JP2000271419A - ファンフィルターユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高機外静圧対応や容易な風量制御、またクリ
ーンルームに有害ガスの発生抑制ができるファンフィル
ターユニットを提供することを目的とする。 【解決手段】 空気を清浄化するフィルター１と、フィ
ルター１に隣接し空気を供給するケーシングの機能を有
するチャンバー２と、チャンバー２の吸込側に空気を誘
導するオリフィス９と、チャンバー２の中に送風用の吸
込側端部が回転方向にゆるやかに傾斜し、３次元曲面で
形成されたインデューサ部を有する高静圧型のターボフ
ァン８と、高静圧型のターボファン８の駆動用のモータ
ー６と、オリフィス９の上流側に高静圧型のターボファ
ン８に人の手や障害物の侵入を防止するファンガード１
０と、チャンバー２の天面にモーター６を保持するモー
ター固定板５を備えた構成とすることにより、高機外静
圧対応や容易な風量制御、またクリーンルームに有害ガ
スの発生抑制ができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工場、食品
工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用
されるファンフィルターユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、この種のファンフィルターユニッ
トは、高機外静圧対応や容易な風量制御、またクリーン
ルームに有害ガスの発生抑制などが求められている。

【０００３】従来、この種のファンフィルターユニット
は、図１６に示すような構造が一般的であった。以下、
この構成について図１６を参照しながら説明する。

【０００４】従来のファンフィルターユニットは、空気
を清浄化するフィルター１０１と、フィルター１０１に
隣接し空気を供給するケーシング１０２と、チャンバー
１０３と、ターボファン１０４と、ターボファン１０４
の駆動用のモーター１０５と、チャンバー１０３の天面
にモーター１０５を保持するモーター固定板１０６で構
成されている。

【０００５】そして、ターボファン１０４とモーター１
０５により送り込まれた空気が、フィルター１０１を通
過して清浄空気となって吹き出されていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このような従来のファ
ンフィルターユニットでは、オリフィスから吸込んだ空
気がチャンバー内に拡散され、本体の機外静圧がとれな
いために、吸込風路を狭くしたり、クリーンルームガス
対策のケミカルフィルターを搭載した場合に吹出空気量
が低下しクリーンルームの清浄度を確保することが不充
分であるという課題があった。

【０００７】これらの改善策として、ターボファンの外
径を大きくしたり、ファン高さを大きくしたり、シロッ
コファンを用いたりしていたが、本体外形が大きくなっ
たり、本体高さが大きくなったりするなど、コストの面
でも必ずしも有利といえないものであった。

【０００８】本発明は、上記課題を解決するもので、吸
込側端部が回転方向にゆるやかに傾斜し、３次元曲面で
形成されたインデューサ部を有する高静圧型のターボフ
ァンを用いることにより、本体の高機外静圧対応が可能
となるファンフィルターユニットを提供することを第１
の目的としている。

【０００９】第２の目的は、駆動用のモーターに低電圧
型直流モーターを用いることにより、風量制御をより一
層容易に行えることはもちろん、小型化が図れ、電気安
全性の確保をより一層容易に行えるようにすることにあ
る。

【００１０】第３の目的は、低電圧型直流モーターの駆
動用として、チャンバーに隣接するように制御装置を備
えることにより、風路スペースを有効に活用するととも
に、メンテナンスが容易に行えるようにすることにあ
る。

【００１１】第４の目的は、モーターおよびターボファ
ンの交換が吸込側および吹出側両方向から行える構造と
することにより、モーターやターボファンのメンテナン
スをより一層容易に行えるようにすることにある。

【００１２】第５の目的は、チャンバー内部にモーター
およびターボファンを設置したモーター固定板を囲むよ
うに箱状に形成した拡散板を取り付け、前記拡散板には
モーター直下に位置する中央にモーター底部の直径より
やや大なる径の空気拡散用の孔を有し、またこの孔周辺
および外周部もパンチング状に開放することにより、フ
ィルターより吹き出す風速の分布を均一化することにあ
る。

【００１３】第６の目的は、ベアリングを固定するため
のモーターハウジング下およびモーターハウジング上と
筒状のモーターハウジング中を有し、モーターハウジン
グ下とモーターハウジング中の接合部の内部およびモー
ターハウジング上とモーターハウジング中の接合部の内
部に、密閉性を確保するリング状のシール材を有する駆
動用のモーターを備えることにより、モーターから発生
する様々なガス成分のモーター外部への流出を防止する
ことにある。

【００１４】第７の目的は、ターボファンの吸込口径よ
りやや小なる径の吸込口を有し、その吸込口から円周方
向にターボファン側が開放された半円弧状の膨らみを有
するオリフィスに、吸込空気量の調節を目的としたドー
ナツ状の平板形状に形成されたオリフィスリングを半円
弧状の膨らみの最上部に接合したオリフィスアッセンブ
リーを備えることにより、安価にターボファンの効率を
向上させ、省エネ化できるとともに、発生騒音の抑制も
できるようにすることにある。

【００１５】第８の目的は、全面に空気流通用のパンチ
ング孔を有し、下方が開放された箱状に形成され、その
箱状を包み込み、覆うように不織布で縫製されたプレフ
ィルターを備え、またその箱状外周部の鉛直面の下端が
プレフィルターを介してチャンバー天面と接するように
取り付けることのできるファンガードを備えることによ
り、プレフィルターのみを容易にファンガードに覆い被
せ、上流空気の大きな塵を捕集することにより、安価に
フィルターの目詰まりを抑制することにある。

【００１６】第９の目的は、Ｌ字型に形成され、その２
平面に丸長孔を有し、一方の辺が他方の辺より長く形成
された固定金具Ａと、両辺を同一長さとした固定金具Ｂ
により、コの字状やＳの字状また逆Ｔの字状にボルトナ
ットで固定され、本体を設置する時に様々な固定ピッチ
に対応できる固定金具アッセンブリーをチャンバー天面
のコーナー部に４箇所に設置することにより、本体の設
置がより一層容易に行えるようにすることにある。

【００１７】第１０の目的は、内部の電子部品の放熱を
効果的に行えるように、上部が開放された箱状で、放熱
効果の高いアルミ製にて形成された電装ボックスを有
し、この電装ボックスと内部の電子部品を密着させて、
熱伝導にて電装ボックスから外部へ熱を放出できる構造
とした制御装置を備えることにより、電子部品の温度上
昇を抑え、電子部品の寿命を引き伸ばすことにある。

【００１８】第１１の目的は、貫通するリード線の本数
と同一本数で、またリード線の外径と同一径の孔をあ
け、電装ボックス電源リード線貫通用のＵの字型開放部
分内面の連続する山型突起に食い込むような外形寸法に
形成されたシール部材が、連続する山型突起に密着し、
制御装置内部の電子部品から放出されるガス成分を制御
装置外部へ流出させないような構造とした制御装置を備
えることにより、有害なガスの発生を防止でき、クリー
ンルーム内のガスの汚染を防止できるようにすることに
ある。

【００１９】第１２の目的は、制御装置内部に、モータ
ーの劣化により通常運転時の電流値を上回った場合に、
モーター保護のためにモーターへの通電を停止する電流
設定値を有し、またモーターへの通電を停止する電流設
定値よりやや低めの設定値を超えた場合には、モーター
への通電を停止せずに異常であることを警告する機能を
もった電流検出回路を有する制御装置を備えることによ
り、モーターが停止し、送風されなくなる前に処置する
ことにより、クリーンルームへの清浄度低下等の悪影響
を最小限に食い止めることにある。

【００２０】第１３の目的は、外部に接続する外部可変
抵抗の抵抗値を変化させることによりモーターの回転数
を調整し、設定する機能を有し、その一方で、外部可変
抵抗の一方の接続線を遮断することにより、前記モータ
ーの回転数の設定を記憶する機能を有する制御装置を備
えることにより、誤って操作した場合でも常に設定した
モーターの回転数で運転できるようにすることにある。

【００２１】第１４の目的は、外部可変抵抗を接続する
代りに、内部可変抵抗を使用することにより、モーター
の回転数を調整し、設定することができるようにするこ
とにある。

【００２２】第１５の目的は、外部可変抵抗を接続する
代りに、制御装置内部端子に固定抵抗を接続し、かつ外
部から所定の可変直流電源電圧を印加することにより、
モーターの回転数を調整し、設定することができるよう
にすることにある。

【００２３】

【課題を解決するための手段】本発明のファンフィルタ
ーユニットは上記目的を達成するために、第１の手段
は、空気を清浄化するフィルターと、このフィルターに
隣接し空気を供給するケーシングの機能を有するチャン
バーと、このチャンバーの吸込側に空気を誘導するオリ
フィスと、チャンバーの内部に送風用の吸込側端部が回
転方向にゆるやかに傾斜し、３次元曲面で形成されたイ
ンデューサ部を有する高静圧型のターボファンと、この
高静圧型のターボファンの駆動用のモーターと、オリフ
ィスの上流側にターボファンに人の手や障害物の侵入を
防止するファンガードと、チャンバーの天面内部にモー
ターを保持するモーター固定板を備えた構成としたもの
である。

【００２４】本発明によれば、吸込空気はファンガード
を通過し、オリフィスにより高静圧型のターボファンの
吸込口に誘導されインデューサ部により整流および昇圧
されるので、高機外静圧対応が可能となる。

【００２５】また、第２の手段は、駆動用のモーターに
低電圧型直流モーターを用いた構成としたものである。

【００２６】本発明によれば、モーター固定板の中央部
に回転軸を鉛直上向きに備えた低電圧型直流モーターを
備えることにより、風量制御をより一層容易に行えるこ
とはもちろん、小型化が図れ、電気安全性の確保を容易
に行うことができる。

【００２７】また、第３の手段は、低電圧型直流モータ
ーの駆動用として、チャンバーに隣接するように制御装
置を備えた構成としたものである。

【００２８】本発明によれば、制御装置はチャンバーの
天面外部に固定されているので、風路として確保されて
いたスペースを有効に活用することができ、また天面外
部に露出しているため、メンテナンスも容易に行うこと
ができる。

【００２９】また、第４の手段は、モーターおよびター
ボファンの交換が吸込側および吹出側両方向から行える
構成としたものである。

【００３０】本発明によれば、固定ねじを上方より外
し、オリフィスを取り外すことにより、チャンバー内部
のターボファンおよび駆動用のモーターを上方より容易
に取り外すことができる。また、下方より固定ねじを取
り外すことにより、モーター固定板と一体となっている
駆動用のモーターとターボファンを、下方より容易に取
り外すことができる。

【００３１】また、第５の手段は、チャンバー内部にモ
ーターおよびターボファンを設置したモーター固定板を
囲むように箱状に形成した拡散板を取り付け、前記拡散
板には前記モーター直下に位置する中央にモーター底部
の直径よりやや大なる径の空気拡散用の孔を有し、また
この孔周辺および前記拡散板の外周部もパンチング状に
開放した構造としたものである。

【００３２】本発明によれば、ターボファンにより放射
線状に吹き出される風速の速い空気はパンチングを通過
するものと、パンチングを通過せずに空気拡散用の孔を
通過するものとに分配されることにより、均一化された
空気が拡散板外部に放出され、フィルターより吹き出す
風速の分布を均一化できる。

【００３３】また、第６の手段は、ベアリングを固定す
るためのモーターハウジング下およびモーターハウジン
グ上と筒状のモーターハウジング中を有し、モーターハ
ウジング下とモーターハウジング中の接合部の内部およ
びモーターハウジング上とモーターハウジング中の接合
部の内部に、密閉性を確保するリング状のシール材を有
する駆動用のモーターを備えた構成としたものである。

【００３４】本発明によれば、駆動用モーターより発生
する様々なガス成分の、駆動用のモーター外部への流出
を防止できる。

【００３５】また、第７の手段は、ターボファンの吸込
口径よりやや小なる径の吸込口を有し、その吸込口から
円周方向にターボファン側が開放された半円弧状の膨ら
みを有するオリフィスに、吸込空気量の調節を目的とし
たドーナツ状の平板形状に形成されたオリフィスリング
を半円弧状の膨らみの最上部に接合したオリフィスアッ
センブリーを備えた構成としたものである。

【００３６】本発明によれば、吸込空気量に応じて、オ
リフィスの吸込口の直径を変更することなく、オリフィ
スリングの吸込口の直径を調整することにより、安価に
ターボファンの効率を向上させ省エネ化できるととも
に、発生騒音の抑制もできる。

【００３７】また、第８の手段は、全面に空気流通用の
パンチング孔を有し、下方が開放された箱状に形成さ
れ、その箱状を包み込み、覆うように不織布で縫製され
たプレフィルターを備え、またその箱状外周部の鉛直面
の下端がプレフィルターを介してチャンバー天面と接す
るように取り付けることのできるファンガードを備えた
ものである。

【００３８】本発明によれば、プレフィルターのみをフ
ァンガードに容易に覆い被せることができるため、安価
に上流空気の大きな塵を捕集でき、フィルターの目詰ま
りを抑制することができる。

【００３９】また、第９の手段は、Ｌ字型に形成され、
その２平面に丸長孔を有し、一方の辺が他方の辺より長
く形成された固定金具Ａと、両辺を同一長さとした固定
金具Ｂにより、コの字状やＳの字状また逆Ｔの字状にボ
ルトナットで固定され、本体を設置する時に様々な固定
ピッチに対応できる固定金具アッセンブリーをチャンバ
ー天面のコーナー部に４箇所設置する構成としたもので
ある。

【００４０】本発明によれば、固定金具アッセンブリー
のボルトナットを外し、固定金具Ａの取付方向を変える
ことにより、丸長孔の位置を任意に変更することがで
き、丸長孔を用いることにより、本体を設置する時に様
々な固定ピッチおよび固定高さに対応することができ
る。

【００４１】また、第１０の手段は、内部の電子部品の
放熱を効果的に行えるように、上部が開放された箱状
で、放熱効果の高いアルミ製にて形成された電装ボック
スを有し、この電装ボックスと内部の電子部品を密着さ
せて、熱伝導にて電装ボックスから外部へ熱を放出でき
る構造としたものである。

【００４２】本発明によれば、電子部品による発熱を電
装ボックスの全面で放熱することができるため、電子部
品の温度上昇を抑えることができ、電子部品の寿命を引
き伸ばすことができる。

【００４３】また、第１１の手段は、弾性体から成り、
貫通するリード線の本数と同一本数で、またリード線の
外径と同一径の孔をあけ、電装ボックス電源リード線貫
通用のＵの字型開放部分内面の連続する山型突起に食い
込むような外形寸法に形成されたシール部材が、連続す
る山型突起に密着し、制御装置内部の電子部品から放出
されるガス成分を制御装置外部へ流出させないような構
造とした制御装置を備えた構成としたものである。

【００４４】本発明によれば、制御装置の内部電子部品
から放出されるガス成分を制御装置外部へ流出させない
構造としたので、有害なガスの発生を防止でき、クリー
ンルーム内のガスの汚染を防止できる。

【００４５】また、第１２の手段は、制御装置内部に、
モーターの劣化により通常運転時の電流値を上回った場
合に、モーター保護のためにモーターへの通電を停止す
る電流設定値を有し、また、モーターへの通電を停止す
る電流設定値よりやや低めの設定値を超えた場合には、
前記モーターへの通電を停止せずに異常であることを警
告する機能を有する電流検出回路を備えた構成としたも
のである。

【００４６】本発明によれば、モーターが異常な状態に
なり、停止する前に警告する機能を有しているので、モ
ーターが停止し送風されなくなる前に処置ができるの
で、クリーンルームへの清浄度低下等の悪影響を最小限
に食い止めることができる。

【００４７】また、第１３の手段は、外部に接続する外
部可変抵抗の抵抗値を変化させることによりモーターの
回転数を調整し、設定する機能を有し、その一方で、外
部可変抵抗の一方の接続線を遮断することにより、前記
回転数の設定を記憶する機能を有する制御装置を備えた
構成としたものである。

【００４８】本発明によれば、記憶されたモーターの回
転数は、外部可変抵抗を操作しても変化しないため、誤
って操作した場合でも常に設定されたモーターの回転数
で運転することができる。

【００４９】また、第１４の手段は、外部可変抵抗を接
続する代りに、外部可変抵抗を接続する端子に短絡接続
線を接続することにより、制御装置内部に備えられた内
部可変抵抗を使用することが可能となる機能を有し、前
記内部可変抵抗を使用し抵抗値を変化させることによっ
てモーターの回転数を調整し、設定できる機能を有する
制御装置を備えた構成としたものである。

【００５０】本発明によれば、内部可変抵抗を使用する
ことにより、内部可変抵抗の抵抗値を変化させることに
よって、外部可変抵抗を接続せずとも、モーターの回転
数を調整し設定できる。

【００５１】また、第１５の手段は、外部可変抵抗を接
続する代りに、制御装置内部端子に固定抵抗を接続し、
かつ外部から所定の可変直流電源電圧を印加することに
より、モーターの回転数を調整し、設定できる機能を有
する制御装置を備えた構成としたものである。

【００５２】本発明によれば、所定の可変直流電源電圧
を印加することにより、モーターの回転数を調整し、外
部可変抵抗を接続せずとも、モーターの回転数を調整
し、設定できる。

【００５３】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、空気を清浄化するフィルターと、前記フィルターに
隣接し空気を供給するケーシングの機能を有するチャン
バーと、前記チャンバーの吸込側に空気を誘導するオリ
フィスと、前記チャンバーの内部に送風用の吸込側端部
が回転方向にゆるやかに傾斜し、３次元曲面で形成され
たインデューサ部を有する高静圧型のターボファンと、
前記高静圧型のターボファンの駆動用のモーターと、前
記オリフィスの上流側に前記高静圧型のターボファンに
人の手や障害物の侵入を防止するファンガードと、前記
チャンバーの天面内部に前記モーターを保持するモータ
ー固定板を備えたものであり、吸込空気はファンガード
を通過し、オリフィスにより前記高静圧型のターボファ
ンの吸込口に誘導されインデューサ部により整流および
昇圧されるので、高機外静圧対応が可能となるという作
用を有する。

【００５４】また、請求項２に記載の発明は、駆動用の
モーターに低電圧型直流モーターを用いたものであり、
モーター固定板の中央部に回転軸を鉛直上向きに備えた
低電圧型直流モーターを備えることにより、風量制御を
より一層容易に行えることはもちろん、小型化が図れ、
電気安全性の確保を容易に行うことができるという作用
を有する。

【００５５】また、請求項３に記載の発明は、低電圧型
直流モーターの駆動用として、チャンバーに隣接するよ
うに制御装置を備えた構成としたものであり、制御装置
はチャンバーの天面外部に固定されているので、風路と
して確保されていたスペースを有効に活用することがで
き、また天面外部に露出しているため、メンテナンスも
容易に行うことができるという作用を有する。

【００５６】また、請求項４に記載の発明は、モーター
およびターボファンの交換が吸込側および吹出側両方向
から行える構造としたものであり、固定ねじを上方より
外し、オリフィスを取り外すことにより、チャンバー内
部のターボファンおよび駆動用のモーターを上方より容
易に取り外すことができる。また、下方より固定ねじを
取り外すことにより、モーター固定板一体となっている
駆動用のモーターとターボファンを下方より容易に取り
外すことができるという作用を有する。

【００５７】また、請求項５に記載の発明は、チャンバ
ー内部にモーターおよびターボファンを設置したモータ
ー固定板を囲むように箱状に形成した拡散板を取り付
け、前記拡散板には前記モーター直下に位置する中央に
モーター底部の直径よりやや大なる径の空気拡散用の孔
を有し、またこの孔および前記拡散板の外周部もパンチ
ング状に開放した構造としたものであり、ターボファン
により放射線状に吹き出される風速の速い空気はパンチ
ングを通過するものと、パンチングを通過せずに空気拡
散用の孔を通過するものとに分配されることにより、均
一化された空気が拡散板外部に放出され、フィルターよ
り吹き出す風速の分布を均一化できるという作用を有す
る。

【００５８】また、請求項６に記載の発明は、ベアリン
グを固定するためのモーターハウジング下およびモータ
ーハウジング上と筒状のモーターハウジング中を有し、
前記モーターハウジング下とモーターハウジング中の接
合部の内部および前記モーターハウジング上と前記モー
ターハウジング中の接合部の内部に、密閉性を確保する
リング状のシール材を有する駆動用のモーターを備えた
構成としたものであり、駆動用のモーターより発生する
様々なガス成分の駆動用のモーター外部への流出を防止
できるという作用を有する。

【００５９】また、請求項７に記載の発明は、ターボフ
ァンの吸込口径よりやや小なる径の吸込口を有し、この
吸込口から円周方向にターボファン側が開放された半円
弧状の膨らみを有するオリフィスに、吸込空気量の調節
を目的としたドーナツ状の平板形状に形成されたオリフ
ィスリングを半円弧状の膨らみの最上部に接合したオリ
フィスアッセンブリーを備えたものであり、吸込空気量
に応じて、オリフィスの吸込口の直径を変更することな
く、オリフィスリングの吸込口の直径を調整することに
より、安価にターボファンの効率を向上させ省エネ化で
きるとともに、発生騒音の抑制もできるという作用を有
する。

【００６０】また、請求項８に記載の発明は、全面に空
気流通用のパンチング孔を有し、下方が開放された箱状
に形成され、その箱状を包み込み、覆うように不織布で
縫製されたプレフィルターを備え、またこの箱状外周部
の鉛直面の下端が前記プレフィルターを介してチャンバ
ー天面と接するように取り付けることのできるファンガ
ードを備えたものであり、プレフィルターのみをファン
ガードに容易に覆い被せることができるため、安価に上
流空気の大きな塵を捕集でき、フィルターの目詰まりを
抑制することができるという作用を有する。

【００６１】また、請求項９に記載の発明は、Ｌ字型に
形成され、その２平面に丸長孔を有し、一方の辺が他方
の辺より長く形成された固定金具Ａと、両辺を同一長さ
とした固定金具Ｂにより、コの字状やＳの字状また逆Ｔ
の字状にボルトナットで固定され、本体を設置する時に
様々な固定ピッチに対応できる固定金具アッセンブリー
をチャンバー天面のコーナー部に４箇所設置した構成と
したものであり、固定金具アッセンブリーのボルトナッ
トを外し、固定金具Ａの取付方向を変えることにより、
丸長孔の位置を任意に変更することができ、丸長孔を用
いることにより、本体を設置する時に様々な固定ピッチ
および固定高さに対応することができるという作用を有
する。

【００６２】また、請求項１０に記載の発明は、内部の
電子部品の放熱を効果的に行えるように、上部が開放さ
れた箱状で、放熱効果の高いアルミ製にて形成した電装
ボックスを有し、この電装ボックスと内部の電子部品を
密着させて、熱伝導にて前記電装ボックスから外部へ熱
を放出できる構造としたものであり、電子部品による発
熱を電装ボックスの全面で放熱することができるため、
電子部品の温度上昇を抑えることができ、電子部品の寿
命を引き伸ばすことができるという作用を有する。

【００６３】また、請求項１１に記載の発明は、弾性体
から成り、貫通するリード線の本数と同一本数で、前記
リード線の外径と同一径の孔をあけ、電装ボックスの電
源リード線貫通用のＵの字型開放部分内面の連続する山
型突起に食い込むような外形寸法に形成したシール部材
が、前記連続する山型突起に密着し、制御装置内部の電
子部品から放出されるガス成分を制御装置外部へ流出さ
せないような構造とした制御装置を備えた構成としたも
のであり、制御装置の内部電子部品から放出されるガス
成分を制御装置外部へ流出させない構造となり、有害な
ガスの発生を防止でき、クリーンルーム内のガスの汚染
を防止できるという作用を有する。

【００６４】また、請求項１２に記載の発明は、制御装
置内部に、モーターの劣化により通常運転時の電流値を
上回った場合に、モーター保護のためにモーターへの通
電を停止する電流設定値を有し、また、前記モーターへ
の通電を停止する電流設定値よりやや低めの設定値を超
えた場合には、前記モーターへの通電を停止せずに異常
であることを警告する機能を有する電流検出回路を有す
る制御装置を備えた構成としたものであり、モーターが
異常な状態になり、停止する前に警告する機能を有して
いるので、モーターが停止し送風されなくなる前に処置
ができるので、クリーンルームへの清浄度低下等の悪影
響を最小限に食い止めることができるという作用を有す
る。

【００６５】また、請求項１３に記載の発明は、外部に
接続する外部可変抵抗の抵抗値を変化させることにより
モーターの回転数を調整し、設定する機能を有し、その
一方で、外部可変抵抗の一方の接続線を遮断することに
より、前記回転数の設定を記憶する機能を有する制御装
置を備えた構成としたものであり、記憶されたモーター
の回転数は、外部可変抵抗を操作しても変化しないた
め、誤って操作した場合でも常に設定されたモーターの
回転数で運転できるという作用を有する。

【００６６】また、請求項１４に記載の発明は、外部可
変抵抗を接続する代りに、外部可変抵抗を接続する端子
に短絡接続線を接続することにより、制御装置内部に備
えられた内部可変抵抗を使用することが可能となる機能
を有し、前記内部可変抵抗を使用し抵抗値を変化させる
ことによってモーターの回転数を調整し、設定すること
ができ、外部可変抵抗を接続せずとも、モーターの回転
数を調整し、設定できる機能を有する制御装置を備えた
構成としたものであり、内部可変抵抗を使用することに
より、内部可変抵抗の抵抗値を変化させることによって
モーターの回転数を調整し、設定することができ、外部
可変抵抗を接続せずとも、モーターの回転数を調整し、
設定できるという作用を有する。

【００６７】また、請求項１５に記載の発明は、外部可
変抵抗を接続する代りに、制御装置内部端子に固定抵抗
を接続し、かつ外部から所定の可変直流電源電圧を印加
することにより、モーターの回転数を調整し、設定する
ことができる機能を有する制御装置を備えた構成とした
ものであり、所定の可変直流電源電圧を印加することに
より、モーターの回転数を調整し、外部可変抵抗を接続
せずとも、モーターの回転数を調整し、設定できるとい
う作用を有する。

【００６８】以下、本発明の実施例について添付図面を
参照しながら説明する。

【００６９】（実施例１）図１に示すように、空気を清
浄化するフィルター１の上流側に、フィルター１に空気
を供給するケーシングの機能を有するチャンバー２を備
え、このチャンバー２とフィルター１とは固定ねじ３で
構成している。また、チャンバー２の天面内部に固定ね
じ４により連結されるモーター固定板５を備え、モータ
ー固定板５の中央部に回転軸を鉛直上向きに備えた駆動
用のモーター６と、この駆動用のモーター６の回転軸に
連結できる構造を持ち、送風用の吸込側端部が回転方向
にゆるやかに傾斜し、３次元曲面で形成されたインデュ
ーサ部７を有する高静圧型のターボファン８を備えてい
る。また、チャンバー２の天面外部には、高静圧型のタ
ーボファン８の外径よりやや大なる丸孔２ａを備えてお
り、丸孔２ａの円周部に接し、かつ高静圧型のターボフ
ァン８の吸込口よりやや小なる径の吸込口をもつオリフ
ィス９を備えている。さらに、オリフィス９の吸込口か
ら高静圧型のターボファン８に人の手や障害物の侵入を
防止するファンガード１０を備えている。

【００７０】上記構成により、吸込空気１１はファンガ
ード１０を通過し、オリフィス９により高静圧型のター
ボファン８の吸込口に誘導され、インデューサ部７によ
り整流および昇圧されるので、高機外静圧対応が可能と
なる。

【００７１】（実施例２）図２に示すように、モーター
固定板５の中央部に回転軸を鉛直上向きに備えた低電圧
型直流モーター１２を備えている。

【００７２】上記構成により、モーター固定板５の中央
部に回転軸を鉛直上向きに備えた低電圧型直流モーター
１２を備えることにより、風量制御をより一層容易に行
えることはもちろん、小型化が図れ、電気安全性の確保
を容易に行うことができる。

【００７３】（実施例３）図２および図３に示すよう
に、チャンバー２の天面外部かつオリフィス９の吸込口
からターボファン８に人の手や障害物の侵入を防止する
ファンガード１０の外周部の任意な位置に箱形状に形成
した低電圧型直流モーター１２の駆動用の制御装置１３
を備え、この制御装置１３は固定ねじ１４により、チャ
ンバー２に固定している。

【００７４】上記構成により、制御装置１３はチャンバ
ー２の天面外部に固定されているので、風路として確保
されていたスペースを有効に活用することができ、また
天面外部に露出しているため、メンテナンスも容易に行
うことができる。

【００７５】（実施例４）図４に示すように、チャンバ
ー２の天面外部には、ターボファン８の外径よりやや大
なる丸孔２ａを備えており、チャンバー２の天面外部に
丸孔２ａに対応する外径のオリフィス９が上方より固定
ねじ１５により取り付けられる。また、上部開放で略コ
の字状に形成されたモーター固定板５が下方より固定ね
じ４によりチャンバー２の天面内部に取り付けられ、モ
ーター固定板５の中央部に回転軸を鉛直上向きに駆動用
のモーター６が固定ねじ１６より取り付けられ、駆動用
のモーター６の回転軸にターボファン８が固定ナット１
７により取り付けられている。

【００７６】上記構成により、固定ねじ１５を上方より
外し、オリフィス９を取り外すことにより、チャンバー
２内部のターボファン８および駆動用のモーター６を上
方より容易に取り外すことができる。また、下方より固
定ねじ４を取り外すことにより、モーター固定板５と一
体となっている駆動用のモーター６とターボファン８を
下方より容易に取り外すことができる。

【００７７】（実施例５）図５に示すように、チャンバ
ー２内部に駆動用のモーター６およびターボファン８を
設置したモーター固定板５を囲むように下方より固定ね
じ１８により、箱状に形成した拡散板１９を取り付けて
いる。そして、拡散板１９には、駆動用のモーター６直
下に位置する中央に駆動用のモーター６底部の直径より
やや大なる径の空気拡散用の孔１９ａを有し、また、こ
の孔１９ａ周辺をパンチング１９ｂ状に開放し、さらに
箱状の拡散板１９の外周部もパンチング１９ｂ状に開放
した構造となっている。

【００７８】上記構成により、ターボファン８により放
射線状に吹き出される風速の速い空気はパンチング１９
ｂを通過するものと、パンチング１９ｂを通過せずに空
気拡散用の孔１９ａを通過するものとに分配されること
により、均一化された空気が拡散板１９外部に放出さ
れ、フィルターより吹き出す風速の分布を均一化でき
る。

【００７９】（実施例６）図６に示すように、ベアリン
グ６ａを固定するためのモーターハウジング下６ｂおよ
びモーターハウジング上６ｃと筒状のモーターハウジン
グ中６ｄを有し、モーターハウジング下６ｂとモーター
ハウジング中６ｄの接合部の内部に適正な空間距離ｘを
有しており、空間距離ｘより大なる断面直径をもちリン
グ状に形成されたシール材２０を備えている。

【００８０】なお、モーターハウジング上６ｃとモータ
ーハウジング中６ｄの接合部の内部も同一の構造を備え
ている。

【００８１】上記構成により、リング状のシール材によ
り密閉性を確保できるので、駆動用のモーター６より発
生する様々なガス成分の駆動用のモーター６外部への流
出を防止できる。

【００８２】（実施例７）図１および図７に示すよう
に、ターボファン８の吸込口径よりやや小なる径ｙの吸
込口９ａを有し、吸込口９ａからその円周方向にターボ
ファン８側が開放された半円弧状の膨らみ９ｂを有する
オリフィス９の半円弧状の膨らみ９ｂの最上部に、吸込
口９ａの直径ｙより小なる直径ｚの吸込口２１ａを有す
るドーナツ状の平板形状に形成されたオリフィスリング
２１を接合したオリフィスアッセンブリー２２をチャン
バー２の天面外部に備えている。

【００８３】上記構成により、吸込空気量に応じて、オ
リフィス９の吸込口９ａの直径ｙを変更することなく、
オリフィスリング２１の吸込口２１ａの直径ｚを調整す
ることにより、安価にターボファン８の効率を向上させ
省エネ化できるとともに、発生騒音の抑制もできる。

【００８４】（実施例８）図１および 図８に示すよう
に、全面に空気流通用のパンチング孔１０ａを有し、下
方が開放された箱状に成形され、その箱状を包み込み、
覆うように不織布で縫製したプレフィルター２３を備
え、また、その箱状外周部の鉛直面の下端１０ｂがプレ
フィルター２３の厚さよりやや小なるチャンバー２との
区間距離ｗを有するように取り付けたファンガード１０
を備えている。

【００８５】上記構成により、プレフィルター２３のみ
をファンガード１０に容易に覆い被せることができるた
め、安価に上流空気の大きな塵を捕集でき、フィルター
１の目詰まりを抑制することができる。

【００８６】（実施例９）図９に示すように、Ｌ字型に
形成され、一方の面に丸長孔２４ａおよび他方の面に丸
長孔２４ｂを有し、一方の辺が他方の辺より長く形成さ
れた固定金具Ａ２４と、両辺を同一長さとし、その面に
丸長孔２５ａを有した固定金具Ｂ２５により、コの字状
やＳの字状また逆Ｔの字状にボルトナット２６で固定
し、本体を設置する時に様々な固定ピッチに対応できる
固定金具アッセンブリー２７の固定金具Ｂ２５側をチャ
ンバー２天面のコーナー部にボルト５０にて４箇所取り
付けている。

【００８７】上記構成により、固定金具アッセンブリー
２７のボルトナット２６を外し、固定金具Ａ２４の取付
方向を変えることにより、丸長孔２４ｂの位置を任意に
変更することができ、丸長孔２４ｂを用いることによ
り、本体を設置する時に様々な固定ピッチおよび固定高
さに対応することができる。

【００８８】（実施例１０）図１０に示すように、チャ
ンバー２の天面外部に設置された制御装置１３の内部の
電子部品２８の放熱を効果的に行えるように、上部が開
放された箱状で、放熱効果の高いアルミ製にて形成され
た電装ボックス２９を有し、この電装ボックス２９の内
部鉛直面２９ａと電子部品２８を固定ねじ３０にて確実
に密着させて、熱伝導にて外部へ熱を放出できる構造と
している。

【００８９】上記構成により、電子部品２８による発熱
を電装ボックス２９の全面で放熱することができるた
め、電子部品２８の温度上昇を抑えることができ、電子
部品２８の寿命を引き伸ばすことができる。

【００９０】（実施例１１）図１１に示すように、弾性
体（例えばゴム製）で、貫通するリード線３１の本数と
同一本数で、またリード線３１の外径と同一径の孔３２
ａをあけ、電装ボックス２９の電源リード線貫通用のＵ
の字型開放部分２９ｂの内面に連続する山型突起２９ｃ
に食い込むような外形寸法に形成されたシール部材３２
が、連続する山型突起２９ｃに密着し、制御装置１３の
内部電子部品２８から放出されるガス成分を制御装置１
３外部へ流出させないような構造としている。

【００９１】上記構成により、制御装置１３の内部電子
部品２８から放出されるガス成分を制御装置１３外部へ
流出させない構造としたので、有害なガスの発生を防止
でき、クリーンルーム内のガスの汚染を防止できる。

【００９２】（実施例１２）図１２に示すように、駆動
用の制御装置１３内部に、モーター６の劣化により通常
運転時の電流値を上回った場合に、モーター６の保護の
ために電源をオフする電流設定値を有し、また、電源を
オフする電流設定値よりやや低めの設定値を超えた場合
には、電源をオフせずに異常であることを警告する機能
を有する電流検出回路３３を備えている。

【００９３】上記構成により、モーター６が異常な状態
になり、停止する前に警告する機能を有しており、モー
ター６が停止し送風されなくなる前に処置ができるの
で、クリーンルームへの清浄度低下等の悪影響を最小限
に食い止めることができる。

【００９４】（実施例１３）図１３に示すように、外部
可変抵抗３４の抵抗値を変化させることにより、Ｆｉｎ
端子とＧＮＤ端子間の電圧を変化させることとなり、そ
の電圧を制御装置１３Ａで判断し、モーター６の回転数
を調整し、設定する機能を有している。その一方で、外
部可変抵抗３４のＶＲＳＶ端子への接続線３５にスイッ
チ３６を設け、スイッチ３６を遮断することにより、Ｖ
ＲＳＶ端子とＧＮＤ端子間の電圧変化を制御装置１３Ａ
で読み取り、モーター６の回転数の設定を記憶すること
となる。

【００９５】上記構成により、記憶されたモーター６の
回転数は、外部可変抵抗３４を操作しても変化しないた
め、誤って操作した場合でも常に設定したモーター６の
回転数で運転できる。

【００９６】（実施例１４）図１４に示すように、外部
可変抵抗３４を接続する代りに、ＶＲＳＶ端子とＧＮＤ
端子間に短絡接続線３７を接続することにより、制御装
置１３Ｂ内部に備えられた内部可変抵抗３８を使用する
ことが可能となる機能を備えている。

【００９７】上記構成により、内部可変抵抗３８を使用
することにより、内部可変抵抗３８の抵抗値を変化させ
ることによってモーター６の回転数を調整し、設定する
ことができ、外部可変抵抗３４を接続せずともよい。

【００９８】（実施例１５）図１５に示すように、外部
可変抵抗３４を接続する代りに、制御装置１３ＣのＶＲ
ＳＶ端子とＧＮＤ端子間に固定抵抗３９を接続し、かつ
外部からＦｉｎ端子とＧＮＤ端子間に所定の可変直流電
源電圧４０を印加することにより、モーター６の回転数
を調整し、設定することができる機能を備えている。

【００９９】上記構成により、所定の可変直流電源電圧
４０を印加することにより、外部可変抵抗３４を接続せ
ずとも、モーター６の回転数を調整し設定できる。

【０１００】

【発明の効果】以上の実施例から明らかなように、本発
明によれば吸込側端部が回転方向にゆるやかに傾斜し、
３次元曲面で形成されたインデューサ部を有する高静圧
型のターボファンを用いることにより、本体の高機外静
圧対応が可能となり、吸込風路を狭くすることができた
り、クリーンルームガス対策のケミカルフィルターを搭
載したりできるファンフィルターユニットを提供でき
る。

【０１０１】また、駆動用のモーターに低電圧型直流モ
ーターを用いることにより、風量制御をより一層容易に
行えることはもちろん、小型化が図れ、電気安全性の確
保を容易に行え、海外規格等への対応も容易となるファ
ンフィルターユニットを提供できる。

【０１０２】また、低電圧型直流モーターの駆動用とし
て、チャンバーに隣接するように制御装置を備えること
により、風路として確保されていたスペースを有効に活
用することができ、また天面外部に露出しているため、
メンテナンスも容易に行えるファンフィルターユニット
を提供できる。

【０１０３】また、モーターおよびターボファンの交換
が吸込側および吹出側両方向から行える構造とすること
により、設置された本体を取り外すことなく、モーター
やターボファンのメンテナンスを容易に行えるファンフ
ィルターユニットを提供できる。

【０１０４】また、チャンバー内部にモーターおよびタ
ーボファンを設置したモーター固定板を囲むように箱状
に形成した拡散板を取り付け、拡散板にはモーター直下
に位置する中央にモーター底部の直径よりやや大なる径
の空気拡散用の孔を有し、またこの孔周辺および拡散板
の外周部もパンチング状に開放した構造とすることによ
り、均一化された空気が拡散板外部に放出され、フィル
ターより吹き出す風速の分布を均一化できるため、クリ
ーンルームへの送風が層流に近くなり、清浄度の確保が
容易に行えるファンフィルターユニットを提供できる。

【０１０５】また、ベアリングを固定するためのモータ
ーハウジング下およびモーターハウジング上と筒状のモ
ーターハウジング中を有し、モーターハウジング下とモ
ーターハウジング中の接合部の内部およびモーターハウ
ジング上とモーターハウジング中の接合部の内部に、密
閉性を確保するリング状のシール材を有する駆動用のモ
ーターを備えることにより、駆動用のモーターより発生
する様々なガス成分の駆動用のモーター外部への流出を
防止できるため、クリーンルーム内の汚染を防止できる
ファンフィルターユニットを提供できる。

【０１０６】また、ターボファンの吸込口径よりやや小
なる径の吸込口を有し、その吸込口から円周方向にター
ボファン側が開放された半円弧状の膨らみを有するオリ
フィスに、吸込空気量の調節を目的としたドーナツ状の
平板形状に形成されたオリフィスリングを半円弧状の膨
らみの最上部に接合したオリフィスアッセンブリーを備
えることにより、吸込空気量に応じて、オリフィスの吸
込口の直径を変更することなく、オリフィスリングの吸
込み口の直径を調整することにより、安価にターボファ
ンの効率を向上させ省エネ化できるとともに、発生騒音
の抑制もできるファンフィルターユニットを提供でき
る。

【０１０７】また、全面に空気流通用のパンチング孔を
有し、下方が開放された箱状に形成され、その箱状を包
み込み、覆うように不織布で縫製したプレフィルターを
備え、また、その箱状外周部の鉛直面の下端がプレフィ
ルターを介してチャンバー天面と接するように取り付け
ることのできるファンガードを備えることにより、プレ
フィルターのみをファンガードに容易に覆い被せること
ができるため、上流空気の大きな塵を捕集でき、フィル
ターの目詰まりを抑制することとなり、安価な方法でフ
ィルターの寿命を引き伸ばすことのできるファンフィル
ターユニットを提供できる。

【０１０８】また、Ｌ字型に形成され、その２平面に丸
長孔を有し、一方の辺が他方の辺より長く形成された固
定金具Ａと、両辺を同一長さとした固定金具Ｂにより、
コの字状やＳの字状また逆Ｔの字状にボルトナットで固
定し、本体を設置する時に様々な固定ピッチに対応でき
る固定金具アッセンブリーをチャンバー天面のコーナー
部に４箇所設置することにより、本体を設置する時に様
々な固定ピッチおよび固定高さに対応することができる
ファンフィルターユニットを提供できる。

【０１０９】また、内部の電子部品の放熱を効果的に行
えるように、上部が開放された箱状で、放熱効果の高い
アルミ製にて形成した電装ボックスを有し、この電装ボ
ックスと内部の電子部品を密着させて、熱伝導にて電装
ボックスから外部へ熱を放出できる構造とした駆動用の
制御装置を備えることにより、電子部品による発熱を電
装ボックスの全面で放熱することができるため、電子部
品の温度上昇を抑えることができ、電子部品の寿命を引
き伸ばすことができ、メンテナンスの回数が削減できる
ため、コストの削減が図れるファンフィルターユニット
を提供できる。

【０１１０】また、弾性体から成り、貫通するリード線
の本数と同一本数で、またリード線の外径と同一径の孔
をあけ、電装ボックス電源リード線貫通用のＵの字型開
放部分内面の連続する山型突起に食い込むような外形寸
法に形成されたシール部材が、連続する山型突起に密着
し、制御装置内部の電子部品から放出されるガス成分を
制御装置外部へ流出させないような構造とした、駆動用
の制御装置を備えることにより、有害なガスの発生を防
止でき、クリーンルーム内のガスの汚染を防止できるフ
ァンフィルターユニットを提供できる。

【０１１１】また、駆動用の制御装置内部に、モーター
の劣化により通常運転時の電流値を上回った場合に、モ
ーター保護のためにモーターへの通電を停止する電流設
定値を有し、またモーターへの通電を停止する電流設定
値よりやや低めの設定値を超えた場合には、モーターへ
の通電を停止せずに異常であることを警告する機能を有
する機能をもった電流検出回路を有する、駆動用の制御
装置を備えることにより、モーターが異常な状態にな
り、停止する前に警告する機能を有しており、モーター
が停止し送風されなくなる前に処置ができるので、クリ
ーンルームへの清浄度低下等の悪影響を最小限に食い止
めることができるファンフィルターユニットを提供でき
る。

【０１１２】また、外部に接続する外部可変抵抗の抵抗
値を変化させることによりモーターの回転数を調整し、
設定する機能を有し、その一方で、外部可変抵抗の一方
の接続線を遮断することにより、その回転数の設定を記
憶する機能を有する、駆動用の制御装置を備えることに
より、記憶されたモーターの回転数は、外部可変抵抗を
操作しても変化しないため、誤って操作した場合でも常
に設定されたモーターの回転数で運転できるファンフィ
ルターユニットを提供できる。

【０１１３】また、外部可変抵抗を接続する代りに、外
部可変抵抗を接続する端子に短絡接続線を接続すること
により、制御装置内部に備えられた内部可変抵抗を使用
することが可能となる機能を有し、内部可変抵抗を使用
することにより、内部可変抵抗の抵抗値を変化させるこ
とによってモーターの回転数を調整し、設定することが
でき、外部可変抵抗を接続せずとも、モーターの回転数
を調整し、設定できる機能を有した、駆動用の制御装置
を備えることにより、外部可変抵抗を接続せずとも、モ
ーターの回転数を調整し設定できるので、本体設置時の
配線作業を不要とするファンフィルターユニットを提供
できる。

【０１１４】また、外部可変抵抗を接続する代りに、制
御装置内部端子に固定抵抗を接続し、かつ外部から所定
の可変直流電源電圧を印加することにより、外部可変抵
抗を接続せずともモーターの回転数を調整し、設定でき
るファンフィルターユニットを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１、実施例７および実施例８の
ファンフィルターユニットの全体構成を示す断面図

【図２】本発明の実施例２および実施例３のファンフィ
ルターユニットの全体構成を示す断面図

【図３】本発明の実施例３のファンフィルターユニット
のファンガードおよび制御装置の外観を示す斜視図

【図４】本発明の実施例４のファンフィルターユニット
のオリフィス、チャンバー、ターボファン、モーター固
定板の構成を示す斜視展開図

【図５】本発明の実施例５のファンフィルターユニット
のモーター固定板に拡散板取り付け構成を示す斜視展開
図

【図６】本発明の実施例６のファンフィルターユニット
のモーターの構成を示す断面図

【図７】本発明の実施例７のファンフィルターユニット
のオリフィスリングの構成を示す断面図

【図８】本発明の実施例８のファンフィルターユニット
のプレフィルターの構成を示す断面図

【図９】本発明の実施例９のファンフィルターユニット
の固定金具アッセンブリーの構成を示す斜視図

【図１０】本発明の実施例１０のファンフィルターユニ
ットの電装ボックスの構成を示す斜視図

【図１１】本発明の実施例１１のファンフィルターユニ
ットのシール部材の構成を示す斜視図

【図１２】本発明の実施例１２のファンフィルターユニ
ットの制御装置を示すブロック図

【図１３】本発明の実施例１３のファンフィルターユニ
ットの制御装置を示すブロック図

【図１４】本発明の実施例１４のファンフィルターユニ
ットの制御装置を示すブロック図

【図１５】本発明の実施例１５のファンフィルターユニ
ットの制御装置を示すブロック図

【図１６】従来のファンフィルターユニットの全体構成
を示す断面図

【符号の説明】

１ フィルター ２ チャンバー ５ モーター固定板 ６ モーター ６ａ ベアリング ６ｂ モーターハウジング下 ６ｃ モーターハウジング上 ６ｄ モーターハウジング中 ７ インデューサー部 ８ ターボファン ９ オリフィス ９ａ 吸込口 ９ｂ 半円弧状の膨らみ １０ ファンガード １０ａ パンチング孔 １０ｂ 下端 １２ 低電圧型直流モーター １３ 制御装置 １３Ａ 制御装置 １３Ｂ 制御装置 １３Ｃ 制御装置 １９ 拡散板 １９ａ 空気拡散用の孔 １９ｂ パンチング ２０ シール材 ２１ オリフィスリング ２２ オリフィスアッセンブリー ２３ プレフィルター ２４ 固定金具Ａ ２４ａ 丸長孔 ２４ｂ 丸長孔 ２５ 固定金具Ｂ ２５ａ 丸長孔 ２６ ボルトナット ２７ 固定金具アッセンブリー ２８ 電子部品 ２９ 電装ボックス ２９ｂ Ｕの字型開放部分 ２９ｃ 山型突起 ３１ リード線 ３２ シール部材 ３２ａ 孔 ３３ 電流検出回路 ３４ 外部可変抵抗 ３５ 接続線 ３７ 短絡接続線 ３８ 内部可変抵抗 ３９ 固定抵抗 ４０ 可変直流電源電圧

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3L058 BD02 BE02 BF01 BF06 BG04 3L060 AA01 CC10 DD01 EE05 4D058 JA12 JA13 JB25 LA02 LA05 QA01 QA17 QA21 QA30 SA04 UA11

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 空気を清浄化するフィルターと、前記フ
   ィルターに隣接し空気を供給するケーシングの機能を有
   するチャンバーと、前記チャンバーの吸込側に空気を誘
   導するオリフィスと、前記チャンバーの内部に送風用の
   吸込側端部が回転方向にゆるやかに傾斜し、３次元曲面
   で形成されたインデューサ部を有する高静圧型のターボ
   ファンと、前記高静圧型のターボファンの駆動用のモー
   ターと、前記オリフィスの上流側に前記高静圧型のター
   ボファンに人の手や障害物の侵入を防止するファンガー
   ドと、前記チャンバーの天面内部に前記モーターを保持
   するモーター固定板を備えたファンフィルターユニッ
   ト。
2. 【請求項２】 駆動用のモーターに低電圧型直流モータ
   ーを用いた請求項１記載のファンフィルターユニット。
3. 【請求項３】 低電圧型直流モーターの駆動用として、
   チャンバーに隣接するように制御装置を備えた請求項２
   記載のファンフィルターユニット。
4. 【請求項４】 モーターおよびターボファンの交換が吸
   込側および吹出側両方向から行える構造とした請求項１
   記載のファンフィルターユニット。
5. 【請求項５】 チャンバー内部にモーターおよびターボ
   ファンを設置したモーター固定板を囲むように箱状に形
   成した拡散板を取り付け、前記拡散板には前記モーター
   直下に位置する中央にモーター底部の直径よりやや大な
   る径の空気拡散用の孔を有し、またこの孔周辺および前
   記拡散板の外周部もパンチング状に開放した構造とした
   請求項１記載のファンフィルターユニット。
6. 【請求項６】 ベアリングを固定するためのモーターハ
   ウジング下およびモーターハウジング上と筒状のモータ
   ーハウジング中を有し、前記モーターハウジング下と前
   記モーターハウジング中の接合部の内部および前記モー
   ターハウジング上と前記モーターハウジング中の接合部
   の内部に、密閉性を確保するリング状のシール材を有す
   る駆動用のモーターを備えた請求項１記載のファンフィ
   ルターユニット。
7. 【請求項７】 ターボファンの吸込口径よりやや小なる
   径の吸込口を有し、この吸込口から円周方向にターボフ
   ァン側が開放された半円弧状の膨らみを有するオリフィ
   スに、吸込空気量の調節を目的としたドーナツ状の平板
   形状に形成されたオリフィスリングを半円弧状の膨らみ
   の最上部に接合したオリフィスアッセンブリーを備えた
   請求項１記載のファンフィルターユニット。
8. 【請求項８】 全面に空気流通用のパンチング孔を有
   し、下方が開放された箱状に形成され、この箱状を包み
   込み、覆うように不織布で縫製されたプレフィルターを
   備え、またこの箱状外周部の鉛直面の下端が前記プレフ
   ィルターを介してチャンバー天面と接するように取り付
   けることのできるファンガードを備えた請求項１記載の
   ファンフィルターユニット。
9. 【請求項９】 Ｌ字型に形成され、その２平面に丸長孔
   を有し、一方の辺が他方の辺より長く形成された固定金
   具Ａと、両辺を同一長さとした固定金具Ｂにより、コの
   字状やＳの字状また逆Ｔの字状にボルトナットで固定さ
   れ、本体を設置する時に様々な固定ピッチに対応できる
   固定金具アッセンブリーをチャンバー天面のコーナー部
   に４箇所設置した請求項１記載のファンフィルターユニ
   ット。
10. 【請求項１０】 内部の電子部品の放熱を効果的に行え
    るように、上部が開放された箱状で、放熱効果の高いア
    ルミ製にて形成した電装ボックスを有し、この電装ボッ
    クスと内部の電子部品を密着させて、熱伝導にて前記電
    装ボックスから外部へ熱を放出できる構造とした請求項
    ３記載のファンフィルターユニット。
11. 【請求項１１】 弾性体から成り、貫通するリード線の
    本数と同一本数で、前記リード線の外径と同一径の孔を
    あけ、電装ボックスの電源リード線貫通用のＵの字型開
    放部分内面の連続する山型突起に食い込むような外形寸
    法に形成したシール部材が、前記連続する山型突起に密
    着し、制御装置内部の電子部品から放出されるガス成分
    を制御装置外部へ流出させないような構造とした制御装
    置を備えた請求項３記載のファンフィルターユニット。
12. 【請求項１２】 制御装置内部に、モーターの劣化によ
    り通常運転時の電流値を上回った場合に、モーター保護
    のためにモーターへの通電を停止する電流設定値を有
    し、また、前記モーターへの通電を停止する電流設定値
    よりやや低めの設定値を超えた場合には、前記モーター
    への通電を停止せずに異常であることを警告する機能を
    有する電流検出回路を備えた請求項３記載のファンフィ
    ルターユニット。
13. 【請求項１３】 外部に接続する外部可変抵抗の抵抗値
    を変化させることによりモーターの回転数を調整し、設
    定する機能を有し、その一方で、前記外部可変抵抗の一
    方の接続線を遮断することにより、前記回転数の設定を
    記憶する機能を有する制御装置を備えた請求項３記載の
    ファンフィルターユニット。
14. 【請求項１４】 外部可変抵抗を接続する代りに、外部
    可変抵抗を接続する端子に短絡接続線を接続することに
    より、制御装置内部に備えられた内部可変抵抗を使用す
    ることが可能となる機能を有し、前記内部可変抵抗を使
    用し抵抗値を変化させることによってモーターの回転数
    を調整し、設定できる機能を有する制御装置を備えた請
    求項３記載のファンフィルターユニット。
15. 【請求項１５】 外部可変抵抗を接続する代りに、制御
    装置内部端子に固定抵抗を接続し、かつ外部から所定の
    可変直流電源電圧を印加することにより、モーターの回
    転数を調整し、設定できる機能を有する制御装置を備え
    た請求項３記載のファンフィルターユニット。