JP2000266621A - 磁歪素子を用いた圧力センサ - Google Patents
磁歪素子を用いた圧力センサInfo
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- 230000008859 change Effects 0.000 claims abstract description 25
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims abstract description 15
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims abstract description 5
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 claims abstract description 5
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 5
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 102100032566 Carbonic anhydrase-related protein 10 Human genes 0.000 description 1
- 101000867836 Homo sapiens Carbonic anhydrase-related protein 10 Proteins 0.000 description 1
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000006355 external stress Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910001172 neodymium magnet Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 1
- 238000004078 waterproofing Methods 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Hard Magnetic Materials (AREA)
- Soft Magnetic Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 バイアス磁界の印加と内部構造の改良により
温度変化によって生じるインダクタンス変化量を抑え、
良好な温度特性及び出力特性の安定度向上を実現する。 【解決手段】 超磁歪素子３と該超磁歪素子３の周囲に
配設された少なくとも１つのコイル６と前記磁歪素子３
の加重方向に略平行にバイアス磁界を印加する永久磁石
７，８とをケーシング１内に収納し、加重による前記磁
歪素子の透磁率変化を前記コイル６のインダクタンス変
化として検出する。前記超磁歪素子３はランタノイド元
素系及び鉄族元素系を含む磁性体により柱状に形成され
いる。また、前記超磁歪素子３に予圧を加えるとともに
膨張収縮を吸収する予圧機構を前記ケーシング１内に設
けている。
温度変化によって生じるインダクタンス変化量を抑え、
良好な温度特性及び出力特性の安定度向上を実現する。 【解決手段】 超磁歪素子３と該超磁歪素子３の周囲に
配設された少なくとも１つのコイル６と前記磁歪素子３
の加重方向に略平行にバイアス磁界を印加する永久磁石
７，８とをケーシング１内に収納し、加重による前記磁
歪素子の透磁率変化を前記コイル６のインダクタンス変
化として検出する。前記超磁歪素子３はランタノイド元
素系及び鉄族元素系を含む磁性体により柱状に形成され
いる。また、前記超磁歪素子３に予圧を加えるとともに
膨張収縮を吸収する予圧機構を前記ケーシング１内に設
けている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧力、トルク等の
測定用途に使用される磁歪素子を用いた圧力センサに係
り、とくに温度特性を安定化し、温度による測定誤差の
少ない磁歪素子を用いた圧力センサに関する。
測定用途に使用される磁歪素子を用いた圧力センサに係
り、とくに温度特性を安定化し、温度による測定誤差の
少ない磁歪素子を用いた圧力センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、磁歪素子を用いた圧力センサ
は、磁歪素子の外部応力による透磁率の変化をコイルに
発生する誘起電圧の変化として測定することにより、圧
力を検出するものである。本発明と技術分野の類似する
従来例として、例えば、特開平８−３２０３３７号公報
がある。
は、磁歪素子の外部応力による透磁率の変化をコイルに
発生する誘起電圧の変化として測定することにより、圧
力を検出するものである。本発明と技術分野の類似する
従来例として、例えば、特開平８−３２０３３７号公報
がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、特開平８−
３２０３３７号公報の磁歪素子を用いた圧力センサは、
渦電流抑制を主目的とするものであり、従来の磁歪素子
を用いた圧力センサで測定精度を悪化させる大きな要因
となっている温度特性の改善については、特に配慮がな
されていない。
３２０３３７号公報の磁歪素子を用いた圧力センサは、
渦電流抑制を主目的とするものであり、従来の磁歪素子
を用いた圧力センサで測定精度を悪化させる大きな要因
となっている温度特性の改善については、特に配慮がな
されていない。
【０００４】本発明は、上記の点に鑑み、磁歪素子を利
用したコイルのインダクタンスの温度変化を少なくし
て、温度変化に伴う検出圧力値の変動を抑制した磁歪素
子を用いた圧力センサを提供することを目的とする。さ
らに詳述すれば、本発明は、磁歪素子へのバイアス磁界
の印加と内部構造の改良により温度変化によって生じる
インダクタンス変化量を抑えることができ、良好な温度
特性を有し、出力特性の安定度を増した磁歪素子を用い
た圧力センサを提供することを目的とする。
用したコイルのインダクタンスの温度変化を少なくし
て、温度変化に伴う検出圧力値の変動を抑制した磁歪素
子を用いた圧力センサを提供することを目的とする。さ
らに詳述すれば、本発明は、磁歪素子へのバイアス磁界
の印加と内部構造の改良により温度変化によって生じる
インダクタンス変化量を抑えることができ、良好な温度
特性を有し、出力特性の安定度を増した磁歪素子を用い
た圧力センサを提供することを目的とする。
【０００５】本発明のその他の目的や新規な特徴は後述
の実施の形態において明らかにする。
の実施の形態において明らかにする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の磁歪素子を用いた圧力センサは、磁歪素子
と該磁歪素子の周囲に配設された少なくとも１つのコイ
ルと前記磁歪素子の加重方向に略平行にバイアス磁界を
印加する永久磁石とをケーシング内に収納し、加重によ
る前記磁歪素子の透磁率変化を前記コイルのインダクタ
ンス変化として検出することを特徴としている。
に、本発明の磁歪素子を用いた圧力センサは、磁歪素子
と該磁歪素子の周囲に配設された少なくとも１つのコイ
ルと前記磁歪素子の加重方向に略平行にバイアス磁界を
印加する永久磁石とをケーシング内に収納し、加重によ
る前記磁歪素子の透磁率変化を前記コイルのインダクタ
ンス変化として検出することを特徴としている。
【０００７】前記磁歪素子を用いた圧力センサにおい
て、前記磁歪素子はランタノイド元素系及び鉄族元素系
を含む磁性体により柱状に形成されてなる超磁歪素子で
あるとよい。
て、前記磁歪素子はランタノイド元素系及び鉄族元素系
を含む磁性体により柱状に形成されてなる超磁歪素子で
あるとよい。
【０００８】前記磁歪素子に予圧を加えるとともに膨張
収縮を吸収する予圧機構を前記ケーシング内に設けると
よい。
収縮を吸収する予圧機構を前記ケーシング内に設けると
よい。
【０００９】加重方向と前記磁歪素子の中心軸方向とが
一致するように、前記磁歪素子の両端側の加重受け部材
に球面状又は半球面状部材をそれぞれ当接させて加重を
印加する構成にするとよい。
一致するように、前記磁歪素子の両端側の加重受け部材
に球面状又は半球面状部材をそれぞれ当接させて加重を
印加する構成にするとよい。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る磁歪素子を用
いた圧力センサの実施の形態を図面に従って説明する。
いた圧力センサの実施の形態を図面に従って説明する。
【００１１】図１乃至図３において、非磁性金属等の非
磁性ケーシング１内には鉄等の円筒状磁性体ヨーク２
と、超磁歪素子３と、この外周を囲む非磁性ボビン４に
巻線５を施した少なくとも１個のコイル６と、超磁歪素
子３の上下端面に当接して設けられた永久磁石７、８
と、一方の永久磁石７の下面側に対接する円板状の受け
板９と、他方の永久磁石８の上面側に対接する円板状の
受け板１０と、超磁歪素子３に加圧力を与える為の予圧
機構の主要構成部品である皿ばね１１と、それを受ける
円板状の受け板１２が設けられている。前記受け板９，
１０，１２はステンレス板等を用いて形成され、弾性部
材としての皿ばね１１はみがき特殊鋼等で形成される。
磁性ケーシング１内には鉄等の円筒状磁性体ヨーク２
と、超磁歪素子３と、この外周を囲む非磁性ボビン４に
巻線５を施した少なくとも１個のコイル６と、超磁歪素
子３の上下端面に当接して設けられた永久磁石７、８
と、一方の永久磁石７の下面側に対接する円板状の受け
板９と、他方の永久磁石８の上面側に対接する円板状の
受け板１０と、超磁歪素子３に加圧力を与える為の予圧
機構の主要構成部品である皿ばね１１と、それを受ける
円板状の受け板１２が設けられている。前記受け板９，
１０，１２はステンレス板等を用いて形成され、弾性部
材としての皿ばね１１はみがき特殊鋼等で形成される。
【００１２】前記超磁歪素子３は、ランタノイド元素系
及び鉄族元素系の磁性体により円柱状に構成された極め
て磁歪の大きな素子である。超磁歪素子３、その外周の
コイル６、超磁歪素子両端の永久磁石７，８、下側の受
け板９、皿ばね１１、受け板１２及び上側の受け板１０
は前記円筒状ヨーク２内に配置され、上下面が磁極とな
った永久磁石７，８により超磁歪素子３の軸方向に略平
行にバイアス磁界を印加する磁気回路構成である。つま
り、超磁歪素子３の一方の端面に一方の永久磁石のＮ極
が、他方の端面に他方の永久磁石のＳ極が対向する配置
である。
及び鉄族元素系の磁性体により円柱状に構成された極め
て磁歪の大きな素子である。超磁歪素子３、その外周の
コイル６、超磁歪素子両端の永久磁石７，８、下側の受
け板９、皿ばね１１、受け板１２及び上側の受け板１０
は前記円筒状ヨーク２内に配置され、上下面が磁極とな
った永久磁石７，８により超磁歪素子３の軸方向に略平
行にバイアス磁界を印加する磁気回路構成である。つま
り、超磁歪素子３の一方の端面に一方の永久磁石のＮ極
が、他方の端面に他方の永久磁石のＳ極が対向する配置
である。
【００１３】さらに、前記ケーシング１内には、外部か
らの圧力による加重が超磁歪素子３の中心軸に働くよう
作用させるために、超磁歪素子３の上下両端側に球面状
部材としての上部球体１３、下部球体１４が配置されて
おり、上部球体１３に加重を加えるためのステンレス等
の予圧調整用螺子部材１５を固持した支持部材１６が固
定部材１８（ケーシング１に対する蓋）により螺子部材
１９にてケーシング１に固定されている。ここで、前記
下部球体１４はケーシング１内側底面に形成された円錐
状凹面１ａに当たって線接触するとともに加重受け部材
としての受け板１２下面に点接触している。また、上部
球体１３は加重受け部材としての受け板１０上面に形成
された円錐状凹面１０ａに当たって線接触するとともに
予圧調整用螺子部材１５先端面に点接触している。
らの圧力による加重が超磁歪素子３の中心軸に働くよう
作用させるために、超磁歪素子３の上下両端側に球面状
部材としての上部球体１３、下部球体１４が配置されて
おり、上部球体１３に加重を加えるためのステンレス等
の予圧調整用螺子部材１５を固持した支持部材１６が固
定部材１８（ケーシング１に対する蓋）により螺子部材
１９にてケーシング１に固定されている。ここで、前記
下部球体１４はケーシング１内側底面に形成された円錐
状凹面１ａに当たって線接触するとともに加重受け部材
としての受け板１２下面に点接触している。また、上部
球体１３は加重受け部材としての受け板１０上面に形成
された円錐状凹面１０ａに当たって線接触するとともに
予圧調整用螺子部材１５先端面に点接触している。
【００１４】なお、支持部材１６、固定部材１８間の防
水、防塵のため密着性を良くするようにＯリング１７が
支持部材１６に嵌め込まれている。
水、防塵のため密着性を良くするようにＯリング１７が
支持部材１６に嵌め込まれている。
【００１５】このように、本例の磁歪素子を用いた圧力
センサは、ケーシング１、固定部材１８等で覆われ密封
状態に構成され、図３のようにコイル６の巻線５に接続
された信号出力用の導線２０が外部に導出されている。
センサは、ケーシング１、固定部材１８等で覆われ密封
状態に構成され、図３のようにコイル６の巻線５に接続
された信号出力用の導線２０が外部に導出されている。
【００１６】なお、前記支持部材１６は固定部材１８に
対して超磁歪素子３の軸方向に摺動自在に支持されてお
り、ケーシング１底面と支持部材１６間に外部からの被
測定圧力を印加することで、超磁歪素子３の軸方向に圧
力が伝達されるようになっている。
対して超磁歪素子３の軸方向に摺動自在に支持されてお
り、ケーシング１底面と支持部材１６間に外部からの被
測定圧力を印加することで、超磁歪素子３の軸方向に圧
力が伝達されるようになっている。
【００１７】また、前記受け板９と受け板１２間に介在
するみがき特殊鋼等の皿ばね１１とにより、外部からの
圧力が加わらない場合においても中間部にある超磁歪素
子３へ、予圧を与える為の予圧機構が構成されている。
この予圧機構は皿ばね１１の弾性変位により超磁歪素子
３及びこれに直列な各部材（受け板等）の熱収縮を吸収
する機能も有する。また、螺子部材１５を回転すること
で、支持部材１６からの先端面突出量を変化させ、超磁
歪素子３両端の遊びを無くするとともに、超磁歪素子両
端に加わる予圧を調整可能であり、予圧調整機構を成し
ている。
するみがき特殊鋼等の皿ばね１１とにより、外部からの
圧力が加わらない場合においても中間部にある超磁歪素
子３へ、予圧を与える為の予圧機構が構成されている。
この予圧機構は皿ばね１１の弾性変位により超磁歪素子
３及びこれに直列な各部材（受け板等）の熱収縮を吸収
する機能も有する。また、螺子部材１５を回転すること
で、支持部材１６からの先端面突出量を変化させ、超磁
歪素子３両端の遊びを無くするとともに、超磁歪素子両
端に加わる予圧を調整可能であり、予圧調整機構を成し
ている。
【００１８】この実施の形態に係る超磁歪素子を用いた
圧力センサにおいて、ケーシング１底面と支持部材１６
間に外部からの被測定圧力を印加すれば、超磁歪素子３
の軸方向に圧力が加わり、超磁歪素子３にかかる応力に
よる当該超磁歪素子の透磁率変化を、コイル６によりイ
ンダクタンスの変化として検出することができる。
圧力センサにおいて、ケーシング１底面と支持部材１６
間に外部からの被測定圧力を印加すれば、超磁歪素子３
の軸方向に圧力が加わり、超磁歪素子３にかかる応力に
よる当該超磁歪素子の透磁率変化を、コイル６によりイ
ンダクタンスの変化として検出することができる。
【００１９】なお、各永久磁石７，８として、一般的な
磁性材料であるフェライト磁石を用いることができる。
しかし、超磁歪素子３の透磁率変化に起因するインダク
タンスの温度変化低減を得るためには、希土類金属等の
強い磁場を持つ素材による希土類磁石の方が適してい
る。これらの永久磁石７、８は、超磁歪素子３の温度変
によるインダクタンス値の変化量を抑えるために、超磁
歪素子３の圧力印加軸方向に対して直列（略平行）に磁
界がかかるように超磁歪素子３を挟み込んだバイアス磁
石として設けられる。
磁性材料であるフェライト磁石を用いることができる。
しかし、超磁歪素子３の透磁率変化に起因するインダク
タンスの温度変化低減を得るためには、希土類金属等の
強い磁場を持つ素材による希土類磁石の方が適してい
る。これらの永久磁石７、８は、超磁歪素子３の温度変
によるインダクタンス値の変化量を抑えるために、超磁
歪素子３の圧力印加軸方向に対して直列（略平行）に磁
界がかかるように超磁歪素子３を挟み込んだバイアス磁
石として設けられる。
【００２０】本発明の実施の形態に係る磁歪素子を用い
た圧力センサの特性について図４及び表１、図５及び表
２を参照して説明する。但し図４及び表１は比較例であ
って磁界を印加しない場合の温度特性、図５及び表２は
バイアス磁界を印加した実施の形態の場合の温度特性で
ある。
た圧力センサの特性について図４及び表１、図５及び表
２を参照して説明する。但し図４及び表１は比較例であ
って磁界を印加しない場合の温度特性、図５及び表２は
バイアス磁界を印加した実施の形態の場合の温度特性で
ある。
【００２１】まず、図４及び表１のバイアス磁界の無い
場合のインダクタンス値の温度変化を考察する。図４で
は横軸にセンサの周囲温度、縦軸はインダクタンス値
（μＨ）とした。超磁歪素子にかけた荷重は、それぞれ
０ｋｇｆ、５０ｋｇｆ、１００ｋｇｆ、１５０ｋｇｆ、
２００ｋｇｆとし、それぞれに対する測定結果及び温度
係数は以下の表１に示す結果となった。この表１の結果
を図化したものが図４の特性曲線Ａ〜Ｅである。
場合のインダクタンス値の温度変化を考察する。図４で
は横軸にセンサの周囲温度、縦軸はインダクタンス値
（μＨ）とした。超磁歪素子にかけた荷重は、それぞれ
０ｋｇｆ、５０ｋｇｆ、１００ｋｇｆ、１５０ｋｇｆ、
２００ｋｇｆとし、それぞれに対する測定結果及び温度
係数は以下の表１に示す結果となった。この表１の結果
を図化したものが図４の特性曲線Ａ〜Ｅである。
【表１】
【００２２】図５及び表２については、外径５.６mm、
高さ１５.２mmの超磁歪素子３を用い、磁石はネオジウ
ム磁石で残留磁束密度１,２４０（ミリテスラ）にて外
径１２mm、高さ２mmを用いた。かけたバイアス磁石の磁
石間の中心でギャップ磁束密度は６４.６（ミリテス
ラ）となった
高さ１５.２mmの超磁歪素子３を用い、磁石はネオジウ
ム磁石で残留磁束密度１,２４０（ミリテスラ）にて外
径１２mm、高さ２mmを用いた。かけたバイアス磁石の磁
石間の中心でギャップ磁束密度は６４.６（ミリテス
ラ）となった
【００２３】超磁歪素子にかけた荷重は、それぞれ０ｋ
ｇｆ、５０ｋｇｆ、１００ｋｇｆ、１５０ｋｇｆ、２０
０ｋｇｆとし、それぞれに対する測定結果及び温度係数
は以下の表２に示す結果となった。この表２の結果を図
化したものが図５の特性曲線ａ〜ｅである。
ｇｆ、５０ｋｇｆ、１００ｋｇｆ、１５０ｋｇｆ、２０
０ｋｇｆとし、それぞれに対する測定結果及び温度係数
は以下の表２に示す結果となった。この表２の結果を図
化したものが図５の特性曲線ａ〜ｅである。
【表２】
【００２４】本実施の形態とバイアス磁界の無い比較例
の温度に対するインダクタンスの変化量を比較してみる
と、バイアス磁石が有る場合には無い場合に対し温度係
数が各荷重において均一化されていて温度特性が大幅向
上していることが判る。このことにより、測定圧力の精
度向上が可能で、インダクタンス値を電圧値に変換する
等の処理を行うための電気信号の処理がし易くなる（例
えば温度補償が容易となる等）。
の温度に対するインダクタンスの変化量を比較してみる
と、バイアス磁石が有る場合には無い場合に対し温度係
数が各荷重において均一化されていて温度特性が大幅向
上していることが判る。このことにより、測定圧力の精
度向上が可能で、インダクタンス値を電圧値に変換する
等の処理を行うための電気信号の処理がし易くなる（例
えば温度補償が容易となる等）。
【００２５】この実施の形態によれば、次の通りの効果
を得ることができる。
を得ることができる。
【００２６】(1) 超磁歪素子３とこの周囲に配設され
た少なくとも１つのコイル６と超磁歪素子３の加重方向
に略平行にバイアス磁界を印加する永久磁石７，８とを
ケーシング１内に収納し、加重による超磁歪素子３の透
磁率変化を前記コイル６のインダクタンス変化として検
出する構成であり、超磁歪素子３の加重方向に略平行に
バイアス磁界を印加したことで、周囲温度変化に伴うコ
イル６のインダクタンス変化が少なくなり、測定精度の
向上、ひいては後段の電気回路の温度補償を容易とする
ことができる。
た少なくとも１つのコイル６と超磁歪素子３の加重方向
に略平行にバイアス磁界を印加する永久磁石７，８とを
ケーシング１内に収納し、加重による超磁歪素子３の透
磁率変化を前記コイル６のインダクタンス変化として検
出する構成であり、超磁歪素子３の加重方向に略平行に
バイアス磁界を印加したことで、周囲温度変化に伴うコ
イル６のインダクタンス変化が少なくなり、測定精度の
向上、ひいては後段の電気回路の温度補償を容易とする
ことができる。
【００２７】(2) 磁歪素子がランタノイド元素系及び
鉄族元素系を含む磁性体により柱状に形成されてなる超
磁歪素子であり、高感度の圧力検出が可能である。
鉄族元素系を含む磁性体により柱状に形成されてなる超
磁歪素子であり、高感度の圧力検出が可能である。
【００２８】(3) 超磁歪素子３に予圧を加えるととも
に膨張収縮を吸収する予圧機構をケーシング１内に設け
ており、この点でも温度変化に対する信頼性を確保でき
る。
に膨張収縮を吸収する予圧機構をケーシング１内に設け
ており、この点でも温度変化に対する信頼性を確保でき
る。
【００２９】(4) 加重方向と超磁歪素子３の中心軸方
向とが一致するように、超磁歪素子３の両端側の凹面形
状部を持つ受け板１０、ケーシング１内側底面に対し
て、球体１３，１４をそれぞれ接触させて加重を印加す
る構成であり、超磁歪素子３にせん断方向の力が加わっ
て損傷する事故を防止できる。
向とが一致するように、超磁歪素子３の両端側の凹面形
状部を持つ受け板１０、ケーシング１内側底面に対し
て、球体１３，１４をそれぞれ接触させて加重を印加す
る構成であり、超磁歪素子３にせん断方向の力が加わっ
て損傷する事故を防止できる。
【００３０】なお、超磁歪素子３の両側の受け板１０，
１２に外部の加重を印加するために当接する１対の球面
状部材として球体１３，１４を用いたが、相手側の円錐
状等の凹面に接する半球面状部材としてもよい。
１２に外部の加重を印加するために当接する１対の球面
状部材として球体１３，１４を用いたが、相手側の円錐
状等の凹面に接する半球面状部材としてもよい。
【００３１】以上本発明の実施の形態について説明して
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る磁歪
素子を用いた圧力センサによれば、磁歪素子と該磁歪素
子の周囲に配設された少なくとも１つのコイルと前記磁
歪素子の加重方向に略平行にバイアス磁界を印加する永
久磁石とをケーシング内に収納し、加重による前記磁歪
素子の透磁率変化を前記コイルのインダクタンス変化と
して検出する構成としたので、前記バイアス磁界の前記
磁歪素子への印加により温度特性を改善し、出力特性の
安定度を増した磁歪素子を用いた被測定荷重量の検出値
を取得可能である。
素子を用いた圧力センサによれば、磁歪素子と該磁歪素
子の周囲に配設された少なくとも１つのコイルと前記磁
歪素子の加重方向に略平行にバイアス磁界を印加する永
久磁石とをケーシング内に収納し、加重による前記磁歪
素子の透磁率変化を前記コイルのインダクタンス変化と
して検出する構成としたので、前記バイアス磁界の前記
磁歪素子への印加により温度特性を改善し、出力特性の
安定度を増した磁歪素子を用いた被測定荷重量の検出値
を取得可能である。
【図１】本発明の磁歪素子を用いた圧力センサの実施の
形態を示す正断面図である。
形態を示す正断面図である。
【図２】実施の形態の外観を示す側面図である。
【図３】同平面図である。
【図４】バイアス磁界を印加しない比較例の場合の温度
特性図である。
特性図である。
【図５】バイアス磁界を印加した実施の形態の場合の温
度特性図である。
度特性図である。
１ ケーシング ２ ヨーク ３ 超磁歪素子 ４ ボビン ５ 巻線 ６ コイル ７，８ 永久磁石 ９，１０，１２ 受け板 １１ 皿ばね １３ 上部球体 １４ 下部球体 １５，１９ 螺子部材 １６ 支持部材 １７ Ｏリング １８ 固定部材 ２０ 導線
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F055 AA40 BB20 CC11 DD01 EE21 EE29 FF01 5E041 AA11 AA14 AA17 AA19 BD00 CA10
Claims (4)
- 【請求項１】 磁歪素子と該磁歪素子の周囲に配設され
た少なくとも１つのコイルと前記磁歪素子の加重方向に
略平行にバイアス磁界を印加する永久磁石とをケーシン
グ内に収納し、加重による前記磁歪素子の透磁率変化を
前記コイルのインダクタンス変化として検出することを
特徴とする磁歪素子を用いた圧力センサ。 - 【請求項２】 前記磁歪素子はランタノイド元素系及び
鉄族元素系を含む磁性体により柱状に形成されてなる超
磁歪素子である請求項１記載の磁歪素子を用いた圧力セ
ンサ。 - 【請求項３】 前記磁歪素子に予圧を加えるとともに膨
張収縮を吸収する予圧機構を前記ケーシング内に設けた
請求項１又は２記載の磁歪素子を用いた圧力センサ。 - 【請求項４】 加重方向と前記磁歪素子の中心軸方向と
が一致するように、前記磁歪素子の両側の加重受け部材
に球面状又は半球面状部材をそれぞれ当接させて加重を
印加する請求項１，２又は３記載の磁歪素子を用いた圧
力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11067787A JP2000266621A (ja) | 1999-03-15 | 1999-03-15 | 磁歪素子を用いた圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11067787A JP2000266621A (ja) | 1999-03-15 | 1999-03-15 | 磁歪素子を用いた圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000266621A true JP2000266621A (ja) | 2000-09-29 |
Family
ID=13355025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11067787A Withdrawn JP2000266621A (ja) | 1999-03-15 | 1999-03-15 | 磁歪素子を用いた圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000266621A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009121862A (ja) * | 2007-11-13 | 2009-06-04 | Komatsu Ltd | 力センサ |
| CN102163937A (zh) * | 2010-12-31 | 2011-08-24 | 航天时代电子技术股份有限公司 | 一种超磁致伸缩材料的驱动机构 |
| JP2012510631A (ja) * | 2008-12-03 | 2012-05-10 | ローズマウント インコーポレイテッド | 磁気特性を用いた圧力測定方法および装置 |
| JP2012510632A (ja) * | 2008-12-03 | 2012-05-10 | ローズマウント インコーポレイテッド | 充填管を用いた圧力測定方法および装置 |
| CN108845278A (zh) * | 2018-07-02 | 2018-11-20 | 中国计量科学研究院 | 一种大磁致伸缩材料的测量装置和方法 |
| CN110940440A (zh) * | 2019-12-25 | 2020-03-31 | 河南工业大学 | 一种超磁致伸缩压力测量装置以及压力测量方法 |
| CN114802552A (zh) * | 2022-02-21 | 2022-07-29 | 上海钧正网络科技有限公司 | 一种两轮交通工具 |
| CN118936686A (zh) * | 2024-07-22 | 2024-11-12 | 太原理工大学 | 一种自供电无线传输式拉压型磁致伸缩力传感器 |
-
1999
- 1999-03-15 JP JP11067787A patent/JP2000266621A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN118936686A (zh) * | 2024-07-22 | 2024-11-12 | 太原理工大学 | 一种自供电无线传输式拉压型磁致伸缩力传感器 |
| CN118936686B (zh) * | 2024-07-22 | 2025-08-01 | 太原理工大学 | 一种自供电无线传输式拉压型磁致伸缩力传感器 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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