JP2000249582A - 超音波流量計 - Google Patents

超音波流量計

Info

Publication number
JP2000249582A
JP2000249582A JP11054082A JP5408299A JP2000249582A JP 2000249582 A JP2000249582 A JP 2000249582A JP 11054082 A JP11054082 A JP 11054082A JP 5408299 A JP5408299 A JP 5408299A JP 2000249582 A JP2000249582 A JP 2000249582A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transmitter
frequency
ultrasonic
driving
circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP11054082A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4284738B2 (ja
Inventor
Yuji Nakabayashi
裕治 中林
Hideji Abe
秀二 安倍
Akihisa Adachi
明久 足立
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP05408299A priority Critical patent/JP4284738B2/ja
Publication of JP2000249582A publication Critical patent/JP2000249582A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4284738B2 publication Critical patent/JP4284738B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 測定精度を向上すること。 【解決手段】 超音波信号を送信する送信器1と、送信
器1を駆動する駆動回路9と、送信器1から送信され流
体を伝搬した超音波信号を受信する受信器2と、受信器
2の出力を受け超音波信号を検知する受信検知回路10
と、超音波信号の伝搬時間を測定するタイマ11と、タ
イマ11の出力より流量を演算によって求める演算部1
2と、駆動回路9の駆動周波数を変更する駆動周波数変
更部13とを備えている。これによって駆動周波数変更
部は送信器の駆動周波数を時間的に変更し送信を行うの
で、残響や反射波が受信信号に与える影響が一定でなく
なり分散平均化するため、測定誤差の偏りをなくすこと
ができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波流量計に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】従来この種の超音波流量計は図11に示
されているように、流体の中に配置し超音波を送信する
送信器1と、受信する受信器2と、送信器1を駆動する
送信回路3と、被測定流体を伝搬した超音波を受信する
受信機2の出力信号から受信判定し送信回路1に出力す
る受信検知回路4と、測定開始信号を送信回路3に出力
する制御部5と、超音波の送信から受信、そして帰還ま
での繰り返しの回数を計測するカウンタ6と、1回目の
超音波の送信開始から繰り返しの回数が所定回数に達す
るまでの時間を計測するタイマ7と、タイマ7の値から
流量を求める演算部8とを備えていた。
【0003】つぎに動作を説明する。まず制御部5が測
定開始信号を送信回路3に出力する。測定開始信号を受
けた送信回路3は送信器1を駆動し、送信器1は超音波
を送信する。受信器2は被測定流体を伝搬してきた超音
波を受信し受信信号を受信検知回路4に出力する。受信
検知回路4は受信判定を行い超音波の受信を確認し送信
回路3に出力を行う。受信検知回路4の出力を受けた送
信回路3は再度超音波振動子1を駆動する。カウンタ6
はこの超音波の送信から受信の回数を数え、この回数が
カウンタ6の設定値(N回)に達した場合タイマ7を停
止させる。タイマ7は測定開始からの時間を計測してお
り、この時のタイマ7の値t1は超音波の伝搬時間のN
倍となる。この値をもとに演算部8は次の計算によって
流量を求める。
【0004】超音波の伝搬距離をL、被測定流体の流れ
る断面積をS、被測定流体の静止時の音速をC、被測定
流体の流速をV、上流から下流方向への伝搬時間をt
1、カウンタ7の設定値とした場合の流量Qを求める計
算式を(式1)に示す。
【0005】 Q=S[{L/(t/N)}−C] (式1)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の超音波流量計では、超音波の送信を一定周期毎におこ
なっており、受信器2は超音波の伝搬経路で反射した超
音波や、以前の周期に送信した超音波の残響と重なり合
ったものを受信するため、測定誤差が生じていた。
【0007】またこの現象は伝搬時間によって程度が変
化し伝搬時間は温度、ガス成分によって変動するため補
正を行うことは不可能であり、この測定誤差を低減する
という課題があった。
【0008】また送信までの時間を遅延させる遅延回路
を付加し、遅延量を時間的に変更することによって測定
誤差を低減するという方法も考えられていたが、演算の
ために必要な遅延時間を正確に求めることができないた
め、測定精度を大幅に向上させることはできなかった。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、駆動周波数変更部が駆動回路の駆動周波数
を時間的に変更するものである。
【0010】上記発明によれば駆動周波数変更部が時間
的に超音波振動子の駆動周波数を変更するため、残響、
反射波が受信信号に与える影響が一定でなく、分散平均
化するため測定誤差を偏らせることがなく測定精度が向
上する。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に係る超音波流
量計は、超音波信号を送信する送信器と、前記送信器を
駆動する駆動回路と、前記送信器から送信され流体を伝
搬した超音波信号を受信する受信器と、前記受信器の出
力を受け超音波信号を検知する受信検知回路と、前記超
音波信号の伝搬時間を測定するタイマと、前記タイマの
出力より流量を演算によって求める演算部と、前記駆動
回路の駆動周波数を変更する駆動周波数変更部とを有す
る。
【0012】そして、駆動周波数変更部が送信器の駆動
周波数を時間的に変更し送信を行うため、残響、反射波
が受信信号に与える影響が分散平均化するため測定誤差
の偏りをなくすことができる。
【0013】本発明の請求項2に係る超音波流量計は、
超音波信号を送信する送信器と、前記送信器を駆動する
駆動回路と、前記送信器から送信され流体を伝搬した超
音波信号を受信する受信器と、前記受信器の出力を受け
超音波信号を検知する受信検知回路と、前記受信検知回
路の出力を受け前記送信器へ出力し再度超音波の送信を
行わせる帰還回路と、前記帰還回路の帰還回数を測定す
るカウンタと、前記送信器による超音波発信開始から前
記カウンタがあらかじめ設定した終了回数に達するまで
の時間を測定するタイマと、前記タイマの出力信号より
流量を演算によって求める演算部と、前記駆動回路の駆
動周波数を変更する駆動周波数変更部とを有する。
【0014】そして、複数回の超音波の伝搬を連続して
行いその総時間をタイマで計測しているので伝搬時間1
回あたりの測定分解能が良くなると同時に、駆動周波数
変更部が帰還動作毎に前記駆動回路の駆動周波数を変更
するため、超音波の伝搬経路にくり返し送信によって発
生する定在波が発生せず、残響、反射波が受信信号に与
える影響が分散平均化するため測定誤差の偏りをなくす
ことができる。
【0015】本発明の請求項3に係る超音波流量計は駆
動周波数変更部が周波数を変更するパターン数の整数倍
を帰還回数とするため、それぞれの駆動周波数で発生す
る誤差を常に均一に演算に使用するので、帰還回数の変
更時に演算結果が変動することがなく安定した測定結果
を得ることができる。
【0016】本発明の請求項4に係る超音波流量計は駆
動回路が送信器を駆動中に駆動周波数変更部が駆動周波
数を変更するため、単一の周波数で送信器を駆動した場
合と比較し送受信の感度に大きな変化がなく、周波数の
変更によって補正を行う必要がなくなり、回路構成が簡
単となると同時に、補正によって生じる誤差が発生しな
い。
【0017】本発明の請求項5に係る超音波流量計は駆
動周波数変更部の変更する周波数が、送・受信器間の超
音波送受信感度がほぼ同じ周波数に変更するので、周波
数の変更時に送受信の感度を送信出力あるいは受信感度
によって補正する必要がなく、回路構成が簡単となると
同時に、補正によって生じる誤差が発生しない。
【0018】本発明の請求項6に係る超音波流量計は周
波数を不規則に変更するため、送信信号の規則性を完全
になくすことができる。
【0019】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を用いて
説明する。
【0020】(実施例1)図1は本発明の実施例1の超
音波流量計を示すブロック図、図2は同超音波流量計の
送信器の駆動周波数の変化を表す図である。
【0021】図1において1は超音波信号を送信する送
信器、2は送信器1から送信され流体を伝搬した超音波
信号を受信する受信器、9は送信器1を駆動する駆動回
路、10は受信器2の出力を受け超音波信号を検知する
受信検知回路、11は超音波信号の伝搬時間を測定する
タイマ、12はタイマ11の出力より流量を演算によっ
て求める演算部、13は駆動回路9の駆動周波数を変更
する駆動周波数変更部、14は駆動周波数変更部と駆動
回路9とタイマに信号を出力する制御部である。
【0022】次に動作、作用について説明すると、まず
制御部14が駆動周波数を決定する信号を駆動周波数変
更部13に出力し送信器1を駆動する周波数を決定す
る。次に制御部14が駆動回路9に送信開始信号を出力
すると同時にタイマ11の時間計測をスタートさせる。
駆動回路9は送信開始信号を受けると駆動周波数変更部
によって決まる駆動周波数によって送信器1を駆動し超
音波を送信させる。送信された超音波は流体中を伝搬し
受信器2で受信され電気信号に変換され受信検知回路1
0に出力される。受信検知回路10では受信信号の受信
タイミングを決定しタイマ11を停止させる。
【0023】そして演算部12ではタイマ11で計測し
た伝搬時間より流量を演算によって求める。くり返し同
じ動作を行うが、その都度制御部14は駆動周波数変更
部13へ出力する信号を変化させ駆動回路9の駆動周波
数を変更する。図2に駆動周波数の変動のよう子を示
し、横軸は測定回数、縦軸に駆動周波数を示す。このよ
うに駆動周波数変更部13が送信器1の駆動周波数を時
間的に変更し送信を行うため、残響、反射波が受信信号
に与える影響が分散平均化するため測定誤差の偏りをな
くすことができる。
【0024】なお、この例では駆動周波数を不規則に変
更しているが、一定のパターンで変更してもよい。ま
た、一方向のみ超音波を送信して流量を求めているが、
両方向へ超音波を送信してその逆数差より流量を求める
方法においても同ように駆動周波数を変更する手法は有
効である。
【0025】(実施例2)図3は本発明の実施例2の超
音波流量計を示すブロック図、図4は同超音波流量計の
送受信のタイミングと送信周波数を示す図である。
【0026】本実施例2において、実施例1と異なる点
は受信検知回路の出力を帰還信号として駆動回路15に
帰還しその帰還回数をカウンタ16で計測している点
と、カウンタ16の出力によって駆動周波数変更部13
が駆動回路15の駆動周波数を変更している点である。
【0027】なお、実施例1と同一符号のものは同一構
造を有し、説明は省略する。
【0028】動作、作用について説明すると、まづに制
御部14が駆動回路15に送信開始信号を出力すると同
時にタイマ11の時間計測をスタートさせる。駆動回路
15は送信開始信号を受けると駆動周波数変更部の初期
値によって決まる駆動周波数によって送信器1を駆動し
超音波を送信させる。送信された超音波は流体中を伝搬
し受信器2で受信され電気信号に変換され受信検知回路
10に出力される。受信検知回路10では受信信号の受
信タイミングを決定し受信検知信号を駆動回路15に出
力する。駆動周波数変更部13はカウンタ16の出力を
受け駆動周波数を変更するよう駆動回路へ信号を出力す
る。駆動回路15は受信検知信号を受けると再度駆動周
波数変更部13で決まる駆動周波数で送信器1を駆動す
る。図2にカウンタの値と駆動周波数の変化を示す。カ
ウンタ16にはあらかじめ終了帰還回数が設定してあ
り、その回数に達し駆動回路15への帰還信号出力を停
止すると同時にタイマ11を停止させ時間計測を終了さ
せる。演算部12ではタイマ11で測定した時間より終
了帰還回数を考慮し演算によって流量を求める。このよ
うに駆動周波数変更部13が送信器1の駆動周波数を帰
還回数に応じて変更し送信を行うため、超音波の伝搬経
路の残響、反射波が受信信号に与える影響が分散平均化
するため測定誤差の偏りをなくすことができる。
【0029】また、終了帰還回数を周波数の変更パター
ン数(たとえば変更する駆動周波数を90KHz、10
0KHz、110KHzとするとパターン数は3とな
る)の整数倍とすることによって、それぞれの周波数で
生じる誤差を均一に演算に用いるため誤差が平均、分散
化するので測定誤差が偏ることない。
【0030】(実施例3)図5は本発明の実施例3の超
音波流量計を示すブロック図、図6は同超音波流量計の
駆動波形を示す図、図7は同超音波流量計の送受信器間
の信号感度を示す図である。本実施例3において、実施
例1と異なる点は測定毎に駆動回路9の駆動周波数を変
更するのではなく、駆動回路出力を駆動周波数変更部1
3に入力し駆動中に周波数を変更している点である。
【0031】なお、実施例1と同一符号のものは同一構
造を有し、説明は省略する。
【0032】動作、作用について説明すると、駆動回路
9が送信器1を駆動する信号を駆動周波数変更部13に
も入力し、送信器1を駆動する駆動周波数をその都度変
更する。
【0033】図6に駆動周波数の変化の様子を示す。図
6のように駆動周波数は駆動周期毎に変化する。また図
7に駆動周波数の変更範囲と送受器間の感度を示す。図
7で示すf1からf2の間を均一に駆動周波数を変更す
るように設定しているので、単独周波数faとfbで駆
動した場合の差と比較して測定毎の差が小さくなるの
で、送受信の感度に大きな変化がなく、周波数の変更に
よって感度補正を行う必要がなくなり、回路構成が簡単
となると同時に、補正によって生じる誤差が発生しな
い。
【0034】(実施例4)図8は本発明の実施例4の超
音波流量計のブロック図、図9は同超音波流量計の駆動
周波数と送受信器間の感度を示す図である。
【0035】本実施例2において、実施例1と異なる点
は駆動周波数変更部13が周波数設定部A17、周波数
設定部B18、周波数設定部C19、周波数設定部D2
0、と周波数設定部A17−D20の出力を選択し駆動
回路9に出力する周波数選定回路21によって構成され
ており、周波数設定部A17−D20が設定している駆
動周波数のすべてが送受信器間の感度がほぼ等しい周波
数であることである。
【0036】なお、実施例1と同一符号のものは同一構
造を有し、説明は省略する。
【0037】図9に送受信器間の感度と駆動周波数の関
係を示す。このように周波数設定部A17−D20の設
定している周波数がそれぞれf1−f4にあたり、駆動
周波数を変更しても送受信器間の感度が変わらないの
で、周波数を変更した時に送受信の感度を送信出力ある
いは受信感度によって補正する必要がなく、回路構成が
簡単となると同時に、補正によって生じる誤差が発生し
ない。
【0038】ここでは送受信器間の感度を既知のものと
して周波数設定部の周波数をあらかじめ設定していた
が、駆動周波数を変更し送受信を行い送受信器間の感度
を調べ、送受信器間の感度がほぼ同じ駆動周波数を選択
することもできる。この場合、周波数設定部はメモリー
などの書き換え可能なものを使用すればその都度最適な
周波数を書き込むことができるので、簡単に本発明の構
成を実現することができる。
【0039】(実施例5)図10は本発明の実施例5の
超音波流量計を示すブロック図である。
【0040】本実施例5において、実施例1と異なる点
は周波数変更部の入力が乱数テーブル21となっている
点である。
【0041】なお、実施例1と同一符号のものは同一構
造を有し、説明は省略する。
【0042】次に動作、作用を説明すると、乱数テーブ
ル21は制御部14の出力を受け、不規則な周波数信号
を周波数変更部へ出力する。このように周波数を完全に
不規則に変更するため、送信信号の規則性を完全になく
すことができる。このため誤差が平均、分散化するので
測定誤差が偏ることない。
【0043】
【発明の効果】以上の説明から明らかのように本発明の
超音波流量計によれば次の効果が得られる。
【0044】請求項1に係る超音波流量計は駆動周波数
変更部が送信器の駆動周波数を時間的に変更し送信を行
うため、残響、反射波が受信信号に与える影響が分散平
均化するため測定誤差の偏りがなくなり、高精度の超音
波流量計が実現できる。
【0045】また、請求項2に係る超音波流量計は複数
回の超音波の伝搬を連続して行いその総時間をタイマで
計測しているので伝搬時間1回あたりの測定分解能が良
くなると同時に、駆動周波数変更部が帰還動作毎に前記
駆動回路の駆動周波数を変更するため、超音波の伝搬経
路にくり返し送信によって発生する定在波が発生せず、
残響、反射波が受信信号に与える影響が分散平均化する
ため測定誤差の偏りがなくなり高精度の超音波流量計が
実現できる。
【0046】また、請求項3に係る超音波流量計は駆動
周波数変更部が周波数を変更するパターン数の整数倍を
帰還回数とするため、それぞれの駆動周波数で発生する
誤差を常に均一に演算に使用するので、帰還回数の変更
時に演算結果が変動することがなく安定した測定結果を
得、高精度の超音波流量計が実現できる。
【0047】また、請求項4に係る超音波流量計は駆動
回路が送信器を駆動中に駆動周波数変更部が駆動周波数
を変更するため、単一の周波数で送信器を駆動した場合
と比較し送受信の感度に大きな変化がなく、周波数の変
更によって補正を行う必要がなくなり、回路構成が簡単
となると同時に、補正によって生じる誤差が発生せず高
精度の超音波流量計が実現できる。
【0048】また、請求項5に係る超音波流量計は駆動
周波数変更部の変更する周波数が、送・受信器間の超音
波送受信感度がほぼ同じ周波数に変更するので、周波数
の変更時に送受信の感度を送信出力あるいは受信感度に
よって補正する必要がなく、回路構成が簡単となると同
時に、補正によって生じる誤差が発生せず高精度の超音
波流量計が実現できる。
【0049】また、請求項6に係る超音波流量計は周波
数を不規則に変更するため、送信信号の規則性を完全に
なくすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1における超音波流量計のブロ
ック図
【図2】同超音波流量計の送信器における駆動周波数の
変化を表す図
【図3】本発明の実施例2における超音波流量計のブロ
ック図
【図4】同超音波流量計の送受信のタイミングと送信周
波数を示す図
【図5】本発明の実施例3における超音波流量計のブロ
ック図
【図6】同超音波流量計の駆動波形を示す図
【図7】同超音波流量計の送受信器間の信号感度特性図
【図8】本発明の実施例4における超音波流量計のブロ
ック図
【図9】同超音波流量計の駆動周波数と送受信器間の感
度特性図
【図10】本発明の実施例5における超音波流量計のブ
ロック図
【図11】従来の超音波流量計のブロック図
【符号の説明】
1 送信器 2 受信器 9 駆動回路 10 受信検知回路 11 タイマ 12 演算部 13 駆動周波数変更部 14 制御部 15 駆動回路 16 カウンタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 足立 明久 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 2F035 DA14 DA22

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】超音波信号を送信する送信器と、前記送信
    器を駆動する駆動回路と、前記送信器から送信され流体
    を伝搬した超音波信号を受信する受信器と、前記受信器
    の出力を受け超音波信号を検知する受信検知回路と、前
    記超音波信号の伝搬時間を測定するタイマと、前記タイ
    マの出力より流量を演算によって求める演算部と、前記
    駆動回路の駆動周波数を時間的に変更する駆動周波数変
    更部とを備えた超音波流量計。
  2. 【請求項2】超音波信号を送信する送信器と、前記送信
    器を駆動する駆動回路と、前記送信器から送信され流体
    を伝搬した超音波信号を受信する受信器と、前記受信器
    の出力を受け超音波信号を検知する受信検知回路と、前
    記受信検知回路の出力を受け前記送信器へ出力し再度超
    音波の送信を行わせる帰還回路と、前記帰還回路の帰還
    回数を測定するカウンタと、前記送信器による超音波発
    信開始から前記カウンタがあらかじめ設定した終了回数
    に達するまでの時間を測定するタイマと、前記タイマの
    出力より流量を演算によって求める演算部とを有し、前
    記駆動回路の駆動周波数を変更する駆動周波数変更部と
    を有し、帰還動作毎に前記駆動回路の駆動周波数を変更
    する超音波流量計。
  3. 【請求項3】駆動周波数変更部が周波数を変更するパタ
    ーン数の整数倍を帰還回数とした請求項2記載の超音波
    流量計。
  4. 【請求項4】駆動回路が送信器を駆動中に駆動周波数変
    更部が駆動周波数を変更する請求項1または2記載の超
    音波流量計。
  5. 【請求項5】駆動周波数変更部の変更する周波数が、送
    信器と受信器間の超音波送受信感度がほぼ同じ周波数に
    変更する請求項1または2記載の超音波流量計。
  6. 【請求項6】周波数を不規則に変更する請求項1または
    2記載の超音波流量計。
JP05408299A 1999-03-02 1999-03-02 超音波流量計 Expired - Fee Related JP4284738B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP05408299A JP4284738B2 (ja) 1999-03-02 1999-03-02 超音波流量計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP05408299A JP4284738B2 (ja) 1999-03-02 1999-03-02 超音波流量計

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009016202A Division JP4650574B2 (ja) 2009-01-28 2009-01-28 超音波流量計

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000249582A true JP2000249582A (ja) 2000-09-14
JP4284738B2 JP4284738B2 (ja) 2009-06-24

Family

ID=12960706

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP05408299A Expired - Fee Related JP4284738B2 (ja) 1999-03-02 1999-03-02 超音波流量計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4284738B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2507118A (en) * 2012-10-19 2014-04-23 Secure Internat Holdings Pte Ltd Ultrasonic fluid flow metering apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2507118A (en) * 2012-10-19 2014-04-23 Secure Internat Holdings Pte Ltd Ultrasonic fluid flow metering apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP4284738B2 (ja) 2009-06-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5360268A (en) Ultrasonic temperature measuring apparatus
JP3129563B2 (ja) 超音波計測方法及び装置
JP3427762B2 (ja) 超音波流量計
JP4561088B2 (ja) 超音波流量計
JP4650574B2 (ja) 超音波流量計
JP4284738B2 (ja) 超音波流量計
JP3624743B2 (ja) 超音波流量計
JP3422100B2 (ja) 流量計測装置
JP2004069524A (ja) 流量計測装置
JP7320776B2 (ja) 超音波流量計
JPH11351928A (ja) 流量計および流量計測方法
JP2000329597A5 (ja)
JP6767628B2 (ja) 流量計測装置
JP2008185441A (ja) 超音波流量計
JP4774618B2 (ja) 流量計測装置
US20220034694A1 (en) Flow-rate measuring apparatus capable of accurately measuring flow rate of fluid containing foreign objects
JP4485641B2 (ja) 超音波流量計
JP2005300244A (ja) 超音波流量計
JP4552285B2 (ja) 流量計
JP2020180811A (ja) 超音波流量計
JP4140095B2 (ja) 超音波流速計
JP3468235B2 (ja) 流量計測装置
JPS6242015A (ja) 超音波流量計の温度補正方法
JP3508756B2 (ja) 流量計測装置と流速計測装置と流量計測方法
JP2000329596A (ja) 流量計測装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060209

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20060314

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20081128

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081224

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090126

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090303

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090316

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120403

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120403

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees