JP2000258125A - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
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- JP2000258125A JP2000258125A JP11057329A JP5732999A JP2000258125A JP 2000258125 A JP2000258125 A JP 2000258125A JP 11057329 A JP11057329 A JP 11057329A JP 5732999 A JP5732999 A JP 5732999A JP 2000258125 A JP2000258125 A JP 2000258125A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
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Abstract
出するヘッドアンプ７１を門形フレーム４の下辺４２に
取り付けたのでは、ボールねじ２１を介して作用する駆
動力により下辺４２が弾性変形してカメラ５１とヘッド
アンプ７１の相対位置が変化し測定誤差が生じる。 【解決手段】門形フレーム４に接触しないように支持板
６を可動子３に架設し、該支持板６にヘッドアンプ７１
を取り付け、下辺４２の弾性変形の影響がヘッドアンプ
７１に及ばないようにした。
Description
被測定物をカメラで撮像し、該カメラの座標から被測定
物の寸法等を測定する測定装置に関する。
水平なテーブル上にセットされた平板状の被測定物を上
方からカメラで撮像して被測定物にプリントされた電極
パターン等の寸法を測定する二次元測定装置が知られて
いる。該カメラはテーブルと平行なＸ−Ｙ方向に移動自
在に保持されている。即ち、該二次元測定装置は、テー
ブルの上方に位置する水平な上辺と、テーブルの下方に
位置し該上辺に対して平行な下辺と、上辺及び下辺の各
両端を連結する１対の垂直な側辺とからなる門形フレー
ムを備えており、テーブルの下方にＹ方向に沿って相互
に平行な１対のガイドレールが敷設されている。そし
て、該ガイドレールに沿ってＹ方向に往復移動する可動
子に下辺の両端を各々保持させると共に、ガイドレール
に平行に送りねじを配設し、且つ門形フレームの下辺の
略中央部分に該送りねじに螺合するナットを固定してい
る。そして、ガイドレールに平行にリニアスケールを配
設し、門形フレームの下辺であってナットの近傍に取り
付けたヘッドアンプによりリニアスケールの目盛を読み
取ることにより門形フレームのＹ方向の座標を検出して
いる。
てガイドレールと送りねじとリニアスケールとが配設さ
れており、Ｘ方向に往復自在のカメラホルダを設けて該
カメラホルダにカメラを保持させている。
ダを含めたＸ方向の移動質量は比較的小さいが、これら
Ｘ方向の移動質量やＸ方向の駆動モータ及びテーブルを
跨ぐ大きさの門形フレームを含むＹ方向の移動質量は極
めて大きくなる。Ｙ方向への駆動力は駆動モータから送
りねじに伝えられ、全ての駆動力はナットを介して門形
フレームの下辺に作用する。Ｙ方向の駆動力は全てナッ
トに集中するので、ナットが取り付けられている下辺は
移動方向に撓む。一方、Ｙ方向の座標を検出するヘッド
アンプはナットの近傍に取り付けられているので下辺が
撓めばヘッドアンプの取付部分も撓むため、ヘッドアン
プとカメラとの相対位置が変化する。そのため、カメラ
を同じ位置に停止させても往方向から移動させて停止し
た場合と復方向から移動させて停止した場合とで検出さ
れるＹ座標が相違し、測定誤差が生じる。
にＹ座標の検出値に誤差の生じることにない測定装置を
提供することを課題とする。
に本発明は、被測定物が載置される平板状のテーブルを
有し、該テーブルの上方に位置し被測定物を撮像するカ
メラを保持する水平な上辺と、テーブルの下方に位置し
該上辺に対して平行な下辺と、上辺及び下辺の各両端を
連結する１対の垂直な側辺とからなる門形フレームと、
テーブルの下方に相互に平行に配設した１対のガイドレ
ールに沿って往復移動する可動子に下辺の両端を各々保
持させると共に、ガイドレールに平行に配設した送りね
じに螺合し門形フレームをガイドレールに沿って駆動す
るナットを下辺の略中央部分に取り付け、更にガイドレ
ールに平行に配設したリニアスケールの目盛を門形フレ
ームと共に移動するヘッドアンプで検出しカメラの座標
を求める測定装置において、上記両可動子に、門形フレ
ームに接触しないように支持部材を架設し、該支持部材
にヘッドアンプを取り付けたことを特徴とする。
フレームに接触しないように架設したので、門形フレー
ムが変形しても該変形の影響が支持部材に及ぶことがな
く、従って、ヘッドアンプとカメラとの相対位置が変化
しない。
装置の主要部を模式的に示したものであり、ベッド１１
上には前後方向に長手の１対のガイドレール２が敷設さ
れている。両ガイドレール２は相互に平行であり、該ガ
イドレール２の長手方向が二次元測定装置１のＹ軸方向
になる。また、両ガイドレール２の間には送りねじであ
るボールねじ２１が、ガイドレール２に平行に配設され
ている。両ガイドレール２には各々可動子３がガイドレ
ール２に沿ってＹ軸方向に往復自在に係合している。両
可動子３には門形フレーム４が架設されている。該門形
フレーム４はガラス板からなる水平なテーブルＴを挟ん
で相互に水平な上辺４１及び下辺４２と上辺４１及び下
辺４２を左右両側で連結する１対の側辺４３とで構成さ
れている。尚、例えば特願平１１−４１７７７号に示さ
れているように、テーブルＴは図示しない構成部品を介
してベッド１１に対して固定されている。上辺４１は上
記Ｙ軸方向に対して直角方向であるＸ軸方向に長手にな
るように形成されており、ＣＣＤカメラ５１が取り付け
られた可動子５をＸ軸方向に往復自在に保持している。
また、下辺４２の左右方向略中央部分にはナットホルダ
４４が取り付けられており、上記ボールねじ２１に螺合
している。従ってボールねじ２１を図外のサーボモータ
により回転させると門形フレーム４はガイドレール２に
沿ってＹ軸方向に移動する。ところで、本発明では門形
フレーム４が架設された可動子３に、門形フレーム４に
接触しないように支持部材である支持板６を架設した。
両ガイドレール２の間にはＹ軸方向に長手のリニアスケ
ール７が配設されており、支持板６の下面には該リニア
スケール７の目盛を読み取るヘッドアンプ７１を取り付
けた。従って、上記のごとく門形フレーム４がＹ軸方向
に移動するとヘッドアンプ７１も共にＹ軸方向に移動
し、移動した先でのリニアスケール７の目盛を読み取る
ことによりＣＣＤカメラ５１のＹ座標を検出することが
できる。
５１が振動しないように門形フレーム４の剛性を高める
必要があり、門形フレーム４を肉厚に形成している。そ
のため門形フレーム４の質量が大きくなり、門形フレー
ム４をＹ軸方向に駆動するために大きな駆動力を必要と
する。その大きな駆動力はナットホルダ４４を介して下
辺４２の略中央部分に作用する。すると若干ではあるが
下辺４２は駆動力の作用した方向に弾性変形する。そし
て、門形フレーム４を停止させても摩擦等により下辺４
２の弾性変形は完全に回復しない。そのためナットホル
ダ４４とＣＣＤカメラ５１との相対位置は門形フレーム
４の移動方向によって相違する。ところが、下辺４２の
中央部分が弾性変形しても下辺４２の両端部分、即ち可
動子３に当接している部分は弾性変形せず、そのためＣ
ＣＤカメラ５１と可動子３の相対位置は門形フレーム４
の移動方向によって相違することはない。従って、門形
フレーム４に接触することなく可動子３に架設した支持
板６とＣＣＤカメラ５１との相対位置は変化せず、更
に、支持板６には外力が作用せず変形しないので支持板
６に取り付けたヘッドアンプ７１とＣＣＤカメラ５１と
の相対位置も同様に変化しない。
方向に往復させるためのガイドレールやボールねじ及び
Ｘ座標を検出するためのリニアスケールは門形フレーム
４の上辺４１上に配設されている。また、ＣＣＤカメラ
５１の撮像方向が水平になるようにＣＣＤカメラ５１を
旋回できるように保持させ、かつＣＣＤカメラ５１を上
下方向であるＺ軸方向に往復自在とした三次元測定装置
にも本発明を適用することができる。
は、門形フレームに接触しない支持部材を可動子に架設
し、該支持部材にヘッドアンプを取り付けたので、門形
フレームが弾性変形してもヘッドアンプとカメラとの相
対位置が変化せず、測定誤差が生じない。
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定物が載置される平板状のテーブ
ルを有し、該テーブルの上方に位置し被測定物を撮像す
るカメラを保持する水平な上辺と、テーブルの下方に位
置し該上辺に対して平行な下辺と、上辺及び下辺の各両
端を連結する１対の垂直な側辺とからなる門形フレーム
と、テーブルの下方に相互に平行に配設した１対のガイ
ドレールに沿って往復移動する可動子に下辺の両端を各
々保持させると共に、ガイドレールに平行に配設した送
りねじに螺合し門形フレームをガイドレールに沿って駆
動するナットを下辺の略中央部分に取り付け、更にガイ
ドレールに平行に配設したリニアスケールの目盛を門形
フレームと共に移動するヘッドアンプで検出しカメラの
座標を求める測定装置において、上記両可動子に、門形
フレームに接触しないように支持部材を架設し、該支持
部材にヘッドアンプを取り付けたことを特徴とする測定
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05732999A JP4034903B2 (ja) | 1999-03-04 | 1999-03-04 | 測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05732999A JP4034903B2 (ja) | 1999-03-04 | 1999-03-04 | 測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000258125A true JP2000258125A (ja) | 2000-09-22 |
| JP4034903B2 JP4034903B2 (ja) | 2008-01-16 |
Family
ID=13052545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05732999A Expired - Fee Related JP4034903B2 (ja) | 1999-03-04 | 1999-03-04 | 測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4034903B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010038808A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Sokkia Topcon Co Ltd | 二次元測定機 |
| CN102322797A (zh) * | 2011-08-15 | 2012-01-18 | 吉林大学 | 三自由度汽车车轮定位参数立体视觉柔性检测系统 |
| KR20150125561A (ko) * | 2014-04-30 | 2015-11-09 | 히라따기꼬오 가부시키가이샤 | 작업대상물 형상 측정 시스템 및 제어 방법 |
| CN110605216A (zh) * | 2019-11-04 | 2019-12-24 | 刘炳梅 | 一种高效油边机 |
| CN113030116A (zh) * | 2021-02-19 | 2021-06-25 | 佛山市南海区广工大数控装备协同创新研究院 | 一种柔性电路板线路检测装置 |
-
1999
- 1999-03-04 JP JP05732999A patent/JP4034903B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010038808A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Sokkia Topcon Co Ltd | 二次元測定機 |
| CN102322797A (zh) * | 2011-08-15 | 2012-01-18 | 吉林大学 | 三自由度汽车车轮定位参数立体视觉柔性检测系统 |
| KR20150125561A (ko) * | 2014-04-30 | 2015-11-09 | 히라따기꼬오 가부시키가이샤 | 작업대상물 형상 측정 시스템 및 제어 방법 |
| KR101631184B1 (ko) | 2014-04-30 | 2016-06-16 | 히라따기꼬오 가부시키가이샤 | 작업대상물 형상 측정 시스템 및 제어 방법 |
| CN110605216A (zh) * | 2019-11-04 | 2019-12-24 | 刘炳梅 | 一种高效油边机 |
| CN113030116A (zh) * | 2021-02-19 | 2021-06-25 | 佛山市南海区广工大数控装备协同创新研究院 | 一种柔性电路板线路检测装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4034903B2 (ja) | 2008-01-16 |
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