JP2000277393A - 電気二重層コンデンサ及びその製造方法 - Google Patents

電気二重層コンデンサ及びその製造方法

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JP2000277393A
JP2000277393A JP11079435A JP7943599A JP2000277393A JP 2000277393 A JP2000277393 A JP 2000277393A JP 11079435 A JP11079435 A JP 11079435A JP 7943599 A JP7943599 A JP 7943599A JP 2000277393 A JP2000277393 A JP 2000277393A
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conductive
electric double
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electrode
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Hitoshi Yoshida
均 吉田
Nagatane Nakamura
永植 中村
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NGK Insulators Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 内部抵抗の小さい電極体を用いた電気二重層
コンデンサとその製造方法を提供する。 【解決手段】 集電体５４と分極性電極５３の間に導電
層が形成された電極体５０を用いてなる電気二重層コン
デンサである。導電層は有機接着剤と導電性フィラー５
１とからなり、導電性フィラー５１の粒径をｄ、接着層
５２の厚さをｔとしたときに、少なくとも一部の導電性
フィラー５１が０．２ｔ≦ｄ≦３ｔの関係を満たす。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は内部抵抗の小さい
電極体を用いた電気二重層コンデンサとその製造方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】 現在、電気二重層コンデンサ、換言す
ればキャパシタの用途開発が、各種の分野において活発
に行われている。例えば、環境問題及び資源問題を背景
として、化石燃料の使用量の大幅な削減が求められてい
るが、ここで自動車産業界においては、かかる使用量削
減の方策の一つとして、化石燃料と電気のエネルギーを
併用したいわゆるハイブリッドカーの開発と市場導入に
積極的な姿勢が示されている。このような用途において
は、高出力密度型の電気二重層コンデンサのより一層の
高出力密度化が求められている。
【０００３】 また、パーソナルコンピュータや各種電
子機器のいわゆるバックアップ電源としての使用も増大
している。これらの分野においては、高エネルギー密度
型の電気二重層コンデンサが使用されているが、より一
層の高エネルギー密度化が求められている。
【０００４】 このような電気二重層コンデンサの基本
構造の１つである単電極セル１０は、図１に示されるよ
うに、一般的には金属材料からなる集電体２０・２２に
それぞれ正極側の分極性電極２４と負極側の分極性電極
２６が形成され、分極性電極２４・２６がセパレータ２
８によって隔離された構造を有しており、分極性電極２
４・２６には、溶媒と電解質とからなる電解液が含浸さ
れる。
【０００５】 図２は単キャパシタセル１２の構造を示
しており、複数の単電極セル１０を、集電体２０・２２
に形成された電極取り出し部３０・３２をそれぞれ電気
的に並列接続した構造を有している。自動車用等に用い
られる比較的容量の大きな電気二重層コンデンサとして
は、このような単キャパシタセル１２が好適に用いられ
る。これら単電極セル１０や単キャパシタセル１２は、
共に平板型であり、高充填、大面積化が容易である特徴
を有するが、内部抵抗は大きくなりがちである。
【０００６】 このような平板型の電気二重層コンデン
サに対して、図３に示すような捲回型の電気二重層コン
デンサ７０もあり、捲回型は単キャパシタセル１２と同
様に、高容量化に適した構造である。捲回型電気二重層
コンデンサ７０においては、集電体２０に正極側の分極
性電極２４が形成された正極シート７２と、集電体２２
に負極側の分極性電極２６が形成された負極シート７４
とを、セパレータ２８を介して円筒状に捲回して作製さ
れた捲回体７６が用いられ、例えば、この捲回体７６を
ケース７８に収容して電解液を充填し、各極シート７２
・７４と電極端子８０の各々との導通を確保しながら、
電極端子８０が形成された封口板８２でケース７８の開
口端面を封止することで作製される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】 ところで、上述した
集電体と分極性電極からなる種々の形状の電極体、並び
にセパレータ及び電解液から構成される電気二重層コン
デンサにおいては、集電体と分極性電極間の接触抵抗を
低減させるために、２ｋｇ／ｃｍ2以上で加圧保持した
り、集電体と分極性電極間に導電層を設けて積層一体構
造の電極体とする等の手段が採られている。
【０００８】 しかしながら、加圧保持の場合、振動や
衝撃で押圧が変動し、特性が変化したり経時変化が大き
くなる、加圧面積が大きくなると均一に押すことが困難
になり特性バラツキが大きくなる等、種々の問題を生ず
る。
【０００９】 また、集電体と分極性電極との間に導電
層を設けて積層構造の電極体とする場合、導電層用材料
としては、通常、導電性フィラーと有機接着剤の混合物
からなる導電性有機接着剤が多用されるが、導電性フィ
ラーどうしの接触を充分に行わせるために導電性フィラ
ーの添加量を多くすると接着力が弱くなる問題や、被接
着体（集電体及び分極性電極）と導電性フィラーの接触
を充分行わせるために、大きな加圧力で固定化しなけれ
ばならない問題等が生じる。
【００１０】 以上のような理由から、製造作業性が良
好で、集電体と分極性電極間の接着性を低下させること
なく、確実な電気的接触を確保して接触抵抗の低減が図
られた長期信頼性に優れた電極体が求められている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】 本発明は、上述した従
来技術の問題点に鑑みなされたものである。即ち、本発
明によれば、集電体と分極性電極の間に導電層が形成さ
れた電極体を用いてなる電気二重層コンデンサであっ
て、当該導電層は有機接着剤と導電性フィラーとからな
り、当該導電性フィラーの粒径をｄ、接着層厚さをｔと
したときに、少なくとも一部の当該導電性フィラーが
０．２ｔ≦ｄ≦３ｔの関係を満たしていることを特徴と
する電気二重層コンデンサ、が提供される。
【００１２】 ここで、少なくとも一部の導電性フィラ
ーの粒径ｄが、０．５ｔ〜２ｔの範囲にあることが、よ
り好ましい。また、導電層の厚さは、１〜１００μｍの
範囲にあることが好ましく、５〜６０μｍの範囲である
と更に好ましい。なお、導電性フィラーとしては、炭素
系材料の粒子、例えば、黒鉛が好適に用いられる。
【００１３】 また、本発明によれば、集電体と分極性
電極の間に導電層が形成された電極体を用いてなる電気
二重層コンデンサの製造方法であって、当該集電体の表
面に、導電性フィラーと有機接着剤とから成る粘着層を
形成した後、当該粘着層を挟んで当該集電体と当該分極
性電極を加圧して、当該導電性フィラーの粒径をｄ、接
着層厚さをｔとして、少なくとも一部の当該導電性フィ
ラーが０．２ｔ≦ｄ≦３ｔの関係を満たしている当該導
電層を形成して、当該電極体を製造する工程を含むこと
を特徴とする電気二重層コンデンサの製造方法、が提供
される。
【００１４】 また、本発明により提供される別の電気
二重層コンデンサの製造方法は、集電体と分極性電極の
間に導電層が形成された電極体を用いてなる電気二重層
コンデンサの製造方法であって、当該集電体の表面に、
有機接着剤と、粒径ｄ1が０．２ｔ1以下である導電性フ
ィラーとからなる厚さｔ1の粘着層を形成した後、当該
粘着層上に、粒径ｄの別の導電性フィラーを付着させて
予備接着層を形成し、当該予備接着層を挟んで当該集電
体と当該分極性電極とを加圧して、少なくとも一部の当
該別の導電性フィラーが、接着層厚さをｔとしたときに
０．２ｔ≦ｄ≦３ｔの関係を満たしている当該導電層を
形成することにより、当該電極体を製造する工程を含む
ことを特徴とする電気二重層コンデンサの製造方法、で
ある。
【００１５】 このような電気二重層コンデンサの製造
方法においては、予備接着層を挟んで集電体と分極性電
極とを加圧する際に、同時に加熱を行うことも好まし
い。また、少なくとも一部の粒径ｄの導電性フィラー
は、０．５ｔ≦ｄ≦２ｔの関係を満足していることがよ
り好ましい。また、導電層の厚さは１〜１００μｍの範
囲とすることが好ましく、５〜６０μｍの範囲とするこ
とがより好ましい。
【００１６】
【発明の実施の形態】 本発明にかかる電気二重層コン
デンサには、集電体と分極性電極の間に導電層が形成さ
れた電極体を用いる。電極体の構造には限定はなく、前
述した単電極セル１０、単キャパシタセル１２及び捲回
型電気二重層コンデンサ７０のいずれの電極体（捲回
体）にも用いることができる。ここで、集電体として
は、例えば厚さ１０〜６０μｍの金属箔か穴開き金属箔
（パンチングメタルやエクスパンダーメタル）が好適に
用いられ、材質としてはアルミニウムを用いることが好
ましい。
【００１７】 また、分極性電極としては、主として静
電容量の発現に寄与する炭素材料を主成分として、その
他に導電性付与のための導電補助材と有機バインダーと
から成るシート状成形体が好適に用いられる。特に、炭
素材料が活性炭であって、炭素材料中の７０％〜９７％
が静電容量の発現に寄与する材料であることが好まし
い。主として静電容量の発現に寄与する炭素材料の量が
前記範囲外の場合には、充分な静電容量が得られず、好
ましくない。また、導電補助剤としてはカーボンブラッ
ク等の炭素微粉末が好適に用いられ、有機バインダとし
てはフッ素樹脂系のものが好適に使用される。
【００１８】 シート状成形体（分極性電極）は、例え
ば、特公平７−４４１２７号公報記載の方法や特公平７
−１０５３１６号公報記載の方法をはじめとして、当業
者が、周知の方法を用いて製造したものが使用可能であ
る。また、本発明者らは、先に特願平１０−３３０２１
４号において開示した製造方法により製造されたシート
状成形体も、高密度、高強度の点から特に好適に使用さ
れる。
【００１９】 集電体と分極性電極との間に形成される
導電層は、主に有機接着剤と導電性フィラーとから構成
される。ここで、有機接着剤としては、フッ素系樹脂、
シリコン系樹脂、アクリル系樹脂、ゴム系粘着剤、樹脂
系粘着剤等の種々の樹脂材料を用いることができ、これ
らの樹脂を溶解或いは分散させた溶液型やエマルジョン
型、ホットメルト型等の種々の形態のものを用いて接着
に供することが可能である。
【００２０】 一方、導電性フィラーとしては、導電性
を有する炭素系材料、金属系材料、酸化物系材料のいず
れをも用いることができるが、分極性電極が、主として
静電容量の発現に寄与する炭素材料で構成されている場
合には、炭素系材料を用いることが好ましく、特に黒鉛
を用いることが好ましい。なお、その他の導電性フィラ
ーの形態としては、粒子状、造粒粒子状、偏平状、ファ
イバー状等が挙げられる。
【００２１】 さて、本発明においては、導電性フィラ
ーの粒径をｄ、接着層厚さをｔとしたときに、少なくと
も一部の導電性フィラーが、０．２ｔ≦ｄ≦３ｔの関係
を満たしている導電層、より好ましくは０．５ｔ≦ｄ≦
２ｔの関係を満たしている導電層を形成する。図４は、
このような条件を満足する電極体の構造を模式的に示す
断面図である。ここで、接着層厚さｔは、集電体５４と
有機接着剤との平均的な境界線と、分極性電極５３と有
機接着剤との平均的な境界線までの距離をいう。また、
導電性フィラーの粒径ｄとは平均粒径の値を指し、導電
性フィラーがファイバー状の場合には、ファイバー径が
この粒径ｄに相当する。
【００２２】 電極体５０においては、導電性フィラー
５１の粒径ｄが０．２ｔ〜３ｔの範囲内にあって大きい
ために、接着層５２中での導電性フィラー５１どうしの
接触回数が少なくなり、接着層５２を貫通した導電性フ
ィラー５１を介して、直接に分極性電極５３と集電体５
４とが電気的に、また構造的に接触した構造を有する。
このような導電性フィラー５１の存在によって、分極性
電極５３と集電体５４との間の導電性が向上するため
に、有機接着剤に添加する導電性フィラー５１の量を低
減することができ、しかも接着性の向上も同時に図ら
れ、信頼性の確保が図られる。また、接着時に適度の加
圧で分極性電極５３と集電体５４を固定することができ
るため、作業性の向上も図られる。なお、有機接着剤に
は、導電性フィラー５１とは別に、例えば０．２ｔ以下
の小さい粒径を有する導電性フィラー（導電性添加物）
や分極性電極の構成材料である活性炭或いはカーボンブ
ラックを、接着性を低下させない範囲で添加することも
好ましい。
【００２３】 ところで、図４に示したような導電性フ
ィラー５１が接着層５２を一部貫通するような構造を有
する導電層については、導電性フィラー５１が分布する
幅（図４における上下方向の幅、即ち、分極性電極５３
と集電体５４との積層方向での分布幅）の概略の平均値
を導電層の厚さｗと定義したとき、その厚さｗを１〜１
００μｍの範囲とすることが好ましい。導電層の厚さｗ
が１μｍより薄いと接着力が弱くなり、一方、１００μ
ｍより厚いと体積当たりの静電容量密度が低くなるため
に、好ましくないためである。このような観点から、接
着力と静電容量密度をバランス良く確保するには、導電
層の厚さｗを、５〜６０μｍの範囲とすることが、より
好ましい。
【００２４】 次に、上述した電極体の製造方法につい
て説明する。１つの製造方法は、集電体の表面に、導電
性フィラーと有機接着剤とから成る粘着層を種々の方法
によって形成し、形成した粘着層を挟んで集電体と分極
性電極とを加圧し、また必要に応じて加熱しながら貼着
することによって導電層を形成し、電極体を作製するも
のである。
【００２５】 例えば、先ず、アルミ箔のような箔状の
集電体の片面或いは両面に、導電性フィラー並びに有機
接着剤と溶媒からなる溶液をスプレー塗布した後、溶媒
を蒸発等させて除去し、粘着層を形成する。次に、得ら
れた粘着層を挟み込むように集電体の片面或いは両面に
分極性電極を積層し、一軸プレスやロールプレスで貼着
・接合することで、前述した導電性フィラーの粒径ｄと
接着層厚さｔとの関係を満足した導電層の形成された電
極体を得ることができる。
【００２６】 また、次のような方法を用いることも好
ましい。即ち、先ず、有機接着剤と溶媒並びに粒径ｄ1
を有する導電性フィラーとからなるスラリーを作製し、
ドクターブレード法等を用いて、アルミ箔のような箔状
の集電体の片面或いは両面にスラリーをコーティング
し、厚さｔ1の粘着層を形成する。ここで、スラリーに
添加されている導電性フィラーの粒径ｄ1は、粘着層の
厚さｔ1の０．２倍以下となるように、予め粘着層の成
形条件を定めておく。次に、粘着層上に、粒径ｄの別の
導電性フィラーを散布、付着させて予備接着層を形成
し、この予備接着層を挟み込むように、集電体の片面或
いは両面に分極性電極を積層して、一軸プレスやロール
プレスで貼着・接合する。こうして、粒径ｄの導電性フ
ィラーの少なくとも一部が、前述した導電性フィラーの
粒径ｄと接着層厚さｔとの関係を満足した導電層の形成
された電極体を得ることもできる。
【００２７】 更に、導電性フィラーを含むシート状成
形体を、ドクターブレード法や押出成形法等の種々の方
法で予め作製し、集電体、シート状成形体、分極性電極
の順で、加熱、加圧等の手段を用いて接合し、電極体を
作製することも可能である。この場合、形成された導電
層において、少なくとも一部の導電性フィラーの粒径ｄ
と接着層厚さｔとの間に所定の関係が満たされるよう
に、加熱条件や加圧条件を制御することが好ましい。
【００２８】 なお、有機接着剤の塗布方法、つまり粘
着層の形成方法は、上述したスプレー法、ドクターブレ
ード法に限定されず、スクリーン印刷法、ロールコータ
ー法、刷毛塗り等の他の方法を用いることもできる。
【００２９】
【実施例】 以下、本発明を更に実施例により詳細に説
明するが、これらの実施例が本発明を限定するものでな
いことはいうまでもない。１０ｇの活性炭と１．２ｇの
カーボンブラックとからなる炭素材料粉末に、０．５ｇ
のポリテトラフルオロエチレンを、１９℃で約１時間か
けて混和した後、４０℃以上に加熱しつつ、剪断力を加
えながら乳鉢中で約２０分程度混練し、得られた混練物
を厚さ約３０μｍのアルミニウムシート上にできるだけ
均一に広げ、更に同じ厚さのアルミニウムシートで覆っ
て挟み込み、ローラーを通すことにより厚さ約２ｍｍの
分極性電極の一次成形体を得た。次いで、得られた一次
成形体をローラー等で５回ロールプレスすることによ
り、厚さ約０．５ｍｍの分極性電極シート（以下、「電
極シート」という。）とした。この電極シートを所望の
大きさに裁断して、目的とする電気二重層コンデンサ用
分極性電極とした。
【００３０】 次に、厚さ５０μｍのアルミ箔の片面
に、導電性フィラーとして粒径が３μｍの黒鉛粉末並び
にシリコン樹脂と溶剤から成る導電性有機接着剤を塗布
し、１２０℃で乾燥させて、粘着層を形成した。乾燥後
の粘着層の厚さは約１７μｍであった。そして、表面に
導電性フィラーと同じ材質で平均粒径が２０μｍの黒鉛
粉末を、ほぼ一層となるように粘着層上に付着させ、予
備接着層を形成した。
【００３１】 このような予備接着層が形成された集電
体を２個用意し、予備接着層が分極性電極と接合される
ように、面積２．８ｃｍ2の分極性電極を挟み込み、面
圧２ｋｇ／ｃｍ2でプレスにより圧着させた後、１５０
℃で乾燥させ、抵抗測定試料（実施例１）を作製した。
なお、上述した電極体（抵抗測定試料）の製造方法は、
発明者らが先に、特願平１０−３３０２１４号の製造例
１において開示した方法と同様である。
【００３２】 上述した実施例１の作製方法と同様にし
て、但し、粘着層上に平均粒径２０μｍの導電性フィラ
ーを付着させず、実施例１と同様の構造を有する抵抗測
定試料（比較例１）を作製した。そして、実施例１及び
比較例１の電気抵抗を、電極圧縮治具を用いて２ｋｇｆ
／ｃｍ2の荷重下で測定した。また、電気抵抗測定後
に、試料の一部を切断して断面を観察し、接着層厚みを
調べた。その結果を表１に示す。粒径の大きい導電性フ
ィラーを用いた実施例１で、比較例１と比べて電気抵抗
が極めて小さくなっていることが確認された。
【００３３】
【表１】
【００３４】 次に、粘着層表面に付着させる導電性フ
ィラーの粒径を３μｍ、５μｍ、１０μｍ、４０μｍ、
６０μｍ、１００μｍと種々に変えて、前記実施例１と
同様にして抵抗測定試料を作製し、電気抵抗の測定に供
した。また、抵抗測定後に、試料の一部を切断して断面
を観察し、接着層厚みを調べた。測定結果を表２に示
す。
【００３５】
【表２】
【００３６】 表２から、粘着層上に付着させた導電性
フィラーの粒径が３μｍ（比較例２）の場合並びに１０
０μｍ（比較例３）の場合には、前述した比較例１とほ
ぼ同等か、或いは少し小さくなる程度の大きな電気抵抗
を有しており、導電性フィラー付着による電気抵抗の低
減効果が顕著には現れなかった。一方、粒径が５〜６０
μｍの導電性フィラーを含む試料（実施例２〜５）で
は、集電体間の電気抵抗が良好に低減されることが明ら
かとなった。なお、上記実施例１〜５及び比較例１〜３
について、粘着層上に付着させた導電性フィラーの粒径
と、得られた接着層厚さとの関係から電気抵抗値を比較
すると、接着層厚さの０．２倍〜３倍の範囲の粒径を有
するの導電性フィラーを用いることが好ましいことがわ
かる。
【００３７】 次に、前述した実施例２〜５及び比較例
２・３と同様の作製条件により、図５の断面図に示すよ
うな、２枚の集電体５４の余白部分を、左右反対方向に
形成した試料５５を作製し、それぞれの集電体５４の余
白部分を互いに反対方向に引っ張ることにより、接着層
５２の接着性を、分極性電極５３の部分で破壊される場
合を「良」とし、接着層５２の部分で剥離する場合を
「不良」として、判定した。結果は表２に併記した通
り、実施例２〜５の試料で分極性電極５３が破壊される
良好な接着性が得られたが、比較例２・３では接着層５
２での剥離が起こり、抵抗低減の効果のみならず、接着
性の向上もまた図られていないことが確認された。
【００３８】
【発明の効果】 上述の通り、本発明によれば、電極体
における集電体と分極性電極との間に形成される導電層
の接着性を低下させることなく、低抵抗化が図られるた
めに、充放電特性、信頼性に優れた電気二重層コンデン
サを作製することが可能となるという顕著な効果が得ら
れる。また、電極体の製造が容易であることから、生産
性の向上が図られ、個々の電気二重層コンデンサの特性
バラツキが抑えられて品質が安定するといった優れた効
果をも奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 単電極セルの構造の一例を示す斜視図であ
る。
【図２】 単キャパシタセルの構造の一例を示す斜視図
である。
【図３】 捲回型電気二重層コンデンサの構造の一例を
示す斜視図である。
【図４】 本発明の電気二重層コンデンサに好適に用い
られる電極体の構造を模式的に示す断面図である。
【図５】 引張試験用試料の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
１０…単電極セル、１２…単キャパシタセル、２２・２
４…集電体、２６…分極性電極、２８…セパレータ、３
０・３２…電極取り出し部、５０…電極体、５１…導電
性フィラー、５２…接着層、５３…分極性電極、５４…
集電体、５５…引張試験試料、７０…捲回型電気二重層
コンデンサ、７２…正極シート、７４…負極シート、７
６…捲回体、７８…ケース、８０…電極端子、８２…封
口板。

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 集電体と分極性電極の間に導電層が形成
    された電極体を用いてなる電気二重層コンデンサであっ
    て、 当該導電層は有機接着剤と導電性フィラーとからなり、
    当該導電性フィラーの粒径をｄ、接着層厚さをｔとした
    ときに、少なくとも一部の当該導電性フィラーが０．２
    ｔ≦ｄ≦３ｔの関係を満たしていることを特徴とする電
    気二重層コンデンサ。
  2. 【請求項２】 少なくとも一部の当該導電性フィラーが
    ０．５ｔ≦ｄ≦２ｔの関係を満たしていることを特徴と
    する請求項１記載の電気二重層コンデンサ。
  3. 【請求項３】 前記導電層の厚さが１〜１００μｍの範
    囲にあることを特徴とする請求項１又は２記載の電気二
    重層コンデンサ。
  4. 【請求項４】 前記導電層の厚さが５〜６０μｍの範囲
    にあることを特徴とする請求項３記載の電気二重層コン
    デンサ。
  5. 【請求項５】 前記導電性フィラーが炭素系材料である
    ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の
    電気二重層コンデンサ。
  6. 【請求項６】 集電体と分極性電極の間に導電層が形成
    された電極体を用いてなる電気二重層コンデンサの製造
    方法であって、 当該集電体の表面に、導電性フィラーと有機接着剤とか
    ら成る粘着層を形成した後、当該粘着層を挟んで当該集
    電体と当該分極性電極を加圧して、当該導電性フィラー
    の粒径をｄ、接着層厚さをｔとして、少なくとも一部の
    当該導電性フィラーが０．２ｔ≦ｄ≦３ｔの関係を満た
    している当該導電層を形成して、当該電極体を製造する
    工程を含むことを特徴とする電気二重層コンデンサの製
    造方法。
  7. 【請求項７】 集電体と分極性電極の間に導電層が形成
    された電極体を用いてなる電気二重層コンデンサの製造
    方法であって、 当該集電体の表面に、有機接着剤と、粒径ｄ1が０．２
    ｔ1以下である導電性フィラーとからなる厚さｔ1の粘着
    層を形成した後、 当該粘着層上に、粒径ｄの別の導電性フィラーを付着さ
    せて予備接着層を形成し、 当該予備接着層を挟んで当該集電体と当該分極性電極と
    を加圧して、少なくとも一部の当該別の導電性フィラー
    が、接着層厚さをｔとしたときに０．２ｔ≦ｄ≦３ｔの
    関係を満たしている当該導電層を形成することにより、
    当該電極体を製造する工程を含むことを特徴とする電気
    二重層コンデンサの製造方法。
  8. 【請求項８】 少なくとも一部の当該別の導電性フィラ
    ーが０．５ｔ≦ｄ≦２ｔの関係を満たしていることを特
    徴とする請求項６又は７記載の電気二重層コンデンサの
    製造方法。
  9. 【請求項９】 前記導電層の厚さが１〜１００μｍの範
    囲にあることを特徴とする請求項６〜８のいずれか一項
    に記載の電気二重層コンデンサの製造方法。
  10. 【請求項１０】 前記導電層の厚さが５〜６０μｍの範
    囲にあることを特徴とする請求項９記載の電気二重層コ
    ンデンサの製造方法。
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