JP2000272128A - インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

インクジェット記録ヘッド及びその製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 インク流における淀み等の発生を解消し、良
好なインク吐出動作及び高品位な階調表現が得られるも
のでありながらも、積層する薄板部品間における連結時
の積層アライメント精度等を緩和できるインクジェット
記録ヘッドを提供する。 【解決手段】 チャンバプレート１６に備えた貫通穴と
該チャンバプレート１６を挟む２枚の板（２３、３０）
とから構成される圧力室１９を備えるインクジェット記
録ヘッド５５の製造方法では、前記貫通穴を形成する工
程が、略同形状を有し圧力室１９におけるインクの流れ
方向Ｉに長さが異なる第１及び第２レジスト膜１７、１
８をチャンバプレート１６の第１面及び第２面に夫々形
成する工程と、第１及び第２レジスト膜１７、１８をマ
スクとしてチャンバプレート１６の第１面及び第２面を
エッチングして第１面及び第２面を貫通する工程とを含
む。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録ヘッド及びその製造方法に関し、特に、高品位な階調
印字を実現することができるインクジェット記録ヘッド
及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ノンインパクト記録法は、記録時におけ
る騒音の発生が無視し得る程度に小さいという点におい
て優れており、近年特に関心を集めている。この記録法
の内でもインクジェット記録法は、簡単な機構で記録媒
体上に直接に高速記録が可能であり、しかも普通紙を記
録媒体として使用できるため簡便であるという利点があ
る。
【０００３】インクジェット記録法として、これまで種
々の方式が提案されている。その一つに、記録ヘッドか
ら飛翔したインク滴を記録用紙に付着させて、文字、図
形等の記録を行う記録方式が知られている。この記録方
式は、高速記録ができると共に、普通紙に特別の定着処
理をしないで記録を行うことができるという利点があ
り、現在このインクジェット記録方式を用いた種々のイ
ンクジェット式プリンタが提案され、商品化されてい
る。
【０００４】上記インクジェット記録方式は、連続噴射
型、オンデマンド型、及び静電吸引型の三種に大別する
ことができる。オンデマンド型は、必要なときにのみ圧
電素子を作動させてインク滴を吐出させるので、インク
消費が良好であると共に構造が極めて簡素であり、普及
が期待されている。従来のオンデマンド型のインクジェ
ット記録ヘッドは、インクプールに連通する圧力室と、
圧力室に対応するインクノズルと、圧力室の一部を成す
振動板と、振動板を振動させ圧力室内の圧力を高めてイ
ンクノズルからインク滴を吐出する圧電素子とを有して
いる。
【０００５】上記インクジェット記録方式を採用した従
来の記録ヘッドでは、単に一方の面から他方の面に向か
って施される貫通エッチングやプレス加工等による抜き
加工、或いは、電鋳加工によって同等の形状を設けたプ
レートを積層することにより、圧力室、インクプール及
びインクノズル等が形成されている。
【０００６】図８は、上記従来のインクジェット記録ヘ
ッドにおける圧力室及びその周辺の部分を拡大して示す
断面図である。振動板６０、チャンバプレート６１及び
供給プレート６２が積層され、相互に固定されることに
より、インクプール（図示せず）からのインクを供給す
るインク供給路６５と、インク供給路６５に連通する圧
力室６３と、圧力室６３からインクをインクノズル（図
示せず）に送るインク送出路６６とが形成されている。
【０００７】チャンバプレート６１は、プレス加工等の
抜き加工で形成されプレート面と直交するエッジ面６１
ａが形成された貫通穴を有しており、この貫通穴が振動
板６０及び供給プレート６２によって上部及び下部を閉
塞されることにより圧力室１９が構成されている。供給
プレート６２に備えたインク供給路６５及びインク送出
路６６は、いずれもプレス加工等の抜き加工で形成さ
れ、プレート面と直交するエッジ面を有する。これによ
り、インクプールからインク供給路６５、圧力室６３及
びインク送出路６６を経由して送られるインクは、経路
途中で直角状に進路を変えつつインクノズルに到達す
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】このため、特に、イン
ク供給路６５からのインク流を直接受ける隅部６３ａ及
びその近傍や、圧力室６３内のインク流の進路を直角状
に変える隅部６３ｂ及びその近傍では、インク流に淀み
や気泡が生じ、或いは、急激な断面積変化等によってキ
ャビテーションが発生することがある。気泡やキャビテ
ーションが生じた場合には、圧電素子から圧力室に与え
られた圧力が吸収されて良好なインク吐出動作が損なわ
れ、高品位な階調表現が困難になる。
【０００９】これらの問題を緩和するためには、積層す
る薄板部品に形成された貫通穴を、予め確認した最良の
状態に位置決めして、誤差が極めて少ないインク流路と
して形成しなければならない。このため、部品加工精度
や組立て精度を大幅に向上させ、積層アライメント精度
を限界まで高めることが要求される。
【００１０】本発明は、上記に鑑み、インク流における
淀み、気泡、或いは、キャビテーションの発生を解消し
て、良好なインク吐出動作及び高品位な階調表現が得ら
れるものでありながらも、積層する薄板部品間における
連結時の寸法合わせや積層アライメント精度を緩和する
ことができるインクジェット記録ヘッド及びその製造方
法を提供することを目的とする。
【００１１】本発明は更に、エッチングでインク流路を
形成する場合であっても、板面に対して傾斜するインク
流路を得ることができるインクジェット記録ヘッドの製
造方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、
プレートに備えた貫通穴と該プレートを挟む２枚の板と
から構成される圧力室を備えるインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法において、前記貫通穴を形成する工程が、
略同形状を有し前記圧力室におけるインクの流れ方向に
長さが異なる第１及び第２レジスト膜を前記プレートの
第１面及び第２面に夫々形成する工程と、前記第１及び
第２レジスト膜をマスクとして前記プレートの第１面及
び第２面をエッチングして前記第１面及び第２面を貫通
する工程とを含むことを特徴とする。
【００１３】本発明のインクジェット記録ヘッドの製造
方法では、略同形状を有し圧力室におけるインクの流れ
方向に長さが異なる２つの穴部を形成することによっ
て、該２つの穴部が繋がった比較的滑らかな形状の内壁
面を得ることができる。このため、圧力室内における、
特に上流側のインク流を受ける部分、或いは、インクノ
ズルに向かってインク流の進路を変化させる部分を滑ら
かな形状にできるので、インク流における淀み、気泡、
或いは、キャビテーションが発生する等の問題を解消で
きる。これにより、良好なインク吐出動作及び高品位な
階調表現が得られ、積層する薄板部品間における連結時
の寸法合わせや積層アライメント精度を緩和することが
できる。
【００１４】具体的には、前記プレートの厚さが約１４
０μｍであり、前記第１レジスト膜と前記第２レジスト
膜との長さの差が約８０〜１４０μｍであることが好ま
しい。この場合、インク流路として好適な形状の内壁面
を有する圧力室を得ることができる。
【００１５】本発明のインクジェット記録ヘッドの製造
方法は、プレートに備えた貫通穴と該プレートを挟む２
枚の板とから構成される圧力室を備え、前記２枚の板の
一方がインク吐出側にインクを供給するインク供給穴を
備えるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記インク供給穴を形成する工程が、略円形状を有し前
記圧力室におけるインクの流れ方向に心ずれした第１及
び第２レジスト膜を前記一方の板の第１面及び第２面に
夫々形成する工程と、前記第１及び第２レジスト膜をマ
スクとして前記一方の板の第１面及び第２面をエッチン
グして前記第１面及び第２面を貫通する工程とを含むこ
とを特徴とする。
【００１６】本発明のインクジェット記録ヘッドの製造
方法では、略円形状を有し圧力室におけるインクの流れ
方向に心ずれした２つの穴部を形成することによって、
一方の板に対して傾斜するインク流路をエッチングによ
り得ることができる。
【００１７】具体的には、前記一方の板の厚さが約１４
０μｍであり、前記第１レジスト膜と前記第２レジスト
膜との心ずれ量が約４０〜７０μｍであることが好まし
い。この場合、好適な傾斜状態のインク流路を得ること
ができる。
【００１８】本発明のインクジェット記録ヘッドは、プ
レートに備えた貫通穴と該プレートを挟む２枚の板とか
ら構成される圧力室を備えるインクジェット記録ヘッド
において、前記貫通穴は、前記プレートの第１面及び第
２面がエッチングされることによって形成された、略同
形状を有し前記圧力室におけるインクの流れ方向に長さ
が異なる第１穴部及び第２穴部から構成されることを特
徴とする。
【００１９】本発明のインクジェット記録ヘッドでは、
相互に連通する第１穴部と第２穴部とから比較的滑らか
な形状の内壁面を得ることができるので、圧力室内にお
ける、特に上流側のインク流を受ける部分、或いは、イ
ンクノズルに向かってインク流の進路を変化させる部分
が滑らかになり、インク流における淀み、気泡等の発生
を防止することができる。
【００２０】本発明のインクジェット記録ヘッドは、プ
レートに備えた貫通穴と該プレートを挟む２枚の板とか
ら構成される圧力室を備え、前記２枚の板の一方がイン
ク吐出側にインクを供給するインク供給穴を備えるイン
クジェット記録ヘッドにおいて、前記インク供給穴は、
前記一方の板の第１面及び第２面がエッチングされるこ
とによって形成された、略半球状を有し前記圧力室にお
けるインクの流れ方向に心ずれした第１穴部及び第２穴
部から構成されることを特徴とする。
【００２１】本発明のインクジェット記録ヘッドでは、
インクの流れ方向に心ずれした状態で第１穴部と第２穴
部とが連通するので、エッチングで形成された、一方の
板の第１面及び第２面に対して傾斜するインク流路を得
ることができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】図面を参照して本発明を更に詳細
に説明する。図１は、本発明の一実施形態例におけるイ
ンクジェット式プリンタの全体構成を示す斜視図であ
る。
【００２３】インクジェット式プリンタ４３は、プリン
タ本体の左右方向に渡されたガイド軸４７と、このガイ
ド軸４７に沿ってモータ（図示せず）の動力で往復移動
するヘッドキャリッジ５２と、種々の作動を統括的に制
御する制御部（図示せず）とを有する。プリンタ本体
は、記録用紙５３を給紙する給送ローラ対４７、５４を
有しており、印刷時には、ヘッドキャリッジ５２の動作
に連動する給送ローラ対４７、５４によって記録用紙５
３が矢印ａ方向に所定距離ずつ断続的に送られる。給送
ローラ対４７、５４よりも搬送路の前方には、記録用紙
５３の裏面を支持する排紙ローラ５６ａ、５６ｂ及び５
６ｃが夫々配設される。
【００２４】ヘッドキャリッジ５２は、文字印刷用のブ
ラックカートリッジ５０及びカラー画像印刷用のカラー
カートリッジ４９を収容するホルダ５１と、記録用紙５
３に対してインク滴を吐出するインクジェット記録ヘッ
ド５５とを有する。
【００２５】ブラックカートリッジ５０から供給される
黒色インクは、複数の圧力室に共通のインクプールを通
って各圧力室に充填され、圧電素子から吐出エネルギー
が与えられると、各圧電素子に対応する圧力室に設けら
れたインクノズルからインク滴として記録用紙５３に吐
出されて印刷が施される。また、カラーカートリッジ４
９から供給された各カラーインクは、各色に対応するイ
ンクプールを通って各圧力室に充填され、圧電素子から
吐出エネルギーが与えられると、各圧電素子に対応する
圧力室に設けられた各インクノズルから各色のインク滴
が記録用紙５３に吐出されて印刷が施される。
【００２６】図２は、ブラックカートリッジ５０からの
黒色インクに対応するインクジェット記録ヘッド、及
び、カラーカートリッジ４９からの各カラーインクに夫
々対応するインクジェット記録ヘッドのいずれにも共通
する構造を示す分解斜視図である。
【００２７】インクジェット記録ヘッド５５は、インク
ノズル数に対応する数の個別電極２２と、個別電極２２
の全てに共通する共通電極２０ａ、２１とを有する圧電
素子２０を有する。圧電素子２０は、圧力室１９に面す
る振動板２３に接触して配設され、振動板２３を振動さ
せることによりインクノズル４１からインク滴を吐出す
る。インクジェット記録ヘッド５５は更に、チャンバプ
レート（圧力板）１６、供給プレート（インク供給板）
３０、プールプレート３６、及び吐出プレート４２を有
する。
【００２８】振動板２３は、一縁部の近傍に形成された
供給口２５を有する。チャンバプレート１６は、供給口
２５に対応して形成された供給口２９と、各個別電極２
２に夫々対応し表裏に貫通して配列され、インクプール
４０に連通する複数の圧力室１９とを有する。供給プレ
ート３０は、供給口２９に対応して形成された供給口３
５と、各圧力室１９に夫々対向して配列された複数のイ
ンク供給路３２と、各インク送出路３２に隣接して形成
されたインク送出路３３とを有する。プールプレート３
６には、各インク送出路３３に対向する複数の貫通路３
７と、複数のインク供給路３２の全てに共通にわたる略
Ｕ字形状を有するインクプール４０とが形成される。吐
出プレート４２には、各貫通路３７に対向する複数のイ
ンクノズル４１が形成される。
【００２９】図３は、図２で説明したインクジェット記
録ヘッド５５の組立て状態を示す断面図である。同図で
は、主に圧電素子２０の中央凹部（２０ａ(図２)）から
片側半分に関して描いている。圧電素子２０の各個別電
極２２は、振動板２３の各対応する部分に夫々固定され
る。振動板２３にはステンレス（ＳＵＳ３０４）やニッ
ケル等の金属から成るチャンバプレート１６が、チャン
バプレート１６にはステンレスやニッケル等の金属から
成る供給プレート３０が夫々接着される。また、供給プ
レート３０にはプールプレート３６が、プールプレート
３６には吐出プレート４２が夫々接着される。
【００３０】上部及び下部が供給プレート３０及び振動
板２３で閉塞されて圧力室１９を成す貫通穴が形成され
たチャンバプレート１６は、インク供給路３２を介して
インクプール４０に連通している。インクプール４０に
は、相互に連通する供給口２５、２９及び３５を経由し
て、ブラックカートリッジ５０及び複数のカラーカート
リッジ４９の内のいずれか対応するものからインクが供
給される。この供給によってインクプール４０に充填さ
れたインクは、インク供給路３２を経由して各圧力室１
９に供給され、更に、順に小径となるインク送出路３
３、３７を経由してインクノズル４１に到達する。圧力
室１９に対応する個別電極２２への通電で作動する圧電
素子２０によって振動板２３が振動すると、対応するイ
ンクノズル４１からインクが吐出する。
【００３１】図４は、図２及び図３で説明した振動板２
３、チャンバプレート１６及び供給プレート３０の一部
を拡大した断面図である。圧力室１９の主部を成すチャ
ンバプレート１６の貫通穴は、相互に連通する上部穴
（第１穴部）１９ａ及び下部穴（第２穴部）１９ｂから
構成される。上部穴１９ａの内径と下部穴１９ｂの内径
との間におけるインク流れ方向でのずれ量は、インク流
路の上流側であるインク供給路３２の近傍ではＥ1であ
り、インク流路の下流側であるインク送出路３３の近傍
ではＥ2である。ずれ量Ｅ1及びＥ2は、後述するエッチ
ング時のレジスト膜に形成によって、相互に等しい場合
と異なる場合とがある。
【００３２】図５は、チャンバプレート１６を図４の下
方から見た状態で示す底面図である。同図において、上
部穴１９ａ及び下部穴１９ｂは、インク供給路３２に対
応する部分では細長く形成され、インク送出路３３に対
応する部分では半円形状に形成される。なお、図４及び
図５中の矢印Ｉはインク流の方向を示す。
【００３３】また、図４に示すように、供給プレート３
０におけるインク供給路３２は、プレス加工等で板厚方
向に貫通して形成されているが、プールプレート３６
（図３）の貫通路３７に連通するインク送出路（インク
流路）３３は以下の構造を有する。インク送出路３３
は、供給プレート３０の第１面及び第２面から見たとき
の形状が夫々に略円形を呈しており、第１面及び第２面
における略円形の上部穴（第１穴部）３３ａ及び下部穴
（第２穴部）３３ｂが、インク流れ方向、つまり第１面
及び第２面と水平な方向に所定寸法だけずらして形成さ
れる。
【００３４】上部穴３３ａは、供給プレート３０の第１
面における特定点を中心Ｃ1とする半径Ｂの略半球状に
形成され、下部穴３３ｂは、供給プレート３０の第２面
における特定点を中心Ｃ2とする半径Ｄの略半球状に形
成されている。上部穴３３ａ及び下部穴３３ｂ双方の中
心Ｃ1と中心Ｃ2との間には、水平方向でのずれ量Ａが存
在する。上部穴３３ａ及び下部穴３３ｂの各半径と、ず
れ量Ａとを適宜変更することにより、インク供給路３３
の入口側と出口側とで口径を異ならせ、或いは、インク
供給路３３の傾斜状態を変化させることができる。
【００３５】図６は、チャンバプレート１６の一部を拡
大した断面図であり、（ａ）〜（ｄ）は組立て工程を段
階的に示す。
【００３６】まず、図６（ａ）に示すように、加工前の
チャンバプレート１６の第１面及び第２面に、夫々、ホ
トレジストを均一に塗布することによりレジスト膜１７
及び１８を形成する。更に、レジスト膜１７及び１８に
夫々対向して、所定形状のマスクパターン１１及び１２
が形成された第１マスクＭ１及び第２マスクＭ２をセッ
トし、露光する。
【００３７】ここで、マスクパターンについて説明す
る。図７は、マスクに形成されたマスクパターンの具体
的形状を示す平面図であり、（ａ）は第１マスクＭ１の
マスクパターン１１を示し、（ｂ）は第２マスクＭ２の
マスクパターン１２を示す。マスクパターン１１はイン
クの流れ方向（図の左右方向）に長い形状を呈し、マス
クパターン１２は、マスクパターン１１と略相似形状を
呈し、マスクパターン１１に比して同方向に若干長く形
成されている。
【００３８】次いで、図６（ａ）で露光したチャンバプ
レート１６の第１面及び第２面におけるレジスト膜１７
及び１８を現像して水洗し、図６（ｂ）に示すように、
図７（ａ）のマスクパターン１１と同じ形状の凹部１７
ａを有するレジスト膜１７とし、図７（ｂ）のマスクパ
ターン１２と同じ形状の凹部１８ａを有するレジスト膜
１８とする。マスクパターン１１の凹部１７ａとマスク
パターン１２の凹部１８ａとの間には、インク流の上流
側でずれ量Ｅ1ａが存在し、インク流の下流側でずれ量
Ｅ2ａが存在する。
【００３９】更に、図６（ｃ）に示すように、チャンバ
プレート１６を、所定のエッチング液を用いて第１面及
び第２面から夫々ウエットエッチング（貫通ハーフエッ
チング）することにより、実際には、凹部１７ａよりも
水平方向での面積が大きい上部穴１９ａと、凹部１８ａ
よりも水平方向での面積が大きい下部穴１９ｂを形成す
る。
【００４０】次いで、図６（ｄ）に示すように、チャン
バプレート１６の第１面及び第２面に付着しているレジ
スト膜１７及び１８を、水洗及びスピンドライ等によっ
て夫々除去する。これにより、インク流路の上流側で上
記ずれ量Ｅ1ａに従ったずれ量Ｅ1（図４）を有し、イン
ク流路の下流側で上記ずれ量Ｅ2ａに従ったずれ量Ｅ
2（図４）を有する貫通穴を備えたチャンバプレート１
６が得られる。
【００４１】以上の工程によって得られたチャンバプレ
ート１６に振動板２３を接着し、逆側の面に供給プレー
ト３０を接着し、更に、供給プレート３０にプールプレ
ート３６を接着し、プールプレート３６に吐出プレート
４２を接着することにより、本実施形態例におけるイン
クジェット記録ヘッド５５の主要部が得られる。
【００４２】本実施形態例では、上部穴１９ａ及び下部
穴１９ｂの各内径間におけるインク流れ方向でのずれ量
Ｅ1、Ｅ2は夫々、チャンバプレート１６の板厚が約１４
０μｍの場合に約４０〜７０μｍであることが好まし
く、約６０μｍがより好ましい。全体的に捉えると、チ
ャンバプレート１６の厚さが約１４０μｍであり、第１
レジスト膜１７と第２レジスト膜１８とのインク流れ方
向Ｉでの長さの差は約８０〜１４０μｍである。
【００４３】また、供給プレート３０のインク送出路３
３における上部穴３３ａ及び下部穴３３ｂを形成する場
合にも、図６（ａ）〜（ｄ）で説明した圧力室１９の形
成方法と同様の手順を採用できる。
【００４４】つまり、加工前の供給プレート３０の第１
面及び第２面に夫々、所定のパターンが形成されたマス
クパターンを夫々当てた状態で露光する。次いで、供給
プレート３０の第１面及び第２面に夫々所定の処理を施
してレジスト膜を形成する。更に、供給プレート３０の
第１面及び第２面を夫々エッチング（貫通ハーフエッチ
ング）することにより、実際には、マスクパターンによ
って形成されたレジスト膜の透過部よりも大きい寸法で
上部穴３３ａ及び下部穴３３ｂを形成する。次いで、供
給プレート３０の第１面及び第２面に付着しているレジ
スト膜を夫々除去することにより、上部穴３３ａ及び下
部穴３３ｂ相互の中心間にずれ量Ａを有する供給プレー
ト３０が得られる。このように、エッチングを行いなが
らも、供給プレート３０の面に対して傾斜するインク送
出路３３を得ることができる。
【００４５】ずれ量Ａは、供給プレート３０の板厚が約
１４０μｍの場合に、約４０〜７０μｍであることが好
ましく、約６０μｍであることがより好ましい。
【００４６】本インクジェット記録ヘッド５５の製造方
法によれば、略同形状を有しインクの流れ方向Ｉに長さ
が異なる２つの上部穴１９ａ及び下部１９ｂを形成する
ことによって、上部穴１９ａと下部１９ｂとが繋がった
比較的滑らかな形状の内壁面を得ることができる。この
ため、圧力室１９内における、特に上流側のインク流を
受ける部分、或いは、インクノズル４１に向かってイン
ク流の進路を変化させる部分を滑らかな形状にできるの
で、インク流における淀み、気泡、或いは、キャビテー
ションが発生する等の問題を解消することができる。こ
れにより、良好なインク吐出動作及び高品位な階調表現
を得ることができる。
【００４７】従来、図８で説明したように、面と直交す
る方向の貫通穴を形成したチャンバプレート６１に供給
プレート６２を連結する場合には、積層精度を考慮して
インク流の下流側に位置する例えばインク送出路３３を
小径穴として形成した。下流側が大径であるとインク流
が直角に曲がることとなり、乱流が発生し易く、ミクロ
的には急激な圧力変動が生じてキャビテーションが発生
することがある。また、積層される各プレート６１、６
２間では、インク流が垂直に当接する段差の存在によ
り、インク流に淀みが生じることもあった。これらを最
小限に抑えるために、積層精度には±１０μｍが必要で
あった。
【００４８】しかし、本実施形態例では、圧力室１９の
内壁面を滑らかな形状にしたので、積層する薄板部品間
における連結時の寸法合わせや積層アライメント精度が
大幅に緩和された。また、本実施形態例では、上流側と
下流側とでインク供給路３２及びインク送出路３３の穴
径を特に変えず、インク送出路３３の形状によってイン
ク流の方向を積極的に傾け、積層間で傾きに合わせて穴
位置をオフセットすることができる。例えば、チャンバ
プレート１６の板圧を約１４０μｍとし、上下のマスク
パターンを約６０μｍずらした場合には、上部穴１９ａ
及び下部穴１９ｂから成る内壁面に沿って、板厚方向に
対して約２５゜傾斜したインク流れを得ることができ
る。この場合、下流側における内壁面が広がっていて
も、インク流の極端な変動を避けることができるので、
積層精度も約±２０μｍ以上とすることができる。
【００４９】以上、本発明をその好適な実施形態例に基
づいて説明したが、本発明のインクジェット記録ヘッド
及びその製造方法は、上記実施形態例の構成にのみ限定
されるものではなく、上記実施形態例の構成から種々の
修正及び変更を施したインクジェット記録ヘッド及びそ
の製造方法も、本発明の範囲に含まれる。
【００５０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法によると、インク流におけ
る淀み、気泡、或いは、キャビテーションの発生を解消
して、良好なインク吐出動作及び高品位な階調表現が得
られるものでありながらも、積層する薄板部品間におけ
る連結時の寸法合わせや積層アライメント精度を緩和す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態例におけるインクジェット
式プリンタの全体構成を示す斜視図である。
【図２】本実施形態例におけるインクジェット記録ヘッ
ドの構造を示す分解斜視図である。
【図３】図２で説明したインクジェット記録ヘッドの組
立て状態を示す断面図である。
【図４】図２及び図３で説明した振動板、チャンバプレ
ート及び供給プレートの一部を拡大した断面図である。
【図５】チャンバプレートを図３の下方から見た状態で
示す底面図である。
【図６】チャンバプレートの一部を拡大した断面図であ
り、（ａ）〜（ｄ）は組立て工程を段階的に示す。
【図７】マスクに形成されたマスクパターンを示す平面
図であり、（ａ）は第１マスクのマスクパターンを示
し、（ｂ）は第２マスクのマスクパターンを示す。
【図８】従来のインクジェット記録ヘッドにおける圧力
室及びその周辺の部分を拡大して示す断面図である。
【符号の説明】
１１、１２：マスクパターン １６：チャンバプレート １７、１８：レジスト膜 １７ａ、１７ｂ：凹部 １９：圧力室 １９ａ：上部穴 １９ｂ：下部穴 ２０：圧電素子 ２３：振動板 ３０：供給プレート ３２：インク供給路 ３３：インク送出路 ３３ａ：上部穴 ３３ｂ：下部穴 ４０：インクプール ４１：インクノズル ５５：インクジェット記録ヘッド Ａ、Ｅ1、Ｅ2：ずれ量 Ｃ1、Ｃ2、Ｃ3：中心 Ｅ1ａ、Ｅ2ａ：ずれ量 Ｍ１：第１マスク Ｍ２：第２マスク

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 プレートに備えた貫通穴と該プレートを
    挟む２枚の板とから構成される圧力室を備えるインクジ
    ェット記録ヘッドの製造方法において、 前記貫通穴を形成する工程が、 略同形状を有し前記圧力室におけるインクの流れ方向に
    長さが異なる第１及び第２レジスト膜を前記プレートの
    第１面及び第２面に夫々形成する工程と、 前記第１及び第２レジスト膜をマスクとして前記プレー
    トの第１面及び第２面をエッチングして前記第１面及び
    第２面を貫通する工程とを含むことを特徴とするインク
    ジェット記録ヘッドの製造方法。
  2. 【請求項２】 前記プレートの厚さが約１４０μｍであ
    り、前記第１レジスト膜と前記第２レジスト膜との長さ
    の差が約８０〜１４０μｍであることを特徴とする請求
    項１に記載のインクジェット記録装置の製造方法。
  3. 【請求項３】 プレートに備えた貫通穴と該プレートを
    挟む２枚の板とから構成される圧力室を備え、前記２枚
    の板の一方がインク吐出側にインクを供給するインク供
    給穴を備えるインクジェット記録ヘッドの製造方法にお
    いて、 前記インク供給穴を形成する工程が、 略円形状を有し前記圧力室におけるインクの流れ方向に
    心ずれした第１及び第２レジスト膜を前記一方の板の第
    １面及び第２面に夫々形成する工程と、 前記第１及び第２レジスト膜をマスクとして前記一方の
    板の第１面及び第２面をエッチングして前記第１面及び
    第２面を貫通する工程とを含むことを特徴とするインク
    ジェット記録ヘッドの製造方法。
  4. 【請求項４】 前記一方の板の厚さが約１４０μｍであ
    り、前記第１レジスト膜と前記第２レジスト膜との心ず
    れ量が約４０〜７０μｍであることを特徴とする請求項
    ３に記載のインクジェット記録装置の製造方法。
  5. 【請求項５】 プレートに備えた貫通穴と該プレートを
    挟む２枚の板とから構成される圧力室を備えるインクジ
    ェット記録ヘッドにおいて、 前記貫通穴は、前記プレートの第１面及び第２面がエッ
    チングされることによって形成された、略同形状を有し
    前記圧力室におけるインクの流れ方向に長さが異なる第
    １穴部及び第２穴部から構成されることを特徴とするイ
    ンクジェット記録ヘッド。
  6. 【請求項６】 プレートに備えた貫通穴と該プレートを
    挟む２枚の板とから構成される圧力室を備え、前記２枚
    の板の一方がインク吐出側にインクを供給するインク供
    給穴を備えるインクジェット記録ヘッドにおいて、 前記インク供給穴は、前記一方の板の第１面及び第２面
    がエッチングされることによって形成された、略半球状
    を有し前記圧力室におけるインクの流れ方向に心ずれし
    た第１穴部及び第２穴部から構成されることを特徴とす
    るインクジェット記録ヘッド。
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