JP2000258497A - チップ検査機のチップ排出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 段取り作業を軽減し、装置の作動を中断する
ことなく検査済みチップを排出する。 【解決手段】 チップ検査機５で検査したチップの良品
／不良品を仕分けして排出する。チップ検査機５で検査
したチップを搭載した良品／不良品混在パレットを位置
決め固定する投入部７と、良品パレットを位置決め固定
する良品パレット載置部１と、良品パレットを複数収納
する良品パレット収納庫１２と、不良品パレットを位置
決め固定する不良品パレット載置部２と、不良品パレッ
トを複数収納する不良品パレット収納庫１３と、予備用
のパレットを載置する予備パレット載置部１１と、投入
部７、良品パレット載置部１及び不良品パレット載置部
２の間でチップを移載するチップ移載手段９と、投入部
７、良品パレット載置部１、不良品パレット載置部２及
び予備パレット載置部１１の間でパレットを移載するパ
レット移載手段１０とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、チップ検査機で検査し
たチップを良、不良に仕分けして排出するチップ排出装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】特開平８−１９４０３１号公報には、チ
ップ検査機で検査したチップをパレットに仕分けする従
来の排出装置が記載されている。この装置は、パレット
の供給及び排出を行う２系統のパレットフィーダと、不
良チップを収容する不良品パレット、予備用パレット
と、チップを移載するＸＹロボットを備えている。

【０００３】この装置は、チップの検査を行いながらチ
ップを一方のパレットフィーダから他方のパレットフィ
ーダに移動させ、不良品が出た場合は、予備用パレット
から補充するモードと、検査を行ったチップを同じパレ
ットフィーダに戻し、不良品が出た場合は空のままにし
ておくモードと、検査を行ったチップを元のパレットフ
ィーダに戻すと共に、不良品がでた場合は予備用パレッ
トから補充するモードとを備えるものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の装置では、装置を作動させる前の段取りにおい
て、作業者は検査前のチップのパレットをパレットフィ
ーダ及び予備用パレットの載置部の計２箇所に設置しな
ければならない。また検査後も検査後のチップのパレッ
トをパレットフィーダ、不良品パレットの載置部及び予
備用パレットの載置部の計３箇所から回収する必要があ
り、作業工数や手間がかかっている。

【０００５】また、不良品パレット及び予備用パレット
は、チップの検査数が多い場合は途中で入れ替えが必要
となり、この入れ替え時には、装置を一時的に停止する
必要がある。このため、作業効率が低下する問題を有し
ている。

【０００６】本発明はこのような従来の問題点を考慮し
てなされたものであり、段取り時の作業の軽減及び検査
数が増加しても装置を一時的に停止させることなく、連
続的にチップを排出することが可能なチップ検査機のチ
ップ排出装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明は、チップ検査機で検査したチップ
の良品／不良品を仕分けして排出するチップ排出装置に
おいて、上記チップ検査機で検査したチップを搭載した
良品／不良品混在パレットを位置決め固定する投入部
と、良品パレットを位置決め固定する良品パレット搭載
部と、上記良品パレットを複数収納する良品パレット収
納庫と、不良品パレットを位置決め固定する不良品パレ
ット載置部と、上記不良品パレットを複数収納する不良
品パレット収納庫と、予備用のパレットを載置する予備
パレット載置部と、上記投入部、良品パレット載置部及
び不良品パレット載置部の間でチップを移載するチップ
移載手段と、上記投入部、良品パレット載置部、不良品
パレット載置部及び予備パレット載置部の間でパレット
を移載するパレット移載手段と、を備えていることを特
徴とする。

【０００８】この発明では、チップ検査機で検査したチ
ップを載置したパレットを投入部に投入し、良品及び不
良品のチップを良品パレット載置部のパレット及び不良
品パレット載置部のパレットにそれぞれ仕分けする。そ
して、そのパレットがチップで満載状態となったとき、
良品パレット載置部のパレットは良品パレット収納庫に
収納し、不良品パレット載置部のパレットは不良品パレ
ット収納庫に収納する。この収納で空になったときは、
予備パレット載置部から空のパレットを供給して、チッ
プの仕分けを続行する。これにより、段取り時の作業を
軽減させることができると共に、チップの検査数が増加
しても装置を一時的に停止させることなく、連続的にチ
ップを排出することが可能となる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示する実施の形
態により具体的に説明する。なお、各実施の形態におい
て、同一の要素は同一の符号を付して対応させてある。

【００１０】（実施の形態１）図１は本発明の実施の形
態１を示す。この実施の形態のチップ排出装置は、ベー
ス２４上に横並び状に配置された投入部７、良品パレッ
ト載置部１、不良品パレット載置部２及び予備パレット
載置部１１を備えると共に、良品パレット収納庫１２及
び不良品パレット収納庫１３を備えている。又、ベース
２４はチップ検査機５の側方に設けられており、チップ
検査機５にはパレットを供給するローダ部２３が連結さ
れている。

【００１１】ベース２４上には、ＸＹ方向に移動するＸ
Ｙロボット８が設けられている。このＸＹロボット８は
チップ１５を上述したパレット間で移載するチップ移載
ハンド９及びパレットを投入部７、良品パレット載置部
１、不良品パレット載置部２及び予備パレット載置部１
１の間で移載するパレット移載ハンド１０が取り付けら
れている。

【００１２】投入部７はチップ検査機５からのパレット
が投入され、投入されたパレットが位置決め状態で固定
される。このパレットの投入を行うため、チップ検査機
５からはベルトコンベア１７が投入部７に延びている。
６は検査済みチップが搭載された状態で投入部７に投入
されたパレットである。

【００１３】良品パレット載置部１にはパレットが位置
決めされて載置され、この載置されたパレットに対して
良品のチップが載置される。３は良品のチップが載置さ
れる良品パレットである。この良品パレット載置部１に
よって良品チップが満載された良品パレット３は良品パ
レット収納庫１２に供給される。この良品パレットの供
給を行うため、良品パレット載置部１及び良品パレット
収納庫１２の間には、ベルトコンベア２９が設けられて
いる。

【００１４】不良品パレット載置部２には、不良品のチ
ップを載置するための不良品パレット４が位置決めされ
て載置される。不良品パレット載置部２は不良品パレッ
ト収納庫１３とベルトコンベア３０によって接続されて
おり、不良品のチップが満載された不良品パレット４が
不良品パレット載置部２から不良品パレット収納庫１３
に搬送される。

【００１５】予備パレット載置部１１はチップが搭載さ
れていない空のパレット１６が載置されるものである。
この予備パレット載置部１１は１枚のパレット１６が載
置可能となっている。

【００１６】このような実施の形態では、予め、良品パ
レット載置部１と不良品パレット載置部２とに空のパレ
ット３、４を位置決めして固定する。チップ検査機５か
ら検査済のチップ１５を搭載したパレット６が投入部７
に投入される。このパレット６は投入部７で位置決めさ
れて固定される。投入部７に固定されたパレット６上の
チップ１５は、チップ移載ハンド９によって、良品は良
品パレット載置部１上のパレット３へ、不良品は不良品
パレット載置部２上のパレット４へ移載される。投入部
７上のパレット６に全てチップがなくなり空になると、
パレット６はパレット移載ハンド１０により予備パレッ
ト載置部１１に移載される。これらのチップ１５の移載
及びパレット６の移載はＸＹロボット８が駆動すること
によって行われる。

【００１７】その後、投入部７上の空いた場所に、チッ
プ検査機５から再び検査済のパレット６が投入され、位
置決めされて固定される。そして、上述と同様に、チッ
プが良品、不良品に分別されてそれぞれのパレット３，
４に移載される。以上のような作動によってパレット３
又はパレット４が満載になった場合、例えばパレット３
が満載になった場合は、パレット３は良品パレット３と
して良品パレット収納庫１２に移動されて収納され、パ
レット４が満載になった場合は、不良品パレット４とし
て不良品パレット収納庫１３に移動されて収納される。

【００１８】一方、良品パレット載置部１のパレット３
が満載になった場合、パレット移載ハンド１０は、投入
部７上のパレット６が空の場合はこのパレット６を良品
パレット載置部１に移載し、そうでない場合は予備パレ
ット載置部１１から空のパレット１６を良品パレット載
置部１に移載し、その後再び、良品チップ及び不良品チ
ップの移載動作を開始する。この作動は、不良品パレッ
ト載置部２のパレット４が満載になった場合も同様であ
る。

【００１９】なお、パレット３、４、６の合計チップ数
は常にパレット６の最大チップ収容数の１ないし２倍と
なるため、パレット６とパレット３及びパレット４のそ
れぞれの最大チップ収容数を同じとしておくことによ
り、良品パレット載置部１、不良品パレット載置部２及
び予備パレット載置部１１のいずれにもパレットがなく
なることはない。又、良品パレット載置部１及び不良品
パレット載置部２がほぼ同時にパレットが満載になる場
合でも、必ず予備パレット載置部１１上に空のパレット
が存在し、かつ投入部７のパレット６も空となるため、
パレットが足りなくなることはない。

【００２０】従って、この実施の形態では、段取り時の
作業を軽減させることができ、しかもチップの検査数が
増加しても装置を一時的に停止させることなく、連続的
にチップを排出することが可能となる。

【００２１】（実施の形態２）図２は本発明の実施の形
態２を示す。この実施の形態では、投入部７、良品パレ
ット載置部１及び不良品パレット載置部２にパレットの
位置決めを行う位置決め部材１４が設けられている。

【００２２】位置決め部材１４は投入部７、良品パレッ
ト載置部１及び不良品パレット載置部２のそれぞれに設
けたベルトコンベア１７、２９及び３０上に対して進退
自在なパレットストッパ１９と、シリンダ２１に連結さ
れ、シリンダ２１の駆動によって進退する押圧体２２
と、押圧体２２と反対側に設けられた基準板２０とを備
えている。

【００２３】パレットストッパ１９は対応したベルトコ
ンベア１７，２９，３０上に進出することにより、パレ
ットをその移動方向の先端で停止させる。押圧体２２は
シリンダ２１の駆動によってパレットを横方向から押圧
する。この押圧によってパレットは基準板２０に当接す
るため、その移動方向と直交する方向にパレットを位置
決めする。

【００２４】又、この実施の形態では、良品パレット収
納庫１２及び不良品パレット収納庫１３にマガジンラッ
ク２５，２６がそれぞれ設けられている。マガジンラッ
ク２５，２６はパレットを多段で収納可能となっている
と共に、それぞれのマガジンラック２５，２６がリフタ
２７，２８によって昇降可能となっている。これによ
り、良品パレット及び不良品パレットの収納数を増加さ
せることができる。

【００２５】図３は図２では図示を省略したＸＹロボッ
ト８を示す。図３はＸＹロボット８が投入部７にある状
態であり、チップ検査機５からのパレットを投入部７に
投入するベルトコンベア１７はモータ１８によって駆動
するようになっている。ＸＹロボット８は、Ｘ方向に延
びると共に、ベース２４上をＹ方向に移動するロボット
アーム８ａと、ロボットアーム８ａにＸ方向に移動可能
に取り付けられた上下動自在なハンドアーム３１，３２
とを備えており、各ハンドアーム３１，３２にチップ移
載ハンド９，パレット移載ハンド１０が取り付けられて
いる。なお、この実施の形態におけるチップ移載ハンド
９及びパレット移載ハンド１０はチャックすることによ
りチップやパレットの移載を行うが、吸着によってチッ
プやパレットを移載させる構造であっても良い。

【００２６】なお、この実施の形態におけるローダ部２
３は、図示を省略するが、良品パレット収納庫１２や不
良品パレット収納庫１３と同様に、パレットを複数段収
納可能なマガジンラック及びこのマガジンラックを昇降
させるリフタを備えるものである。

【００２７】次に、この実施の形態の作動を説明する。
まず、空のパレット２枚をローダ部２３に載置する。第
１のパレットはチップ検査機５を素通りし、モータ１８
により動作するベルトコンベア１７によって図２の右方
向に移動し、投入部７上のパレットストッパ１９によっ
て停止する。そして、シリンダ２１によって駆動する押
圧体２２により押され、基準板２０に当接し、この当接
によって位置決めされて固定され、パレット６となる。

【００２８】その後、パレット移載ハンド１０は所定位
置で下降してパレット６を把持した後、押圧体２２がパ
レット６を解放するのを待ってから上昇し、ＸＹロボッ
ト８の動作で良品パレット載置部１のベルトコンベア２
９上に移動した後、下降して、パレットをベルトコンベ
ア２９上に移載する。これにより図２におけるパレット
３となる。

【００２９】その後、パレット移載ハンド１０は上昇
し、投入部７のベルトコンベア１７上まで移動して待機
する。なお、良品パレット載置部１のパレット３は、同
載置部１の位置決め部材１４によって上述したと同様に
位置決めされて固定される。

【００３０】第２のパレットも上述した第１のパレット
と同様の作動によって投入部７まで搬送された後、不良
品パレット載置部２のベルトコンベア３０上に移載さ
れ、位置決めされて固定され、パレット４となる。

【００３１】次に、ローダ部２３に検査前のチップを搭
載したパレットを複数段セットする。このパレットは一
枚ずつチップ検査機５に送られ、チップが検査された後
に、ベルトコンベア１７によって投入部７まで移動さ
れ、位置決めされて固定される。この位置決めは上述し
たと同様に行われるものである。

【００３２】又、チップ検査機５はパレット内のいずれ
の位置が良品あるいは不良品であるかを識別し、その情
報を図示を省略したコントローラに出力する。チップ移
載ハンド９は、このコントローラの指令に基づいてパレ
ット６上の所定の位置で下降して、チップを把持した
後、上昇し、そのチップが良品ならば、ＸＹロボット８
の動作により良品パレット載置部１のパレット３上に移
動してチップを解放し、良品チップをパレット３に移載
する。不良品の場合には、不良品パレット載置部２のパ
レット４上に移動してチップを解放し、不良品チップを
パレット４に移載する。その後、チップ移載ハンド９は
ＸＹロボット８の動作で、投入部７のパレット６上の所
定位置に戻り、上記動作を繰り返す。

【００３３】以上の作動によってパレット６上にチップ
がなくなると、パレット移載ハンド１０が所定位置で下
降して、パレット６を把持する。そして、パレット移載
ハンド１０は位置決め部材１４の押圧体２２からパレッ
ト６が解放された後に上昇し、ＸＹロボット８の動作で
予備パレット載置部１１上に移動し、下降して、パレッ
トを解放する。これにより、空のパレットが予備パレッ
ト載置部１１に供給される。その後、パレット移載ハン
ド１０は上昇し、再びＸＹロボット８の動作で移動して
投入部７の所定位置に戻る。

【００３４】以上の作動によって投入部７が空いてお
り、チップ検査機５から次のチップ検査済みパレットが
ベルトコンベア１７によって送られて位置決めされる。
チップ移載ハンド９はこのパレット６上のチップを上述
したと同様の作動によって、良品、不良品に振り分けて
パレット３及び４に移載する。この移載により、良品パ
レット載置部１のパレット３が良品で満載されると、そ
のパレットストッパ１９がベルトコンベア２９上から退
避する。その後、シリンダ２１によって駆動する押圧体
２２がパレット３を解放し、図示しないモータの動作に
よってベルトコンベア２９が駆動して、パレット３を図
２の右方向に搬送する。

【００３５】ベルトコンベア２９の搬送先は良品パレッ
ト収納庫１２であり、同収納庫１２のマガジンラック２
５がリフタ２７によって空いている所定の高さに静止し
ている。ベルトコンベア２９によって搬送されたパレッ
ト３はこのマガジンラック２５に収納される。そして、
マガジンラック２５はリフタ２７によって次の空いた所
定位置に移動する。これにより、良品パレット載置部１
はパレットのない空いた状態となり、この空いた位置に
はパレット６が空になっていれば、そのパレット６を、
そうでなければ予備パレット載置部１１上のパレット
を、パレット移載ハンド１０の動作により移載し、位置
決めして固定する。

【００３６】不良品パレット載置部２のパレット４が不
良品で満載された場合も、以上と同様の作動によって、
不良品パレット収納庫１３のマガジンラック２６に収容
され、そのベルトコンベア３０上には空パレットが移載
されて、位置決め及び固定される。

【００３７】以上の一連の動作を繰り返すことにより、
ローダ部２３にセットされたパレット上に載せられた未
検査チップは順に検査され、良品、不良品に分けられた
後、良品パレット収納庫１２のマガジンラック２５又は
不良品パレット収納庫１３のマガジンラック２６に収容
される。

【００３８】このような実施の形態によれば、段取り時
に、作業者はローダ部２３の１箇所のみにパレットを供
給するだけで良く、また検査後も２箇所のマガジンラッ
ク２５，２６からパレットを回収すれば良い。また検査
チップ数が増加しても、ローダ部２３にパレットを追加
していけば良いだけであり、このため、装置を停止させ
る必要がなくなる。さらに、良品又は不良品に分別され
たパレットを取り出す際も、チップ検査機５や良品パレ
ット載置部１や不良品パレット載置部２の作動を停止さ
せる必要がないので、作業効率が向上する。

【００３９】（実施の形態３）図４及び図５は実施の形
態３を示す。この実施の形態では、良品パレット載置部
１及び不良品パレット載置部２に対して、良品パレット
収納庫１２及び不良品パレット収納庫１３の機能を組み
合わせるものである。

【００４０】すなわち、図５に示すように、良品パレッ
ト載置部１及び不良品パレット載置部２には、ガイド３
７がベース２４を貫通するように上下方向に設けられて
いる。ガイド３７は図４に示すように、各載置部１，２
に載置されたパレット３，４の４隅部分に当接するよう
に、各載置部１，２にそれぞれ４本が設けられるもので
あり、各載置部１，２ではガイド３７によってパレット
３，４が精度良く位置決めされると共に、パレット３，
４はそれぞれのガイド３７によって上下方向に案内され
るようになっている。

【００４１】又、各載置部１，２のガイド３７の内側に
は、図５に示すように、パレット３，４が載置される受
け板３８が設けられている。受け板３８はねじロッド３
６を介してリフタ３９に連結されており、リフタ３９の
駆動によって昇降作動が行われる。さらに、ガイド３７
の下端部分には、くさび状のストッパ４１が設けられて
いる。ストッパ４１はシリンダ４０に連結されており、
シリンダ４０の作動によって受け板３８方向に進退する
ことができる。

【００４２】なお、この実施の形態では、ＸＹロボット
８、チップ移載ハンド９及びパレット移載ハンド１０は
実施の形態１及び２と同様であるため、図示を省略す
る。

【００４３】次に、この実施の形態の作動を説明する
が、良品パレット載置部１及び不良品パレット載置部２
の作動だけが実施の形態１及び２と異なり、その他の作
動は実施の形態１及び２と同様のため、その説明を省略
する。

【００４４】パレット移載ハンド１０によって良品パレ
ット載置部１に運ばれた空パレット３は、そのガイド３
７によって必要な精度に位置決めされ、受け板３８上に
載置される。このパレット３が良品チップで満載になっ
たとき、リフタ３９の作動によって受け板３８がパレッ
トの厚さ１枚分だけ下降し、再び新たな空パレットがパ
レット移載ハンド１０によって良品パレット載置部１に
運ばれ、前のパレット上に重ねて置かれる。この作用を
繰り返して良品の載ったパレットを順に収納していく。

【００４５】良品パレット載置部１及び不良品パレット
載置部２がいっぱいになって、収納済みのパレットを動
作途中で取り出す場合、シリンダ４０によってくさび状
のストッパ４１を受け板３８方向に突出し、ストッパ４
１よりも上方に位置しているパレットを保持する。そし
て、作業者がストッパ４１よりも下方のパレットを取り
出す。この取り出しの後、受け板３８はリフタ３９の作
動により、くさび状のストッパ４１の位置まで上昇し、
その後、シリンダ４０の作動でストッパ４１がパレット
を解放し、再び定常動作を行う。不良品パレット載置部
２の作動もこの良品パレット載置部１の作動と同様であ
る。なお、この実施の形態では、パレットが重箱状に積
み重ね可能なものを使用するのが望ましい。

【００４６】このような実施の形態では、べ一ス２４の
下部空間を利用して良品パレット載置部１及び不良品パ
レット載置部２にパレットの収納機能を組み込んでいる
ため、構造が簡単となると共に、装置の小型化、省スペ
ース化を図ることができる。

【００４７】なお、本発明は以上の実施の形態に限定さ
れることなく、種々変更が可能である。例えば、良品パ
レット収納庫１２及び不良品パレット収納庫１３は、パ
レットを多段で収納することなく、１枚のパレットを収
納する１段構造であっても良い。又、パレットをベルト
コンベアで搬送することなく、ロボットその他の手段に
よって搬送しても良い。

【００４８】以上の説明から、本発明は以下の発明を包
含するものである。

【００４９】（１）チップ検査機で検査したチップの良
品／不良品を仕分けして排出するチップ排出装置におい
て、上記チップ検査機で検査したチップを搭載した良品
／不良品混在パレットを位置決め固定する投入部と、良
品パレットを位置決め固定する良品パレット載置部と、
この良品パレット載置部から搬出される良品パレットを
収納する良品パレット収納庫と、不良品パレットを位置
決め固定する不良品パレット載置部と、この不良品パレ
ット載置部から搬出される不良品パレットを収納する不
良品パレット収納庫と、予備用のパレットを載置する予
備パレット載置部と、上記投入部、良品パレット載置部
及び不良品パレット載置部の間で上記チップを移載する
チップ移載手段と、上記投入部、良品パレット載置部、
不良品パレット載置部及び予備パレット載置部の間で上
記パレットを移載するパレット移載手段と、を有するこ
とを特徴とするチップ検査機のチップ排出装置。

【００５０】この発明では、段取り時の作業を軽減させ
ることができると共に、チップの検査数が増加しても装
置を一時的に停止させることなく、連続的にチップを排
出することが可能となる。

【００５１】（２）上記良品パレット収納庫及び／又は
不良品パレット収納庫は、複数のパレットが収納可能と
なっていることを特徴とする上記（１）項記載のチップ
検査機のチップ排出装置。

【００５２】この発明では、複数のパレットの収納が容
易となる。

【００５３】（３）上記良品パレット収納庫及び／又は
不良品パレット収納庫が、上記良品パレット載置部及び
／又は不良品パレット載置部の下方に設けられているこ
とを特徴とする上記（１）項記載のチップ検査機のチッ
プ排出装置。

【００５４】この発明では、良品パレット収納庫及び不
良品パレット収納庫のためのスペースが不要となるた
め、小型化することができる。

【００５５】（４）上記チップ移載手段は、上記チップ
を把持するハンド部と、このハンド部を直交する２方向
に駆動する駆動手段とから構成されていることを特徴と
する上記（１）項記載のチップ検査機のチップ排出装
置。

【００５６】この発明では、ハンド部がチップを把持
し、この把持状態で駆動手段が駆動することにより、チ
ップをパレット間で確実に移載することができる。

【００５７】（５）上記パレット移載手段は、上記パレ
ットを把持するハンド部と、このハンド部を直交する２
方向に駆動する駆動手段から構成されていることを特徴
とする上記（１）項記載のチップ検査機のチップ排出装
置。

【００５８】この発明では、ハンド部がパレットを把持
し、この把持状態で駆動手段が駆動することにより、投
入部、良品パレット載置部、不良品パレット載置部及び
予備パレット載置部の間でパレットを確実に移載するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１の平面図である。

【図２】実施の形態２の平面図である。

【図３】ＸＹロボットの正面図である。

【図４】実施の形態３の平面図である。

【図５】実施の形態３における良品パレット載置部及び
不良品パレット載置部の断面図である。

【符号の説明】

１ 良品パレット載置部 ２ 不良品パレット載置部 ５ チップ検査機 ７ 投入部 ９ チップ移載ハンド １０ パレット移載ハンド １１ 予備パレット載置部 １２ 良品パレット収納庫 １３ 不良品パレット収納庫

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 チップ検査機で検査したチップの良品／
   不良品を仕分けして排出するチップ排出装置において、 上記チップ検査機で検査したチップを搭載した良品／不
   良品混在パレットを位置決め固定する投入部と、 良品パレットを位置決め固定する良品パレット載置部
   と、 上記良品パレットを複数収納する良品パレット収納庫
   と、 不良品パレットを位置決め固定する不良品パレット載置
   部と、 上記不良品パレットを複数収納する不良品パレット収納
   庫と、 予備用のパレットを載置する予備パレット載置部と、 上記投入部、良品パレット載置部及び不良品パレット載
   置部の間でチップを移載するチップ移載手段と、 上記投入部、良品パレット載置部、不良品パレット載置
   部及び予備パレット載置部の間でパレットを移載するパ
   レット移載手段と、 を備えていることを特徴とするチップ検査機のチップ排
   出装置。