JP2000281435A - Dielectric composition and ceramic capacitor - Google Patents
Dielectric composition and ceramic capacitorInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、誘電体組成物及び
これを用いたセラミックコンデンサに関し、さらに詳し
くは、焼成時の耐還元性に優れ、高誘電率及び低歪み率
を示すとともに、容量温度特性に優れた誘電体組成物、
並びに高絶縁抵抗、高容量及び低歪み特性を有し容量温
度特性が平坦であり内部電極に卑金属を用いることがで
きるセラミックコンデンサに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dielectric composition and a ceramic capacitor using the same, and more particularly to a dielectric composition having excellent reduction resistance during firing, a high dielectric constant and a low distortion rate, and a capacitance temperature. A dielectric composition with excellent properties,
Also, the present invention relates to a ceramic capacitor having high insulation resistance, high capacitance, low distortion characteristics, flat capacitance-temperature characteristics, and capable of using a base metal for an internal electrode.
【0002】[0002]
【従来の技術】セラミックコンデンサ等に用いられる誘
電体組成物としては、チタン酸バリウム(BaTiO
3 )を主成分とした高誘電率のものが知られている
が、強誘電体であるが故に電圧の非線形特性が強く、歪
み率が−50dB〜−70dBと大きい。このため、カ
ップリング回路用コンデンサ、音響回路用コンデンサあ
るいは画像処理回路用コンデンサといった低歪み率が要
求されるコンデンサには、BaTiO3 系のコンデン
サは使用できず、専らフィルムコンデンサや電解コンデ
ンサ等が用いられているが、こうしたフィルムコンデン
サや電解コンデンサは小型化が困難であり、また表面実
装性に問題がある。2. Description of the Related Art As a dielectric composition used for a ceramic capacitor or the like, barium titanate (BaTiO.sub.3) is used.
3 ) A substance having a high dielectric constant mainly composed of 3 ) is known. However, since it is a ferroelectric substance, the nonlinear characteristic of voltage is strong, and the distortion rate is as large as -50 dB to -70 dB. For this reason, a capacitor requiring a low distortion rate such as a capacitor for a coupling circuit, a capacitor for an acoustic circuit, or a capacitor for an image processing circuit cannot use a BaTiO 3 -based capacitor, and exclusively uses a film capacitor or an electrolytic capacitor. However, it is difficult to miniaturize such film capacitors and electrolytic capacitors, and there is a problem in surface mountability.
【0003】一方、セラミックコンデンサの中でも、ジ
ルコン酸カルシウム(CaZrO3 )、ジルコン酸スト
ロンチウム(SrZrO3 )、チタン酸カルシウム
(CaTiO3 )、チタン酸ストロンチウム(SrT
iO3 )、ジルコン酸ストロンチウムカルシウム(C
aSrZrO3 )、チタン酸ネオジム(NdTiO
3 )といった常誘電体により構成されたものは、歪み
率が低いのでカップリング回路や音響回路等に用いるこ
とができるが、常誘電体であるが故に比誘電率εが30
〜200と低く、高容量のコンデンサを得ることが困難
である。On the other hand, among ceramic capacitors,
Calcium ruconate (CaZrO)3 ), Zirconate strike
Rontium (SrZrO3), Calcium titanate
(CaTiO3), Strontium titanate (SrT
iO3), Strontium calcium zirconate (C
aSrZrO3), Neodymium titanate (NdTiO)
3) Is composed of a paraelectric
Because of its low efficiency, it can be used for coupling circuits and acoustic circuits.
However, the relative dielectric constant ε is 30
It is difficult to obtain a high-capacity capacitor as low as ~ 200
It is.
【0004】そこで、高誘電率及び低歪み率の両方を示
す誘電体組成物として、SrTiO 3 、チタン酸ビス
マス(Bi2 TiO3 )、CaTiO3 、チタン
酸鉛(PbTiO3 )を主成分としたものが提案され
ている(例えば、特開平3−97,669号公報参
照)。Therefore, both high dielectric constant and low distortion are shown.
SrTiO as a dielectric composition 3, Bis titanate
Trout (Bi2TiO3), CaTiO3,Titanium
Lead acid (PbTiO3) As the main component has been proposed
(See, for example, JP-A-3-97,669).
See).
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、セラミック
コンデンサの内部電極には、白金(Pt)、金(Au)
又は銀(Ag)等の貴金属が用いられているが、コスト
の点からはニッケル(Ni)等の卑金属を用いることが
望ましい。By the way, platinum (Pt) and gold (Au) are applied to the internal electrodes of the ceramic capacitor.
Alternatively, a noble metal such as silver (Ag) is used, but it is preferable to use a base metal such as nickel (Ni) from the viewpoint of cost.
【0006】上述した誘電体組成物は、蒸気圧が低いビ
スマス(Bi)や鉛(Pb)を含んでいるため、還元雰
囲気で焼成するとこれらが蒸発してしまう。従って、酸
化雰囲気での焼成が前提となるが、酸化雰囲気で焼成す
ると内部電極に低コストの卑金属、例えば、Niを用い
た場合にNiが酸化されてしまい、結局、内部電極には
Pt、Au又はAg等の貴金属を用いるほかなかった。
また、SrTiO3やCaTiO3 は誘電率が250
以下程度と低いものである。[0006] Since the above-mentioned dielectric composition contains bismuth (Bi) and lead (Pb) having low vapor pressures, they are evaporated when fired in a reducing atmosphere. Therefore, firing in an oxidizing atmosphere is a prerequisite, but firing in an oxidizing atmosphere oxidizes Ni when a low-cost base metal, for example, Ni is used for the internal electrodes, and eventually, Pt and Au are applied to the internal electrodes. Or noble metal such as Ag was used.
SrTiO 3 and CaTiO 3 have a dielectric constant of 250.
It is as low as below.
【0007】本発明は、このような従来技術の問題点に
鑑みてなされたものであり、焼成時の耐還元性に優れ、
高誘電率及び低歪み率を示すとともに、容量温度特性に
優れた誘電体組成物、並びに高絶縁抵抗、高容量及び低
歪み特性を有し容量温度特性が平坦であり内部電極に卑
金属を用いることができるセラミックコンデンサを提供
することを目的とする。[0007] The present invention has been made in view of such problems of the prior art, and has excellent reduction resistance during firing.
A dielectric composition that exhibits high dielectric constant and low distortion rate and has excellent capacitance-temperature characteristics, and that a base metal is used for the internal electrodes with high insulation resistance, high capacitance and low distortion characteristics, flat capacitance-temperature characteristics, It is an object of the present invention to provide a ceramic capacitor which can be used.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】(1)誘電率が大きくて
歪み率が小さく、しかも温度に対する容量変化率も小さ
い(以下、「容量温度特性が平坦である」ともいう場合
がある。)、バランスのとれた誘電体組成物を得るため
に、本発明者らは鋭意研究を行った結果、以下の知見を
得た。Means for Solving the Problems (1) The dielectric constant is large, the distortion rate is small, and the capacitance change rate with respect to temperature is also small (hereinafter, sometimes referred to as "the capacitance-temperature characteristics are flat"). The present inventors have conducted intensive studies in order to obtain a well-balanced dielectric composition, and have obtained the following findings.
【0009】まず、歪み率は、誘電率の電界依存性及び
非線形特性(即ち、強誘電性)に依存するが、これを抑
制するための方策としては、誘電率の線形性を向上させ
たり結晶異方性を低減させたりすることで強誘電性を低
減したり、常誘電相を利用することが有効であると考え
られる。但し、強誘電性を低減すると誘電率が低下する
ので、これらのバランスが重要となる。また、常誘電体
は負の容量温度特性を示し、強誘電体は正の容量温度特
性を示すので、容量温度特性についても、強誘電体と常
誘電体とのバランスが重要となる。First, the strain rate depends on the electric field dependence of the dielectric constant and the non-linear characteristic (ie, ferroelectricity). As a measure for suppressing this, the linearity of the dielectric constant can be improved or the crystallinity can be improved. It is considered effective to reduce ferroelectricity by reducing anisotropy or to use a paraelectric phase. However, reducing the ferroelectricity lowers the dielectric constant, so that a balance between these is important. In addition, since a paraelectric has a negative capacitance-temperature characteristic and a ferroelectric has a positive capacitance-temperature characteristic, the balance between the ferroelectric and the paraelectric is important for the capacitance-temperature characteristic.
【0010】こうした誘電率、歪み率及び容量温度特性
のバランスは、チタン酸バリウム(BaTiO3 )、
ジルコン酸ストロンチウム(SrZrO3 )及びジル
コン酸カルシウム(CaZrO3 )の組成モル比を制
御することで好適なものとなる。本発明では、常誘電体
であるCaZrO3 及びSrZrO3 に、強誘電体
であるBaTiO3 を添加することで、常誘電相及び
強誘電相のバランスを図り、誘電率が大きく、歪み率が
小さく、しかも容量温度特性が平坦である誘電体組成物
を得ることができる。The balance between the dielectric constant, the strain rate, and the capacitance-temperature characteristic is determined by using barium titanate (BaTiO 3 ),
It becomes suitable by controlling the composition molar ratio of strontium zirconate (SrZrO 3 ) and calcium zirconate (CaZrO 3 ). In the present invention, the paraelectric phase and the ferroelectric phase are balanced by adding BaTiO 3 which is a ferroelectric substance to CaZrO 3 and SrZrO 3 which are paraelectric substances, so that the dielectric constant is large and the distortion rate is small. In addition, a dielectric composition having a flat capacitance-temperature characteristic can be obtained.
【0011】即ち、BaTiO3 の組成モル比が増加
すると、誘電率は大きくなるものの温度に対する容量変
化率も大きくなる傾向がある。これに対して、SrZr
O3 の組成モル比が増加すると、誘電率が小さくなる。
また、CaZrO3 の組成モル比が増加すると、歪み
率が大きくなる傾向にある。また、CaZrO3とSr
ZrO3 とを比べると、SrZrO3 の組成モル比
が増加すると、歪み率が小さくなるものの温度に対する
容量変化率が大きくなる傾向がある。これに対して、C
aZrO3 の組成モル比が増加すると、温度に対する
容量変化率は小さくなるものの歪み率が大きくなる傾向
がある。That is, BaTiO3Composition molar ratio increased
Then, the dielectric constant increases, but the capacitance changes with temperature.
The conversion rate also tends to increase. On the other hand, SrZr
O3 As the composition molar ratio increases, the dielectric constant decreases.
In addition, CaZrO3When the composition molar ratio of
The rate tends to increase. In addition, CaZrO3And Sr
ZrO3And SrZrO3Composition molar ratio of
Increases, the strain rate decreases, but
The capacity change rate tends to increase. In contrast, C
aZrO3When the composition molar ratio of
The rate of change in capacitance tends to decrease but the rate of distortion increases
There is.
【0012】(2)こうした知見に基づき、第1の観点
による発明は、少なくともBaTiO3 、SrZrO
3 及びCaZrO3 を含有する「誘電体組成物」で
あって、少なくともこれら3つの組成モル比について、
BaTiO3 の組成モル比(X)が、0.5≦X≦
0.675(0.5以上0.675以下)、SrZrO
3 の組成モル比(Y)が、0.1<Y≦0.4(0.
1より大きく0.4以下)、CaZrO3 の組成モル
比(Z)が、0.075≦Z<0.25(0.075≦
0.25より小さい)であり、かつ、X+Y+Z=1で
あることを特徴とする(図1の斜線部分。但し、図1に
おいてY=0.1の線上及びZ=0.25の境界線上は
含まない)。(2) Based on these findings, the invention according to the first aspect provides at least BaTiO 3 , SrZrO
3 and a “dielectric composition” containing CaZrO 3 , wherein at least these three molar ratios are:
When the composition molar ratio (X) of BaTiO 3 is 0.5 ≦ X ≦
0.675 (0.5 or more and 0.675 or less), SrZrO
3 has a composition molar ratio (Y) of 0.1 <Y ≦ 0.4 (0.
1 and 0.4 or less), and the composition molar ratio (Z) of CaZrO 3 is 0.075 ≦ Z <0.25 (0.075 ≦
(Smaller than 0.25) and X + Y + Z = 1 (the hatched portion in FIG. 1; however, in FIG. 1, the line on Y = 0.1 and the boundary on Z = 0.25 are Not included).
【0013】常誘電体であるSrZrO3 及びCaZ
rO3 に、強誘電体であるBaTiO3 を添加する
ことで、常誘電相及び強誘電相のバランスを図り、誘電
率が大きくて歪み率が小さく、しかも容量温度特性が平
坦である誘電体組成物を得ることができる。なお、本発
明において、誘電率が大きいといえるためには、例え
ば、比誘電率εが、好ましくは350以上、より好まし
くは400以上である。また、歪み率が小さいといえる
ためには、例えば、第三次高調波歪み率(THD)が、
好ましくは−70dB以下、より好ましくは−75dB
以下である。さらに、容量温度特性が平坦である(温度
に対する容量変化率も小さい)といえるためには、例え
ば、温度に対する静電容量の変化率が、少なくとも−3
0°C〜+85°Cの温度範囲において、基準温度を2
5°Cとした場合、好ましくは±15%以内、より好ま
しくは±10%以内である。SrZrO 3 and CaZ as paraelectrics
By adding BaTiO 3 , which is a ferroelectric substance, to rO 3 , a dielectric composition that achieves a balance between the paraelectric phase and the ferroelectric phase, has a large dielectric constant, a small distortion rate, and has a flat capacitance-temperature characteristic. You can get things. In the present invention, in order to say that the dielectric constant is large, for example, the relative dielectric constant ε is preferably 350 or more, more preferably 400 or more. In order to say that the distortion rate is small, for example, the third harmonic distortion rate (THD) is
Preferably -70 dB or less, more preferably -75 dB
It is as follows. Furthermore, in order to say that the capacitance-temperature characteristics are flat (the capacitance change rate with respect to temperature is small), for example, the capacitance change rate with respect to temperature is at least -3.
In the temperature range of 0 ° C to + 85 ° C, the reference temperature is 2
When the temperature is set to 5 ° C., it is preferably within ± 15%, more preferably within ± 10%.
【0014】即ち、BaTiO3 の組成モル比(X)
が大きいと、誘電率は大きくなるものの温度に対する容
量変化率が大きくなる(温度特性が悪化する)傾向にあ
り、小さいと誘電率が小さくなる傾向にある。また、S
rZrO3 の組成モル比(Y)が大きいと、誘電率が
小さくなる傾向にある。さらに、CaZrO3 の組成
モル比(Z)が大きいと、歪み率が大きくなる傾向にあ
り、小さいと温度に対する容量変化率が大きくなる傾向
にある。従って、誘電率、歪み率及び容量温度特性のバ
ランスをとるためには、0.525≦X≦0.675
(Xは0.525以上0.675以下)、0.125≦
Y≦0.375(Yは0.125以上0.375以
下)、及び0.075≦Z≦0.225(Zは0.07
5以上0.225以下)であり、かつX+Y+Z=1で
あることが好ましく、0.525≦X≦0.65(Xは
0.525以上0.65以下)、0.15≦Y≦0.3
5(Yは0.15以上0.35以下)、及び0.1≦Z
≦0.2(Zは0.1以上0.2以下)であり、かつX
+Y+Z=1であることがより好ましい。That is, the composition molar ratio of BaTiO 3 (X)
Is large, the dielectric constant increases, but the rate of change in capacitance with respect to temperature tends to increase (temperature characteristics deteriorate). If it is low, the dielectric constant tends to decrease. Also, S
When the composition molar ratio (Y) of rZrO 3 is large, the dielectric constant tends to decrease. Further, when the composition molar ratio (Z) of CaZrO 3 is large, the strain rate tends to increase, and when the composition molar ratio (Z) is small, the capacity change rate with respect to temperature tends to increase. Therefore, in order to balance the dielectric constant, the distortion factor, and the capacitance temperature characteristic, 0.525 ≦ X ≦ 0.675
(X is 0.525 or more and 0.675 or less), 0.125 ≦
Y ≦ 0.375 (Y is 0.125 or more and 0.375 or less) and 0.075 ≦ Z ≦ 0.225 (Z is 0.07
5 to 0.225) and X + Y + Z = 1, preferably 0.525 ≦ X ≦ 0.65 (X is 0.525 to 0.65) and 0.15 ≦ Y ≦ 0. 3
5 (Y is 0.15 or more and 0.35 or less), and 0.1 ≦ Z
≦ 0.2 (Z is 0.1 or more and 0.2 or less), and X
More preferably, + Y + Z = 1.
【0015】(3)また、第2の観点による発明は、少
なくともBaTiO3 、SrZrO3 及びCaZr
O3 を含有する誘電体組成物であって、カルシウム
(Ca)、ストロンチウム(Sr)及びジルコニウム
(Zr)が少なくとも一部に固溶されたBaTiO3
からなる粒子と、この粒子を囲むSrZrO3 及びC
aZrO3 、又は、これらの固溶体((SrCa)Z
rO3 )からなる粒子と、を有することを特徴とす
る。(3) The invention according to the second aspect is characterized in that at least BaTiO 3 , SrZrO 3 and CaZr
A dielectric composition containing O 3 , wherein BaTiO 3 in which calcium (Ca), strontium (Sr), and zirconium (Zr) are at least partially dissolved.
And SrZrO 3 and C surrounding the particles
aZrO 3 or a solid solution thereof ((SrCa) Z
rO 3 ).
【0016】強誘電体であるBaTiO3 を、常誘電
体であるSrZrO3 及びCaZrO3 、又は、こ
れらの固溶体((SrCa)ZrO3 )で囲んだ構造
とすることで、常誘電相及び強誘電相のバランスを図
り、誘電率が大きく、歪み率が小さく、しかも容量温度
特性が平坦である誘電体組成物を得ることができる。By forming a structure in which BaTiO 3 , which is a ferroelectric, is surrounded by SrZrO 3 and CaZrO 3 , which are paraelectrics, or a solid solution thereof ((SrCa) ZrO 3 ), the paraelectric phase and the ferroelectric It is possible to obtain a dielectric composition that balances phases, has a large dielectric constant, a small distortion rate, and has a flat capacitance-temperature characteristic.
【0017】即ち、歪み率の大きい強誘電相(ドメイン
構造有り)と、歪み率の小さい常誘電相(ドメイン構造
無し)の混合組織(粒子間レベル及び粒子内レベル)に
よって、印加電圧の大半は比誘電率(ε)の小さい常誘
電相に掛かり、歪み率の大きい強誘電相に負荷される電
圧が軽減されるため、全体として歪み率が小さくなるも
のと考えられる。That is, most of the applied voltage depends on a mixed structure (inter-particle level and intra-particle level) of a ferroelectric phase (having a domain structure) having a high strain rate and a paraelectric phase (having no domain structure) having a low strain rate. It is considered that the voltage applied to the ferroelectric phase having a high strain rate is reduced because the voltage applied to the paraelectric phase having a low relative dielectric constant (ε) is reduced, and thus the strain rate is reduced as a whole.
【0018】前記BaTiO3 からなる粒子中に存在
するCa、Sr及びZrは、少なくとも該粒子の一部に
固溶されていればよい。例えば、前記BaTiO3 か
らなる粒子は、Ca、Sr及びZrが低濃度で拡散さ
れており、ほぼ純粋なBaTiO3 からなるドメイン
構造を示す領域を有する部分と、Ca、Sr及びZrが
高濃度で拡散されており、ドメイン構造を示す領域を有
しない部分とから構成されており、かつ、前記ドメイン
構造を示す領域を有する部分から前記ドメイン構造を示
す領域を有しない部分に向かって、Ca、Sr及びZr
の濃度分布が漸次増加していく濃度勾配を有する構造
(図5(A)参照)であっても、ドメイン構造を示す
領域を有する部分とドメイン構造を示す領域を有しない
部分とが隣接した構造(図5(B)参照)であっても良
いが、好ましくは(図5(A)参照)である。のよ
うな構造のBaTiO3 からなる粒子を、SrZrO
3及びCaZrO3 、又は、これらの固溶体((Sr
Ca)ZrO3 )からなる粒子で囲んで構成される構
造の粒子を有する誘電体組成物によれば、誘電率、歪み
率及び容量温度特性のバランスを一層優れたものとする
ことができる。The Ca, Sr and Zr present in the BaTiO 3 particles need only be dissolved in at least a part of the particles. For example, in the particles made of BaTiO 3 , Ca, Sr and Zr are diffused at a low concentration, and a portion having a region showing a domain structure of almost pure BaTiO 3 and a portion having a high concentration of Ca, Sr and Zr are provided. A portion which is diffused and does not have a domain structure-indicating region, and comprises Ca, Sr from a portion having the domain structure-indicating region to a portion not having the domain structure-indicating region. And Zr
Even if the structure has a concentration gradient in which the concentration distribution gradually increases (see FIG. 5A), a structure having a region having a domain structure and a structure having no region having a domain structure are adjacent to each other. (See FIG. 5B), but preferably (see FIG. 5A). Particles made of BaTiO 3 having a structure like
3 and CaZrO 3 , or a solid solution thereof ((Sr
According to the dielectric composition having particles structured to be surrounded by particles composed of Ca) ZrO 3 ), the balance between the dielectric constant, the strain rate, and the capacitance-temperature characteristic can be further improved.
【0019】(4)上述した第1及び第2の観点による
発明において、前記BaTiO3の平均粒径が1.0μ
m以下であることが好ましい。平均粒径が1.0μm以
下であるBaTiO3 を用いることで、常誘電相及び
強誘電相のバランスが一層顕著に図られ、誘電率が大き
くて歪み率が小さく、しかも容量温度特性が平坦である
誘電体組成物を容易に得ることができる。(4) In the invention according to the first and second aspects described above, the average particle diameter of the BaTiO 3 is 1.0 μm.
m or less. By using BaTiO 3 having an average particle diameter of 1.0 μm or less, the balance between the paraelectric phase and the ferroelectric phase is more remarkably achieved, the dielectric constant is large, the distortion is small, and the capacitance-temperature characteristic is flat. A certain dielectric composition can be easily obtained.
【0020】即ち、BaTiO3 平均粒径が余りに大
きくなると、歪み率が大きくなる傾向がある。従って、
誘電率、歪み率及び容量温度特性のバランスを一層高度
にとるためには、平均粒径が0.7μm以下であること
がより好ましく、0.5μm以下であることが最も好ま
しい。なお、平均粒径の下限は、本発明の目的を達成で
きる範囲で適宜決定され、通常、0.1μmである。That is, if the average particle diameter of BaTiO 3 is too large, the strain rate tends to increase. Therefore,
In order to further balance the dielectric constant, the strain rate, and the capacitance-temperature characteristic, the average particle diameter is more preferably 0.7 μm or less, and most preferably 0.5 μm or less. The lower limit of the average particle size is appropriately determined within a range in which the object of the present invention can be achieved, and is usually 0.1 μm.
【0021】(5)上述した第1及び第2の観点による
発明においては、種々の添加物を含んでいても良い。こ
の種の添加物としては、Mg、Mn、Cr、Co、Z
n、Alからなる群から選ばれる少なくとも一種の、酸
化物(例えば、酸化マグネシウム(MgO))及び/又
は焼成によりMgの酸化物になる化合物、炭酸塩等の
「耐還元性助剤」を挙げることができ、好ましくはMg
の酸化物(例えば、酸化マグネシウム(MgO))及び
/又は焼成によりMgの酸化物になる化合物であり、よ
り好ましくはMgOである。この耐還元性助剤は、焼結
を促進する効果と絶縁抵抗(IR)を改善する効果を有
するが、添加量が余りに多すぎると比誘電率が低下し、
また、余りに少なすぎると絶縁抵抗が低下するので、そ
の添加量は、BaTiO3、SrZrO3 及びCaZ
rO3 を含有する基本成分100モル%に対して、
0.1〜10モル%の範囲が好ましい。(5) In the invention according to the first and second aspects described above, various additives may be contained. Such additives include Mg, Mn, Cr, Co, Z
At least one oxide selected from the group consisting of n and Al (eg, magnesium oxide (MgO)) and / or a compound that becomes an oxide of Mg upon firing, and a “reduction-resistant auxiliary agent” such as a carbonate. Preferably Mg
(For example, magnesium oxide (MgO)) and / or a compound which becomes an oxide of Mg by firing, more preferably MgO. This reduction-resistant auxiliary has an effect of accelerating sintering and an effect of improving insulation resistance (IR). However, if the addition amount is too large, the relative dielectric constant decreases,
On the other hand, if the amount is too small, the insulation resistance decreases, so that the amount of BaTiO 3 , SrZrO 3 and CaZ
For 100 mol% of the basic component containing rO 3 ,
A range of 0.1 to 10 mol% is preferred.
【0022】また、他の添加物として、酸化珪素(Si
O2 )、酸化アルミニウム(Al 2 O3 )の他、
MO−SiO2 (但し、ここでの「M」はBa、S
r、Ca及びMgからなる群から選ばれる少なくとも1
種以上を示す。)で予め仮焼合成したもの等の「焼結助
剤」を挙げることができ、好ましくはSiO2 又はM
O−SiO2 である。この焼結助剤は、焼結温度を低
下させる作用を有し、焼結を促進する効果と絶縁抵抗を
改善する効果も有する。また、容量温度特性にはあまり
影響を与えない。但し、添加量が余りに多すぎると比誘
電率が低下し、また、余りに少なすぎると焼結性が悪化
するので、その添加量は、BaTiO3、SrZrO
3 及びCaZrO3 を含有する基本成分100モル
%に対して、0.05〜5モル%の範囲が好ましい。Further, as another additive, silicon oxide (Si
O2), Aluminum oxide (Al 2O3),
MO-SiO2(However, "M" here is Ba, S
at least one selected from the group consisting of r, Ca and Mg
Shows more than species. ), Such as those previously calcined and synthesized.
Agent ", preferably SiO 22Or M
O-SiO2It is. This sintering aid lowers the sintering temperature.
And has the effect of promoting sintering and insulation resistance.
It also has the effect of improving. Also, the capacity-temperature characteristics are not very
Has no effect. However, if the amount is too large,
Electricity decreases, and too low results in poor sinterability
Therefore, the addition amount is BaTiO3, SrZrO
3And CaZrO3100 moles of basic components containing
% Is preferably in the range of 0.05 to 5 mol%.
【0023】(6)上述した本発明に係る誘電体組成物
は、内部電極と誘電体層とを有するセラミックコンデン
サの前記誘電体層の材料として好ましく用いられる。(6) The above-described dielectric composition according to the present invention is preferably used as a material for the dielectric layer of a ceramic capacitor having an internal electrode and a dielectric layer.
【0024】この場合、前記内部電極が、ニッケル(N
i)又はNi合金で構成されていることがより好まし
い。本発明に係る誘電体組成物は耐還元性に優れている
ので還元雰囲気中での焼結が可能となり、内部電極とし
てNi又はNi合金を用いることができ、コストダウン
を図ることができる。In this case, the internal electrode is made of nickel (N
More preferably, it is composed of i) or a Ni alloy. Since the dielectric composition according to the present invention is excellent in reduction resistance, sintering in a reducing atmosphere is possible, and Ni or a Ni alloy can be used as an internal electrode, so that the cost can be reduced.
【0025】なお、このセラミックコンデンサの構造等
は特に限定されず、積層型コンデンサの他、単板型コン
デンサも含む趣旨である。The structure and the like of the ceramic capacitor are not particularly limited, and include a single-plate capacitor as well as a multilayer capacitor.
【0026】[0026]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図2は本発明の積層型セラミックコ
ンデンサの実施形態を示す一部破断斜視図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 2 is a partially cutaway perspective view showing an embodiment of the multilayer ceramic capacitor of the present invention.
【0027】まず、積層型セラミックコンデンサの構成
について説明する。本実施形態の積層型セラミックコン
デンサ1は、図2に示すように、内部電極11と誘電体
層12とが交互に積層され、各内部電極に接続している
一対の外部電極13を有する。First, the structure of the multilayer ceramic capacitor will be described. As shown in FIG. 2, the multilayer ceramic capacitor 1 of the present embodiment has a pair of external electrodes 13 in which internal electrodes 11 and dielectric layers 12 are alternately stacked and connected to each internal electrode.
【0028】本実施形態では、内部電極11は、Ni又
はNi合金から形成され、特に限定はされないが、Ni
合金としては、95重量%以上のNiと、マンガン(M
n)、クロム(Cr)、コバルト(Co)、アルミニウ
ム(Al)等の一種以上の合金であることが好ましい。
また、Ni又はNi合金中には微量成分として0.1重
量%以下のリン(P)等が含有されていても良い。In the present embodiment, the internal electrode 11 is formed of Ni or a Ni alloy, and is not particularly limited.
As the alloy, 95% by weight or more of Ni and manganese (M
n), one or more alloys such as chromium (Cr), cobalt (Co), and aluminum (Al).
Ni or a Ni alloy may contain, as a trace component, 0.1% by weight or less of phosphorus (P) or the like.
【0029】内部電極11の厚み等の諸条件は、目的や
用途に応じて適宜決定すればよいが、通常、厚みは1〜
5μm、好ましくは2〜3μmである。Various conditions such as the thickness of the internal electrode 11 may be appropriately determined according to the purpose and application.
It is 5 μm, preferably 2-3 μm.
【0030】誘電体層12の材質は、少なくともBaT
iO3 、SrZrO3 及びCaZrO3 を含有す
る誘電体組成物から構成される。これら3つの組成モル
比については、前述のとおりである。The material of the dielectric layer 12 is at least BaT
It is composed of a dielectric composition containing iO 3 , SrZrO 3 and CaZrO 3 . The three composition molar ratios are as described above.
【0031】また、この誘電体組成物100モル%に対
して、MgO等の耐還元性助剤を0.1〜10モル%、
SiO2 、Al2 O3 、MO−SiO2 (但
し、ここでの「M」はBa、Sr、Ca及びMgからな
る群から選ばれる少なくとも1種以上を示す。)で予め
仮焼合成したもの等の焼結助剤を0.05〜5モル%添
加することが好ましい。Further, 0.1 to 10 mol% of a reduction resistance auxiliary such as MgO is added to 100 mol% of the dielectric composition.
Preliminarily calcined and synthesized with SiO 2 , Al 2 O 3 , and MO—SiO 2 (where “M” represents at least one or more selected from the group consisting of Ba, Sr, Ca, and Mg). It is preferable to add a sintering aid such as 0.05 to 5 mol%.
【0032】なお、外部電極13には、通常、銅(C
u)やCu合金、NiやNi合金等が用いられるが、金
(Au)や銀(Ag)とパラジウム(Pd)の合金等も
使用することができる。外部電極13の厚みは任意であ
り、目的や用途に応じて適宜決定すればよいが、通常1
0〜50μmである。The external electrode 13 is usually made of copper (C
u), a Cu alloy, Ni or a Ni alloy, or the like, but gold (Au), an alloy of silver (Ag) and palladium (Pd), or the like can also be used. The thickness of the external electrode 13 is arbitrary, and may be appropriately determined according to the purpose and application.
0 to 50 μm.
【0033】また、このような積層型セラミックコンデ
ンサ1の形状やサイズは目的や用途に応じて適宜決定す
ればよい。例えば、直方体状の場合は、通常1.6〜
3.2mm×0.8〜1.6mm×0.6〜1.2mm
程度である。The shape and size of such a multilayer ceramic capacitor 1 may be appropriately determined according to the purpose and application. For example, in the case of a rectangular parallelepiped, usually 1.6 to 1.6
3.2mm × 0.8-1.6mm × 0.6-1.2mm
It is about.
【0034】次に、本実施形態の積層型セラミックコン
デンサ1の製造方法について説明する。まず、誘電体層
用ペースト、内部電極用ペースト、外部電極用ペースト
をそれぞれ製造する。Next, a method of manufacturing the multilayer ceramic capacitor 1 of the present embodiment will be described. First, a paste for a dielectric layer, a paste for an internal electrode, and a paste for an external electrode are manufactured.
【0035】誘電体層用ペーストは、上述した誘電体組
成物の組成に応じた誘電体原料と有機ビヒクルとを混練
するか、又は水溶系塗料として製造される。誘電体原料
には、上述した複合酸化物や酸化物となる各種化合物、
例えば、炭酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物等
から適宜選択し、混合して用いることができる。誘電体
原料中の各化合物の含有量は、焼成後に上述した誘電体
層の組成となるように決定すればよい。誘電体原料は、
通常、平均粒子径0.1〜3.0μm程度の粉末として
用いられる。The dielectric layer paste is manufactured by kneading a dielectric material and an organic vehicle according to the composition of the above-described dielectric composition, or as a water-based paint. Dielectric raw materials include various compounds that become the above-described composite oxides and oxides,
For example, they can be appropriately selected from carbonates, nitrates, hydroxides, organometallic compounds, and the like, and used by mixing. The content of each compound in the dielectric material may be determined so as to have the above-described composition of the dielectric layer after firing. The dielectric material is
Usually, it is used as a powder having an average particle diameter of about 0.1 to 3.0 μm.
【0036】有機ビヒクルとは、バインダを有機溶剤中
に溶解したものであり、有機ビヒクルに用いられるバイ
ンダは、特に限定されず、エチルセルロース、ポリビニ
ルブチラール等の通常の各種バインダから適宜選択すれ
ばよい。また、このとき用いられる有機溶剤も特に限定
されず、印刷法やシート法等利用する方法に応じてテル
ピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン
等の有機溶剤から適宜選択すればよい。The organic vehicle is obtained by dissolving a binder in an organic solvent, and the binder used for the organic vehicle is not particularly limited, and may be appropriately selected from various ordinary binders such as ethyl cellulose and polyvinyl butyral. In addition, the organic solvent used at this time is not particularly limited, and may be appropriately selected from organic solvents such as terpineol, butyl carbitol, acetone, and toluene depending on a method such as a printing method or a sheet method.
【0037】また、水溶系塗料とは、水に水溶性バイン
ダ、分散剤等を溶解させたものであり、水溶系バインダ
は、特に限定されず、ポリビニルアルコール、セルロー
ス、水溶性アクリル樹脂、エマルジョン等から適宜選択
すればよい。The water-based paint is obtained by dissolving a water-soluble binder, a dispersant, and the like in water. The water-based binder is not particularly limited, and may be polyvinyl alcohol, cellulose, water-soluble acrylic resin, emulsion, or the like. May be selected as appropriate.
【0038】内部電極用ペーストは、上述した各種導電
性金属や合金からなる導電材料あるいは焼成後に上述し
た導電材料となる各種酸化物、有機金属化合物、レジネ
ート等と、上述した有機ビヒクルとを混練して調製され
る。また、外部電極用ペーストも、この内部電極用ペー
ストと同様にして調製される。The paste for an internal electrode is obtained by kneading the above-mentioned organic vehicle with the above-mentioned conductive material comprising various conductive metals or alloys or various oxides, organometallic compounds, resinates, etc. which become the above-mentioned conductive material after firing. It is prepared by The external electrode paste is also prepared in the same manner as the internal electrode paste.
【0039】上述した各ペーストの有機ビヒクルの含有
量は、特に限定されず、通常の含有量、例えば、バイン
ダは1〜5重量%程度、溶剤は10〜50重量%程度と
すればよい。また、各ペースト中には必要に応じて各種
分散剤、可塑剤、誘電体、絶縁体等から選択される添加
物が含有されても良い。The content of the organic vehicle in each of the above-mentioned pastes is not particularly limited, and may be a usual content, for example, about 1 to 5% by weight of a binder and about 10 to 50% by weight of a solvent. Each paste may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, dielectrics, insulators, and the like, as necessary.
【0040】印刷法を用いる場合は、誘電体ペースト及
び内部電極用ペーストをポリエチレンテレフタレート等
の基板上に積層印刷し、所定形状に切断したのち基板か
ら剥離することでグリーンチップとする。これに対し
て、シート法を用いる場合は、誘電体ペーストを用いて
グリーンシートを形成し、この上に内部電極ペーストを
印刷したのちこれらを積層してグリーンチップとする。When a printing method is used, a dielectric chip and an internal electrode paste are laminated and printed on a substrate such as polyethylene terephthalate, cut into a predetermined shape, and then separated from the substrate to obtain a green chip. On the other hand, when the sheet method is used, a green sheet is formed using a dielectric paste, an internal electrode paste is printed thereon, and these are laminated to form a green chip.
【0041】次に、このグリーンチップを脱バインダ処
理及び焼成する。脱バインダ処理は焼成前に行われ、通
常の条件で行えばよいが、特に内部電極層の導電材とし
てNiやNi合金等の卑金属を用いる場合には、空気雰
囲気において、昇温速度を5〜300°C/時間、より
好ましくは10〜100°C/時間、保持温度を180
〜400°C、より好ましくは200〜300°C、温
度保持時間を0.5〜24時間、より好ましくは5〜2
0時間とする。Next, the green chip is subjected to binder removal treatment and firing. The binder removal treatment is performed before firing, and may be performed under normal conditions. In particular, when a base metal such as Ni or a Ni alloy is used as the conductive material of the internal electrode layer, the temperature increase rate is 5 to 5 in an air atmosphere. 300 ° C./hour, more preferably 10 to 100 ° C./hour, and holding temperature of 180 ° C.
To 400 ° C, more preferably 200 to 300 ° C, and the temperature holding time is 0.5 to 24 hours, more preferably 5 to 2 hours.
0 hours.
【0042】グリーンチップの焼成雰囲気は、内部電極
層用ペースト中の導電材の種類に応じて適宜決定すれば
よいが、導電材としてNiやNi合金等の卑金属を用い
る場合には、焼成雰囲気の酸素分圧を1×10−8〜1
×10−12 気圧とすることが好ましい。酸素分圧が
低すぎると内部電極の導電材が異常焼結を起こして途切
れてしまい、酸素分圧が高すぎると内部電極が酸化され
てしまうからである。また、焼成の保持温度は、1,1
00〜1,400°C、より好ましくは1,200〜
1,380°Cである。保持温度が低すぎると緻密化が
不充分となり、保持温度が高すぎると内部電極の異常焼
結による電極の途切れ又は内部電極材質の拡散により容
量温度特性が悪化するからである。The firing atmosphere of the green chip may be appropriately determined according to the type of the conductive material in the internal electrode layer paste. However, when a base metal such as Ni or a Ni alloy is used as the conductive material, the firing atmosphere may be changed. Oxygen partial pressure is 1 × 10 −8 to 1
It is preferably set to × 10 −12 atm. If the oxygen partial pressure is too low, the conductive material of the internal electrode will be abnormally sintered and be interrupted, and if the oxygen partial pressure is too high, the internal electrode will be oxidized. In addition, the holding temperature for firing is 1,1.
00 to 1,400 ° C, more preferably 1,200 to
1,380 ° C. If the holding temperature is too low, the densification becomes insufficient, and if the holding temperature is too high, the capacitance-temperature characteristics are deteriorated due to breakage of the electrodes due to abnormal sintering of the internal electrodes or diffusion of the internal electrode material.
【0043】これ以外の焼成条件としては、昇温速度を
50〜500°C/時間、より好ましくは200〜30
0°C/時間、温度保持時間を0.5〜8時間、より好
ましくは1〜3時間、冷却速度を50〜500°C/時
間、より好ましくは200〜300°C/時間とし、焼
成雰囲気は還元性雰囲気とすることが望ましく、雰囲気
ガスとしては例えば、窒素ガスと水素ガスとの混合ガス
を加湿して用いることが望ましい。Other firing conditions include a heating rate of 50 to 500 ° C./hour, more preferably 200 to 30 ° C.
0 ° C./hour, a temperature holding time of 0.5 to 8 hours, more preferably 1 to 3 hours, a cooling rate of 50 to 500 ° C./hour, more preferably 200 to 300 ° C./hour, and a firing atmosphere Is preferably a reducing atmosphere. As the atmosphere gas, for example, a mixed gas of nitrogen gas and hydrogen gas is desirably used after being humidified.
【0044】還元性雰囲気で焼成した場合は、コンデン
サチップの焼結体にアニールを施すことが望ましい。ア
ニールは誘電体層を再酸化するための処理であり、これ
により絶縁抵抗を増加させることができる。アニール雰
囲気の酸素分圧は、1×10 −6気圧以上、より好まし
くは1×10−5〜1×10−4気圧とする。酸素分圧
が低すぎると誘電体層の再酸化が困難となり、酸素分圧
が高すぎると内部電極が酸化されるおそれがある。アニ
ールの際の保持温度は、1,100°C以下、より好ま
しくは500〜1,100°Cである。保持温度が低す
ぎると誘電体層の再酸化が不充分となって絶縁抵抗が悪
化し、その加速寿命も短くなる。また、保持温度が高す
ぎると内部電極が酸化されて容量が低下するだけでな
く、誘電体素地と反応してしまい、容量温度特性、絶縁
抵抗及びその加速寿命が悪化する。なお、アニールは昇
温行程及び降温行程のみから構成することもできる。こ
の場合には、温度保持時間はゼロであり、保持温度は最
高温度と同義である。When firing in a reducing atmosphere,
It is desirable to anneal the sintered body of the sub chip. A
Neal is a process to re-oxidize the dielectric layer.
Thereby, the insulation resistance can be increased. Anneal atmosphere
The oxygen partial pressure of the atmosphere is 1 × 10 -6More than atmospheric pressure, more preferred
1x10-5~ 1 × 10-4Pressure. Oxygen partial pressure
Is too low, it is difficult to reoxidize the dielectric layer, and the oxygen partial pressure
Is too high, the internal electrodes may be oxidized. Ani
The holding temperature during the cooling is preferably 1,100 ° C or less.
Or 500-1,100 ° C. Low holding temperature
Insufficient re-oxidation of the dielectric layer results in poor insulation resistance
And the accelerated life is shortened. Also, the holding temperature increases
If it breaks, the internal electrodes are oxidized and the capacity only decreases.
And reacts with the dielectric substrate, resulting in capacitance-temperature characteristics and insulation.
Resistance and its accelerated life deteriorate. Note that the annealing
It may be composed of only the warming step and the cooling step. This
In this case, the temperature holding time is zero and the holding temperature is
Synonymous with high temperature.
【0045】これ以外のアニール条件としては、温度保
持時間を0〜20時間、より好ましくは6〜10時間、
冷却速度を50〜500°C/時間、より好ましくは1
00〜300°C/時間とし、アニールの雰囲気ガスと
しては、例えば、窒素ガスを加湿して用いることが望ま
しい。Other annealing conditions include a temperature holding time of 0 to 20 hours, more preferably 6 to 10 hours.
The cooling rate is 50 to 500 ° C./hour, more preferably 1 to 500 ° C./hour.
It is preferable to set the temperature to 00 to 300 ° C./hour and to use, for example, a nitrogen gas humidified as an atmosphere gas for annealing.
【0046】ちなみに、上述した脱バインダ処理、焼成
及びアニール工程において、窒素ガスや混合ガスを加湿
するためには、例えば、ウェッター等を用いることがで
きる。この場合の水温は5〜75°Cとすることが望ま
しい。For the purpose of humidifying the nitrogen gas or the mixed gas in the above-described binder removal processing, firing and annealing steps, for example, a wetter or the like can be used. In this case, the water temperature is desirably 5 to 75 ° C.
【0047】また、これら脱バインダ処理、焼成及びア
ニールは連続して行っても互いに独立して行っても良
い。これらを連続して行う場合には、脱バインダ処理の
のち冷却することなく雰囲気を変更し、続いて焼成の際
の保持温度まで昇温して焼成を行い、続いて冷却してア
ニールの保持温度に達したら雰囲気を変更してアニール
処理を行うことがより好ましい。The binder removal, firing and annealing may be performed continuously or independently of each other. In the case where these steps are continuously performed, the atmosphere is changed without cooling after the binder removal processing, the temperature is raised to the holding temperature at the time of firing, and firing is performed. When the temperature reaches the above, it is more preferable to change the atmosphere and perform the annealing treatment.
【0048】これに対して、これらを独立して行う場合
には、焼成に関しては脱バインダ処理時の保持温度まで
窒素ガスあるいは加湿した窒素ガス雰囲気下で昇温した
のち、雰囲気を変更してさらに昇温を続けることが好ま
しく、アニールの保持温度まで冷却したのちは、再び窒
素ガス又は加湿した窒素ガス雰囲気に変更して冷却を続
けることが好ましい。また、アニールに関しては窒素ガ
ス雰囲気下で保持温度まで昇温したのち雰囲気を変更し
ても良く、アニールの全工程を加湿した窒素ガス雰囲気
としても良い。On the other hand, when these steps are performed independently, the firing is performed by raising the temperature in a nitrogen gas or humidified nitrogen gas atmosphere to the holding temperature during the binder removal treatment, and then changing the atmosphere. It is preferable to continue the temperature increase, and after cooling to the annealing holding temperature, it is preferable to change the atmosphere to a nitrogen gas or a humidified nitrogen gas atmosphere again and continue the cooling. Further, regarding the annealing, the atmosphere may be changed after the temperature is raised to the holding temperature in the nitrogen gas atmosphere, or the entire annealing process may be performed in a humidified nitrogen gas atmosphere.
【0049】以上のようにして得られたコンデンサ焼成
体に、例えば、バレル研磨やサンドブラストにより端面
研磨を施し、外部電極用ペーストを印刷又は転写して焼
成し、外部電極を形成する。外部電極用ペーストの焼成
条件は、例えば、加湿した窒素ガスと水素ガスとの混合
ガス中で600〜800°Cにて10分〜1時間程度と
することが好ましい。そして、必要に応じて外部電極の
表面にメッキ等により被覆層を形成する。The capacitor fired body obtained as described above is subjected to end surface polishing by, for example, barrel polishing or sandblasting, and printing or transferring an external electrode paste and firing to form external electrodes. The firing conditions for the external electrode paste are preferably, for example, about 10 minutes to 1 hour at 600 to 800 ° C. in a humidified mixed gas of nitrogen gas and hydrogen gas. Then, if necessary, a coating layer is formed on the surface of the external electrode by plating or the like.
【0050】このようにして製造された本実施形態のセ
ラミックコンデンサ1は、はんだ付け等によってプリン
ト基板上に実装され、各種電子機器に用いられる。The ceramic capacitor 1 of the present embodiment manufactured as described above is mounted on a printed circuit board by soldering or the like, and is used for various electronic devices.
【0051】[0051]
【実施例】以下、本発明の具体的な実施例を挙げ、本発
明をさらに詳細に説明する。以下の実施例では、本発明
に係る誘電体組成物そのものの特性と、これを誘電体層
とする積層型セラミックコンデンサの特性とを評価し
た。EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to specific examples of the present invention. In the following examples, the characteristics of the dielectric composition itself according to the present invention and the characteristics of the multilayer ceramic capacitor using the dielectric composition as a dielectric layer were evaluated.
【0052】誘電体組成物の作製 BaTiO3 (以下、「BT」と略記する場合もあ
る)、SrZrO3 (以下、「SZ」と略記する場合
もある)、CaZrO3 (以下、「CZ」と略記する
場合もある)、MgO及び(BaCa)SiO3 の材
料粉末を、ボールミルにより16時間湿式混合し、これ
を乾燥することによって誘電体材料とした。母材となる
BT、SZ及びCZは、BaCO3 、CaCO3 、
SrCO3 、TiO2 、酸化ジルコニウム(ZrO
2 )をそれぞれ秤量し、ボールミルを用いて16時間
湿式混合し、これを乾燥したのち、1,050〜1,2
50°Cの温度で空気中にて焼成したものをボールミル
により20〜60時間湿式粉砕して作製した。ちなみ
に、BT、SZ及びCZは、水熱合成粉、蓚酸塩法等に
よって作製された原料を用いても同様の特性が得られ
た。[0052]Preparation of dielectric composition BaTiO3(Hereinafter sometimes abbreviated as "BT")
), SrZrO3(Hereinafter abbreviated as "SZ"
There is also) CaZrO3(Hereinafter abbreviated as “CZ”)
In some cases), MgO and (BaCa) SiO3Lumber
The powder was wet-mixed for 16 hours using a ball mill.
Was dried to obtain a dielectric material. Become a base material
BT, SZ and CZ are BaCO3, CaCO3,
SrCO3 , TiO2, Zirconium oxide (ZrO
2) Are weighed and used for 16 hours using a ball mill.
After wet mixing and drying, 1,050 to 1,2
Ball milled at 50 ° C in air
For 20 to 60 hours. By the way
BT, SZ and CZ are hydrothermally synthesized powder, oxalate method, etc.
Therefore, similar characteristics can be obtained using the prepared raw materials.
Was.
【0053】積層型セラミックコンデンサの作製 上記組成物を用いて、積層型セラミックコンデンサを作
製した。まず、誘電体層用ペーストについては、各誘電
体原料100重量%と、アクリル樹脂4.8重量%、塩
化メチレン40重量%、酢酸エチル20重量%、ミネラ
ルスピリット6重量%及びアセトン4重量%とをボール
ミルにて混合し、ペースト化した。Preparation of Multilayer Ceramic Capacitor Using the above composition, a multilayer ceramic capacitor was prepared. First, regarding the dielectric layer paste, 100% by weight of each dielectric material, 4.8% by weight of acrylic resin, 40% by weight of methylene chloride, 20% by weight of ethyl acetate, 6% by weight of mineral spirit and 4% by weight of acetone. Were mixed in a ball mill to form a paste.
【0054】内部電極用ペーストについては、平均粒径
0.2〜0.8μmのNi粒子100重量%と、有機ビ
ヒクル(エチルセルロース樹脂8重量%をブチルカルビ
トール92重量%に溶解したもの)40重量%と、ブチ
ルカルビトール10重量%とを3本ロールにより混練し
ペースト化した。As for the internal electrode paste, 100% by weight of Ni particles having an average particle size of 0.2 to 0.8 μm and 40% by weight of an organic vehicle (8% by weight of ethyl cellulose resin dissolved in 92% by weight of butyl carbitol) % And 10% by weight of butyl carbitol were kneaded with a three-roll mill to form a paste.
【0055】外部電極用ペーストについては、平均粒径
0.5μmのCu粒子100重量%と、有機ビヒクル
(エチルセルロース樹脂8重量%をブチルカルビトール
92重量%に溶解したもの)35重量%と、ブチルカル
ビトール7重量%とを混練しペースト化した。As for the paste for external electrodes, 100% by weight of Cu particles having an average particle size of 0.5 μm, 35% by weight of an organic vehicle (8% by weight of ethyl cellulose resin dissolved in 92% by weight of butyl carbitol), 7% by weight of carbitol was kneaded to form a paste.
【0056】次に、上述した誘電体層用ペーストを用い
てPETフィルム上に厚さ4.5μm及び15μmのグ
リーンシートを形成し、この上に内部電極用ペーストを
印刷したのち、PETフィルムからグリーンシートを剥
離した。次いで、こうして得られた複数枚のグリーンシ
ートを積層し、加圧圧着することでグリーンチップを作
製した。内部電極を有するグリーンシートの積層数は4
層とした。Next, 4.5 μm and 15 μm thick green sheets are formed on the PET film using the above-mentioned dielectric layer paste, and the internal electrode paste is printed thereon. The sheet was peeled off. Next, a plurality of the green sheets thus obtained were laminated and pressed and pressed to produce a green chip. Number of stacked green sheets with internal electrodes is 4
Layers.
【0057】次いで、グリーンチップを所定サイズに切
断し、脱バインダ処理、焼成及びアニールを行って、積
層セラミック焼成体を得た。Next, the green chip was cut into a predetermined size and subjected to a binder removal treatment, firing and annealing to obtain a fired multilayer ceramic body.
【0058】この脱バインダ処理は、昇温時間15°C
/時間、保持温度280°C、保持時間8時間、空気雰
囲気の条件で行った。また、焼成は、昇温速度200°
C/時間、保持温度1,200〜1,380°C、保持
時間2時間、冷却速度300°C/時間、加湿した窒素
ガスと水素ガスとの混合ガス雰囲気(1×10−9気
圧)の条件で行った。アニールは、保持温度900°
C、保持時間9時間、冷却速度300°C/時間、加湿
した窒素ガス雰囲気(1×10−5気圧)の条件で行っ
た。なお、それぞれの雰囲気ガスの加湿にはウェッター
を用い、水温は35°Cとした。This binder removal treatment is performed at a temperature rising time of 15 ° C.
/ Hour, a holding temperature of 280 ° C., a holding time of 8 hours, and an air atmosphere. In addition, firing is performed at a heating rate of 200 °.
C / hour, holding temperature of 1,200 to 1,380 ° C, holding time of 2 hours, cooling rate of 300 ° C / hour, of a mixed gas atmosphere of humidified nitrogen gas and hydrogen gas (1 × 10 −9 atm) Performed under conditions. Annealing temperature 900 °
C, a holding time of 9 hours, a cooling rate of 300 ° C./hour, and a humidified nitrogen gas atmosphere (1 × 10 −5 atm). Note that a wetter was used for humidification of each atmosphere gas, and the water temperature was 35 ° C.
【0059】次いで、この積層セラミック焼成体の端面
をサンドブラストにて研磨したのち、外部電極用ペース
トを端面に転写し、加湿した窒素ガス及び水素ガス雰囲
気中において、800°Cにて10分間焼成して外部電
極を形成し、積層セラミックコンデンサの試料を得た
(以下、「コンデンサ試料」ともいう場合がある)。各
試料のサイズは、3.2mm×1.6mm×0.6mm
であり、誘電体層の厚みは10μm及び3μm、内部電
極の厚みは2.0μmであった。Next, after polishing the end face of the laminated ceramic fired body by sand blasting, the external electrode paste was transferred to the end face, and fired at 800 ° C. for 10 minutes in a humidified nitrogen gas and hydrogen gas atmosphere. Thus, a sample of a multilayer ceramic capacitor was obtained (hereinafter, also referred to as a “capacitor sample”). The size of each sample is 3.2 mm x 1.6 mm x 0.6 mm
The thickness of the dielectric layer was 10 μm and 3 μm, and the thickness of the internal electrode was 2.0 μm.
【0060】こうして得られた積層セラミックコンデン
サの各試料について、容量温度特性及び第三次高調波歪
み率(THD)を測定した。With respect to each sample of the multilayer ceramic capacitor thus obtained, the capacitance-temperature characteristic and the third harmonic distortion (THD) were measured.
【0061】各試料の組成モル比等 BT、SZ及びCZの組成モル比及び平均粒径、並び
に、添加物の種類及びその添加量を、表1〜3に示すよ
うに変えて、上述したコンデンサ試料を作製した。 The composition molar ratio of BT, SZ and CZ and the average particle diameter of each sample, the kind of additive and the amount of additive were changed as shown in Tables 1 to 3, and the above-mentioned capacitor was changed. A sample was prepared.
【0062】表1は、MgO及び(BaCa)SiO
3 の添加物、並びにBT、SZ及びCZの平均粒径を
それぞれ固定し(具体的には、MgO=2.0モル%、
(BaCa)SiO3 =2.8モル%、BTの平均粒
径=0.15μm、SZの平均粒径=0.1μm、CZ
の平均粒径=0.1μm)、BT、SZ及びCZの組成
モル比を変えた例であり、試料1〜23が本発明の実施
例であり、試料24〜28が本発明の比較例である。そ
れぞれの組成モル比に対応する試料番号を図3に示す。Table 1 shows that MgO and (BaCa) SiO
3 and the average particle diameter of BT, SZ and CZ were fixed (specifically, MgO = 2.0 mol%,
(BaCa) SiO 3 = 2.8 mol%, average particle size of BT = 0.15 μm, average particle size of SZ = 0.1 μm, CZ
Is an example in which the composition molar ratio of BT, SZ and CZ is changed. Samples 1 to 23 are Examples of the present invention, and Samples 24 to 28 are Comparative Examples of the present invention. is there. FIG. 3 shows sample numbers corresponding to the respective composition molar ratios.
【0063】表2は、MgO及び(BaCa)SiO
3 の添加物、並びにBT、SZ及びCZの組成モル比
を固定し(具体的には、MgO=2.0モル%、(Ba
Ca)SiO3 =2.8モル%、BT=0.55モル
%、SZ=0.3モル%、CZ=0.15モル%)、B
T、SZ及びCZの平均粒径を変えた例であり、試料2
9〜32が本発明の実施例であり、試料33は本発明の
参考例である。Table 2 shows that MgO and (BaCa) SiO
3 and the composition molar ratio of BT, SZ and CZ were fixed (specifically, MgO = 2.0 mol%, (Ba
Ca) SiO 3 = 2.8 mol%, BT = 0.55 mol%, SZ = 0.3 mol%, CZ = 0.15 mol%), B
This is an example in which the average particle size of T, SZ and CZ was changed,
9 to 32 are examples of the present invention, and sample 33 is a reference example of the present invention.
【0064】表3は、BT、SZ及びCZの組成モル比
と平均粒径を固定し(具体的には、BT=0.6モル
%、SZ=0.25モル%、CZ=0.15モル%、B
Tの平均粒径=0.15μm、SZの平均粒径=0.1
μm、CZの平均粒径=0.1μm)、MgO及び(B
aCa)SiO3 の添加物の添加量を変えた例であ
り、試料34〜37は本発明の参考例である。なお、表
3中の試料8は既出のものと同様であり、比較のために
掲載してある。In Table 3, the composition molar ratios of BT, SZ and CZ and the average particle size are fixed (specifically, BT = 0.6 mol%, SZ = 0.25 mol%, CZ = 0.15). Mol%, B
Average particle size of T = 0.15 μm, average particle size of SZ = 0.1
μm, average particle size of CZ = 0.1 μm), MgO and (B
aCa) SiO 3 is an example in which the additive amount of the additive is changed, and samples 34 to 37 are reference examples of the present invention. In addition, the sample 8 in Table 3 is the same as the one already described, and is shown for comparison.
【0065】なお、本実施例における誘電体組成物の微
細構造をTEM顕微鏡により観察し、これを模式的に表
したものを図5(A)に示す。これを見ると、本実施例
における誘電体組成物は、強誘電体であるBTからなる
粒子2を、常誘電体であるSZ及びCZ、又は、SZ及
びCZの固溶体((SrCa)ZrO3 )からなる粒
子3で囲んだ構造をとっている。特に、BTからなる粒
子2は、Ca、Sr及びZrが低濃度で拡散されてお
り、ほぼ純粋なBTからなるドメイン構造を示す領域を
有する部分21と、Ca、Sr及びZrが高濃度で拡散
されており、ドメイン構造を示す領域を有しない部分2
2とから構成されており、ドメイン構造を示す領域を有
する部分21からドメイン構造を示す領域を有しない部
分22に向かって、Ca、Sr及びZrの濃度分布が漸
次増加していく濃度勾配を有していることも確認され
た。The microstructure of the dielectric composition in this example was observed with a TEM microscope, and FIG. 5A schematically shows the structure. In view of this, the dielectric composition of the present embodiment is characterized in that the particles 2 composed of BT which is a ferroelectric are converted to SZ and CZ which are paraelectrics or a solid solution of SZ and CZ ((SrCa) ZrO 3 ). It has a structure surrounded by particles 3 consisting of In particular, in the particles 2 composed of BT, Ca, Sr and Zr are diffused at a low concentration, and a portion 21 having a region showing a domain structure composed of almost pure BT, and Ca, Sr and Zr are diffused at a high concentration. Part 2 which does not have a region showing the domain structure
And a concentration gradient in which the concentration distribution of Ca, Sr, and Zr gradually increases from a portion 21 having a region showing a domain structure to a portion 22 having no region showing a domain structure. It was also confirmed that.
【0066】評価項目及び評価方法 コンデンサ試料について、LCRメータを用いて1kH
z、1Vrmsの条件下における静電容量を測定した。
得られた静電容量と、電極寸法及び試料の厚みから比誘
電率εを算出した。 Evaluation Items and Evaluation Method For the capacitor sample, 1 kHz was measured using an LCR meter.
The capacitance under the conditions of z and 1 Vrms was measured.
The relative dielectric constant ε was calculated from the obtained capacitance, the electrode dimensions and the thickness of the sample.
【0067】容量の温度特性については、コンデンサ試
料をLCRメータを用いて、−30°C〜+85°Cの
温度範囲について1Vの電圧での静電容量を測定し、基
準温度を25°Cとしたときの容量変化率が±15%以
内(電子機械工業会EIA規格のY5R特性)を満足す
るかどうかを調べた。満足する場合を「○」、満足しな
い場合を「×」として表1〜表3に示すとともに、+8
5°Cにおける容量変化率の値も併記する。Regarding the temperature characteristic of the capacitance, the capacitance of the capacitor sample was measured at a voltage of 1 V in a temperature range of -30 ° C. to + 85 ° C. using an LCR meter, and the reference temperature was set to 25 ° C. Then, it was examined whether or not the rate of change of capacity at the time of performing the measurement satisfied ± 15% or less (Y5R characteristic of EIA standard of Electronic Machinery Manufacturers Association). Tables 1 to 3 show the case of satisfying as “と し て” and the case of not satisfying as “×”.
The value of the capacity change rate at 5 ° C. is also shown.
【0068】また、このY5R特性を満足した代表的な
試料1につき、−30°C〜+85°Cの温度範囲にお
ける容量変化率ΔC/Cをグラフ化した。同図には、2
5°Cにおける容量を基準とした変化率を表している。
同図からも明らかなように良好な温度特性を示すことが
理解できる。With respect to the representative sample 1 satisfying the Y5R characteristic, the capacitance change rate ΔC / C in the temperature range of −30 ° C. to + 85 ° C. was graphed. In FIG.
The rate of change based on the capacity at 5 ° C. is shown.
As can be seen from the figure, it is understood that good temperature characteristics are exhibited.
【0069】第三次高調波歪み率(THD)は、コンデ
ンサ試料について、日本電子機械工業会規格EIAJ
RC2111の固定抵抗器の非直線性測定方法の手順に
したがい測定した。測定器は、RE−TECNOLOG
Y−AS社製のCLT−1を使用した。全てのコンデン
サ試料について、10kHzの交流電圧を0.3V/μ
mの電界強度で印加したときの第三次高調波歪み率を測
定した。The third harmonic distortion rate (THD) was determined for the capacitor sample by the EIAJ standard of the Japan Electronic Machinery Manufacturers Association.
The measurement was performed according to the procedure of the non-linearity measurement method of the fixed resistor of RC2111. The measuring instrument is RE-TECNOLOG
CLT-1 manufactured by Y-AS was used. An AC voltage of 10 kHz was applied to all capacitor samples at 0.3 V / μ.
The third harmonic distortion rate when applied at an electric field strength of m was measured.
【0070】以上の結果を表1〜3に示す。表1〜3
中、絶縁抵抗IRの数値において、「mE+n」は「m
×10+n」を意味する。なお、焼結性の評価結果につ
いてはこれらの表には示さなかったが、試料36以外の
試料については何ら問題はなかった。試料36について
は(BaCa)SiO3 を添加しなかったため、焼結
性が悪く、緻密化せず特性評価を行うことができなかっ
た。The above results are shown in Tables 1 to 3. Tables 1-3
In the numerical value of the insulation resistance IR, “mE + n” is “m
× 10 + n ”. In addition, although the evaluation results of the sinterability were not shown in these tables, there was no problem for the samples other than the sample 36. For sample 36, since (BaCa) SiO 3 was not added, the sinterability was poor, and the sample could not be densified and could not be evaluated.
【0071】[0071]
【表1】 [Table 1]
【0072】[0072]
【表2】 [Table 2]
【0073】[0073]
【表3】 [Table 3]
【0074】考察 表1の結果から、BT、SZ及びCZの組成モル比につ
いては、以下のことが理解される。試料1〜20(図3
において、0.5≦X≦0.675、0.1<Y≦0.
4、0.075≦Z<0.25、かつ、X+Y+Z=
1、である)の何れも、誘電率、歪み率及び容量温度特
性のバランスがよい。中でも、試料12〜15(図3
において、0.525≦X≦0.675、0.125≦
Y≦0.375、0.075≦Z≦0.225、かつ、
X+Y+Z=1、である)、試料1〜11(0.52
5≦X≦0.65、0.15≦Y≦0.35、0.1≦
Z≦0.2、かつ、X+Y+Z=1、である)の順で、
徐々に、上記3特性のバランスが図られる傾向にある。
これに対して、比較例である試料21〜24,26は、
容量温度特性が悪化し、特に試料24,26はY5R規
格から大きく外れてしまう。試料25,27,28は、
Y5R特性を満足しているが、第三次高調波歪み率TH
Dが特に悪化している。 Discussion From the results in Table 1, it is understood that the composition molar ratios of BT, SZ and CZ are as follows. Samples 1 to 20 (FIG. 3
, 0.5 ≦ X ≦ 0.675, 0.1 <Y ≦ 0.
4, 0.075 ≦ Z <0.25, and X + Y + Z =
1) have a good balance between the dielectric constant, the strain rate, and the capacitance-temperature characteristic. Among them, samples 12 to 15 (FIG. 3)
In 0.525 ≦ X ≦ 0.675, 0.125 ≦
Y ≦ 0.375, 0.075 ≦ Z ≦ 0.225, and
X + Y + Z = 1), samples 1 to 11 (0.52
5 ≦ X ≦ 0.65, 0.15 ≦ Y ≦ 0.35, 0.1 ≦
Z ≦ 0.2 and X + Y + Z = 1).
There is a tendency that the above three characteristics are gradually balanced.
On the other hand, Samples 21 to 24 and 26, which are comparative examples,
The capacitance-temperature characteristics deteriorate, and in particular, the samples 24 and 26 greatly deviate from the Y5R standard. Samples 25, 27, and 28
Although the Y5R characteristic is satisfied, the third harmonic distortion rate TH
D is particularly deteriorating.
【0075】表2の結果から、BTの平均粒径について
は、以下のことが理解される。試料32(1μm)、試
料31(0.8μm)、試料29(0.15μm)及び
試料30(0.3μm)の順で、徐々に、誘電率、歪み
率及び容量温度特性のバランスが図られる傾向にある。
このことは、BT、SZ及びCZの組成モル比、並びに
添加物の添加量が同じである場合には、強誘電体である
BTの平均粒径が1.0μmから小さくなるに従い、徐
々に、歪み率が小さくなる。これに対して、参考例であ
る試料33(BTの平均粒径1.5μm)は、第三次高
調波歪み率THDが悪化する傾向にある。From the results in Table 2, it is understood that the average particle size of BT is as follows. The sample 32 (1 μm), the sample 31 (0.8 μm), the sample 29 (0.15 μm), and the sample 30 (0.3 μm) are gradually balanced in the dielectric constant, the distortion factor, and the capacitance-temperature characteristic. There is a tendency.
This is because, when the composition molar ratio of BT, SZ and CZ, and the amount of the additive are the same, as the average particle diameter of BT which is a ferroelectric material becomes smaller from 1.0 μm, The distortion rate decreases. On the other hand, the sample 33 (BT having an average particle size of 1.5 μm) as a reference example has a tendency that the third harmonic distortion rate THD is deteriorated.
【0076】表3の結果から、添加物の種類及び添加量
については、以下のことが理解される。試料34と試料
35との対比から、MgOを添加しないと、比誘電率ε
は高くなるが、絶縁抵抗IR、容量温度特性及び第三次
高調波歪み率THDが何れも悪化する傾向にある。一
方、MgOの添加量を多くしすぎると、比誘電率εが低
くなり、容量温度特性が悪化する傾向にある。また、試
料36と試料37との対比から、(BaCa)SiO
3 を添加しないと、緻密化しにくくなる傾向にある。
一方、(BaCa)SiO3 の添加量を多くしすぎる
と、比誘電率εが低くなる傾向がある。また、試料35
と試料37との対比から、MgOの添加量が多く(Ba
Ca)SiO3 の添加量が少ないと、容量温度特性が
悪化する傾向にある。一方、MgOの添加量が少なく
(BaCa)SiO3 の添加量が多いと、比誘電率ε
が低下する傾向にある。ちなみに、(BaCa)SiO
3 に代えてSiO2 又はAl2 O3 を添加し、
上記と同様の条件でそれぞれ評価したが、何れも同じ結
果が得られた。From the results in Table 3, it is understood that the types and amounts of additives are as follows. From the comparison between Sample 34 and Sample 35, the relative dielectric constant ε
However, the insulation resistance IR, the capacitance-temperature characteristic, and the third harmonic distortion rate THD tend to deteriorate. On the other hand, if the added amount of MgO is too large, the relative dielectric constant ε tends to be low, and the capacitance-temperature characteristics tend to be deteriorated. Further, from the comparison between Sample 36 and Sample 37, (BaCa) SiO
If 3 is not added, densification tends to be difficult.
On the other hand, when the amount of (BaCa) SiO 3 added is too large, the relative dielectric constant ε tends to decrease. Sample 35
From the comparison between sample and sample 37, the added amount of MgO was large (Ba
If the amount of Ca) SiO 3 is small, the capacity-temperature characteristics tend to deteriorate. On the other hand, when the added amount of MgO is small and the added amount of (BaCa) SiO 3 is large, the relative dielectric constant ε
Tends to decrease. By the way, (BaCa) SiO
3 , SiO 2 or Al 2 O 3 is added in place of 3 ,
Each was evaluated under the same conditions as above, but the same result was obtained in each case.
【0077】なお、以上説明した実施形態及び実施例
は、本発明の理解を容易にするために記載されたもので
あって、本発明を限定するために記載されたものではな
い。従って、上記の実施形態及び実施例に開示された各
要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や
均等物をも含む趣旨である。The embodiments and examples described above have been described in order to facilitate understanding of the present invention, but are not intended to limit the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiments and examples includes all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.
【0078】[0078]
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明では、
焼成時の耐還元性に優れ、高誘電率及び低歪み率を示す
とともに、容量温度特性に優れた誘電体組成物が提供さ
れる。また、本発明では、高容量、高絶縁抵抗及び低歪
み率となり、容量温度特性が平坦であり、しかも内部電
極に卑金属を用いることができるコンデンサが提供され
る。As described above, according to the present invention,
Provided is a dielectric composition which is excellent in reduction resistance during firing, exhibits a high dielectric constant and a low distortion rate, and is excellent in capacitance temperature characteristics. Further, according to the present invention, there is provided a capacitor which has a high capacitance, a high insulation resistance, a low distortion rate, a flat capacitance-temperature characteristic, and can use a base metal for an internal electrode.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図1】図1は本発明の誘電体組成物の主成分三元組成
図である。FIG. 1 is a ternary composition diagram of main components of a dielectric composition of the present invention.
【図2】図2は本発明の積層型コンデンサの実施形態を
示す一部破断斜視図である。FIG. 2 is a partially broken perspective view showing an embodiment of the multilayer capacitor of the present invention.
【図3】図3は実施例における試料1乃至31の組成モ
ル比を示す三元組成図である。FIG. 3 is a ternary composition diagram showing composition molar ratios of Samples 1 to 31 in Examples.
【図4】図4は実施例の容量温度特性(Y5R)を示す
グラフである。FIG. 4 is a graph showing capacitance-temperature characteristics (Y5R) of the example.
【図5】図5(A)は本実施例における誘電体組成物の
微細構造をTEM顕微鏡により観察し、これを模式的に
表した図、図5(B)は本発明の誘電体組成物の微細構
造をTEM顕微鏡により観察し、これを模式的に表した
一例を示す図である。FIG. 5A is a diagram schematically showing the microstructure of the dielectric composition according to the present example observed with a TEM microscope, and FIG. 5B is a diagram schematically illustrating the dielectric structure of the present invention. FIG. 2 is a view showing an example of a microstructure observed by a TEM microscope and schematically shown.
1… 積層型セラミックコンデンサ 11… 内部電極 12… 誘電体層 13… 外部電極 2… BaTiO3 からなる粒子 21… ドメイン構造を示す領域を有する部分 22… ドメイン構造を示す領域を有しない部分 3… SZ及びCZ、又は、SZ及びCZの固溶体から
なる粒子1 ... multilayer ceramic capacitor 11 ... internal electrode 12 ... dielectric layer 13 ... external electrodes 2 ... portions 22 ... partial no region showing a domain structure 3 having a region exhibiting comprising particles 21 ... domain structure from BaTiO 3 ... SZ Consisting of SZ and CZ or a solid solution of SZ and CZ
フロントページの続き (72)発明者 高橋 三喜夫 東京都中央区日本橋1丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内 Fターム(参考) 4G031 AA04 AA05 AA06 AA11 AA12 AA39 BA09 CA04 GA03 5E001 AB03 AC03 AC09 AD03 AE00 AE01 AE02 AE03 AE04 AF00 AF06 AH01 AH05 AH06 AH08 AH09 AJ01 AJ02 5G303 AA01 AB06 AB11 AB20 BA12 CA01 CB03 CB06 CB32 CB35 CB39 CC03 CC08 Continuation of the front page (72) Inventor Mikio Takahashi 1-13-1 Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo FDC term in TDK Corporation 4G031 AA04 AA05 AA06 AA11 AA12 AA39 BA09 CA04 GA03 5E001 AB03 AC03 AC09 AD03 AE00 AE01 AE02 AE03 AE04 AF00 AF06 AH01 AH05 AH06 AH08 AH09 AJ01 AJ02 5G303 AA01 AB06 AB11 AB20 BA12 CA01 CB03 CB06 CB32 CB35 CB39 CC03 CC08
Claims (8)
3 及びCaZrO 3 を含有する誘電体組成物であっ
て、 少なくともこれら3つの組成モル比について、 BaTiO3 の組成モル比(X)が、0.5≦X≦
0.675、 SrZrO3 の組成モル比(Y)が、0.1<Y≦
0.4、 CaZrO3 の組成モル比(Z)が、0.075≦Z
<0.25、であり、かつ、 X+Y+Z=1、であることを特徴とする誘電体組成
物。1. At least BaTiO3, SrZrO
3And CaZrO 3A dielectric composition containing
At least for these three molar ratios, BaTiO3Is less than or equal to 0.5 ≦ X ≦
0.675, SrZrO3Is less than 0.1 <Y ≦
0.4, CaZrO3Is less than 0.075 ≦ Z
<0.25, and X + Y + Z = 1.
object.
3 及びCaZrO 3 を含有する誘電体組成物であっ
て、 Ca、Sr及びZrが少なくとも一部に固溶されたBa
TiO3 からなる粒子と、 この粒子を囲むSrZrO3 及びCaZrO3 、又
は、これらの固溶体からなる粒子と、を有することを特
徴とする誘電体組成物。2. At least BaTiO3, SrZrO
3And CaZrO 3A dielectric composition containing
Ba in which Ca, Sr and Zr are at least partially dissolved
TiO3And SrZrO surrounding the particle3And CaZrO3,or
Has particles comprising these solid solutions.
The dielectric composition of the present invention.
0μm以下であることを特徴とする請求項1又は2記載
の誘電体組成物。 3. The average particle diameter of the BaTiO 3 is 1.
The dielectric composition according to claim 1, wherein the thickness is 0 μm or less.
くとも−30°C〜+85°Cの温度範囲において±1
5%以内(基準温度は25°C)であることを特徴とす
る請求項1〜3の何れかに記載の誘電体組成物。4. The rate of change of capacitance with respect to temperature is at least ± 1 in a temperature range of −30 ° C. to + 85 ° C.
The dielectric composition according to claim 1, wherein the dielectric composition is within 5% (the reference temperature is 25 ° C.).
特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の誘電体組成
物。5. The dielectric composition according to claim 1, further comprising a reduction resistance auxiliary.
とする請求項1〜5の何れかに記載の誘電体組成物。6. The dielectric composition according to claim 1, further comprising a sintering aid.
クコンデンサであって、 前記誘電体層が、請求項1〜6の何れか記載の組成物で
構成されていることを特徴とするセラミックコンデン
サ。7. A ceramic capacitor having an internal electrode and a dielectric layer, wherein the dielectric layer is made of the composition according to claim 1. Description: .
成されていることを特徴とする請求項7記載のセラミッ
クコンデンサ。8. The ceramic capacitor according to claim 7, wherein said internal electrode is made of Ni or a Ni alloy.
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