JP2000277357A - 可飽和磁心ならびにそれを用いた電源装置 - Google Patents

可飽和磁心ならびにそれを用いた電源装置

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JP2000277357A JP11078033A JP7803399A JP2000277357A JP 2000277357 A JP2000277357 A JP 2000277357A JP 11078033 A JP11078033 A JP 11078033A JP 7803399 A JP7803399 A JP 7803399A JP 2000277357 A JP2000277357 A JP 2000277357A
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saturable magnetic
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Katsuto Yoshizawa
克仁 吉沢
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 パーソナルコンピュータ用電源の電圧制御等
に用いられる制御性に優れたナノ結晶合金からなる可飽
和磁心ならびに高性能な電源装置を提供する。 【解決手段】 組織の少なくとも50%が平均粒径50
nm以下の結晶粒からなるFe基ナノ結晶合金薄帯から
構成し、50kHzにおける制御不能磁束密度量△Bb
が0.06T未満とする可飽和磁心とこれを電源装置に
用いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明ファスイッチング電源
等の電源装置の出力電圧制御用の可飽和リアクトル、ノ
イズアブソーバやビーズコア等の磁性部品に用いられる
Fe基ナノ結晶軟磁性合金薄帯からなる可飽和磁心なら
びにそれを用いた電源装置に関する。
【0002】
【従来の技術】スイッチング電源等の電圧制御に用いる
可飽和磁心には、角形性の良いフェライトやCo系のア
モルファス磁心が用いられている。最も使用されている
のはCo系のアモルファス磁心であり、パソコンなどの
電源に使用されている。この理由は、制御不能磁束密度
が小さく電圧を制御可能な範囲が広く、制御性に優れ、
低損失で制御磁界(制御電流)を小さくできるためであ
る。図1は半波形磁気増幅器とその動作原理を示した図
である。同図(a)はその基本回路である。可飽和磁心
からなるリアクトル(SR)の出力巻線NL、負荷
RL、交流電源eg、ダイオードDで構成されたゲート
回路と、可飽和磁心の制御巻線Nc、制御インピーダン
スZc、直流の信号電圧Ecで構成される制御回路から
なっている。同図(b)は本回路におけるSRの動作磁
化曲線であり、図中A〜Eに対応している。電源周波数
の半周期ごとに、ゲート回路のダイオードDが逆バイア
スされる図中EからAのリセットと、ダイオードDが順
バイアスされるAからEのゲートが交互に行われてい
る。リセット期間には、可飽和磁心の磁束密度は制御信
号Ecによる制御磁化力
【0003】
【数1】
【0004】により、E点からA点までリセットされ
る。ここに、Nc:制御回路側巻線数、Ic:制御電
流、le:可飽和磁心の平均磁路長である。 次にゲー
ト期間には、ダイオードDが順バイアスされてSRのN
L巻線に半波正弦波電圧が印加され、可飽和磁心の動作
点はA点からゲート磁化力の波高値
【0005】
【数2】
【0006】により定まるCを最大値としてE点まで変
化する。この結果、SRのNL巻線は同図(c)のV
NLで示すように動作磁束密度量△B+△Bbに比例し
た
【0007】
【数3】
【0008】なる電圧時間積を阻止し、iLのような負
荷電流が流れる。ここで、制御回路の信号電圧Ecを変
え制御磁化力Hを変化させることにより、負荷RLに供
給する電力を位相制御することができる。 ここに、N
L:ゲート側巻線数、iL:負荷電流、Ac:可飽和磁
心の実効断面積、Tb:電圧阻止期間である。
【0009】ところで、磁気増幅器において制御可能な
のは、可飽和磁心の動作磁化曲線におけるHマイナス側
の領域のみであって、HLmにより変化する動作磁束密
度量△Bbは制御に利用できないばかりでなく、電力の
供給を妨げるため、これが大きいと制御可能な領域が制
限される。この△Bbを制御不能磁束密度と呼び、これ
が小さい程、制御できる範囲が広くなり制御性が向上す
る。 以上の説明からも明かなように、磁気増幅器は使
用する可飽和磁心の磁気特性により大きく影響を受け
る。可飽和磁心として要求される特性は、できるだけ広
い出力電流に対して出力電流を一定に保つように制御で
きること、換言すれば、磁化曲線の角形比が100%に
できる限り近く制御不能磁束密度量△Bbをできるだけ
小さくでき、制御不能な領域を狭いこと、リセット時の
制御磁化力および磁心損失が小さいこと、磁心損失によ
る温度上昇が問題にならない周波数領域においては制御
範囲を大きくする意味から飽和磁束密度が大きいこと等
が挙げられる。
【0010】また、最近になりナノ結晶軟磁性合金から
なる磁心もスイッチング電源の制御用磁心へ適用が行わ
れている。ナノ結晶合金は優れた軟磁気特性を示すた
め、コモンモードチョークコイル、高周波トランス、パ
ルストランス等の磁心に使用されている。代表的組成系
は特公平4−4393号公報や特開平1−242755
号公報に記載のFe−Cu−(Nb,Ti,Zr,H
f,Mo,W,Ta)−Si−B系合金やFe−Cu−
(Nb,Ti,Zr,Hf,Mo,W,Ta)−B系合
金等が知られている。これらのナノ結晶合金は、通常液
相や気相から急冷し非晶質合金とした後、これを熱処理
により微結晶化することにより作製されている。液相か
ら急冷する方法としては単ロール法、双ロール法、遠心
急冷法、回転液中紡糸法、アトマイズ法やキャビテーシ
ョン法等が知られている。また、気相から急冷する方法
としてファスパッタ法、蒸着法、イオンプレーティング
法等が知られている。ナノ結晶合金はこれらの方法によ
り作製した非晶質合金を微結晶化したもので、非晶質合
金にみられるような熱的不安定性がほとんどなく、Fe
系アモルファス合金と同程度の高い飽和磁束密度と低磁
歪で優れた軟磁気特性を示すことが知られている。更に
ナノ結晶合金は経時変化が小さく、温度特性にも優れて
いることが知られている。
【0011】上記用途の他に、特開平5−3126号公
報に記載されているように磁路方向に磁界を印加し磁界
中熱処理を行ったFe基ナノ結晶合金は磁化曲線の角形
性に優れ、スイッチング電源の電圧を制御する可飽和磁
心に適することが知られている。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、可飽和
磁心にCo系のアモルファス磁心を用いる場合は、Co
の価格が高くコストを下げられない問題や、飽和磁束密
度が低いために特に駆動周波数が数100kHz以下の
周波数帯の電源に使用する場合には磁心が大きくなる問
題がある。一方、Fe基のナノ結晶合金磁心は、飽和磁
束密度が高く数100kHz程度以下の周波数帯では磁
心を小型化できる。また、原料費が安いため低コスト化
が可能であるが、制御性が形状や製造条件に依存しやす
く、磁心の径が小さくなった場合や内径と外径の差が大
きい場合、また巻き磁心の場合では巻張力が大きい場合
等に制御性が悪くなり、特に小型の磁心の場合には電圧
を制御できる電流範囲が狭くなる問題が生じやすく歩留
まりが低下する問題があった。さらには、最近のパソコ
ン等のスイッチング電源では出力電圧が低くなる傾向が
あり、可飽和磁心の制御不能磁束密度が大きいと出力電
圧が低い仕様のスイッチング電源では制御できる範囲が
狭くなり負荷電流の変化に対して十分な電圧制御ができ
なくなる問題が生じるようになった。このため、最近の
パソコンなどに用いられるスイッチング電源には、従来
よりも更に制御性に優れたナノ結晶合金からなる可飽和
磁心が必要となっているが、従来のナノ結晶合金磁心は
飽和磁束密度がCo基アモルファス合金よりも高く、誘
導磁気異方性をきちんと一方向に生じさせ磁化容易方向
を揃えるのが難しく、Co基アモルファス合金磁心に比
べると制御不能磁束密度が大きくなり、制御できる電流
の範囲が狭く、特に出力電圧の低いパーソナルコンピュ
ータのスイッチング電源に小型のFe基ナノ結晶合金磁
心を可飽和磁心として使用した場合に、仕様の出力電流
の範囲内で電圧制御ができなくなるという問題点が生ず
る場合があった。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明者らは、鋭意検討の結果、組織の少なくとも
50%が平均粒径50nm以下の結晶粒からなるFe基
ナノ結晶合金薄帯から構成されている磁心を、400℃
以上の温度でかつ400℃までの平均冷却速度を0.1
℃/minから300℃/minの範囲にし、かつ磁界
を熱処理全期間の60%以上の期間印加し熱処理した磁
心が50kHzにおける制御不能磁束密度量△Bbを
0.06T未満とすることができスイッチング電源の出
力電圧を制御できる範囲が広く可飽和磁心として優れて
いることを見出し本発明に想到した。
【0014】特に、一般式:(Fe1−aMa)
100−x−y−cAxM’yX’c(原子%)で表さ
れ、式中、MはCo,Niから選ばれた少なくとも1種
の元素、AはCu,Auから選ばれた少なくとも1種の
元素、M’はZr,Nb,Mo,Hf,Ta,Ti,V
およびWから選ばれた少なくとも1種の元素、X’はS
iおよびBから選ばれる少なくとも1種の元素を示し、
a,x,yおよびcはそれぞれ0.001≦a≦0.
1、0.1≦x≦3、1.5≦y≦10、4≦c≦30
を満足する数で表される範囲の組成であるナノ結晶合金
薄帯から構成されていることを特徴とする可飽和磁心
は、制御不能磁束密度量△Bbが小さく△Bbの磁心形
状依存性が小さいため、最近の出力電圧の低いパーソナ
ルコンピュータ用スイッチング電源装置等に用いられる
可飽和磁心に特に好適である。
【0015】本発明磁心を構成する合金において、前記
結晶粒は組織の少なくとも50%以上の割合であること
が望ましく、この場合には制御電流を小さくすることが
でき、かつ制御不能磁束密度も小さくできる。特に好ま
しい範囲は70%以上であり、この場合応力等による制
御磁化特性の劣下を小さくできるため特に好ましい。
【0016】本発明磁心を構成する合金中に含まれる元
素MはCoおよびNiから選ばれる少なくとも1種の元
素であり制御不能磁束密度を著しく小さくし、制御不能
磁束密度の磁心形状依存性を小さくする効果がある。M
の置換量比aは0.001≦a≦0.1の範囲が好まし
い。aが0.001未満では制御不能磁束密度が大きく
なり、電源の出力電圧を制御できる範囲が狭くなり好ま
しくなく、0.1を超えると全制御磁化力が大きくな
り、制御電流の増加や磁心の発熱が大きくなり好ましく
ない。
【0017】AはCu,Auから選ばれた少なくとも1
種の元素であり、熱処理後形成する結晶粒を微細化する
効果および制御磁化特性を向上させる効果がある。A量
xが0.1原子%未満では制御不能磁束密度が大きくな
り好ましくなく、3原子%を越えると材料の著しい脆化
が起こるため好ましくない。特に好ましいxの範囲は
0.5≦x≦2であり、この範囲で制御不能磁束密度が
低く製造が容易なものが得られる。M’およびX’はア
モルファス形成を促進する元素である。M’はZr,N
b,Mo,Hf,Ta,Ti,VおよびWから選ばれた
少なくとも1種の元素であり、M’量yは1.5≦y≦
10の範囲である。yが1.5原子%未満では熱処理後
に微細な結晶粒組織が得られず、制御磁化特性が劣化す
るため好ましくなく、yが10原子%を超えると全制御
磁束密度量が小さくなり好ましくない。X,はSiおよ
びBから選ばれた少なくとも1種の元素であり、X’量
cは4≦c≦30の範囲である。X’量cが4原子%未
満では熱処理後の結晶粒が微細化されにくく制御磁化特
性が劣下し好ましくなく、cが30原子%を越えると全
制御磁束密度量の著しい低下を招くため好ましくない。
【0018】また、M’の一部をCr,Mn,Sn,Z
n,Ag,In,白金属元素,Mg,Ca,Sr,Y,
希土類元素,N,OおよびSから選ばれた少なくとも1
種の元素で置換しても良い。これらの元素は耐食性改善
や磁歪等の調整に効果がある。また、X’の一部をC,
Ge,Ga,AlおよびPから選ばれた少なくとも1種
の元素で置換しても良い。これらの元素は磁歪調整や結
晶粒微細化に効果がある。特にAがCuであり、M’が
Nb,Mo,Ta,VおよびWから選ばれた少なくとも
1種の元素である場合は大気中で合金薄帯の製造が容易
であるため量産性に優れており好ましい。前述の本発明
磁心を構成する合金中に形成する結晶は主にbccFe
相であり、Si,B,Al,GeやZr等を固溶してい
る場合もある。また、規則格子を含む場合もある。前記
結晶相以外の残部は主にアモルファス相であるが、実質
的に結晶相だけからなる合金も本発明に含まれる。ま
た、bcc相以外に一部にCuやAuを含むfcc相結
晶粒も存在する。また、一部にFe2Bなどの化合物相
を含んでも良い。
【0019】本発明磁心は、前記組成の溶湯を単ロール
法等の超急冷法により急冷し、一旦アモルファス合金を
作製後、これを磁心の形状に加工し、結晶化温度以上に
昇温して熱処理を行い平均粒径60nm以下の微結晶を
形成することにより作製する。熱処理前のアモルファス
合金は結晶相を含まないのが望ましいが一部に結晶相を
含んでも良い。熱処理は通常アルゴンガス、窒素ガス等
の不活性ガス中で行なう。また、熱処理期間の少なくと
も一部の期間、合金が飽和する強さの直流、交流あるい
はパルス状の繰り返し磁界を印加して磁界中熱処理を行
い誘導磁気異方性を付与し、制御不能磁束密度量△Bb
を小さくする。この際に印加する磁界は一般には薄帯の
長手方向(巻磁心の場合は磁心の磁路方向)に最大値で
8A/m以上印加するのが望ましい。本発明において、
印加する磁界は熱処理全期間の60%以上の期間印加す
る必要がある。特に熱処理工程の中で400℃以上の温
度になっている期間の80%以上の期間、磁界を印加す
ると△Bbを0.03T以下と特に小さくすることが可
能となる。熱処理は露点が−30℃以下の不活性ガス雰
囲気中で行なうことが望ましく、露点が−60℃以下の
不活性ガス雰囲気中で熱処理を行なうと特に好ましい結
果が得られる。熱処理の際の最高到達温度は結晶化温度
以上であり、通常450℃から650℃の範囲である。
熱処理の際一定温度に保持する期間がある場合は、一定
温度での保持時間は通常量産性の観点から24時間以下
であり、より好ましくは4時間以下である。熱処理の際
の平均昇温速度は、好ましくは0.1℃/minから2
00℃/minであり制御不能磁束密度量△Bbが小さ
い。より好ましくは1℃/minから40℃/minで
あり特に制御磁化特性の小さいものが得られる。400
℃までの平均冷却速度は0.1℃/minから300℃
/minの範囲であり△Bbを小さくできる。より好ま
しくは1℃/minから100℃/minであり、この
範囲で特に△Bbを小さくできる。
【0020】また、熱処理は1段ではなく多段の熱処理
や複数回の熱処理を行なうこともできる。更には合金に
直流、交流あるいはパルス電流を流して合金を発熱させ
熱処理することもできる。本発明磁心は必要に応じてS
iO2、MgO、Al2O3等の粉末あるいは膜で、使
用する合金薄帯表面を覆ったり、化成処理により表面を
処理したり、アノード酸化処理により表面に酸化物層を
形成し層間絶縁が行われる場合がある。これは特に高周
波における渦電流の影響を低減し、全制御磁化力を小さ
くしたり、磁心損失を低減し、磁心の温度上昇を低くす
る効果がある。この効果は表面状態が良好でかつ広幅の
薄帯から構成された磁心の場合に著しい。また、本発明
磁心は必要に応じて含浸やコーティング等を行なう場合
がある。もう一つの発明は、前記磁心を回路の一部に使
用したことを特徴とする電源装置である。出力電圧の制
御性に優れた電源装置を実現可能である。
【0021】
【発明の実施の形態】以下本発明を実施例にしたがって
説明するが本発明はこれらに限定されるものではない。 (実施例1)図2は制御磁化特性測定用回路であり、可
飽和磁心を評価するのに用いた測定回路である。図3は
任意の直流制御電流Icが制御回路に流れている場合の
可飽和磁心の動作模式図である。
【0022】図2中、試料SRはNL、Nc、Nvの3
種類の巻線と磁心で構成された可飽和磁心からなるリア
クトルである。NLは磁気増幅器として用いた可飽和磁
心からなる可飽和リアクトルSRの出力巻線に相当し、
抵抗RL及び整流器Dを介して、周波数f(周期TP)
の交流電源Egに接続されている。Egの値はゲート半
周期において、印加電圧の正弦波電圧の90°以内の位
相角で磁心が飽和するような大きな値に設定する。 N
cは制御巻線で、制御回路よりみた磁心インダクタンス
に比較し、充分大きな値のインダクタンスLcを通して
直流電源Ecに接続し、拘束磁化条件の直流起磁力を与
えている。Nvは制御入力に対応するリセット磁束量△
φcm測定用巻線で、平均値整流方式の交流電圧計Vに
接続されている。
【0023】図4に本測定回路により測定して得られる
制御磁化曲線の模式図を示す。全制御磁化力Hrの逆数
をβ0とおくと
【0024】
【数4】
【0025】可飽和磁心としてはβ0が大(Hrが小)
である程、制御電流は小となり特性が良いことになる。
一方、磁心の磁化特性である角形の程度を表すパラメ
ータをα0とおくと、
【0026】
【数5】
【0027】可飽和磁心としては、α0が大である程、
言い換えると制御不能磁束密度量△Bbが小さい程、電
圧の制御性が良いことになる。 α0とβ0の積をGO
で表し、Specific Core Gainと呼ぶ
が、この
【0028】
【数6】
【0029】が大きい程、総合的に見て可飽和磁心とし
て優れていると判断できる。 また、ゲート磁界の最大
値
【0030】
【数7】
【0031】に対応する磁束密度の最大値Bmと制御磁
界
【0032】
【数8】
【0033】によって決まる磁束密度Bcとの差の磁束
密度量を△Bcmとし、周波数をfとすれば、Nv回路
の磁束電圧計Vの読みは
【0034】
【数9】
【0035】ここにleは磁心の平均磁路長、Aeは磁
心の実効断面積である。 実際の可飽和磁心においては
磁界Hが正の領域の特性HLm−△Bb特性と、磁界H
が負の領域の特性HLm−△Bbの特性を把握すること
が必要である。
【0036】
【数10】
【0037】であり、
【0038】
【数11】
【0039】一方、
【0040】
【数12】
【0041】である。ここに、fは周波数、Brは残留
磁束密度である。 可飽和磁心としては、図4に示す第
1象限の曲線が下側にあり、第2象限の曲線が右側によ
っており、かつ傾斜が急なものほど良いことになる。
【0042】(実施例2) 原子%でCo0.5%,C
u1.16%,Nb3.1%,Si15.7%,B7.
2%残部実質的にFeからなる合金溶湯を単ロール法に
より急冷し、幅5mm厚さ18μmのアモルファス合金
薄帯を得た。このアモルファス合金薄帯を外径12m
m、内径8mmと外径19mm、内径15mmに巻回
し、トロイダル磁心を作製した。作製した磁心を窒素ガ
ス雰囲気の熱処理炉に挿入し、図5に示す熱処理パター
ンで磁界中熱処理を行った。熱処理後の合金は結晶化し
ており、電子顕微鏡観察の結果、組織のほとんどが粒径
10nm程度の微細な結晶粒からなっていることが確認
された。残部はアモルファス相であり20%程度と見積
もられた。次にこの合金磁心の50kHzにおける制御
磁化特性を図2の回路により測定し、制御不能礎束密度
量△Bbを測定した。得られた結果を表1に示す。
【0043】
【表1】
【0044】比較のため本発明外の合金の特性も示す。
本発明合金磁心は△Bbが著しく小さく磁心の形状依存
性もなく可飽和磁心として優れている。これに対して従
来の合金では本発明合金に比べて△Bbが大きく特性が
劣っている。このように小径の磁心において特に本発明
磁心の△Bbが小さく優れていることが分かる。
【0045】(実施例3) 表2に示す組成の合金溶湯
を単ロール法により急冷し、幅5mm厚さ15μmのア
モルファス合金薄帯を得た。このアモルファス合金薄帯
を外径12mm、内径8mmおよび外径19mm、内径
16mmに巻回し、トロイダル磁心を作製した。この合
金磁心を図6に示す熱処理パターンで熱処理しフェノー
ル樹脂性のケースに入れた後に磁気測定を行った。熱処
理後の合金は組織の60%以上が粒径50nm以下の極
微細な結晶粒からなっていた。表2に制御不能磁束密度
△Bbを示す。
【0046】
【表2】
【0047】本発明可飽和磁心の方が制御不能磁束密度
量△Bbが小さく、特に径の小さい磁心であっても本発
明磁心は△Bbの増加が小さく優れている。
【0048】(実施例4) 表3に示す組成の合金溶湯
を大気中あるいはAr雰囲気中の単ロール法により急冷
し、幅4mm厚さ14μmのアモルファス合金薄帯を作
製した。このアモルファス合金薄帯を外径10mm、内
径6mmに巻回し、トロイダル磁心を作製した。この合
金磁心を実施例2と同様の熱処理パターンで熱処理し
た。熱処理後の合金は組織の60%以上が粒径50nm
以下の極微細な結晶粒からなっていた。制御磁化特性を
測定した結果、本発明磁心の△Bbは0.06T未満で
あった。次に、この磁心に巻線を行い、図7に示す回路
のスイッチング電源に使用し、出力電圧の制御を行っ
た。定格出力電圧3.3Vの回路の負荷電流1Aおよび
13Aの出力電圧を測定した。表3に結果を示す。ま
た、比較のため△Bbが0.06T以上であるFe基ナ
ノ結晶合金からなる可飽和磁心を使用した従来の電源装
置の結果も示す。
【0049】
【表3】
【0050】本発明の電源装置においては、13Aにお
いてもほぼ定格の出力電圧が得られているのに対して、
従来の△Bbが0.06T以上であるFe基ナノ結晶合
金からなる可飽和磁心を使用した電源装置は出力電圧が
かなり低下しており、制御性が悪いことが分かる。 以
上のように、特に定格出力電圧が低い場合に、本発明電
源装置は電圧の制御範囲が広く優れた性能を実現でき
る。
【0051】
【発明の効果】本発明によれば、パーソナルコンピュー
タ用電源の電圧制御等に用いられる制御性に優れたナノ
結晶合金からなる可飽和磁心ならびに高性能な電源装置
を実現できるためその効果は著しいものがある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる半波形磁気増幅器の基本回路、
可飽和磁心の動作磁化曲線、半波形磁気増幅器各部の波
形の模式図を示した図である。
【図2】本発明に係わる制御磁化特性測定回路を示した
図である。
【図3】本発明に係わる制御磁化特性測定の際の磁心の
動作磁化曲線の模式図である。
【図4】本発明に係わる制御磁化特性の模式図である。
【図5】本発明に係わる熱処理パターンの一例を示した
図である。
【図6】本発明に係わる熱処理パターンの一例を示した
図である。
【図7】本発明に係わるスイッチング電源回路の一例を
示した図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H02M 7/06 H01F 1/16 A

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 組織の少なくとも50%が平均粒径50
    nm以下の結晶粒からなるFe基ナノ結晶合金薄帯から
    構成されており、50kHzにおける制御不能磁束密度
    量△Bbが0.06T未満であることを特徴とする可飽
    和磁心。
  2. 【請求項2】 一般式:(Fe1−aMa)
    100−x−y−cAxM’yX’c(原子%)で表さ
    れ、式中、MはCo,Niから選ばれた少なくとも1種
    の元素、AはCu,Auから選ばれた少なくとも1種の
    元素、M’はZr,Nb,Mo,Hf,Ta,Ti,V
    およびWから選ばれた少なくとも1種の元素、X’はS
    iおよびBから選ばれる少なくとも1種の元素を示し、
    a,x,yおよびcはそれぞれ0.001≦a≦0.
    1、0.1≦x≦3、1.5≦y≦10、4≦c≦30
    を満足する数で表される範囲の組成であり、組織の少な
    くとも50%が平均粒径50nm以下の結晶粒からなる
    Fe基ナノ結晶合金薄帯から構成されていることことを
    特徴とする請求項1に記載の可飽和磁心。
  3. 【請求項3】 M’の一部をCr,Mn,Sn,Zn,
    Ag,In,白金属元素,Mg,Ca,Sr,Y,希土
    類元素,N,OおよびSから選ばれた少なくとも1種の
    元素で置換したFe基ナノ結晶合金薄帯から構成されて
    いることを特徴とする請求項1又は2に記載の可飽和磁
    心。
  4. 【請求項4】 X’の一部をC,Ge,Ga,Alおよ
    びPから選ばれた少なくとも1種の元素で置換したFe
    基ナノ結晶合金薄帯から構成されていることを特徴とす
    る請求項1乃至3のいずれかに記載の可飽和磁心。
  5. 【請求項5】 AがCuであり、M’がNb,Mo,T
    aおよびWから選ばれる少なくとも1種の元素であるF
    e基ナノ結晶合金薄帯から構成されていることを特徴と
    する請求項1乃至4のいずれかに記載の可飽和磁心。
  6. 【請求項6】 14原子%から17原子%の範囲のSi
    を含むFe基ナノ結晶合金薄帯から構成されていること
    を特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の可飽和
    磁心。
  7. 【請求項7】 板厚が3μmから25μmの範囲にある
    Fe基ナノ結晶合金薄帯から構成されていることを特徴
    とする請求項1乃至6のいずれかに記載の過飽和磁心。
  8. 【請求項8】 請求項1乃至7のいずれかに記載の可飽
    和磁心を回路に使用したことを特徴とする電源装置。
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