JP2000277251A - 電磁波利用加熱装置の導波装置及び該導波装置を利用したプラズマバーナ発生装置 - Google Patents
電磁波利用加熱装置の導波装置及び該導波装置を利用したプラズマバーナ発生装置Info
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
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- H—ELECTRICITY
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- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/64—Heating using microwaves
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電磁波を利用した加熱装置の容器内に、電磁
波発生装置からの電磁波を均一に放射すること及びそれ
を利用して強力なプラズマバーナを発生すること。 【解決手段】 電磁波発生源からの電磁波を加熱容器内
に伝播するための導波装置において、電磁波を発生する
電磁波発生装置１と、該電磁波発生装置１からの電磁波
を伝播するための、先端部分が斜めに切断され回転可能
に構成された筒状導波管１３と、該筒状導波管１３から
の電磁波を照射する被加熱物を収容するためのキャビネ
ット２を具備することを特徴とする構成、及び該導波装
置において発生した電磁波を、単一の電極２５とその電
極２５の先端部分を包囲するセラミック筒２７とからな
るプラズマバーナ発生手段を利用して強力なプラズマバ
ーナ火炎３０を発生する構成。
波発生装置からの電磁波を均一に放射すること及びそれ
を利用して強力なプラズマバーナを発生すること。 【解決手段】 電磁波発生源からの電磁波を加熱容器内
に伝播するための導波装置において、電磁波を発生する
電磁波発生装置１と、該電磁波発生装置１からの電磁波
を伝播するための、先端部分が斜めに切断され回転可能
に構成された筒状導波管１３と、該筒状導波管１３から
の電磁波を照射する被加熱物を収容するためのキャビネ
ット２を具備することを特徴とする構成、及び該導波装
置において発生した電磁波を、単一の電極２５とその電
極２５の先端部分を包囲するセラミック筒２７とからな
るプラズマバーナ発生手段を利用して強力なプラズマバ
ーナ火炎３０を発生する構成。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電磁波を利用した
加熱装置の容器内部に、電磁波発生源から容器内部まで
電磁波を伝播するための導波装置に関し、特に電磁波の
容器内部における均一な伝播を可能とした導波装置、そ
れを利用した加熱装置及び強力なプラズマバーナを発生
する装置に関する。
加熱装置の容器内部に、電磁波発生源から容器内部まで
電磁波を伝播するための導波装置に関し、特に電磁波の
容器内部における均一な伝播を可能とした導波装置、そ
れを利用した加熱装置及び強力なプラズマバーナを発生
する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の電磁波伝播導波装置を備
えた加熱装置には、図１８の（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）
示すようなものが知られている。 即ち、いずれの加熱
装置もマグネトロン１からの電磁波をキャビネット２の
上部から導波管３を介して導入する方式であって、
（ａ）は導波管から（図示しない）加熱装置の容器内に
置かれた被加熱物に直接照射し、（ｂ）は、被加熱物を
回転するターンテーブル４上に搭載することによってよ
り均一に加熱する方式、また（ｃ）は導波管３からの電
磁波を金属製回転羽根５に当てることによって、より均
一な照射を行わんとする方式である。これら、従来方式
においてどの程度の均一照射が達成されているかを検証
するために、次に述べる実験を試みた。即ち、キャビネ
ット底面部またはターンテーブル上に図示のように配置
された複数個（図では５個）の小容器Ｓ１−Ｓ５のそれ
ぞれに同量の水を入れ、入力１００Ｖ、出力５００Ｗの
電磁波を約３分間照射する加熱を行った後に、各容器内
の水の温度測定を行ったところ、各図に併記した表のよ
うな温度を示した。図７はそれらの温度をグラフに示し
たものである。そのグラフから明らかなように、周辺部
に配置した小容器に較べて中央部に配置した小容器にお
いて不充分な加熱となり、図１４（ｂ）のターンテーブ
ル方式においても電磁波放射の均一性において不充分な
結果となった。
えた加熱装置には、図１８の（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）
示すようなものが知られている。 即ち、いずれの加熱
装置もマグネトロン１からの電磁波をキャビネット２の
上部から導波管３を介して導入する方式であって、
（ａ）は導波管から（図示しない）加熱装置の容器内に
置かれた被加熱物に直接照射し、（ｂ）は、被加熱物を
回転するターンテーブル４上に搭載することによってよ
り均一に加熱する方式、また（ｃ）は導波管３からの電
磁波を金属製回転羽根５に当てることによって、より均
一な照射を行わんとする方式である。これら、従来方式
においてどの程度の均一照射が達成されているかを検証
するために、次に述べる実験を試みた。即ち、キャビネ
ット底面部またはターンテーブル上に図示のように配置
された複数個（図では５個）の小容器Ｓ１−Ｓ５のそれ
ぞれに同量の水を入れ、入力１００Ｖ、出力５００Ｗの
電磁波を約３分間照射する加熱を行った後に、各容器内
の水の温度測定を行ったところ、各図に併記した表のよ
うな温度を示した。図７はそれらの温度をグラフに示し
たものである。そのグラフから明らかなように、周辺部
に配置した小容器に較べて中央部に配置した小容器にお
いて不充分な加熱となり、図１４（ｂ）のターンテーブ
ル方式においても電磁波放射の均一性において不充分な
結果となった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、従
来の電磁波利用加熱装置では十分に均一な電磁波放射に
よる均一な加熱が得られないという不都合があった。本
発明は上記従来技術の問題点を解決するようにした電磁
波利用の加熱装置を提供することを目的とし、さらに次
のような顕著な効果を発揮する加熱装置用導波装置及び
その導波装置を利用した融着接合加熱装置並びに強力な
プラズマバーナ発生装置の提供を目的とする。 （１）キャビネット内への電磁波の均一放射が可能とな
る。 （２）導波管の断面形状を従来の矩形形状に限らず、円
形、多角形等に設定可能である。 （３）導波管の断面面積を従来のものより格段に小さく
設定することを可能としたので、電磁波加熱装置の小型
化に有効である。 （４）被加熱物がキャビネット内に収容され得ないよう
に長尺物であっても加熱及び融着接合が可能である。 （５）トッグルカプラーを採用することによって、所望
のキャビネットに所望の導波装置を装着可能となる。 （６）単一の電極とその先端部分を包囲するセラミック
筒とによって、強力なプラズマバーナ火炎が発生する。
来の電磁波利用加熱装置では十分に均一な電磁波放射に
よる均一な加熱が得られないという不都合があった。本
発明は上記従来技術の問題点を解決するようにした電磁
波利用の加熱装置を提供することを目的とし、さらに次
のような顕著な効果を発揮する加熱装置用導波装置及び
その導波装置を利用した融着接合加熱装置並びに強力な
プラズマバーナ発生装置の提供を目的とする。 （１）キャビネット内への電磁波の均一放射が可能とな
る。 （２）導波管の断面形状を従来の矩形形状に限らず、円
形、多角形等に設定可能である。 （３）導波管の断面面積を従来のものより格段に小さく
設定することを可能としたので、電磁波加熱装置の小型
化に有効である。 （４）被加熱物がキャビネット内に収容され得ないよう
に長尺物であっても加熱及び融着接合が可能である。 （５）トッグルカプラーを採用することによって、所望
のキャビネットに所望の導波装置を装着可能となる。 （６）単一の電極とその先端部分を包囲するセラミック
筒とによって、強力なプラズマバーナ火炎が発生する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような従
来技術の問題点を解決するために、先端部を斜めに切断
した導波管を緩やかに回転させることで、電磁波の均一
な放射を可能としたものである。回転する導波管を支持
するために、裁頭円錐体を利用して加熱装置の側面に取
りつけることが有効である。更に、その円錐体の内面に
電磁波を拡散反射するために、小型の金属製回転羽根を
設け、該回転羽根による電磁波の反射によってより均一
な電磁波拡散が得られる。また、この電磁装置を利用し
て、単一の電極とそれを包囲するセラミック筒とによっ
て電磁波を吸収することにより強力なプラズマバーナ火
炎を発生せしめることが可能となる。
来技術の問題点を解決するために、先端部を斜めに切断
した導波管を緩やかに回転させることで、電磁波の均一
な放射を可能としたものである。回転する導波管を支持
するために、裁頭円錐体を利用して加熱装置の側面に取
りつけることが有効である。更に、その円錐体の内面に
電磁波を拡散反射するために、小型の金属製回転羽根を
設け、該回転羽根による電磁波の反射によってより均一
な電磁波拡散が得られる。また、この電磁装置を利用し
て、単一の電極とそれを包囲するセラミック筒とによっ
て電磁波を吸収することにより強力なプラズマバーナ火
炎を発生せしめることが可能となる。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の各実施形態につき
図面を参照して詳細に説明する。前述した従来例におい
て示した部材と同一若しくは同等の部材には同一の参照
符号を付してその詳しい説明を省略する。図１は、本発
明の一実施形態を示す斜視図で、キャビネット２の１側
面にはマグネトロン発振機１で発生した例えば２４５０
ＭＨｚの電磁波（マイクロ波）をキヤビネット２の内部
に均一に放射するための導波装置Ｄ１が取りつけられて
いる。導波装置Ｄ１の詳細な構成は図２に示すように、
マグネトロン１が導波管に直結された直進式で、電磁波
を放射する金属製の同軸アンテナ６が金属製円筒導波管
１３のほぼ中央に支持体７によって支持されている。
図面を参照して詳細に説明する。前述した従来例におい
て示した部材と同一若しくは同等の部材には同一の参照
符号を付してその詳しい説明を省略する。図１は、本発
明の一実施形態を示す斜視図で、キャビネット２の１側
面にはマグネトロン発振機１で発生した例えば２４５０
ＭＨｚの電磁波（マイクロ波）をキヤビネット２の内部
に均一に放射するための導波装置Ｄ１が取りつけられて
いる。導波装置Ｄ１の詳細な構成は図２に示すように、
マグネトロン１が導波管に直結された直進式で、電磁波
を放射する金属製の同軸アンテナ６が金属製円筒導波管
１３のほぼ中央に支持体７によって支持されている。
【０００６】この支持体７は電磁波の伝播を阻害しない
ように電磁波を吸収しない例えばテフロン、ナイロンま
たはジュラコン等で構成されている。その先端部が例え
ば５°から４５°の傾斜角で切断されている導波管１３
は、ハウジング８に設けられたボールベアリング９を介
して回転自在に支持され、駆動用モータ１０によって駆
動用ギヤー１１を介して例えば毎分１５回転程度連続回
転する。このように斜め切断された円筒形導波管の回転
によってマグネトロン発振機１からのマイクロ波がキャ
ビネット内に均一に伝播され得る。導波管１３の先端部
は金属製裁頭円錐体１２の内部に位置するように配置さ
れる。この円錐体１２の開口部はキャビネット２の側面
に対して、取付け傾斜角を付けずに固定される。円筒導
波管は、その断面形状が円形に限らず、矩形、多角形、
三角形であっても良い。
ように電磁波を吸収しない例えばテフロン、ナイロンま
たはジュラコン等で構成されている。その先端部が例え
ば５°から４５°の傾斜角で切断されている導波管１３
は、ハウジング８に設けられたボールベアリング９を介
して回転自在に支持され、駆動用モータ１０によって駆
動用ギヤー１１を介して例えば毎分１５回転程度連続回
転する。このように斜め切断された円筒形導波管の回転
によってマグネトロン発振機１からのマイクロ波がキャ
ビネット内に均一に伝播され得る。導波管１３の先端部
は金属製裁頭円錐体１２の内部に位置するように配置さ
れる。この円錐体１２の開口部はキャビネット２の側面
に対して、取付け傾斜角を付けずに固定される。円筒導
波管は、その断面形状が円形に限らず、矩形、多角形、
三角形であっても良い。
【０００７】図３は、マグネトロン１と導波管１３との
結合形式がＴ字型となっているＴ型式導波装置Ｄ２の場
合を示し、マグネトロン発振機１の発振軸１Ａが導波管
１３の軸１３Ａと直交している。因みに、図１の直進式
導波装置の場合には両軸が１直線上に一致している。
尚、図１の直進式導波装置Ｄ１を、Ｔ型式の結合形式に
しても導波装置として全く同様の均一効果が達成され得
る。
結合形式がＴ字型となっているＴ型式導波装置Ｄ２の場
合を示し、マグネトロン発振機１の発振軸１Ａが導波管
１３の軸１３Ａと直交している。因みに、図１の直進式
導波装置の場合には両軸が１直線上に一致している。
尚、図１の直進式導波装置Ｄ１を、Ｔ型式の結合形式に
しても導波装置として全く同様の均一効果が達成され得
る。
【０００８】図４に示す実施形態は、円筒形導波管１３
の先端に裁頭円錐体１２を設け、その円筒体の２箇所に
設けた小型モータ１４Ａ，１４Ｂで回転する金属製小型
反射羽根車１５Ａ，１５を備えたＴ型式導波装置Ｄ３を
示す。連続回転する金属製羽根車によって、電磁波がよ
り均一に反射され、キヤビネット内への均一な電磁波放
射が達成され得る。羽根車は、例えば直径約３０−７０
センチ、回転数毎分約１５−５０程度で良好な結果が得
られる。図５は、図４のＴ型式導波装置Ｄ３のより詳細
を示す概略一部断面斜視図である。また、小型反射羽根
車は２個に限らず複数個設置可能であり、導波管１３の
断面形状は円形に限らず、四角形、多角形、又は三角形
であっても良い。円錐体及び羽根車を備えた導波装置
は、Ｔ型式に限らず直進式とすることも可能であるが、
その場合には金属アンテナの設置が必要となる。
の先端に裁頭円錐体１２を設け、その円筒体の２箇所に
設けた小型モータ１４Ａ，１４Ｂで回転する金属製小型
反射羽根車１５Ａ，１５を備えたＴ型式導波装置Ｄ３を
示す。連続回転する金属製羽根車によって、電磁波がよ
り均一に反射され、キヤビネット内への均一な電磁波放
射が達成され得る。羽根車は、例えば直径約３０−７０
センチ、回転数毎分約１５−５０程度で良好な結果が得
られる。図５は、図４のＴ型式導波装置Ｄ３のより詳細
を示す概略一部断面斜視図である。また、小型反射羽根
車は２個に限らず複数個設置可能であり、導波管１３の
断面形状は円形に限らず、四角形、多角形、又は三角形
であっても良い。円錐体及び羽根車を備えた導波装置
は、Ｔ型式に限らず直進式とすることも可能であるが、
その場合には金属アンテナの設置が必要となる。
【０００９】図６は、マグネトロン発振機１を裁頭円錐
体１２に直結した形式の実施形態である導波装置Ｄ４を
示す。この実施形態において円錐体１２は電磁波がキャ
ビネット内に放射され得るように、キャビネット外側面
から取付け角度θ°だけ傾斜して取りつけられている。
図７は、以上述べた本発明の導波装置Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３
及びＤ４と従来装置とにおける、電磁波放射の均一性即
ち加熱の均一性を比較測定した結果をグラフで示す。グ
ラフから明らかなように、導波装置Ｄ１及びＤ２は、小
容器Ｓ１からＳ５までの各容器における測定温度が殆ど
均一となり、極めて良好な結果が得られた。これに対し
て図１４（ａ），（ｂ）及び（ｃ）に示す従来例の場合
にはグラフから明らかなとおり不均一である。
体１２に直結した形式の実施形態である導波装置Ｄ４を
示す。この実施形態において円錐体１２は電磁波がキャ
ビネット内に放射され得るように、キャビネット外側面
から取付け角度θ°だけ傾斜して取りつけられている。
図７は、以上述べた本発明の導波装置Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３
及びＤ４と従来装置とにおける、電磁波放射の均一性即
ち加熱の均一性を比較測定した結果をグラフで示す。グ
ラフから明らかなように、導波装置Ｄ１及びＤ２は、小
容器Ｓ１からＳ５までの各容器における測定温度が殆ど
均一となり、極めて良好な結果が得られた。これに対し
て図１４（ａ），（ｂ）及び（ｃ）に示す従来例の場合
にはグラフから明らかなとおり不均一である。
【００１０】図８は、以上図１、３、４及び６を用いて
述べた本発明の導波装置Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４及びそ
れに関連する導波装置の各々について、電磁波を加熱容
器内部に放射するに必要な導波管内径の条件を示す一覧
表である。例えば図１に示す導波装置Ｄ１は、該表から
明らかなように円筒導波管の内径が７２ミリ以下２０ミ
リという広範囲に亘ってキャビネット内に放射が可能と
なり、更に従来は不可能であったような小内径の導波管
をも使用することが可能となり、加熱装置全体の小型化
に寄与する効果が顕著である。図１に示す導波装置Ｄ１
において、同軸アンテナが存在しないと、該図８に示す
表中図９（ｆ）に示すように電磁波の加熱容器内部への
電磁放射は不可能である。また、図３に示す導波装置Ｄ
２は、該表から明らかなように円筒導波管の内径が３０
ミリ以下では放射不可能であるが、従来不可能であった
内径５０ミリ程度まで小径化することが可能となった効
果は顕著である。
述べた本発明の導波装置Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４及びそ
れに関連する導波装置の各々について、電磁波を加熱容
器内部に放射するに必要な導波管内径の条件を示す一覧
表である。例えば図１に示す導波装置Ｄ１は、該表から
明らかなように円筒導波管の内径が７２ミリ以下２０ミ
リという広範囲に亘ってキャビネット内に放射が可能と
なり、更に従来は不可能であったような小内径の導波管
をも使用することが可能となり、加熱装置全体の小型化
に寄与する効果が顕著である。図１に示す導波装置Ｄ１
において、同軸アンテナが存在しないと、該図８に示す
表中図９（ｆ）に示すように電磁波の加熱容器内部への
電磁放射は不可能である。また、図３に示す導波装置Ｄ
２は、該表から明らかなように円筒導波管の内径が３０
ミリ以下では放射不可能であるが、従来不可能であった
内径５０ミリ程度まで小径化することが可能となった効
果は顕著である。
【００１１】図９（ａ）から（ｆ）まで、図１０（ａ）
から（ｆ）まで、図１１（ａ）から（ｆ）まで及び図１
２（ａ）から（ｃ）までの各図面は、図8の表で示した
合計２１個のそれぞれの導波装置の概略構成を示す。図
１３は、本発明の導波装置が合成樹脂製パイプ管の融着
接合に利用される場合の実施形態を示す。本発明の導波
装置Ｄが装着されたキャビネット２には、互いに融着接
合されるべき一対の例えばポリエチレン等の合成樹脂か
らなるパイプが、キヤビネットに設けられた一対の開口
２Ａ，２Ｂに貫挿される。該パイプ１６Ａ、１６Ｂが水
道管に使用されるプラスチックであれば、内径約２８ミ
リ、融点約２２０℃、水圧約２５ｋｇ／Ｃｍに耐えるも
のであることが要求される。参照符号１７は、一対のパ
イプ１６Ａ，１６Ｂを融着接合するために該パイプとほ
ぼ同質の材料からなる、即ち融点がほぼ等しい材料から
なる筒状の継手である。この筒状継手１７の内面に設け
られた２箇所の凹部には、その継手内面とパイプ端部と
の間に介在して、両者を融着接合するための２個の環状
誘電発熱素材１８Ａ及び１８Ｂが装着される。発熱素材
の厚さは約１．５ミリから約２ミリ程度が望ましい。こ
の環状誘電発熱素材１８Ａ、１８Ｂが電磁波の照射を受
けて発熱することにより、両パイプ端部及び継手17が融
点温度約２２０℃まで加熱されて両者が均一に融着し、
パイプの接合が達成される。
から（ｆ）まで、図１１（ａ）から（ｆ）まで及び図１
２（ａ）から（ｃ）までの各図面は、図8の表で示した
合計２１個のそれぞれの導波装置の概略構成を示す。図
１３は、本発明の導波装置が合成樹脂製パイプ管の融着
接合に利用される場合の実施形態を示す。本発明の導波
装置Ｄが装着されたキャビネット２には、互いに融着接
合されるべき一対の例えばポリエチレン等の合成樹脂か
らなるパイプが、キヤビネットに設けられた一対の開口
２Ａ，２Ｂに貫挿される。該パイプ１６Ａ、１６Ｂが水
道管に使用されるプラスチックであれば、内径約２８ミ
リ、融点約２２０℃、水圧約２５ｋｇ／Ｃｍに耐えるも
のであることが要求される。参照符号１７は、一対のパ
イプ１６Ａ，１６Ｂを融着接合するために該パイプとほ
ぼ同質の材料からなる、即ち融点がほぼ等しい材料から
なる筒状の継手である。この筒状継手１７の内面に設け
られた２箇所の凹部には、その継手内面とパイプ端部と
の間に介在して、両者を融着接合するための２個の環状
誘電発熱素材１８Ａ及び１８Ｂが装着される。発熱素材
の厚さは約１．５ミリから約２ミリ程度が望ましい。こ
の環状誘電発熱素材１８Ａ、１８Ｂが電磁波の照射を受
けて発熱することにより、両パイプ端部及び継手17が融
点温度約２２０℃まで加熱されて両者が均一に融着し、
パイプの接合が達成される。
【００１２】この誘電発熱素材は、例えば下記の表１及
び２に示す混合比の材料を環状形状に燒結形成すること
によって得られる。表１及び２は、混合比５種類の素材
が約２２０℃の溶融温度に到達するまでの所要時間を示
しており、アルミナの混入によって昇温時間の調節とな
り、また炭化ケイ素を混入することによって燒結形成さ
れた環状（リング状）素材の形状が崩れることなく維持
され得る。表中のポリエチレンは、パイプ素材の溶融点
とほぼ等しい素材と置きかえることが可能であり、加熱
によるパイプ素材と継手素材との相互溶融によって互い
に融着可能であるので、必須のものではない。しかしな
がら、ポリエチレンを混入することによって両者の溶融
が円滑に行われる効果がある。更に、リング状燒結素材
の表面全体に、接合すべき樹脂パイプの融点よりも低い
融点を有する樹脂をコーテイング又は被覆することによ
って、さらに均一かつ強固な融着が達成され得る。
び２に示す混合比の材料を環状形状に燒結形成すること
によって得られる。表１及び２は、混合比５種類の素材
が約２２０℃の溶融温度に到達するまでの所要時間を示
しており、アルミナの混入によって昇温時間の調節とな
り、また炭化ケイ素を混入することによって燒結形成さ
れた環状（リング状）素材の形状が崩れることなく維持
され得る。表中のポリエチレンは、パイプ素材の溶融点
とほぼ等しい素材と置きかえることが可能であり、加熱
によるパイプ素材と継手素材との相互溶融によって互い
に融着可能であるので、必須のものではない。しかしな
がら、ポリエチレンを混入することによって両者の溶融
が円滑に行われる効果がある。更に、リング状燒結素材
の表面全体に、接合すべき樹脂パイプの融点よりも低い
融点を有する樹脂をコーテイング又は被覆することによ
って、さらに均一かつ強固な融着が達成され得る。
【００１３】
【表１】
【００１４】
【表２】
【００１５】以上述べた誘電発熱素材は表１及び２で述
べたような混合物を環状に形成したものであったが、そ
れに限定されることなく、ペレット状（粒状）、テープ
状又は断面形状がＴ字状（例えばパイプの接合端面の接
合に好都合）のものであっても良い。また、該混合物に
合成樹脂又は水を混入してペースト状にしても良い。更
に、糸状、布状、網目状の形成のものとしても良い。例
えばテープ状の誘電発熱素材の場合には、パイプの穴を
補修したり傷を修復するのに好都合である。
べたような混合物を環状に形成したものであったが、そ
れに限定されることなく、ペレット状（粒状）、テープ
状又は断面形状がＴ字状（例えばパイプの接合端面の接
合に好都合）のものであっても良い。また、該混合物に
合成樹脂又は水を混入してペースト状にしても良い。更
に、糸状、布状、網目状の形成のものとしても良い。例
えばテープ状の誘電発熱素材の場合には、パイプの穴を
補修したり傷を修復するのに好都合である。
【００１６】このように、この実施形態によれば例えば
パイプのような長尺物（加熱容器であるキャビネット内
には収容できないような長尺物）の被加熱物を十分加熱
することが出来、更に連続的に加熱融着接合することも
可能である。水道管用のパイプの場合、この実施形態の
接合方法によって２４Ｋｇ／Ｃｍの高圧にも十分耐え得
る融着が、本発明の導波装置が高度の電磁波放射均一性
を有すため加熱効率が高く、そのため短時間で達成され
た。この実施形態では、長尺物の被加熱物について述べ
たが、該実施形態は長尺物に限らず誘電発熱素材を利用
して２物体を加熱融着する場合に有効に適用され得る。
また、図１３の実施形態では、合成樹脂パイプの場合に
ついて述べたが、接合されるべき素材は合成樹脂パイプ
に限定されず、金属製パイプ等であっても可能であり、
さらに該素材は板状体であっても良い。
パイプのような長尺物（加熱容器であるキャビネット内
には収容できないような長尺物）の被加熱物を十分加熱
することが出来、更に連続的に加熱融着接合することも
可能である。水道管用のパイプの場合、この実施形態の
接合方法によって２４Ｋｇ／Ｃｍの高圧にも十分耐え得
る融着が、本発明の導波装置が高度の電磁波放射均一性
を有すため加熱効率が高く、そのため短時間で達成され
た。この実施形態では、長尺物の被加熱物について述べ
たが、該実施形態は長尺物に限らず誘電発熱素材を利用
して２物体を加熱融着する場合に有効に適用され得る。
また、図１３の実施形態では、合成樹脂パイプの場合に
ついて述べたが、接合されるべき素材は合成樹脂パイプ
に限定されず、金属製パイプ等であっても可能であり、
さらに該素材は板状体であっても良い。
【００１７】図１４（ａ）及び（ｂ）に示す実施形態
は、断面が矩形形状の導波管を裁頭角錐体に取り付け、
更にキャビネット２に固定する導波装置を示す。図１４
（ａ）から明らかなように、矩形導波管１３Ａの取り付
けられた裁頭角錐体１２Ａの短辺側にそれぞれ小型反射
回転羽根車１５が取り付けられるが、角錐体１２Ａの
（短辺側の）開き角がθ１及びθ２が互いに相違してい
る。この相違した開き角の設定により、羽根車１５によ
る電磁波反射がより一層多方向に拡散され、その結果よ
り均一な電磁波放射が可能となる。この実施形態におい
てマグネトロン１は直進型がしようされているが、前述
のＴ字型形式のマグネトロンを用いても良い。今までに
述べた裁頭円錐体の場合でも、その円錐体に取り付ける
複数羽根車の取り付け角を相違させることにより、本実
施形態で述べたと同様の効果を期待できる。
は、断面が矩形形状の導波管を裁頭角錐体に取り付け、
更にキャビネット２に固定する導波装置を示す。図１４
（ａ）から明らかなように、矩形導波管１３Ａの取り付
けられた裁頭角錐体１２Ａの短辺側にそれぞれ小型反射
回転羽根車１５が取り付けられるが、角錐体１２Ａの
（短辺側の）開き角がθ１及びθ２が互いに相違してい
る。この相違した開き角の設定により、羽根車１５によ
る電磁波反射がより一層多方向に拡散され、その結果よ
り均一な電磁波放射が可能となる。この実施形態におい
てマグネトロン１は直進型がしようされているが、前述
のＴ字型形式のマグネトロンを用いても良い。今までに
述べた裁頭円錐体の場合でも、その円錐体に取り付ける
複数羽根車の取り付け角を相違させることにより、本実
施形態で述べたと同様の効果を期待できる。
【００１８】図１５（ａ）及び（ｂ）の実施形態は、ト
ッグルカプラ手段を用いることによって、種々の容積の
キャビネット２に対して裁頭円錐体１２を着脱可能に装
着可能とする。円錐体１２の開口部分の外周縁を包囲し
て締定するための一対の締め輪１９Ａ，１９Ｂは、ヒン
ジ２０によって回動可能に連結されており、締め輪１９
Ｂの上方端に回転可能に取り付けられたノブ２１、締め
輪１９Ａの上方端に設けられたノッチ２２に一端が係合
し、かつ他端がノブ２１とピン結合されたクランパー２
３とから構成されるトッグルカプラーＴＣによって該開
口部分外周縁を強固に緊締可能である。このように、導
波装置を備えた裁頭円錐体がキャビネット２に対して簡
便に装着可能となるので、１つの導波装置を収容容積の
個となる種々のキャビネットに対して簡単に取り付け可
能となり、キャビネットの交換が極めて容易となる効果
が発揮され得る。このトッグルカプラー手段は裁頭円錐
体に限らず裁頭角錐体にも適用可能であることは明らか
である。
ッグルカプラ手段を用いることによって、種々の容積の
キャビネット２に対して裁頭円錐体１２を着脱可能に装
着可能とする。円錐体１２の開口部分の外周縁を包囲し
て締定するための一対の締め輪１９Ａ，１９Ｂは、ヒン
ジ２０によって回動可能に連結されており、締め輪１９
Ｂの上方端に回転可能に取り付けられたノブ２１、締め
輪１９Ａの上方端に設けられたノッチ２２に一端が係合
し、かつ他端がノブ２１とピン結合されたクランパー２
３とから構成されるトッグルカプラーＴＣによって該開
口部分外周縁を強固に緊締可能である。このように、導
波装置を備えた裁頭円錐体がキャビネット２に対して簡
便に装着可能となるので、１つの導波装置を収容容積の
個となる種々のキャビネットに対して簡単に取り付け可
能となり、キャビネットの交換が極めて容易となる効果
が発揮され得る。このトッグルカプラー手段は裁頭円錐
体に限らず裁頭角錐体にも適用可能であることは明らか
である。
【００１９】図１６に示す実施形態は、マグネトロン１
から放射される電磁波を利用してプラズマバーナを発生
するプラズマバーナ発生装置２４を示す。電磁波の照射
を受ける電極２５は、タングステン、銅及びジルコニア
から焼結形成された金属棒であり、その先端は金属容器
としてのキャビテイ２６の先細り先端から僅かに突出し
て構成されている。キャビテイ２６の先端部と電極２５
の先端部との間にはセラミック筒２７の先細り形状の先
端部が介在しており、このセラミック筒２７は主として
ジルコニア及びアルミナからなる耐熱性の高いセラミッ
ク材料で構成されている。このセラミック筒２７の後方
端には複数の空気流通穴２８が形成されており、エアノ
ズル２９から供給される圧縮空気が空気流通穴２８を通
過し、セラミック筒２７と電極２５との間に設けられた
僅かな間隙を通ってキャビテイ２６の外部に放出され
る。該空気流通穴２８を筒の軸と傾斜した方向に穿孔す
ることにより、空気流は筒内部で回転力を生みそれによ
ってプラズマ３０火炎が細い火炎とすることが可能とな
る。空気流によって電極２５及びセラミック筒２７の先
端部分が冷却され得る。このプラズマ火炎は空気による
放出がなくても例えば５，０００℃から８，０００℃の
高温を生じ得るので、各種金属材料、プラスチック材料
等の溶接接合及び切断等の加工が可能となる。更に空気
によるプラズマ火炎の噴出によれば、プラズマ火炎の絞
り込みが可能となり、それによって尚一層の高温度のプ
ラズマバーナ火炎を得ることが可能となる。この実施形
態では、Ｔ字型マグネトロン形式を採用することも可能
である。
から放射される電磁波を利用してプラズマバーナを発生
するプラズマバーナ発生装置２４を示す。電磁波の照射
を受ける電極２５は、タングステン、銅及びジルコニア
から焼結形成された金属棒であり、その先端は金属容器
としてのキャビテイ２６の先細り先端から僅かに突出し
て構成されている。キャビテイ２６の先端部と電極２５
の先端部との間にはセラミック筒２７の先細り形状の先
端部が介在しており、このセラミック筒２７は主として
ジルコニア及びアルミナからなる耐熱性の高いセラミッ
ク材料で構成されている。このセラミック筒２７の後方
端には複数の空気流通穴２８が形成されており、エアノ
ズル２９から供給される圧縮空気が空気流通穴２８を通
過し、セラミック筒２７と電極２５との間に設けられた
僅かな間隙を通ってキャビテイ２６の外部に放出され
る。該空気流通穴２８を筒の軸と傾斜した方向に穿孔す
ることにより、空気流は筒内部で回転力を生みそれによ
ってプラズマ３０火炎が細い火炎とすることが可能とな
る。空気流によって電極２５及びセラミック筒２７の先
端部分が冷却され得る。このプラズマ火炎は空気による
放出がなくても例えば５，０００℃から８，０００℃の
高温を生じ得るので、各種金属材料、プラスチック材料
等の溶接接合及び切断等の加工が可能となる。更に空気
によるプラズマ火炎の噴出によれば、プラズマ火炎の絞
り込みが可能となり、それによって尚一層の高温度のプ
ラズマバーナ火炎を得ることが可能となる。この実施形
態では、Ｔ字型マグネトロン形式を採用することも可能
である。
【００２０】図１７は、図１６において示したようなプ
ラズマバーナ発生装置２４の主要部、即ち電極２５及び
空気流通穴２８を備えたプラズマ筒２７が一対の支持体
３３に支持されてキャビネット３１内部に収容されたプ
ラズマバーナ発生装置３２を示す。図１７において、マ
グネトロン１から発生する電磁波は通常の導波管１３Ｂ
を用いて導波されているが、この導波装置の替わりに本
発明の前述各種実施形態による導波装置（例えばＤ１か
らＤ４までの導波装置）を利用すれば、電極２５がキャ
ビネット３２の内部のどのような位置に存在しても、そ
の位置に依存することなく均一なプラズマ火炎３０を得
ることが可能となる。即ち、プラズマ火炎の向きを上向
きにも下向きにも自由に設定可能となる。
ラズマバーナ発生装置２４の主要部、即ち電極２５及び
空気流通穴２８を備えたプラズマ筒２７が一対の支持体
３３に支持されてキャビネット３１内部に収容されたプ
ラズマバーナ発生装置３２を示す。図１７において、マ
グネトロン１から発生する電磁波は通常の導波管１３Ｂ
を用いて導波されているが、この導波装置の替わりに本
発明の前述各種実施形態による導波装置（例えばＤ１か
らＤ４までの導波装置）を利用すれば、電極２５がキャ
ビネット３２の内部のどのような位置に存在しても、そ
の位置に依存することなく均一なプラズマ火炎３０を得
ることが可能となる。即ち、プラズマ火炎の向きを上向
きにも下向きにも自由に設定可能となる。
【００２１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば次の
ような顕著な効果が達成され得る。 （１）キャビネット内への電磁波の均一放射が可能とな
る。 （２）導波管の断面形状を従来の矩形形状に限らず、円
形、多角形等に設定可能である。 （３）導波管の断面面積を従来のものより格段に小さく
設定することを可能としたので、電磁波加熱装置の小型
化に有効である。 （４）被加熱物がキャビネット内に収容され得ないよう
に長尺物であっても加熱及び融着接合が可能である。 （５）電磁波発生装置を前記キャビネットに対して支持
固定するための裁頭角錐体の一対の短辺側の開き角が互
いに相違した構成とすることによって、なお一層の均一
な電磁波放射が達成される。 （６）トッグルカプラーを採用することによって、所望
のキャビネットに所望の導波装置を簡便に装着可能とな
る。 （７）単一の電極とその先端部分を包囲するセラミック
筒との構成によって、該電極の先端部分から強力なプラ
ズマバーナ火炎を発生し得る。
ような顕著な効果が達成され得る。 （１）キャビネット内への電磁波の均一放射が可能とな
る。 （２）導波管の断面形状を従来の矩形形状に限らず、円
形、多角形等に設定可能である。 （３）導波管の断面面積を従来のものより格段に小さく
設定することを可能としたので、電磁波加熱装置の小型
化に有効である。 （４）被加熱物がキャビネット内に収容され得ないよう
に長尺物であっても加熱及び融着接合が可能である。 （５）電磁波発生装置を前記キャビネットに対して支持
固定するための裁頭角錐体の一対の短辺側の開き角が互
いに相違した構成とすることによって、なお一層の均一
な電磁波放射が達成される。 （６）トッグルカプラーを採用することによって、所望
のキャビネットに所望の導波装置を簡便に装着可能とな
る。 （７）単一の電極とその先端部分を包囲するセラミック
筒との構成によって、該電極の先端部分から強力なプラ
ズマバーナ火炎を発生し得る。
【図１】本発明の一実施形態としての導波装置の概略構
成を示す斜視図である。
成を示す斜視図である。
【図２】図１に示す実施形態における導波装置の詳細を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図３】本発明の他の実施形態としての導波装置の構成
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図４】本発明の他の実施形態としての導波装置の概略
構成を示す斜視図である。
構成を示す斜視図である。
【図５】図４の実施形態における導波装置の詳細な構成
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図６】本発明の他の実施形態としての導波装置の概略
構成を示す斜視図である。
構成を示す斜視図である。
【図７】図１，３，４及び６にそれぞれ示す導波装置の
電磁波均一放射特性を、図１４（ａ）、（ｂ）及び
（ｃ）に示す従来導波装置の場合と比較して示すグラフ
である。
電磁波均一放射特性を、図１４（ａ）、（ｂ）及び
（ｃ）に示す従来導波装置の場合と比較して示すグラフ
である。
【図８】図１，３，４及び６に示す導波装置それぞれに
ついて、電磁波を加熱容器内部に放射するに必要な導波
管内径の条件を示す表であり、また図１０及び１１に示
す各導波装置のそれぞれについて、電磁波を加熱容器内
部に放射するに必要な導波管内径の条件を示す表であ
る。
ついて、電磁波を加熱容器内部に放射するに必要な導波
管内径の条件を示す表であり、また図１０及び１１に示
す各導波装置のそれぞれについて、電磁波を加熱容器内
部に放射するに必要な導波管内径の条件を示す表であ
る。
【図９】（ａ）から（ｆ）までは、図８の表に挙げられ
た各導波装置の概略構成を示す構成図である。
た各導波装置の概略構成を示す構成図である。
【図１０】（ａ）から（ｆ）までは、図８の表に挙げら
れた各導波装置の概略構成を示す構成図である。
れた各導波装置の概略構成を示す構成図である。
【図１１】（ａ）から（ｆ）までは、図８の表に挙げら
れた各導波装置の概略構成を示す構成図である。
れた各導波装置の概略構成を示す構成図である。
【図１２】（ａ）から（ｃ）までは、図８の表に挙げら
れた各導波装置の概略構成を示す構成図である。
れた各導波装置の概略構成を示す構成図である。
【図１３】本発明の導波装置を用いて合成樹脂製パイプ
を融着接合する装置の実施形態を示す概略斜視図であ
る。
を融着接合する装置の実施形態を示す概略斜視図であ
る。
【図１４】（ａ）及び（ｂ）は、裁頭角錐体の短辺側の
開き角を相違せしめた構成の裁頭角錐体の実施形態を示
す概略横断面図及び該裁頭角錐体の開口側から見た側面
図である。
開き角を相違せしめた構成の裁頭角錐体の実施形態を示
す概略横断面図及び該裁頭角錐体の開口側から見た側面
図である。
【図１５】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の導波装置を、
選択された所望のキャビネットに簡便に取り付け可能と
したトッグルカプラーを示す概略正面図及び側面図であ
る。
選択された所望のキャビネットに簡便に取り付け可能と
したトッグルカプラーを示す概略正面図及び側面図であ
る。
【図１６】本発明のプラズマバーナ発生装置の構成を示
す概略横断面図である。
す概略横断面図である。
【図１７】本発明のプラズマバーナ発生装置の構成を示
す概略横断面図である。
す概略横断面図である。
【図１８】（ａ），（ｂ）及び（ｃ）は、従来の導波装
置の概略構成を示す斜視図である。
置の概略構成を示す斜視図である。
１ マグネトロン ２，３１ キャビネット ２Ａ，２Ｂ 開口 ３，１３ 導波管 ４ ターンテエーブル ５ 金属製反射回転羽根 ６ 同軸アンテナ ７ 支持板 ８ ハウジング ９ ボールベアリング １０ 駆動用モータ １１ 駆動用ギヤー １２ 裁頭円錐体 １２Ａ 裁頭角錐体 １３，１３Ｂ 導波管 １３Ａ 角型導波管 １４Ａ，１４Ｂ 小型モータ １５ 反射羽根車 １６Ａ，１６Ｂ パイプ １７ 継手 １８Ａ，１８Ｂ 環状誘電発熱素材 １９Ａ，１９Ｂ 締め輪 ２０ ヒンジ ２１ ノブ ２２ ノッチ ２３ クランパー ２４，３２ プラズマバーナ発生装置 ２５ 電極 ２６ キャビテイ ２７ セラミック筒 ２８ 空気流通穴 ２９ エアノズル ３０ プラズマ火炎 ３３ 支持体 Ｓ１−Ｓ５ 小容器 Ｄ１−Ｄ４ 導波装置 θ 取付け傾斜角 θ１，θ２ 角錐体の開き角 ＴＣ トッグルカプラー
Claims (31)
- 【請求項１】 電磁波発生源から加熱容器内に電磁波を
伝播するための導波装置において、電磁波を発生する電
磁波発生装置と、該電磁波発生装置からの電磁波を伝播
するための、先端部分が斜めに切断され回転可能に構成
された筒状導波管と、該筒状導波管からの電磁波を照射
する被加熱物を収容するためのキャビネットを具備する
ことを特徴とする導波装置。 - 【請求項２】 請求項１において、前記筒状導波管を前
記キャビネットに対して支持固定するための裁頭円錐体
を具備することを特徴とする導波装置。 - 【請求項３】 請求項２において、前記裁頭円錐体に電
磁波を反射するための回転羽根を少なくとも１個取付け
たことを特徴とする導波装置。 - 【請求項４】 電磁波発生源から加熱容器内に電磁波を
伝播するための導波装置において、電磁波を発生する電
磁波発生装置と、該電磁波発生装置からの電磁波を伝播
するための、先端部分が斜めに切断され回転可能に構成
された筒状導波管と、該筒状導波管からの電磁波を照射
する被加熱物を収容するためのキャビネットを具備し、
前記電磁波発生装置と前記導波管との結合形式が直進式
であることを特徴とする導波装置。 - 【請求項５】 請求項４において、前記筒状導波管を前
記キャビネットに対して支持固定するための裁頭円錐体
を具備することを特徴とする導波装置。 - 【請求項６】 請求項４において、前記裁頭円錐体に電
磁波を反射するための回転羽根を少なくとも１個取付け
たことを特徴とする導波装置。 - 【請求項７】 電磁波発生源から加熱容器内に電磁波を
伝播するための導波装置において、電磁波を発生する電
磁波発生装置と、該電磁波発生装置からの電磁波を伝播
するための、先端部分が斜めに切断され回転可能に構成
された筒状導波管と、該筒状導波管からの電磁波を照射
する被加熱物を収容するためのキャビネットを具備し、
前記電磁波発生装置と前記導波管との結合形式がＴ型式
であることを特徴とする導波装置。 - 【請求項８】 請求項７において、前記筒状導波管を前
記キャビネットに対して支持固定するための裁頭円錐体
を具備することを特徴とする導波装置。 - 【請求項９】 請求項７において、前記裁頭円錐体に電
磁波を反射するための回転羽根を少なくとも１個取付け
たことを特徴とする導波装置。 - 【請求項１０】 電磁波発生源から加熱容器内に電磁波
を伝播するための導波装置において、電磁波を発生する
電磁波発生装置と、該電磁波発生装置からの電磁波を伝
播するための筒状導波管と、該筒状導波管からの電磁波
を照射する被加熱物を収容するためのキャビネットを具
備することを特徴とする導波装置。 - 【請求項１１】 請求項１０において、前記筒状導波管
を前記キャビネットに対して支持固定するための裁頭円
錐体を具備することを特徴とする導波装置。 - 【請求項１２】 請求項１０において、前記裁頭円錐体
に電磁波を反射するための回転羽根を少なくとも１個取
付けたことを特徴とする導波装置。 - 【請求項１３】 電磁波発生源から加熱容器内に電磁波
を伝播するための導波装置において、電磁波を発生する
電磁波発生装置と、該電磁波発生装置からの電磁波を伝
播するための筒状導波管と、該筒状導波管からの電磁波
を照射する被加熱物を収容するためのキャビネットを具
備し、前記電磁波発生装置と前記導波管との結合形式が
直進式であることを特徴とする導波装置。 - 【請求項１４】 請求項１３において、前記筒状導波管
を前記キャビネットに対して支持固定するための裁頭円
錐体を具備することを特徴とする導波装置。 - 【請求項１５】 請求項１３において、前記裁頭円錐体
に電磁波を反射するための回転羽根を少なくとも１個取
付けたことを特徴とする導波装置。 - 【請求項１６】 電磁波発生源から加熱容器内に電磁波
を伝播するための導波装置において、電磁波を発生する
電磁波発生装置と、該電磁波発生装置を前記キャビネッ
トに対して取付け傾斜角を有して支持固定するための裁
頭円錐体を具備し、前記電磁波発生装置と前記導波管と
の結合形式が直進式であることを特徴とする導波装置。 - 【請求項１７】 請求項１６において、更に電磁波を前
記キャビネット内に伝播させるためのアンテナを具備す
ることを特徴とする導波装置。 - 【請求項１８】 請求項１６において、前記裁頭円錐体
に電磁波を反射するための回転羽根を少なくとも１個取
付けたことを特徴とする導波装置。 - 【請求項１９】 電磁波発生源から加熱容器内に電磁波
を伝播するための導波装置において、電磁波を発生する
電磁波発生装置と、該電磁波発生装置を前記キャビネッ
トに対して支持固定するための裁頭円錐体を具備し、前
記電磁波発生装置と前記導波管との結合形式が直進式で
あることを特徴とする導波装置。 - 【請求項２０】 請求項１９において、更に電磁波を前
記キャビネット内に伝播させるためのアンテナを具備す
ることを特徴とする導波装置。 - 【請求項２１】 電磁波発生源から加熱容器内に電磁波
を伝播するための導波装置において、電磁波を発生する
電磁波発生装置と、該電磁波発生装置を前記キャビネッ
トに対して支持固定するための裁頭円錐体を具備し、前
記電磁波発生装置と前記導波管との結合形式がＴ型式で
あることを特徴とする導波装置。 - 【請求項２２】 請求項２１において、前記裁頭円錐体
に電磁波を反射するための回転羽根を少なくとも１個取
付けたことを特徴とする導波装置。 - 【請求項２３】 電磁波発生源から加熱容器内に電磁波
を伝播するための角型導波装置において、電磁波を発生
する電磁波発生装置と、該電磁波発生装置を前記キャビ
ネットに対して支持固定するための裁頭角錐体を具備
し、前記裁頭角錐体の一対の短辺側の開き角が互いに相
違することを特徴とする導波装置。 - 【請求項２４】 電磁波発生源からの電磁波をキャビネ
ット内に収容された被加熱物に照射して該被加熱物を加
熱する加熱装置において、前記被加熱物が一対の被融着
接合物であり、該被融着接合物の融点とほぼ等しい融点
を有し、該被融着接合物の各端部を共に被覆する継手
と、該継手と該被融着接合物との間に介在され、前記電
磁波によって発熱する誘電発熱素材とを具備することを
特徴とする加熱装置。 - 【請求項２５】 請求項２４において、前記誘電発熱素
材の表面に、前記被融着物の融点よりも低い融点を有す
る素材を被覆することを特徴とする加熱装置。 - 【請求項２６】 請求項２４において、前記被融着物が
管状体であることを特徴とする加熱装置。 - 【請求項２７】 請求項２４において、前記被融着物が
板状体であることを特徴とする加熱装置。 - 【請求項２８】 請求項２４において、前記誘電発熱素
材が、環状、ペレット状、テープ状、ペースト状のいず
れか１つであることを特徴とする加熱装置。 - 【請求項２９】 電磁波を吸収するための単一の電極と
その先端部分を包囲するセラミック筒とを具備し、該電
極に前記電磁波が照射されることによって該電極及びセ
ラミック筒の先端部分からプラズマバーナ火炎が放出さ
れることを特徴とするプラズマバーナ発生装置。 - 【請求項３０】 請求項２９において、前記電極がタン
グステン、銅及びジルコニアを主成分とする焼結合金で
あることを特徴とするプラズマバーナ発生装置。 - 【請求項３１】 請求項２９において、前記セラミック
筒がジルコニア及びアルミナを主成分とする合金からな
ることを特徴とするプラズマバーナ発生装置。
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| JP11079196A JP2000277251A (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | 電磁波利用加熱装置の導波装置及び該導波装置を利用したプラズマバーナ発生装置 |
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