JP2000275543A

JP2000275543A - ハンディ型測定器

Info

Publication number: JP2000275543A
Application number: JP11085329A
Authority: JP
Inventors: Takashi Saishu; 隆西周; Akio Yamaguchi; 明雄山口; Ryuzo Nashimoto; 柳三梨本; Masahiko Mochizuki; 雅彦望月; Noriyoshi Araki; 宣義荒木; Yoshio Miyama; 嘉雄深山; Kenichi Horie; 健一堀江
Original assignee: Hitachi Device Engineering Co Ltd
Current assignee: Japan Display Inc
Priority date: 1999-03-29
Filing date: 1999-03-29
Publication date: 2000-10-06

Abstract

(57)【要約】【課題】手軽に持ち歩き使用ができ、かつ多人数でも測
定対象の拡大画像を観察できるハンディ型の測定装置を
提供する。【解決手段】光学顕微鏡の対物レンズ部１ｂを測定対象
（パネル１０）に近接させて保持する本体部１と、光学
顕微鏡の接眼レンズ部１ａに取り付けた撮像素子６と液
晶パネル８を備えたモニタ部２とを一体的かつ着脱可能
に固定してなり、モニタ部２の液晶パネル８の表示面に
スケールを備え、光学顕微鏡の対物レンズ部１ｂを通し
て接眼レンズ部１ａに出射される測定対象の拡大光像を
撮像素子６で撮像して液晶パネル８にスケールと共に可
視表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、微細な測定対象の
形状を拡大し、あるいは当該形状を画像処理で分析した
結果を拡大して可視表示するハンディ型測定器に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】微細な測定対象の形状等を観察する手段
として光学顕微鏡が広く用いられている。例えば、カラ
ー陰極線管等の製造工程では、その画面を構成するパネ
ルに形成したブラックマトリクスや蛍光体層のパターン
形状の評価を行うため、その形状、寸法、あるいはピッ
チなどの具体的な数値を取得する必要がある。

【０００３】カラー陰極線管のパネルは、ブラックマト
リクスを形成した後、３色の蛍光体を順次塗布する。そ
して、３色の蛍光体の上面を覆って導電薄膜（所謂、メ
タルバック）層を成膜する。

【０００４】図１４はカラー陰極線管のパネルの内面に
形成したブラックマトリクスの一例の説明図で、（ａ）
は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図を示す。ま
た、図１５は形成したブラックマトリクスの上に３色の
蛍光体を塗り分けた状態の説明図であり、（ａ）は平面
図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図を示す。

【０００５】パネルＰＮＬはガラス材からなり、その内
面に先ず黒鉛などの光吸収材と光結着材などを高分子材
料に分散した感光性スラリを塗布し、色選択電極である
シャドウマスクを露光マスクとして露光し、現像するホ
トリソグラフィ法で処理して蛍光体が塗布される部分に
マトリクスホールＢＭＨを有するブラックマトリクスＢ
Ｍを形成する。

【０００６】この例は、ドット型の蛍光面を有するカラ
ー陰極線管のパネルであり、この他にストライプ状、あ
るいは短冊状のブラックマトリクスを用いたものもある
が、基本的にはドット型と同様の工程で製作される。

【０００７】このブラックマトリクスＢＭのマトリクス
ホールＢＭＨの評価項目としては、当該マトリクスホー
ルＢＭＨの内径（マトリクスホールの大きさ）Ｄ、隣接
するマトリクスホールＢＭＨの間の間隔すなわちピッチ
Ｐ、マトリクスホールの真円度、マトリクスホールの分
布度のばらつき（グルーピング）、バリ度（マトリクス
ホールの内周縁の平滑度）などがある。

【０００８】また、パネルに蛍光体層を形成した後の測
定項目として、３電子ビームのそれぞれと各色の蛍光体
との整合性すなわちコンバーゼンス度、あるいはフォー
カス度等がある。

【０００９】図１６はパネルの内面に形成した各種パタ
ーンの形状等を観察し、測定する従来手段の説明図であ
る。また、図１７は図１６の要部拡大図である。

【００１０】内面にブラックマトリクスを形成したパネ
ル１０（図１４のＰＮＬ）の外面（表面）に本体部１に
保持した光学顕微鏡１６の対物レンズ部１ｂを当て、パ
ネル１０の背面から照明光Ｌを照射して当該パネル１０
に形成されたブラックマトリクスの光像の拡大像を接眼
レンズ部１ａで肉眼観察する。

【００１１】なお、図中、４は本体部１のスカート端縁
に設置してパネル１０との接触による傷等を回避し、ま
た滑りを防止するためのゴムあるいは軟質プラスチック
材で構成したスリーブ、５は光学顕微鏡の鏡筒である。

【００１２】図１６はパネルに形成したブラックマトリ
クス等のパターンを光学顕微鏡を介して肉眼で観察する
ものであるが、図１７に示したように、光学顕微鏡１６
の接眼レンズ部１ａにアタッチメント３でＣＣＤ等の撮
像素子を備えたカメラ１７を取り付けたものも知られて
いる。そして、このカメラ１７の出力をパソコン等のデ
ータ処理装置で画像処理し、モニタに可視表示する。

【００１３】図１８は図１７に示したカメラを用いた測
定装置の構成例を説明する模式図である。測定対象のパ
ネル１０はライトボックス１８に載置され、背面から照
明される。

【００１４】パネル１０の表面にＣＣＤ撮像素子を用い
たカメラ（以下、ＣＣＤカメラと言う）１７を取り付け
た光学顕微鏡１６をのせ、透過したブラックマトリクス
の光像を撮影する。撮影で得られる映像信号をパソコン
を好適とするデータ処理装置１９の画像処理ボード１９
ａに取込むと共に、モニタ１９ｂに表示する。

【００１５】そして、光学顕微鏡１６をパネル１０の表
面で移動しながらモニタ１９ｂ上に表示されるブラック
マトリクスの拡大光像を観察し、画像取込みスイッチ１
９ｃを操作して必要な個所の画像を静止画像として図示
しないメモリに取り込むことができる。

【００１６】取り込んだ画像について必要な画像処理を
施し、ブラックマトリクスの前記した各種の寸法や形状
等を評価する。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の肉眼に
よ測定対象を観察する前者の測定装置では作業者の熟練
で評価することになり、また拡大した光像を多人数で観
察するには適しているものとは言い難い。さらに、後者
のデータ処理装置を用いた測定装置では、装置の規模が
大きいために簡単に移動することはできず、測定装置を
持ち歩いて使用することが不可能であり、当該装置を据
えつけた場所にパネルなどの測定対象を持ち込まなけれ
ばならないために、使い勝手が良いとは言えなかった。

【００１８】本発明の目的は、上記従来技術の諸問題を
解消し、手軽に持ち歩き使用ができ、かつ多人数でも検
査対象の拡大画像を観察し、あるいはデータ処理で測定
値を取得できるハンディ型の測定器を提供することにあ
る。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、光学顕微鏡とＣＣＤカメラ等の撮像素子
および液晶パネル等のモニタを一体化して、光学顕微鏡
で拡大した測定対象の光像をモニタ画面に表示する構成
とした点に特徴を有する。

【００２０】また、本発明は、上記モニタに画像処理機
能を搭載して所要の画像処理を行わせ、その処理結果を
評価値と共にモニタ画面に表示するように構成した点に
特徴を有する。

【００２１】また、本発明は、取得した測定対象の画像
または画像処理したデータを他の情報処理装置に転送
し、さらに詳細な評価を行ったり、あるいは評価結果を
プリントアウトできるようにした点に特徴を有する。

【００２２】本発明の代表適な構成を記述すれば、下記
のとおりである。すなわち、（１）光学顕微鏡の対物レンズ部を測定対象に近接させ
て保持する本体部と、前記光学顕微鏡の接眼レンズ部に
取り付けた撮像素子と液晶パネルを備えたモニタ部とを
一体的かつ着脱可能に固定してなり、前記モニタ部の液
晶パネルの表示面にスケールを備え、前記光学顕微鏡の
対物レンズ部を通して前記接眼レンズ部に出射される測
定対象の拡大光像を前記撮像素子で撮像して前記液晶パ
ネルに前記スケールと共に可視表示するように構成し
た。

【００２３】このように構成したことにより、手軽に持
ち歩き使用ができ、かつ多人数でも検査対象の拡大画像
を観察できるハンディな測定器を提供できる。

【００２４】（２）光学顕微鏡の対物レンズ部を測定対
象に近接させて保持する本体部と、前記光学顕微鏡の接
眼レンズ部に取り付けた撮像素子と液晶パネルを備えた
モニタ部とを一体的かつ着脱可能に固定してなり、前記
モニタ部に画像処理ユニットと画像メモリを内蔵し、前
記光学顕微鏡の対物レンズ部を通して前記接眼レンズ部
に出射される測定対象の拡大光像を前記撮像素子で撮像
して前記画像処理ユニットで処理し、前記測定対象の分
析形状と寸法値を前記液晶パネルに可視表示すると共に
前記画像メモリに格納可能できるようにした。

【００２５】この構成により、熟練によることなく測定
対象の評価が可能となり、処理結果をプリントアウトし
て文書化することも可能である。

【００２６】（３）（１）または（２）における前記鏡
筒の他端内部に前記一端に設置した対物レンズ部を通し
て測定対象に光を照射することにより、測定対象の測定
位置を明示するインジケータ用ライトを備えた。

【００２７】この構成としたことにより、測定対象の測
定位置の検知が容易となると共に、当該測定対象の輝度
やコントラストを大きくして正確な測定を行うことがで
きる。

【００２８】（４）（１）〜（３）における前記鏡筒の
一端の周囲に測定対象からの反射光を対物レンズ部を介
してＣＣＤ撮像素子で撮像し、これをモニタの画面に表
示することにより焦点調節を行うためのリング状ライト
を備えた。

【００２９】なお、このリング状ライトの測定対象から
の反射光を画像処理することで自動合焦動作を行わせる
こともできる。この場合は、鏡筒の軸方向移動のための
動力機構とその制御機構を備えればよい。さらに、この
リング状ライトに換えて点状のライトを用いてもよい。

【００３０】（５）（１）〜（４）において、前記画像
メモリに格納したデータを外部に取り出すための出力ポ
ートを備えた。

【００３１】これにより、別のデータ処理装置で画像処
理することで、必要に応じてさらに高度、かつ多種類の
画像処理を実行でき、また必要に応じてプリントアウト
することができる。

【００３２】なお、本発明は、上記の構成および後述す
る実施例に限定されるものではなく、本発明の技術思想
を逸脱することなく、種々の変更が可能であることは言
うまでもない。

【００３３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、実施例の図面を参照して詳細に説明する。

【００３４】図１は本発明によるハンディ型測定器の第
１実施例の基本構成を説明する斜視図である。本実施例
は、前記図１８で説明したようなライトボックスで背面
から照明されるパネル１０の表面に光学顕微鏡を収容し
た本体部１にアタッチメント３で着脱可能に固定したモ
ニタ部２をもつ測定器である。

【００３５】図２は図１の機能構成の一例を説明するブ
ロック図である。図１と同一符号は同一機能部分に対応
し、９は外部出力端子（出力ポート）である。

【００３６】図１に示したように、この測定器の本体部
１を構成する光学顕微鏡部分に収容された鏡筒５が焦点
合わせハンドル２７でパネル１０の表面に対して進退し
て焦点調節が行われ、光学系で拡大された光像が接眼部
１ａに接続してあるモニタ部２に内蔵したＣＣＤ撮像素
子６で撮像される。なお、本体部１のスカート部先端に
は軟質のスリーブ４が取り付けてあり、本体部１との直
接接触を回避してパネル表面への傷などの発生と滑りを
防止している。

【００３７】撮像された画像信号は、そのままモニタ部
２を構成する液晶パネル８に可視表示され、作業者の評
価に供される。

【００３８】モニタ部２にはビデオメモリ７等のメモリ
を内蔵してもよく、ＣＣＤ撮像素子６で取り込まれた画
像データがこのビデオメモリ７に格納可能とすることに
より、この測定器をパネル１０から取り去って、他の場
所で評価を行うことが可能となる。

【００３９】図３は本実施例のモニタ部の表示例を説明
する模式図である。すなわち、液晶パネル８の画面には
ＣＣＤ撮像素子で撮像された光学顕微鏡の光像に応じた
測定対象の拡大光像が表示される。この実施例は、パネ
ルのブラックマトリクスを構成するマトリクスホール１
４（図１４におけるＢＭＨ）の検査を行う場合を示す。

【００４０】拡大されたマトリクスホール１４は、画面
に直接描画されたスケール１３と共に表示され、マトリ
クスホール１４の形状、大きさ、真円度、グルーピン
グ、バリ度などが評価される。また、蛍光体を塗布した
完成管のパネルの検査では、完成管を動作状態とし、そ
のパネルに図１に示した測定器を押し当ててコンバーゼ
ンスやフォーカスの評価を行う。なお、上記スケール１
３は電子的に発生して表示するようにすることもでき
る。

【００４１】図４は本発明によるハンディ型測定器の第
２実施例の機能構成の説明図である。この実施例では、
前記図２の構成に加えて画像処理ユニット１１がモニタ
部２に内蔵されている。この画像処理ユニット１１はＣ
ＣＤ撮像素子６で取り込まれた拡大画像は第１実施例と
同様にモニタ部の液晶パネル８にそのまま表示できると
共に、各種の画像処理を施した後のデジタル画像（ＣＧ
画像）を表示する。図５は本発明の第２実施例における
モニタ部を構成する液晶パネルに表示される画像例の説
明図である。

【００４２】図５に示したように、このとき、処理して
得た特定のマトリクスホール１４（図中、斜線で示す）
の形状、大きさ、真円度、グルーピング、バリ度などの
評価項目の評価値１５を同時に表示する。なお、この評
価値の表示は１つずつ表示しても、あるいは列挙表示す
るようにしてもよい。

【００４３】図６は評価例としてもマトリクスホールの
各種評価項目のうちのバリ度の説明図である。同図
（ａ）〜（ｄ）はマトリクスホールのバリ度（％）を示
し、（ａ）は理想適なマトリクスホールでバリ度が
「０」である。（ｂ）はバリ度が「１０．４２」、
（ｃ）はバリ度が「１５．１９」、（ｄ）はバリ度が
「２４．８４」である。

【００４４】バリ度の値の算出は、次の評価式で行われ
る。すなわち、バリ評価式：｛（１−４π・ｒ²π／（２ｒπ）²｝×
１００（％）なお、上式で、ｒはマトリクスホールの径（μｍ）、π
は円周率である。

【００４５】また、マトリクスホールが楕円の場合は、
バリが無くても多少の値がでる。図７はマトリクスホー
ルが楕円形となっている場合のバリ度の説明図である。
この楕円形の場合のバリ度は１．４３となるが、この程
度であれば問題がないと評価される。しかし、さらに楕
円の度合いが大きくなった場合は、アファイン変換で円
形に変換してから上記の式で処理すればよい。

【００４６】他の評価項目につては、画像処理ユニット
内のメモリ内のテーブルに基準パターンを格納してお
き、この基準パターンの比較で評価した結果を表示する
ようにすればよい。

【００４７】次に、本発明によるハンディ型測定器の具
体例について製品化を念頭にした図面を参照して詳細に
説明する。

【００４８】図８は本発明によるハンディ型測定器の一
具体例を説明する正面図、図９は図８に示したハンディ
型測定器の一具体例の側面図、図１０は光学系を説明す
る要部を断面して示す側面図、図１１は図８のＡ−Ａ線
に沿って切断して対物レンズ部方向をみた要部断面図、
図１２はモニタ部を構成する液晶パネル側からみた上面
図である。

【００４９】このハンディ型測定器は、本体部２０の内
部に収納した光学顕微鏡を構成する鏡筒２６の一端に対
物レンズ部２２が取り付けられている。鏡筒２６は本体
部２０と一体化した鏡筒案内部３０の内部を焦点合わせ
ハンドル２７の回転で駆動されるラックピニオン機構２
８でスライドして焦点調節がなされる。

【００５０】焦点合わせハンドル２７は粗調整ハンドル
２７ａと微調整ハンドル２７ｂからなり、粗調整ハンド
ル２７ａで大まかな焦点合わせをした後、微調整ハンド
ル２７ｂで精密な焦点合わせを行うように構成されてい
る。

【００５１】光学顕微鏡を構成する鏡筒２６の他端の接
眼部にはＣＣＤ撮像素子と液晶パネル３３、および画像
処理ユニット３２を備えたモニタ部３２がねじ込み機構
等、既知のアタッチメント３１で一体的かつ着脱可能に
固定してある。なお、接眼レンズ部のレンズはＣＣＤ撮
像素子側に設置されているので、図示していない。しか
し、接眼レンズ部側にレンズを備え、このレンズをＣＣ
Ｄ撮像素子の画像取込みレンズとしてもよい。

【００５２】また、本体部２０の下端にはリング状のウ
レタンゴム製の接触部２１が取り付けてあり、パネルな
どの測定対象に傷などを与えないためと滑り止めの効果
を持たせている。

【００５３】モニタ部３２は、上記のＣＣＤ撮像素子の
他に画像処理ユニット、およびこれらの要素や液晶パネ
ル３３のエネルギー源としてのバッテリが内蔵される。
なお、このバッテリを内蔵しないで、外部電源を用いる
こともできる。

【００５４】鏡筒２６の対物レンズ部の下方かつ周囲に
は、測定対象に対して光を照射するリングライト２３が
取り付けてある。このリングライト２３は光学顕微鏡の
光軸の周りに配列した複数のＬＥＤ２３ａを有し、ラン
プコード２３ｂから給電される。ＬＥＤ２３ａは光軸に
対して測定対象側に傾斜して設置されており、測定位置
に光を出射して照明する。

【００５５】また、鏡筒２６の他端の内部、すなわち接
眼レンズ部の内部にはポイントインジケータ２９が取り
付けてある。このポイントインジケータ２９はＬＥＤ２
９ａをリング状に配列してなり、しかし、上記のポイン
トインジケータ２９はリング状のＬＥＤ配列に限るもの
ではなく、１つまたは２つ等、非リング状に設置したＬ
ＥＤを用いることもできる。なお、符号２９はＬＥＤ２
９ａに給電するランプコードである。

【００５６】この液晶パネル３３上にリング状の反射光
パターンを観察しながら焦点合わせハンドル２７を操作
して焦点合わせを行う。また、このポイントインジケー
タ２９を操作する作業者に測定位置を知らせるためにも
使用される。

【００５７】本体部２０の側面には、画像の取込み開始
するための画像取込みスイッチ２４とポイントインジケ
ータ２９の点灯状態をオン／オフ操作するインジケータ
スイッチ２５が設置されている。

【００５８】例えば、パネルに形成されたブラックマト
リクスのマトリクスホールの測定をする場合、ライトボ
ックスに乗せたパネルの表面にこの測定器の本体部２０
の接触部２１を接触させて載置する。リングライト２３
を点灯してパネルの表面を照明し、インジケータスイッ
チ２５をオンとしてポイントインジケータ２９のＬＥＤ
２９ａを発光させ、リング状の光をインジケータ光とし
てパネルの表面に照射し、測定すべき位置の設定の指標
とする。

【００５９】そして、ポイントインジケータ光の反射光
をＣＣＤ撮像素子を介して取込み、モニタ部３２の液晶
パネル３３に表示する。測定位置が決まったなら。この
表示を見ながら焦点合わせハンドル２７を操作して総点
合わせを行う。

【００６０】合焦が得られたら、インジケータスイッチ
２５をオフとし、画像取込みスイッチ２４をオンとして
画像の取込みを行う。取り込んだ画像は画像処理ユニッ
トで処理し、所要の画像処理を実行しての結果を液晶パ
ネル３３に表示する。上記のインジケータスイッチ２５
のオフと画像取込みスイッチ２４のオン（および、その
逆）は連動するように構成してもよい。

【００６１】なお、ＣＣＤ撮像素子で取り込んだ画像を
そのまま液晶パネル３３上に表示し、表示された画像を
観察しながら作業者が必要な測定を行うようにすること
もできる。

【００６２】また、前記したように、取り込んだ画像あ
るいは画像処理した画像データをメモリに格納し、これ
を他の情報処理装置に転送してさらに詳細な測定を行っ
たり、プリンタで印刷して文書としてファイルすること
も可能である。

【００６３】さて、以上の測定はカラー陰極線管のパネ
ル等の平面的な形状をもつ対象を測定するものである
が、本発明によるハンディ測定器は、これ以外の微細形
状の測定にも適用できる。

【００６４】例えば、表面に凹凸のある測定対象の場合
は、測定対象に斜め上方から光を照射するリングライト
２３に換えて当該測定対象に対して平行な方向から照明
する水平対向リングライトを用いることで最適な測定が
可能となる。

【００６５】図１３は本発明のハンディ型測定器のオプ
ション部品である水平対向リングライトの説明図であ
り、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線に沿っ
た断面図、（ｃ）は（ｂ）のＣ部分の拡大図を示す。

【００６６】この水平対向リングライト３４はリング状
の上リング部材３４ａと下リング部材３４ｂ、および両
リング部材の間の円周に配置した複数のＬＥＤ３５とか
ら構成される。

【００６７】ＬＥＤ３５はその光出射方向が両リング部
材の中心方向に指向する互いに対向した方向になるよう
に設置される。したがって、この出射光は測定対象の凹
凸を側面から照明し、その陰影を強調して観察を容易に
する効果がある。

【００６８】この水平対向リングライト３４を図８〜図
１０に示したリングライト２３に換えて鏡筒２６の対物
レンズ部２２の下端に設置して表面に凹凸のある測定対
象の測定を行うことにより、容易かつ確実な測定を行う
ことができる。

【００６９】以上の実施例は、あくまで一例に過ぎず、
測定器の外観や構成要素の配置形態には種々の変形が可
能である。例えば、光学顕微鏡として、鏡筒を用いるこ
となく、固定焦点光学系、あるいは所謂パンフォーカス
の光学系を用いれば焦点調節機構が不要なり、さらに軽
量、ハンディな測定器を構成できる。

【００７０】また、コンバーゼンスやビームフォーカス
状態の観察用では、ＣＣＤ撮像素子をカラー対応とし、
かつ液晶パネルもカラーパネルを用いれば、形状のみな
らず、色相の状態でコンバーゼンスやフォーカスを容易
に測定できる。なお、このカラー化は前記したマトリク
スホールの測定にも適用可能であることは言うまでもな
い。

【００７１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
液晶パネルに表示された画像をモニタしながら測定対象
の拡大像を合焦させ、画像取込みスイッチを押すだけで
マトリクスホールの形状、ピッチ、グルーピング、バリ
度などを測定できる。

【００７２】また、測定した画像をメモリに格納するこ
とにより、測定器を測定対象から取外して他の場所での
観察も可能で、このメモリに格納した画像のデータを他
の情報処理装置に転送し、さらに詳細な測定を行った
り、データベースを作成してその後の管理に応用でき
る。

【００７３】このように、本発明のハンディ型測定器に
よれば、測定対象のある場所に持ち歩きして測定作業を
行うことができ、また測定結果を多人数で同時に評価す
ることもできるため、作業能率の向上を図り、合理的な
評価を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるハンディ型測定器の第１実施例の
基本構成を説明する斜視図である。

【図２】図１の機能構成の一例を説明するブロック図で
ある。

【図３】本発明の第１実施例のモニタ部の表示例を説明
する模式図である。

【図４】本発明によるハンディ型測定器の第２実施例の
機能構成の説明図である。

【図５】本発明の第２実施例におけるモニタ部を構成す
る液晶パネルに表示される画像例の説明図である。

【図６】評価例としてもマトリクスホールの各種評価項
目のうちのバリ度の説明図である。

【図７】マトリクスホールが楕円径となっている場合の
バリ度の説明図である。

【図８】本発明によるハンディ型測定器の一具体例を説
明する正面図である。

【図９】本発明によるハンディ型測定器の一具体例を説
明する側面図である。

【図１０】本発明によるハンディ型測定器の一具体例の
光学系を説明する要部を断面して示す側面図である。

【図１１】図８のＡ−Ａ線に沿って切断して対物レンズ
部方向をみた要部断面図である。

【図１２】本発明によるハンディ型測定器の一具体例の
モニタ部を構成する液晶パネル側からみた上面図であ
る。

【図１３】本発明のハンディ型測定器のオプション部品
である水平対向リングライトの説明図である。

【図１４】カラー陰極線管のパネルの内面に形成したブ
ラックマトリクスの一例の説明図である。

【図１５】パネルに形成したブラックマトリクスの上に
３色の蛍光体を塗り分けた状態の説明図である。

【図１６】パネルの内面に形成した各種パターンの形状
等を観察し、測定する従来手段の説明図である。

【図１７】図１６の要部拡大図である。

【図１８】図１７に示したカメラを用いた測定装置の構
成例を説明する模式図である。

【符号の説明】

図１〜図７１本体部１ａ接眼レンズ部１ｂ対物レンズ部２モニタ部３アタッチメント４スリーブ（接触部）５鏡筒６ＣＣＤ撮像素子７ビデオメモリ８液晶パネル９ビデオ出力端子１０パネル１１画像処理ユニット１２ポート１３スケール１４マトリクスホール（ＢＭホール）１５測定値表示１６顕微鏡１７ＣＣＤカメラ１８ライトボックス１９データ処理装置１９ａ画像処理ボード１９ｂモニタ１９ｃ画像取込みスイッチ図８〜図１８２０本体部２０ａスカート部２１接触部２２対物レンズ部２３リングライト２４画像取込みスイッチ２５インジケータスイッチ２６鏡筒２７焦点合わせハンドル２７ａ粗調整ハンドル２７ｂ微調整ハンドル２８ラックピニオン２９ポイントインジケータライト３０鏡筒案内部３１アタッチメント３２モニタ部３３液晶パネル部。

フロントページの続き (72)発明者梨本柳三千葉県茂原市早野3681番地日立デバイスエンジニアリング株式会社内 (72)発明者望月雅彦千葉県茂原市早野3681番地日立デバイスエンジニアリング株式会社内 (72)発明者荒木宣義千葉県茂原市早野3681番地日立デバイスエンジニアリング株式会社内 (72)発明者深山嘉雄千葉県茂原市早野3681番地日立デバイスエンジニアリング株式会社内 (72)発明者堀江健一千葉県茂原市早野3681番地日立デバイスエンジニアリング株式会社内Ｆターム(参考） 2F064 MM04 MM05 MM19 MM31 MM45 2F065 AA00 AA21 AA48 AA49 AA61 BB02 BB05 CC25 EE05 FF04 FF26 FF42 FF61 GG07 GG15 GG17 HH12 HH13 HH14 HH15 JJ03 JJ09 JJ26 LL05 LL50 PP02 PP24 QQ00 QQ03 QQ24 SS02 SS03 SS06 SS13 2H052 AA14 AB21 AC04 AC05 AC30 AD04 AD06 AF14 AF21

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光学顕微鏡の鏡筒の一端に設置した対物レ
ンズ部を測定対象に近接させて保持する本体部と、前記
光学顕微鏡の前記鏡筒の他端に設置した接眼レンズ部に
取り付けた撮像素子と液晶パネルを備えたモニタ部とを
一体的かつ着脱可能に固定してなり、前記モニタ部の液晶パネルの表示面にスケールを備え、
前記光学顕微鏡の対物レンズ部を通して前記接眼レンズ
部に出射される観察対象の拡大光像を前記撮像素子で撮
像して前記液晶パネルに前記スケールと共に可視表示す
ることを特徴とするハンディ型測定器。
【請求項２】光学顕微鏡の鏡筒の一端に設置した対物レ
ンズ部を測定対象に近接させて保持する本体部と、前記
光学顕微鏡の前記鏡筒の他端に設置した接眼レンズ部に
取り付けた撮像素子と液晶パネルを備えたモニタ部とを
一体的かつ着脱可能に固定してなり、前記モニタ部に画像処理ユニットと画像メモリを内蔵
し、前記光学顕微鏡の対物レンズ部を通して前記接眼レ
ンズ部に出射される測定対象の拡大光像を前記撮像素子
で撮像して前記画像処理ユニットで処理し、前記測定対
象の分析形状と寸法値を前記液晶パネルに可視表示する
と共に前記画像メモリに格納可能としたことを特徴とす
るハンディ型測定器。
【請求項３】前記鏡筒の他端内部に前記一端に設置した
対物レンズ部を通して測定対象に光を照射することによ
り測定対象の測定位置を明示するインジケータ用ライト
を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のハ
ンディ型測定器。
【請求項４】前記鏡筒の一端の周囲に、測定対象からの
反射光を対物レンズ部を介して撮像素子で撮像し、これ
を前記モニタを構成する液晶パネルの画面に表示するこ
とにより焦点調節を行うためのリング状ライトを備えた
ことを特徴とする請求項１〜３に記載のハンディ型測定
器。
【請求項５】前記画像メモリに格納したデータを外部に
取り出すための出力ポートを備えたことを特徴とする請
求項１〜４に記載のハンディ型測定器。