JP2000244083A - Flexible circuit board - Google Patents

Flexible circuit board

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JP2000244083A
JP2000244083A JP4106099A JP4106099A JP2000244083A JP 2000244083 A JP2000244083 A JP 2000244083A JP 4106099 A JP4106099 A JP 4106099A JP 4106099 A JP4106099 A JP 4106099A JP 2000244083 A JP2000244083 A JP 2000244083A
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JP
Japan
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thickness
film
less
circuit board
polyimide
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Pending
Application number
JP4106099A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Inoue
浩 井上
Tomohiko Yamamoto
智彦 山本
Takeshi Uekido
健 上木戸
Seiji Ishikawa
誠治 石川
Hiroshi Yasuno
弘 安野
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Ube Corp
Original Assignee
Ube Industries Ltd
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Publication date
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  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
  • Organic Insulating Materials (AREA)
  • Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高密度パタ−ン化や半導体実装時の位置合わ
せを可能とする、絶縁フィルムが耐熱性、寸法安定性、
加工性が良好で、その上に回路形成し、さらに絶縁性の
良好なコ−ト層を設けたフレキシブル回路基板を提供す
る。 【解決手段】 ビフェニルテトラカルボン酸類とフェニ
レンジアミンを主成分とするポリイミドからなり、厚み
が5−150μm、伸びが45−90%で、引張弾性率
が550−1300kg/mm2、かつ引き裂き伝播抵
抗(エルメンドルフ)が350−1500g/mmであ
る芳香族ポリイミドフィルムの少なくとも片面に導電体
を積層して回路を形成し、さらにコ−ト材を塗布・乾燥
して、そりが25mm以上で、錫メッキによる侵食が2
50mm以下のコ−ト層を設けたフレキシブル回路基
板。
(57) [Summary] [PROBLEMS] To achieve high-density patterning and alignment at the time of semiconductor mounting, the insulating film has heat resistance, dimensional stability,
Provided is a flexible circuit board having good workability, a circuit formed thereon, and a coat layer having good insulation. SOLUTION: It is made of a polyimide containing biphenyltetracarboxylic acids and phenylenediamine as main components, has a thickness of 5-150 μm, an elongation of 45-90%, a tensile modulus of 550-1300 kg / mm 2, and a tear propagation resistance (Elmendorf). ) Is 350-1500 g / mm, an electric conductor is laminated on at least one surface of an aromatic polyimide film to form a circuit, a coating material is applied and dried, the warpage is 25 mm or more, and erosion by tin plating is performed. Is 2
A flexible circuit board provided with a coat layer of 50 mm or less.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、主要単位として
ビフェニルテトラカルボン酸二無水物またはその誘導体
とフェニレンジアミンとを含有するポリイミド前駆体
(例えば、芳香族ポリアミック酸)の溶液を使用して、
溶液流延法によって製膜して得られる芳香族ポリイミド
フィルムに、銅箔を積層するなどして導電体を設けた
後、回路を形成し、その上にコ−ト材を塗布・乾燥して
絶縁特性の良好なコ−ト層を形成したフレキシブル回路
基板、特に高密度パタ−ン化や半導体実装時の位置合わ
せを可能とする、耐熱性、寸法安定性、加工性が良好で
ある芳香族ポリイミドフィルムを使用したフレキシブル
回路基板に関するものである。
The present invention relates to the use of a solution of a polyimide precursor (for example, aromatic polyamic acid) containing biphenyltetracarboxylic dianhydride or a derivative thereof and phenylenediamine as main units,
A conductor is provided by laminating a copper foil on an aromatic polyimide film obtained by film casting by a solution casting method, and then a circuit is formed, and a coating material is applied thereon and dried. Flexible circuit board with a coat layer with good insulation properties, especially aromatic, which has good heat resistance, dimensional stability and workability, enabling high-density patterning and alignment during semiconductor mounting. The present invention relates to a flexible circuit board using a polyimide film.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、フレキシブル回路基板は芳香族ポ
リイミドフィルムの片面あるいは両面に直接あるいは接
着剤を介して銅箔等の金属箔層を設け、これからエッチ
ングにより回路形成し、その上にコ−ト層を設けたもの
が一般的である。この用途に使用される芳香族ポリイミ
ドフィルムは、耐熱性、耐寒性、電気絶縁性、機械的強
度等の諸特性が要求されることから、ビフェニルテトラ
カルボン酸成分とフェニレンジアミン成分とからなるポ
リイミドフィルムが使用され、これは例えば特公昭60
−42817号公報に記載されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a flexible circuit board is provided with a metal foil layer such as a copper foil directly or through an adhesive on one or both sides of an aromatic polyimide film, and thereafter a circuit is formed by etching, and a coat is formed thereon. It is common to provide a layer. Aromatic polyimide film used in this application is required to have various properties such as heat resistance, cold resistance, electrical insulation, and mechanical strength. Therefore, a polyimide film composed of a biphenyltetracarboxylic acid component and a phenylenediamine component Is used, for example,
-42817.

【0003】しかし、このポリイミドフィルムが使用さ
れる前記分野では、高精度、高生産性の要求が益々厳し
くなり、金属箔(例えば銅箔)とポリイミドフィルムと
を接着剤で積層した積層体の走行安定性、該積層体のカ
−ル発生の問題、リ−ドの歪みが生じることによる位置
合わせの問題が指摘されている。例えば、高精度の要求
の特に厳しいTAB用途では、スプロケット穴をあけた
35mm幅、70mm幅等のテ−プ状で加工するため、
ベ−スフィルムであるポリイミドフィルムによっては積
層体の加工時の走行安定性が悪く、最悪の場合、スプロ
ケットから外れるという加工性の問題が発生したり、積
層体にカ−ルが発生し高密度パタ−ン化が難しく、ある
いは半導体実装時に前記の位置合わせが難しいという問
題点が指摘されている。
However, in the field where the polyimide film is used, high precision and high productivity are required more and more, and the running of a laminate in which a metal foil (for example, a copper foil) and a polyimide film are laminated with an adhesive is performed. It has been pointed out that there are problems of stability, curling of the laminate, and alignment due to lead distortion. For example, in TAB applications, which require particularly high precision, in the case of TAB applications, a sprocket hole is drilled in a tape shape of 35 mm width, 70 mm width, etc.
Depending on the polyimide film as the base film, the running stability of the laminate during processing is poor, and in the worst case, there is a problem in workability that the laminate comes off the sprocket, or curl occurs in the laminate and high density occurs. It has been pointed out that it is difficult to form a pattern, or it is difficult to perform the above-described alignment during semiconductor mounting.

【0004】このため、ポリイミドフィルムの寸法安定
性、膨張係数に着目して種々の改良がなされた。例え
ば、特開昭61−264027号公報にはビフェニルテ
トラカルボン酸二無水物とp−フェニレンジアミンとか
ら得られるポリイミドフィルムを低張力下に再熱処理し
て寸法安定なポリイミドフィルムを製造する方法が記載
されている。また、特公平4−6213号公報には線膨
張係数比(送り方向/直行方向)および送り方向の線膨
張係数が特定範囲内にあり寸法安定性に優れたポリイミ
ドフィルムが記載されているしかし、これらの公知技術
では、ポリイミドフィルム自体の寸法精度は高いもの
の、用途分野の製造工程での寸法精度も高く、他物品を
実装する際の位置合わせも良好である、という高密度化
において求められる種々の性能をバランス良く満足する
ポリイミドフィルムを得ることは困難であり、フレキシ
ブル回路基板に要求される高精度・高生産性・品質の均
一性・低コスト化といったニ−ズを満足することは困難
である。
For this reason, various improvements have been made focusing on the dimensional stability and expansion coefficient of the polyimide film. For example, JP-A-61-264027 discloses a method for producing a dimensionally stable polyimide film by reheating a polyimide film obtained from biphenyltetracarboxylic dianhydride and p-phenylenediamine under low tension. Have been. In addition, Japanese Patent Publication No. 4-6213 describes a polyimide film having a linear expansion coefficient ratio (feed direction / perpendicular direction) and a linear expansion coefficient in the feed direction within a specific range and having excellent dimensional stability. In these known techniques, although the dimensional accuracy of the polyimide film itself is high, the dimensional accuracy in the manufacturing process of the application field is also high, and the alignment when mounting other articles is good, and various demands for high density are required. It is difficult to obtain a polyimide film that satisfies the requirements of a flexible circuit board in a well-balanced manner, and it is difficult to satisfy the needs of flexible circuit boards such as high precision, high productivity, uniform quality and low cost. is there.

【0005】また、フレキシブル回路基板の回路形成後
設けるコ−ト材としては、エポキシ樹脂や芳香族ポリイ
ミドなどが使用されている。しかし、一般にコ−ト材用
のエポキシ樹脂の併用が必要であり、その硬化剤に係わ
る保存安定性、二液調製のための作業性などの種々の問
題があったり、耐熱性に問題があり、また前述のコ−ト
材として使用した場合に、熱硬化によって形成される絶
縁膜が剛直であり柔軟性に欠け、屈曲性に劣るためこれ
を用いて製造したフレキシブル回路基板の実装時の位置
合わせが困難であるとか、液晶などに接続した後ストレ
スが掛かってついには剥離してしまい機能しなくなると
いう問題があった。
[0005] Epoxy resin, aromatic polyimide or the like is used as a coating material provided after the circuit formation of the flexible circuit board. However, in general, it is necessary to use an epoxy resin for a coating material in combination, and there are various problems such as storage stability related to the curing agent, workability for preparing a two-package, and heat resistance. Also, when used as the above-mentioned coating material, the insulating film formed by thermosetting is rigid, lacks flexibility, and is inferior in bending property. There is a problem that the alignment is difficult, or stress is applied after connecting to a liquid crystal or the like, and the film eventually peels off and does not function.

【0006】また、芳香族ポリイミドをコ−ト材として
使用する場合、芳香族ポリイミドが有機溶媒に溶解し難
いために、芳香族ポリイミドの前駆体(芳香族ポリアミ
ック酸)の溶液として使用して、塗布膜を形成し、次い
で乾燥とイミド化とを高温で長時間、加熱処理すること
によって、芳香族ポリイミドのコ−ト層を形成する必要
があり、保護すべきフレキシブル回路基板自体が熱劣化
するという問題があった。
When an aromatic polyimide is used as a coating material, it is difficult to dissolve the aromatic polyimide in an organic solvent, so that it is used as a solution of a precursor (aromatic polyamic acid) of the aromatic polyimide. It is necessary to form a coating film and then heat and dry and imidize at a high temperature for a long time to form an aromatic polyimide coat layer, and the flexible circuit board itself to be protected is thermally degraded. There was a problem.

【0007】一方、有機溶剤に可溶性の芳香族ポリイミ
ドは、例えば、特公昭57−41491号公報に記載さ
れているようにビフェニルテトラカルボン酸成分とジア
ミン化合物とを有機極性溶媒中で重合及びイミド化した
芳香族ポリイミドが知られているが、そのポリイミドは
フレキシブル基板との密着性(接着性)が充分でないの
で予め基板を密着促進剤で処理しておく必要があり、あ
るいは有機極性溶媒に溶解するもののこれらの溶媒への
溶解度が通常10−20重量%程度と小さいためそのま
までは電気絶縁性が不十分であるという問題がある。さ
らに、公知の有機溶剤に可溶性の芳香族ポリイミドをコ
−ト材として使用した場合に、この芳香族がかなり剛直
であり柔軟性が不十分で屈曲性も劣るためそりが大きく
なり、これを用いて製造したフレシシブル回路基板の実
装時の位置合わせが困難であるとか、液晶などに接続し
た後ストレスが掛かってついには剥離してしまい機能し
なくなるという問題があった。また、ポリイミドを使用
すると密着性が不十分となり、錫メッキ液による侵食が
大きく絶縁性が悪化するという問題があった。
On the other hand, an aromatic polyimide soluble in an organic solvent is prepared by polymerizing and imidizing a biphenyltetracarboxylic acid component and a diamine compound in an organic polar solvent as described in, for example, Japanese Patent Publication No. 57-41491. Aromatic polyimides are known, but the polyimides do not have sufficient adhesion (adhesion) with flexible substrates, so the substrates need to be pre-treated with an adhesion promoter or dissolved in an organic polar solvent. However, since the solubility in these solvents is usually as low as about 10 to 20% by weight, there is a problem that the electric insulation is insufficient when used as it is. Further, when an aromatic polyimide soluble in a known organic solvent is used as a coating material, the aromatic is considerably rigid, has insufficient flexibility and is inferior in flexibility, so that the warp becomes large. There is a problem that it is difficult to position the flexible circuit board manufactured by mounting at the time of mounting, or stress is applied after connecting to a liquid crystal or the like, and eventually, the flexible circuit board is not functional. In addition, when polyimide is used, there is a problem that the adhesion becomes insufficient, the erosion by the tin plating solution is large, and the insulating property is deteriorated.

【0008】このため、従来公知のポリイミドフィルム
とコ−ト材との組み合わせでは、フレキシブル回路基板
に求められる高密度・高生産性・品質の均一性・低コス
ト化といったニ−ズを満足することは困難である。
For this reason, the combination of a conventionally known polyimide film and a coating material satisfies the demands of a flexible circuit board such as high density, high productivity, uniform quality and low cost. It is difficult.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、フ
レキシブル回路基板として、特にTAB用途において、
加工時の走行安定性、高密度パタ−ン化、半導体実装時
の位置合わせ、コ−ト層の絶縁性における問題点を改良
したフレキシブル回路基板を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a flexible circuit board, particularly for TAB applications.
An object of the present invention is to provide a flexible circuit board in which problems in running stability during processing, high-density patterning, alignment during semiconductor mounting, and insulation of a coat layer are improved.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】この発明は、ビフェニル
テトラカルボン酸二無水物またはその誘導体とフェニレ
ンジアミンとを主成分として製造されたポリイミドから
なり、厚みが5−150μmであって、引張弾性率が、
厚みが5μm以上50μm未満の場合には750−13
00kg/mm2で、厚みが50μm以上100μm未
満の場合には650−1100kg/mm2で、厚みが
100μmより大きく150μm以下の場合には550
−1100kg/mm2であり、伸びが45−90%で
あり、かつ引裂き伝播抵抗(エルメンドルフ)が、厚み
が5μm以上50μm未満の場合には350−1500
g/mmで、厚みが50μm以上150μm以下の場合
には550−1500g/mmである芳香族ポリイミド
フィルムの少なくとも片面に、直接あるいは接着剤層を
介して導電体を設けたのち、回路を形成し、その上に絶
縁性コ−ト材を塗布し加熱乾燥して厚みが5−50μm
のコ−ト層を形成してなり、そり(曲率半径)が25m
m以上で、錫メッキ液による侵食(錫もぐり)が250
mm以下であるフレキシブル回路基板に関するものであ
る。
According to the present invention, there is provided a polyimide comprising biphenyltetracarboxylic dianhydride or a derivative thereof and phenylenediamine as main components, a thickness of 5-150 μm, and a tensile modulus of elasticity. But,
750-13 when the thickness is 5 μm or more and less than 50 μm
650-1100 kg / mm 2 when the thickness is 50 μm or more and less than 100 μm, and 550 when the thickness is more than 100 μm and 150 μm or less.
-1100 kg / mm 2, elongation of 45-90% and tear propagation resistance (Elmendorf) of 350-1500 when the thickness is 5 μm or more and less than 50 μm.
g / mm, and when the thickness is 50 μm or more and 150 μm or less, a circuit is formed after providing a conductor directly or via an adhesive layer on at least one surface of an aromatic polyimide film having a thickness of 550-1500 g / mm. Then, an insulating coating material is applied thereon and heated and dried to a thickness of 5 to 50 μm.
And a warp (radius of curvature) of 25 m
m or more, erosion by tin plating solution (tin digging) is 250
mm or less.

【0011】また、この発明は、厚みが5−150μm
であって、引張弾性率が、厚みが5μm以上50μm未
満の場合には750−1300kg/mm2で、厚みが
50μm以上100μm未満の場合には650−110
0kg/mm2で、厚みが100μmより大きく150
μm以下の場合には550−1100kg/mm2であ
り、伸びが45−90%であり、かつ引裂き伝播抵抗
(エルメンドルフ)が、厚みが5μm以上50μm未満
の場合には350−1500g/mmで、厚みが50μ
m以上150μm以下の場合には550−1500g/
mmであり、線膨張係数が5−25×10-6cm/cm
/℃であり、加熱収縮率が0.002−0.4%である
芳香族ポリイミドフィルムの少なくとも片面に、直接あ
るいは接着剤層を介して導電体を設けたのち、回路を形
成し、その上に絶縁性コ−ト材を塗布し加熱乾燥して厚
みが5−50μmのコ−ト層を形成してなり、そり(曲
率半径)が25mm以上で、錫メッキ液による侵食(錫
もぐり)が250mm以下であるフレキシブル回路基板
に関する。
[0011] Further, the present invention is characterized in that the thickness is 5 to 150 μm.
The tensile modulus is 750-1300 kg / mm 2 when the thickness is 5 μm or more and less than 50 μm, and 650-110 when the thickness is 50 μm or more and less than 100 μm.
0 kg / mm2, thickness greater than 100 μm and 150
When the thickness is 5 μm or less, the elongation is 45-90%, and the tear propagation resistance (Elmendorf) is 350-1500 g / mm when the thickness is 5 μm or more and less than 50 μm. Is 50μ
550 to 1500 g / m
mm and the coefficient of linear expansion is 5-25 × 10 −6 cm / cm.
/ C and a conductor is provided directly or via an adhesive layer on at least one surface of an aromatic polyimide film having a heat shrinkage of 0.002-0.4%, and then a circuit is formed. A coating layer having a thickness of 5 to 50 μm is formed by applying an insulating coating material on the substrate and drying by heating. The warpage (radius of curvature) is 25 mm or more, and the erosion (tin digging) by the tin plating solution is prevented. The present invention relates to a flexible circuit board having a length of 250 mm or less.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下にこの発明の好ましい態様を
列記する。 1)芳香族ポリイミドフィルムの線膨張係数が5−25
×10-6cm/cm/℃であり、加熱収縮率が0.00
2−0.4%である上記のフレキシブル回路基板。 2)芳香族ポリイミドフィルムの比端裂抵抗値が14−
25kg/20mm/10μmである上記のフレキシブ
ル回路基板。 3)芳香族ポリイミドフィルムが0.1−5重量%の無
機フィラ−を含有するものである上記のフレキシブル回
路基板。 4)接着剤が、ポリイミド系熱可塑性接着剤あるいはポ
リイミド系熱硬化性接着剤である上記のフレキシブル回
路基板。 5)コ−ト層が、錫メッキ液による侵食(錫もぐり)が
150mm以下である上記のフレキシブル回路基板。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be listed below. 1) The coefficient of linear expansion of the aromatic polyimide film is 5-25
× 10 −6 cm / cm / ° C. with a heat shrinkage of 0.00
The flexible circuit board described above, which is 2-0.4%. 2) The specific tear resistance of the aromatic polyimide film is 14-
The above flexible circuit board having a weight of 25 kg / 20 mm / 10 μm. 3) The above flexible circuit board, wherein the aromatic polyimide film contains 0.1-5% by weight of an inorganic filler. 4) The flexible circuit board as described above, wherein the adhesive is a polyimide-based thermoplastic adhesive or a polyimide-based thermosetting adhesive. 5) The flexible circuit board as described above, wherein the coating layer has an erosion (tin digging) by a tin plating solution of 150 mm or less.

【0013】この発明において、ビフェニルテトラカル
ボン酸成分としては、2,3,3’,4’−ビフェニル
テトラカルボン酸、3,3’,4,4’−ビフェニルテ
トラカルボン酸、これらのハロゲン化物、それらの二無
水物、またはそれらのエステルが使用できるが、なかで
も3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二
無水物が好適に用いられる。ビフェニルテトラカルボン
酸成分と併用可能な芳香族テトラカルボン酸成分として
は、ピロメリット酸二無水物を挙げることができる。ピ
ロメリット酸二無水物を併用する場合は、テトラカルボ
ン酸成分中50モル%以下であることが好ましい。
In the present invention, the biphenyltetracarboxylic acid component includes 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic acid, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid, halides thereof, Their dianhydrides or their esters can be used, and among them, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride is preferably used. Examples of the aromatic tetracarboxylic acid component that can be used in combination with the biphenyltetracarboxylic acid component include pyromellitic dianhydride. When pyromellitic dianhydride is used in combination, the content is preferably 50 mol% or less in the tetracarboxylic acid component.

【0014】この発明の効果を損なわない範囲で他の芳
香族テトラカルボン酸成分を使用してもよい。このよう
な芳香族テトラカルボン酸成分としては、3,3’,
4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、
2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸
二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニ
ル)プロパン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカル
ボキシフェニル)プロパン二無水物、ビス(3,4−ジ
カルボキシフェニル)エ−テル二無水物、ビス(2,3
−ジカルボキシフェニル)エ−テル二無水物、2,3,
6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,
4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、
2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,
1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン二無水
物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)
1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン二無
水物などを挙げることができる。
Other aromatic tetracarboxylic acid components may be used as long as the effects of the present invention are not impaired. Such aromatic tetracarboxylic acid components include 3,3 ′,
4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride,
2,2 ', 3,3'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl ) Propane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether dianhydride, bis (2,3
-Dicarboxyphenyl) ether dianhydride, 2,3
6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,
4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride,
2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) -1,
1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl)
Examples thereof include 1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride.

【0015】この発明で使用するフェニレンジアミン
は、o−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミ
ン、そしてp−フェニレンジアミンのいずれであっても
よい。この発明の効果を損なわない範囲で他の芳香族ジ
アミンを使用してもよい。このような芳香族ジアミン成
分としては、ジアミノジフェニルエ−テル、4,4’−
ジアミノジフェニルプロパン、4,4’−ジアミノジフ
ェニルエタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、
ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパ
ン、2,2’−ビス〔4−(アミノフェノキシ)フェニ
ル〕1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパ
ン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕エ
−テルなどを挙げることができる。
The phenylenediamine used in the present invention may be any of o-phenylenediamine, m-phenylenediamine and p-phenylenediamine. Other aromatic diamines may be used as long as the effects of the present invention are not impaired. Such aromatic diamine components include diaminodiphenyl ether, 4,4′-
Diaminodiphenylpropane, 4,4′-diaminodiphenylethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane,
Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2′-bis [4- (aminophenoxy) phenyl] 1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, bis [4- ( 4-aminophenoxy) phenyl] ether and the like.

【0016】この発明において、芳香族ポリイミドフィ
ルムは、厚みが5−150μmであり、好ましくは5−
100μm、特に好ましくは10−75μmである。芳
香族ポリイミドフィルムの厚みがこの下限より小さいと
自己支持性が低く、また上限より大きいと製造に多大な
コストがかかる。また、芳香族ポリイミドフィルムの引
張弾性率、伸びおよび引裂き伝播抵抗(エルメンドル
フ)の値が前記の範囲外であると、この発明の目的を達
成することができない。また、芳香族ポリイミドフィル
ムの線膨張係数および加熱収縮率、さらに比端裂抵抗値
が前記範囲内であると、種々の環境下においた場合の寸
法安定性、ハンドリングが良好であり、導電体(例え
ば、銅箔)との接着時に問題が生じにくい。
In the present invention, the aromatic polyimide film has a thickness of 5-150 μm, preferably 5-150 μm.
It is 100 μm, particularly preferably 10-75 μm. When the thickness of the aromatic polyimide film is smaller than the lower limit, the self-supporting property is low. When the thickness is larger than the upper limit, a large cost is required for production. If the values of the tensile modulus, elongation, and tear propagation resistance (Elmendorf) of the aromatic polyimide film are out of the above ranges, the object of the present invention cannot be achieved. Further, when the linear expansion coefficient and the heat shrinkage ratio of the aromatic polyimide film, and the specific edge resistance are within the above ranges, the dimensional stability and handling under various environments are good, and the conductor ( For example, a problem is less likely to occur when bonding with a copper foil).

【0017】この発明における芳香族ポリイミドフィル
ムは、例えば以下のようにして製造することができる。
好適には先ず前記ビフェニルテトラカルボン酸類とフェ
ニレンジアミン、好適にはパラフェニレンジアミンとを
N,N−ジメチルアセトアミドやN−メチル−2−ピロ
リドンなどのポリイミドの製造に通常使用される有機極
性溶媒中で、好ましくは10−80℃で1−30時間重
合して、ポリマ−の対数粘度(測定温度:30℃、濃
度:0.5g/100ml溶媒、溶媒:N−メチル−2
−ピロリドン)が0.1−5、ポリマ−濃度が15−2
5重量%であり、回転粘度(30℃)が500−450
0ポイズであるポリアミック酸(イミド化率:5%以
下)溶液を得る。
The aromatic polyimide film according to the present invention can be manufactured, for example, as follows.
Preferably, first, the biphenyltetracarboxylic acid and phenylenediamine, preferably paraphenylenediamine, are dissolved in an organic polar solvent usually used for producing a polyimide such as N, N-dimethylacetamide or N-methyl-2-pyrrolidone. Polymerization is preferably carried out at 10-80 ° C for 1-30 hours, and the logarithmic viscosity of the polymer (measuring temperature: 30 ° C, concentration: 0.5 g / 100 ml solvent, solvent: N-methyl-2)
-Pyrrolidone) 0.1-5, polymer concentration 15-2
5% by weight, and the rotational viscosity (30 ° C.) is 500-450.
A polyamic acid (imidation ratio: 5% or less) solution having 0 poise is obtained.

【0018】次いで、例えば上記のようにして得られた
ポリアミック酸溶液に、好適には、1,2−ジメチルイ
ミダゾ−ルを、特にポリアミック酸のアミック酸単位に
対して0.005−2倍当量、好適には0.005−
0.8倍当量、特に0.02−0.8倍当量程度の量含
有させる。1,2−ジメチルイミダゾ−ルの一部を、イ
ミダゾ−ル、ベンズイミダゾ−ル、N−メチルイミダゾ
−ル、N−ベンジル−2−メチルイミダゾ−ル、2−メ
チルイミダゾ−ル、2−エチル−4−メチルイミダゾ−
ル、5−メチルベンズイミダゾ−ル、イソキノリン、
3,5−ジメチルピリジン、3,4−ジメチルピリジ
ン、2,5−ジメチルピリジン、2,4−ジメチルピリ
ジン、4−n−プロピルピリジンなどで置き換えてもよ
い。
Then, for example, 1,2-dimethylimidazole is preferably added to the polyamic acid solution obtained as described above, in particular, in an amount of 0.005-2 times equivalent to the amic acid unit of the polyamic acid. , Preferably 0.005-
0.8 equivalent, especially about 0.02-0.8 equivalent is contained. A part of 1,2-dimethylimidazole is converted to imidazole, benzimidazole, N-methylimidazole, N-benzyl-2-methylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl -4-methylimidazo-
, 5-methylbenzimidazole, isoquinoline,
It may be replaced with 3,5-dimethylpyridine, 3,4-dimethylpyridine, 2,5-dimethylpyridine, 2,4-dimethylpyridine, 4-n-propylpyridine or the like.

【0019】上記のポリアミック酸溶液に、リン化合物
を、好ましくはこのポリアミック酸100重量部に対し
て0.01−5重量部、特に0.01−3重量部、その
中でも特に0.01−1重量部の割合で有機リン化合
物、好適には(ポリ)リン酸エステル、リン酸エステル
のアミン塩あるいは無機リン化合物を添加し、さらに好
適には無機フィラ−を、特にポリアミック酸100重量
部に対して0.1−3重量部のコロイダルシリカ、窒化
珪素、タルク、酸化チタン、燐酸カルシウム(好適には
平均粒径0.005−5μm、特に0.005−2μ
m)を添加してポリイミド前駆体溶液組成物を得る。
In the above-mentioned polyamic acid solution, a phosphorus compound is added preferably in an amount of 0.01-5 parts by weight, particularly 0.01-3 parts by weight, especially 0.01-1 part by weight, per 100 parts by weight of the polyamic acid. An organic phosphorus compound, preferably a (poly) phosphate ester, an amine salt of a phosphate ester or an inorganic phosphorus compound is added in a ratio of parts by weight, and more preferably an inorganic filler, particularly 100 parts by weight of polyamic acid, is added. 0.1-3 parts by weight of colloidal silica, silicon nitride, talc, titanium oxide, calcium phosphate (preferably having an average particle size of 0.005-5 μm, particularly 0.005-2 μm
m) is added to obtain a polyimide precursor solution composition.

【0020】このポリイミド前駆体溶液組成物を平滑な
表面を有するガラスあるいは金属製の支持体表面に連続
的に流延して前記溶液の薄膜を形成し、その薄膜を乾燥
する際に、乾燥条件を調整して、温度:100−200
℃、時間:1−30分間乾燥することにより、固化フィ
ルム中、前記溶媒及び生成水分からなる揮発分含有量が
30−50重量%程度、イミド化率が5−80%程度で
ある長尺状固化フィルムを形成し、上記固化フィルムを
支持体表面から剥離する。前記の固化フィルムを、さら
に乾燥条件を調整して、温度:室温(25℃)−250
℃、時間:0.5−30分間程度乾燥する乾燥工程を加
えてもよい。これらの乾燥工程の少なくとも一部で固化
フィルムの幅方向の両端縁を把持し延伸した状態を保つ
ことによって、幅方向(TD)および両方向(MD、T
D)に少し延伸してもよい。
This polyimide precursor solution composition is continuously cast on a glass or metal support having a smooth surface to form a thin film of the solution, and when the thin film is dried, the drying conditions To adjust the temperature: 100-200
C., time: 1 to 30 minutes after drying, the solidified film has a volatile content of about 30 to 50% by weight and an imidization rate of about 5 to 80% in the solidified film. A solidified film is formed, and the solidified film is peeled from the support surface. The solidified film is further dried under controlled drying conditions to obtain a temperature of room temperature (25 ° C.)-250.
C., Time: A drying step of drying for about 0.5 to 30 minutes may be added. By holding both edges in the width direction of the solidified film and maintaining the stretched state in at least a part of these drying steps, the width direction (TD) and both directions (MD, T
You may stretch a little to D).

【0021】次いで、固化フィルムの両面にアミノシラ
ン系、エポキシシラン系あるいはチタネ−ト系などの公
知の表面処理剤を含有する表面処理液を塗布または噴霧
した後、さらに乾燥することもできる。表面処理剤とし
ては、γ−アミノプロピル−トリエトキシシラン、N−
β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピル−トリエト
キシシラン、N−(アミノカルボニル)−γ−アミノプ
ロピル−トリエトキシシラン、N−[β−(フェニルア
ミノ)−エチル]−γ−アミノプロピル−トリエトキシ
シラン、N−フェニル−γ−アミノプロピル−トリエト
キシシラン、γ−フェニルアミノプロピルトリメトキシ
シランなどのアミノシラン系や、β−(3,4−エポキ
シシクロヘキシル)−エチル−トリメトキシシラン、γ
−グリシドキシプロピル−トリメトキシシランなどのエ
ポキシシラン系や、イソプロピル−トリクミルフェニル
−チタネ−ト、ジクミルフェニル−オキシアセテ−ト−
チタネ−トなどのチタネ−ト系などの耐熱性表面処理剤
が使用できる。表面処理液は前記の表面処理剤を0.5
−50重量%含む低級アルコ−ル、アミド系溶媒などの
有機極性溶媒溶液として使用できる。表面処理液はグラ
ビアコ−ト法、シルクスクリ−ン、浸漬法などを使用し
て均一に塗布して薄層を形成することが好ましい。
Next, after applying or spraying a surface treatment liquid containing a known surface treatment agent such as an aminosilane type, an epoxysilane type or a titanate type on both surfaces of the solidified film, the film can be further dried. As surface treatment agents, γ-aminopropyl-triethoxysilane, N-
β- (aminoethyl) -γ-aminopropyl-triethoxysilane, N- (aminocarbonyl) -γ-aminopropyl-triethoxysilane, N- [β- (phenylamino) -ethyl] -γ-aminopropyl- Aminosilanes such as triethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyl-triethoxysilane, γ-phenylaminopropyltrimethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) -ethyl-trimethoxysilane, γ
-Epoxy silanes such as glycidoxypropyl-trimethoxysilane, isopropyl-tricumylphenyl-titanate, dicumylphenyl-oxyacetate-
A heat-resistant surface treating agent such as titanate such as titanate can be used. The surface treatment liquid is 0.5 parts of the above surface treatment agent.
It can be used as a solution of an organic polar solvent such as a lower alcohol or amide solvent containing -50% by weight. The surface treatment liquid is preferably applied uniformly using a gravure coating method, a silk screen, a dipping method or the like to form a thin layer.

【0022】この発明における芳香族ポリイミドフィル
ムは、次いで、好適にはキュア炉内において固化フィル
ムを高温に加熱して乾燥およびイミド化を完了させて得
ることができる。すなわち、前記のようにして得られた
固化フィルムを必要であればさらに乾燥して、乾燥フィ
ルムの幅方向の両端縁を把持した状態で、キュア炉内に
おける最高加熱温度:400−500℃程度、特に47
5−500℃程度の温度が0.5−30分間となる条件
で該乾燥フィルムを加熱して乾燥およびイミド化して、
残揮発物量0.4重量%以下程度で、イミド化を完了す
ることによって長尺状の芳香族ポリイミドフィルムを好
適に製造することができる。また、前記キュアリング工
程の後、芳香族ポリイミドフィルムの片面あるいは両面
をアルカリ処理(例えば水酸化ナトリウム等のアルカリ
水溶液浸漬後、酸洗浄・水洗・乾燥)後、前記の表面処
理液を塗布し加熱・乾燥することによっても、同様にフ
ィルム表面を表面処理することができる。上記のように
して得られた芳香族ポリイミドフィルムを、好適には低
張力下あるいは無張力下に200−400℃程度の温度
で加熱して応力緩和処理して、巻き取る。
The aromatic polyimide film of the present invention can be obtained by heating the solidified film to a high temperature, preferably in a curing furnace, to complete the drying and imidization. That is, the solidified film obtained as described above is further dried, if necessary, and in a state where both edges in the width direction of the dried film are gripped, the maximum heating temperature in a curing furnace: about 400 to 500 ° C. Especially 47
The dried film is heated and dried and imidized under the condition that a temperature of about 5 to 500 ° C. is 0.5 to 30 minutes,
A long aromatic polyimide film can be suitably produced by completing imidization at a residual volatile matter amount of about 0.4% by weight or less. After the curing step, one or both surfaces of the aromatic polyimide film are subjected to alkali treatment (for example, after immersion in an aqueous alkali solution such as sodium hydroxide, acid washing, water washing, and drying), and then the surface treatment liquid is applied and heated. The surface of the film can be similarly surface-treated by drying. The aromatic polyimide film obtained as described above is heated under a low tension or no tension at a temperature of about 200 to 400 ° C., subjected to a stress relaxation treatment, and wound up.

【0023】前記の芳香族ポリイミドフィルムは、前述
のポリアミック酸に1,2−ジメチルイミダゾ−ルなど
を加えたポリイミド前駆体溶液を使用し、溶液流延法に
よって長尺状のフィルムとすることによって、引張弾性
率、伸びおよび引裂き伝播抵抗(エルメンドルフ)がこ
の発明で規定する値をとるようにすることができる。芳
香族ポリイミドフィルムの厚みが125μmより大きい
場合には、好適には二層以上のポリイミド前駆体溶液を
共押出法によって積層後、同様に乾燥・イミド化するこ
とによって厚みの大きい芳香族ポリイミドフィルムを製
造することができる。
The above-mentioned aromatic polyimide film is obtained by using a polyimide precursor solution obtained by adding 1,2-dimethylimidazole or the like to the above-mentioned polyamic acid and forming a long film by a solution casting method. , Tensile modulus, elongation and tear propagation resistance (Elmendorf) can be set to the values specified in the present invention. When the thickness of the aromatic polyimide film is larger than 125 μm, preferably after laminating two or more polyimide precursor solutions by co-extrusion, the aromatic polyimide film having a large thickness is similarly dried and imidized. Can be manufactured.

【0024】また、この芳香族ポリイミドフィルムの片
面あるいは両面に熱融着性のポリイミド[好ましくはこ
のポリイミドのガラス転移温度(Tg)が180−26
0℃である。]を与えるポリアミック酸を含む有機極性
溶媒の溶液(場合によって前記の1,2−ジメチルイミ
ダゾ−ルなどを加えてもよい)である熱融着性のポリイ
ミド前駆体溶液を前記の自己支持性フィルムに塗布する
か、薄層用として共押出法によって積層後、同様に乾燥
・イミド化(最高加熱温度:300−450℃程度であ
ることが好ましい。)することによって熱融着性の薄層
ポリイミド(好適には0.1−10μm、特に0.2−
5μmの厚みであることが好ましい)を有する長尺状の
芳香族ポリイミドフィルムを製造することもできる。
A heat-fusible polyimide (preferably, the glass transition temperature (Tg) of the polyimide is 180-26) on one or both sides of the aromatic polyimide film.
0 ° C. The self-supporting film is a heat-fusible polyimide precursor solution which is a solution of an organic polar solvent containing a polyamic acid to give the above (optionally, 1,2-dimethylimidazole or the like may be added). Or heat-fusible thin-layer polyimide by laminating it by coextrusion for a thin layer, and then drying and imidizing it (preferably at a maximum heating temperature of about 300 to 450 ° C.). (Preferably 0.1-10 μm, especially 0.2-
(Preferably 5 μm in thickness)).

【0025】このような熱融着性ポリイミドとしては、
低弾性率[好適には1−250kg/mm2(25
℃)]のポリイミドを与える芳香族テトラカルボン酸成
分とベンゼン環を3個以上有する芳香族ジアミンとの組
み合わせであって前記のガラス転移温度を与えるポリイ
ミドが好ましく、例えば、2,3,3’,4’−ビフェ
ニルテトラカルボン酸二無水物と1,3−ビス(4−ア
ミノフェノキシ)ベンゼン(TPER)との組み合わせ
が好適に挙げられる。この薄層の熱融着性ポリイミドは
この発明の芳香族ポリイミドフィルムの厚みの0.1−
25%、特に0.5−10%程度であることが好まし
い。
As such a heat-fusible polyimide,
Low modulus [preferably 1-250 kg / mm 2 (25
C))] is a combination of an aromatic tetracarboxylic acid component giving a polyimide and an aromatic diamine having three or more benzene rings, and a polyimide giving the above glass transition temperature is preferable. For example, 2,3,3 ', A preferred example is a combination of 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene (TPER). The heat-fusible polyimide of this thin layer has a thickness of 0.1-0.1 mm of the aromatic polyimide film of the present invention.
It is preferably about 25%, especially about 0.5-10%.

【0026】あるいは、アルミニウム化合物(例えば、
水酸化アルミニウム、アルミニウムトリアセチルアセテ
−トのようなアルミニウムキレ−ト化合物)、錫化合物
[例えば、ジブチル錫アセテ−ト、ビス(トリブチル
錫)オキサイド、テトラブチル錫など]、ビスマス化合
物あるいはアンチモニ−化合物を溶媒(例えば、脂肪族
あるいは芳香族炭化水素、アルコ−ル系溶媒、ケトン系
溶媒、エ−テル系溶媒、アミド系溶媒など)に溶解した
溶液を塗布してもよい。この場合、アルミニウムなどの
金属成分はフィルム中に1−10000ppm、特に1
−1000ppmの割合で含有されることが好ましい。
Alternatively, an aluminum compound (for example,
Aluminum hydroxide compounds such as aluminum hydroxide and aluminum triacetyl acetate), tin compounds (for example, dibutyltin acetate, bis (tributyltin) oxide, tetrabutyltin, etc.), bismuth compounds or antimony compounds. A solution dissolved in a solvent (for example, an aliphatic or aromatic hydrocarbon, an alcohol solvent, a ketone solvent, an ether solvent, an amide solvent, etc.) may be applied. In this case, metal components such as aluminum are contained in the film in an amount of 1 to 10000 ppm, particularly 1 to 1 ppm.
It is preferably contained at a rate of -1000 ppm.

【0027】この発明における芳香族ポリイミドフィル
ムは、そのままあるいは表面処理剤で処理することが望
ましい場合は、必要であればコロナ放電処理、低温(す
なわち真空)あるいは常圧プラズマ放電処理、紫外線照
射処理、火炎処理で表面処理を施した後、接着剤を塗布
あるいは接着剤のフィルムを積層して接着剤層を設ける
ことができる。
In the present invention, the aromatic polyimide film is preferably treated as it is or with a surface treating agent. If necessary, corona discharge treatment, low-temperature (ie, vacuum) or normal-pressure plasma discharge treatment, ultraviolet irradiation treatment, After performing the surface treatment by flame treatment, an adhesive layer can be provided by applying an adhesive or laminating a film of the adhesive.

【0028】例えば、この発明における芳香族ポリイミ
ドフィルムに、熱硬化性接着剤、好適には熱硬化性ポリ
イミド系接着剤あるいは熱可塑性ポリイミド樹脂などの
熱可塑性接着剤を介して銅箔などの金属箔と積層する。
あるいは、上記芳香族ポリイミドフィルムに直接導電体
層を積層してもよく、例えば、蒸着法、スパッタ法、メ
ッキ法で導電体層を直接積層することができる。
For example, a metal foil such as a copper foil is applied to the aromatic polyimide film of the present invention via a thermosetting adhesive, preferably a thermosetting polyimide-based adhesive or a thermoplastic adhesive such as a thermoplastic polyimide resin. And laminated.
Alternatively, a conductor layer may be directly laminated on the aromatic polyimide film. For example, the conductor layer can be directly laminated by a vapor deposition method, a sputtering method, or a plating method.

【0029】この発明における導電体は、銅箔が好まし
い。銅箔は、電解銅箔、圧延銅箔であり、その引張強度
が17kg/mm2以上である銅箔が好ましい。銅箔の
厚みは8−50μmであることが好ましい。
The conductor in the present invention is preferably a copper foil. The copper foil is an electrolytic copper foil or a rolled copper foil, and a copper foil having a tensile strength of 17 kg / mm 2 or more is preferable. The thickness of the copper foil is preferably 8-50 μm.

【0030】この発明においては、芳香族ポリイミドフ
ィルム上に直接あるいは接着剤を介して導電体を積層す
るなどして設けたのち、回路を形成する。また、この発
明においては、前記銅箔などの導電体に前記熱可塑性ポ
リイミドの前駆体溶液を流延・乾燥し、その上に前記芳
香族ポリイミドフィルムを与えるポリイミド前駆体溶液
組成物を流延・乾燥・加熱処理して、芳香族ポリイミド
フィルム上に前記熱可塑性ポリイミドを介して導電体を
設けたのち、回路を形成してもよい。
In the present invention, a circuit is formed after a conductor is provided directly on the aromatic polyimide film or by laminating a conductor via an adhesive. Further, in the present invention, a precursor solution of the thermoplastic polyimide is cast and dried on a conductor such as the copper foil, and a polyimide precursor solution composition that gives the aromatic polyimide film thereon is cast. A circuit may be formed after a conductor is provided on the aromatic polyimide film via the thermoplastic polyimide by drying and heating treatment.

【0031】導電体への回路形成は、芳香族ポリイミド
フィルム上に直接あるいは接着剤を介して導電体を設け
て導電基板を製造した後、その導電体表面に例えばエッ
チングレジストを回路パタ−ン状(配線パタ−ン状)に
印刷して、配線パタ−ンが形成される部分の導電体の表
面を保護するエッチングレジストの配線パタ−を形成し
た後、それ自体公知の方法でエッチング液を使用して配
線が形成されない部分の導電体をエッチングにより除去
し、好適にはエッチングレジストを除去することによっ
て行うことができる。
A circuit is formed on a conductor by preparing a conductive substrate by providing a conductor directly on an aromatic polyimide film or via an adhesive, and then, for example, etching a resist on the surface of the conductor with a circuit pattern. After forming a wiring pattern of an etching resist which protects the surface of the conductor at the portion where the wiring pattern is formed by printing on the wiring pattern, an etching solution is used by a method known per se. Then, the conductor at the portion where the wiring is not formed is removed by etching, and preferably, the etching resist is removed.

【0032】この発明においては、前述のように回路を
形成し、その回路板(配線板)の回路パタ−ン(配線パ
タ−ン)上面に絶縁性のコ−ト材を塗布し、加熱乾燥し
て厚みが5−50μmのコ−ト層を形成してなるそりが
25mm以上、好ましくは100mm以上、錫メッキ液
による侵食が250μm以下、特に150μm以下であ
り、好適には半田耐熱が240℃以上であるフレキシブ
ル配線基板を製造する。
In the present invention, a circuit is formed as described above, and an insulating coating material is applied on the upper surface of a circuit pattern (wiring pattern) of the circuit board (wiring board), and is heated and dried. And a warp formed by forming a coat layer having a thickness of 5 to 50 μm is not less than 25 mm, preferably not less than 100 mm, and erosion by a tin plating solution is not more than 250 μm, especially not more than 150 μm. The above-described flexible wiring board is manufactured.

【0033】前記の絶縁性のコ−ト層の形成は、回路パ
タ−ン上面に直接あるいはシランカップリング剤のよう
な表面処理剤で処理した後、コ−ト材(液状物)を回転
塗布機械、ディスペンサ−または印刷機などを使用する
塗布方法で均一な厚さ、好適には1−100μmの厚さ
に塗布し、加熱乾燥(好適には50−180℃、約1−
150分間、常圧あるいは減圧下)して行うことができ
る。
The above-mentioned insulating coating layer is formed by directly coating the upper surface of the circuit pattern or by treating it with a surface treating agent such as a silane coupling agent, and then spin-coating a coating material (liquid material). It is applied to a uniform thickness, preferably 1 to 100 μm, by a coating method using a machine, a dispenser or a printing machine, and dried by heating (preferably at 50 to 180 ° C., about 1 to 100 μm).
(Under normal pressure or reduced pressure for 150 minutes).

【0034】この発明における絶縁性のコ−ト材として
は、例えば、好適には以下に示されるポリイミドシロキ
サン系のコ−ト材溶液組成物を挙げることができる。前
記のポリイミドシロキサン系コ−ト材は、好適には、有
機極性溶媒に(a)芳香族テトラカルボン酸二無水物と
ジアミン中45−90モル%のジアミノポリシロキサン
および残部の芳香族ジアミン(特に、芳香族ジアミン
中、その一部あるいは全部、好適にはジアミン中0.5
−40モル%がベンゼン環にエポキシ基との反応性の基
を有する芳香族ジアミン)とを重合・イミド化して得ら
れる有機極性溶媒可溶性のポリイミドシロキサン100
重量部に対して、(b)エポキシ樹脂1−250重量
部、および(c)無機微粒子(特に、タルク、硫酸バリ
ウムあるいはマイカ)2−150重量部と、必要に応じ
て顔料(例えば、フタロシアニングリ−ンなど)や消泡
剤を含有させたポリイミドシロキサンの組成物が挙げら
れる。
As the insulating coating material in the present invention, for example, the following polyimidesiloxane-based coating material solution composition can be preferably mentioned. The above-mentioned polyimide siloxane-based coating material is preferably prepared by adding (a) 45-90 mol% of diaminopolysiloxane in aromatic tetracarboxylic dianhydride and diamine and the remainder of aromatic diamine (particularly, In an aromatic diamine, part or all thereof, preferably 0.5
An organic polar solvent-soluble polyimide siloxane 100 obtained by polymerizing and imidizing -40 mol% of an aromatic diamine having a reactive group with an epoxy group on a benzene ring.
(B) 1-250 parts by weight of epoxy resin, (c) 2-150 parts by weight of inorganic fine particles (particularly, talc, barium sulfate or mica), and if necessary, a pigment (for example, phthalocyanine resin). And a polyimide siloxane composition containing an antifoaming agent.

【0035】前記の芳香族テトラカルボン酸二無水物と
しては、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボ
ン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラ
カルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニル
エ−テルテトラカルボン酸二無水物が挙げられる。
Examples of the aromatic tetracarboxylic dianhydride include 2,3,3 ', 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride. And 3,3 ′, 4,4′-diphenylethertetracarboxylic dianhydride.

【0036】前記ジアミノポリシロキサンとしては、式 H2N−R−[−Si(R1R1)O]n−Si(R1R1)
−R−NH2 (ただし、Rは2価の炭化水素またはフェニル基を示
し、R1は独立に炭素数1−3のアルキル基またはフェ
ニル基を示し、nは3−30の数である。)で示される
ジアミンである。
The diaminopolysiloxane has the formula H2NR-[-Si (R1R1) O] n-Si (R1R1)
-R-NH2 (where R represents a divalent hydrocarbon or phenyl group, R1 independently represents an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms or a phenyl group, and n represents a number of 3 to 30). It is the diamine shown.

【0037】また、前記芳香族ジアミンとしては、3,
3’−ジハイドロキシ−4,4’−ジアミノビフェニ
ル、ビス(3−カルボキシ、4−アミノフェニル)メタ
ン(以下、MBAAと略記することもある。)、ビス
(3−ハイドロキシ、4−アミノフェニル)メタン、
3,5−ジアミノ安息香酸(以下、DABAと略記する
こともある。)、2,2−ビス[4−(4−アミノフェ
ノキシ)フェニル]プロパン(以下、BAPPと略記す
ることもある。)、1,4−(4−アミノフェノキシ)
ベンゼンなどが挙げられる。
The aromatic diamine is selected from 3,
3'-dihydroxy-4,4'-diaminobiphenyl, bis (3-carboxy, 4-aminophenyl) methane (hereinafter sometimes abbreviated as MBAA), bis (3-hydroxy, 4-aminophenyl) methane,
3,5-diaminobenzoic acid (hereinafter sometimes abbreviated as DABA), 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (hereinafter sometimes abbreviated as BAPP), 1,4- (4-aminophenoxy)
Benzene and the like can be mentioned.

【0038】また、前記エポキシ樹脂としては、エポキ
シ当量が100−1000程度であって、分子量が40
0−5000程度である液状または固体状のエポキシ樹
脂が好ましい。例えば、ビスフェノ−ルA型エポキシ樹
脂、ビスフェノ−ルF型エポキシ樹脂(具体的には、油
化シェル社製:エピコ−ト806、エピコ−ト825な
ど)、フェノ−ルノボラック型エポキシ樹脂、グリシジ
ルエ−テル型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポ
キシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂などを挙げ
ることができる。これらは単独で使用してもよく、複数
併用してもよい。また、エポキシ樹脂とともにヒドラジ
ン類、イミダゾ−ル類、無水フタル酸などのエポキシ樹
脂の硬化触媒を使用してもよい。
The epoxy resin has an epoxy equivalent of about 100-1000 and a molecular weight of 40
A liquid or solid epoxy resin of about 0-5000 is preferred. For example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin (specifically, Epicoat 806, Epicoat 825, etc., manufactured by Yuka Shell Co., Ltd.), phenol novolak type epoxy resin, glycidyl ether Examples thereof include a tell-type epoxy resin, a glycidyl ester-type epoxy resin, and a glycidylamine-type epoxy resin. These may be used alone or in combination. Further, an epoxy resin curing catalyst such as hydrazines, imidazoles and phthalic anhydride may be used together with the epoxy resin.

【0039】前記のポリイミドシロキサン組成物におい
て、有機極性溶媒としてはN,N−ジメチルアセトアミ
ド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチル
ホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドン、2−メト
キシエチルエ−テル(ジグライム)、トリ(エチレング
リコ−ル)ジメチルエ−テル(トリグライム)などの沸
点が140℃以上、特に沸点が180℃以上の有機溶媒
が使用され、ポリイミドシロキサンは対数粘度(測定濃
度:0.5g/100ml、溶媒:N−メチル−2−ピ
ロリドン、測定温度:30℃)が0.1−2であるもの
が好ましい。また、前記のポリイミドシロキサン組成物
中の固形分濃度は10−60重量%であるものが好まし
い。また、シリコン系の増粘度成分、例えば日本アエロ
ジル社製:アエロジル等をポリイミドシロキサン100
重量部に対して1−50重量部添加することが好まし
い。
In the above polyimide siloxane composition, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone, 2-methoxyethyl ether Organic solvents having a boiling point of 140 ° C. or higher, particularly 180 ° C. or higher, such as ter (diglyme) and tri (ethylene glycol) dimethyl ether (triglyme), are used. Polyimide siloxane has a logarithmic viscosity (measured concentration: 0). 0.5 g / 100 ml, solvent: N-methyl-2-pyrrolidone, measurement temperature: 30 ° C.) is preferably 0.1-2. Further, the solid content concentration in the polyimide siloxane composition is preferably 10 to 60% by weight. Silicon-based thickening components such as Aerosil manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.
It is preferable to add 1 to 50 parts by weight to 1 part by weight.

【0040】[0040]

【実施例】以下にこの発明の実施例を示す。以下の各例
において、ポリイミドフィルムの物性測定は以下の方法
によって行った。なお、以下の測定値は特記した場合を
除き25℃での測定値である。
Embodiments of the present invention will be described below. In each of the following examples, the physical properties of the polyimide film were measured by the following methods. The following measured values are measured at 25 ° C. unless otherwise specified.

【0041】伸び:ASTM D882−83に従って
測定(MD) 引張弾性率:ASTM D882−83に従って測定
(MD) 引裂き伝播抵抗(エルメンドルフ):ASTM D19
22−67に従って測定(MD) 引張強度:ASTM D882−83に従って測定(M
D) 加熱収縮率:JIS C2318に従って測定(200
℃) 絶縁破壊電圧:JIS C2318に従って測定て測定
Elongation: Measured according to ASTM D882-83 (MD) Tensile Modulus: Measured according to ASTM D882-83 (MD) Tear Propagation Resistance (Elmendorf): ASTM D19
Measured according to 22-67 (MD) Tensile strength: Measured according to ASTM D882-83 (M
D) Heat shrinkage: measured according to JIS C2318 (200
℃) Dielectric breakdown voltage: Measured according to JIS C2318

【0042】端裂抵抗値(あるいは比端裂抵抗値)はJ
IS C2318に従って測定した試料(5個)の端裂
抵抗値(あるいは比端裂抵抗値)の平均値を意味する。
具体的には、定速緊張形引張試験機の上部厚さ1.00
±0.05mmのV字形切り込み板試験金具の中心線を
上部つかみの中心線に一致させ、切り込み頂点と下部つ
かみとの間隔を約30mmになるように柄を取り付け
る。幅約20mm、長さ約200mmの試験片を金具の
穴部に通して二つに折り合わせて試験機の下部のつかみ
にはさみ、1分間につき約200mmの速さで引張り、
引き裂けたときの力を端裂抵抗という。試験片を縦方向
及び横方向からそれぞれ全幅にわたって5枚とり端裂抵
抗の平均値を求め、端裂抵抗値として示す。比端裂抵抗
値はフィルム厚み当たり(10μm換算)の端裂抵抗値
を示す。
The crack resistance (or specific crack resistance) is J
It means the average value of the tear resistance (or the specific tear resistance) of the samples (5 pieces) measured according to IS C2318.
Specifically, the upper thickness of the constant speed tension type tensile tester is 1.00.
The center line of the V-shaped notch plate test fixture of ± 0.05 mm is aligned with the center line of the upper grip, and the handle is attached so that the gap between the cut top and the lower grip is about 30 mm. A test piece of about 20 mm in width and about 200 mm in length is passed through the hole of the metal fittings, folded into two parts, clamped by the lower grip of the tester, and pulled at a speed of about 200 mm per minute,
The force at the time of tearing is called end tear resistance. Five test pieces were taken from the longitudinal direction and the transverse direction over the entire width, respectively, and the average value of the end crack resistance was determined, which is shown as the end crack resistance value. The specific edge tear resistance indicates an edge tear resistance per film thickness (10 μm conversion).

【0043】線膨張係数(50−200℃)測定:30
0℃で30分加熱して応力緩和したサンプルをTMA装
置(引張りモ−ド、2g荷重、試料長10mm、20℃
/分)で測定 引き裂き強さ:7.5cm×7.5cmの正方形に切り
取ったフィルムの1辺に、かみそり刃を使用して5cm
の長さの切れ込みを入れた。その切れ込みの両側を引張
試験機で、200mm/分の速度で引張ったときの荷重
を測定し、引き裂きが生じたときの荷重を引き裂き強さ
(g)とした。 耐屈曲回数(MIT):ASTM D2176に従って
測定(MD) 打ち抜き性:パンチィングで短冊形に打ち抜いたの際フ
ィルムに座屈や変形、切れなどが生じず問題ないものを
良好、少し問題があるものをやや不良、問題があるもの
を不良とした。
Measurement of linear expansion coefficient (50-200 ° C.): 30
A sample that was heated at 0 ° C. for 30 minutes to relax the stress was applied to a TMA device (tensile mode, 2 g load, sample length 10 mm, 20 ° C.).
/ Min) Tear strength: 5 cm using a razor blade on one side of a film cut into a square of 7.5 cm × 7.5 cm.
A notch of length was made. The load at the time of pulling at both sides of the cut with a tensile tester at a speed of 200 mm / min was measured, and the load at which tearing occurred was defined as tear strength (g). Bending resistance (MIT): Measured in accordance with ASTM D2176 (MD) Punching property: Good when there is no problem such as buckling, deformation or cutting when punching into a rectangular shape by punching, and with some problems Somewhat defective, those with problems were regarded as defective.

【0044】接着強度:銅張板について、180°剥離
強度を引張速度:50mm/分で測定した。 半田耐熱性(耐ハンダ性テスト):厚さ35μmの電解
銅箔の光沢面に厚さ50μmのポリイミド製スペ−サ−
をのせ、コ−ト材(ポリイミドシロキサン組成物)を流
延し、80℃で30分、160℃で60分加熱乾燥を行
い、ポリイミドシロキサンコ−ト材層を形成する。ポリ
イミドシロキサンコ−ト材層を形成した銅箔を3×3c
mに切断し、コ−ト材層上にロジン系フラックス(サン
ワ化学工業社製:SUNFLUX SF−270)を塗
布した後、240℃及び260℃の溶融半田浴に30秒
間コ−ト材層の面を接触させ、冷却後、コ−ト材層面の
ふくれの有無を観察した。全くふくれなしの温度を半田
耐熱温度として示す。
Adhesive strength: The 180 ° peel strength of the copper clad board was measured at a tensile speed of 50 mm / min. Solder heat resistance (Solder resistance test): 50μm thick polyimide spacer on glossy surface of 35μm thick electrolytic copper foil
Is placed, and a coating material (polyimide siloxane composition) is cast, and dried by heating at 80 ° C. for 30 minutes and at 160 ° C. for 60 minutes to form a polyimide siloxane coating material layer. 3 × 3c copper foil with polyimide siloxane coat material layer
m, and a rosin-based flux (SUNFLUX SF-270, manufactured by Sanwa Chemical Industry Co., Ltd.) was applied on the coating material layer. Then, the coating material layer was placed in a molten solder bath at 240 ° C. and 260 ° C. for 30 seconds. The surfaces were brought into contact, and after cooling, the presence or absence of blisters on the coating material layer surface was observed. The temperature without any blistering is shown as the solder heat resistance temperature.

【0045】そり(曲率半径):回路基板から導体部分
を除いたものについて、JIS−C−6481に準じて
曲率半径を測定した。 錫メッキ液による侵食(錫メッキ液潜り込み):フレキ
シブル回路基板をメッキ液に浸漬後、コ−ト材と導電体
界面でのメッキ液の潜り込みの程度を測定した。 メッキ液はシブレ−ファ−イ−スト社製の無電解錫メッ
キ液(商品名:ティレポジット LT−34)を用い、
指定条件で浸漬した際の錫メッキ液の潜り量(mm)で
示す。
Warpage (radius of curvature): The radius of curvature of the circuit board from which the conductor was removed was measured in accordance with JIS-C-6481. Erosion by tin plating solution (submersion in tin plating solution): After immersing the flexible circuit board in the plating solution, the degree of penetration of the plating solution at the interface between the coating material and the conductor was measured. The plating solution used was an electroless tin plating solution (trade name: Tileposit LT-34) manufactured by Sibre Fast East Co., Ltd.
It is indicated by the dipping amount (mm) of the tin plating solution when immersed under the specified conditions.

【0046】実施例1 N,N−ジメチルアセトアミド100重量部に、p−フ
ェニレンジアミン5.897重量部および3,3’,
4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物16.
019重量部を加えて、窒素気流下、40℃で3時間攪
拌し、重合反応させてポリマ−濃度18重量%、ポリマ
−の対数粘度(測定温度:30℃、濃度:0.5g/1
00ml溶媒、溶媒:N,N−ジメチルアセトアミド)
が1.3、溶液粘度1800ポイズ(30℃、回転粘度
計)のポリアミック酸溶液を得た。このポリアミック酸
溶液に、ポリアミック酸100重量部に対して0.1重
量部の割合でモノステアリルリン酸エステルトリエタノ
−ルアミン塩および0.5重量部の割合(固形分基準)
で平均粒径0.08μmのコロイダルシリカを添加して
均一に混合してポリアミック酸溶液組成物を得た。さら
に、このポリアミック酸溶液組成物に、ポリアミック酸
100重量部に対して1,2−ジメチルイミダゾ−ル
2.39重量部(ポリアミック酸単位に対して0.1倍
当量)を添加し、40℃で2時間攪拌し、ポリイミド前
駆体溶液組成物を得た。
Example 1 To 100 parts by weight of N, N-dimethylacetamide, 5.897 parts by weight of p-phenylenediamine and 3,3 ',
4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride
After adding 019 parts by weight, the mixture was stirred at 40 ° C. for 3 hours under a nitrogen stream to cause a polymerization reaction, whereby the polymer concentration was 18% by weight and the logarithmic viscosity of the polymer (measuring temperature: 30 ° C., concentration: 0.5 g / 1)
00 ml solvent, solvent: N, N-dimethylacetamide)
Was 1.3, and a polyamic acid solution having a solution viscosity of 1800 poise (30 ° C., rotational viscometer) was obtained. In this polyamic acid solution, monostearyl phosphate triethanolamine salt in a ratio of 0.1 part by weight to 100 parts by weight of the polyamic acid and a ratio of 0.5 part by weight (based on solid content)
Was added and colloidal silica having an average particle size of 0.08 μm was added and uniformly mixed to obtain a polyamic acid solution composition. Further, to this polyamic acid solution composition, 2.39 parts by weight of 1,2-dimethylimidazole (0.1 equivalent equivalent to the polyamic acid unit) was added to 100 parts by weight of the polyamic acid, and the mixture was added at 40 ° C. For 2 hours to obtain a polyimide precursor solution composition.

【0047】このポリイミド前駆体溶液組成物を、Tダ
イのスリットより連続的に押出し、平滑な金属支持体上
に薄膜を形成した。この薄膜を140℃で20分加熱
後、支持体から剥離させ、長尺状固化フィルムを形成し
た。このフィルムの両端を拘束させた状態で、連続的に
加熱炉を通過させた。この際、加熱炉内の滞留時間を1
3分、加熱炉内の最高加熱温度を480℃とした。この
ようにして長尺状で厚み50μmの芳香族ポリイミドフ
ィルムを得た。
The polyimide precursor solution composition was continuously extruded from a slit of a T-die to form a thin film on a smooth metal support. After heating this thin film at 140 ° C. for 20 minutes, it was peeled from the support to form a long solidified film. The film was continuously passed through a heating furnace with both ends of the film restrained. At this time, the residence time in the heating furnace is set to 1
The maximum heating temperature in the heating furnace was set to 480 ° C. for 3 minutes. Thus, a long aromatic polyimide film having a thickness of 50 μm was obtained.

【0048】コ−ト材としてのポリイミドシロキサン溶
液組成物の製造 ガラス製フラスコに、2,3,3’,4’−ビフェニル
テトラカルボン酸二無水物1808重量部、トリグライ
ム4000重量部を仕込み、室温で攪拌しながら溶解し
た後、α,ω−ビス(3−アミノプロピル)ポリジメチ
ルシロキサン(信越シリコン社製、X−22−161A
S、n=9)(ジアミノポリシロキサン)4692重量
部とトリグライム1600重量部を加えて均一に溶解さ
せ、窒素雰囲気下に保ち、さらにこの反応液にMBAA
62.20重量部及びトリグライム8000重量部を加
えた後、反応温度を180℃にあげて更に10時間反応
させてポリイミドシロキサン溶液を製造した。このポリ
イミドシロキサン溶液はポリイミドシロキサン濃度が5
1.0重量%、溶液粘度が25ポイズであった。また、
このポリイミドシロキサン溶液中のポリイミドシロキサ
ンは、ジアミン中のジアミノポリシロキサンの割合が8
5モル%、MBAAの割合が15モル%、対数粘度が
0.18であり、イミド化率が実質的に100%であっ
た。このポリイミドシロキサン溶液にトリグライムを添
加しポリマ−固形分濃度を50重量%に調整した溶液1
00重量部に、エポキシ樹脂(油化シェル社製、エピコ
−ト157−70)6重量部、顔料としてフタロシアニ
ングリ−ン1重量部、触媒として2−エチル,4−メチ
ルイミダゾ−ル0.18重量部および無水フタル酸0.
06重量部、アエロジル(平均粒径:0.01μm)
9.0重量部、硫酸バリウム(平均粒径:0.3μm)
22.4重量部、タルク(平均粒径1.8μm)5.6
重量部、マイカ(平均粒径:2.6μm)5.6重量
部、シリコン系消泡剤2.8重量部を仕込み、室温(2
5℃)で、2時間攪拌して、均一に混合させたポリイミ
ドシロキサンの溶液組成部(溶液粘度:600ポイズ)
を得た。
Preparation of Polyimide Siloxane Solution Composition as Coating Material In a glass flask, 1,808 parts by weight of 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 4000 parts by weight of triglyme were charged. After dissolving with stirring, α, ω-bis (3-aminopropyl) polydimethylsiloxane (X-22-161A manufactured by Shin-Etsu Silicon Co., Ltd.)
(S, n = 9) (Diaminopolysiloxane) 4692 parts by weight and triglyme 1600 parts by weight were added and uniformly dissolved, kept under a nitrogen atmosphere, and further added with MBAA.
After adding 62.20 parts by weight and 8000 parts by weight of triglyme, the reaction temperature was raised to 180 ° C., and the mixture was further reacted for 10 hours to prepare a polyimidesiloxane solution. This polyimide siloxane solution has a polyimide siloxane concentration of 5
1.0 wt%, solution viscosity was 25 poise. Also,
The polyimide siloxane in this polyimide siloxane solution has a diaminopolysiloxane ratio of 8 in the diamine.
5 mol%, the ratio of MBAA was 15 mol%, the logarithmic viscosity was 0.18, and the imidation ratio was substantially 100%. Solution 1 in which triglyme was added to this polyimide siloxane solution to adjust the polymer solids concentration to 50% by weight
6 parts by weight of epoxy resin (Epicoat 157-70, manufactured by Yuka Shell Co., Ltd.), 1 part by weight of phthalocyanine line as a pigment, and 0.18 parts of 2-ethyl, 4-methylimidazole as a catalyst. Parts by weight and phthalic anhydride.
06 parts by weight, Aerosil (average particle size: 0.01 μm)
9.0 parts by weight, barium sulfate (average particle size: 0.3 μm)
22.4 parts by weight, talc (average particle size 1.8 μm) 5.6
Parts by weight, 5.6 parts by weight of mica (average particle size: 2.6 μm), and 2.8 parts by weight of a silicone-based defoamer were charged at room temperature (2 parts by weight).
(5 ° C.), stirred for 2 hours, and uniformly mixed polyimidesiloxane solution composition part (solution viscosity: 600 poise)
I got

【0049】ポリイミドシロキサン−エポキシ樹脂系接
着剤の製造 上記のポリイミドシロキサン溶液の製造においてビス
(3−カルボキシ、4−アミノフェニル)メタン(MB
AA)およびBAPPを使用し、ジアミンの割合を変え
て、ジアミン中のジアミノポリシロキサンの割合が50
モル%、BAPPの割合が45モル%、MBAAの割合
が5モル%であり、対数粘度が0.41であり、イミド
化率が実質的に100%であり、フィルムの弾性率が7
5kg/mm2であるポリイミドシロキサン溶液を得
て、メタノ−ル中に投入してポリイミドシロキサン粉末
を得た。 溶媒:テトラヒドロフラン(THF)500重量部、前
記ポリイミドシロキサン100重量部、エポキシ樹脂
(油化シェル社製:EP807)43重量部、フェノ−
ルノボラック樹脂(明和化成社製)33重量部と硬化触
媒(2−フェニルイミダゾ−ル)0.2重量部を混合し
て、接着剤組成物を得た。 この接着剤組成物をポリエチレンテレフタレ−ト(PE
T)フィルム(厚み:25μm)の上に塗布、乾燥し
て、接着剤側にPETフィルムでカバ−した。接着剤の
厚みが12μmである。得られた接着剤シ−トをスリッ
トして、26mm幅のポリイミドシロキサン−エポキシ
樹脂系接着剤テ−プを得た。
Production of Polyimidesiloxane-Epoxy Resin Adhesive In the production of the above-mentioned polyimidesiloxane solution, bis (3-carboxy, 4-aminophenyl) methane (MB
Using AA) and BAPP, changing the proportion of diamine, the proportion of diaminopolysiloxane
Mol%, the proportion of BAPP is 45 mol%, the proportion of MBAA is 5 mol%, the logarithmic viscosity is 0.41, the imidization ratio is substantially 100%, and the elastic modulus of the film is 7%.
A polyimide siloxane solution of 5 kg / mm 2 was obtained and poured into methanol to obtain a polyimide siloxane powder. Solvent: 500 parts by weight of tetrahydrofuran (THF), 100 parts by weight of the above-mentioned polyimide siloxane, 43 parts by weight of an epoxy resin (EP807 manufactured by Yuka Shell Co., Ltd.), phenol-
33 parts by weight of a lunovolak resin (manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.) and 0.2 parts by weight of a curing catalyst (2-phenylimidazole) were mixed to obtain an adhesive composition. This adhesive composition was treated with polyethylene terephthalate (PE).
T) It was applied on a film (thickness: 25 μm), dried, and covered with a PET film on the adhesive side. The thickness of the adhesive is 12 μm. The obtained adhesive sheet was slit to obtain a polyimidesiloxane-epoxy resin adhesive tape having a width of 26 mm.

【0050】フレキシブル回路基板の製造 前記のポリイミドフィルムをスリットし、35mm幅の
テ−プを作製し、その片面に26mm幅のポリイミドシ
ロキサン−エポキシ樹脂系接着剤テ−プ(厚み20μ
m、熱硬化型)のカバ−フィルムを剥がしポリイミドテ
−プの中央に120℃でラミネ−トし、接着剤付きポリ
イミドテ−プを作製した。この接着剤付きポリイミドテ
−プにスプロケット穴やデバイスホ−ルをパンチングで
開け、電解銅箔(35μm、引張強度40kg/mm
2)を130℃で張り合わせ、接着剤を100℃で2時
間、120℃で1時間、180℃で6時間加熱して接着
剤を硬化させた。続いて、この銅張板に、常法に従いパ
タ−ニイングを行い、次にエッチング、水洗・乾燥工程
を経た後、前記のポリイミドシロキサン組成物をコ−ト
材として塗布した。80℃で30分、160℃で60分
加熱乾燥を行って、ポリイミドシロキサンからなる柔軟
なコ−ト層(厚み:30μm)を形成して、フレキシブ
ル回路基板を製造した。評価結果を次に示す。
Production of Flexible Circuit Board The above polyimide film was slit to form a 35 mm wide tape, and a 26 mm wide polyimide siloxane-epoxy resin adhesive tape (20 μm thick) was formed on one side.
m, thermosetting type), and the laminate was laminated at 120 ° C. at the center of the polyimide tape to produce a polyimide tape with an adhesive. A sprocket hole and a device hole are punched in the polyimide tape with the adhesive, and an electrolytic copper foil (35 μm, tensile strength 40 kg / mm) is formed.
2) was bonded at 130 ° C., and the adhesive was heated at 100 ° C. for 2 hours, at 120 ° C. for 1 hour, and at 180 ° C. for 6 hours to cure the adhesive. Subsequently, patterning was performed on the copper-clad board according to a conventional method, followed by etching, washing and drying steps, and then applying the above-mentioned polyimide siloxane composition as a coating material. By heating and drying at 80 ° C. for 30 minutes and at 160 ° C. for 60 minutes, a flexible coat layer (thickness: 30 μm) made of polyimide siloxane was formed to produce a flexible circuit board. The evaluation results are shown below.

【0051】1)フィルムについて フィルム厚み:50μm 引張弾性率:780kg/mm2 伸び:60% 引裂き伝播抵抗(エルメンドルフ):830g/mm 引張強度:54kg/mm2 加熱収縮率:0.05% 絶縁破壊電圧:9.5kv 端裂抵抗値:82kg/20mm 比端裂抵抗値:16.4kg/20mm/10μm 線膨張係数:1.7×10-5cm/cm/℃ 引き裂き強さ:26g 耐屈曲回数(×104回):>10 打ち抜き性:良1) About film Film thickness: 50 μm Tensile modulus: 780 kg / mm 2 Elongation: 60% Tear propagation resistance (Elmendorf): 830 g / mm Tensile strength: 54 kg / mm 2 Heat shrinkage: 0.05% Dielectric breakdown voltage: 9.5 kv Tear resistance value: 82 kg / 20 mm Specific end resistance value: 16.4 kg / 20 mm / 10 μm Linear expansion coefficient: 1.7 × 10 −5 cm / cm / ° C. Tear strength: 26 g Number of times of bending resistance (× 10 4 Times):> 10 Punching property: good

【0052】2)回路基板について 接着強度:1.4kg/cm 半田耐熱性(260℃):良好 そり(曲率半径mm):130mm 錫メッキの侵食(mm):95mm 総合評価:良好2) Regarding the circuit board Adhesive strength: 1.4 kg / cm Solder heat resistance (260 ° C.): good Warpage (radius of curvature: mm): 130 mm Erosion of tin plating (mm): 95 mm Overall evaluation: good

【0053】実施例2 支持体上での加熱時間13分とし、加熱炉内の滞留時間
を8.6分とした他は実施例1と同様にして、長尺状で
厚み50μmの芳香族ポリイミドフィルム、次いでフレ
キシブル回路基板を得た。評価結果を次に示す。
Example 2 A long aromatic polyimide having a thickness of 50 μm was obtained in the same manner as in Example 1 except that the heating time on the support was 13 minutes and the residence time in the heating furnace was 8.6 minutes. A film and then a flexible circuit board were obtained. The evaluation results are shown below.

【0054】1)フィルムについて フィルム厚み:50μm 引張弾性率:790kg/mm2 伸び:56% 引裂き伝播抵抗(エルメンドルフ):820g/mm 引張強度:48kg/mm2 加熱収縮率:0.05% 絶縁破壊電圧:9.4kv 端裂抵抗値:82kg/20mm 比端裂抵抗値:16.4kg/20mm/10μm 線膨張係数:1.7×10-5cm/cm/℃ 引き裂き強さ:28g 耐屈曲回数(×104回):>10 打ち抜き性:良1) Film Film thickness: 50 μm Tensile modulus: 790 kg / mm 2 Elongation: 56% Tear propagation resistance (Elmendorf): 820 g / mm Tensile strength: 48 kg / mm 2 Heat shrinkage: 0.05% Dielectric breakdown voltage: 9.4 kv Tear resistance value: 82 kg / 20 mm Specific end resistance value: 16.4 kg / 20 mm / 10 μm Linear expansion coefficient: 1.7 × 10 −5 cm / cm / ° C. Tear strength: 28 g Number of times of bending resistance (× 10 4 Times):> 10 Punching property: good

【0055】2)回路基板について 接着強度:1.4kg/cm 半田耐熱性(260℃):良好 そり(曲率半径mm):150mm 錫メッキの侵食(mm):100mm 総合評価:良好2) Regarding the circuit board Adhesive strength: 1.4 kg / cm Solder heat resistance (260 ° C.): good Sledding (radius of curvature mm): 150 mm Erosion of tin plating (mm): 100 mm Overall evaluation: good

【0056】実施例3 支持体上での加熱時間10分とし、加熱炉内の滞留時間
を6.5分とした他は実施例1と同様にして、長尺状で
厚み50μmの芳香族ポリイミドフィルム、次いでフレ
キシブル回路基板を得た。評価結果を次に示す。
Example 3 A long aromatic polyimide having a thickness of 50 μm was obtained in the same manner as in Example 1 except that the heating time on the support was 10 minutes and the residence time in the heating furnace was 6.5 minutes. A film and then a flexible circuit board were obtained. The evaluation results are shown below.

【0057】1)フィルムについて フィルム厚み:50μm 引張弾性率:810kg/mm2 伸び:54% 引裂き伝播抵抗(エルメンドルフ):760g/mm 引張強度:49kg/mm2 加熱収縮率:0.06% 絶縁破壊電圧:9.5kv 端裂抵抗値:83kg/20mm 比端裂抵抗値:16.6kg/20mm/10μm 線膨張係数:1.6×10-5cm/cm/℃ 引き裂き強さ:25g 耐屈曲回数(×104回):>10 打ち抜き性:良1) About film Film thickness: 50 μm Tensile modulus: 810 kg / mm 2 Elongation: 54% Tear propagation resistance (Elmendorf): 760 g / mm Tensile strength: 49 kg / mm 2 Heat shrinkage: 0.06% Dielectric breakdown voltage: 9.5 kv Tear resistance value: 83 kg / 20 mm Specific end resistance value: 16.6 kg / 20 mm / 10 μm Linear expansion coefficient: 1.6 × 10 −5 cm / cm / ° C. Tear strength: 25 g Number of flexing resistance (× 10 4 Times):> 10 Punching property: good

【0058】2)回路基板について 接着強度:1.3kg/cm 半田耐熱性(260℃):良好 そり(曲率半径mm):135mm 錫メッキの侵食(mm):103mm 総合評価:良好2) Regarding the circuit board Adhesive strength: 1.3 kg / cm Solder heat resistance (260 ° C.): good Warpage (radius of curvature: mm): 135 mm Erosion of tin plating (mm): 103 mm Overall evaluation: good

【0059】[0059]

【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、以下に記載のような効果を奏する。この
発明のフレキシブル回路基板は基板フィルムが耐熱性、
寸法安定性、加工性が良好なため、加工時の操作性や走
行安定性が良く、高密度パタ−ン化が可能であり、半導
体実装時の位置合わせが容易となり、コ−ト層の絶縁性
が良好である。
Since the present invention is configured as described above, it has the following effects. In the flexible circuit board of the present invention, the substrate film has heat resistance,
Good dimensional stability and processability, good operability and running stability during processing, enabling high-density patterning, easy positioning during semiconductor mounting, insulation of coat layer The properties are good.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石川 誠治 千葉県市原市五井南海岸8番の1 宇部興 産株式会社高分子研究所内 (72)発明者 安野 弘 千葉県市原市五井南海岸8番の1 宇部興 産株式会社高分子研究所内 Fターム(参考) 4F071 AA60 AE17 AF20 AF61 AF62 AH13 BB06 BC01 BC12 4J043 PA02 PA04 QB15 QB26 RA35 SA06 SB01 SB03 TA22 TB01 TB03 UA121 UA131 UA132 UA151 UA262 UB011 UB021 UB022 UB061 UB062 UB121 UB122 UB131 UB141 UB152 VA021 VA031 VA041 XA16 XA19 YA06 ZA32 ZA46 ZB11 ZB50 5G305 AA06 AB01 AB17 AB34 AB36 AB40 BA12 BA18 BA26 CA21 CA25 CC02 CC04 CC11 CD01 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Seiji Ishikawa 8-1 Goi-minamikaigan, Ichihara-shi, Chiba Ube Industries, Ltd. Polymer Research Laboratory (72) Inventor Hiroshi Anno 8th Goi-minamikaigan, Ichihara-shi, Chiba F1 term in Ube Industries Co., Ltd. Polymer Research Laboratory 4F071 AA60 AE17 AF20 AF61 AF62 AH13 BB06 BC01 BC12 4J043 PA02 PA04 QB15 QB26 RA35 SA06 SB01 SB03 TA22 TB01 TB03 UA121 UA131 UA132 UA151 UA262 UB01 UB121 UB121 UB121 UB131 UB141 UB152 VA021 VA031 VA041 XA16 XA19 YA06 ZA32 ZA46 ZB11 ZB50 5G305 AA06 AB01 AB17 AB34 AB36 AB40 BA12 BA18 BA26 CA21 CA25 CC02 CC04 CC11 CD01

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ビフェニルテトラカルボン酸二無水物また
はその誘導体とフェニレンジアミンとを主成分として製
造されたポリイミドからなり、厚みが5−150μmで
あって、引張弾性率が、厚みが5μm以上50μm未満
の場合には750−1300kg/mm2で、厚みが5
0μm以上100μm未満の場合には650−1100
kg/mm2で、厚みが100μmより大きく150μ
m以下の場合には550−1100kg/mm2であ
り、伸びが45−90%であり、かつ引裂き伝播抵抗
(エルメンドルフ)が、厚みが5μm以上50μm未満
の場合には350−1500g/mmで、厚みが50μ
m以上150μm以下の場合には550−1500g/
mmである芳香族ポリイミドフィルムの少なくとも片面
に、直接あるいは接着剤層を介して導電体を設けたの
ち、回路を形成し、その上に絶縁性コ−ト材を塗布し加
熱乾燥して厚みが5−50μmのコ−ト層を形成してな
り、そり(曲率半径)が25mm以上で、錫メッキ液に
よる侵食(錫もぐり)が250mm以下であるフレキシ
ブル回路基板。
1. A polyimide comprising biphenyltetracarboxylic dianhydride or a derivative thereof and phenylenediamine as main components, having a thickness of 5 to 150 μm and a tensile modulus of 5 to 50 μm. Is 750-1300 kg / mm2 and the thickness is 5
650-1100 when 0 μm or more and less than 100 μm
kg / mm2, thickness greater than 100μm and 150μ
m, the elongation is 45-90%, and the tear propagation resistance (Elmendorf) is 350-1500 g / mm when the thickness is 5 μm or more and less than 50 μm. Is 50μ
550 to 1500 g / m
After providing a conductor directly or via an adhesive layer on at least one side of an aromatic polyimide film having a thickness of 1 mm, a circuit is formed, an insulating coating material is applied thereon, and the film is dried by heating and drying. A flexible circuit board having a coating layer of 5 to 50 μm, having a warpage (radius of curvature) of 25 mm or more and an erosion (tin digging) by a tin plating solution of 250 mm or less.
【請求項2】芳香族ポリイミドフィルムの線膨張係数が
5−25×10-6cm/cm/℃であり、加熱収縮率が
0.002−0.4%である請求項1記載のフレキシブ
ル回路基板。
2. The flexible circuit board according to claim 1, wherein the aromatic polyimide film has a coefficient of linear expansion of 5-25.times.10@-6 cm / cm / DEG C. and a heat shrinkage of 0.002-0.4%. .
【請求項3】芳香族ポリイミドフィルムが0.1−5重
量%の無機フィラ−を含有するものである請求項1記載
のフレキシブル回路基板。
3. The flexible circuit board according to claim 1, wherein the aromatic polyimide film contains 0.1 to 5% by weight of an inorganic filler.
【請求項4】接着剤が、ポリイミド系熱可塑性接着剤あ
るいはポリイミド系熱硬化性接着剤である請求項1記載
のフレキシブル回路基板。
4. The flexible circuit board according to claim 1, wherein the adhesive is a polyimide-based thermoplastic adhesive or a polyimide-based thermosetting adhesive.
【請求項5】コ−ト層が、錫メッキ液による侵食(錫も
ぐり)が150mm以下である請求項1記載のフレキシ
ブル回路基板。
5. The flexible circuit board according to claim 1, wherein the coating layer has an erosion by tin plating solution (tin digging) of 150 mm or less.
【請求項6】厚みが5−150μmであって、引張弾性
率が、厚みが5μm以上50μm未満の場合には750
−1300kg/mm2で、厚みが50μm以上100
μm未満の場合には650−1100kg/mm2で、
厚みが100μmより大きく150μm以下の場合には
550−1100kg/mm2であり、伸びが45−9
0%であり、かつ引裂き伝播抵抗(エルメンドルフ)
が、厚みが5μm以上50μm未満の場合には350−
1500g/mmで、厚みが50μm以上150μm以
下の場合には550−1500g/mmであり、線膨張
係数が5−25×10-6cm/cm/℃であり、加熱収
縮率が0.002−0.4%である芳香族ポリイミドフ
ィルムの少なくとも片面に、直接あるいは接着剤層を介
して導電体を設けたのち、回路を形成し、その上に絶縁
性コ−ト材を塗布し加熱乾燥して厚みが5−50μmの
コ−ト層を形成してなり、そり(曲率半径)が25mm
以上で、錫メッキ液による侵食(錫もぐり)が250m
m以下であるフレキシブル回路基板。
6. A film having a thickness of 5 to 150 μm and a tensile modulus of elasticity of 750 when the thickness is 5 μm or more and less than 50 μm.
-1300kg / mm2, thickness 50μm or more and 100
In the case of less than μm, it is 650-1100 kg / mm 2,
When the thickness is more than 100 μm and 150 μm or less, it is 550-1100 kg / mm 2 and the elongation is 45-9.
0% and tear propagation resistance (Elmendorf)
However, when the thickness is 5 μm or more and less than 50 μm, 350-
When the thickness is 1500 g / mm and the thickness is 50 μm or more and 150 μm or less, it is 550-1500 g / mm, the coefficient of linear expansion is 5-25 × 10 −6 cm / cm / ° C., and the heat shrinkage is 0.002-0. A conductor is provided directly or through an adhesive layer on at least one side of an aromatic polyimide film of 0.4%, a circuit is formed, an insulating coating material is applied thereon, and then heated and dried. A coat layer having a thickness of 5 to 50 μm is formed, and a warp (radius of curvature) is 25 mm.
Above, erosion by tin plating solution (tin digging) is 250m
m or less.
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