JP2000261173A - 冷却装置および電子機器 - Google Patents

冷却装置および電子機器

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JP2000261173A
JP2000261173A JP11063459A JP6345999A JP2000261173A JP 2000261173 A JP2000261173 A JP 2000261173A JP 11063459 A JP11063459 A JP 11063459A JP 6345999 A JP6345999 A JP 6345999A JP 2000261173 A JP2000261173 A JP 2000261173A
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Japan
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cooling
diaphragm
case
heat
cooling fluid
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JP11063459A
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English (en)
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Kazuaki Yazawa
和明 矢澤
Junichi Toyoda
準一 豊田
Minoru Okuda
稔 奥田
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子機器が備える冷却装置で特定の発熱部を
効率良く冷却できるようにする。 【解決手段】 振動板4の基端部4a側に圧電素子6を
貼着してファン2を構成し、このファン2をケース3内
に、振動板4の基端部4aにおいてケース3の後面部3
aの内面側に片持ち状に支持して内蔵し、ケース3に
は、後面部3aに冷却流体の流入口8を、前面部3b側
に流出口9をそれぞれ形成して冷却装置1を構成し、フ
ァン2の振動板4の振動動作により冷却流体を流出口9
から噴出させて発熱デバイス11に対して冷却流体の噴
流を生成し、発熱デバイス11を冷却する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、パーソナ
ルコンピュータ装置に内蔵されたマイクロプロセッサの
ような電子部品の冷却に適用して好適な冷却装置および
この冷却装置を備えた電子機器に関する。
【0002】
【従来の技術】電子機器において、特に冷却が必要とさ
れるデバイス、例えば、高性能中央処理装置(CPU)
を有するいわゆるノート型パーソナルコンピュータ等に
おいては、プリント配線板上にマイクロプロセッサが実
装されており、このマイクロプロセッサは、動作中の発
熱量が大きく、一般には何らかの冷却装置を取付けて冷
却するようにしてある。
【0003】この冷却装置の一例としては、マイクロプ
ロセッサの上に接触抵抗を低減するための熱伝導シー
ト、さらに吸熱板を載置してそこにヒートパイプを接合
してここを熱点とし、このヒートパイプの端点を冷点と
してフィンに接続し、電磁誘導形の電動ファンにより空
気に熱を伝えつつ、空気輸送により機器外部に熱を排出
するように構成し、マイクロプロセッサ上方の狭い空間
であっても熱が排出されるように構成されている。
【0004】このように、電動ファンによる発熱部品の
強制冷却の方法には、主として2つの方法があり、第1
の方法は、前述のように、発熱部品から離れた部位にお
いて、外気を吸入し、そこに発熱部品から放熱される熱
を伝達させて暖まった空気を機器外部に排出する方法で
ある。また、第2の方法は、発熱部品に対して空気の流
れを作り、これに流速を与えることにより発熱部品また
は、それに接合した放熱板あるいはフィンの熱伝達を向
上させる方法であり、従来は、この何れかの方法によ
り、電子機器における発熱部品の冷却を行っている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】このような電子機器に
おける発熱部品の冷却方法において、マイクロプロセッ
サ等の発熱部品を冷却する目的に対して、前述した第1
の方法では、熱伝導経路の途中で他の部品にも熱が伝わ
ることになり、また、前述した第2の方法では、マイク
ロプロセッサ等の発熱部品以外の場所にも空気を流して
しまうことになる。従って、これらの冷却方法は空気の
送気にロスが生じることになって集中的な発熱の冷却に
必ずしも適するといえないものである。
【0006】さらに、これらの送気ロスは、結果として
送気のための電動ファンへの供給のエネルギーを増加さ
せることによって性能の向上が図られるため電力消費の
増加を招くことになる。
【0007】また、送気のための電動ファンは、回転機
構を実現するために電磁駆動機構を収めるスペースが必
要となり、電子機器の薄形化への障害となっている。
【0008】そして、このような回転機構を有する構造
は、ファンの回転を必要とするために、基本的には、液
体等の中での作動は、電磁気特性や、流体の粘性抵抗に
より不都合が多く、実用的には空気中の冷却機構にしか
使用できないものである。
【0009】本発明はかかる点に鑑みてなされたもの
で、発熱部品に対する局所冷却の実現と、駆動機構の薄
形化、高効率による省電力駆動を可能とする冷却装置お
よびこの冷却装置を用いた電子機器を提供することを目
的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明による冷却装置は、振動板の基端部側に圧電素
子が固定されて成るファンと、このファンが振動板の基
端部において片持ち支持されて振動可能状態で内蔵され
るケースとから構成され、ケースの振動板が支持される
部面側に冷却流体の流入口を形成し、振動板の自由端側
と対向する部面側に冷却流体を噴流する流出口を形成し
たものである。
【0011】また、本発明による冷却装置は、上記構成
において、圧電素子の駆動による振動板の振動により、
ケースに流入される冷却流体を流出口から間歇的に噴き
出し状に流出させる構成としたものである。
【0012】さらに、本発明による冷却装置は、上記構
成において、圧電素子を振動板の固有振動数とほぼ一致
する周波数の電圧を与えて駆動する構成としたものであ
る。
【0013】また、本発明による電子機器は、振動板の
基端部側に圧電素子が固定されて成るファンと、このフ
ァンが振動板の基端部において片持ち支持されて振動可
能状態で内蔵されるケースとから成り、ケースの振動板
が支持される部面側に冷却流体の流入口を形成し、振動
板の自由端側と対向する部面側に冷却流体を噴流する流
出口を形成した冷却装置を発熱する特定箇所に対応して
配置して構成したものである。
【0014】また、本発明による電子機器は、上記構成
において、冷却装置の圧電素子の駆動による振動板の振
動により、ケースに流入される冷却法体を流出口から噴
き出し状に流出させて発熱する特定箇所に対して冷却流
体の流れを生成する構成としたものである。
【0015】また、本発明による電子機器は、上記構成
において、冷却装置のケースに流入される冷却流体を流
出口から間歇的に噴き出し状に流出させ、発熱する特定
箇所に対して冷却流体の間歇的流れを生成する構成とし
たものである。
【0016】このように、構成される本発明による冷却
装置は、ファンの駆動によりケースの流出口から冷却流
体が噴き出し状に流出されて発熱デバイスに対して冷却
流体の流れが生成され、これにより、発熱デバイス全体
の熱伝達が促進されて他の部材に影響を与えることなく
冷却が行われる。そして、冷却流体が間歇的に噴き出し
状に流出されることにより、発熱デバイスに対する流速
が連続的に変化して積極的に乱流を起すことになり、境
界層による熱伝達の阻害を抑制することができて冷却が
効率良く行われる。
【0017】また、冷却流体を発熱デバイスに対して直
接噴き付ける衝突噴流を生成することができ、局所熱伝
達が促進され、間歇的な流れの生成により境界層の成長
が抑制され、集中的な冷却を行うことができる。
【0018】また、本発明に電子機器は、発熱する特定
箇所が上記冷却装置により冷却されることにより、放熱
設計を簡単にすることが可能となる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。
【0020】この実施の形態は、いわゆるノート型パー
ソナルコンピュータ装置等の小形薄形の電子機器におい
て、高密度実装電子部品の冷却に好適で、特に発熱密度
の高い発熱デバイスの冷却に好適な冷却装置として構成
したものである。
【0021】例えば図3に示すように、電子機器として
のいわゆるノート型のパーソナルコンピュータ装置10
1は、キーボード部102を備えた本体部103と蓋体
を兼用するディスプレイ部104とから構成され、本体
部103内の回路基板105の所定位置にマイクロプロ
セッサ100が配置されている。
【0022】このマイクロプロセッサ100はパーソナ
ルコンピュータ装置101を作動させたとき、装置内で
必要な演算処理を実行する半導体素子の1つであり、作
動中には比較的高い温度に発熱する発熱体となる。この
ようにパーソナルコンピュータ装置101等の電子機器
にはマイクロプロセッサ100等の発熱する発熱電子部
品が組込まれている。ここでこの実施の形態において
は、マイクロプロセッサ100等の発熱体を発熱デバイ
スと総称し、符号11として示し、この発熱デバイス1
1に対応して以下に説明する冷却装置1を構成する部材
を配置して発熱デバイス11を冷却する構成としてい
る。
【0023】図1および図2において符号1は、冷却装
置の全体を示し、この冷却装置1は、ファン2をケース
3に内蔵して構成され、ファンは、薄板状の振動板4に
より形成されて、この振動板4を基端部4aにおいて、
ケース3の後面部3aの内面側に固定されたベース5に
固定することによりケース3内に片持状に支持されてい
る。
【0024】このファン2を形成する振動板4は、図示
例では基端部4a側を幅狭にした羽子板状に形成され
て、この幅狭基端部4a側の表面に圧電素子6が貼着さ
れて電源回路7からパルス状に変化する電圧を与え、こ
の圧電素子6に構造的な歪みを発生させることにより振
動板4の自由端部4b側が振動するように構成されてい
る。
【0025】一方、ケース3は、偏平箱状に形成され
て、振動板4を固定支持するベース5が固定された後面
部3aのベース5を挟む両側部に流入口8を形成し、後
面部3aと対向する前面部3bには、流出口9を形成し
て構成されており、前述した電源回路7のリード線7
a,7bが後面部3aの流入口8を通して圧電素子6に
接続されている。なお、このケース3の前面部3bの流
出口9は、ファン2の振動板4の自由端部4b側の幅寸
法とほぼ同じ寸法の幅で形成されている。
【0026】このように構成される冷却装置1は、ファ
ン2の圧電素子6に電源回路7からリード線7a,7b
を通してパルス状の電圧を供給することにより、前述の
ようにファン2の振動板4がケース3内において振動す
る。この場合、圧電素子6に供給するパルス状の電圧の
周期を電気的に制御し、振動板4の固有振動数と一致さ
せておくことにより、構造的なインピーダンスを極小値
に合せることができ、結果として供給電圧に対する電気
インピーダンスが低下し、少ない電力で振動板4は大き
な振幅で振動されることになる。
【0027】このように、ファン2の振動板4がケース
3内で振動することにより、冷却流体としての空気がケ
ース3内に後面部3aの流入口8から吸い込まれるよう
に流入されて前面部3bの流出口9から噴き出すように
流出される。
【0028】このように構成される冷却装置1を図1お
よび図2に示すように基板10上に実装配置されたマイ
クロプロセッサ等の発熱デバイス11の近傍に、ケース
3の前面部側流出口9を発熱デバイス11に向けて配置
することにより、発熱デバイス11はファン2の振動板
4の振動により流出口9から噴き出すように流出される
冷却流体としての空気流によって冷却される。この冷却
装置1による冷却は、ケース3の流出口9から流出され
る空気の流れ方向において行われるので発熱デバイス1
1に対する局所冷却を実現することができる。
【0029】すなわち、この実施の形態の冷却装置1
は、ケース3にファン2に対応して冷却流体の流入口8
と流出口9が形成されているので、冷却流体である空気
の噴き出し方向が決められ、局所熱伝達が非常に促進さ
れ、また、ファン2の振動板4の振動により、空気の噴
き出しによる流れは間歇的な流れとして生成されるた
め、その先の層流にも連続的な変化を発生させ、境界層
の成長を抑制することができる。従って、発熱デバイス
全体の熱伝達も促進され発熱デバイスの冷却効果が向上
される。
【0030】また、この冷却装置1から噴き出される冷
却流体である空気により発熱デバイスの表面に生成され
る空気の流れも、間歇的な流れとして生成されることに
より、流速が連続的に変化することにより積極的に乱流
を起すことになり、境界層による熱伝達の阻害を抑制す
ることができて、発熱デバイス全体の熱伝達が促進され
て発熱デバイスの冷却効果が向上される。
【0031】また、本発明による冷却装置に適用される
冷却流体としては、空気に限ることなく、他の非電気伝
導性の気体、非電気伝導性の液体を用いることができ、
この場合は、本発明による冷却装置を密閉空間内に発熱
デバイスが実装された基板と共に配置してこの密閉間内
に非電気伝導性の気体或いは液体を充填し、この気体或
いは液体中において冷却装置を動作させて発熱デバイス
の冷却を行うことができるものである。
【0032】次に、この冷却装置1を用いて発熱デバイ
ス11を冷却する各種の冷却方法を図4〜図10を参照
して説明する。
【0033】図4は、図1および図2に示す場合と同様
に、基板10上に実装される発熱デバイス11に対応し
て冷却装置1を配置し、この冷却装置1から噴き出され
る空気の流れ方向に位置する発熱デバイス11に対して
冷却流体である空気の流れを生成し、発熱デバイス11
を冷却する方法を示すものである。
【0034】図5は、基板10に実装配置された発熱デ
バイス11に対し、冷却装置1から噴き出される空気を
直接噴き当ててこの衝突流による発熱デバイス11を冷
却する方法を示すものである。
【0035】図6は、基板10に配置された発熱デバイ
ス11の表面側に対向して整流板12を配置し、冷却装
置1から噴き出される空気の流れを一度整流板12によ
って絞り込むことにより、噴き出し流を制御し、発熱デ
バイス11の最も冷却を必要とする個所に衝突させて発
熱デバイス11を冷却する方法を示すものである。
【0036】図7は、基板10に実装配置された発熱デ
バイス11の表面側に対向して冷却装置1を配置し、発
熱デバイス11の表面に対し、垂直方向に空気を噴き当
ててその衝突流により表面に沿う各方向の流れを作り、
発熱デバイス11を冷却する方法を示すものである。
【0037】図8は、基板10の両面に実装された発熱
デバイス11,11を冷却する方法を示し、この場合
は、両面に発熱デバイス11,11を実装した基板10
の端面に対向して冷却装置1を配置して、この冷却装置
1から噴き出される空気の流れを基板11の両面方向に
二分し、この両面側の流れにより両発熱デバイス11,
11を冷却するものである。
【0038】また、冷却装置1は、空気の吸い込みと噴
き出しが同じ方向であるため発熱デバイス11に対し後
方に配置しても、前方に配置しても発熱デバイス11に
対し空気の流れを生成し冷却することができることにな
る。
【0039】図9および図10は、図1、図2および図
4に示す場合と同様に放熱装置1を発熱デバイス11の
後方に配置する場合の機器内における配置例を示すもの
である。この図9および図10に示す構成は、機器筺体
13の壁部に対向して吸気口14と排気口15が設けら
れて、この機器筺体13内に配置される実装基板10に
発熱デバイス11を吸気口14と排気口15の間に位置
して実装し、この発熱デバイス11の後方、すなわち、
発熱デバイス11と吸気口14との間に位置して冷却装
置1を配置してある。そして、吸気口14と冷却装置1
の後面部すなわち、ケース3の流入口8が形成された後
面部3aとの間に整流板16を設置して構成されてい
る。
【0040】このように構成することにより、前述のよ
うに冷却装置1のファン2が動作されると外気が機器筺
体13の吸気口14から整流板16に沿って吸気されて
ケース3内に流入口8から流入し冷却装置1の前面部、
すなわち、ケース3の前面部3bの流出口9から噴き出
し実装基板11の板面に沿って流れて発熱デバイス11
に噴き当てられて発熱デバイス11の表面に冷却流体と
しての空気流を生成し、その後、排気口15から外部に
排気放出される。この空気の流れにより発熱デバイス1
1に対する冷却が行われる。
【0041】また、図11および図12に示すものは、
機器筺体13内に配置される実装基板10に発熱デバイ
ス11を吸気口14と排気口15の間に位置して実装
し、この発熱デバイス11の前方、すなわち、発熱デバ
イス11と排気口15との間に位置して冷却装置1を配
置してある。そして、排気口15と冷却装置1の前面
部、すなわち、ケース3の流出口9が形成された前面部
3bとの間に整流板17を設置して構成されている。
【0042】このように構成することにより、冷却装置
1のファン2が動作されることにより、機器筺体13内
に吸気口14から流入される外気は冷却装置1により吸
気されて発熱デバイス11の周囲を通る空気の流れが強
制的に生成し、この発熱デバイス11を通過した空気
は、冷却装置1の前面部であるケース3の前面部3bの
流出口9から整流板17に誘導されて排気口15から外
部に排気放出される。この空気の流れにより発熱デバイ
ス11に対する冷却が行われる。
【0043】以上のように、この実施の形態の放熱装置
1を用いて発熱デバイス11に対する各種の冷却が行え
る。
【0044】次に、図13および図14を参照して本発
明による冷却装置の他の実施の形態を説明する。
【0045】この実施の形態の冷却装置は、冷却流体で
ある空気を複数方向、例えば、上下両面方向から噴き出
すように構成したものである。
【0046】この実施の形態は、図13および図14に
示すように、冷却装置21は、前述した冷却装置1と同
様に、ファン22を通気ケース23に内蔵して構成さ
れ、ファン22は前述したファン2と同一部材により構
成されるので、同一部材には同一符号を付してし説明は
省略する。
【0047】この実施の形態においては、ケース23が
前述したケース3と異なるものである。すなわち、この
ケース23は偏平箱状に形成されてファン22の振動板
4を固定支持するベース5が固定される後面部23aに
は、ケース3と同様に流入口28が形成されているが、
前面部23bは閉塞されて、ファン22の振動板4の両
板面と対向する面、図示例では上面部23cおよび下面
部23dの前端部側に、振動板4の自由端部4bに対応
して流出口29aおよび29bが形成されている。な
お、この流出口29aおよび29bは、ファン2の振動
板4の自由端部4b側の幅寸法とほぼ同じ寸法の幅で形
成されている。
【0048】このように構成される冷却装置21も前述
した冷却装置1と同様にファン22の圧電素子6に電源
回路7からリード線7a,7bを通してパルス状の電圧
を供給することによりファン22の振動板4がケース2
3内において振動する。このケース23内の振動板4の
振動により、冷却流体としての空気がケース23内に後
面部23aの流入口28から吸い込まれるように流入さ
れて、上面部23cおよび下面部23dの流出口29a
および29bから上方および下方へ噴き出すように流出
される。
【0049】このように冷却流体としての空気が両側、
図示例では、上下面部から噴き出すように構成される冷
却装置21の上下両側に図14に示すように、発熱デバ
イス11を実装した実装基板10,10を配置すること
により、上下両側の発熱デバイス11,11を同時に冷
却することができる。すなわち、冷却装置21の上下方
向の両側に、ケース23の上面部23cと下面部23d
にそれぞれ対向して発熱デバイス11を実装した実装基
板10,10を配置する。これにより、ケース23内の
ファン22の振動板4が振動されると冷却流体としての
空気がケース23内に後面部23aの流入口28から吸
引流入し、上下面部23c,23dの流出口29a,2
9bから噴き出し流出されて、それぞれの流出口29
a,29bと対向する発熱デバイス11,11に直接噴
き当てられ、この空気の衝突流により発熱デバイス1
1,11は冷却される。
【0050】このように、この実施の形態の冷却装置2
1は2個の発熱デバイス11,11を同時に冷却できる
ものである。
【0051】また、この冷却装置21に対し実装基板1
0をケース23の上下面部23c,23dと直交する方
向に配置し、冷却装置21の両面からの冷却流体として
の空気の噴き出し流れの先端近傍に発熱デバイス11,
11を実装することにより、発熱デバイス11,11は
空気の流れの中に位置し、冷却されることになる。この
場合も、2個の発熱デバイス11,11は同時に冷却さ
れる。
【0052】また、この実施の形態の冷却装置21にお
いては、ケース23の上面部23c又は下面部23dの
何れか一方のみに流出口29a又は29bを形成して、
一方側、すなわち、冷却流体としての空気をファン22
と直交する一方の面方向のみに噴き出して空気流を生成
するように構成することができる。この場合は、冷却装
置21を1個の発熱デバイス11に平行に対応して配置
して冷却を行うことになる。
【0053】以上、本発明の実施の形態を説明したが、
本発明はこれらの実施の形態に限定されるものではな
く、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変更できるも
のである。
【0054】例えば、ファン2および22の振動板4の
形状は任意に変更できるものであり、また、ケース3お
よび23の全体の大きさと形状、流入口8および28と
流出口9および29a,29bの大きさと形状等も任意
に変更できるものである。
【0055】そして、振動板4の振動発生源としては、
圧電素子に変えて他の振動発生部材を適用できるもので
ある。また、本発明の実施の形態において発熱デバイス
11としては発熱フィンを備えたものも含むものであ
る。
【0056】さらに、前述した実施の形態では、ノート
型等の携帯用パーソナルコンピュータ装置内のマイクロ
プロセッサの冷却装置とした例を説明したが、デスクト
ップ型のパーソナルコンピュータ装置等の他の形状のコ
ンピュータ装置用の冷却装置としてもよく、或いは、機
器内の特定箇所が特に高温に発熱する機器であればコン
ピュータ装置以外のその他の各種電子機器における冷却
装置としても使用できることは勿論である。
【0057】
【発明の効果】本発明の冷却装置によれば、ケース内に
おいて片持ち状に支持されるファンを構成する振動板が
圧電素子の駆動により振動されることにより、冷却流体
が、ケースの流出口から噴出されて発熱デバイスに対し
て冷却流体噴流が生成されることになり、発熱デバイス
の発熱面の熱伝達が非常に促進されて発熱デバイスは冷
却される。また、冷却流体噴流は、有効に用いられるこ
とにより、冷却に必要とする電力を少なくできて、発熱
デバイスを少電力で効率良く冷却することができる。
【0058】また、本発明の電子機器によると、機器内
の発熱する特定箇所に対して、ケース内におけるファン
を構成する振動板の電圧素子の駆動による振動により、
ケースの流出口から噴出される冷却流体の噴流が生成さ
れることになり、発熱する特定箇所の発熱面の熱伝達が
非常に促進されて発熱面は冷却される。また、冷却流体
電流は、有効に用いられることにより、冷却に必要とす
る電力を少なくできて、機器内の発熱する特定箇所を少
電力で効率良く冷却することができ、信頼性の高い電子
機器を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態による冷却装置の例を一
部破断して示す斜視図で、発熱デバイスとの関連を示
す。
【図2】図1に示す冷却装置の冷却動作を説明する側断
面図である。
【図3】本発明の一実施の形態による電子機器の例を一
部破断して示す斜視図である。
【図4】図1に示す冷却装置の発熱デバイスに対する一
例の配置関係を概略的に示す側面図である。
【図5】図1に示すれ冷却装置の発熱デバイスに対する
他例の配置関係を概略的に示す側面図である。
【図6】図1に示す冷却装置の発熱デバイスに対するさ
らに他例の配置関係を概略的に示す側面図である。
【図7】図1に示す冷却装置の変形例の発熱デバイスに
対する一例の配置関係を概略的に示す側面図である。
【図8】図1に示す冷却装置の発熱デバイスに対するさ
らに他例の配置関係を概略的に示す側面図である。
【図9】図1に示す冷却装置を備えた電子機器における
冷却装置と発熱デバイスの一例の配置関係を概略的に示
す平面図である。
【図10】図9における要部の側面図である。
【図11】図1に示す冷却装置を備えた電子機器におけ
る冷却装置と発熱デバイスの他例の配置関係を概略的に
示す平面図である。
【図12】図11における要部の側面図である。
【図13】本発明の他の実施の形態による冷却装置の例
を一部破断して示す斜視図である。
【図14】図13に示す冷却装置の冷却動作を説明する
側断面図である。
【符号の説明】
1,21‥‥冷却装置、2,22‥‥ファン、3,23
‥‥ケース、4‥‥振動板、5‥‥ベース、6‥‥圧電
素子、7‥‥電源回路、8,28‥‥流入口、9,29
a,29b‥‥流出口、10‥‥基板、11‥‥発熱デ
バイス、100‥‥マイクロプロセッサ、101‥‥パ
ーソナルコンピュータ装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 奥田 稔 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 Fターム(参考) 3L044 AA04 BA06 CA13 DA01 FA03 KA04 5E322 BA01 BA03 BA05 BB01 BB10

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 発熱デバイスの近傍に配置される冷却装
    置であって、 振動板の基端部側に圧電素子が固定されて成るファン
    と、 上記ファンが上記振動板の基端部において片持ち支持さ
    れて振動可能状態で内蔵されるケースとから成り、 上記ケースの上記振動板が支持される部面側に冷却流体
    の流入口を形成し、上記振動板の自由端側と対向する部
    面側に冷却流体を噴流する流出口を形成したことを特徴
    とする冷却装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の冷却装置において、 上記圧電素子の駆動による上記振動板の振動により、上
    記ケースに流入される冷却流体を上記流出口から間歇的
    に噴き出し状に流出させる構成としたことを特徴とする
    冷却装置。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載の冷却装置において、 上記圧電素子を上記振動板の固有振動数とほぼ一致する
    周波数の電圧を与えて上記ファンを駆動する構成とした
    ことを特徴とする冷却装置。
  4. 【請求項4】 機器の作動により発熱する特定箇所を備
    えた電子機器において、 振動板の基端部側に圧電素子が固定されて成るファン
    と、 上記ファンが上記振動板の基端部において片持ち支持さ
    れて振動可能状態で内蔵されるケースとから成り、 上記ケースの上記振動板が支持される部面側に冷却流体
    の流入口を形成し、上記振動板の自由端側と対向する部
    面側に冷却流体を噴流する流出口を形成した冷却装置を
    上記発熱する特定箇所に対応して配置したことを特徴と
    する電子機器。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載の電子機器におてい、 上記冷却装置の上記圧電素子の駆動による上記振動板の
    振動により、上記ケースに流入される冷却流体を上記流
    出口から噴き出し状に流出させて上記発熱する特定箇所
    に対して冷却流体の流れを生成する構成とすることを特
    徴とする電子機器。
  6. 【請求項6】 請求項5に記載の電子機器において、 上記ケースに流入される冷却流体を上記流出口から間歇
    的に噴き出し状に流出させ、上記発熱する特定箇所に対
    して冷却流体の間歇的な流れを生成する構成としたこと
    を特徴とする電子機器。
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