JP2000258721A - プレーナー型ガルバノミラー - Google Patents
プレーナー型ガルバノミラーInfo
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Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 プレーナー型ガルバノミラーを携帯用装置
に使用することができなかった。本発明は衝撃によりト
ーションバーが折れるのを防ぐことを目的としている。 【解決手段】半導体基板に、平板状の可動板と該可動板
を半導体基板に対して基板上下方向に揺動可能に軸支す
るトーションバーとを一体形成し、前記可動板の上面周
縁部に通電により磁界を発生する平面コイルを敷設し、
該平面コイルで囲まれる上面中央部に反射鏡を設ける一
方、半導体基板の下面に下側絶縁基板を設け、半導体基
板の上面には少なくとも可動板上方を開放した上側絶縁
基板を設け、前記トーションバーの軸方向と平行な可動
板の対辺の平面コイル部に磁界を作用させる互いに対を
なす永久磁石を前記上下絶縁基板に固定する構成とした
プレーナー型ガルバノミラーにおいて、上下絶縁基板と
可動板の間に可動板の上下移動を規制する部材を設ける
に使用することができなかった。本発明は衝撃によりト
ーションバーが折れるのを防ぐことを目的としている。 【解決手段】半導体基板に、平板状の可動板と該可動板
を半導体基板に対して基板上下方向に揺動可能に軸支す
るトーションバーとを一体形成し、前記可動板の上面周
縁部に通電により磁界を発生する平面コイルを敷設し、
該平面コイルで囲まれる上面中央部に反射鏡を設ける一
方、半導体基板の下面に下側絶縁基板を設け、半導体基
板の上面には少なくとも可動板上方を開放した上側絶縁
基板を設け、前記トーションバーの軸方向と平行な可動
板の対辺の平面コイル部に磁界を作用させる互いに対を
なす永久磁石を前記上下絶縁基板に固定する構成とした
プレーナー型ガルバノミラーにおいて、上下絶縁基板と
可動板の間に可動板の上下移動を規制する部材を設ける
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばレーザー光
のスキャニングシステム等に適用するプレーナー型ガル
バノミラーに関するものである。
のスキャニングシステム等に適用するプレーナー型ガル
バノミラーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ガルバノミラーは、レーザー光を変更操
作するレーザースキャナ等に利用されるもので、その原
理は、磁界中に配置した可動コイルに電流を流すと電流
と磁束とに関連して電磁力が発生して電流に比例した回
転力が生じる。この回転力と可動コイル保持部材のバネ
力とが平衡する角度まで可動コイルが回転し、この可動
コイルを介して指針を振らせて電流の有無や大小を検出
するというガルバノメータの原理を利用したもので、可
動コイルと一体に回転する軸（可動コイル保持部材）
に、前記指針の代わりに反射鏡を設けて構成される。
作するレーザースキャナ等に利用されるもので、その原
理は、磁界中に配置した可動コイルに電流を流すと電流
と磁束とに関連して電磁力が発生して電流に比例した回
転力が生じる。この回転力と可動コイル保持部材のバネ
力とが平衡する角度まで可動コイルが回転し、この可動
コイルを介して指針を振らせて電流の有無や大小を検出
するというガルバノメータの原理を利用したもので、可
動コイルと一体に回転する軸（可動コイル保持部材）
に、前記指針の代わりに反射鏡を設けて構成される。
【０００３】小型のガルバノミラーとして、半導体を使
用したものが提案されている。例えば、特開平７−１７
５００５号公報には、プレーナ型ガルバノミラーの構造
と製法が開示されている。
用したものが提案されている。例えば、特開平７−１７
５００５号公報には、プレーナ型ガルバノミラーの構造
と製法が開示されている。
【０００４】その構造は、半導体基板に、平板状の可動
板と該可動板を半導体基板に対して基板上下方向に揺動
可能に軸支するトーションバーとを一体形成し、前記可
動板の上面周縁部に通電により磁界を発生する平面コイ
ルを敷設し、該平面コイルで囲まれる上面中央部に反射
鏡を設ける一方、半導体基板の下面に下側絶縁基板を設
け、半導体基板の上面には少なくとも可動板上方を開放
した上側絶縁基板を設け、前記トーションバーの軸方向
と平行な可動板の対辺の平面コイル部に磁界を作用させ
る互いに対をなす永久磁石を前記上下絶縁基板に固定す
る構成としたものである。
板と該可動板を半導体基板に対して基板上下方向に揺動
可能に軸支するトーションバーとを一体形成し、前記可
動板の上面周縁部に通電により磁界を発生する平面コイ
ルを敷設し、該平面コイルで囲まれる上面中央部に反射
鏡を設ける一方、半導体基板の下面に下側絶縁基板を設
け、半導体基板の上面には少なくとも可動板上方を開放
した上側絶縁基板を設け、前記トーションバーの軸方向
と平行な可動板の対辺の平面コイル部に磁界を作用させ
る互いに対をなす永久磁石を前記上下絶縁基板に固定す
る構成としたものである。
【０００５】さらに、前記可動板が、第１のトーション
バーで半導体基板に対して軸支される枠状の外側可動板
と、前記第１のトーションバーと軸方向が直交する第２
のトーションバーで前記外側可動板の内側に軸支される
内側可動板とからなり、前記外側可動板の上面に平面コ
イルを設け、前記内側可動板の上面周縁部に平面コイル
を設けると共に、当該平面コイルで囲まれた内側可動板
中央部に前記反射鏡を設けたプレーナ型ガルバノミラー
が開示されている。
バーで半導体基板に対して軸支される枠状の外側可動板
と、前記第１のトーションバーと軸方向が直交する第２
のトーションバーで前記外側可動板の内側に軸支される
内側可動板とからなり、前記外側可動板の上面に平面コ
イルを設け、前記内側可動板の上面周縁部に平面コイル
を設けると共に、当該平面コイルで囲まれた内側可動板
中央部に前記反射鏡を設けたプレーナ型ガルバノミラー
が開示されている。
【０００６】図１は前記従来技術によるプレーナ型ガル
バノミラーの構成を示す分解斜視図である。プレーナー
型ガルバノミラー１では、シリコン基板２の内側可動板
５Ａに、全反射ミラー８を囲むようにして、枠状に薄膜
の永久磁石９を形成してある。内側可動板５Ａと外側可
動板５Ｂはシリコン基板２で一体形成されたトーション
バー６Ａ，６Ａで接続している。外側可動板５Ｂはシリ
コン基板２の枠状部とトーションバー６Ｂ，６Ｂで接続
している。一方、可動板５の側方周囲のシリコン基板２
上面には、外側可動板５Ｂを駆動するための平面コイル
７Ｂ，７Ｂと、内側可動板５Ａを駆動するための平面コ
イル７Ａ，７Ａが相対する位置に形成されている。ま
た、シリコン基板２の上下面に接合する上側及び下側ガ
ラス基板３，４は、それぞれ、可動板５の揺動空間を確
保するための溝３Ａ，４Ａを設けた構造である。
バノミラーの構成を示す分解斜視図である。プレーナー
型ガルバノミラー１では、シリコン基板２の内側可動板
５Ａに、全反射ミラー８を囲むようにして、枠状に薄膜
の永久磁石９を形成してある。内側可動板５Ａと外側可
動板５Ｂはシリコン基板２で一体形成されたトーション
バー６Ａ，６Ａで接続している。外側可動板５Ｂはシリ
コン基板２の枠状部とトーションバー６Ｂ，６Ｂで接続
している。一方、可動板５の側方周囲のシリコン基板２
上面には、外側可動板５Ｂを駆動するための平面コイル
７Ｂ，７Ｂと、内側可動板５Ａを駆動するための平面コ
イル７Ａ，７Ａが相対する位置に形成されている。ま
た、シリコン基板２の上下面に接合する上側及び下側ガ
ラス基板３，４は、それぞれ、可動板５の揺動空間を確
保するための溝３Ａ，４Ａを設けた構造である。
【０００７】外側可動板５Ｂ駆動用平面コイル７Ｂ，７
Ｂに電流を流すと第１のトーションバー６Ｂ，６Ｂを支
点として外側可動板５Ｂが電流方向に応じて回転する。
この際に内側可動板５Ａも外側可動板５Ｂと一体に回転
する。一方、平面コイル７Ａに電流を流すと共に、内側
可動板５Ａ駆動用平面コイル７Ａ，７Ａにも電流を流せ
ば外側可動板５Ｂの回転方向と直角方向に、内側可動板
５Ａが第２のトーションバー６Ａ，６Ａを支点として回
転する。この場合には、全反射ミラー８でレーザー光を
偏向走査すると２次元的な走査が行なえる。
Ｂに電流を流すと第１のトーションバー６Ｂ，６Ｂを支
点として外側可動板５Ｂが電流方向に応じて回転する。
この際に内側可動板５Ａも外側可動板５Ｂと一体に回転
する。一方、平面コイル７Ａに電流を流すと共に、内側
可動板５Ａ駆動用平面コイル７Ａ，７Ａにも電流を流せ
ば外側可動板５Ｂの回転方向と直角方向に、内側可動板
５Ａが第２のトーションバー６Ａ，６Ａを支点として回
転する。この場合には、全反射ミラー８でレーザー光を
偏向走査すると２次元的な走査が行なえる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】シリコン基板２から形
成されたトーションバー６Ａ，６Ｂはその太さにより可
動板５Ａ，５Ｂの回転速度（振動周波数）が決定される
が、あまり高い固有振動数では使用できず、トーション
バー６Ａ，６Ｂは細いものでなければならない。例え
ば、断面の一辺が５０ミクロンメートルの正方形とな
る。図からも分かるように、トーションバーの太さに対
して可動板が大きいため、可動板に上下方向に衝撃が加
わるとトーションバーが折れ易い。このため、プレーナ
ー型ガルバノミラーを携帯用装置に使用することができ
なかった。本発明は衝撃によりトーションバーが折れる
のを防ぐことを目的としている。
成されたトーションバー６Ａ，６Ｂはその太さにより可
動板５Ａ，５Ｂの回転速度（振動周波数）が決定される
が、あまり高い固有振動数では使用できず、トーション
バー６Ａ，６Ｂは細いものでなければならない。例え
ば、断面の一辺が５０ミクロンメートルの正方形とな
る。図からも分かるように、トーションバーの太さに対
して可動板が大きいため、可動板に上下方向に衝撃が加
わるとトーションバーが折れ易い。このため、プレーナ
ー型ガルバノミラーを携帯用装置に使用することができ
なかった。本発明は衝撃によりトーションバーが折れる
のを防ぐことを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】半導体基板に、平板状の
可動板と該可動板を半導体基板に対して基板上下方向に
揺動可能に軸支するトーションバーとを一体形成し、前
記可動板の上面周縁部に通電により磁界を発生する平面
コイルを敷設し、該平面コイルで囲まれる上面中央部に
反射鏡を設ける一方、半導体基板の下面に下側絶縁基板
を設け、半導体基板の上面には少なくとも可動板上方を
開放した上側絶縁基板を設け、前記トーションバーの軸
方向と平行な可動板の対辺の平面コイル部に磁界を作用
させる互いに対をなす永久磁石を前記上下絶縁基板に固
定する構成としたプレーナー型ガルバノミラーにおい
て、上下絶縁基板と可動板の間に可動板の上下移動を規
制する部材を設ける。
可動板と該可動板を半導体基板に対して基板上下方向に
揺動可能に軸支するトーションバーとを一体形成し、前
記可動板の上面周縁部に通電により磁界を発生する平面
コイルを敷設し、該平面コイルで囲まれる上面中央部に
反射鏡を設ける一方、半導体基板の下面に下側絶縁基板
を設け、半導体基板の上面には少なくとも可動板上方を
開放した上側絶縁基板を設け、前記トーションバーの軸
方向と平行な可動板の対辺の平面コイル部に磁界を作用
させる互いに対をなす永久磁石を前記上下絶縁基板に固
定する構成としたプレーナー型ガルバノミラーにおい
て、上下絶縁基板と可動板の間に可動板の上下移動を規
制する部材を設ける。
【００１０】前記可動板が、第１のトーションバーで半
導体基板に対して軸支される枠状の外側可動板と、前記
第１のトーションバーと軸方向が直交する第２のトーシ
ョンバーで前記外側可動板の内側に軸支される内側可動
板とからなり、前記外側可動板の上面に平面コイルを設
け、前記内側可動板の上面周縁部に平面コイルを設ける
と共に、当該平面コイルで囲まれた内側可動板中央部に
前記反射鏡を設けたプレーナー型ガルバノミラーにおい
て、上下絶縁基板と各可動板の間に各可動板の上下移動
を規制する部材を設ける。
導体基板に対して軸支される枠状の外側可動板と、前記
第１のトーションバーと軸方向が直交する第２のトーシ
ョンバーで前記外側可動板の内側に軸支される内側可動
板とからなり、前記外側可動板の上面に平面コイルを設
け、前記内側可動板の上面周縁部に平面コイルを設ける
と共に、当該平面コイルで囲まれた内側可動板中央部に
前記反射鏡を設けたプレーナー型ガルバノミラーにおい
て、上下絶縁基板と各可動板の間に各可動板の上下移動
を規制する部材を設ける。
【００１１】半導体基板に、平板状の可動板と該可動板
を半導体基板に対して基板上下方向に揺動可能に軸支す
るトーションバーとを一体形成し、前記可動板の上面周
縁部に通電により磁界を発生する平面コイルを敷設し、
該平面コイルで囲まれる上面中央部に反射鏡を設ける一
方、半導体基板の下面に台座を設け、該台座を下側絶縁
基板に固定し、半導体基板の上面には少なくとも可動板
上方を開放した上側絶縁基板を設け、前記トーションバ
ーの軸方向と平行な可動板の対辺の平面コイル部に磁界
を作用させる互いに対をなす永久磁石を前記上下絶縁基
板間に固定する構成としたプレーナー型ガルバノミラー
において、上下絶縁基板と可動板の間に可動板の上下移
動を規制する部材を設ける。前記部材の一方は、少なく
とも上下絶縁基板の一方と一体に形成する。
を半導体基板に対して基板上下方向に揺動可能に軸支す
るトーションバーとを一体形成し、前記可動板の上面周
縁部に通電により磁界を発生する平面コイルを敷設し、
該平面コイルで囲まれる上面中央部に反射鏡を設ける一
方、半導体基板の下面に台座を設け、該台座を下側絶縁
基板に固定し、半導体基板の上面には少なくとも可動板
上方を開放した上側絶縁基板を設け、前記トーションバ
ーの軸方向と平行な可動板の対辺の平面コイル部に磁界
を作用させる互いに対をなす永久磁石を前記上下絶縁基
板間に固定する構成としたプレーナー型ガルバノミラー
において、上下絶縁基板と可動板の間に可動板の上下移
動を規制する部材を設ける。前記部材の一方は、少なく
とも上下絶縁基板の一方と一体に形成する。
【００１２】
【発明の実施の形態】図２は本発明の第一実施形態を示
す分解斜視図である。従来技術と異なるのはシリコン基
板２の上下面に接合する絶縁基板（ガラス基板）１３、
１４の構造である。絶縁基板１４の溝１４Ａには、可動
板５Ａ，５Ｂに衝撃が加わった場合にトーションバー６
Ａ，６Ｂが破損するのを防止する部材１４Ｂ，１４Ｃ，
１４Ｄが設けられている（本実施形態ではガラス基板１
４と一体に形成されている）。
す分解斜視図である。従来技術と異なるのはシリコン基
板２の上下面に接合する絶縁基板（ガラス基板）１３、
１４の構造である。絶縁基板１４の溝１４Ａには、可動
板５Ａ，５Ｂに衝撃が加わった場合にトーションバー６
Ａ，６Ｂが破損するのを防止する部材１４Ｂ，１４Ｃ，
１４Ｄが設けられている（本実施形態ではガラス基板１
４と一体に形成されている）。
【００１３】部材１４Ｃ，１４Ｄはトーションバー６Ｂ
を保護するためのものであり、トーションバー６Ｂと外
側可動板５Ｂの回転中心付近に対応して配置されてい
る。部材１４Ｂはトーションバー６Ａを保護するための
ものであり、内側可動板５Ａの中心部付近に対応して配
置されている。図示していないが、ガラス基板１３にも
溝部に同様に部材が配置されている。
を保護するためのものであり、トーションバー６Ｂと外
側可動板５Ｂの回転中心付近に対応して配置されてい
る。部材１４Ｂはトーションバー６Ａを保護するための
ものであり、内側可動板５Ａの中心部付近に対応して配
置されている。図示していないが、ガラス基板１３にも
溝部に同様に部材が配置されている。
【００１４】可動板に垂直方向の過大な衝撃が加わった
場合、撓んだシリコン基板２の部位が部材１４Ｂ，１４
Ｃ，１４Ｄに当接し、破損に至る撓みを緩衝することが
できる。本実施形態ではガラス基板１３の溝中央に設け
た保護部材により全反射ミラー８の中央部が使用できな
くなり、全反射ミラー８の周縁部で使用しなければなら
ない欠点を有している。
場合、撓んだシリコン基板２の部位が部材１４Ｂ，１４
Ｃ，１４Ｄに当接し、破損に至る撓みを緩衝することが
できる。本実施形態ではガラス基板１３の溝中央に設け
た保護部材により全反射ミラー８の中央部が使用できな
くなり、全反射ミラー８の周縁部で使用しなければなら
ない欠点を有している。
【００１５】図３は本発明の第２実施形態を示す正面断
面図（Ａ）、上面図（Ｂ）および側面断面図（Ｃ）であ
る。シリコン基板２０に一体形成された可動板２１の上
面の中央部にはミラー２３が形成されており、周縁部に
は平面コイル２２が形成されている。可動板２１はシリ
コン基板２０に中抜き状態で形成され、シリコン基板２
０より一体に形成されたトーションバー２４、２５によ
り保持されている。シリコン基板２０はベース板３０の
上面に固定された台座３２の上面に固定されている。上
面図（Ｂ）においてシリコン基板２０の上下には永久磁
石２６、２７が配置され、ベース板の周縁部にはヨーク
２８が載置されている。上板ガラス２９に形成された溝
部２９Ａには、シリコン基板２０の上面中央部に近接す
る保護部材２９Ｂがミラー２３部を避けて配置されてい
る（本実施形態では上板ガラスと一体に形成されている
が別部材で形成して固定してもよい）。ベース板３０の
中央には、保護部材２９Ｂに相対する位置（ミラー部下
部にも設けてよい）に保護部材３１が可動板２１を挟ん
で（接触はしていないが）配置されている。保護部材３
１はベース板と一体でも別部材でも差し支えはないが、
可動板２１下面と保護部材３１の上面は近接して配置
し、且つ可動板２１が駆動されて回転する際に接触しな
い形状でなければならない。本発明では図示のように面
取りされている。
面図（Ａ）、上面図（Ｂ）および側面断面図（Ｃ）であ
る。シリコン基板２０に一体形成された可動板２１の上
面の中央部にはミラー２３が形成されており、周縁部に
は平面コイル２２が形成されている。可動板２１はシリ
コン基板２０に中抜き状態で形成され、シリコン基板２
０より一体に形成されたトーションバー２４、２５によ
り保持されている。シリコン基板２０はベース板３０の
上面に固定された台座３２の上面に固定されている。上
面図（Ｂ）においてシリコン基板２０の上下には永久磁
石２６、２７が配置され、ベース板の周縁部にはヨーク
２８が載置されている。上板ガラス２９に形成された溝
部２９Ａには、シリコン基板２０の上面中央部に近接す
る保護部材２９Ｂがミラー２３部を避けて配置されてい
る（本実施形態では上板ガラスと一体に形成されている
が別部材で形成して固定してもよい）。ベース板３０の
中央には、保護部材２９Ｂに相対する位置（ミラー部下
部にも設けてよい）に保護部材３１が可動板２１を挟ん
で（接触はしていないが）配置されている。保護部材３
１はベース板と一体でも別部材でも差し支えはないが、
可動板２１下面と保護部材３１の上面は近接して配置
し、且つ可動板２１が駆動されて回転する際に接触しな
い形状でなければならない。本発明では図示のように面
取りされている。
【００１６】可動板２１に形成された平面コイル２２に
通電すると、可動板２１はトーションバー２４、２５を
回転中心として回転する。側面断面図（Ｃ）に示すよう
に、可動板２１は上下に約２０度回転可能である。ベー
ス板３０を貫通して６本のピンが植設されており、ピン
の上面とシリコン基板に形成されたパターンとをワイヤ
ーボンディングにより接続している。
通電すると、可動板２１はトーションバー２４、２５を
回転中心として回転する。側面断面図（Ｃ）に示すよう
に、可動板２１は上下に約２０度回転可能である。ベー
ス板３０を貫通して６本のピンが植設されており、ピン
の上面とシリコン基板に形成されたパターンとをワイヤ
ーボンディングにより接続している。
【００１７】
【発明の効果】可動板の上下面に近接して保護部材を配
置したので、衝撃によりトーションバーが破損するのを
防止することができ、プレーナー型ガルバノミラーを携
帯用に使用することが可能になった。ポータブルの表示
装置や、レーザーポインターへの応用ができた。
置したので、衝撃によりトーションバーが破損するのを
防止することができ、プレーナー型ガルバノミラーを携
帯用に使用することが可能になった。ポータブルの表示
装置や、レーザーポインターへの応用ができた。
【図１】従来技術によるプレーナ型ガルバノミラーの構
成を示す分解斜視図
成を示す分解斜視図
【図２】本発明の第一実施形態を示す分解斜視図
【図３】本発明の第２実施形態を示す正面断面図
（Ａ）、上面図（Ｂ）および側面断面図（Ｃ）
（Ａ）、上面図（Ｂ）および側面断面図（Ｃ）
１ プレーナー型ガルバノミラー ２ シリコン基板 ３ 上側ガラス基板 ３Ａ 溝 ４ 下側ガラス基板 ４Ａ 溝 ５ 可動板 ５Ａ 内側可動板 ５Ｂ 外側可動板 ６Ａ トーションバー ６Ｂ トーションバー ７Ａ 平面コイル ７Ｂ 平面コイル ８ 全反射ミラー ９ 永久磁石 １３ 絶縁基板（ガラス基板） １４ 絶縁基板（ガラス基板） １４Ａ 溝 １４Ｂ 部材 １４Ｃ 部材 １４Ｄ 部材 ２０ シリコン基板 ２１ 可動板 ２２ 平面コイル ２３ ミラー ２４ トーションバー ２５ トーションバー ２６ 永久磁石 ２７ 永久磁石 ２８ ヨーク ２９ 上板ガラス ２９Ａ 溝部 ２９Ｂ 保護部材 ３０ ベース板 ３１ 保護部材 ３２ 台座 ３３ ピン
Claims (4)
- 【請求項１】 半導体基板に、平板状の可動板と該可動
板を半導体基板に対して基板上下方向に揺動可能に軸支
するトーションバーとを一体形成し、前記可動板の上面
周縁部に通電により磁界を発生する平面コイルを敷設
し、該平面コイルで囲まれる上面中央部に反射鏡を設け
る一方、半導体基板の下面に下側絶縁基板を設け、半導
体基板の上面には少なくとも可動板上方を開放した上側
絶縁基板を設け、前記トーションバーの軸方向と平行な
可動板の対辺の平面コイル部に磁界を作用させる互いに
対をなす永久磁石を前記上下絶縁基板に固定する構成と
したプレーナー型ガルバノミラーにおいて、上下絶縁基
板と可動板の間に可動板の上下移動を規制する部材を設
けたことを特徴とするプレーナー型ガルバノミラー。 - 【請求項２】 前記可動板が、第１のトーションバーで
半導体基板に対して軸支される枠状の外側可動板と、前
記第１のトーションバーと軸方向が直交する第２のトー
ションバーで前記外側可動板の内側に軸支される内側可
動板とからなり、前記外側可動板の上面に平面コイルを
設け、前記内側可動板の上面周縁部に平面コイルを設け
ると共に、当該平面コイルで囲まれた内側可動板中央部
に前記反射鏡を設けた請求項１記載のプレーナー型ガル
バノミラーにおいて、上下絶縁基板と各可動板の間に各
可動板の上下移動を規制する部材を設けたことを特徴と
するプレーナー型ガルバノミラー。 - 【請求項３】 半導体基板に、平板状の可動板と該可動
板を半導体基板に対して基板上下方向に揺動可能に軸支
するトーションバーとを一体形成し、前記可動板の上面
周縁部に通電により磁界を発生する平面コイルを敷設
し、該平面コイルで囲まれる上面中央部に反射鏡を設け
る一方、半導体基板の下面に台座を設け、該台座を下側
絶縁基板に固定し、半導体基板の上面には少なくとも可
動板上方を開放した上側絶縁基板を設け、前記トーショ
ンバーの軸方向と平行な可動板の対辺の平面コイル部に
磁界を作用させる互いに対をなす永久磁石を前記上下絶
縁基板間に固定する構成としたプレーナー型ガルバノミ
ラーにおいて、上下絶縁基板と可動板の間に可動板の上
下移動を規制する部材を設けたことを特徴とするプレー
ナー型ガルバノミラー。 - 【請求項４】 前記部材の一方は、少なくとも上下絶縁
基板の一方と一体であることを特徴とする請求項１、
２、又は３記載のプレーナー型ガルバノミラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11062463A JP2000258721A (ja) | 1999-03-10 | 1999-03-10 | プレーナー型ガルバノミラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11062463A JP2000258721A (ja) | 1999-03-10 | 1999-03-10 | プレーナー型ガルバノミラー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000258721A true JP2000258721A (ja) | 2000-09-22 |
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ID=13200940
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11062463A Pending JP2000258721A (ja) | 1999-03-10 | 1999-03-10 | プレーナー型ガルバノミラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000258721A (ja) |
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- 1999-03-10 JP JP11062463A patent/JP2000258721A/ja active Pending
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