芳香族ポリアミドフ
ィルム４から構成されている。この非磁性支持体１は、
芳香族ポリアミドフィルムを用いることにより、引っ張
り強度などの物性において優れており、全体としての厚
みが非常に薄い場合でも充分耐え得る強度を有してい
る。

【００２１】第１の芳香族ポリアミドフィルム３及び第
２の芳香族ポリアミドフィルム４は、例えば、下記式
（Ｉ）及び／又は（ＩＩ）で表される芳香族ポリアミド
を、５０モル％以上、好ましくは７０モル％以上含有し
ている。このように、下記式（Ｉ）及び／又は（ＩＩ）
で表される芳香族ポリアミドを５０％以上含有させるこ
とによって、非磁性支持体１は、熱履歴が加えられたよ
うな場合であっても優れた寸法安定性を有するととも
に、高いヤング率を有することとなる。

【００２２】

【化１】

【００２３】なお、上記式において、Ｘ、Ｙは、−Ｏ
−，−ＣＨ₂−，−ＣＯ−，−ＳＯ₂−，−Ｓ−，−Ｃ
（ＣＨ₃）₂−等から選ばれるが、これに限定されるもの
ではない。さらに、上記式において、芳香環上の水素原
子の一部が、ハロゲン基（特に、塩素）、ニトロ基、炭
素数１から３のアルキル基（特に、メチル基）、炭素数
１から３のアルコキシ基などの置換基で置換されている
ものであってもよく、また、重合体を構成するアミド結
合中の水素が他の置換基によって置換されていても良
い。

【００２４】また、第１の芳香族ポリアミドフィルム３
及び第２のポリアミドフィルム４は、剛性を高くする観
点から、芳香環がパラ位で結合されたものが、全芳香環
の６０％以上、より好ましくは８０％以上を占める重合
体であることが好ましい。また、吸湿性を小さくする観
点から芳香環上の水素原子の一部がハロゲン基（特に、
塩素原子）、ニトロ基、炭素数１から３のアルキル基
（特に、メチル基）、炭素数１から３のアルコキシ基な
どで置換された芳香環が全体の３０％以上を占める重合
体であることが好ましい。

【００２５】さらに、芳香族ポリアミドとしては、上記
式（Ｉ）及び／又は上記式（ＩＩ）で表される繰り返し
単位を５０モル％以上含むものであって、５０モル％未
満は他の繰り返し単位、例えば、芳香族ポリイミド単位
や他の芳香族ポリアミド単位などが共重合、またはブレ
ンドしてなる重合体を使用することができるが、全芳香
族ポリアミド（アラミド）を用いることが好ましい。

【００２６】さらにまた、この非磁性支持体１において
は、芳香族ポリアミドフィルムの構成は少なくとも２層
以上からなる複合構造であり、各層が上記式で表される
重合体を主体とするものであれば、各層が同一組成であ
っても、異なっていても差し支えない。しかしながら、
生産性の観点から、各層が同一組成である方が有利であ
る。

【００２７】さらにまた、第１の芳香族ポリアミドフィ
ルム３及び第２の芳香族ポリアミドフィルム４を形成す
るには、第１の芳香族ポリアミドフィルム３に相当する
原液と、第２の芳香族ポリアミドフィルム４に相当する
原液の２種類を公知の方法、例えば、特開昭５６ー１６
２６１７号公報に記載されるように、合流管で積層した
り、口金内で積層して形成することができる。

【００２８】一方、この非磁性支持体１中に添加する不
活性粒子としては、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｃａ
ＳＯ₄、ＢａＳＯ₄、ＣａＣＯ₃、カ−ボンブラック、ゼ
オライト、その他の金属微粉末などの無機粒子や、シリ
コン粒子、ポリイミド粒子、架橋共重合体粒子、架橋ポ
リエステル粒子、テフロン粒子などの有機高分子などを
使用することができる。なかでも、耐熱性の観点から
は、上述した無機粒子を使用することが好ましい。

【００２９】この不活性粒子の添加方法としては、粒子
を予め溶媒中に十分スラリ−化した後、重合用溶媒また
は希釈用溶媒として使用する方法や、各層を形成する原
液を調製した後に直接添加する方法などがある。

【００３０】また、この磁気記録媒体において、第１の
芳香族ポリアミドフィルム３中に含有される不活性粒子
は、その平均一次粒径が第２の芳香族ポリアミドフィル
ム４に含有される不活性粒子と比較して大となってい
る。

【００３１】具体的に、第１の芳香族ポリアミドフィル
ム３に含有される不活性粒子の平均粒径は、０．０３〜
１．５μｍであることが好ましい。そして、第１の芳香
族ポリアミドフィルム３に含有される不活性粒子の添加
量は、０．０５〜２．０ｗｔ％であることが好ましく、
更には、０．１〜１．０ｗｔ％であることがより好まし
い。

【００３２】このように、第１の芳香族ポリアミドフィ
ルム３に含有される不活性粒子の平均粒径及び含有量を
規定することによって、バックコート層５が形成される
面の表面を所望の表面粗さとすることができる。これに
より、磁気記録媒体は、ハンドリング特性に優れたもの
となるため、長期に亘って良好に走行することができ
る。

【００３３】また、第２の芳香族ポリアミドフィルム４
に含有される不活性粒子は、強磁性金属薄膜２表面の平
滑性と易滑性を向上させるため、平均粒径が、０．０３
〜０．１５μｍ、添加量が、０．０１ｗｔ％〜１ｗｔ％
であることが好ましい。

【００３４】第２の芳香族ポリアミドフィルムに含有さ
れる不活性粒子の平均粒径が０．０３未満の場合には、
易滑性を向上するための十分な突起が形成されないとい
った不都合が生じる虞がある。また、この不活性粒子の
平均粒径が０．１５μｍより大である場合には、強磁性
金属薄膜の平滑性を劣化させる虞がある。さらに、第２
の芳香族ポリアミドフィルムにおける不活性粒子の添加
量が０．０１ｗｔ％未満の場合には、易滑性を向上する
ための十分な突起数を確保することができないといった
不都合が生じる虞があり、また、１ｗｔ％より大の場合
には、突起数が過剰となり強磁性金属薄膜の表面性に悪
影響を及ぼすといった不都合を生じる虞がある。

【００３５】更に一方、この非磁性支持体１において
は、第１の芳香族ポリアミドフィルム３を除いた全厚が
２．０μｍ以上とされている。また、好ましくは、２．
５μｍ以上とされている。ここで、本実施の形態では、
非磁性支持体１が第１の芳香族ポリアミドフィルム３及
び第２の芳香族ポリアミドフィルム４からなるため、第
１の芳香族ポリアミドフィルムを除く全厚とは、第２の
芳香族ポリアミドフィルムの厚みと同義である。

【００３６】なお、本発明において、非磁性支持体１
は、このような構成に限定されず、３層以上の芳香族ポ
リアミドフィルムからなるような構成であってもよい。
この場合、第１の芳香族ポリアミドフィルムを除く全厚
とは、バックコート層５が形成される面を構成する芳香
族ポリアミドフィルムを除いた非磁性支持体１の厚みの
ことを示している。

【００３７】このように、第１の芳香族ポリアミドフィ
ルム３を除いた全厚が２．０μｍ以上と規定することに
よって、第１の芳香族ポリアミドフィルム３に含有され
る比較的大きな不活性粒子が第２の芳香族ポリアミドフ
ィルム４に対して与える影響を極力小とすることができ
る。言い換えると、第１の芳香族ポリアミドフィルム３
を除いた全厚が２．０μｍ以上と規定すると、第２の芳
香族ポリアミドフィルム４における表面性（うねり等）
の劣化、第２の芳香族ポリアミドフィルム４中のボイド
の形成、或いは第２の芳香族ポリアミドフィルム４表面
における粗大突起の形成を防止することができる。した
がって、この第２の芳香族ポリアミドフィルム４上に形
成される強磁性金属薄膜２は、所望の表面性を有し、電
磁変換特性に優れたものとなり、ドロップアウトの発生
が減少して信頼性に優れたものとなる。

【００３８】また、この非磁性支持体１では、強磁性金
属薄膜２が形成される主面１ａの表面における０．１２
μｍ以上の粗大突起が２５０個／１００ｃｍ²以下であ
ることが好ましく、更には、２００個／ｃｍ²以下であ
ることがより好ましい。なお、この粗大突起は、非磁性
支持体１の主面１ｂを、３Ｄ−ＭＩＲＡＵ法により測定
することができる。

【００３９】このように、強磁性金属薄膜２を形成する
主面１ａの表面における０．１２μｍ以上の粗大突起を
２５０個／１００ｃｍ²以下とすることによって、強磁
性金属薄膜２の表面には、この粗大突起に起因した表面
性の劣化等が発生し難くなる。このため、この磁気記録
媒体では、ドロップアウトの原因となる突起等を減少さ
せることができる。

【００４０】さらに、この非磁性支持体では、強磁性金
属薄膜２を形成する主面１ａの表面粗さ（ＳＲａ）が
１．５ｎｍ〜５．０ｎｍであることが好ましく、さらに
は、２．０ｎｍ〜３．５ｎｍであることがより好まし
い。この表面粗さは、第２の芳香族ポリアミドフィルム
４中に添加される不活性粒子の大きさや添加量、或いは
非磁性支持体１の層構成によって調節される。このよう
に、強磁性金属薄膜２を形成する主面１ａの表面粗さを
１．５ｎｍ〜５．０ｎｍとすることによって、磁気記録
媒体の良好な電磁変換特性と走行耐久性を確保すること
ができる。

【００４１】さらにまた、この非磁性支持体では、強磁
性金属薄膜２を形成する主面１ａの表面の表面うねりが
２．５ｎｍ以下であることが好ましく、更には２．０ｎ
ｍ以下であることがより好ましい。この表面うねりは、
表面粗さを測定した際に得られたデータを高速フーリエ
変換（ＦＦＴ：fast Fourier transform）解析すること
により測定することができる。すなわち、表面粗さ（Ｓ
Ｒａ）の測定時に得られたデータをＦＦＴ解析し、波長
２０μｍ以下の振幅値を求めることによって、非磁性支
持体１の主面１ａの表面うねりを測定する。このよう
に、強磁性金属薄膜２を形成する主面１ａの表面うねり
を２．５ｎｍ以下とすることによって、磁気記録媒体の
良好な電磁変換特性と走行耐久性を確保することができ
る。

【００４２】さらに、この非磁性支持体１において、バ
ックコート層５形成面側の表面の表面粗さ（ＳＲａ）
は、第１の芳香族ポリアミドフィルム３中に添加される
不活性粒子の大きさ及び添加量によって調節され、生産
工程におけるハンドリング性の観点から、できるだけ大
きい方が望ましい。しかしながら、この表面粗さ（ＳＲ
ａ）が大きすぎると、強磁性金属薄膜２を成膜した後、
巻き取ってロール状にした際の裏移りの影響が大きくな
るため、４ｎｍ〜１５ｎｍ、好ましくは５ｎｍ〜１０ｎ
ｍとされる。

【００４３】さらにまた、この非磁性支持体１は、厚さ
２．５μｍ〜５．０μｍとすることにより、必要な強度
が得られるとともに、磁気記録媒体の厚みを薄くして大
容量化に対応させることができる。

【００４４】さらにまた、この非磁性支持体１は、強磁
性金属薄膜２が形成される一主面側の表面に１０³〜１
０⁵個／ｍｍ²の密度で突起が形成されていることが好ま
しい。

【００４５】このように、一主面側の表面に１０³〜１
０⁵個／ｍｍ²の密度で突起が形成されることによって、
強磁性金属薄膜２の表面性を所望な状態とすることがで
きる。言い換えると、一主面側の表面に１０³〜１０⁵個
／ｍｍ²の密度で突起が形成されることによって、強磁
性金属薄膜２の表面は、所望の表面粗さを有することに
なる。これにより、磁気記録媒体は、走行耐久性及び電
磁変換特性に優れたものとなる。

【００４６】強磁性金属薄膜２強磁性金属薄膜２は、非磁性支持体１の、第２の芳香族
ポリアミドフィルム４側の主面１ａ上に形成される。そ
して、この強磁性金属薄膜２は、図２に示すような連続
巻き取り式の真空蒸着装置を用いて成膜される。

【００４７】この真空蒸着装置１０は、斜方蒸着用とし
て用いられ、内部が例えば約１０^- ³Ｐａ程度の真空状態
とされた真空室１１内に、例えば、―２０℃程度に冷却
され図２中矢印Ａ方向に回転する冷却キャン１２と、こ
の冷却キャン１２と対向する位置に配された金属薄膜用
の蒸着源１３とを備える。この蒸着源１３は、坩堝等の
容器に強磁性金属材料が収容されたものである。

【００４８】また、この真空蒸着装置１０は、図２に示
すように、回転自在とされた供給軸２２に非磁性支持体
ロール１６が装着されるとともに、図示しない駆動源に
より回転駆動される巻き取り軸２３に磁気テープロール
１７が装着され、非磁性支持体２を冷却キャン１２を介
して連続して走行させる。

【００４９】このような構成の真空蒸着装置１０を用い
て強磁性金属薄膜２を形成する際には、先ず、この蒸着
源１３内の強磁性金属材料に対して、電子ビーム発生源
１４から加速出射された電子ビーム１５を照射して、こ
の強磁性金属材料を加熱蒸発させる。

【００５０】そして、この加熱蒸発された強磁性金属材
料が、供給軸２２に装着された非磁性支持体ロール１６
から図２中矢印Ｂ方向に繰り出されて冷却キャン１２の
周面に沿って走行する非磁性支持体２上に蒸着されるこ
とにより、強磁性金属薄膜２が形成される。最終的に、
強磁性金属薄膜２が形成された非磁性支持体２は、巻取
り軸２３に装着された磁気テープロール１７に巻き取ら
れる。

【００５１】このとき、蒸着源１３と冷却キャン１２と
の間には防着板１８を設け、この防着板１８にシャッタ
１９を位置調整可能に設けて、非磁性支持体２に対して
所定の角度で入射する蒸着粒子のみを通過させる。この
ような斜方蒸着法によって強磁性金属薄膜２が形成され
る。

【００５２】さらに、このようにして強磁性金属薄膜２
を形成するに際し、図示しない酸素ガス導入口を介して
非磁性支持体２の表面近傍に酸素ガスが導入されている
ことが好ましい。酸素ガスを導入することで、金属磁性
薄膜２の磁気特性、耐久性及び耐候性を向上することが
できる。

【００５３】なお、非磁性支持体ロール１６と冷却キャ
ン１２との間、及び冷却キャン１２と磁気テープロール
１７との間にはそれぞれガイドローラー２０、２１が配
置され、走行する非磁性支持体２に所定のテンションを
かけ、非磁性支持体２が円滑に走行するようになされて
いる。

【００５４】また、蒸着源１３を加熱するためには、上
述のような電子ビームによる加熱手段の他に、例えば、
抵抗加熱手段、高周波加熱手段、レーザ加熱手段等の公
知の手段を使用しても良い。

【００５５】以上は、斜方蒸着法により強磁性金属薄膜
２を形成する例について説明したが、強磁性金属薄膜２
を形成する方法としては、この例の他に垂直蒸着法やス
パッタリング法等の公知の薄膜形成法が適用できる。ま
た、強磁性金属材料としては、Ｃｏの他に、Ｎｉ、Ｆ
ｅ、又はこれらの合金等を使用することができる。ただ
し、非磁性支持体１との付着強度改善、あるいは強磁性
金属薄膜自体の耐性、耐摩耗性改善等の目的から、蒸着
時の雰囲気を酸素ガスが支配的となる雰囲気としたとき
に得られる、酸素を含む金属磁性膜を使用することが望
ましい。また、この強磁性金属薄膜２の厚さは、０．０
１μｍ〜０．２μｍ程度であることが好ましく、より好
ましい膜厚は０．１μｍ〜０．２μｍである。

【００５６】バックコート層５バックコート層５は、非磁性支持体１の強磁性金属薄膜
２が形成される主面１ａとは反対側の主面１ｂに形成さ
れる。このバックコート層５は、主として、針状非磁性
顔料、カーボンブラック及び結合剤から構成される。

【００５７】上記針状非磁性顔料としては、長軸と短軸
との比、すなわちアスペクト比が１０以上の針状非磁性
顔料を用いることが好ましい。アスペクト比が１０以上
の針状非磁性顔料を用いることにより、磁気記録媒体の
厚さ方向だけでなく、長手方向や幅方向等の平面方向の
引っ張り強度や折曲げ強度等の機械的強度をも向上させ
ることが可能となる。上記針状非磁性顔料の材料として
は、特に制限されるものではなく、例えば、ヘマタイ
ト、ゲータイト、酸化チタン、酸化アルミニウム等を用
いることができる。

【００５８】バックコート層５では、カーボンブラック
は、平均粒子サイズの異なる二種類のものを使用するこ
とが好ましい。この場合、その平均粒子サイズは、１０
〜２０ｍμの微粒子状カーボンブラックと平均粒子サイ
ズが２３０〜３００ｍμの粗粒子状カーボンブラックと
を使用することが好ましい。

【００５９】一般に、上述したような微粒子状のカーボ
ンブラックの添加により、バックコート層５の表面電気
抵抗を低く設定でき、また光透過率も低く設定できる。
磁気記録の装置によっては、テープの光透過率を利用
し、動作の信号に使用しているものが多くあるため、こ
のような場合には特に、微粒子状のカーボンブラックの
添加は有効になる。

【００６０】また、微粒子状カーボンブラックは、一般
に、潤滑剤に対する保持力に優れるため、潤滑剤を併用
することができ、その結果、摩擦係数を低減することが
可能となる。

【００６１】一方、粒子サイズが２３０〜３００ｍμの
粗粒子状カーボンブラックは、固体潤滑剤としての機能
を有しており、表面に微小突起を形成することとなるた
め、接触面積を低減化して、摩擦係数を低減することが
可能となる。しかし、粗粒子状のカーボンブラックは、
過酷な走行系では、テープ摺動により、バックコート層
５からの脱落が生じ易くなり、エラー比率の増大につな
がる虞がある。

【００６２】具体的に、微粒子状カーボンブラックとし
ては、以下のものを挙げることができる。ＲＡＶＥＮ２
０００Ｂ（１８ｍμ）、ＲＡＶＥＮ１５００Ｂ（１７ｍ
μ）（以上、コロンビアカーボン社製）、ＢＰ８００
（１７ｍμ）（キャボット社製）、ＰＲＩＮＮＴＥＸ９
０（１４ｍμ）、ＰＲＩＮＴＥＸ９５（１５ｍμ）、Ｐ
ＲＩＮＴＥＸ８５（１６ｍμ）、ＰＲＩＮＴＥＸ７５
（１７ｍμ）（以上、デグサ社製）、＃３９５０（１６
ｍμ）（三菱化成工業（株）製）。また、粗粒子カーボ
ンブラックとしては、サーマルブラック（２７０ｍμ）
（カーンカルブ社製）、ＲＡＶＥＮＭＴＰ（２７５ｍ
μ）（コロンビアカーボン社製）を挙げることができ
る。

【００６３】バックコート層５において、平均粒子サイ
ズの異なる二種類のものを使用する場合、１０〜２０ｍ
μの微粒子状カーボンブラックと２３０〜３００ｍμの
粗粒子状カーボンブラックとの含有比率は、重量比で、
微粒子状カーボンブラック：粗粒子状カーボンブラック
＝９８：２〜７５：２５の範囲が好ましく、更に好まし
くは、９５：５〜８５：１５である。また、バックコー
ト層５におけるカーボンブラック（微粒子状と粗粒子状
を加えた場合においては、その全量）の含有量は、後述
する結合剤１００重量部に対して、通常３０〜８０重量
部の範囲であり、好ましくは、４５〜６５重量部の範囲
である。

【００６４】さらに、バックコート層５に含有される結
合剤の量をＢとし、針状非磁性顔料の量をＰとすると、
これら結合剤と針状非磁性顔料との比率Ｐ／Ｂは、０．
５〜５．０であることが好ましい。このＰ／Ｂ比が０．
５より小さいと、針状非磁性顔料の含有量が少ないの
で、磁気記録媒体の平面方向における機械的強度を補強
する効果が表れない。また、Ｐ／Ｂ比が５より大きい
と、結合剤の含有量が少ないので、バックコート層５自
体の強度が弱く、粉落ち現象が生じたり、バックコート
層５自体の耐久性が悪くなる。

【００６５】そして、このバックコート層５に用いられ
る結合剤としては、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹
脂、反応型樹脂やこれらの混合物を挙げることができ
る。

【００６６】熱可塑性樹脂の例としては、塩化ビニル、
酢酸ビニル、ビニルアルコ−ル、マレイン酸、アクリル
酸、アクリル酸エステル、塩化ビニリデン、アクリロニ
トリル、メタクリル酸、メタクリル酸エステル、スチレ
ン、ブタジエン、エチレン、ビニルブチラール、ビニル
アセタール、及びビニルエーテルを構成単位として含む
重合体、あるいは共重合体を挙げることができる。共重
合体としては、例えば、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合
体、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、塩化ビニル
−アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル−ア
クリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル−塩化ビ
ニリデン共重合体、アクリル酸エステル−スチレン共重
合体、メタアクリル酸エステル−アクリロニトリル共重
合体、メタアクリル酸エステル−塩化ビニリデン共重合
体、メタアクリル酸エステル−スチレン共重合体、塩化
ビニリデン−アクリロニトリル共重合体、ブタジエン−
アクリロニトリル共重合体、スチレン−ブタジエン共重
合体、クロロビニルエーテル−アクリル酸エステル共重
合体を挙げることができる。上記の他に、ポリアミド樹
脂、繊維素系樹脂（セルロースアセテートブチレート、
セルロースダイアセテート、セルロースプロピオネー
ト、ニトロセルロースなど）、ポリフッ化ビニル、ポリ
エステル樹脂、ポリウレタン樹脂、各種ゴム系樹脂等も
例示することができる。

【００６７】また、熱硬化性樹脂又は反応型樹脂として
は、例えば、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレ
タン硬化型樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、アルキド樹
脂、アクリル系反応樹脂、ホルムアルデヒド樹脂、シリ
コーン樹脂、エポキシ−ポリアミド樹脂、ポリエステル
樹脂とポリイソシアネートプレポリマーの混合物、ポリ
エステルポリオールとポリイソシアネートの混合物、ポ
リウレタンとポリイソシアネートの混合物を挙げること
ができる。

【００６８】さらに、上述したような結合剤には、より
優れた分散性と耐久性を向上させるために、必要に応じ
て、−ＣＯＯＭ、−ＳＯ₃Ｍ、−ＯＳＯ₃Ｍ、−Ｐ＝Ｏ
（ＯＭ）₂、−Ｏ−Ｐ＝Ｏ（ＯＭ）₂（Ｍは水素原子、ま
たはアルカリ金属塩基を表わす。）、−ＯＨ、−Ｎ
Ｒ₂、−Ｎ⁺Ｒ₃（Ｒは炭化水素基を表わす。）、エポキ
シ基、−ＳＨ、−ＣＮなどから選ばれる少なくともひと
つの極性基を共重合または付加反応で導入することが好
ましい。このような極性基は、１０^-1〜１０^-8モル／ｇ
（さらに好ましくは、１０^-2〜１０^-6モル／ｇ）の量で
導入されていることが好ましい。

【００６９】また、結合剤中に含有されるポリイソシア
ネートとしては、例えば、トリレンジイソシアネート、
４−４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサ
メチレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネー
ト、ナフチレン−１，５−ジイソシアネート、ｏ−トル
イジンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネー
ト、トリフェニルメタントリイソシアネートなどのイソ
シアネート類、これらのイソシアネート類とポリアルコ
ールとの生成物、及びイソシアネート類の縮合によって
生成したポリイソシアネ−トを挙げることができる。

【００７０】さらに、このバックコート層５の厚さとし
ては、０．１μｍ〜０．６μｍであることが好ましい。
バックコート層５の厚さが薄すぎると、磁気記録媒体の
機械的強度を補強する効果が表れず、バックコート層５
の厚さが厚すぎると、磁気記録媒体にクラックが生じ易
い。

【００７１】なお、このバックコート層５には、潤滑剤
を含有させることができる。この潤滑剤としては、例え
ば、脂肪酸、あるいは脂肪酸エステルを挙げることがで
きる。脂肪酸としては、例えば、酢酸、プロピオン酸、
オクタン酸、２−エチルヘキサン酸、ラウリン酸、ミリ
スチン酸、ステアリン酸、パルミチン酸、ベヘン酸、ア
ラキン酸、オレイン酸、リノール酸、リノレン酸、エラ
イジン酸、及びパルミトレイン酸等の脂肪族カルボン酸
またはこれらの混合物を挙げることができる。

【００７２】また、脂肪酸エステルとしては、例えば、
ブチルステアレート、ｓｅｃ−ブチルステアレート、イ
ソプロピルステアレート、ブチルオレエート、アミルス
テアレート、３−メチルブチルステアレート、２−エチ
ルヘキシルステアレート、２−ヘキシルデシルステアレ
ート、ブチルパルミテート、２−エチルヘキシルミリス
テート、ブチルステアレートとブチルパルミテートの混
合物、オレイルオレエート、ブトキシエチルステアレー
ト、２−ブトキシ−１−プロピルステアレート、ジプロ
ピレングリコールモノブチルエーテルをステアリン酸で
アシル化したもの、ジエチレングリコールジパルミテー
ト、ヘキサメチレンジオールをミリスチン酸でアシル化
してジオールとしたもの、そしてグリセリンのオレエー
ト等の種々のエステル化合物を挙げることができる。こ
れらのものは、単独で、あるいは組み合わせて使用する
ことができる。

【００７３】バックコート層５において、潤滑剤は、結
合剤樹脂１００重量部に対して通常１〜５重量部の範囲
で添加されることが好ましい。

【００７４】さらに、このバックコート層５には、各種
添加剤を添加することができる。添加剤としては、バッ
クコート層５を形成する塗布液に、磁性粉末或いは非磁
性粉末等を結合剤中に良好に分散させるために添加され
る分散剤を挙げることができる。また、添加剤として
は、必要に応じて添加される、可塑剤、カーボンブラッ
ク以外の導電性粒子（帯電防止剤）、防黴剤等を挙げる
ことができる。

【００７５】分散剤としては、例えば、カプリル酸、カ
プリン酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、
ステアリン酸、ベヘン酸、オレイン酸、エライジン酸、
リノール酸、リノレン酸、ステアロール酸等の炭素数１
２〜１８個の脂肪酸（ＲＣＯＯＨ、Ｒは炭素数１１〜１
７個のアルキル基、又はアルケニル基）、前記脂肪酸の
アルカリ金属又はアルカリ土類金属からなる金属石け
ん、前記脂肪酸のアミド、ポリアルキレンオキサイドア
ルキルリン酸エステル、レシチン、トリアルキルポリオ
レフィンオキシ第四級アンモニウム塩（アルキルは炭素
数１〜５個、オレフィンは、エチレン、プロピレンな
ど）、硫酸塩、及び銅フタロシアニン等を使用すること
ができる。これらは、単独でも組み合わせて使用しても
良い。特に、バックコート層５には、オレイン酸銅、銅
フタロシアニン、及び硫酸バリウムを組み合わせて使用
することが好ましい。分散剤は、結合剤樹脂１００重量
部に対して０．５〜２０重量部の範囲で添加される。

【００７６】以上、説明したような本実施の形態に係る
磁気記録媒体では、非磁性支持体１の強磁性金属薄膜２
が形成される面１ａとは反対側の面１ｂ上に、バックコ
ート層５が形成されているため機械的強度が十分確保さ
れて、耐久性が向上する。そして、その結果、本発明を
適用した磁気記録媒体は、形状の変形が抑制されて、磁
気ヘッドとの当たりを十分とることができ、より良好な
電磁変換特性、記録再生特性及び走行性が実現される。

【００７７】なお、この磁気記録媒体では、図３に示す
ように、強磁性金属薄膜２上に保護膜６が形成されてい
てもよい。強磁性金属薄膜２上に保護膜６を形成するこ
とで、強磁性金属薄膜２の摩耗を防止することができ
る。保護膜６を形成するには、図４に示すようなマグネ
トロンスパッタ装置３０を用いて、強磁性金属薄膜２上
にカーボンを被着させる。

【００７８】このマグネトロンスパッタ装置３０は、チ
ャンバ３１内が真空ポンプ３２にて例えば約１０^-4Ｐａ
程度にまで減圧された後、真空ポンプ３２側へ排気する
バルブ３３の角度を絞ることにより、排気速度を落とす
とともに、ガス導入管３４からＡｒガスを導入して、真
空度が例えば約０．８Ｐａとされる。また、マグネトロ
ンスパッタ装置３０は、チャンバ３１内に、例えば、−
４０℃に冷却され図４中矢印Ｃ方向に回転する冷却キャ
ン３５と、この冷却キャン３５と対向配置されるターゲ
ット３６とがそれぞれ設けられている。ターゲット３６
は、保護膜６の材料となるものであり、カーボンが用い
られる。また、ターゲット３６は、カソード電極を構成
するバッキングプレート３７に支持されている。そし
て、バッキングプレート３７の裏側には、磁場を形成す
るマグネット３８が配設されている。

【００７９】また、このマグネトロンスパッタ装置３０
は、回転自在とされた供給軸３９に強磁性金属薄膜２が
成膜された上述の磁気テープロール１７が装着されると
ともに、図示しない駆動源により回転駆動される巻取り
軸４１に磁気テープロール４２が装着されて、強磁性金
属薄膜２が成膜された非磁性支持体２を冷却キャン３５
を介して図４中Ｄ方向に連続走行させる。

【００８０】このマグネトロンスパッタ装置３０により
保護膜６を形成する際は、先ず、ガス導入管３４からＡ
ｒガスを導入するとともに、冷却キャン３５をアノー
ド、バッキングプレート３７をカソードとして約３００
０Ｖの電圧を印加し、約１．４Ａの電流が流れる状態を
保つようにする。

【００８１】そして、この電圧の印加により、Ａｒガス
がプラズマ化し、電離されたイオンがターゲット３６に
衝突することにより、ターゲット３６の原子がはじき出
される。このとき、バッキングプレート３７の裏側には
マグネット３８が配設されており、ターゲット３６の近
傍に磁場が形成されるので、電離されたイオンはターゲ
ット２６の近傍に集中されることになる。そして、この
ターゲット３６からはじき出された原子は、磁気テープ
ロール１７から図４中矢印Ｄ方向に繰り出されて冷却キ
ャン３５の外周面に沿って走行する非磁性支持体２の強
磁性金属薄膜２上に付着して、保護膜６が形成される。
最終的に、保護膜６が形成された非磁性支持体２は、巻
取り軸４１に装着された磁気テープロール４２により巻
き取られる。

【００８２】このとき、この保護膜６は、スペーシング
ロスを極力抑え、且つ、強磁性金属薄膜２の摩耗防止の
効果を得られるように、その厚さを３ｎｍ〜１５ｎｍ程
度とすることがこのましく、より好ましくは、膜厚を５
ｎｍ〜１０ｎｍ程度とする。

【００８３】なお、以上は、保護膜６を形成する方法と
してマグネトロンスパッタによる方法について説明した
が、この方法の他に、イオンビームスパッタやイオンビ
ームプレーティング法、ＣＶＤ法等の公知の薄膜形成方
法を用いることができる。

【００８４】なお、この磁気記録媒体は、保護膜６の表
面に潤滑剤を存在せしめることが好ましい。潤滑剤を存
在せしめることで、非磁性支持体２表面の微細突起の形
状に基づく走行性改善効果をさらに高めることができ
る。

【００８５】さらに、この磁気記録媒体は、その表面、
裏面、保護膜６、強磁性金属薄膜２の空隙、保護膜６と
強磁性金属薄膜２との界面、強磁性金属薄膜２と非磁性
支持体２との界面、非磁性支持体２内等に、必要に応じ
て公知の手段で防錆剤、帯電防止剤、防カビ剤等の各種
添加剤を存在せしめることができる。

【００８６】〈第２の実施の形態〉つぎに、本発明の第
２の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る
磁気記録媒体は、図５に示すように、非磁性支持体５１
と、非磁性支持体５１の一主面５１ａ上に形成された強
磁性金属薄膜５２とを備えるものである。また、この磁
気記録媒体において、非磁性支持体５１は、少なくと
も、比較的大きな不活性粒子を有し、他主面５１ｂを構
成する第１の芳香族ポリアミドフィルム５３と、比較的
小さな不活性粒子を有し、第１の芳香族ポリアミドフィ
ルム５３上に形成された第２の芳香族ポリアミドフィル
ム５４とから構成されている。さらに、この磁気記録媒
体において、非磁性支持体５１は、第１の芳香族ポリア
ミドフィルム５３を除いた厚みが２．０μｍ以上とされ
てなる。

【００８７】ここで、非磁性支持体５１及び上記強磁性
金属薄膜５２は、第１の実施の形態で上述した非磁性支
持体１及び強磁性金属薄膜２と同様の構成とされている
ので、ここでは、非磁性支持体５１及び強磁性金属薄膜
５２についての説明は省略する。

【００８８】そして、本実施の形態に係る磁気記録媒体
は、特に、上記非磁性支持体５１の上記強磁性金属薄膜
５２が形成される主面５１ａとは反対側の主面５１ｂ上
に、金属薄膜５５と、バックコート層５６とが形成され
ている。以下、これら金属薄膜５５と、バックコート層
５６とについて説明する。

【００８９】金属薄膜５５に用いられる金属としては、
例えば、Ｃｕ，Ａｌ，Ｎｉ，Ｃｒ又はこれらの合金等が
挙げられる。そして、この金属薄膜５５の厚さとして
は、０．１μｍ〜０．５μｍであることが好ましい。こ
こで、金属薄膜５５の厚さが０．１μｍよりも薄いと、
磁気記録媒体の機械的強度を補強する効果が表れない。
また、金属薄膜５５の厚さが０．５μｍよりも厚いと、
磁気記録媒体のクラックが生じやすい。金属薄膜５５の
厚さを０．１μｍ〜０．５μｍとすることで、クラック
を生じさせずに磁気記録媒体の機械的強度を補強するこ
とができる。

【００９０】このような金属薄膜５５は、図２に示した
ような連続巻き取り式の真空蒸着装置によって、非磁性
支持体５１の強磁性金属薄膜５２が形成された面５１ａ
とは反対側の面５１ｂ上に、上述したような金属材料を
蒸着させることにより形成される。

【００９１】また、金属薄膜５５は、上述した斜方蒸着
法以外にも、この他に垂直蒸着法やスパッタリング法、
ＣＶＤ等の公知の薄膜形成法によって形成することがで
きる。

【００９２】バックコート層５６は、必要に応じて、上
記金属薄膜上に形成される。このバックコート層５６
は、主として、カーボンブラック、無機質粉末及び結合
剤から構成される。ここで、このバックコート層５６を
構成するカーボンブラック、結合剤には、上述した第１
の実施の形態に係る磁気記録媒体のバックコート層６に
用いられているものとほぼ同様のものが用いられる。

【００９３】一方、無機質粉末は、特にモース硬度が５
〜９のものを用いることが好ましい。モース硬度が５〜
９の無機質粉末を用いることで、磁気記録媒体に繰り返
し走行耐久性を付与し、バックコート層５６を強化する
ことができる。これらの無機質粉末を上記のカーボンブ
ラックや炭酸カルシウムと共に使用すると、そのフィラ
ー効果により、バックコート層５６が、繰り返し摺動に
対しても劣化が少なく、強いバックコート層となる。

【００９４】また、バックコート層５６で使用する無機
粉末を、モース硬度が５〜９と比較的高いものとする
と、バックコート層５６の表面に適度の研磨力が生じ、
ガイドポール等への付着が低減する。磁気記録媒体とし
ては、特に、バックコート層に炭酸カルシウムと無機質
粉末とを併用すると、表面の荒いガイドポール等に対し
ての摺動特性が向上し、バックコート層５６の摩擦係数
の安定化も図ることができる。なお、無機質粉末は、そ
の平均粒子サイズが８０〜２５０ｍμの範囲のものであ
ることが好ましく、さらに好ましくは、１００〜２１０
ｍμの範囲のものである。

【００９５】この無機質粉末としては、例えば、α−酸
化鉄、α−アルミナ、又は酸化クロム（Ｃｒ₂ＣＯ₃）を
挙げることができる。これらの無機質粉末は、それぞれ
単独で用いてもよいし、あるいは２種類以上を混合して
用いてもよい。これらの中では、α−酸化鉄又はα−ア
ルミナが好ましい。モース硬度が５〜９の無機質粉末の
含有量は、カーボンブラック１００重量部に対して通常
３〜３０重量部であり、好ましくは、３〜２０重量部で
ある。特に、バックコート層５６には、平均粒子サイズ
の異なる２種類のカーボンブラックと上記サイズの炭酸
カルシウムと、そして上記５〜９のモース硬度を有する
無機質粉末が含有されていることが好ましい。

【００９６】本実施の形態に係る磁気記録媒体は、非磁
性支持体５１の強磁性金属薄膜５２が形成される面５１
ａとは反対側の面５１ｂ上に、金属薄膜５５が形成され
ているため機械的強度が十分確保されて、耐久性が向上
する。そして、その結果、本発明を適用した磁気記録媒
体は、形状の変形が抑制されて、磁気ヘッドとの当たり
を十分とることができ、より良好な電磁変換特性、記録
再生特性及び走行性が実現される。

【００９７】なお、この磁気記録媒体では、強磁性金属
薄膜５１上に保護膜が形成されていてもよい。強磁性金
属薄膜５１上に保護膜を形成することで、強磁性金属薄
膜５１の摩耗を防止することができる。

【００９８】

【実施例】［第１の実験例］本実験例では、非磁性支持
体の強磁性金属薄膜が形成された面とは反対側の面に、
針状非磁性顔料を含有するバックコート層を形成した場
合の効果を以下のようにして確認した。

【００９９】１．サンプルテープの作製先ず、次のようにしてサンプルテープを作製した。

【０１００】〈実施例１〉先ず、Ｎ−メチル−２−ピロ
リドン（ＮＭＰ）中で平均粒径０．１μｍの乾式シリカ
粒子を分散させたスラリーを用意した。

【０１０１】次に、重合槽にＮＭＰと上記スラリーを仕
込み、この中に芳香族ジアミン成分として８０モル％に
相当する２−クロルパラフェニレンジアミンと、２０モ
ル％に相当する４，４’−ジアミノジフェニルエ−テル
とを溶解させ、これに１００モル％に相当する２−クロ
ルテレフタル酸クロリドを添加し、２時間攪拌して重合
を完了した。これを水酸化リチウムで中和して、強磁性
金属薄膜形成面側の層、すなわち第２の芳香族ポリアミ
ドフィルム用のポリマー溶液（以下、Ａ液と呼ぶ。）を
得た。なお、粒子の含有量は芳香族ポリアミドに対して
０．１ｗｔ％であった。

【０１０２】また、同様の方法で平均粒径１．５μｍの
シリカ粒子を芳香族ポリアミドに対して０．０５ｗｔ％
含有する、バックコート層形成面側の層、すなわち第１
のポリアミドフィルム用のポリマ−溶液（以下、Ｂ液と
呼ぶ。）を調製した。

【０１０３】Ａ液及びＢ液も、ポリマー濃度１０重量
％、３０℃での溶液粘度を３０００ポイズに調整して製
膜原液とした。

【０１０４】そして、これらＡ液及びＢ液の製膜原液を
５μｍカットのフィルタ−を通した後、２層に積層して
金属ベルト上に流延してフィルムを作製した。押し出し
量を同量にして最終フィルムの厚みが４μｍになるよう
にした。この流延されたフィルムを１８０℃の熱風で２
分間加熱して溶媒を蒸発させ、自己保持性を得たフィル
ムをベルトから連続的に剥離した。

【０１０５】次に、ＮＭＰの濃度勾配をつけた水槽内へ
フィルムを導入して残存溶媒と中和で生じた無機塩の水
抽出を行ない、テンターで水分の乾燥と熱処理を行なっ
た。この間にフィルム長手方向と幅方向に各々１．１
倍、１．５倍延伸を行ない、２８０℃で１．５分間乾燥
と熱処理を行なった後、２０℃／秒の速度で徐冷し、非
磁性支持体を得た。

【０１０６】次に、このようにして作製された非磁性支
持体を用いて、下記のような手法にて、磁気テープ原反
を作製した。

【０１０７】まず、図２に示したような連続巻き取り式
の蒸着装置をその内部が１０^-3Ｐａ程度の真空状態とな
るように排気し、上述したように高分子被膜が形成され
た非磁性支持体をこの蒸着装置にセットした。そして、
連続斜方蒸着法により、微量の酸素存在下において、こ
の非磁性支持体の第２の芳香族ポリアミドフィルムの表
面にＣｏからなる強磁性金属薄膜を形成した。このと
き、蒸着の入射角は、非磁性支持体の法線方向が９０度
〜４５度までであり、非磁性支持体の走行速度が５０ｍ
／分で、強磁性金属薄膜の厚さが０．１８μｍとなるよ
うに、電子ビームの強さを調節して作製した。

【０１０８】次に、図４に示したようなマグネトロンス
パッタリング装置をその内部が１０^-4Ｐａ程度になるま
で減圧した後、Ａｒガスを導入し、０．８Ｐａ程度にし
た。そして、このマグネトロンスパッタリング装置に強
磁性金属薄膜が形成された非磁性支持体をセッティング
し、約−４０℃に冷却した冷却キャン上を５ｍ／分の速
度で走行させて強磁性金属薄膜上にカーボンからなる保
護膜を形成した。

【０１０９】次に、下記の組成に準じてバック塗料を調
製した。

【０１１０】バック塗料組成ゲータイト（長軸長０．２μｍ、アスペクト比３０）１００重量部カーボンブラック（旭社製，＃５０）５０重量部ポリエステルポリウレタン１００重量部（日本ポリウレタン社製商品名Ｎ−２３０４）溶剤：メチルエチルケトン５００重量部トルエン５００重量部そして、調製されたバック塗料を、非磁性支持体の強磁
性金属薄膜を形成した側とは反対側の面に塗布、乾燥す
ることで乾燥厚０．４μｍのバックコート層を形成し
た。次に、保護膜上にパ−フルオロポリエーテルよりな
る潤滑剤を塗布して磁気記録媒体を作製した。最後に、
この磁気記録媒体を８ｍｍ幅のテープ状に裁断して磁気
テープとし、この磁気テープをカセット本体に収納して
サンプルテープを得た。

【０１１１】〈実施例２〉Ａ液の押し出し量を増やし、
その分Ｂ液の押し出し量を減らして、全厚が４μｍとな
るように非磁性支持体を作製したこと以外は、実施例１
と同様にしてサンプルテープを作製した。

【０１１２】その結果、実施例２では、第２の芳香族ポ
リアミドフィルムの厚みが２．２μｍとなっている。

【０１１３】〈実施例３〉Ａ液の押し出し量を増やし、
その分Ｂ液の押し出し量を減らして、全厚が４μｍとな
るように非磁性支持体を作製したこと以外は、実施例１
と同様にしてサンプルテープを作製した。

【０１１４】その結果、実施例３では、第２の芳香族ポ
リアミドフィルムの厚みが３．０μｍとなっている。

【０１１５】〈実施例４〉Ｂ液に添加されるシリカ粒子
として平均粒径０．５μｍのものを用い、その添加量が
０．１ｗｔ％となるように調整したこと以外は、実施例
１と同様にしてサンプルテープを作製した。

【０１１６】〈実施例５〉Ｂ液に添加されるシリカ粒子
として平均粒径０．５μｍのものを用い、その添加量が
０．１ｗｔ％となるように調整し、さらに、Ａ液の押し
出し量を増やし、その分Ｂ液の押し出し量を減らして、
全厚が４μｍとなるように非磁性支持体を作製したこと
以外は、実施例１と同様にしてサンプルテープを作製し
た。

【０１１７】その結果、実施例５では、第２の芳香族ポ
リアミドフィルムの厚みが２．５μｍとなっている。

【０１１８】〈実施例６〉Ｂ液に添加されるシリカ粒子
として平均粒径０．５μｍのものを用い、その添加量が
０．１ｗｔ％となるように調整し、さらに、Ａ液の押し
出し量を増やし、その分Ｂ液の押し出し量を減らして、
全厚が４μｍとなるように非磁性支持体を作製したこと
以外は、実施例１と同様にしてサンプルテープを作製し
た。

【０１１９】その結果、実施例６では、第２の芳香族ポ
リアミドフィルムの厚みが３．１μｍとなっている。

【０１２０】〈比較例１〉バック層塗料として、下記の
組成のものを用いたこと以外は、実施例１と同様にして
サンプルテープを作製した。

【０１２１】バック塗料組成カーボンブラック（旭社製，＃５０）１００重量部ポリエステルポリウレタン１００重量部（日本ポリウレタン社製商品名Ｎ−２３０４）溶剤：メチルエチルケトン５００重量部トルエン５００重量部〈比較例２〉バック層塗料として、上記比較例１で述べ
た組成のものを用いたこと以外は、実施例２と同様にし
てサンプルテープを作製した。

【０１２２】〈比較例３〉バック層塗料として、上記比
較例１で述べた組成のものを用いたこと以外は、実施例
３と同様にしてサンプルテープを作製した。

【０１２３】〈比較例４〉バック層塗料として、上記比
較例１で述べた組成のものを用いたこと以外は、実施例
４と同様にしてサンプルテープを作製した。

【０１２４】〈比較例５〉バック層塗料として、上記比
較例１で述べた組成のものを用いたこと以外は、実施例
５と同様にしてサンプルテープを作製した。

【０１２５】〈比較例６〉バック層塗料として、上記比
較例１で述べた組成のものを用いたこと以外は、実施例
６と同様にしてサンプルテープを作製した。

【０１２６】２．特性の評価次に、上記実施例１〜実施例６及び比較例１〜比較例６
の１２種類のサンプルテープについて種々の物性値及び
特性特性を、以下に示す方法により測定し、評価した。

【０１２７】フィルム厚の測定フィルム厚の測定はミクロトーム法により、フィルム断
面の切片を切り出し、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用
い、倍率５千倍で１０箇所撮影し、１０箇所の平均値を
もって層厚とした。

【０１２８】表面粗度の測定表面粗度（ＳＲａ）は下記式にて定義されるものであ
る。

【０１２９】

【数１】

【０１３０】バックコート層を形成する面の表面粗さを
測定する際には、小坂研究所製の表面粗さ測定器「ＥＴ
−３０ＨＫ」を用い、触針径２μｍＲ、触針圧１０ｍ
ｇ、カットオフ値０．２５ｍｍ、Ｘ方向測定長０．８ｍ
ｍ、Ｙ方向測定長０．１２μｍの条件で測定して求め
た。

【０１３１】また、強磁性金属薄膜を形成する面の表面
粗さを測定する際には、小坂研究所製の表面粗さ測定器
「ＥＴ−３０ＨＫ」を用いた非接触方式による測定を行
い、カットオフ値０．０８ｍｍ、Ｘ方向測定長０．１ｍ
ｍ、Ｙ方向測定長０．０２μｍの条件で測定して求め
た。なお、この非接触方式による測定とは、一般的に高
度に平坦化された面の表面粗さを測定する際に用いら
れ、臨界角焦点エラー検出方式を利用した光学式意匠変
位センサによる測定のことである。

【０１３２】表面突起個数ポリアミドフィルム中に不活性粒子を添加することによ
り形成される突起の個数は、高走査型電子顕微鏡（ＳＥ
Ｍ）を用い、倍率５千倍以上にてカウントし、１ｍｍ²
当たりの個数に換算した。

【０１３３】テープ特性実施例及び比較例における磁気記録媒体の特性評価は、
ソニー（株）製のＡＩＴドライブＳＤＸ−Ｓ３００Ｃ
（商品名）を改造したものを用いて行った。記録は、相
対速度１０．０４ｍ／ｓｅｃ、最短記録波長０．３５μ
ｍで行った。

【０１３４】・ドロップアウトの測定ドロップアウトの測定は、出力減衰が６ｄＢ、継続時間
が１μｓｅｃ以上のドロップアウトを１分間ドロップア
ウトカウンターで測定した。

【０１３５】・走行耐久性耐久性としては、１７０ｍ長を１０００パス走行させ、
１パス走行後のエラーレート、１００パス走行後のエラ
ーレート及び１０００パス走行後のエラーレートを測定
した。

【０１３６】ヘッドとの当たり特性ヘッドとの当たり特性としては、１７０ｍ長を１０００
０パス走行させ、テープ再生時の出力信号（当たり波
形）を１トラック分で見た場合の出力信号の最小値／最
大値（％）を１パス走行後及び１００００パス走行後に
それぞれ測定した。

【０１３７】実施例１〜実施例６と比較例１〜比較例６
のサンプルテープに関して、テープ厚、表面粗度及び表
面突起個数を測定した結果を表１に示し、特性評価結果
を表２に示す。

【０１３８】

【表１】

【０１３９】

【表２】

【０１４０】表２より、バックコート層に針状非磁性顔
料を含有させなかった比較例１〜比較例６のサンプルテ
ープでは、エラーレート、ドロップアウトが多いことが
わかる。また、比較例１〜比較例６のサンプルテープで
は、１００００パス走行後にテープ当たりが大きく低下
しており、十分な耐久性が得られていないことがわか
る。

【０１４１】一方、バックコート層に針状非磁性顔料を
含有させた実施例１〜実施例６では、エラーレート、ド
ロップアウトが少ないことがわかる。また、実施例１〜
実施例６のサンプルテープでは、１００００パス走行後
にテープ当たりがほとんど低下せず、十分な耐久性が得
られていることがわかる。

【０１４２】従って、非磁性支持体の強磁性金属薄膜が
形成される面とは反対側の面上に、針状非磁性顔料を含
有するバックコート層を形成することによって、磁気記
録媒体の厚みが薄くても必要十分な強度が確保されて、
磁気記録媒体の長期保存性、すなわち耐久性を向上させ
ることができることがわかった。

【０１４３】［第２の実験例］本実験例では、非磁性支
持体の強磁性金属薄膜が形成された面とは反対側の面
に、金属薄膜を形成した場合の効果を以下のようにして
確認した。

【０１４４】１．サンプルテープの作製〈実施例７〉まず、非磁性支持体を作製し、この非磁性
支持体上に強磁性金属薄膜を形成し、さらに強磁性金属
薄膜上に保護膜を形成した。ここで、非磁性支持体、強
磁性金属薄膜及び保護膜は、上述した実施例１と同様に
して形成した。

【０１４５】次に、図２に示したような連続巻き取り式
の真空蒸着装置に、上記強磁性金属薄膜及び保護膜が形
成された原反をセットし、その内部が１０^-2Ｐａ程度の
真空状態となるように排気し、非磁性支持体の強磁性金
属薄膜が形成された面とは反対側の面、即ち第１の芳香
族ポリアミドフィルムの主面上に、Ａｌからなる補強用
の金属薄膜を形成した。このときの成膜条件としては、
蒸着の入射角を０度〜２５度とし、非磁性支持体の送り
速度を６０ｍ／分とした。また、金属薄膜の厚さが０．
２μｍとなるように電子ビームの強さを調節して作製し
た。

【０１４６】次に、下記の組成に準じてバック塗料を調
製した。

【０１４７】バック塗料組成カーボンブラック（旭社製，＃５０）１００重量部ポリエステルポリウレタン１００重量部（日本ポリウレタン社製商品名Ｎ−２３０４）溶剤：メチルエチルケトン５００重量部トルエン５００重量部そして、調製されたバック塗料を、非磁性支持体の強磁
性金属薄膜が形成される面とは反対側の面上に塗布、乾
燥することで乾燥厚０．４μｍのバックコート層を形成
した。次に、保護膜上にパ−フルオロポリエーテルより
なる潤滑剤を塗布して磁気記録媒体を作製した。最後
に、この磁気記録媒体を８ｍｍ幅のテープ状に裁断して
磁気テープとし、この磁気テープをカセット本体に収納
してサンプルテープを得た。

【０１４８】〈実施例８〉Ａ液の押し出し量を増やし、
その分Ｂ液の押し出し量を減らして、全厚が４μｍとな
るように非磁性支持体を作製したこと以外は、実施例７
と同様にしてサンプルテープを作製した。

【０１４９】その結果、実施例８では、第２の芳香族ポ
リアミドフィルムの厚みが２．２μｍとなっている。

【０１５０】〈実施例９〉Ａ液の押し出し量を増やし、
その分Ｂ液の押し出し量を減らして、全厚が４μｍとな
るように非磁性支持体を作製したこと以外は、実施例７
と同様にしてサンプルテープを作製した。

【０１５１】その結果、実施例９では、第２の芳香族ポ
リアミドフィルムの厚みが３．０μｍとなっている。

【０１５２】〈実施例１０〉Ｂ液に添加されるシリカ粒
子として平均粒径０．５μｍのものを用い、その添加量
が０．１ｗｔ％となるように調整したこと以外は、実施
例７と同様にしてサンプルテープを作製した。

【０１５３】〈実施例１１〉Ｂ液に添加されるシリカ粒
子として平均粒径０．５μｍのものを用い、その添加量
が０．１ｗｔ％となるように調整し、さらに、Ａ液の押
し出し量を増やし、その分Ｂ液の押し出し量を減らし
て、全厚が４μｍとなるように非磁性支持体を作製たこ
と以外は、実施例７と同様にしてサンプルテープを作製
した。

【０１５４】その結果、実施例１１では、第２の芳香族
ポリアミドフィルムの厚みが２．５μｍとなっている。

【０１５５】〈実施例１２〉Ｂ液に添加されるシリカ粒
子として平均粒径０．５μｍのものを用い、その添加量
が０．１ｗｔ％となるように調整し、さらに、Ａ液の押
し出し量を増やし、その分Ｂ液の押し出し量を減らし
て、全厚が４μｍとなるように非磁性支持体を作製した
こと以外は、実施例７と同様にしてサンプルテープを作
製した。

【０１５６】その結果、実施例１２では、第２の芳香族
ポリアミドフィルムの厚みが３．１μｍとなっている。

【０１５７】〈比較例７〉補強用の金属薄膜を形成しな
かったこと以外は、実施例７と同様にしてサンプルテー
プを作製した。

【０１５８】〈比較例８〉補強用の金属薄膜を形成しな
かったこと以外は、実施例８と同様にしてサンプルテー
プを作製した。

【０１５９】〈比較例９〉補強用の金属薄膜を形成しな
かったこと以外は、実施例９と同様にしてサンプルテー
プを作製した。

【０１６０】〈比較例１０〉補強用の金属薄膜を形成し
なかったこと以外は、実施例１０と同様にしてサンプル
テープを作製した。

【０１６１】〈比較例１１〉補強用の金属薄膜を形成し
なかったこと以外は、実施例１１と同様にしてサンプル
テープを作製した。

【０１６２】〈比較例１２〉補強用の金属薄膜を形成し
なかったこと以外は、実施例１２と同様にしてサンプル
テープを作製した。

【０１６３】２．特性の評価実施例７〜実施例１２と比較例７〜比較例１２のサンプ
ルテープに関して、上述した実験例１と同様の方法によ
りテープ厚、表面粗度及び表面突起個数を測定した結果
を表１に示し、また、特性評価結果を表２に示す。

【０１６４】

【表３】

【０１６５】

【表４】

【０１６６】表４より、補強用の金属薄膜を形成しなか
った比較例７〜比較例１２のサンプルテープでは、エラ
ーレート、ドロップアウトが多いことがわかる。また、
比較例７〜比較例１２のサンプルテープでは、１０００
０パス走行後にテープ当たりが大きく低下しており、十
分な耐久性が得られていないことがわかる。

【０１６７】一方、補強用の金属薄膜を形成した実施例
７〜実施例１２では、エラーレート、ドロップアウトが
少ないことがわかる。また、実施例７〜実施例１２のサ
ンプルテープでは、１００００パス走行後にテープ当た
りがほとんど低下せず、十分な耐久性が得られているこ
とがわかる。

【０１６８】従って、非磁性支持体の強磁性金属薄膜が
形成される面とは反対側の面上に、補強用の金属薄膜を
形成を形成することによって、磁気記録媒体の厚みが薄
くても必要十分な強度が確保されて、磁気記録媒体の長
期保存性、すなわち耐久性を向上させることができるこ
とがわかった。

【０１６９】

【発明の効果】本発明では、非磁性支持体の強磁性金属
薄膜が形成される面とは反対側の面上に、針状非磁性顔
料を含有するバックコート層又は補強用の金属薄膜を形
成を形成することによって、磁気記録媒体の厚みが薄く
ても必要十分な強度が確保されて、耐久性に優れた磁気
記録媒体を実現することができる。その結果、本発明の
磁気記録媒体は、ドライブ上においても安定して長時間
走行でき、長時間記録化、大容量化に対応することがで
きる。

【０１７０】本発明に係る磁気記録媒体では、非磁性支
持体における下層非磁性層及び上層磁性層が形成される
一主面が所望の優れた表面性を示すとともに、他主面の
表面性も所望の状態とすることができる。このため、こ
の磁気記録媒体では、走行耐久性及び電磁変換特性に優
れ、且つ、ハンドリング特性にも優れたものとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気記録媒体の一構成例を示す断
面図である。

【図２】強磁性金属薄膜を形成する真空蒸着装置の一例
を示す概略構成図である。

【図３】本発明に係る磁気記録媒体の他の一構成例を示
す断面図である。

【図４】保護膜を形成するマグネトロンスパッタ装置の
一例を示す概略構成図である。

【図５】本発明に係る磁気記録媒体の他の一構成例を示
す断面図である。

【符号の説明】

１，５１非磁性支持体、２，５２強磁性金属薄
膜、３，５３第１の芳香族ポリアミドフィルム、
４，５４第１の芳香族ポリアミドフィルム、５，５
６バックコート層、５５金属薄膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ１１Ｂ 5/73 Ｇ１１Ｂ 5/704 // Ｃ０８Ｌ 77:00 Ｆターム(参考） 4F006 AA38 AB73 BA06 CA02 DA01 4J038 EA011 KA08 KA18 PB11 PC08 5D006 BB01 CB03 CB06 CB08 CC01 CC02 CC04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】非磁性支持体と、上記非磁性支持体の一主面上に形成された強磁性金属薄
膜とを有する磁気記録媒体において、上記非磁性支持体は、少なくとも、他主面を構成する第
１の芳香族ポリアミドフィルムと、上記第１の芳香族ポ
リアミドフィルム上に形成された第２の芳香族ポリアミ
ドフィルムとを有するとともに、上記第１の芳香族ポリ
アミドフィルム中に含有される不活性粒子が上記第２の
芳香族ポリアミドフィルム中に含有される不活性粒子と
比較して大とされてなり、上記非磁性支持体は、上記第１の芳香族ポリアミドフィ
ルムを除いた厚みが２．０μｍ以上であり、上記非磁性支持体の上記強磁性金属薄膜が形成される面
とは反対側の面上に、少なくとも結合剤と針状非磁性顔
料とを含有するバックコート層が形成されていることを
特徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】非磁性支持体と、上記非磁性支持体の一主面上に形成された強磁性金属薄
膜とを有する磁気記録媒体において、上記非磁性支持体は、少なくとも、他主面を構成する第
１の芳香族ポリアミドフィルムと、上記第１の芳香族ポ
リアミドフィルム上に形成された第２の芳香族ポリアミ
ドフィルムとを有するとともに、上記第１の芳香族ポリ
アミドフィルム中に含有される不活性粒子が上記第２の
芳香族ポリアミドフィルム中に含有される不活性粒子と
比較して大とされてなり、上記非磁性支持体は、上記第１の芳香族ポリアミドフィ
ルムを除いた厚みが２．０μｍ以上であり、上記非磁性支持体の上記強磁性金属薄膜が形成される面
とは反対側の面上に、金属薄膜が形成されていることを
特徴とする磁気記録媒体。
【請求項３】上記金属薄膜は、Ｃｕ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｃ
ｒ又はこれらの合金のうちいずれか１種を少なくとも含
有することを特徴とする請求項２記載の磁気記録媒体。