JP2000275302A - Ｉｃ試験用プローブ及びｉｃの直流試験装置 - Google Patents
Ｉｃ試験用プローブ及びｉｃの直流試験装置Info
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- JP2000275302A JP2000275302A JP11084064A JP8406499A JP2000275302A JP 2000275302 A JP2000275302 A JP 2000275302A JP 11084064 A JP11084064 A JP 11084064A JP 8406499 A JP8406499 A JP 8406499A JP 2000275302 A JP2000275302 A JP 2000275302A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 低電力型ＩＣが出力する信号の波形を浮遊容
量に影響されることなく機能試験ユニットに送り込む。 【解決手段】 高入力インピーダンスを持つ演算増幅器
の反転入力端子とプローブの入力端子Ｐ１との間に既知
の値を持つ入力抵抗器を接続し、演算増幅器の非反転入
力端子とプローブのコモン入力端子Ｐ２との間に既知の
電圧を発生する電圧源とを接続すると共に、演算増幅器
の反転入力端子と出力端子との間に既知の値を持つ帰還
抵抗器を接続し、演算増幅器の出力側にリレー接点ＳＷ
１とＳＷ２を通じて直流試験ユニットと機能試験ユニッ
トとを選択的に接続する構成とした。
量に影響されることなく機能試験ユニットに送り込む。 【解決手段】 高入力インピーダンスを持つ演算増幅器
の反転入力端子とプローブの入力端子Ｐ１との間に既知
の値を持つ入力抵抗器を接続し、演算増幅器の非反転入
力端子とプローブのコモン入力端子Ｐ２との間に既知の
電圧を発生する電圧源とを接続すると共に、演算増幅器
の反転入力端子と出力端子との間に既知の値を持つ帰還
抵抗器を接続し、演算増幅器の出力側にリレー接点ＳＷ
１とＳＷ２を通じて直流試験ユニットと機能試験ユニッ
トとを選択的に接続する構成とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はＩＣ試験用プロー
ブとこのプローブを用いて構成したＩＣの直流試験装置
に関する。
ブとこのプローブを用いて構成したＩＣの直流試験装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４に従来のＩＣ試験装置を示す。図中
１００は被試験ＩＣ，２００はＩＣ試験装置を示す。Ｉ
Ｃ試験装置２００は大きく分けて直流試験ユニット１０
と機能試験ユニット２０とによって構成される。ここで
は被試験ＩＣ１００の端子Ｔ１が出力専用ピン、Ｔ２が
コモン端子である場合を示す。従って、機能試験ユニッ
ト２０は被試験ＩＣ１００から信号を取込み、取り込ん
だ信号が期待値と一致するか否かを判定して機能試験を
行う構成とされる。なお、２１は入力インピーダンスの
高いバッファ増幅器を示す。
１００は被試験ＩＣ，２００はＩＣ試験装置を示す。Ｉ
Ｃ試験装置２００は大きく分けて直流試験ユニット１０
と機能試験ユニット２０とによって構成される。ここで
は被試験ＩＣ１００の端子Ｔ１が出力専用ピン、Ｔ２が
コモン端子である場合を示す。従って、機能試験ユニッ
ト２０は被試験ＩＣ１００から信号を取込み、取り込ん
だ信号が期待値と一致するか否かを判定して機能試験を
行う構成とされる。なお、２１は入力インピーダンスの
高いバッファ増幅器を示す。
【０００３】機能試験を行う場合はリレー接点ＳＷ２が
オンの状態に制御されて機能試験ユニット２０が被試験
ＩＣ１００の端子Ｔ１に接続されて機能試験が実行され
る。なお、図４では機能試験ユニット２０を１端子分し
か示していないが、現実には被試験ＩＣ１００の端子の
数の機能試験ユニットが用意され、これらの各機能試験
ユニットが各端子に接続されて被試験ＩＣ１００の内部
の全ての回路が正常に動作するか否かが試験される。
オンの状態に制御されて機能試験ユニット２０が被試験
ＩＣ１００の端子Ｔ１に接続されて機能試験が実行され
る。なお、図４では機能試験ユニット２０を１端子分し
か示していないが、現実には被試験ＩＣ１００の端子の
数の機能試験ユニットが用意され、これらの各機能試験
ユニットが各端子に接続されて被試験ＩＣ１００の内部
の全ての回路が正常に動作するか否かが試験される。
【０００４】直流試験を行う場合には、リレー接点ＳＷ
２はオフに切り替えられ、代わってリレー接点ＳＷ１が
オンの状態に制御され、直流試験ユニット１０が被試験
ＩＣ１００に接続される。直流試験ユニット１０では被
試験ＩＣ１００の端子Ｔ１とＴ２の間に所定の電圧を印
加した状態で端子Ｔ１を通れる電流を測定する電圧印加
電流測定試験と、端子Ｔ１とＴ２間に所定の電流を印加
した状態で端子Ｔ１とＴ２間に発生する電圧を測定する
電流印加電圧測定試験が行われ、これらの試験によって
各端子の直流特性を測定し、正常な接続状態に作られた
か否かが検査される。
２はオフに切り替えられ、代わってリレー接点ＳＷ１が
オンの状態に制御され、直流試験ユニット１０が被試験
ＩＣ１００に接続される。直流試験ユニット１０では被
試験ＩＣ１００の端子Ｔ１とＴ２の間に所定の電圧を印
加した状態で端子Ｔ１を通れる電流を測定する電圧印加
電流測定試験と、端子Ｔ１とＴ２間に所定の電流を印加
した状態で端子Ｔ１とＴ２間に発生する電圧を測定する
電流印加電圧測定試験が行われ、これらの試験によって
各端子の直流特性を測定し、正常な接続状態に作られた
か否かが検査される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図４に示したように、
従来はリレー接点ＳＷ１とＳＷ２によって直流試験ユニ
ット１０と機能試験ユニット２０を選択的に被試験ＩＣ
１００に接続している。リレー接点ＳＷ１，ＳＷ２を回
路に接続すると、これに伴って比較的容量値が大きい浮
遊容量Ｃ１，Ｃ２及びＣ３が回路に接続され、この浮遊
容量Ｃ１〜Ｃ３の存在によって被試験ＩＣ１００から出
力される信号の波形が正しく機能試験ユニット２０に伝
達できない不都合が生じる。
従来はリレー接点ＳＷ１とＳＷ２によって直流試験ユニ
ット１０と機能試験ユニット２０を選択的に被試験ＩＣ
１００に接続している。リレー接点ＳＷ１，ＳＷ２を回
路に接続すると、これに伴って比較的容量値が大きい浮
遊容量Ｃ１，Ｃ２及びＣ３が回路に接続され、この浮遊
容量Ｃ１〜Ｃ３の存在によって被試験ＩＣ１００から出
力される信号の波形が正しく機能試験ユニット２０に伝
達できない不都合が生じる。
【０００６】つまり、最近の傾向として低消費電力化を
目的として被試験ＩＣ１００の電源電圧が低電圧化さ
れ、ノイズに対して耐性が低くなっている。そのため、
全ての信号出力端子の駆動能力を最小限に抑え、低ノイ
ズ化を図っている。つまり、低消費電力化のために駆動
電力容量も低電力化されるため、特に機能試験時にＩＣ
試験装置２００の入力端子の負荷容量（浮遊容量Ｃ１，
Ｃ２，Ｃ３）を駆動できない不都合が生じる。
目的として被試験ＩＣ１００の電源電圧が低電圧化さ
れ、ノイズに対して耐性が低くなっている。そのため、
全ての信号出力端子の駆動能力を最小限に抑え、低ノイ
ズ化を図っている。つまり、低消費電力化のために駆動
電力容量も低電力化されるため、特に機能試験時にＩＣ
試験装置２００の入力端子の負荷容量（浮遊容量Ｃ１，
Ｃ２，Ｃ３）を駆動できない不都合が生じる。
【０００７】また、従来の直流試験ユニット１０は電圧
印加電流測定モードと電流印加電圧測定モードで動作し
てＩＣの各端子の直流特性を検査する構成であるため、
構造が複雑で高価なものとなっている。この発明の目的
は、被試験ＩＣとの接続点の浮遊容量が小さいＩＣ試験
装置を構成することができるＩＣ試験用プローブと、こ
のＩＣ試験用プローブを用いて構成され、安価に提供す
ることができるＩＣの直流試験装置を提案するものであ
る。
印加電流測定モードと電流印加電圧測定モードで動作し
てＩＣの各端子の直流特性を検査する構成であるため、
構造が複雑で高価なものとなっている。この発明の目的
は、被試験ＩＣとの接続点の浮遊容量が小さいＩＣ試験
装置を構成することができるＩＣ試験用プローブと、こ
のＩＣ試験用プローブを用いて構成され、安価に提供す
ることができるＩＣの直流試験装置を提案するものであ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明では、演算増幅
器と、この演算増幅器の反転入力端子とプローブの入力
端子との間に接続される入力抵抗器と、演算増幅器の反
転入力端子と出力端子との間に接続した帰還抵抗器と、
演算増幅器の非反転入力端子に一端が接続され他端がプ
ローブのコモン入力端子に接続された電圧源とによって
ＩＣ試験用プローブを構成し、演算増幅器の出力端子を
リレー接点を通じて選択的に直流試験ユニットまたは機
能試験ユニットに接続する構成としたものである。
器と、この演算増幅器の反転入力端子とプローブの入力
端子との間に接続される入力抵抗器と、演算増幅器の反
転入力端子と出力端子との間に接続した帰還抵抗器と、
演算増幅器の非反転入力端子に一端が接続され他端がプ
ローブのコモン入力端子に接続された電圧源とによって
ＩＣ試験用プローブを構成し、演算増幅器の出力端子を
リレー接点を通じて選択的に直流試験ユニットまたは機
能試験ユニットに接続する構成としたものである。
【０００９】このＩＣ試験用プローブ構成によれば、被
試験ＩＣとの接続点にリレー接点を接続しないから被試
験ＩＣの出力側に容量値が大きい浮遊容量が接続される
ことはない。つまり、ＩＣ試験用プローブの後段にリレ
ー接点を用いて直流試験ユニットと、機能試験ユニット
を選択的に接続してＩＣ試験装置を構成し、リレー接点
に寄生する浮遊容量をＩＣ試験用プローブの出力側に接
続したから、これらの浮遊容量はＩＣ試験用プローブを
構成する演算増幅器で駆動されるため、被試験ＩＣが出
力する信号の波形を乱すことなく、機能試験ユニットに
伝達することができる。
試験ＩＣとの接続点にリレー接点を接続しないから被試
験ＩＣの出力側に容量値が大きい浮遊容量が接続される
ことはない。つまり、ＩＣ試験用プローブの後段にリレ
ー接点を用いて直流試験ユニットと、機能試験ユニット
を選択的に接続してＩＣ試験装置を構成し、リレー接点
に寄生する浮遊容量をＩＣ試験用プローブの出力側に接
続したから、これらの浮遊容量はＩＣ試験用プローブを
構成する演算増幅器で駆動されるため、被試験ＩＣが出
力する信号の波形を乱すことなく、機能試験ユニットに
伝達することができる。
【００１０】更に、この発明によるＩＣ試験用プローブ
によれば、演算増幅器に接続した入力抵抗器と帰還抵抗
器の抵抗値及び電圧源から供給する電圧を既知であるも
のとすると、演算増幅器の出力端子に発生する電圧を測
定することにより、被試験ＩＣの内部抵抗の値及び被試
験ＩＣから演算増幅器に流れる電流の値を算出すること
ができる。
によれば、演算増幅器に接続した入力抵抗器と帰還抵抗
器の抵抗値及び電圧源から供給する電圧を既知であるも
のとすると、演算増幅器の出力端子に発生する電圧を測
定することにより、被試験ＩＣの内部抵抗の値及び被試
験ＩＣから演算増幅器に流れる電流の値を算出すること
ができる。
【００１１】つまり、電圧源から被試験ＩＣの端子に所
定の電圧を印加した状態で被試験ＩＣの端子に流れる電
流を測定できるから、電圧印加電流測定試験を行うこと
もできる利点が得られる。
定の電圧を印加した状態で被試験ＩＣの端子に流れる電
流を測定できるから、電圧印加電流測定試験を行うこと
もできる利点が得られる。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１にこの発明によるＩＣ試験用
プローブと、このＩＣ試験用プローブを用いたＩＣの直
流試験装置の一実施例を示す。図１において３００はこ
の発明で提案するＩＣ試験用プローブを示す。この発明
によるＩＣ試験用プローブ３００は演算増幅器３０１
と、この演算増幅器３０１の反転入力端子とプローブ３
００の入力端子Ｐ１との間に接続される入力抵抗器３０
２と、演算増幅器３０１の反転入力端子と出力端子との
間に接続した帰還抵抗器３０３と、演算増幅器３０１の
非反転入力端子とプローブ３００のコモン入力端子Ｐ２
との間に接続した電圧源３０４とによって構成される。
プローブと、このＩＣ試験用プローブを用いたＩＣの直
流試験装置の一実施例を示す。図１において３００はこ
の発明で提案するＩＣ試験用プローブを示す。この発明
によるＩＣ試験用プローブ３００は演算増幅器３０１
と、この演算増幅器３０１の反転入力端子とプローブ３
００の入力端子Ｐ１との間に接続される入力抵抗器３０
２と、演算増幅器３０１の反転入力端子と出力端子との
間に接続した帰還抵抗器３０３と、演算増幅器３０１の
非反転入力端子とプローブ３００のコモン入力端子Ｐ２
との間に接続した電圧源３０４とによって構成される。
【００１３】ＩＣ試験用プローブ３００の出力側にリレ
ー接点ＳＷ１，ＳＷ２を接続し、ＩＣ試験用プローブ３
００の出力側に直流試験ユニット１０と機能試験ユニッ
ト２０をこれらリレー接点ＳＷ１とＳＷ２を通じて選択
的に接続してＩＣ試験装置２００を構成する。ＩＣ試験
用プローブ３００の入力側には浮遊容量Ｃ４とＣ５が発
生するが、この浮遊容量Ｃ４とＣ５は入力抵抗器３０２
とコモン電極ＣＭとの間に発生する浮遊容量であるか
ら、リレー接点ＳＷ１とＳＷ２に寄生する浮遊容量Ｃ１
〜Ｃ３と比較して容量値は小さい。しかも、演算増幅器
３０１の入力インピーダンスを高く採ることができるか
ら、被試験ＩＣ１００が低電力型であっても浮遊容量Ｃ
４，Ｃ５を充分駆動することができる。
ー接点ＳＷ１，ＳＷ２を接続し、ＩＣ試験用プローブ３
００の出力側に直流試験ユニット１０と機能試験ユニッ
ト２０をこれらリレー接点ＳＷ１とＳＷ２を通じて選択
的に接続してＩＣ試験装置２００を構成する。ＩＣ試験
用プローブ３００の入力側には浮遊容量Ｃ４とＣ５が発
生するが、この浮遊容量Ｃ４とＣ５は入力抵抗器３０２
とコモン電極ＣＭとの間に発生する浮遊容量であるか
ら、リレー接点ＳＷ１とＳＷ２に寄生する浮遊容量Ｃ１
〜Ｃ３と比較して容量値は小さい。しかも、演算増幅器
３０１の入力インピーダンスを高く採ることができるか
ら、被試験ＩＣ１００が低電力型であっても浮遊容量Ｃ
４，Ｃ５を充分駆動することができる。
【００１４】またリレー接点ＳＷ１，ＳＷ２を演算増幅
器３０１の出力側に接続したから、浮遊容量Ｃ１〜Ｃ３
の容量が比較的大きくても、これらの浮遊容量は演算増
幅器３０１で充分駆動することができる。この結果、機
能試験時に被試験ＩＣ１００から出力される信号の波形
を機能試験ユニット２０に正確に伝達することができる
利点が得られる。
器３０１の出力側に接続したから、浮遊容量Ｃ１〜Ｃ３
の容量が比較的大きくても、これらの浮遊容量は演算増
幅器３０１で充分駆動することができる。この結果、機
能試験時に被試験ＩＣ１００から出力される信号の波形
を機能試験ユニット２０に正確に伝達することができる
利点が得られる。
【００１５】更に、この発明によるＩＣ試験用プローブ
３００は、このＩＣ試験用プローブ３００自体で被試験
ＩＣ１００の端子の直流特性の試験を行うことができ
る。直流特性試験とは被試験ＩＣ１００の内部抵抗ＲO
の値、或いは被試験ＩＣ１００が出力する電流Ｉm を測
定することにある。 内部抵抗ＲO の測定 被試験ＩＣ１００の出力電圧Ｖo がＶo ＝０の場合に
は、演算増幅器３０１の入力端子間には電圧源３０４の
電圧Ｖinが印加される。入力抵抗器３０２の抵抗値をＲ
1 ，帰還抵抗器３０３の抵抗値をＲf ，演算増幅器３０
１の出力電圧をＶ OUT ，入力抵抗器Ｒ1 を流れる電流を
Ｉin，帰還抵抗器３０３を流れる電流ＩOとすると、Ｉ
in＝ＩO となるように演算増幅器３０１が動作し、入力
端子間の電位が同電位となる。従って、次式が成立す
る。
３００は、このＩＣ試験用プローブ３００自体で被試験
ＩＣ１００の端子の直流特性の試験を行うことができ
る。直流特性試験とは被試験ＩＣ１００の内部抵抗ＲO
の値、或いは被試験ＩＣ１００が出力する電流Ｉm を測
定することにある。 内部抵抗ＲO の測定 被試験ＩＣ１００の出力電圧Ｖo がＶo ＝０の場合に
は、演算増幅器３０１の入力端子間には電圧源３０４の
電圧Ｖinが印加される。入力抵抗器３０２の抵抗値をＲ
1 ，帰還抵抗器３０３の抵抗値をＲf ，演算増幅器３０
１の出力電圧をＶ OUT ，入力抵抗器Ｒ1 を流れる電流を
Ｉin，帰還抵抗器３０３を流れる電流ＩOとすると、Ｉ
in＝ＩO となるように演算増幅器３０１が動作し、入力
端子間の電位が同電位となる。従って、次式が成立す
る。
【００１６】 ＩO （ＲO ＋Ｒ1 ）＝Ｖin ………… （１） ＶOUT −Ｖin＝Ｒf ・ＩO ………… （２） （１），（２）式から内部抵抗ＲO は ＲO ＝｛Ｖin・Ｒf ／（ＶOUT −Ｖin）｝−Ｒ1 で求めることができる。電圧源３０４は一般にＤＡ変換
器等で構成することができ、その発生電圧Ｖinは既知と
することができる。また、Ｒ1 ，Ｒf も既知とすること
ができるから、従って直流試験装置１０はリレー接点Ｓ
Ｗ１を通じて演算増幅器３０１の出力電圧ＶOUT を測定
することにより、被試験ＩＣ１００の内部抵抗ＲO の値
を測定することができる。
器等で構成することができ、その発生電圧Ｖinは既知と
することができる。また、Ｒ1 ，Ｒf も既知とすること
ができるから、従って直流試験装置１０はリレー接点Ｓ
Ｗ１を通じて演算増幅器３０１の出力電圧ＶOUT を測定
することにより、被試験ＩＣ１００の内部抵抗ＲO の値
を測定することができる。
【００１７】 電流Ｉm の測定 電圧源３０４の発生電圧Ｖinが被試験ＩＣ１００の端子
Ｔ１とＴ２に印加されている状態で、被試験ＩＣ１００
を流れる電流Ｉm は入力抵抗器３０２を流れる電流Ｉm
と等価であるものと見ることができる。Ｉin＝ＩO であ
るから電流Ｉmは（１）式から Ｉm ＝ＩO ＝Ｖin／（ＲO ＋Ｒ1 ） で求めることができる。
Ｔ１とＴ２に印加されている状態で、被試験ＩＣ１００
を流れる電流Ｉm は入力抵抗器３０２を流れる電流Ｉm
と等価であるものと見ることができる。Ｉin＝ＩO であ
るから電流Ｉmは（１）式から Ｉm ＝ＩO ＝Ｖin／（ＲO ＋Ｒ1 ） で求めることができる。
【００１８】このように、この発明によるＩＣ試験用プ
ローブ３００は機能試験時に被試験ＩＣ１００が出力す
る信号の波形を正しく機能試験ユニット２０に送り届け
る機能を具備している点と、直流試験時はプローブ自体
で被試験ＩＣ１００の直流特性を測定できる機能を具備
している。この結果、直流試験ユニット１０は単に演算
増幅器３０１が出力する電圧ＶOUT を測定し、この測定
結果を用いて内部抵抗ＲO の値を演算する機能と、電圧
源３０４が発生する電圧Ｖinの値（既知の値）を取得し
て電流Ｉm を算出する機能を持てばよく、その構成を簡
素化することができる。
ローブ３００は機能試験時に被試験ＩＣ１００が出力す
る信号の波形を正しく機能試験ユニット２０に送り届け
る機能を具備している点と、直流試験時はプローブ自体
で被試験ＩＣ１００の直流特性を測定できる機能を具備
している。この結果、直流試験ユニット１０は単に演算
増幅器３０１が出力する電圧ＶOUT を測定し、この測定
結果を用いて内部抵抗ＲO の値を演算する機能と、電圧
源３０４が発生する電圧Ｖinの値（既知の値）を取得し
て電流Ｉm を算出する機能を持てばよく、その構成を簡
素化することができる。
【００１９】図２は被試験ＩＣ１００が出力する電流Ｉ
m が微小値である場合のＩＣ試験用プローブの構成例を
示す。この場合には演算増幅器３０１の反転入力端子と
出力端子との間に積分コンデンサ３０５を接続し、演算
増幅器３０１を積分器として動作させ、積分コンデンサ
３０５に積分される電圧値の変化ΔＶを測定して電流Ｉ
m を求める構成としたものである。
m が微小値である場合のＩＣ試験用プローブの構成例を
示す。この場合には演算増幅器３０１の反転入力端子と
出力端子との間に積分コンデンサ３０５を接続し、演算
増幅器３０１を積分器として動作させ、積分コンデンサ
３０５に積分される電圧値の変化ΔＶを測定して電流Ｉ
m を求める構成としたものである。
【００２０】このためには直流試験ユニット１０に予め
規定した単位時間ｔの間に演算増幅器３０１の出力電圧
ＶOUT の変化量ΔＶを取り込む手段を設け、このΔＶを
取得することにより、 Ｉm ＝ΔＶ・Ｃ／ｔ ………… （３） で電流Ｉm を求めることができる。
規定した単位時間ｔの間に演算増幅器３０１の出力電圧
ＶOUT の変化量ΔＶを取り込む手段を設け、このΔＶを
取得することにより、 Ｉm ＝ΔＶ・Ｃ／ｔ ………… （３） で電流Ｉm を求めることができる。
【００２１】この積分型のＩＣ試験用プローブを用いる
ことにより、電流Ｉm の値が微小であっても時間ｔを長
く採ることにより精度よく電流Ｉm の値を求めることが
できる利点が得られる。図３は図１と図２の実施例を組
み合わせ、微小電流の測定が可能な直流試験と機能試験
の双方を行うことができるＩＣ試験用プローブの構成を
示す。
ことにより、電流Ｉm の値が微小であっても時間ｔを長
く採ることにより精度よく電流Ｉm の値を求めることが
できる利点が得られる。図３は図１と図２の実施例を組
み合わせ、微小電流の測定が可能な直流試験と機能試験
の双方を行うことができるＩＣ試験用プローブの構成を
示す。
【００２２】このためには演算増幅器３０１の反転入力
端子と出力端子との間にスイッチ３０６と３０７を通じ
て帰還抵抗器３０３と積分コンデンサ３０５を選択的に
接続できる構成としたものである。従って、機能試験及
び被試験ＩＣ１００の内部抵抗ＲO の測定、或いは被試
験ＩＣ１００が出力する電流Ｉm の値が比較的大きい値
の場合はスイッチ３０６をオン、スイッチ３０７をオフ
の状態にして、帰還抵抗器３０３を接続した状態とし、
被試験ＩＣ１００が出力する電流Ｉm の値が微小値、例
えばリーク電流を測定する場合はスイッチ３０６をオ
フ、スイッチ３０７をオンの状態に切り替えればよい。
端子と出力端子との間にスイッチ３０６と３０７を通じ
て帰還抵抗器３０３と積分コンデンサ３０５を選択的に
接続できる構成としたものである。従って、機能試験及
び被試験ＩＣ１００の内部抵抗ＲO の測定、或いは被試
験ＩＣ１００が出力する電流Ｉm の値が比較的大きい値
の場合はスイッチ３０６をオン、スイッチ３０７をオフ
の状態にして、帰還抵抗器３０３を接続した状態とし、
被試験ＩＣ１００が出力する電流Ｉm の値が微小値、例
えばリーク電流を測定する場合はスイッチ３０６をオ
フ、スイッチ３０７をオンの状態に切り替えればよい。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明したように、この発明による
ＩＣ試験用プローブを用いることにより、被試験ＩＣ１
００が低電力型であっても、被試験ＩＣ１００が出力す
る信号の波形を正しく機能試験ユニット２０に送り込む
ことができる。この結果、低電力型のＩＣでも信頼性の
高い機能試験を行うことができる。
ＩＣ試験用プローブを用いることにより、被試験ＩＣ１
００が低電力型であっても、被試験ＩＣ１００が出力す
る信号の波形を正しく機能試験ユニット２０に送り込む
ことができる。この結果、低電力型のＩＣでも信頼性の
高い機能試験を行うことができる。
【００２４】更に、プローブ自体でＩＣの端子の直流試
験を行うことができる。この結果として直流試験ユニッ
ト１０の構成を簡素化することができる利点も得られ
る。
験を行うことができる。この結果として直流試験ユニッ
ト１０の構成を簡素化することができる利点も得られ
る。
【図１】この発明によるＩＣ試験用プローブと、これを
用いたＩＣの直流試験方法を説明するための接続図。
用いたＩＣの直流試験方法を説明するための接続図。
【図２】この発明によるＩＣ試験用プローブの他の実施
例を説明するための接続図。
例を説明するための接続図。
【図３】この発明によるＩＣ試験用プローブの更に他の
実施例を説明するための接続図。
実施例を説明するための接続図。
【図４】従来の技術を説明するための接続図。
１００ 被試験ＩＣ ２００ ＩＣ試験装置 ３００ ＩＣ試験用プローブ ３０１ 演算増幅器 ３０２ 入力抵抗器 ３０３ 帰還抵抗器 ３０４ 電圧源 ３０５ 積分コンデンサ ＳＷ１，ＳＷ２ リレー接点
Claims (3)
- 【請求項１】 演算増幅器の反転入力端子とプローブの
入力端子との間に既知の値を持つ入力抵抗器を接続し、
演算増幅器の非反転入力端子とプローブのコモン入力端
子との間に既知の電圧を発生する電圧源とを接続すると
共に、演算増幅器の反転入力端子と出力端子との間に既
知の値を持つ帰還抵抗器を接続し、演算増幅器の出力側
にリレー接点を通じて直流試験ユニットと機能試験ユニ
ットとを選択的に接続する構成としたことを特徴とする
ＩＣ試験用プローブ。 - 【請求項２】 請求項１記載のＩＣ試験用プローブの出
力側にリレー接点を通じて直流試験ユニットを接続した
状態において、上記直流試験ユニットに上記演算増幅器
の出力電圧値を測定する手段と、この出力電圧値と上記
電圧源が発生する電圧値、帰還抵抗器の抵抗値、入力抵
抗器の抵抗値とにより被試験ＩＣの内部抵抗を演算する
演算手段とを設けた構成としたことを特徴とするＩＣの
直流試験装置。 - 【請求項３】 演算増幅器の反転入力端子とプローブの
入力端子との間に既知の値を持つ入力抵抗器を接続し、
演算増幅器の非反転入力端子とプローブのコモン入力端
子との間に既知の電圧を発生する電圧源とを接続すると
共に、演算増幅器の反転入力端子と出力端子との間に既
知の容量値を持つ積分コンデンサを接続し、直流試験ユ
ニットに上記積分コンデンサに積分される積分電圧の単
位時間当たりの変化量を測定する手段と、この変化量と
上記積分コンデンサの容量値及び上記電圧源が出力する
電圧値とから被試験ＩＣを流れる電流の値を算出する演
算手段とを設けた構成としたことを特徴とするＩＣの直
流試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11084064A JP2000275302A (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | Ｉｃ試験用プローブ及びｉｃの直流試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11084064A JP2000275302A (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | Ｉｃ試験用プローブ及びｉｃの直流試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000275302A true JP2000275302A (ja) | 2000-10-06 |
Family
ID=13820076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11084064A Withdrawn JP2000275302A (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | Ｉｃ試験用プローブ及びｉｃの直流試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000275302A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002214279A (ja) * | 2001-01-17 | 2002-07-31 | Akita Kaihatsu Center Ard:Kk | デバイス評価回路 |
| WO2013054782A1 (ja) * | 2011-10-12 | 2013-04-18 | シャープ株式会社 | 抵抗測定装置、接続抵抗の測定方法 |
-
1999
- 1999-03-26 JP JP11084064A patent/JP2000275302A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002214279A (ja) * | 2001-01-17 | 2002-07-31 | Akita Kaihatsu Center Ard:Kk | デバイス評価回路 |
| WO2013054782A1 (ja) * | 2011-10-12 | 2013-04-18 | シャープ株式会社 | 抵抗測定装置、接続抵抗の測定方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060606 |