JP2000263561A - Heat treatment method and heat treatment device for sheet material - Google Patents
Heat treatment method and heat treatment device for sheet materialInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 シート状材料を帯状で加熱オーブン中に搬入
し、加熱処理して加熱オーブン中でロール状に巻き取る
場合に、伴巻き用スペーサーを使用することなく、加熱
処理によりシート状材料から揮発した揮発性物質によっ
てシート状材料のブロッキングが生じないようにする。
【解決手段】 シート状材料1を帯状で加熱オーブン3
中に搬入し、加熱処理して加熱オーブン3中でロール状
に巻き取る際に、加熱処理によりシート状材料1から揮
発した揮発性物質がロール状に巻き取られたシート状材
料1に付着しないように、揮発した揮発性物質を加熱オ
ーブン3外に排出しながら加熱処理する。
(57) [Summary] [PROBLEMS] When a sheet material is transported in a belt shape into a heating oven, heated, and wound into a roll in the heating oven, the heat treatment is performed without using a spacer for the accompanying winding. This prevents blocking of the sheet material by a volatile substance volatilized from the sheet material. SOLUTION: A sheet-like material 1 is heated in a belt shape in a heating oven 3.
When carried in, heated, and wound into a roll in the heating oven 3, volatile substances volatilized from the sheet material 1 due to the heat treatment do not adhere to the sheet material 1 wound into a roll. As described above, the heat treatment is performed while discharging the volatilized volatile substance out of the heating oven 3.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、フレキシブルプリ
ント基板に有用なポリイミド配線基板等のシート状材料
の加熱処理方法及び加熱処理装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heat treatment method and a heat treatment apparatus for a sheet material such as a polyimide wiring board useful for a flexible printed circuit board.
【0002】[0002]
【従来の技術】ポリイミド配線基板を、ポリイミド前駆
体であるポリアミック酸を使用して製造する場合、以下
のように製造されている。即ち、ロール状に巻き取られ
た銅箔を巻き出し、その片面にポリアミック酸溶液を塗
布し乾燥してポリアミック酸層(ポリイミド前駆体層)
を形成し、更にそのポリアミック酸層をイミド化するた
めの連続加熱オーブンを通過させてポリアミック酸層を
ポリイミド層とした後に、ロール状に巻き取り、ポリイ
ミド配線基板を得ている。ここで、ポリアミック酸を完
全にイミド化するためには、280〜350℃の温度で
数十分間、加熱する必要がある。このため、上述したよ
うにポリイミド配線基板を製造する場合には、非常に長
い連続加熱オーブンが必要となり、莫大な設備投資と維
持費とがかかるという問題がある。2. Description of the Related Art When a polyimide wiring board is manufactured by using a polyamic acid which is a polyimide precursor, it is manufactured as follows. That is, the copper foil wound up in a roll shape is unwound, a polyamic acid solution is applied to one side of the copper foil and dried to form a polyamic acid layer (polyimide precursor layer).
After passing through a continuous heating oven for imidizing the polyamic acid layer, the polyamic acid layer is turned into a polyimide layer and then wound up in a roll to obtain a polyimide wiring substrate. Here, in order to completely imidize the polyamic acid, it is necessary to heat at a temperature of 280 to 350 ° C. for several tens minutes. For this reason, when manufacturing a polyimide wiring board as described above, a very long continuous heating oven is required, and there is a problem that a huge capital investment and a maintenance cost are required.
【0003】そこで、金属箔上にポリアミック酸が積層
されたシート状材料をロールに巻いたロール原反自体
を、比較的小さな加熱オーブンに投入してバッチ式でイ
ミド化することが行われている。この場合、イミド化の
際にポリアミック酸層から揮発する揮発性物質の中に
は、溶剤や水等の他に、互いに面接触しているシート状
材料同士のブロッキングの原因となる「やに」物質が存
在する。このため、実際にブロッキングが生じないよう
に、シート状材料をロール巻きする際に、片面が平坦で
他面が粗面となっている伴巻き用スペーサーを、粗面が
ポリアミック酸層に接するように一緒に巻き込むことが
試みられている(特願平8−224797号公報)。こ
の伴巻き用スペーサーを使用すると、揮発した「やに」
物質が、伴巻き用スペーサーの粗面の連続した凹部から
ロールの側面を通って排出されるので、ブロッキングを
防止できるとされている。[0003] In view of this, it has been practiced to put a sheet material in which a polyamic acid is laminated on a metal foil on a roll into a relatively small heating oven to imidize it in a batch system. . In this case, among the volatile substances volatilized from the polyamic acid layer at the time of imidization, in addition to the solvent and water, etc., "yano" which causes blocking between sheet-like materials that are in surface contact with each other The substance is present. For this reason, when the sheet material is roll-wound so that the blocking does not actually occur, the enclosing spacer having one flat surface and the other rough surface is provided so that the rough surface is in contact with the polyamic acid layer. (Japanese Patent Application No. 8-224797). Using this entraining spacer, the volatilized "yani"
It is alleged that the substance is discharged from the continuous concave portion of the rough surface of the enclosing spacer through the side surface of the roll, so that blocking can be prevented.
【0004】[0004]
【発明が解決すべき課題】しかしながら、このような伴
巻き用スペーサーを使用した場合であっても、揮発した
「やに」物質をロールの側面から完全に排出することは
かなり困難であり、完全にブロッキングを防止すること
はできないという問題があった。また、粗面の形状がポ
リイミド配線基板に転写されてしまうという問題もあっ
た。更に、「やに」物質が伴巻き用スペーサーの粗面の
凹部に付着するために、伴巻き用スペーサーの繰り返し
使用が制限され、伴巻き用スペーサーの使用がポリイミ
ド配線基板の製造コストを押し上げるという問題もあっ
た。However, even when such a spacer for entrainment is used, it is quite difficult to completely discharge the volatilized "yari" substance from the side of the roll. However, there was a problem that blocking could not be prevented. There is also a problem that the shape of the rough surface is transferred to the polyimide wiring substrate. Furthermore, since the "yani" substance adheres to the concave portion of the rough surface of the entrained spacer, the repeated use of the entrained spacer is restricted, and the use of the entrained spacer increases the manufacturing cost of the polyimide wiring board. There were also problems.
【0005】以上説明したようなポリイミド配線基板の
問題は、ブロッキングを生じるような揮発性物質を含む
シート状材料をロール状で加熱処理する場合に生ずる問
題である。[0005] The problem of the polyimide wiring board as described above is a problem that occurs when a sheet-like material containing a volatile substance that causes blocking is heated in a roll shape.
【0006】本発明は、以上の従来の技術を解決しよう
とするものであり、ポリイミド配線基板を製造する場合
のように、シート状材料を帯状で加熱オーブン中に搬入
し、加熱処理して加熱オーブン中でロール状に巻き取る
場合に、伴巻き用スペーサーを使用することなく、加熱
処理によりシート状材料から揮発した揮発性物質によっ
てシート状材料のブロッキングが生じないようにするこ
とを目的とする。[0006] The present invention is to solve the above-mentioned conventional technology. As in the case of manufacturing a polyimide wiring board, a sheet-like material is carried in a belt-like shape into a heating oven, and is subjected to a heat treatment to be heated. An object of the present invention is to prevent a blocking of a sheet material from occurring due to a volatile substance volatilized from the sheet material by a heat treatment without using a spacer for winding when a roll is wound in a roll in an oven. .
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明者は、ブロッキン
グを生じさせるような揮発性物質が加熱の初期段階で揮
発すること、従ってそのような揮発性物質を加熱オーブ
ン中でロール状に巻取られているシート状材料に付着し
ないように、揮発性物質を加熱オーブン外に排出しなが
ら加熱処理を行うことにより上述の目的を達成できるこ
とを見出し、本発明を完成させるに至った。SUMMARY OF THE INVENTION The present inventors have determined that volatile substances, such as those that cause blocking, are volatilized in the early stages of heating, and thus such volatile substances are wound up in rolls in a heating oven. It has been found that the above-mentioned object can be achieved by performing the heat treatment while discharging the volatile substance out of the heating oven so that the volatile substance does not adhere to the sheet-shaped material, thereby completing the present invention.
【0008】即ち、本発明は、シート状材料を帯状で加
熱オーブン中に搬入し、加熱処理して加熱オーブン中で
ロール状に巻き取る工程を含むシート状材料の加熱処理
方法において、加熱処理によりシート状材料から揮発し
た揮発性物質がロール状に巻き取られたシート状材料に
付着しないように、揮発した揮発性物質を加熱オーブン
外に排出しながら加熱処理することを特徴とする方法を
提供する。That is, the present invention provides a method for heat-treating a sheet-like material comprising the steps of carrying a sheet-like material in a belt shape into a heating oven, heat-treating and winding the sheet-like material into a roll in the heating oven. Provided is a method characterized by performing a heat treatment while discharging a volatile substance that has been volatilized from a sheet material so as to prevent the volatile substance from being volatilized from adhering to the sheet material that is wound into a roll. I do.
【0009】本発明は、また、以上のシート状材料の加
熱処理方法を実施するための装置として、以下の加熱処
理装置を提供する。The present invention also provides the following heat treatment apparatus as an apparatus for performing the above-described sheet material heat treatment method.
【0010】即ち、本発明は、シート状材料を加熱処理
するための加熱処理装置であって、シート状材料を加熱
するための加熱空間を提供する加熱オーブンと、加熱オ
ーブンのシート状材料搬入口から加熱オーブン内に帯状
で搬送されたシート状材料を加熱オーブン内でロール状
に巻き取るための巻き取り手段と、加熱用ガスを加熱オ
ーブン中に導入する加熱用ガス導入手段と、加熱オーブ
ン中の加熱用ガスを加熱オーブン外へ排出するための排
気手段とを備えた加熱処理装置において:加熱オーブン
内には、その加熱空間を分画する加熱空間分画手段が設
けられ、該加熱空間分画手段にはシート状材料導入口と
シート状材料導出口とが設けられ、また前記排気手段が
接続され、加熱用ガス導入手段から加熱オーブン内に導
入された加熱用ガスは、前記シート状材料導入口及びシ
ート状材料導出口の少なくともいずれか一方から加熱空
間分画手段内に導入され、排気手段から加熱オーブン外
へ排気され、また、加熱オーブン内に搬入されたシート
状材料は、シート状材料導入口から加熱空間分画手段内
に導入され、加熱空間分画手段内で加熱処理され、ここ
で、加熱処理によりシート状材料から揮発した揮発性物
質が排気手段から加熱オーブン外に排気され、シート状
材料がシート状材料導出口から導出され、巻き取り手段
でロール状に巻き取られることを特徴とする加熱処理装
置を提供する。That is, the present invention relates to a heat treatment apparatus for heat-treating a sheet-like material, comprising: a heating oven for providing a heating space for heating the sheet-like material; A winding means for winding the sheet-like material conveyed in a belt shape from the heating oven into a roll in the heating oven, a heating gas introduction means for introducing a heating gas into the heating oven, and a heating oven. And a gas exhaust means for discharging the heating gas to the outside of the heating oven: a heating space dividing means for dividing the heating space is provided in the heating oven; The drawing means is provided with a sheet-like material introduction port and a sheet-like material lead-out port, and the exhaust means is connected to the heating gas introduced into the heating oven from the heating gas introduction means. Is introduced into the heating space fractionating means from at least one of the sheet-shaped material introduction port and the sheet-shaped material discharge port, exhausted from the heating oven by the exhaust means, and the sheet carried into the heating oven. The sheet-like material is introduced into the heating space fractionating means from the sheet-like material introduction port, and heat-treated in the heating space fractionating means. Here, volatile substances volatilized from the sheet-like material by the heating treatment are discharged from the exhaust means. A heat treatment apparatus is provided, wherein the heat treatment apparatus is evacuated outside a heating oven, a sheet material is drawn out from a sheet material outlet, and wound up in a roll shape by a winding means.
【0011】[0011]
【発明の実施の形態】本発明のシート状材料の加熱処理
方法は、シート状材料を帯状で加熱オーブン中に搬入
し、それを加熱処理しながら加熱オーブン中でロール状
に巻き取る工程を含む。ここで、加熱処理によりシート
状材料から揮発性物質が、加熱処理の初期段階で揮発し
てくる。揮発物質としては、溶剤、水、モノマー、分解
物等の様々な物質が挙げられるが、その中にはシート状
材料のブロッキングを生じさせるような揮発性の「や
に」物質が存在する場合がある。そのような揮発した
「やに」物質が加熱オーブン中でロールに巻き取られた
シート状材料に付着するとブロッキングを生じさせるの
で、本発明においては、そのような揮発性物質がロール
状に巻き取られたシート状材料に付着しないように、揮
発した揮発性物質を加熱オーブン外に排出しながら加熱
処理する。例えば、加熱オーブン中に分画加熱領域を設
け、その分画加熱領域において揮発性物質を加熱オーブ
ン外に排出しながらシート状材料を加熱処理し、その後
でシート状材料を分画加熱領域から出し、ロール状に巻
き取ればよい。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The method for heat-treating a sheet-like material according to the present invention includes a step of carrying a sheet-like material in a belt shape into a heating oven, and winding the sheet-like material into a roll in the heating oven while performing heat treatment. . Here, a volatile substance is volatilized from the sheet material by the heat treatment in an initial stage of the heat treatment. Examples of the volatile substance include various substances such as a solvent, water, a monomer, and a decomposed product, and among them, there are cases where a volatile `` slightly '' substance that causes blocking of the sheet material is present. is there. In the present invention, such volatile substances are wound into a roll, because such volatile substances cause blocking when they adhere to a sheet-like material wound on a roll in a heating oven. The heat treatment is performed while discharging the volatilized volatile substance out of the heating oven so as not to adhere to the sheet material thus obtained. For example, a fraction heating area is provided in a heating oven, and in the fraction heating area, the sheet material is subjected to a heat treatment while volatile substances are discharged out of the heating oven, and then the sheet material is taken out from the fraction heating area. What is necessary is just to wind up in a roll shape.
【0012】このシート状材料の加熱処理方法は、シー
ト状材料として金属箔上にポリアミック酸層が形成され
た材料を使用した場合には、ポリイミド配線基板の製造
方法となる。即ち、ポリイミド配線基板の製造方法は、
金属箔上にポリアミック酸層が形成されたシート状材料
を帯状で加熱オーブン中に搬入し、ポリアミック酸層を
イミド化するために加熱処理して加熱オーブン中でロー
ル状に巻き取る工程を含むポリイミド配線基板の製造方
法であって、加熱処理によりシート状材料から揮発した
揮発性物質であって且つシート状材料のブロッキングを
生じさせるような揮発性物質がロール状に巻き取られた
シート状材料に付着しないように、揮発した揮発性物質
を加熱オーブン外に排出しながら加熱処理することを特
徴とするものである。This heat treatment method for a sheet material is a method for manufacturing a polyimide wiring board when a material in which a polyamic acid layer is formed on a metal foil is used as the sheet material. That is, the manufacturing method of the polyimide wiring board,
Polyimide containing a process in which a sheet material having a polyamic acid layer formed on a metal foil is carried in a belt shape into a heating oven, heated to imidize the polyamic acid layer, and wound into a roll in the heating oven. A method for manufacturing a wiring board, wherein a volatile substance that is volatilized from a sheet material by heat treatment and that causes a blocking of the sheet material is rolled into a sheet material. The heat treatment is performed while discharging the volatilized volatile substance out of the heating oven so as not to adhere.
【0013】本発明のシート状材料の加熱処理方法を詳
しく説明するために、この加熱処理方法を実施するため
の加熱処理装置の一例を図面を参照しながら説明する。
これにより、本発明のシート状材料の加熱処理方法の技
術的利点が明確になる。In order to explain the heat treatment method of the present invention in detail, an example of a heat treatment apparatus for carrying out the heat treatment method will be described with reference to the drawings.
This clarifies the technical advantages of the heat treatment method of the present invention.
【0014】本発明のシート状材料の加熱処理装置は、
シート状材料を加熱処理するため加熱処理装置であり、
ロールに巻き取られる前の状態のシート状材料だけでな
く、ロールに巻き取られた状態のシート状材料も加熱処
理することができる。The heat treatment apparatus for a sheet-like material according to the present invention comprises:
It is a heat treatment device to heat-treat the sheet material,
Heat treatment can be performed not only on the sheet material before being wound on the roll, but also on the sheet material after being wound on the roll.
【0015】この加熱処理装置は、シート状材料1を加
熱するための加熱空間2を提供する加熱オーブン3と、
加熱オーブン3のシート状材料搬入口4から加熱オーブ
ン3内に帯状で搬送されたシート状材料1を、加熱オー
ブン3内でロール状に巻き取るための巻き取り手段5
と、不活性ガス(例えば、窒素ガス)等の加熱用ガス6
(図中点線矢印)を加熱オーブン3中に導入するために
加熱オーブン3に設置された加熱用ガス導入手段7と、
加熱オーブン3中の加熱用ガス6を加熱オーブン3の外
部へ排出するための排気手段8とを備えている。更に、
加熱オーブン3のシート状材料搬入口4と巻き取り手段
5との間に、加熱オーブン3内の加熱空間2を分画する
加熱空間分画手段9を有しており、また、この加熱空間
分画手段9には、シート状材料導入口9a及びシート状
材料導出口9bが設けられ、上述の排気手段8が接続さ
れている。The heat treatment apparatus includes a heating oven 3 for providing a heating space 2 for heating the sheet material 1,
Winding means 5 for winding the sheet-like material 1 conveyed in a belt shape into the heating oven 3 from the sheet-like material entrance 4 of the heating oven 3 into a roll inside the heating oven 3.
And a heating gas 6 such as an inert gas (for example, nitrogen gas).
Heating gas introducing means 7 installed in the heating oven 3 to introduce (dotted arrow in the figure) into the heating oven 3;
An exhaust unit 8 is provided for discharging the heating gas 6 in the heating oven 3 to the outside of the heating oven 3. Furthermore,
Heating space separating means 9 for separating the heating space 2 in the heating oven 3 is provided between the sheet material inlet 4 of the heating oven 3 and the winding means 5. The drawing means 9 is provided with a sheet material inlet 9a and a sheet material outlet 9b, and is connected to the exhaust means 8 described above.
【0016】加熱オーブン3内に搬入されたシート状材
料1は、シート状材料導入口9aから加熱空間分画手段
9内に導入され、加熱空間分画手段9内で加熱処理され
た後にシート状材料導出口9bから導出され、巻き取り
手段5でロール状に巻き取られる。ここで、加熱用ガス
導入手段7から加熱オーブン3内に導入された加熱用ガ
ス6は、加熱空間分画手段9のシート状材料導入口9a
及びシート状材料導出口9bの少なくともいずれか一方
から加熱空間分画手段9内に導入され、加熱空間分画手
段9内でシート状材料1を十分に加熱処理する。このた
め、シート状材料1に含まれている揮発性物質は、この
加熱空間分画手段9内において揮発する。そして、揮発
した揮発性物質は、加熱空間分画手段9に設けられた排
気手段8から加熱オーブン3の外部へ直接排気される。
従って、加熱オーブン3内でロール状に巻き取られたシ
ート状材料1には、ブッロキングを生じさせるような揮
発性物質が付着しない。しかも、巻き取られたロール状
のシート状材料1は、依然として加熱オーブン3の内部
に存在しているので、ロール状のまま十分に加熱処理で
きる。The sheet-like material 1 carried into the heating oven 3 is introduced into the heating space dividing means 9 from the sheet-like material introduction port 9a. It is drawn out from the material outlet 9b and wound up in a roll shape by the winding means 5. Here, the heating gas 6 introduced into the heating oven 3 from the heating gas introduction means 7 is supplied to the sheet-like material introduction port 9 a of the heating space fractionating means 9.
Then, the sheet-like material 1 is introduced into the heating space fractionating means 9 from at least one of the sheet-like material outlet 9b, and the sheet-like material 1 is sufficiently heated in the heating space dividing means 9. For this reason, the volatile substances contained in the sheet material 1 are volatilized in the heating space fractionating means 9. Then, the volatilized volatile substance is directly exhausted to the outside of the heating oven 3 from the exhaust means 8 provided in the heating space fractionating means 9.
Accordingly, the sheet-like material 1 wound in a roll in the heating oven 3 does not adhere to a volatile substance that causes blocking. In addition, since the rolled sheet material 1 still exists inside the heating oven 3, the rolled sheet material 1 can be sufficiently heat-treated in the roll shape.
【0017】この加熱処理装置を金属箔上のポリアミッ
ク酸層のイミド化に利用した場合には、ブロッキングを
生じさせるような揮発性物質を、加熱処理の初期段階で
ある加熱空間分画手段9内でポリアミック酸層から揮発
させ、加熱オーブン3全体に拡散させることなく加熱オ
ーブン3の外部に直接的に排気することができる。しか
も、揮発性物質が除去されたシート状材料(金属箔/ポ
リアミック酸層)は、加熱オーブン3中、ロール状のま
ま十分な時間、加熱処理することができるので、ブロッ
キングすることなく、イミド化することができる。When this heat treatment apparatus is used for imidizing a polyamic acid layer on a metal foil, a volatile substance which causes blocking is removed from the heating space fractionating means 9 in the initial stage of the heat treatment. Thus, the gas can be volatilized from the polyamic acid layer, and can be directly exhausted to the outside of the heating oven 3 without being diffused throughout the heating oven 3. Moreover, the sheet material (metal foil / polyamic acid layer) from which the volatile substances have been removed can be heat-treated in a heating oven 3 in a roll form for a sufficient period of time, so that it can be imidized without blocking. can do.
【0018】本発明の加熱処理装置においては、加熱空
間分画手段9としては、加熱オーブン3の加熱空間を分
画し、その分画した空間の中でシート状材料1を加熱処
理可能な種々の手段を採用することができる。例えば、
直方体状筒体(図1)や円環形状筒体(図2)等を加熱
空間分画手段9として利用することができる。中でも、
装置の小型化という点から図2に示す円環形状を好まし
く採用することができる。In the heat treatment apparatus of the present invention, the heating space fractionating means 9 divides a heating space of the heating oven 3 and heat-treats the sheet material 1 in the divided space. Means can be adopted. For example,
A rectangular parallelepiped cylindrical body (FIG. 1) or an annular cylindrical body (FIG. 2) can be used as the heating space dividing means 9. Among them,
The annular shape shown in FIG. 2 can be preferably adopted from the viewpoint of miniaturization of the device.
【0019】本発明の加熱処理装置には、シート状材料
1が加熱オーブン3に搬入される前に、シート状材料1
を予備加熱するための予備加熱オーブン10を更に設置
することが好ましい(図3)。予備加熱オーブン10を
設けることにより、シート状材料1を段階的に加熱で
き、揮発性物質の急激な揮発により生ずる問題(シート
状材料に穴が生ずる等)を回避することができる。In the heat treatment apparatus of the present invention, before the sheet material 1 is carried into the heating oven 3, the sheet material 1
It is preferable to further install a preheating oven 10 for preheating (FIG. 3). By providing the preheating oven 10, the sheet material 1 can be heated step by step, and problems caused by rapid volatilization of volatile substances (such as holes in the sheet material) can be avoided.
【0020】なお、本発明の加熱処理装置の加熱空間分
画手段9以外の構成要素(例えば、加熱オーブン3、巻
き取り手段5、加熱用ガス6、加熱用ガス導入手段7、
排気手段8等)については、公知の装置やガスを適宜選
択して使用することができる。The components (for example, heating oven 3, winding means 5, heating gas 6, heating gas introduction means 7,
For the exhaust means 8 and the like, known devices and gases can be appropriately selected and used.
【0021】以上説明した加熱処理処置は、それに投入
するシート状材料として金属箔上にポリアミック酸層が
形成されたものを作製するための塗布装置(図示せず)
とを組み合わせると、ポリイミド配線基板のポリイミド
配線基板製造装置として有用なものとなる。The heat treatment described above is performed by a coating apparatus (not shown) for producing a sheet material to be fed into the metal foil having a polyamic acid layer formed on a metal foil.
Is useful as a polyimide wiring board manufacturing apparatus for a polyimide wiring board.
【0022】[0022]
【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
る。The present invention will be described below in more detail with reference to examples.
【0023】実施例1 温度コントロラーとジャケット付きの60リットルの反
応釜に、パラフェニレンジアミン(PDA、三井化学社
製)1.05kg(11.2モル)と、4,4′−ジア
ミノジフェニルエーテル(DPE、和歌山精化社製)
0.86kg(4.8モル)とを、窒素ガス雰囲気下で
溶剤N−メチル−ピロリドン(NMP、三菱化学社製)
約45kgに溶解した。その後、50℃において、ピロ
メリット酸二無水物(PMDA、三菱瓦斯化学社製)
3.523kg(16.14モル)を徐々に加えなが
ら、3時間反応させた。これにより、固形分約12%、
粘度25Pa・S(25℃)のポリアミック酸ワニスを
調製した。Example 1 In a 60-liter reaction vessel equipped with a temperature controller and a jacket, 1.05 kg (11.2 mol) of paraphenylenediamine (PDA, manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.) and 4,4'-diaminodiphenyl ether ( DPE, manufactured by Wakayama Seika)
0.86 kg (4.8 mol) of a solvent N-methyl-pyrrolidone (NMP, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) under a nitrogen gas atmosphere
Dissolved in about 45 kg. Then, at 50 ° C., pyromellitic dianhydride (PMDA, manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company)
The reaction was carried out for 3 hours while gradually adding 3.523 kg (16.14 mol). As a result, the solid content is about 12%,
A polyamic acid varnish having a viscosity of 25 Pa · S (25 ° C.) was prepared.
【0024】得られたポリアミック酸ワニスを幅600
mm、長さ100mの銅箔(12μm厚、SQ−VL
P、三井金属社製)の上に塗布し、80〜170℃の連
続炉で乾燥しロールに巻き取った。残存揮発分は30.
4%であった。The obtained polyamic acid varnish was coated with a width of 600.
mm, 100m long copper foil (12μm thick, SQ-VL
P, manufactured by Mitsui Kinzoku Co., Ltd.), dried in a continuous furnace at 80 to 170 ° C., and wound up on a roll. The remaining volatile content is 30.
4%.
【0025】得られたロールを図3の示す加熱処理装置
(ラインスピード=1m/分)にセットし、酸素濃度を
0.2%以下に調整した加熱窒素ガスを加熱媒体とする
予備加熱オーブンで230〜350℃まで予備加熱し、
更に同様の加熱窒素ガスで350℃に加熱し、加熱オー
ブン中でロールに巻き取った。巻き取り終了後、更に1
5分間350℃に保持し、ポリアミック酸を完全にイミ
ド化してポリイミド配線基板を作製した。加熱終了後、
200℃まで窒素ガスで冷却した後に、加熱処理装置か
ら取り出した。The obtained roll is set in a heat treatment apparatus (line speed = 1 m / min) shown in FIG. 3 and is heated in a preheating oven using a heating nitrogen gas whose oxygen concentration is adjusted to 0.2% or less as a heating medium. Preheat to 230-350 ° C,
Further, the mixture was heated to 350 ° C. with the same heating nitrogen gas and wound up in a roll in a heating oven. After winding, 1 more
The temperature was kept at 350 ° C. for 5 minutes, and the polyamic acid was completely imidized to produce a polyimide wiring substrate. After heating,
After cooling to 200 ° C. with nitrogen gas, it was taken out of the heat treatment apparatus.
【0026】得られたロール状に巻き取られたポリイミ
ド配線基板は、ブロッキングしておらず、容易に巻き戻
すことができた。The obtained polyimide wiring substrate wound up in a roll was not blocked and could be easily rewound.
【0027】[0027]
【発明の効果】本発明によれば、ポリイミド配線基板を
製造する場合のように、シート状材料を帯状で加熱オー
ブン中に搬入し、加熱処理して加熱オーブン中でロール
状に巻き取る場合に、伴巻き用スペーサーを使用しなく
ても、加熱処理によりシート状材料から揮発した揮発性
物質によってシート状材料のブロッキングが生じない。According to the present invention, as in the case of manufacturing a polyimide wiring board, when a sheet-like material is carried in a belt shape into a heating oven, heated, and then wound into a roll in the heating oven. Even without using the entrainer spacer, blocking of the sheet material does not occur due to volatile substances volatilized from the sheet material by the heat treatment.
【図1】加熱処理装置の概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram of a heat treatment apparatus.
【図2】加熱処理装置の概略図である。FIG. 2 is a schematic diagram of a heat treatment apparatus.
【図3】加熱処理装置の概略図である。FIG. 3 is a schematic diagram of a heat treatment apparatus.
1 シート状材料、2 加熱空間、3 加熱オーブン、
4 シート状材料搬入口、5 巻き取り手段、6 加熱
用ガス、7 加熱用ガス導入手段、8 排気手段1 sheet material, 2 heating space, 3 heating oven,
4 Sheet material inlet, 5 Winding means, 6 Heating gas, 7 Heating gas introduction means, 8 Exhaust means
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B32B 15/08 B32B 15/08 R 4J043 C08G 73/10 C08G 73/10 // B32B 27/34 B32B 27/34 F26B 13/10 F26B 13/10 J B29L 7:00 Fターム(参考) 3L113 AA02 AA08 AB02 AC01 AC21 AC28 AC31 AC48 AC49 AC53 AC63 AC65 AC67 AC78 BA26 CA08 CA12 CB01 CB13 CB19 CB24 CB34 CB35 DA05 DA07 DA14 4D075 AC21 AC84 AC88 AC96 BB24Z BB56Z BB60Z BB65Z BB93Z CA47 DA04 DB53 DC22 4F042 AA22 BA13 BA19 DB01 DB37 DB39 DE07 DE09 DF15 4F100 AB01A AB17 AB33A AK49B BA02 BA14 EH51 GB43 JL00 4F203 AA40 AC03 AD03 AD08 AG03 AH36 DA14 DB02 DC03 DL01 DM02 DM04 DN24 4J043 PA02 RA34 ZB47 Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat II (reference) B32B 15/08 B32B 15/08 R 4J043 C08G 73/10 C08G 73/10 // B32B 27/34 B32B 27/34 F26B 13 / 10 F26B 13/10 JB29L 7:00 F term (reference) 3L113 AA02 AA08 AB02 AC01 AC21 AC28 AC31 AC48 AC49 AC53 AC63 AC65 AC67 AC78 BA26 CA08 CA12 CB01 CB13 CB19 CB24 CB34 CB35 DA05 DA07 DA14 4D075 AC21 AC84Z96 AC88 BB60Z BB65Z BB93Z CA47 DA04 DB53 DC22 4F042 AA22 BA13 BA19 DB01 DB37 DB39 DE07 DE09 DF15 4F100 AB01A AB17 AB33A AK49B BA02 BA14 EH51 GB43 JL00 4F203 AA40 AC03 AD03 AD08 AG03 AH36 DA14 DB02 DM03 DL01 DM02 DM03 DM02
Claims (8)
搬入し、加熱処理して加熱オーブン中でロール状に巻き
取る工程を含むシート状材料の加熱処理方法において、
加熱処理によりシート状材料から揮発した揮発性物質が
ロール状に巻き取られたシート状材料に付着しないよう
に、揮発した揮発性物質を加熱オーブン外に排出しなが
ら加熱処理することを特徴とする方法。1. A method for heat-treating a sheet-like material, comprising the steps of carrying a sheet-like material in a belt shape into a heating oven, heat-treating the same, and winding the sheet-like material into a roll in the heating oven.
The heat treatment is performed while discharging the volatilized volatile substance out of the heating oven so that the volatile substance volatilized from the sheet material by the heat treatment does not adhere to the sheet material wound into a roll. Method.
シート状材料に付着しないようにするために、加熱オー
ブン中に設けられた分画加熱領域において揮発性物質を
加熱オーブン外に排出しながらシート状材料を加熱処理
した後に、シート状材料を分画加熱領域から出し、ロー
ル状に巻き取る請求項1記載の方法。2. The volatile substance is discharged out of the heating oven in a fraction heating area provided in the heating oven so that the volatile substance does not adhere to the sheet-like material wound into a roll. 2. The method according to claim 1, wherein the sheet material is heated from the fractionation heating area after the sheet material is heat-treated while being rolled.
たシート状材料を帯状で加熱オーブン中に搬入し、ポリ
アミック酸層をイミド化するために加熱処理して加熱オ
ーブン中でロール状に巻き取る工程を含むポリイミド配
線基板の製造方法において、加熱処理によりシート状材
料から揮発した揮発性物質がロール状に巻き取られたシ
ート状材料に付着しないように、揮発した揮発性物質を
加熱オーブン外に排出しながら加熱処理することを特徴
とするポリイミド配線基板の製造方法。3. A sheet-like material having a polyamic acid layer formed on a metal foil is carried in a belt into a heating oven, heated to imidize the polyamic acid layer, and wound into a roll in the heating oven. In the method for manufacturing a polyimide wiring board including a step of removing, the volatile substance that has volatilized from the sheet material by the heat treatment is removed from the heating oven so that the volatile substance does not adhere to the sheet material wound into a roll. A method for producing a polyimide wiring board, comprising performing a heat treatment while discharging to a substrate.
シート状材料に付着しないようにするために、加熱オー
ブン中に設けられた分画加熱領域において揮発性物質を
加熱オーブン外に排出しながらシート状材料を加熱処理
した後に、シート状材料を分画加熱領域から出し、ロー
ル状に巻き取る請求項3記載の製造方法。4. The volatile substance is discharged out of the heating oven in a fraction heating area provided in the heating oven so that the volatile substance does not adhere to the sheet-shaped material wound into a roll. 4. The method according to claim 3, wherein the sheet-shaped material is heated from the fractionation heating area after the sheet-shaped material is heated while being rolled.
処理装置であって、シート状材料を加熱するための加熱
空間を提供する加熱オーブンと、加熱オーブンのシート
状材料搬入口から加熱オーブン内に帯状で搬送されたシ
ート状材料を加熱オーブン内でロール状に巻き取るため
の巻き取り手段と、加熱用ガスを加熱オーブン中に導入
する加熱用ガス導入手段と、加熱オーブン中の加熱用ガ
スを加熱オーブン外へ排出するための排気手段とを備え
た加熱処理装置において:加熱オーブン内には、その加
熱空間を分画する加熱空間分画手段が設けられ、該加熱
空間分画手段にはシート状材料導入口とシート状材料導
出口とが設けられ、また前記排気手段が接続され、加熱
用ガス導入手段から加熱オーブン内に導入された加熱用
ガスは、前記シート状材料導入口及びシート状材料導出
口の少なくともいずれか一方から加熱空間分画手段内に
導入され、排気手段から加熱オーブン外へ排気され、ま
た、加熱オーブン内に搬入されたシート状材料は、シー
ト状材料導入口から加熱空間分画手段内に導入され、加
熱空間分画手段内で加熱処理され、ここで、加熱処理に
よりシート状材料から揮発した揮発性物質が排気手段か
ら加熱オーブン外に排気され、シート状材料がシート状
材料導出口から導出され、巻き取り手段でロール状に巻
き取られることを特徴とする加熱処理装置。5. A heat treatment apparatus for heat-treating a sheet-shaped material, comprising: a heating oven for providing a heating space for heating the sheet-shaped material; Winding means for winding a sheet-like material conveyed in a belt shape into a roll in a heating oven, heating gas introducing means for introducing a heating gas into the heating oven, and heating gas in the heating oven And a gas exhaust means for discharging the gas to the outside of the heating oven: a heating space fractionating means for dividing the heating space is provided in the heating oven, and the heating space fractionating means is provided with: A sheet-like material inlet and a sheet-like material outlet are provided, and the exhaust unit is connected, and the heating gas introduced into the heating oven from the heating gas introduction unit is the sheet gas. The sheet-like material introduced into the heating space fractionating means from at least one of the sheet-like material introduction port and the sheet-like material discharge port, exhausted out of the heating oven from the exhausting means, and carried into the heating oven, It is introduced into the heating space fractionating means from the sheet material introduction port, and heat-treated in the heating space fractionating means. Here, volatile substances volatilized from the sheet material by the heat treatment are discharged from the exhaust means to the outside of the heating oven. A heat treatment apparatus, wherein the heat treatment apparatus is evacuated, the sheet material is led out from a sheet material outlet, and wound up in a roll shape by a winding means.
請求項5記載の加熱処理装置。6. The heat treatment apparatus according to claim 5, wherein the heating space fractionating means has an annular shape.
材料を予備加熱するための予備加熱オーブンが更に設置
されている請求項5又は6記載の加熱処理装置。7. The heat treatment apparatus according to claim 5, further comprising a preheating oven for preheating the sheet material before being carried into the heating oven.
塗布し乾燥することにより金属箔上にポリアミック酸層
が形成されたシート状材料を作成するための塗布装置
と、そのシート状材料のポリアミック酸層をイミド化し
てポリイミド層とするための加熱処理を行うために請求
項5記載の加熱処理装置とを備えたポリイミド配線基板
製造装置。8. A coating apparatus for preparing a sheet-like material having a polyamic acid layer formed on a metal foil by applying a polyamic acid solution on a belt-like metal foil and drying the same, and a polyamic acid of the sheet-like material. An apparatus for manufacturing a polyimide wiring board, comprising: the heat treatment apparatus according to claim 5 for performing a heat treatment for imidizing an acid layer to form a polyimide layer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6721399A JP4000706B2 (en) | 1999-03-12 | 1999-03-12 | Heat treatment method and heat treatment apparatus for sheet-like material |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009107310A1 (en) * | 2008-02-29 | 2009-09-03 | 株式会社康井精機 | Apparatus for production of composite material sheet |
| KR20210122688A (en) | 2020-03-30 | 2021-10-12 | 가부시키가이샤 노리타케 캄파니 리미티드 | Heating treatment apparatus for polyimide metal laminated sheet |
-
1999
- 1999-03-12 JP JP6721399A patent/JP4000706B2/en not_active Expired - Lifetime
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| CN101965228B (en) * | 2008-02-29 | 2013-10-16 | 株式会社康井精机 | Apparatus for production of composite material sheet |
| JP5421237B2 (en) * | 2008-02-29 | 2014-02-19 | 株式会社康井精機 | Composite material sheet manufacturing equipment |
| TWI447020B (en) * | 2008-02-29 | 2014-08-01 | ||
| KR20210122688A (en) | 2020-03-30 | 2021-10-12 | 가부시키가이샤 노리타케 캄파니 리미티드 | Heating treatment apparatus for polyimide metal laminated sheet |
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