JP2000260140A

JP2000260140A - 磁気ヘッド位置決め機構及びその駆動方式

Info

Publication number: JP2000260140A
Application number: JP11061606A
Authority: JP
Inventors: Motoyasu Utsunomiya; 基恭宇都宮
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1999-03-09
Filing date: 1999-03-09
Publication date: 2000-09-22
Anticipated expiration: 2019-03-09
Also published as: JP3771076B2

Abstract

(57)【要約】【課題】高速・高精度な磁気ヘッド位置決め機構およ
びその駆動方法を提供する。【解決手段】磁気ヘッド１を搭載したスライダ２を支
持する磁気ヘッド支持機構５と磁気ヘッド支持機構５を
保持する磁気ヘッド支持機構保持部３０を有するファイ
ンアクチュエータ部６、及びファインアクチュエータ部
６と接合されると共に、揺動可能に軸支されたホルダー
アーム１１を有するコースアクチュエータ部７とからな
り、コースアクチュエータ部７は、ホルダーアーム１１
をシーク方向に揺動させる第１の駆動手段１２を有し、
ファインアクチュエータ部６には、ホルダーアーム１１
の揺動運動とは独立的に磁気ヘッド１をシーク方向に微
小量揺動させる第２の駆動手段１６が設けられ、ファイ
ンアクチュエータ部６には、ファインアクチュエータ部
６に於ける磁気ヘッド支持機構５の揺動運動に伴って、
コースアクチュエータ部７のホルダーアーム１１に発生
する振動を抑制する振動抑制手段３２が設けられている
磁気ヘッド位置決め機構１００。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
あるいは光ディスク装置等のディスク装置における磁気
ヘッド位置決め機構及びその駆動方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスク装置の記録密度は、高ＢＰ
Ｉ（Bit Per Inch）化と高ＴＰＩ(Track Per Inch)化に
より年率６０％以上のペースで増加している。高ＢＰＩ
化のためには、ヘッド浮上量の低減やＭＲ（Magneto Re
sistive）ヘッドのようなセンシティビティの高い磁気
ヘッドの採用、あるいは高効率な信号処理技術などが求
められるが、高ＴＰＩ化実現のためには加えて磁気ヘッ
ドの位置決め精度の改善が重要な技術課題となる。

【０００３】例えば1 Ｇｂ／ｉｎ²の記録密度の場合、
トラック方向密度は８ｋＴＰＩ以下、トラックピッチに
して３〜４μｍ程度であるが、１０Ｇｂ／ｉｎ²以上の
記録密度を達成するためにはトラック密度は２５ｋＴＰ
Ｉ以上、トラックピッチにして１μｍ以下となるため、
磁気ヘッドの位置決め精度は（トラックピッチの１０％
である）０．１μｍ以下が要求されるようになる。

【０００４】図９及び図１０に磁気ディスク装置に用い
られる磁気ヘッド位置決め機構（ポジショナ）の従来例
を示す。この磁気ヘッド位置決め機構は、磁気ヘッドを
円弧形に回転駆動するロータリーアクチュエータ方式と
呼ばれるもので、複数のホルダアーム１１と、可動コイ
ル１２を備えたアームブロック（キャリッジ）１３とが
回転軸受け部１４を中心に矢印Ａ（図９（ｂ）参照）の
方向に回転可能となるように構成されている。

【０００５】当該アームブロック１３のホルダアーム先
端部には、磁気ヘッド１を搭載したスライダ２を支持す
る磁気ヘッド支持機構５（サスペンションまたはＨＧ
Ａ：Head Gimbal Assembly）が接続されている（図１０
（ａ）乃至（ｃ）参照）。また、当該アームブロック１
３の他端に設置された可動コイル１２は、外部固定磁気
回路１５と組み合わされてＶＣＭ（Voice Coil Motor）
を構成し、当該可動コイル１２に所定の駆動電流を印加
することにより駆動力を発生して、当該磁気ヘッド支持
機構５をシーク方向（図９（ｂ）の矢印Ａ）へ円弧軌道
で回転駆動し、磁気ヘッド１を媒体上の目標トラックへ
位置決めさせる。

【０００６】ここでいう位置決め動作とは、磁気ヘッド
を任意のトラック位置から目標のトラック位置へと移動
させるシーク動作（トラッキング）と、磁気ヘッドを目
標のトラック上に追従させておくフォロー動作（フォロ
ーイング）とに分けられる。従来の磁気ヘッド位置決め
機構は１つのＶＣＭで複数の磁気ヘッドを同時に駆動す
るため、位置決め精度とりわけフォローイングにおける
トラック追従精度が十分ではなく、前述のように１μｍ
以下の狭トラックピッチが要求される高ＴＰＩの装置に
は対応できなくなりつつある。

【０００７】そこで、ＶＣＭによるキャリッジ駆動とは
独立して、各々の磁気ヘッドを個別に駆動させる２ステ
ージアクチュエータの研究が進められている。この２ス
テージアクチュエータは個別に駆動させる部位によって
大きく３種類に大別できる。すなわち磁気ヘッド部を個
別駆動させるヘッド素子駆動方式（図１１（ａ））、ス
ライダ部を個別駆動させるスライダ駆動方式（図１１
（ｂ））、および磁気ヘッド支持機構（ＨＧＡ）部を個
別駆動させるＨＧＡ駆動方式（図１２乃至図１２）であ
る。

【０００８】図１１（ａ）に示すヘッド素子駆動方式
は、マイクロマシーン技術を応用してスライダＡ１内に
櫛歯構造を有する静電駆動型のリニアアクチュエータＡ
２を埋め込んで磁気ヘッドＡ３を直接微小駆動するもの
であるが、加工難度が高いため歩留まりが悪く、また可
動方向に衝撃が加わると容易に変位あるいは破壊してし
まう欠点があり未だ実用化に至っていない。なお、図１
１（ａ）においてＡ４は磁気ヘッド支持機構（サスペン
ション）である。

【０００９】図１１（ｂ）に示すスライダ駆動方式は、
シリコンマイクロジンバルＢ１とプレーナ型電磁駆動方
式のピギーバック・マイクロアクチュエータＢ２を組み
合わせた構造であるが、誘導磁界を発生させるコイルパ
ターン層を厚く加工できないため十分な駆動力が得られ
ないといった課題を抱えている。最後に図１２乃至図１
４に示すＨＧＡ駆動方式であるが、これはＨＧＡ駆動用
アクチュエータの発生力が磁気ヘッドの加速度に比例す
るか変位に比例するかによって、力−加速度型（高コン
プライアンス型：図１２及び図１３）と力−変位型（高
スティッフネス型：図１４）の２種類に分けられる。

【００１０】図１２及び図１３に示す力−加速度型（高
コンプライアンス型）の２ステージアクチュエータは、
本願出願人が既に出願している特願平９−２６０６８０
号の明細書中に於て開示されている磁気ヘッド位置決め
機構に関するものであって、当該磁気ヘッド位置決め機
構に於いては、磁気ヘッド支持機構（サスペンション：
以下、ＨＧＡと称する）５をアクチュエータスプリング
８に接続し、アクチュエータスプリング８はホルダアー
ム１１に軸固定されている。

【００１１】そして、このときホルダアーム１１とアク
チュエータスプリング８との間には永久磁石１７と小形
コイル１９およびヨーク１８とからなる小形ＶＣＭ２０
が構築されており、トラック追従時には小形コイル１９
に所定の電流を印加して電磁力を発生させてホルダアー
ムに軸固定されたアクチュエータ・スプリング８を撓ま
せて磁気ヘッド支持機構５を微小回転駆動される様に構
成されている。

【００１２】一方、図１４に示す力−変位型（高スティ
ッフネス型）の２ステージアクチュエータは、同じく、
本願出願人が既に出願している特願平１０−３５５６９
７号の明細書中に於て開示されている磁気ヘッド位置決
め機構に関するものであって、当該磁気ヘッド位置決め
機構に於いては、磁気ヘッド支持機構５をアクチュエー
タスプリング８に接続し、アクチュエータスプリング８
はホルダアーム１１に完全固定されており、このとき図
１５及び図１６に示す様に、アクチュエータスプリング
８には一対の圧電素子１６が磁気ヘッド支持機構の長手
中心軸に沿って平行に配置されており、トラック追従時
には一対の圧電素子に所定の電圧を交互に印加して駆動
力を発生させてホルダアームに固定されたアクチュエー
タスプリング８を撓ませて磁気ヘッド支持機構５を微小
回転駆動させている。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】ＨＧＡ駆動方式の２ス
テージアクチュエータは、従来のＨＧＡに大きな変更を
加えることなく容易に構築することが可能であるため、
現在のところ最も実用化が近い高精度ヘッド位置決め機
構として期待されている。処で、図１７（ａ）は図１４
で示した力−変位型（高スティッフネス型）の２ステー
ジアクチュエータの解析モデルを示す。磁気ヘッド支持
機構を接続したアクチュエータスプリングを１枚のみ単
板のホルダアームに接続している。このモデルの周波数
特性を図１７（ｂ）に示す。

【００１４】図１７（ｂ）中の破線は上記２ステージア
クチュエータを回転軸受け部においてＶＣＭ加振したと
きの周波数特性でありシーク動作中（トラッキング：コ
ースアクチュエータ駆動時）の振動特性を示している。
また、図１７（ｂ）中の太線は、上記２ステージアクチ
ュエータのファインアクチュエータ部（アクチュエータ
スプリング部）に設けた圧電素子（ＰＺＴ）のみを駆動
させたときの周波数特性であり追従動作中（フォローイ
ング：ファインアクチュエータ駆動時）の振動特性を示
している。

【００１５】一方、同図中の細線はファインアクチュエ
ータ部のみのモデルを用いて、アクチュエータスプリン
グをホルダアーム接続位置において完全固定し圧電素子
（ＰＺＴ）を駆動させたときの周波数特性であり、ファ
インアクチュエータ部単体の振動特性を示している。フ
ァインアクチュエータ部単体では８．２ｋＨｚに１つの
共振ピークしか持たなかったモデル（図１７（ｂ）の細
線）でも、ホルダアームに接続すると同じＰＺＴ駆動条
件（トラック追従動作条件）でありながらＶＣＭ駆動時
（シーク動作時：図１７（ｂ）の破線）と同様に５．
８ｋＨｚと９．５ｋＨｚに２つの共振ピークを持つよ
うになっているのがわかる（図１７（ｂ）の太線）。

【００１６】これら２つの共振は、図１７（ｃ）に示す
モードシェイプを見てもわかるように、５．８ｋＨｚ
の共振がホルダアームの振動と連成したファインアクチ
ュエータのスウェイ（Ｓｗａｙ）モード（以下、アーム
連成スウェイモード）であり、９．５ｋＨｚの共振が
サスペンションの２次捻れ振動によるオフトラック・モ
ードである。

【００１７】キャリッジ・ブロック最上位および最下位
のようにホルダアームにファインアクチュエータが１枚
しか接続されていないモデルでは上記のような特性を示
すが、キャリッジ・ブロック中位のようにホルダアーム
に上下２枚のファインアクチュエータが接続されるよう
なモデル（図１８（ａ）参照）ではさらに複雑な振動特
性を示すようになる。

【００１８】このときの周波数特性を図１８（ｂ）に示
す。破線は同じくホルダアームの回転軸受け部において
ＶＣＭ加振したときの周波数特性でありシーク動作中
（トラッキング：コースアクチュエータ駆動時）の振動
特性を示し、太線は上記２枚のファインアクチュエータ
のうち片方をＰＺＴ駆動させたときの周波数特性であり
（任意の磁気ヘッドによる）追従動作中（フォローイン
グ：ファインアクチュエータ駆動時）の振動特性を示し
ている。

【００１９】キャリッジ・ブロック中位のようにホルダ
アームに上下２枚のファインアクチュエータが接続され
ているような場合、トラック追従時の振動特性（ＰＺＴ
駆動）は共振ピークが１つ増えて３つ（ 5.1ｋＨｚ,
8.1ｋＨｚ, 9.6ｋＨｚ）現れるようになる。これ
ら３つの共振は、図１５（ｃ）に示すモードシェイプを
見てもわかるように、５．８ｋＨｚの共振と９．６
ｋＨｚの共振は各々アーム連成スウェイモードとサスペ
ンション２次捻れであるが、８．１ｋＨｚの共振は上
下２枚のサスペンションが交差するようなファインアク
チュエータスウェイモードである。

【００２０】アームアッセー・モデルにおいてＰＺＴ駆
動時に現れるこれら２つもしくは３つの共振は、ＰＺＴ
によるＨＧＡ駆動力がホルダアーム先端部（ファインア
クチュエータとの接続位置）において反力（以下、ＰＺ
Ｔ駆動反力）として作用し、これが加振源となってホル
ダアーム振動を励起するために引き起こされるものと考
えられる（図１９及び図２０参照）。

【００２１】トラック追従時（ＰＺＴ駆動時）におい
て、ヘッド位置決め機構系の共振ピークが高周波（１０
ｋＨｚ）と低周波（５ｋＨｚ）の２つに分かれて現れて
くると、サーボの制御帯域を広く取れなくなるために位
置決め精度は著しく悪化する。また、キャリッジ・アー
ム中位の振動特性のように共振ピークが３つになってく
るとノッチ・フィルターを３つ直列に配置する必要があ
り、これらの共振に近接した周波数に制御帯域を設定す
る場合にはその周波数帯域で著しく位相を遅らせること
になるため、安定余裕が減少し実用的なコントローラの
実装が困難になってくる。

【００２２】その他、磁気ヘッド位置決め機構に関する
公知例として特開平５−３４１７８７号公報、特許第２
５２９３８０号明細書及び特許第２７１２５９９号明細
書等が見られるが、係る公報には、２ステージアクチュ
エータを備えた磁気ヘッド位置決め機構に関して開示さ
れているが、当該ファインアクチュエータ部のシーク動
作に起因する当該コースアクチュエータ部に於ける加振
現象を抑制する技術に関しては記載が見られない。

【００２３】本発明の目的は、上記した従来技術の欠点
を改良すべく構成されたものであり、その目的は、例え
ば、１０Ｇｂ／ｉｎ²を越える高記録密度の磁気ディス
ク装置において、トラック密度２５ｋＴＰＩ以上の狭ト
ラックピッチ（トラックピッチ１μｍ以下）においても
トラック追従可能で、かつサーボ帯域３ｋＨｚ以上を確
保できるような、高速・高精度な磁気ヘッド位置決め機
構およびその駆動方式を提供することにある。

【００２４】

【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成する為、以下に示す様な基本的な技術構成を採用す
るものである。即ち、本発明の磁気ヘッド位置決め機構
に係る第１の態様としては、磁気ヘッドを搭載したスラ
イダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と
当該磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構
保持部を有するファインアクチュエータ部、及び当該フ
ァインアクチュエータ部と接合されると共に、所定の回
転軸の回りに揺動可能に軸支されたホルダーアームを有
するコースアクチュエータ部とから構成された磁気ヘッ
ド位置決め機構であって、当該コースアクチュエータ部
は、当該ホルダーアームを当該回転軸を中心としてシー
ク方向に揺動させる為の第１の駆動手段を有しており、
一方、当該ファインアクチュエータ部には、当該コース
アクチュエータ部に於ける該ホルダーアームの揺動運動
とは独立的に当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動
させる為の第２の駆動手段が設けられており、更には、
当該ファインアクチュエータ部には、当該ファインアク
チュエータ部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の当該揺
動運動に伴って、当該コースアクチュエータ部の当該ホ
ルダーアームに発生する振動を抑制する振動抑制手段が
設けられている磁気ヘッド位置決め機構であり、又本発
明に係る第２の態様としては、磁気ヘッドを搭載したス
ライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構
と当該磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機
構保持部を有するファインアクチュエータ部、及び当該
ファインアクチュエータ部と接合されると共に、所定の
回転軸の回りに揺動可能に軸支されたホルダーアームを
有するコースアクチュエータ部とから構成された磁気ヘ
ッド位置決め機構であって、当該コースアクチュエータ
部は、当該ホルダーアームを当該回転軸を中心としてシ
ーク方向に揺動させる為の第１の駆動手段を有してお
り、一方、当該ファインアクチュエータ部には、当該コ
ースアクチュエータ部に於ける該ホルダーアームの揺動
運動とは独立的に当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量
揺動させる為の第２の駆動手段が設けられている磁気ヘ
ッド位置決め機構に於いて、当該ファインアクチュエー
タ部に振動抑制手段を設け、当該ファインアクチュエー
タ部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の当該揺動運動に
伴って、当該コースアクチュエータ部の当該ホルダーア
ームに発生する振動を抑制する様に構成されてた磁気ヘ
ッド位置決め機構の駆動方法である。

【００２５】

【発明の実施の形態】本発明に係る当該磁気ヘッド位置
決め機構及び磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法は、上
記した様な技術構成を採用しているものであって、より
具体的には、当該磁気ヘッド位置決め機構は、磁気ヘッ
ド支持機構と２ステージアクチュエータを備え、当該磁
気ヘッド支持機構は、磁気ヘッドを搭載したスライダを
支持するように構成され、当該２ステージアクチュエー
タは、当該磁気ヘッド支持機構を磁気ヘッドのシーク方
向に微小量変位させるファインアクチュエータ部と、当
該複数のファインアクチュエータ部をＶＣＭにより当該
磁気ヘッドのシーク方向に一括して変位させるコースア
クチュエータ部とから構成され、当該ファインアクチュ
エータ部は、当該磁気ヘッド支持機構を支持する薄板状
のアクチュエータ・スプリングと２つの圧電素子を有し
てなり、当該２つの圧電素子に交互に電圧を印加するこ
とで当該２つの圧電素子に駆動力を発生させ、当該アク
チュエータ・スプリング部を弾性的に撓ませることによ
って磁気ヘッドのシーク方向への微小駆動が行われる高
スティッフネス型のＨＧＡ駆動方式、もしくは当該磁気
ヘッド支持機構を支持する薄板状のアクチュエータ・ス
プリングと小形コイルおよびヨークを有してなり、ホル
ダアームに埋め込まれた永久磁石とで小形のＶＣＭを形
成し、当該小形コイルに電流を印加することで当該小形
ＶＣＭに電磁力を発生させ、当該アクチュエータ・スプ
リング部を弾性的に撓ませることによって磁気ヘッドの
シーク方向への微小駆動が行われる高コンプライアンス
型のＨＧＡ駆動方式で構成されており、またキャリッジ
・ブロックの最上位と最下位においてはホルダアームを
挟んで当該ＨＧＡ駆動方式のファインアクチュエータ部
と対向する側に、当該磁気ヘッド支持機構の等価質量相
当のダミー・マスを搭載したファインアクチュエータ部
（ダミー・アクチュエータ）が接続されていることを特
徴とするものである。

【００２６】加えて、本発明に於ける当該磁気ヘッド位
置決め機構の駆動方法としてのより詳細な具体例として
は、トラック追従時において、例えば当該コースアクチ
ュエータ部とファインアクチュエータ部とから構成され
る磁気ヘッド位置決め機構ユニットが複数個並列的に且
つ各磁気ヘッド位置決め機構ユニットに於けるホルダー
アームに設けられた、所定の回転軸に嵌合する開口部を
形成するアームブロック部に於て互いに同心的に集積さ
れ且つ一体的に集合せしめられた磁気ヘッド位置決め機
構を使用して、任意の磁気ヘッド位置決め機構ユニット
に於けるファインアクチュエータ部の設けられた磁気ヘ
ッド支持機構保持部を用いてＨＧＡを駆動させる場合、
当該アームブロックの中位に於ける当該磁気ヘッド位置
決め機構ユニットにおいては、当該ホルダアームを挟ん
で反対側に接続されたもう１枚の振動抑制手段として機
能するが、実際に情報を当該記録媒体に書き込んだり、
当該記録媒体から情報を読み出したりする事が可能な他
の磁気ヘッド支持機構保持部を、当該任意のファインア
クチュエータとは逆方向へ常時同じ力で（圧電素子（Ｐ
ＺＴ）駆動によるファインアクチュエータの場合には逆
位相の電圧を、小形ＶＣＭ駆動によるファインアクチュ
エータの場合には逆方向の電流を印加して）駆動させ、
同じく当該アームブロックに於ける両端部に配置された
当該磁気ヘッド位置決め機構ユニットに於けるホルダア
ームに接続された磁気ヘッド支持機構保持部を用いてＨ
ＧＡを駆動させる場合には、ホルダアームを挟んで反対
側に接続された当該ダミーマス搭載のダミー部材に於け
る駆動手段をやはり当該磁気ヘッド支持機構保持部とは
逆方向へ常時同じ力で（圧電素子（ＰＺＴ）駆動による
ファインアクチュエータの場合には逆位相の電圧を、小
形ＶＣＭ駆動によるファインアクチュエータの場合には
逆方向の電流を印加して）駆動させることを特徴として
いるものである。

【００２７】これにより、トラック追従時において任意
のファインアクチュエータを駆動させたときにアクチュ
エータ・スプリングとホルダアームとの接続部に作用す
るＨＧＡ駆動反力は、上下２枚のファインアクチュエー
タ（キャリッジ中位）もしくは１枚のファインアクチュ
エータと１枚のダミー・アクチュエータ（キャリッジの
両端部）の対向するＨＧＡ駆動反力によって互いに相殺
され、ホルダアーム先端部に作用する加振力をキャンセ
ルすることができるため、ＨＧＡ駆動時にホルダアーム
振動に起因した共振を抑制することができ、高周波数帯
域まで共振ピークのない良好な振動特性を得ることがで
きるため、磁気ヘッドの高速・高精度なトラック追従動
作（フォローイング）を行うことが可能になる。

【００２８】

【実施例】以下に、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機
構及び磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法の一具体例の
構成を図面を参照しながら詳細に説明する。即ち、図１
は、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構の一具体例の
構成を説明する断面図及び平面図であり、図中、磁気ヘ
ッド１を搭載したスライダ２を支持するように構成され
た磁気ヘッド支持機構５と当該磁気ヘッド支持機構５を
保持する磁気ヘッド支持機構保持部３０を有するファイ
ンアクチュエータ部６、及び当該ファインアクチュエー
タ部６と接合されると共に、所定の回転軸３１の回りに
揺動可能に軸支されたホルダーアーム１１を有するコー
スアクチュエータ部７とから構成された磁気ヘッド位置
決め機構１００であって、当該コースアクチュエータ部
７は、当該ホルダーアーム１１を当該回転軸３１を中心
としてシーク方向に揺動させる為の第１の駆動手段１２
を有しており、一方、当該ファインアクチュエータ部６
には、当該コースアクチュエータ部７に於ける該ホルダ
ーアーム１１の揺動運動とは独立的に当該磁気ヘッド１
をシーク方向に微小量揺動させる為の第２の駆動手段１
６が設けられており、更には、当該ファインアクチュエ
ータ部６には、当該ファインアクチュエータ部６に於け
る当該磁気ヘッド支持機構５の当該揺動運動に伴って、
当該コースアクチュエータ部７の当該ホルダーアーム１
１に発生する振動を抑制する振動抑制手段３２が設けら
れている磁気ヘッド位置決め機構１００が示されてい
る。

【００２９】本発明に於いては、当該振動抑制手段３２
は、当該磁気ヘッド支持機構５の当該揺動運動に伴っ
て、当該コースアクチュエータ部７の当該ホルダーアー
ム１１に発生する複数個の共振周波数を一つに制限し、
且つ当該共振周波数をより高周波帯域側に移動させる機
能を有するものである事が望ましい。又、本発明に於け
る当該コースアクチュエータ部７に設けられている当該
第１の駆動手段１２は、ボイスコイルモータである事が
望ましく、又当該ファインアクチュエータ部６に設けら
れている当該第２の駆動手段１６は、ボイスコイルモー
タ或いは圧電素子から選択された一つで構成されている
事が望ましい。

【００３０】次に、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決
め機構の構成をより詳細に説明するならば、図１におい
て、磁気ヘッド位置決め機構１００は、磁気ヘッド支持
機構５と、ファインアクチュエータ部６およびコースア
クチュエータ部７からなる２ステージアクチュエータと
から構成されており、当該ファインアクチュエータ部６
に於ては、当該磁気ヘッド支持機構５は、少なくとも当
該磁気ヘッド支持機構保持部３０に形成されたアクチュ
エータスプリング部８との間に設けられた細幅状バネ部
材２７を介して当該磁気ヘッド支持機構保持部３０に接
合されており、当該細幅状バネ部材２７を第２の駆動手
段１６である例えば圧電素子１６０によって変形させる
様に構成されている事が好ましい。

【００３１】又、本具体例に於いては、当該磁気ヘッド
支持機構保持部３０は、図中のホルダアームかしめ位置
１０においてコースアクチュエータ部７を構成するホル
ダアーム１１に接続される。また、複数のホルダアーム
１１からなるアームブロック１３は、その一端に第１の
駆動手段１２を構成する可動コイルを有し、図示せぬ外
部固定磁気回路と組み合わされてボイスコイルモータＶ
ＣＭを構築しコースアクチュエータ部７を形成してい
る。

【００３２】一方、当該磁気ヘッド支持機構５は、磁気
ヘッド１を搭載した浮上型もしくは接触型のスライダ２
と、それを支持するジンバルスプリング３ならびにスラ
イダ２に押圧力を付与するためのロードビーム４から構
成されている。そして、スライダ２を図示せぬ記録媒体
に対向する向きにして当該ファイアクチュエータ部６に
サスペンションかしめ位置９において接続されている。

【００３３】また当該ファインアクチュエータ部６に於
ける当該磁気ヘッド支持機構保持部３０に設けられてい
るアクチュエータ・スプリング８は、サスペンションか
しめ位置９とホルダアームかしめ位置１０との間におい
て第２の駆動手段である一対の圧電素子１６０が当該ア
クチュエータ・スプリング８の長手方向の中心軸を挟ん
でその長手軸に沿う方向に平行に配置されている。

【００３４】当該アクチュエータ・スプリング８にはＳ
ＵＳ３０４などの靱性を有する材料を用い、当該サスペ
ンションかしめ位置９と圧電素子１６０との間に細幅状
のバネ部２７を有しており、当該一対の圧電素子１６０
に交互に電圧を印加することにより、左右の圧電素子を
交互に歪ませて当該バネ部２７を撓ませて磁気ヘッド支
持機構５をシーク方向へ微小駆動させる。

【００３５】本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構
１００に於いては、当該磁気ヘッド位置決め機構ユニッ
ト一つで構成されていても良く、又図１（ａ）に示す様
に、複数個の当該磁気ヘッド位置決め機構ユニットを当
該アームブロック部に於て同心的に多層化、集合化して
使用するもので有っても良い。このとき、アームブロッ
ク１３を構成する複数個の磁気ヘッド位置決め機構ユニ
ットに於ける両端部の磁気ヘッド位置決め機構ユニット
を除いた、磁気ヘッド位置決め機構ユニットの少なくと
も一部の磁気ヘッド位置決め機構ユニットに於けるホル
ダアーム１１には、図１（ａ）に示すように、ホルダア
ーム１１を間に挟んで一つの磁気ヘッド位置決め機構ユ
ニットＨ２ともう１枚の磁気ヘッド位置決め機構ユニッ
トＨ３とを上下に対向する形で同じように接続されてい
る（図１（ａ）の中位アーム・アッセー２５参照）。

【００３６】上述のように、図１に於ける任意の磁気ヘ
ッド支持機構Ｈ２をシーク方向へ微小駆動させるときに
は、ホルダアーム１１を挟んで対向する側に接続したも
う１枚の磁気ヘッド支持機構Ｈ３を上記一方の磁気ヘッ
ド位置決め機構Ｈ２とは逆方向へ同じ加速度で駆動する
ように、当該アクチュエータスプリング８に取り付けた
他の第２の駆動手段１６’を構成する一対の圧電素子１
６０’に印加する電圧を、当該圧電素子１６０に対して
互いに逆位相になるように制御する。

【００３７】例えば、上部磁気ヘッド支持機構Ｈ２を保
持するファインアクチュエータの一対の圧電素子１６０
の右側の圧電素子に３００Ｖ、左側の圧電素子に０Ｖの
電圧を印加したときには、対向する下部磁気ヘッド支持
機構Ｈ３を保持するファインアクチュエータの同じく一
対の圧電素子１６０’の右側の圧電素子に０Ｖ、左側の
圧電素子に３００Ｖの電圧を印加するようにしておく。

【００３８】これにより、トラック追従動作を行う任意
の磁気ヘッド１をファインアクチュエータにより微小駆
動させるときには、ホルダアーム１１を挟んで反対側に
接続されたもう１枚のファインアクチュエータも常時逆
方向へ同じ加速度（ＨＧＡ駆動力）で磁気ヘッドを駆動
させることになる（図１（ｃ）および図１（ｄ）並びに
図２（ｂ）および図２（ｃ）参照）。

【００３９】このときファインアクチュエータ部のＨＧ
Ａ（磁気ヘッド支持機構）駆動によってホルダアーム先
端部のアクチュエータスプリング接続位置に作用するＨ
ＧＡ駆動反力は、上下２枚のファインアクチュエータＨ
２、Ｈ３（図１（ａ）の中位アーム・アッセー２５）を
常時逆向きに等しい加速度（ＨＧＡ駆動力）で駆動させ
ている場合には、互いのＨＧＡ駆動反力が相殺されるた
め、ホルダアーム先端部に作用する加振力をキャンセル
することができる。

【００４０】したがって、図１７、図１８で説明したよ
うなファインアクチュエータ部のＨＧＡ駆動反力が励起
するホルダアーム振動を抑制することができるため、ト
ラック追従時（ここではＰＺＴ駆動時）において現れて
いた３つの共振ピーク（図３（ａ）太線）を１つに抑え
ることができる（図３（ｂ）太線）。上記具体例の説明
から明らかな様に、本発明に於ける当該磁気ヘッド位置
決め機構１００に於いては、当該振動抑制手段３２は、
当該磁気ヘッド支持機構５による当該磁気ヘッド１の揺
動に起因して当該コースアクチュエータ部７のホルダア
ーム１１に発生する反力を相殺する様な力を発生させる
機能を有するものであれば、如何なる構成を有するもの
で有っても良い。

【００４１】その具体例として、上記具体例では、当該
振動抑制手段３２は、当該ファインアクチュエータ部６
に、当該ファインアクチュエータ部６に於ける当該磁気
ヘッド支持機構保持部３０に設けられている当該磁気ヘ
ッド支持機構５の揺動動作に同期して当該磁気ヘッド支
持機構５の揺動動作とは反対方向の揺動動作を独立的に
行う揺動補償部材３３を設けるものであり、当該揺動補
償部材３３として、実際に情報の読み書きに使用される
当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構
成された磁気ヘッド支持機構或いは、当該磁気ヘッド支
持機構と接続される当該磁気ヘッド支持機構保持部、例
えばＨ２に隣接して対向配置するものである。

【００４２】当該揺動補償部材３３は、当該磁気ヘッド
支持機構５或いは当該磁気ヘッド支持機構保持部３０と
等価の質量を有している事が望ましい。更に、本発明に
於いては、当該揺動補償部材３３は、実際に情報の読み
書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを
支持するように構成された揺動可能な磁気ヘッド支持機
構、或いは当該磁気ヘッド支持機構と接合された磁気ヘ
ッド支持機構保持部で構成されているもので有っても良
く、当該磁気ヘッド支持機構若しくは当該磁気ヘッド支
持機構保持部と等価の質量を持ったダミー部材で構成さ
れるもので有っても良い。

【００４３】次に、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決
め機構１００の他の具体例を図４を参照しながら詳細に
説明する。つまり、本具体例に於いては、当該ファイン
アクチュエータ部６に設けられる当該振動抑制手段３２
を構成する揺動補償部材３３としてダミー部材２２を使
用するものである。

【００４４】本具体例に於ける基本的な構成は、第１の
具体例と同様であるので詳細な構成についての説明は省
略し、当該第１の具体例の構成と異なる部分に付いて説
明する。即ち、図４（ａ）乃至図４（ｄ）は、本発明に
係る当該第２の具体例の構成を説明する側面図および平
面図である。

【００４５】図４において、アームブロック１３の両端
部にある磁気ヘッド位置決め機構ユニット２３と２４、
つまり図中、最上位もしくは最下位のホルダアーム１１
には、前記した第１の具体例で示したように磁気ヘッド
支持機構５に含まれる磁気ヘッド支持機構Ｈ１又はＨ４
を保持したファインアクチュエータ部６が図示せぬ記録
媒体に対向する側に接続されており、一方前記ホルダア
ーム１１を挟んで反対側には、図４（ａ）に示す様に、
前記磁気ヘッド支持機構Ｈ１又はＨ４の等価質量に相当
する質量を備えたダミー部材２２（特にはＨ０またはＨ
５）を搭載したもう１枚のファインアクチュエータであ
るダミー・アクチュエータ２１が接続され、最上位アー
ム・アッセー２３または最下位アーム・アッセー２４を
形成している。

【００４６】このとき前記ダミーマス２２は、前記磁気
ヘッド支持機構の等価質量に等しくなるように設計され
ていれば材質や形状は特に規定されないが、キャリッジ
実装を阻害しない程度の大きさ及び厚みであり、かつ余
分な振動モードを励起しないような剛体であることが望
ましい。また前記ダミーマス２２を搭載する前記ダミー
・アクチュエータ２１は、基本的に前記最上位もしくは
最下位のホルダアームに接続される磁気ヘッド支持機構
（Ｈ１もしくはＨ４）を保持するファインアクチュエー
タ部と同一にアクチュエータスプリング８および他の第
２の駆動手段１６’としての一対の圧電素子１６０’か
ら構成されるものである。

【００４７】前記最上位もしくは最下位のホルダアーム
に接続された磁気ヘッド支持機構Ｈ１もしくはＨ４をシ
ーク方向へ微小駆動させるときには、ホルダアームを挟
んで対向する側に接続した前記ダミーマス２２、つまり
Ｈ０もしくはＨ５を、上記磁気ヘッド支持機構Ｈ１もし
くはＨ４とは逆方向へ同じ加速度で駆動するように、前
記ダミー・アクチュエータ２１に取り付けた一対の圧電
素子１６０’に印加する電圧を、当該磁気ヘッド支持機
構Ｈ１もしくはＨ４を保持する各々のファインアクチュ
エータ部６における第２の駆動手段１６を構成する圧電
素子１６０の駆動電圧とは逆位相になるように制御す
る。

【００４８】例えば、上部磁気ヘッド支持機構Ｈ１を保
持するファインアクチュエータの一対の圧電素子１６０
の右側の圧電素子に３００Ｖ、左側の圧電素子に０Ｖの
電圧を印加したときには、対向する側のダミー部材２２
を保持するファインアクチュエータの同じく一対の圧電
素子１６０’の右側の圧電素子に０Ｖ、左側の圧電素子
に３００Ｖの電圧を印加するようにしておく。

【００４９】これにより、図４（ｂ）乃至図４（ｄ）お
よび図５（ｂ）乃至図５（ｃ）に示す様に、キャリッジ
最上位もしくは最下位に接続された磁気ヘッドをファイ
ンアクチュエータにより微小駆動させてトラック追従動
作を行うときには、ホルダアーム１１を挟んで反対側に
接続されたダミー・アクチュエータ２１も常時逆方向へ
同じ加速度（駆動力）でダミーマス２２を駆動させるこ
とになる。

【００５０】このときキャリッジ最上位もしくは最下位
のファインアクチュエータ部によるＨＧＡ（磁気ヘッド
支持機構）駆動によって、当該アームブロック１３に積
層された磁気ヘッド位置決め機構ユニットの内で両端部
に配置されている磁気ヘッド位置決め機構ユニットのホ
ルダアーム先端部のアクチュエータスプリング接続位置
において作用するＨＧＡ駆動反力は、上下２枚のファイ
ンアクチュエータ（うち１枚はダミー・アクチュエー
タ）を互いに常時逆向きに等しい加速度（ＨＧＡ駆動力
＝ダミーマス駆動力）で駆動させているため互いに相殺
され、ホルダアーム先端部に作用する加振力をキャンセ
ルすることができる。

【００５１】したがって、図１７、図１８で説明したよ
うなファインアクチュエータのＨＧＡ駆動反力が励起す
るホルダアーム振動を抑制することができるため、トラ
ック追従時（ＰＺＴ駆動時）において現れていた図６
（ａ）で示される２つの共振ピークを図６（ｂ）に示す
様に、１つに抑えることができる。次に、本発明に係る
磁気ヘッド位置決め機構１００に付いての別の具体例に
付いて図７を参照して詳細に説明する。

【００５２】図７（ａ）乃至図７（ｄ）は、本発明に係
る第３の具体例の構成を示す側面図および平面図であ
る。図７において、磁気ヘッド位置決め機構１００は、
磁気ヘッド支持機構５と、ファインアクチュエータ部６
およびコースアクチュエータ部７からなる２ステージア
クチュエータとから構成されている。

【００５３】ファインアクチュエータ部６は、アクチュ
エータ・スプリング８と小形ＶＣＭ２０から構成され、
図中ホルダアームかしめ位置１０においてコースアクチ
ュエータ部７を構成するホルダアーム１１に設けられた
所定の回転軸に、回転揺動自在に嵌合し接続される。ま
た、複数のホルダアーム１１からなるアームブロック１
３は、その一端に可動コイル１２を有し、図示せぬ外部
固定磁気回路と組み合わされてＶＣＭを構築しコースア
クチュエータ部７を形成している。

【００５４】一方、前記したそれぞれの磁気ヘッド位置
決め機構ユニットに於ける磁気ヘッド支持機構５は、磁
気ヘッド１を搭載した浮上型もしくは接触型のスライダ
２と、それを支持するジンバルスプリング３ならびにス
ライダ２に押圧力を付与するためのロードビーム４から
構成されており、前記スライダ２を図示せぬ記録媒体に
対向する向きにして、前記ファイアクチュエータ部６に
サスペンションかしめ位置９において接続されている。

【００５５】また前記ファインアクチュエータ部６のア
クチュエータ・スプリング８には、前記磁気ヘッド支持
機構５とは反対側の端部において小形ＶＣＭ２０が配置
され、さらに前記サスペンションかしめ位置９と前記小
形ＶＣＭ２０との間にはバネ部２７を有しており、前記
小形ＶＣＭに任意の電流を印加することにより電磁力を
発生させて前記バネ部を撓ませることにより磁気ヘッド
支持機構をシーク方向へ微小駆動させている。

【００５６】このとき、アームブロック１３の中位のホ
ルダアーム１１の何れにも、図７（ａ）に示すように、
もう１枚のファインアクチュエータ部がホルダアームを
間に挟んで上下に対向する形で同じように接続されてい
る（図７（ａ）：中位アーム・アッセー２５）。つま
り、本具体例に於いては、当該中位アーム・アッセー２
５を構成するそれぞれの磁気ヘッド位置決め機構ユニッ
トに於ける当該ホルダーアーム１１の一方側には、実際
に所定の記録媒体に対する、所定の情報の読み書きに使
用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持する
ように構成された磁気ヘッド支持機構と接続される当該
磁気ヘッド支持機構保持部Ｈ２、Ｈ４に設けると共に、
当該ホルダーアーム１１の他方の側には、当該振動抑制
手段３２の一例として実際に所定の記録媒体に対する、
所定の情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭
載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド
支持機構と接続される当該磁気ヘッド支持機構保持部Ｈ
２、Ｈ４と同一の構成と等価の質量を有する部材を揺動
補償部材３３として、隣接状に対向配置し且つ揺動自在
に設けるものである。

【００５７】上述のように任意の磁気ヘッド支持機構保
持部３０、例えばＨ２をシーク方向へ微小駆動させる
ときには、ホルダアーム１１を挟んで対向する側に接続
したもう１枚の磁気ヘッド支持機構保持部３０、例えば
Ｈ３を上記磁気ヘッド支持機構保持部Ｈ２とは逆方向へ
同じ加速度で駆動するように、前記アクチュエータスプ
リング８に取り付けた小形ボイスコイルモータＶＣＭ２
０に印加する電流を、磁気ヘッド支持機構保持部Ｈ２を
駆動させる小形ボイスコイルモータＶＣＭの電流とは逆
方向になるように制御する。

【００５８】これにより、図７（ｂ）乃至図７（ｄ）に
示す様に、トラック追従動作を行う任意の磁気ヘッド支
持機構保持部Ｈ２に於ける磁気ヘッド１をファインアク
チュエータにより微小駆動させるときには、ホルダアー
ム１１を挟んで反対側に隣接して対向接続されたもう１
枚の磁気ヘッド支持機構保持部Ｈ３も常時逆方向へ同じ
加速度（ＨＧＡ駆動力）で磁気ヘッド１を駆動させるこ
とになる。

【００５９】このときファインアクチュエータ部のＨＧ
Ａ（磁気ヘッド支持機構）駆動によってホルダアーム先
端部のアクチュエータスプリング接続位置において作用
するＨＧＡ駆動反力は、ホルダアームを挟んで対向する
側のＨＧＡ駆動反力によって互いに相殺されるため、ホ
ルダアーム先端部に作用する加振力をキャンセルするこ
とができ、ＨＧＡ駆動反力に起因したホルダアーム振動
を抑制することができるため、トラック追従時（小形Ｖ
ＣＭ駆動時）における振動特性を改善することができ
る。

【００６０】又、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構
１００について、更に別の具体例を図８を参照しながら
詳細に説明する。図８（ａ）および（ｄ）は、本発明に
係磁気ヘッド位置決め機構１００の第４の具体例の構成
を示す側面図および平面図である。図８において、アー
ムブロック１３の両端部、つまり最上位もしくは最下位
のホルダアーム１１には、前記第１の具体例で示したよ
うに磁気ヘッド支持機構Ｈ１またはＨ６を保持したファ
インアクチュエータ６が図示されていない記録媒体に対
向する側に接続されており、一方、当該ホルダアーム１
１を挟んで反対側には、前記磁気ヘッド支持機構Ｈ１ま
たはＨ６の等価質量に相当する質量を備えたダミーマス
２２を搭載したもう１枚の磁気ヘッド支持機構保持部Ｈ
０またはＨ７が接続されている（図８（ａ）の最上位ア
ーム・アッセー２３または最下位アーム・アッセー２４
参照）。

【００６１】前記最上位もしくは最下位のホルダアーム
１１に接続された磁気ヘッド支持機構Ｈ１もしくはＨ６
をシーク方向へ微小駆動させるときには、ホルダアーム
１１を挟んで対向する側に接続した前記ダミーマス２２
を保持する磁気ヘッド支持機構保持部Ｈ０もしくはＨ７
を上記磁気ヘッド支持機構保持部Ｈ１もしくはＨ６とは
逆方向へ同じ加速度で駆動するように、当該磁気ヘッド
支持機構保持部Ｈ０もしくはＨ７に設けられたダミーア
クチュエータ２１に取り付けた他の第２の駆動手段１
６’を構成する第２の小形ボイスコイルモータＶＣＭ２
０’に印加する電流を、当該磁気ヘッド支持機構保持部
Ｈ１もしくはＨ６のファインアクチュエータ部を構成す
る第２の駆動手段２０に想到する小形ボイスコイルモー
タＶＣＭ２０に印加する電流とは逆方向になるように制
御する。

【００６２】これにより、アームブロック最上位もしく
は最下位の磁気ヘッドをファインアクチュエータ６によ
り微小駆動させてトラック追従動作を行うときには、ホ
ルダアーム１１を挟んで反対側に接続されたダミー・ア
クチュエータ２１も常時逆方向へ同じ加速度（駆動力）
でダミーマスを駆動させることになり、図８（ｂ）及び
図８（ｃ）に示すように、互いの駆動反力が相殺されて
ホルダアーム先端部に作用する加振力をキャンセルする
ことができる。

【００６３】したがって、ＨＧＡ駆動反力に起因するホ
ルダアーム振動を抑制することができるため、高周波数
帯域まで共振ピークのない良好な振動特性を有する磁気
ヘッド位置決め機構を提供することができる。上記した
各具体例から明らかな様に、本発明に於ける当該磁気ヘ
ッド位置決め機構１００の好ましい具体例としては、当
該多層化された磁気ヘッド位置決め機構に於いて、当該
多層化された当該個々のコースアクチュエータ部に於け
る両端部に位置する当該コースアクチュエータ部を構成
するホルダアームの一面にはダミー部材が配置され、当
該他面には、実際に情報を記録媒体に対し書込み或いは
記録媒体から情報を読み出す操作を行う磁気ヘッドを有
する当該磁気ヘッド支持機構或いは当該磁気ヘッド支持
機構を保持する磁気ヘッド支持機構保持部が配置されて
いる磁気ヘッド位置決め機構であり、又他の好ましい具
体例としては、当該多層化された磁気ヘッド位置決め機
構に於いて、当該多層化された当該個々のコースアクチ
ュエータ部に於ける両端部を除く部位に配置されたホル
ダアームの両側面には、それぞれ実際に情報を記録媒体
に対し書込み或いは記録媒体から情報を読み出す操作を
行う磁気ヘッドを有する当該磁気ヘッド支持機構或いは
当該磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構
保持部が配置されている磁気ヘッド位置決め機構であ
る。

【００６４】一方、上記各具体例に於ける当該磁気ヘッ
ド位置決め機構１００の操作方法の説明より明らかな通
り、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構の駆動方
法としては、磁気ヘッドを搭載したスライダを支持する
ように構成された磁気ヘッド支持機構と当該磁気ヘッド
支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構保持部を有する
ファインアクチュエータ部、及び当該ファインアクチュ
エータ部と接合されると共に、所定の回転軸の回りに揺
動可能に軸支されたホルダーアームを有するコースアク
チュエータ部とから構成された磁気ヘッド位置決め機構
であって、当該コースアクチュエータ部は、当該ホルダ
ーアームを当該回転軸を中心としてシーク方向に揺動さ
せる為の第１の駆動手段を有しており、一方、当該ファ
インアクチュエータ部には、当該コースアクチュエータ
部に於ける該ホルダーアームの揺動運動とは独立的に当
該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動させる為の第２
の駆動手段が設けられている磁気ヘッド位置決め機構に
於いて、当該ファインアクチュエータ部に振動抑制手段
を設け、当該ファインアクチュエータ部に於ける当該磁
気ヘッド支持機構の当該揺動運動に伴って、当該コース
アクチュエータ部の当該ホルダーアームに発生する振動
を抑制する様に構成されているものである。

【００６５】上記した本発明に係る当該磁気ヘッド位置
決め機構の駆動方法に於いては、当該振動抑制手段を介
して、当該磁気ヘッド支持機構の当該揺動運動に伴っ
て、当該コースアクチュエータ部の当該ホルダーアーム
に発生する複数個の共振周波数を一つに制限し、且つ当
該共振周波数をより高周波帯域側に移動する様に制御す
る様に制御が実行される事が望ましい。

【００６６】又、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め
機構の駆動方法に於いては、当該コースアクチュエータ
部７に設けられている当該第１の駆動手段１２としてボ
イスコイルモータを使用する事が望ましく、又、当該フ
ァインアクチュエータ部６に設けられている当該第２の
駆動手段１６としては、ボイスコイルモータ或いは圧電
素子の何れかを使用する事が望ましい。

【００６７】更に、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決
め機構の駆動方法に於いては、当該ファインアクチュエ
ータ部６に於て、当該磁気ヘッド支持機構５は、少なく
とも当該磁気ヘッド支持機構保持部３０に形成されたア
クチュエータスプリング部８に設けられた細幅状バネ部
材２７を介して当該磁気ヘッド支持機構保持部３０に接
合されており、当該細幅状バネ部材２７を圧電素子１６
０に印加される電圧を制御することによって変形させ、
当該磁気ヘッド１をシーク方向に揺動させる様に制御す
るものである。

【００６８】又、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め
機構の駆動方法に於いては、当該ファインアクチュエー
タ部６に於て、当該磁気ヘッド支持機構５を有する当該
磁気ヘッド支持機構保持部３０が、コースアクチュエー
タ部７のホルダアーム１１の一部に旋回可能に保持され
ると共に当該磁気ヘッド支持機構保持部３０の端部にボ
イスコイルモータ２０を当該コースアクチュエータ部７
の当該ホルダーアーム１１に設けた磁石手段３５と対向
して設け、当該ボイスコイルモータ２０に印加される電
流を制御する事によって当該磁気ヘッド１をシーク方向
に揺動させる様に制御するものである。

【００６９】より具体的には、本発明に係る当該磁気ヘ
ッド位置決め機構の駆動方法に於て、当該振動抑制手段
３２によって、当該磁気ヘッド支持機構５による揺動に
起因して当該コースアクチュエータ部７のホルダアーム
１１に発生する反力を相殺する様な力を当該コースアク
チュエータ部７に発生させる様に構成するものであり、
特には、当該ファインアクチュエータ部６に設けられる
当該振動抑制手段３２を、当該ファインアクチュエータ
部６に於ける当該磁気ヘッド支持機構保持部３０に対向
して設けられ、且つ当該磁気ヘッド支持機構５若しくは
当該磁気ヘッド支持機構保持部３０と等価の質量を有し
ている揺動補償部材３３で構成し、当該揺動補償部材３
３を当該磁気ヘッド支持機構５の揺動動作に同期して当
該磁気ヘッド支持機構５の揺動動作とは反対方向に揺動
動作を独立的に行わせるものである。

【００７０】かかる構造に於て、当該揺動補償部材３３
と当該実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッ
ドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気
ヘッド支持機構５或いは、実際に情報の読み書きに使用
される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するよ
うに構成された磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッ
ド支持機構保持部３０とを、当該コースアクチュエータ
部７を構成する当該ホルダアーム１１の互いに対向する
平面にそれぞれ個別に設ける事が望ましい。

【００７１】又、当該ホルダアーム１１を挟んで上下両
面に接続された、当該実際に情報の読み書きに使用され
る当該磁気ヘッド１を搭載したスライダを支持するよう
に構成された磁気ヘッド支持機構５、或いは実際に情報
の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスラ
イダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構を
含む磁気ヘッド支持機構保持部５と当該揺動補償部材の
内、当該磁気ヘッド支持機構５、或いは当該磁気ヘッド
支持機構保持部３０を当該ファインアクチュエータ部６
に設けられている第２の駆動手段１６を駆動して、当該
磁気ヘッドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該
ホルダアーム１１を挟んで反対側に接続された当該揺動
補償部材３３を、当該第２の駆動手段１６と同一の構成
を有する他の第２の駆動手段１６’を駆動させて、当該
磁気ヘッド支持機構５、或いは当該磁気ヘッド支持機構
保持部３０の駆動方向とは逆向きに常時同じ力で駆動さ
せる様に構成する事が望ましい。

【００７２】本発明に於いては、当該揺動補償部材３３
は、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッド
１を搭載したスライダを支持するように構成された磁気
ヘッド支持機構５で構成されるか、或いは、実際に情報
の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスラ
イダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と
接続された磁気ヘッド支持機構保持部３０で構成し、当
該揺動補償部材３３に於いても実際の情報の読み書きを
実行出来る様にする事も望ましい。

【００７３】一方、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決
め機構１００に於て、当該多層状に積層された複数個の
コースアクチュエータ部７の内、両端部に配置されてい
る当該コースアクチュエータ部に於ける当該振動抑制手
段３２の該揺動補償部材３３は、当該磁気ヘッド支持機
構５若しくは当該磁気ヘッド支持機構保持部３０と等価
の質量を有しているダミー部材２２で構成する事が望ま
しい。

【００７４】更に、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決
め機構１００は、当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該磁気ヘッド支持機構保持部は、当該磁気ヘッド支
持機構を支持する薄板状のアクチュエータ・スプリング
と当該アクチュエータ・スプリングを駆動する第２の駆
動手段としての２つの圧電素子を有してなり、当該磁気
ヘッド支持機構の当該磁気ヘッドのシーク方向への微小
量変位は、当該２つの圧電素子に交互に電圧を印加する
ことで当該２つの圧電素子に駆動力を発生させ、当該駆
動力によって当該アクチュエータ・スプリング部を弾性
的に撓ませることによって実行される様に構成されてい
る気ヘッド位置決め機構の駆動方法である。

【００７５】又、本発明に係る当該、磁気ヘッド位置決
め機構１００は、当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該振動抑制手段を構成する当該揺動補償部材は、当
該磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有する保持
部材で構成すると共に、当該磁気ヘッド支持機構と等価
の質量を有するダミー部材を支持する薄板状のアクチュ
エータ・スプリングと当該アクチュエータ・スプリング
を駆動する他の第２の駆動手段としての２つの圧電素子
を有してなり、当該ダミー部材のシーク方向への微小量
変位は、当該２つの圧電素子に交互に電圧を印加するこ
とで当該２つの圧電素子に駆動力を発生させ、当該駆動
力によって当該アクチュエータ・スプリング部を弾性的
に撓ませることによって実行される様に構成されている
磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法である。

【００７６】一方、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決
め機構１００は、当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該ホルダーアームを挟んで、実際に情報の読み書き
に使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持
するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続された
第１の磁気ヘッド支持機構保持部と、当該振動抑制手段
として機能する、第１の磁気ヘッド支持機構保持部と等
価の質量を有し、且つ実際に情報の読み書きに使用され
る当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように
構成された磁気ヘッド支持機構と接続された第２の磁気
ヘッド支持機構保持部とを設け、更に当該第１と第２の
磁気ヘッド支持機構保持部に於いては、何れも当該磁気
ヘッド支持機構は、少なくとも当該磁気ヘッド支持機構
保持部に形成されたアクチュエータスプリング部に設け
られた細幅状バネ部材を介して当該磁気ヘッド支持機構
保持部に接合せしめ、当該第１と第２の磁気ヘッド支持
機構保持部に於ける当該各細幅状バネ部材をそれぞれ第
２の駆動手段及び他の第２の駆動手段を構成する圧電素
子に印加される電圧を制御することによって変形させ、
当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動させる様に構
成しておき、一方の第２の駆動手段を構成する当該圧電
素子に電圧を印加して当該第１の磁気ヘッド支持機構保
持部を構成する当該磁気ヘッド支持機構を駆動し、当該
磁気ヘッドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該
ホルダアームを挟んで反対側に接続された第２の磁気ヘ
ッド支持機構保持部に設けられた当該他の第２の駆動手
段を構成する当該圧電素子には、当該第２の駆動手段の
圧電素子に印加された電圧とは逆位相の電圧を印加し
て、当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部に於ける当該
磁気ヘッド支持機構の揺動方向とは、逆方向に同じ駆動
力を発生させる様に制御する磁気ヘッド位置決め機構の
駆動方法である。

【００７７】又、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め
機構１００としては、当該ファインアクチュエータ部に
於ける当該ホルダーアームを挟んで、実際に情報の読み
書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを
支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続さ
れた第１の磁気ヘッド支持機構保持部と、当該振動抑制
手段として機能する、磁気ヘッド支持機構を含む第１の
磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有するダミー
部材とを設け、更に当該第１の磁気ヘッド支持機構保持
部と当該ダミー部材に於ける磁気ヘッド支持機構保持部
におては、何れも当該磁気ヘッド支持機構及び当該磁気
ヘッド支持機構と等価の質量を有するダミーマスは、少
なくとも当該磁気ヘッド支持機構保持部に形成されたア
クチュエータスプリング部に設けられた細幅状バネ部材
を介して当該磁気ヘッド支持機構保持部に接合せしめ、
当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部と当該ダミー部材
に於ける当該各細幅状バネ部材をそれぞれ第２の駆動手
段及び他の第２の駆動手段を構成する圧電素子に印加さ
れる電圧を制御することによって変形させ、当該磁気ヘ
ッドをシーク方向に微小量揺動させる様に構成してお
き、一方の第２の駆動手段を構成する当該圧電素子に電
圧を印加して当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部を構
成する当該磁気ヘッド支持機構を駆動し、当該磁気ヘッ
ドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホルダア
ームを挟んで反対側に接続された当該ダミー部材に設け
られた当該他の第２の駆動手段を構成する当該圧電素子
には、当該第２の駆動手段の圧電素子に印加された電圧
とは逆位相の電圧を印加して、当該第１の磁気ヘッド支
持機構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の揺動方
向とは、逆方向に同じ駆動力を発生させる様に制御する
様に構成された磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法であ
る。

【００７８】又、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め
機構１００の他の具体例としては、当該ファインアクチ
ュエータ部に於ける当該ホルダーアームを挟んで、その
一面に実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッ
ドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気
ヘッド支持機構を有する第１の磁気ヘッド支持機構保持
部であって、当該コースアクチュエータ部のホルダアー
ムの一部に旋回可能に保持されると共に当該第１の磁気
ヘッド支持機構保持部の端部に第２の駆動手段を構成す
る第１のボイスコイルモータを有する第１の磁気ヘッド
支持機構保持部を設け、かつその他面には、当該振動抑
制手段として機能する、第１の磁気ヘッド支持機構保持
部と等価の質量を有し、且つ実際に情報の読み書きに使
用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持する
ように構成された磁気ヘッド支持機構と接続された第２
の磁気ヘッド支持機構保持部であって、当該コースアク
チュエータ部のホルダアームの一部に旋回可能に保持さ
れると共に当該第２の磁気ヘッド支持機構保持部の端部
に他の第２の駆動手段を構成する第２のボイスコイルモ
ータを有する第２の磁気ヘッド支持機構保持部を設け、
更に当該第１と第２の磁気ヘッド支持機構保持部に於い
ては、何れも当該磁気ヘッド支持機構の当該磁気ヘッド
のシーク方向への微小量変位は、当該ボイスコイルモー
タのコイルに任意の電流を印加することで当該ボイスコ
イルモータに電磁力を発生させ、当該電磁力によって当
該それぞれの磁気ヘッド支持機構保持部を揺動させる様
に構成しておき、一方の第２の駆動手段を構成する当該
ボイスコイルモータに所定の電流を印加して当該第１の
磁気ヘッド支持機構保持部を駆動し、当該磁気ヘッドを
シーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホルダアーム
を挟んで反対側に接続された第２の磁気ヘッド支持機構
保持部に設けられた当該他の第２の駆動手段を構成する
当該ボイスコイルモータには、当該第２の駆動手段に印
加された電流とは逆向きの電流を印加して、当該第１の
磁気ヘッド支持機構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持
機構の揺動方向とは、逆方向に同じ駆動力を発生させる
様に制御する磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法であ
る。

【００７９】又、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め
機構１００の別の具体例としては、当該ファインアクチ
ュエータ部に於ける当該ホルダーアームを挟んで、その
一面に実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッ
ドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気
ヘッド支持機構を有する第１の磁気ヘッド支持機構保持
部であって、当該コースアクチュエータ部のホルダアー
ムの一部に旋回可能に保持されると共に当該第１の磁気
ヘッド支持機構保持部の端部に第２の駆動手段を構成す
る第１のボイスコイルモータを有する第１の磁気ヘッド
支持機構保持部を設け、かつその他面には、当該振動抑
制手段として機能する、当該磁気ヘッド支持機構を含む
第１の磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有する
ダミー部材であって、当該コースアクチュエータ部のホ
ルダアームの一部に旋回可能に保持されると共に当該ダ
ミー部材の端部他の第２の駆動手段を構成する第２のボ
イスコイルモータを有するダミー部材とを設け、更に当
該第１の磁気ヘッド支持機構保持部と当該ダミー部材に
於いては、何れも当該磁気ヘッド支持機構の当該磁気ヘ
ッドのシーク方向への微小量変位は、当該ボイスコイル
モータのコイルに任意の電流を印加することで当該ボイ
スコイルモータに電磁力を発生させ、当該電磁力によっ
て当該それぞれの磁気ヘッド支持機構保持部を揺動させ
る様に構成しておき、一方の第２の駆動手段を構成する
当該第１のボイスコイルモータに所定の電流を印加して
当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部を駆動し、当該磁
気ヘッドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホ
ルダアームを挟んで反対側に接続された当該ダミー部材
に設けられた当該他の第２の駆動手段を構成する当該ボ
イスコイルモータには、当該第２の駆動手段に印加され
た電流とは逆向きの電流を印加して、当該第１の磁気ヘ
ッド支持機構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の
揺動方向とは、逆方向に同じ駆動力を発生させる様に制
御する磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法である。

【００８０】又、本発明に於ける当該磁気ヘッド位置決
め機構１００に於いては、当該コースアクチュエータ部
は、当該ファインアクチュエータ部を複数個支持し、当
該コースアクチュエータ部による当該ファインアクチュ
エータ部の当該シーク方向への変位は、複数個の当該フ
ァインアクチュエータ部を一括して行うように構成され
ていることが望ましい。

【００８１】

【発明の効果】本発明の磁気ヘッド位置決め機構および
その駆動方法は、上記した様な技術構成を採用している
ので、これにより、トラック追従時においてファインア
クチュエータ部を駆動させたときにホルダアームとの接
続部に作用するＨＧＡ駆動反力は、ホルダアームを挟ん
で対向する側に取り付けられたもう１枚のファインアク
チュエータもしくはダミー・アクチュエータのＨＧＡ駆
動反力によって相殺され、ホルダアーム先端部に作用す
る加振力をキャンセルすることができるため、ホルダア
ーム振動に起因した共振を抑制することができ、高周波
数帯域まで共振ピークのない良好な振動特性を得ること
ができるため、磁気ヘッドの高速・高精度なトラック追
従動作（フォローイング）を行うことが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構
の第１の具体例の構成を示す図であり、図１（ａ）は側
面図、図１（ｂ）〜図１（ｄ）は平面図である。

【図２】図２（ａ）〜図２（ｃ）は、本発明に係る磁気
ヘッド位置決め機構の第１の具体例の構成を示す斜視図
である。

【図３】図３（ａ）〜図３（ｂ）は、本発明に係る磁気
ヘッド位置決め機構の第１の具体例における２ステージ
アクチュエータの周波数特性を示す特性線図である。

【図４】図４は、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構
の第２の具体例の構成を示す図であり、図４（ａ）は側
面図、図４（ｂ）〜図４（ｄ）は平面図である。

【図５】図５（ａ）〜図５（ｃ）は、本発明に係る磁気
ヘッド位置決め機構の第２の具体例の構成を示す斜視図
である。

【図６】図６（ａ）〜図６（ｂ）は、本発明に係る磁気
ヘッド位置決め機構の第２の具体例における２ステージ
アクチュエータの周波数特性を示す特性線図である。

【図７】図７は、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構
の第３の具体例の構成を示す図であり、図７（ａ）は側
面図、図７（ｂ）〜図７（ｄ）は平面図である。

【図８】図８は、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構
の第４の具体例の構成を示す図であり、図８（ａ）は側
面図、図８（ｂ）〜図８（ｄ）は平面図である。

【図９】図９は、従来に於ける磁気ヘッド位置決め機構
の構成例を示す平面図である。

【図１０】図１０は、従来に於ける磁気ヘッド位置決め
機構の構成例を示す側面図及び斜視図である。

【図１１】図１１は、２ステージアクチュエータに関す
る従来例（ヘッド素子駆動方式およびスライダ駆動方
式）を示す斜視図である。

【図１２】図１２は、２ステージアクチュエータの従来
例（力−加速度型ＨＧＡ駆動方式）を示す平面図であ
る。

【図１３】図１３は、２ステージアクチュエータの従来
例（力−加速度型ＨＧＡ駆動方式）を示すものであり、
図１３（ａ）はその側面図であり、又図１３（ｂ）は図
１３（ａ）の拡大側面図である。

【図１４】図１４は、２ステージアクチュエータの従来
例（力−変位型ＨＧＡ駆動方式）を示す図であり、図１
４（ａ）は平面図、図１４（ｂ）は側面図および図１４
（ｃ）はその拡大側面図である。

【図１５】図１５は、２ステージアクチュエータの従来
例（力−変位型ＨＧＡ駆動方式）の動作を示す説明図で
ある。

【図１６】図１６は、２ステージアクチュエータの従来
例（力−変位型ＨＧＡ駆動方式）の動作を示す説明図で
ある。

【図１７】図１７（ａ）は、２ステージアクチュエータ
の従来例（力−変位型ＨＧＡ駆動方式）の構成を示すア
ーム・アッセーモデル図であり、図１７（ｂ）は、２ス
テージアクチュエータの従来例に於ける振動特性を示す
図であり、図１７（ｃ）は、モード・シェイプである。

【図１８】図１８は、２ステージアクチュエータの従来
例（力−変位型ＨＧＡ駆動方式）に於ける振動特性と構
成を示す図であり、図１８（ａ）はアーム・アッセーモ
デル、図１８（ｂ）はその特性線図であり、又図１８
（ｃ）はモード・シェイプである。

【図１９】図１９は、２ステージアクチュエータの従来
例（力−変位型ＨＧＡ駆動方式）のアーム・アッセー時
の振動要因を示した平面図である。

【図２０】図２０は、２ステージアクチュエータの従来
例（力−変位型ＨＧＡ駆動方式）のアーム・アッセー時
の振動要因を示した斜視図である。

【符号の説明】

１……磁気ヘッド、２……スライダ、３……ジンバルス
プリング、４……ロードビーム、５……磁気ヘッド支持
機構（サスペンション）、６……ファインアクチュエー
タ部、７……コースアクチュエータ部、８……アクチュ
エータスプリング、９……サスペンションかしめ位置、
１０……ホルダアームかしめ位置、１１……ホルダアー
ム、１２……第１の駆動手段、可動コイル、１３……ア
ームブロック、１４……回転軸受け部、１５……外部固
定磁気回路、１６……第２の駆動手段、１６’……他の
第２の駆動手段、１６０、１６０’……圧電素子、１
７、３５……永久磁石、１８……ヨーク、１９……小形
コイル、２０、２０’……小形ボイスコイルモータ（Ｖ
ＣＭ）、２１……ダミー・アクチュエータ、２２……ダ
ミーマス、２３……最上位アーム・アッセー、２４……
最下位アーム・アッセー、２５……中位アーム・アッセ
ー、２６……記録媒体、２７……バネ部、３０……磁気
ヘッド支持機構保持部、３１……回転軸、３２……振動
抑制手段、３３……揺動補償部材、１００……磁気ヘッ
ド位置決め機構。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気ヘッドを搭載したスライダを支持す
るように構成された磁気ヘッド支持機構と当該磁気ヘッ
ド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構保持部を有す
るファインアクチュエータ部、及び当該ファインアクチ
ュエータ部と接合されると共に、所定の回転軸の回りに
揺動可能に軸支されたホルダーアームを有するコースア
クチュエータ部とから構成された磁気ヘッド位置決め機
構であって、当該コースアクチュエータ部は、当該ホル
ダーアームを当該回転軸を中心としてシーク方向に揺動
させる為の第１の駆動手段を有しており、一方、当該フ
ァインアクチュエータ部には、当該コースアクチュエー
タ部に於ける該ホルダーアームの揺動運動とは独立的に
当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動させる為の第
２の駆動手段が設けられており、更には、当該ファイン
アクチュエータ部には、当該ファインアクチュエータ部
に於ける当該磁気ヘッド支持機構の当該揺動運動に伴っ
て、当該コースアクチュエータ部の当該ホルダーアーム
に発生する振動を抑制する振動抑制手段が設けられてい
る事を特徴とする磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項２】当該振動抑制手段は、当該磁気ヘッド支
持機構の当該揺動運動に伴って、当該コースアクチュエ
ータ部の当該ホルダーアームに発生する複数個の共振周
波数を一つに制限し、且つ当該共振周波数をより高周波
帯域側に移動させる機能を有するものである事を特徴と
する請求項１記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項３】当該コースアクチュエータ部に設けられ
ている当該第１の駆動手段は、ボイスコイルモータであ
る事を特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッド位
置決め機構。
【請求項４】当該ファインアクチュエータ部に設けら
れている当該第２の駆動手段は、ボイスコイルモータ或
いは圧電素子の何れかで構成されている事を特徴とする
請求項１乃至３の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機
構。
【請求項５】当該ファインアクチュエータ部に於て、
当該磁気ヘッド支持機構は、少なくとも当該磁気ヘッド
支持機構保持部に形成されたアクチュエータスプリング
部との間に設けられた細幅状バネ部材を介して当該磁気
ヘッド支持機構保持部に接合されており、当該細幅状バ
ネ部材を圧電素子によって変形させる様に構成されてい
る事を特徴とする請求項４記載の磁気ヘッド位置決め機
構。
【請求項６】当該ファインアクチュエータ部に於て、
当該磁気ヘッド支持機構を有する当該磁気ヘッド支持機
構保持部が、コースアクチュエータ部のホルダアームの
一部に旋回可能に保持されると共に当該磁気ヘッド支持
機構保持部の端部にボイスコイルモータが設けられてい
る事を特徴とする請求項４記載の磁気ヘッド位置決め機
構。
【請求項７】当該振動抑制手段は、当該磁気ヘッド支
持機構による揺動に起因して当該コースアクチュエータ
部のホルダアームに発生する反力を相殺する様な力を発
生させる機能を有するものである事を特徴とする請求項
１乃至６の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項８】当該振動抑制手段は、当該ファインアク
チュエータ部に、当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該磁気ヘッド支持機構保持部に設けられている当該
磁気ヘッド支持機構の揺動動作に同期して当該磁気ヘッ
ド支持機構の揺動動作とは反対方向の揺動動作を独立的
に行う揺動補償部材を付加した事を特徴とする請求項１
乃至７の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項９】当該揺動補償部材は、当該磁気ヘッド支
持機構と等価の質量を有している事を特徴とする請求項
８記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項１０】当該揺動補償部材は、磁気ヘッドを搭
載したスライダを支持するように構成された揺動可能な
磁気ヘッド支持機構で構成されている事を特徴とする請
求項８記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項１１】当該揺動補償部材は、磁気ヘッドを搭
載したスライダを支持する磁気ヘッド支持機構を含む磁
気ヘッド支持機構保持部で構成されている事を特徴とす
る請求項８記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項１２】当該揺動補償部材は、実際に情報の読
み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダ
を支持するように構成された磁気ヘッド支持機構或い
は、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッド
を搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘ
ッド支持機構と接続される当該磁気ヘッド支持機構保持
部に隣接して対向配置されるものである事を特徴とする
請求項９乃至１１の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め
機構。
【請求項１３】当該揺動補償部材は、実際に情報の読
み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダ
を支持するように構成された磁気ヘッド支持機構で構成
されるか、或いは、実際に情報の読み書きに使用される
当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構
成された磁気ヘッド支持機構と接続された磁気ヘッド支
持機構保持部である事を特徴とする請求項８乃至１２の
何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項１４】当該揺動補償部材はダミー部材で構成
されている事を特徴とする請求項８乃至１３の何れかに
記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項１５】当該揺動補償部材と、実際に情報を記
録媒体に対し書込み或いは記録媒体から情報を読み出す
操作を行う磁気ヘッドを有する当該磁気ヘッド支持機構
或いは当該磁気ヘッド支持機構保持部とは、互いに反対
の方向に同じ力で揺動する様に構成されている事を特徴
とする請求項８乃至１４の何れかに記載の磁気ヘッド位
置決め機構。
【請求項１６】当該揺動補償部材が、実際に情報を記
録媒体に対し書込み或いは記録媒体から情報を読み出す
操作を行う磁気ヘッドを有する当該磁気ヘッド支持機構
或いは当該磁気ヘッド支持機構保持部である事を特徴と
する請求項１５記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項１７】当該揺動補償部材と当該実際に情報の
読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライ
ダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構で構
成されるか、或いは、実際に情報の読み書きに使用され
る当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように
構成された磁気ヘッド支持機構保持部とは、当該コース
アクチュエータ部を構成する当該ホルダアームの互いに
対向する平面にそれぞれ設けられている事を特徴とする
請求項８乃至１６の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め
機構。
【請求項１８】当該ファインアクチュエータ部を保持
する当該コースアクチュエータ部が複数個、多層状に積
層されて構成されている事を特徴とする請求項１乃至１
７の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項１９】当該複数個のコースアクチュエータ部
は、当該それぞれのコースアクチュエータ部に於けるホ
ルダアームに設けられている当該回転軸を受け入れるア
ームブロックに於いて同芯状に多層化積層されている事
を特徴とする請求項１８記載の磁気ヘッド位置決め機
構。
【請求項２０】当該多層化された磁気ヘッド位置決め
機構に於いて、当該多層化された当該個々のコースアク
チュエータ部に於ける両端部に位置する当該コースアク
チュエータ部を構成するホルダアームの一面にはダミー
部材が配置され、当該他面には、実際に情報を記録媒体
に対し書込み或いは記録媒体から情報を読み出す操作を
行う磁気ヘッドを有する当該磁気ヘッド支持機構或いは
当該磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構
保持部が配置されている事を特徴とする請求項１乃至１
９の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項２１】当該多層化された磁気ヘッド位置決め
機構に於いて、当該多層化された当該個々のコースアク
チュエータ部に於ける両端部を除く部位に配置されたホ
ルダアームの両側面には、それぞれ実際に情報を記録媒
体に対し書込み或いは記録媒体から情報を読み出す操作
を行う磁気ヘッドを有する当該磁気ヘッド支持機構或い
は当該磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機
構保持部が配置されている事を特徴とする請求項１乃至
１９の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項２２】磁気ヘッドを搭載したスライダを支持
するように構成された磁気ヘッド支持機構と当該磁気ヘ
ッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構保持部を有
するファインアクチュエータ部、及び当該ファインアク
チュエータ部と接合されると共に、所定の回転軸の回り
に揺動可能に軸支されたホルダーアームを有するコース
アクチュエータ部とから構成された磁気ヘッド位置決め
機構であって、当該コースアクチュエータ部は、当該ホ
ルダーアームを当該回転軸を中心としてシーク方向に揺
動させる為の第１の駆動手段を有しており、一方、当該
ファインアクチュエータ部には、当該コースアクチュエ
ータ部に於ける該ホルダーアームの揺動運動とは独立的
に当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動させる為の
第２の駆動手段が設けられている磁気ヘッド位置決め機
構に於いて、当該ファインアクチュエータ部に振動抑制
手段を設け、当該ファインアクチュエータ部に於ける当
該磁気ヘッド支持機構の当該揺動運動に伴って、当該コ
ースアクチュエータ部の当該ホルダーアームに発生する
振動を抑制する事を特徴とする磁気ヘッド位置決め機構
の駆動方法。
【請求項２３】当該振動抑制手段を介して、当該磁気
ヘッド支持機構の当該揺動運動に伴って、当該コースア
クチュエータ部の当該ホルダーアームに発生する複数個
の共振周波数を一つに制限し、且つ当該共振周波数をよ
り高周波帯域側に移動する様に制御する事を特徴とする
請求項２２記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項２４】当該コースアクチュエータ部に設けら
れている当該第１の駆動手段としてボイスコイルモータ
を使用する事を特徴とする請求項２２又は２３に記載の
磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項２５】当該ファインアクチュエータ部に設け
られている当該第２の駆動手段としてボイスコイルモー
タ或いは圧電素子の何れかを使用する事を特徴とする請
求項２２又は２３に記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆
動方法。
【請求項２６】当該ファインアクチュエータ部に於
て、当該磁気ヘッド支持機構は、少なくとも当該磁気ヘ
ッド支持機構保持部に形成されたアクチュエータスプリ
ング部に設けられた細幅状バネ部材を介して当該磁気ヘ
ッド支持機構保持部に接合されており、当該細幅状バネ
部材を圧電素子に印加される電圧を制御することによっ
て変形させ、当該磁気ヘッドをシーク方向に揺動させる
事を特徴とする請求項２２乃至２５の何れかに記載の磁
気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項２７】当該ファインアクチュエータ部に於
て、当該磁気ヘッド支持機構を有する当該磁気ヘッド支
持機構保持部が、コースアクチュエータ部のホルダアー
ムの一部に旋回可能に保持されると共に当該磁気ヘッド
支持機構保持部の端部にボイスコイルモータを当該コー
スアクチュエータ部の当該ホルダーアームに設けた磁石
手段と対向して設け、当該ボイスコイルモータに印加さ
れる電流を制御する事によって当該磁気ヘッドをシーク
方向に揺動させる事を特徴とする請求項２２乃至２５の
磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項２８】当該振動抑制手段によって、当該磁気
ヘッド支持機構による揺動に起因して当該コースアクチ
ュエータ部のホルダアームに発生する反力を相殺する様
な力を当該コースアクチュエータ部に発生させる事を特
徴とする請求項２２乃至２７の何れかに記載の磁気ヘッ
ド位置決め機構の駆動方法。
【請求項２９】当該ファインアクチュエータ部に設け
られる当該振動抑制手段を、当該ファインアクチュエー
タ部に於ける当該磁気ヘッド支持機構保持部に対向して
設けられ、且つ当該磁気ヘッド支持機構若しくは当該磁
気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有している揺動
補償部材で構成し、当該揺動補償部材を当該磁気ヘッド
支持機構の揺動動作に同期して当該磁気ヘッド支持機構
の揺動動作とは反対方向に揺動動作を独立的に行わせる
事を特徴とする請求項２２乃至２８の何れかに記載の磁
気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項３０】当該揺動補償部材と当該実際に情報の
読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライ
ダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構で構
成されるか、或いは、実際に情報の読み書きに使用され
る当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように
構成された磁気ヘッド支持機構保持部とを、当該コース
アクチュエータ部を構成する当該ホルダアームの互いに
対向する平面にそれぞれ設ける事を特徴とする請求項２
９に記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項３１】当該ホルダアームを挟んで上下両面に
接続された当該実際に情報の読み書きに使用される当該
磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成さ
れた磁気ヘッド支持機構で構成されるか、或いは、実際
に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載し
たスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持
機構保持部と当該揺動補償部材の内、当該磁気ヘッド支
持機構、或いは当該磁気ヘッド支持機構保持部を当該フ
ァインアクチュエータ部に設けられている第２の駆動手
段を駆動して、当該磁気ヘッドをシーク方向へ微小量変
位させる場合、当該ホルダアームを挟んで反対側に接続
された当該揺動補償部材を、当該第２の駆動手段と同一
の構成を有する他の第２の駆動手段を駆動させて、当該
磁気ヘッド支持機構、或いは当該磁気ヘッド支持機構保
持部の駆動方向とは逆向きに常時同じ力で駆動させる事
を特徴とする磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項３２】当該揺動補償部材は、実際に情報の読
み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダ
を支持するように構成された磁気ヘッド支持機構で構成
されるか、或いは、実際に情報の読み書きに使用される
当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構
成された磁気ヘッド支持機構と接続された磁気ヘッド支
持機構保持部で構成する事を特徴とする請求項３１に記
載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項３３】当該揺動補償部材は当該磁気ヘッド支
持機構若しくは当該磁気ヘッド支持機構保持部と等価の
質量を有しているダミー部材で構成する事を特徴とする
請求項３１に記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方
法。
【請求項３４】当該ファインアクチュエータ部を保持
する当該コースアクチュエータ部を複数個、当該それぞ
れのコースアクチュエータ部に於けるホルダアームに設
けられている所定の回転軸を受け入れるアームブロック
に於いて同芯状となる様に多層状に積層されて、且つ当
該複数個のコースアクチュエータ部が一体的に揺動する
様に構成する事を特徴とする請求項２２乃至３３の何れ
かに記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項３５】当該多層状に積層された複数個のコー
スアクチュエータ部の内、両端部に配置されている当該
コースアクチュエータ部に於ける当該振動抑制手段の該
揺動補償部材は、当該磁気ヘッド支持機構若しくは当該
磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有しているダ
ミー部材で構成する事を特徴とする請求項３４に記載の
磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項３６】当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該磁気ヘッド支持機構保持部は、当該磁気ヘッド支
持機構を支持する薄板状のアクチュエータ・スプリング
と当該アクチュエータ・スプリングを駆動する第２の駆
動手段としての２つの圧電素子を有してなり、当該磁気
ヘッド支持機構の当該磁気ヘッドのシーク方向への微小
量変位は、当該２つの圧電素子に交互に電圧を印加する
ことで当該２つの圧電素子に駆動力を発生させ、当該駆
動力によって当該アクチュエータ・スプリング部を弾性
的に撓ませることによって実行されることを特徴とする
請求項２２乃至３５の何れかに記載の磁気ヘッド位置決
め機構の駆動方法。
【請求項３７】当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該振動抑制手段を構成する当該揺動補償部材は、当
該磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有する保持
部材で構成すると共に、当該磁気ヘッド支持機構と等価
の質量を有するダミー部材を支持する薄板状のアクチュ
エータ・スプリングと当該アクチュエータ・スプリング
を駆動する他の第２の駆動手段としての２つの圧電素子
を有してなり、当該ダミー部材のシーク方向への微小量
変位は、当該２つの圧電素子に交互に電圧を印加するこ
とで当該２つの圧電素子に駆動力を発生させ、当該駆動
力によって当該アクチュエータ・スプリング部を弾性的
に撓ませることによって実行されることを特徴とする請
求項２２乃至３６の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め
機構の駆動方法。
【請求項３８】当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該ホルダーアームを挟んで、実際に情報の読み書き
に使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持
するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続された
第１の磁気ヘッド支持機構保持部と、当該振動抑制手段
として機能する、第１の磁気ヘッド支持機構保持部と等
価の質量を有し、且つ実際に情報の読み書きに使用され
る当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように
構成された磁気ヘッド支持機構と接続された第２の磁気
ヘッド支持機構保持部とを設け、更に当該第１と第２の
磁気ヘッド支持機構保持部に於いては、何れも当該磁気
ヘッド支持機構は、少なくとも当該磁気ヘッド支持機構
保持部に形成されたアクチュエータスプリング部に設け
られた細幅状バネ部材を介して当該磁気ヘッド支持機構
保持部に接合せしめ、当該第１と第２の磁気ヘッド支持
機構保持部に於ける当該各細幅状バネ部材をそれぞれ第
２の駆動手段及び他の第２の駆動手段を構成する圧電素
子に印加される電圧を制御することによって変形させ、
当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動させる様に構
成しておき、一方の第２の駆動手段を構成する当該圧電
素子に電圧を印加して当該第１の磁気ヘッド支持機構保
持部を構成する当該磁気ヘッド支持機構を駆動し、当該
磁気ヘッドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該
ホルダアームを挟んで反対側に接続された第２の磁気ヘ
ッド支持機構保持部に設けられた当該他の第２の駆動手
段を構成する当該圧電素子には、当該第２の駆動手段の
圧電素子に印加された電圧とは逆位相の電圧を印加し
て、当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部に於ける当該
磁気ヘッド支持機構の揺動方向とは、逆方向に同じ駆動
力を発生させる様に制御する事を特徴とする請求項２２
乃至３７の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆
動方法。
【請求項３９】当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該ホルダーアームを挟んで、実際に情報の読み書き
に使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持
するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続された
第１の磁気ヘッド支持機構保持部と、当該振動抑制手段
として機能する、磁気ヘッド支持機構を含む第１の磁気
ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有するダミー部材
とを設け、更に当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部と
当該ダミー部材に於ける磁気ヘッド支持機構保持部にお
いては、何れも当該磁気ヘッド支持機構及び当該磁気ヘ
ッド支持機構と等価の質量を有するダミーマスは、少な
くとも当該磁気ヘッド支持機構保持部に形成されたアク
チュエータスプリング部に設けられた細幅状バネ部材を
介して当該磁気ヘッド支持機構保持部に接合せしめ、当
該第１の磁気ヘッド支持機構保持部と当該ダミー部材に
於ける当該各細幅状バネ部材をそれぞれ第２の駆動手段
及び他の第２の駆動手段を構成する圧電素子に印加され
る電圧を制御することによって変形させ、当該磁気ヘッ
ドをシーク方向に微小量揺動させる様に構成しておき、
一方の第２の駆動手段を構成する当該圧電素子に電圧を
印加して当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部を構成す
る当該磁気ヘッド支持機構を駆動し、当該磁気ヘッドを
シーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホルダアーム
を挟んで反対側に接続された当該ダミー部材に設けられ
た当該他の第２の駆動手段を構成する当該圧電素子に
は、当該第２の駆動手段の圧電素子に印加された電圧と
は逆位相の電圧を印加して、当該第１の磁気ヘッド支持
機構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の揺動方向
とは、逆方向に同じ駆動力を発生させる様に制御する事
を特徴とする請求項２２乃至３７の何れかに記載の磁気
ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項４０】当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該ホルダーアームを挟んで、その一面に実際に情報
の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスラ
イダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構を
有する第１の磁気ヘッド支持機構保持部であって、当該
コースアクチュエータ部のホルダアームの一部に旋回可
能に保持されると共に当該第１の磁気ヘッド支持機構保
持部の端部に第２の駆動手段を構成する第１のボイスコ
イルモータを有する第１の磁気ヘッド支持機構保持部を
設け、かつその他面には、当該振動抑制手段として機能
する、第１の磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を
有し、且つ実際に情報の読み書きに使用される当該磁気
ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された
磁気ヘッド支持機構と接続された第２の磁気ヘッド支持
機構保持部であって、当該コースアクチュエータ部のホ
ルダアームの一部に旋回可能に保持されると共に当該第
２の磁気ヘッド支持機構保持部の端部に他の第２の駆動
手段を構成する第２のボイスコイルモータを有する第２
の磁気ヘッド支持機構保持部を設け、更に当該第１と第
２の磁気ヘッド支持機構保持部に於いては、何れも当該
磁気ヘッド支持機構の当該磁気ヘッドのシーク方向への
微小量変位は、当該ボイスコイルモータのコイルに任意
の電流を印加することで当該ボイスコイルモータに電磁
力を発生させ、当該電磁力によって当該それぞれの磁気
ヘッド支持機構保持部を揺動させる様に構成しておき、
一方の第１の駆動手段を構成する当該ボイスコイルモー
タに所定の電流を印加して当該第１の磁気ヘッド支持機
構保持部を駆動し、当該磁気ヘッドをシーク方向へ微小
量変位させる場合、当該ホルダアームを挟んで反対側に
接続された第２の磁気ヘッド支持機構保持部に設けられ
た当該他の第２の駆動手段を構成する当該ボイスコイル
モータには、当該第２の駆動手段に印加された電流とは
逆向きの電流を印加して、当該第１の磁気ヘッド支持機
構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の揺動方向と
は、逆方向に同じ駆動力を発生させる様に制御する事を
特徴とする請求項２２乃至３７の何れかに記載の磁気ヘ
ッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項４１】当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該ホルダーアームを挟んで、その一面に実際に情報
の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスラ
イダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構を
有する第１の磁気ヘッド支持機構保持部であって、当該
コースアクチュエータ部のホルダアームの一部に旋回可
能に保持されると共に当該第１の磁気ヘッド支持機構保
持部の端部に第２の駆動手段を構成する第１のボイスコ
イルモータを有する第１の磁気ヘッド支持機構保持部を
設け、かつその他面には、当該振動抑制手段として機能
する、当該磁気ヘッド支持機構を含む第１の磁気ヘッド
支持機構保持部と等価の質量を有するダミー部材であっ
て、当該コースアクチュエータ部のホルダアームの一部
に旋回可能に保持されると共に当該ダミー部材の端部
に、他の第２の駆動手段を構成する第２のボイスコイル
モータを有するダミー部材とを設け、更に当該第１の磁
気ヘッド支持機構保持部と当該ダミー部材に於いては、
何れも当該磁気ヘッド支持機構の当該磁気ヘッドのシー
ク方向への微小量変位は、当該ボイスコイルモータのコ
イルに任意の電流を印加することで当該ボイスコイルモ
ータに電磁力を発生させ、当該電磁力によって当該それ
ぞれの磁気ヘッド支持機構保持部を揺動させる様に構成
しておき、一方の第２の駆動手段を構成する当該第１の
ボイスコイルモータに所定の電流を印加して当該第１の
磁気ヘッド支持機構保持部を駆動し、当該磁気ヘッドを
シーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホルダアーム
を挟んで反対側に接続された当該ダミー部材に設けられ
た当該他の第２の駆動手段を構成する当該ボイスコイル
モータには、当該第２の駆動手段に印加された電流とは
逆向きの電流を印加して、当該第１の磁気ヘッド支持機
構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の揺動方向と
は、逆方向に同じ駆動力を発生させる様に制御する事を
特徴とする請求項２２乃至３７の何れかに記載の磁気ヘ
ッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項４２】当該コースアクチュエータ部は、当該
ファインアクチュエータ部を複数個支持し、当該コース
アクチュエータ部による当該ファインアクチュエータ部
の当該シーク方向への変位は、複数個の当該ファインア
クチュエータ部を一括して行うように構成されているこ
とを特徴とする請求項４０又は４１に記載の磁気ヘッド
位置決め機構の駆動方法。