JP2000283114A

JP2000283114A - 流体圧アクチュエータ

Info

Publication number: JP2000283114A
Application number: JP11090653A
Authority: JP
Inventors: Futoshi Yamamoto; 太山本
Original assignee: Nok Corp
Current assignee: Nok Corp
Priority date: 1999-03-31
Filing date: 1999-03-31
Publication date: 2000-10-13

Abstract

(57)【要約】【課題】取付部材差込み用の孔部８が固定部１の平面
に設けられるとともにセンサ取付用の溝部９が固定部１
の側面に設けられていても固定部１の平面積が大きくな
ることがなく、もってアクチュエータの取付スペースが
大きくなることがない流体圧アクチュエータを提供す
る。【解決手段】シリンダ３８を設けた固定部１と、この
固定部１に案内機構５を介して相対変位可能に連結され
た移動部２とを備え、シリンダ３８に圧縮空気を供給し
て移動部２を固定部１に対して相対変位させる流体圧ア
クチュエータであって、固定部１の平面に設けた取付部
材差込み用の孔部８と、固定部１の側面に設けたセンサ
取付用の溝部９とを互いに交差させて設けることにし
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、リニアガイド装置
の固定部にシリンダを内蔵し、このシリンダに圧縮空気
を供給することにより移動部を往復動させる流体圧アク
チュエータに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、図９に示す流体圧アクチュエ
ータ５１が知られているが、このアクチュエータ５１に
は、以下のような不都合がある（特開平８−１２８４１
０号公報参照）。

【０００３】すなわち先ず、図９（Ａ）はこの流体圧ア
クチュエータ５１の平面を示しているが、この図から分
かるように、固定部５２の側面に設けられるセンサ取付
用の溝部５３が、固定部５２の平面の四隅に設けられた
取付部材差込み用の孔部５４を避けた位置に設けられて
いる。したがって、溝部５３を形成する溝形成部５５が
固定部５２の側面に張り出した状態で設けられているた
めに、この分、固定部５２の平面積が大きくなり、取付
スペースが大きい。この種の流体圧アクチュエータに対
しては一般に平面積を極力縮小するように小型化の要求
があるが、上記構成はこの要求に反するものである。

【０００４】また、図９（Ｂ）はこの流体圧アクチュエ
ータ５１の縦断面を示しているが、この図から分かるよ
うに、移動部材５６の停止位置を調整するネジ状の調整
部材５７が固定部５２のボディ５８の上部に別途設けら
れている。したがって、ボディ５８の内部に設けられた
シリンダ５９の軸心からの距離Ｌが長くなって、シリン
ダ５９の推力により大きなモーメントが発生し、移動部
５６のテーブル６０が調整部材５７に当接して停止する
と、テーブル６０が上記モーメントによって上下方向に
大きく傾いてしまう。また、調整部材５７を支持するブ
ロック６１が別途に必要であるために、製作コストが高
い。

【０００５】また、移動部５６の往復動を案内する案内
機構として線状部材をボディ５８にかしめ等で固定した
後、軌道面を形成しているために、この点からも製作コ
ストが高い。線状部材をかしめ等により固定すると外力
等によって緩みが生じ、動作精度が劣化する懸念があ
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は以上の点に鑑
みて、取付部材差込み用の孔部が固定部の平面に設けら
れるとともにセンサ取付用の溝部が固定部の側面に設け
られていても固定部の平面積が大きくなることがなく、
もってアクチュエータの取付スペースが大きくなること
がない流体圧アクチュエータを提供することを目的とす
る。

【０００７】また、シリンダの推力により発生するモー
メントを小さく抑えることができ、もって停止時におけ
る移動部の傾きを小さく抑えることが可能な流体圧アク
チュエータを提供することを目的とする。

【０００８】また、比較的近い二箇所の位置で位置検出
を行なう場合でも一本のセンサ取付用の溝部に複数の磁
気近接センサを直列に配置することができ、もって同一
面に複数のセンサ取付用の溝部を設ける必要がない流体
圧アクチュエータを提供することを目的とする。

【０００９】更にまた、これらに加えて、外力等によっ
て緩みが生じることがなく、もって動作精度が劣化する
ことがない案内機構を備えた流体圧アクチュエータを提
供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の請求項１による流体圧アクチュエータは、
シリンダを設けた固定部と、前記固定部に案内機構を介
して相対変位可能に連結された移動部とを備え、前記シ
リンダに圧縮空気を供給して前記移動部を前記固定部に
対して相対変位させる流体圧アクチュエータであって、
前記固定部の平面に設けた取付部材差込み用の孔部と、
前記固定部の側面に設けたセンサ取付用の溝部とを互い
に交差させて設けたことを特徴とするものである。

【００１１】また、本発明の請求項２による流体圧アク
チュエータは、シリンダを設けた固定部と、前記固定部
に案内機構を介して相対変位可能に連結された移動部と
を備え、前記シリンダに圧縮空気を供給して前記移動部
を前記固定部に対して相対変位させる流体圧アクチュエ
ータであって、前記移動部の停止位置を調整する調整部
材を、前記固定部の肉厚内に前記シリンダと並べて設け
たネジ孔に進退自在にねじ込んだことを特徴とするもの
である。

【００１２】また、本発明の請求項３による流体圧アク
チュエータは、シリンダを設けた固定部と、前記固定部
に案内機構を介して相対変位可能に連結された移動部と
を備え、前記シリンダに圧縮空気を供給して前記移動部
を前記固定部に対して相対変位させる流体圧アクチュエ
ータであって、前記移動部の位置を検出する磁気近接セ
ンサを作動させる永久磁石を、前記シリンダに内挿した
ピストンの移動方向両端部もしくは前記移動部の移動方
向両端部またはその近傍に取り付けたことを特徴とする
ものである。

【００１３】更にまた、本発明の請求項４による流体圧
アクチュエータは、上記した請求項１、２または３の流
体圧アクチュエータにおいて、案内機構が、前記固定部
に設けた凹溝内に配置された一対のベアリングレース
と、前記凹溝と対向するように前記移動部に設けた凹溝
内に配置された一対のベアリングレースと、前記二対四
本のベアリングレースの間に転動自在に配置された転動
体と、前記移動部の側面から一方の前記凹溝の底面に貫
通配置された調整ネジとを有することを特徴とするもの
である。

【００１４】上記構成を備えた本発明の請求項１による
流体圧アクチュエータにおいては、固定部の平面に設け
た取付部材差込み用の孔部と、固定部の側面に設けたセ
ンサ取付用の溝部とが互いに交差して設けられているた
めに、この孔部と溝部の双方が固定部に設けられても、
溝部のみが設けられる場合と比較して固定部の平面積が
大きくなることがない。溝部は孔部の位置を避けること
なく、任意の位置に形成することが可能である。

【００１５】また、上記構成を備えた本発明の請求項２
による流体圧アクチュエータにおいては、移動部の停止
位置を調整する調整部材が、固定部の肉厚内にシリンダ
と並べて設けたネジ孔に進退自在にねじ込まれているた
めに、調整部材が固定部の上部に別途設けられる場合と
比較して、シリンダの軸心からの距離を一般に短くする
ことが可能となり、これによりシリンダの推力により発
生するモーメントを小さくすることが可能となる。

【００１６】また、上記構成を備えた本発明の請求項３
による流体圧アクチュエータにおいては、移動部の位置
を検出する磁気近接センサを作動させる永久磁石が、シ
リンダに内挿したピストンの移動方向両端部もしくは移
動部の移動方向両端部またはその近傍に取り付けられて
いるために、比較的近い二箇所の位置で位置検出を行な
う場合でも一本のセンサ取付用の溝部に複数の磁気近接
センサを直列に配置することが可能となる。

【００１７】更にまた、上記構成を備えた本発明の請求
項４による流体圧アクチュエータにおいては、案内機構
が、固定部に設けた凹溝内に配置された一対のベアリン
グレースと、凹溝と対向するように移動部に設けた凹溝
内に配置された一対のベアリングレースと、二対四本の
ベアリングレースの間に転動自在に配置された転動体
と、移動部の側面から一方の凹溝の底面に貫通配置され
た調整ネジとを有しているために、調整ネジを適宜締め
込むことによってベアリングレースおよびボールをガタ
なく組み付けることが可能となり、また、かしめや接着
等でベアリングレースを固定部に固定する必要がないた
めに、固定が緩んだり外れたりすることがない。

【００１８】

【発明の実施の形態】つぎに本発明の実施形態を図面に
したがって説明する。

【００１９】第一実施形態・・・図１は、当該実施形態
に係る流体圧アクチュエータの正面図、図２は平面図、
図３は側面図、図４は図３におけるＡ−Ａ線断面図、図
５は図４におけるＢ−Ｃ−Ｄ−Ｅ線断面図、図６は図５
の一部拡大図である。

【００２０】当該実施形態に係る流体圧アクチュエータ
は、先ず、固定部であるボディ（ガイドレールとも称す
る）１と、移動部であるテーブル（スライダとも称す
る）２とを有しており、ボディ１の上面にその全長に亙
って設けた凸部１ａの両外側面にそれぞれ、軸方向に延
びる凹溝３がボディ１の全長に亙って設けられるととも
に、ボディ１に跨乗配置される逆凹字形のテーブル２の
両内側面にそれぞれ、前記凹溝３に相対応する凹溝４が
テーブル２の全長に亙って設けられており、この互いに
対向する凹溝３，４の間にそれぞれ、テーブル２の移動
を案内する案内機構５が設けられている。

【００２１】ボディ１およびテーブル２はそれぞれ、軽
量で耐食性および加工性に優れたアルミニウム合金によ
って成形されており、特にボディ１は、押出し材の段階
で肉厚の略中央に貫通孔１１が形成される関係上、押出
し加工性に優れたＡ６０６３等の耐食アルミニウム合金
によって成形されるのが好ましい。またテーブル２には
集中応力の発生する部分があることから、このテーブル
２は機械的強度に優れたＡ７０７５等の高力アルミニウ
ム合金によって成形されるのが好ましい。ボディ１およ
びテーブル２はそれぞれ押出し材の段階で断面形状の成
形が完了しており、よって後（あと）は、それぞれを所
要の長さに切断し、タップ加工や仕上げ加工等を施すこ
とにより容易に成形される。また押出し材の段階で所要
の熱処理や表面処理等が行なうことができることから、
製作コストを大幅に低減させることが可能である。

【００２２】テーブル２の上面に、ツールや治具（共に
図示せず）等を連結して搭載するためのネジ穴状の取付
部６が所要数設けられるとともに、ボディ１の平面上
に、当該流体圧アクチュエータを設備（図示せず）等の
所定箇所に固定するための取付部７が所要数設けられて
おり、図の例では、この取付部６，７がそれぞれ田の字
形に四箇所ずつ設けられている。後者のボディ１側の取
付部７は、取付部材である取付ボルト（図示せず）を上
方から差し込むことができるようにボディ１を上下方向
に貫通した孔部８を備えている。またボディ１の両側面
にそれぞれ、ボディ１の全長に亙って磁気近接センサ
（図示せず）取付用の溝部（長溝とも称する）９が設け
られており、この溝部９はボディ１が押出し材である段
階で形成されている。

【００２３】そして、当該アクチュエータにおいては、
ボディ１の平面上に設けられた上記孔部８とボディ１の
側面に設けられた上記溝部９とが互いに直角に交差する
ように設けられており、これにより両者８，９の平面上
の配置が重複するように形成されている。

【００２４】図５に示すように、取付部７に設けた孔部
８において、その上端開口部から溝部９の下側に位置す
る高さ位置に至るまでの間に比較的大径の深ザグリ８ａ
が設けられており、この深ザグリ８ａよりなる大径部と
その下側の小径部８ｂとの境に取付ボルトの頭部が着座
する段差状の着座面８ｃが設けられている。この着座面
８ｃに着座した状態で取付ボルトの頭部は溝部９より下
側の深ザグリ８ａ内に収容されて、その上端部が溝部９
に突出しないようになっており、これによりこの取付ボ
ルトが溝部９へのセンサの取付けを阻害することはな
い。

【００２５】小径部８ｂの内面には、雌ネジ８ｄが形成
されている。したがって取付部７の孔部８に対しては、
その上方から取付ボルトを挿通させることができるだけ
でなく、ボディ１の底面側からの螺合も可能とされてい
る。また溝部９の内面にはそれぞれ、センサ脱落防止用
の突起１０が上下に対で設けられている。

【００２６】ボディ１に、その全長に亙って貫通孔１１
が押出し材の段階で設けられるとともに、この貫通孔１
１の上方に開口部１２が凸部１ａの上面に開口するよう
に設けられており、この貫通孔１１と開口部１２とが両
者１１，１２の境壁に設けた長孔状の連通部１３を介し
て互いに連通せしめられている。上端部に雄ネジ１４ａ
を設けたピン状の連結部材１４が開口部１２および連通
部１３を上下に貫通して、テーブル２の略中央にテーブ
ル２上面に直交して設けた雌ネジ２ａにねじ込まれてテ
ーブル２に連結されており、この連結部材１４の下端部
がピストン１５の軸方向略中央に設けた係合孔１５ａに
若干の遊びをもって差込み係合されている。ピストン１
５の両端部には一対の永久磁石１６が埋設されており、
蓋部材１７がこの永久磁石１６の脱落を防止している。
センサ取付用の溝部９に装着される磁気近接センサが永
久磁石１６の磁気を検知し、磁気近接センサが別々の永
久磁石１６の磁気を検知することができるために、比較
的近い二箇所で位置検出を行なう場合でもセンサ取付用
の溝部９に複数の磁気近接センサを直列に配置すること
が可能である。したがって同一面に複数のセンサ取付用
の溝部９を設ける必要がない。永久磁石１６は、これを
ピストン１５の両端に保持する代わりに、図５に示すよ
うにテーブル２の底部四隅に配置するようにしても良
い。

【００２７】ピストン１５は貫通孔１１の内部に摺動可
能に配置されており、このピストン１１の両端部に一対
の第二ピストン１８が非接着で配置されており、この第
二ピストン１８の外周にそれぞれピストンシール１９が
装着されている。貫通孔１１の両端部はそれぞれ閉止部
材２０によって閉塞されており、閉止部材２０の外周に
はそれぞれＯリング２１が装着されている。閉止部材２
０はそれぞれ穴用止め輪２２により固定されている。

【００２８】貫通孔１１の内部は、ピストン１５および
一対の第二ピストン１８によって一対のシリンダ室２３
に仕切られており、ボディ１の内部に全体を符号３８で
示すシリンダが設けられている。ボディ１の側面に一対
の配管ポート２４が設けられており、この配管ポート２
４がそれぞれオリフィス（図示せず）を介して一方のシ
リンダ室２３に連通している。したがって、この配管ポ
ート２４およびオリフィスを介して一方のシリンダ室２
３に作動流体圧である圧縮空気を供給するとともに他方
のシリンダ室２３を大気開放すると、その圧力によって
ピストン１５および第二ピストン１８が一体に貫通孔１
１内を軸方向に移動し、この動きに連結部材１４を介し
てテーブル２が従動する。連結部材１４が連通部１３の
周縁部に当接するとストロークエンドに達して移動が停
止するが、この停止位置は調整部材２５による調整によ
り変更可能とされている。

【００２９】すなわち、ボディ１の上下方向の肉厚内
に、貫通孔１１の上部に隣接して一対のネジ孔２６が貫
通孔１１と平行に設けられており、このネジ孔２６にそ
れぞれボルト状の調整部材２５が軸方向に進退可能にね
じ込まれて、固定ナット３７で固定されている。調整部
材２５の先端部２５ａはボディ１の開口部１２に突出し
ており、よってこの先端部２５ａに連結部材１４が当接
すると、テーブル２の移動が停止する。連結部材１４の
外周には当接部材２７が取り付けられており、調整部材
２５の先端部２５ａにはゴム状弾性材製の緩衝部材２８
が取り付けられている。したがって当接部材２７が緩衝
部材２８に当接したときに緩衝部材２８の緩衝作用によ
り当接時の衝撃を吸収することが可能である。また当接
部材２７は硬質の材料によって成形されるとともに熱処
理によって必要な硬度が確保されている。したがってテ
ーブル２の停止位置精度が必要な場合には、緩衝部材２
８を取り外して当接部材２７を調整部材２５に直接当接
させるが、このように金属同士で当接させても、へたり
が生じることはない。

【００３０】テーブル２の移動を案内する案内機構５
は、以下のように構成されている。

【００３１】図５および図６に示すように、先ず、ボデ
ィ１側の凹溝３の底部に断面円形または略円形を呈する
棒状のベアリングレース２９が上下一対配置されてお
り、このベアリングレース２９がそれぞれその周面の一
部で、凹溝３の上下隅部に設けた断面円弧形の円弧部３
ａと摺動可能に接触している。円弧部３ａの径はベアリ
ングレース２９の径と等しいか、またはベアリングケー
ス２９の径より僅かに大きく形成されており、よって円
弧部同士が接触するこの接触構造は、円弧部と平面とが
接触する場合と比較して、接触部に発生する応力が著し
く低減されている。

【００３２】テーブル２側の凹溝４の底部に、軸方向に
延びる平面部３０ａを周面の一部に備えた断面略Ｄ字形
を呈する棒状のベアリングレース３０が上下一対配置さ
れており、このベアリングレース３０がそれぞれその周
面の一部の円弧部３０ｂにおいて凹溝４の平面状の側壁
部４ａと摺動自在に接触している。このような円弧部３
０ｂと平面状の側壁部４ａとを接触させる場合には、接
触部に集中応力が発生することがあるが、当該アクチュ
エータではテーブル２が高力アルミニウム合金によって
成形されるとともにＴ６等の熱処理を施されているため
に、必要な機械的強度が十分に確保されている。

【００３３】上記構成によってベアリングレース２９，
３０が二対四本一組で田の字形に配置されており、この
ベアリングレース２９，３０の間に、転動体である所要
数のボール３１が一列に並べられて転動自在に介装され
ている。ボール３１はそれぞれベアリングレース２９の
周面およびベアリングレース３０の円弧部３０ｂと接触
している。

【００３４】各ベアリングレース２９，３０およびボー
ル３１は、必要な強度を確保するために高炭素クロム軸
受鋼やマルテンサイト系ステンレス鋼等の硬質の材料に
よって成形されるとともに、熱処理後、研磨によって精
密な仕上げ加工が施されており、リニアガイド装置の精
度および剛性を向上させている。またこの案内機構５
は、センタレス研磨を施したベアリングレース２９，３
０の外周をそのまま軌道面とする構成であることから、
線状部材をボディに固定して軌道面を形成していた従来
例と比較して、大幅に製作コストを低減させることが可
能である。

【００３５】テーブル２側の凹溝４の底面に向けてテー
ブル２の一方の外側側面からネジ孔３２が設けられてお
り、このネジ孔３２が凹溝４の長手方向に沿って複数
（図では四箇所）設けられ、このネジ孔３２にそれぞれ
調整ネジ３３が軸方向進退自在にねじ込まれている。調
整ネジ３３の軸端（先端）には平面部３３ａが設けられ
ていて、この平面部３３ａがベアリングレース３０の外
周に設けた平面部３０ａと互いに接触している。したが
ってこの調整ネジ３３をねじ込んだり戻したりすること
により、ベアリングレース２９，３０とボール３１との
接触状態を調整することが可能である。

【００３６】また、ボディ１側の凹溝３の底部に配置さ
れたベアリングレース２９の両端部にそれぞれ鍋子ネジ
３４が装着されるとともに、テーブル２の両端部にそれ
ぞれ板状の端部材３５が鍋子ネジ３６によって固定され
ており、これらによりベアリングレース２９，３０およ
びボール３１の脱落が防止されている。

【００３７】上記構成を備えた流体圧アクチュエータ
は、ボディ１の平面に設けた孔部８にそれぞれ取付ボル
トを差し込んでボディ１を生産設備等の所定箇所に固定
し、配管ポート２４に配管を接続してシリンダ３８を作
動可能とし、ボディ１の側面に設けた溝部９に磁気近接
スイッチを取り付けるとともに所定の配線を施してテー
ブル２の位置を検出可能とし、テーブル２の上面にツー
ルや治具等のワークを搭載し、更に調整部材２５を操作
してテーブル２の停止位置を調整し、この状態でシリン
ダ３８に圧縮空気を供給してテーブル２およびワークを
案内機構５に沿って直線的に往復動させるものであっ
て、上記構成により以下の作用効果を奏する点に特徴を
有している。

【００３８】すなわち先ず第一に、ボディ１の平面に設
けられた取付ボルト差込み用の孔部８と、同じくボディ
１の側面に設けられたセンサ取付用の溝部９とが互いに
交差するように設けられているために、この取付ボルト
差込み用の孔部８とセンサ取付用の溝部９の双方がボデ
ィ１に設けられても、溝部９のみが設けられる場合と比
較してボディ１の平面積が大きくなることがなく、上記
従来技術のように固定部５２の側面に溝形成部５５を張
り出し状に設ける必要がないために、上記従来技術と比
較してボディ１の平面積を却って縮小することが可能で
ある。したがって当該アクチュエータの平面形状を小型
化することができ、その取付スペースを縮小することが
できる。

【００３９】また、テーブル２の停止位置を調整するネ
ジ状の調整部材２５が、ボディ１の肉厚内にシリンダ３
８と並べて設けられたネジ孔２６に進退自在にねじ込ま
れているために、上記従来技術のように調整部材５７が
固定部５２の上部に別途設けられる場合と比較して、シ
リンダ３８の軸心からの距離を短くすることが可能であ
る。したがってシリンダ３８の推力により発生するモー
メントを小さく抑えることができ、停止時におけるテー
ブル２の傾きを小さく抑えることができる。また連結部
材１４に取り付けられた当接部材２７の当接面から案内
機構５までの距離が短いために、部材の撓みによる変位
を小さく抑えることができる。

【００４０】また、テーブル２の位置を検出する磁気近
接センサを作動させる永久磁石１６が、シリンダ３８に
内挿されたピストン１５の両端部もしくはテーブル２の
両端部またはその近傍に取り付けられているために、比
較的近い二箇所の位置で位置検出を行なう場合でも一本
のセンサ取付用の溝部９に複数の磁気近接センサを直列
に配置することが可能である。したがって同一面に複数
のセンサ取付用の溝部９を設ける必要がなく、この点か
らも当該アクチュエータを小型化することができる。

【００４１】更にまた、ボディ１とテーブル２の間に配
置されてテーブル２の移動を案内する案内機構５が、ボ
ディ１に設けられた凹溝３内に配置された一対のベアリ
ングレース２９と、この凹溝３と対向するようにテーブ
ル２に設けられた凹溝４内に配置された一対のベアリン
グレース３０と、この二対四本のベアリングレース２
９，３０の間に転動自在に配置されたボール３１と、テ
ーブル２の側面から一方の凹溝４の底面に貫通配置され
た調整ネジ３３とを有しているために、調整ネジ３３を
適宜締め込むことによってベアリングレース２９，３０
およびボール３１をガタなく組み付けることが可能であ
り、また上記従来技術のように、かしめや接着等でベア
リングレースを固定部に固定する必要がないために、固
定が緩んだり外れたりすることがない。したがって案内
機構５の動作精度が劣化することがなく、耐久性に優れ
た案内機構５を備えたアクチュエータを提供することが
できる。

【００４２】尚、この案内機構５については、その構成
を以下のようにすることも考えられる。

【００４３】第二実施形態・・・図７に示すように、テ
ーブル２側の凹溝４内に配置されるとともに調整ネジ３
３と組み合わされる方の一対のベアリングレース３０に
それぞれ、その周面の一部に設けた平面部３０ａと直交
する第二の平面部３０ｃを設け、この第二の平面部３０
ｃを凹溝４の平面状の側壁部４ａに摺動自在に当接させ
る。このようにすると、ワークの重量等による荷重作用
時にテーブル２に発生する応力が一層低下するために、
テーブル２を耐食アルミニウム合金で製作することがて
きる上、当該アクチュエータが支持することのできる荷
重を大きくすることができる。この第二実施形態に係る
アクチュエータの他の構成および作用効果は上記第一実
施形態と同じである。

【００４４】第三実施形態・・・図８に示すように、テ
ーブル２側の凹溝４内に配置されるとともに調整ネジ３
３と組み合わされる方の一対のベアリングレース３０に
それぞれ、その周面の一部に設けた平面部３０ａと直交
する第二の平面部３０ｃを設け、この第二の平面部３０
ｃを凹溝４の平面状の側壁部４ａに摺動自在に当接させ
る。また全てのベアリングレース２９，３０の周面の一
部にそれぞれ転動体であるボール３１と接触する平面部
２９ａ，３０ｄを設ける。このようにすると、当該アク
チュエータが支持することのできる荷重を更に大きくす
ることができるとともにアクチュエータを一層小型化す
ることができる。

【００４５】また、第一ないし第三実施形態に共通し
て、それぞれの案内機構５には、以下のように特徴があ
る。

【００４６】すなわち先ず、テーブル２側の凹溝４内に
配置されるベアリングレース３０とボール３１との接触
部の法線と、ベアリングレース３０と凹溝４との接触部
の法線とが交差する点を通る水平線の上下で、調整ネジ
３３とベアリングレース３０とが互いに接触しているた
めに、組立時に対向する調整ネジ３３の端面に形成した
平面部３３ａとベアリングレース３０の周面の一部に形
成した平面部３０ａとが互いに平行でなくても、調整ネ
ジ３３をねじ込むことによってベアリングレース３０が
回動し、ベアリングレース３０側の平面部３０ａが調整
ネジ３３側の平面部３３ａに倣って互いに面接触する。
したがって接触部にへたりが発生するのを防止すること
ができる。

【００４７】また、テーブル２側の凹溝内４に配置され
る一対のベアリングレース３０の双方に同一の調整ネジ
３３が接触しているために、凹溝４の長手方向に沿って
配置されている複数個の調整ネジ３３のねじ込み具合で
テーブル２とボディ１との相対位置が変化することがな
い。

【００４８】上記第二、第三実施形態に係るアクチュエ
ータの他の構成および作用効果はそれぞれ、上記第一実
施形態と同じである。

【００４９】

【発明の効果】本発明は、以下の効果を奏する。

【００５０】すなわち先ず、上記構成を備えた本発明の
請求項１による流体圧アクチュエータにおいては、固定
部の平面に設けた取付部材差込み用の孔部と、固定部の
側面に設けたセンサ取付用の溝部とが互いに交差して設
けられているために、この取付部材差込み用の孔部とセ
ンサ取付用の溝部の双方が固定部に設けられても、溝部
のみが設けられる場合と比較して固定部の平面積が大き
くなることがなく、上記従来技術のように固定部の側面
に溝形成部を張り出し状に設ける必要がないために、上
記従来技術と比較して固定部の平面積を却って縮小する
ことが可能である。したがって当該アクチュエータの平
面形状を小型化することができ、その取付スペースを縮
小することができる。

【００５１】また、上記構成を備えた本発明の請求項２
による流体圧アクチュエータにおいては、移動部の停止
位置を調整する調整部材が、固定部の肉厚内にシリンダ
と並べて設けたネジ孔に進退自在にねじ込まれているた
めに、上記従来技術のように調整部材が固定部の上部に
別途設けられる場合と比較して、シリンダの軸心からの
距離を短くすることが可能である。したがってシリンダ
の推力により発生するモーメントを小さく抑えることが
でき、停止時におけるテーブルの傾きを小さく抑えるこ
とができる。

【００５２】また、上記構成を備えた本発明の請求項３
による流体圧アクチュエータにおいては、移動部の位置
を検出する磁気近接センサを作動させる永久磁石が、シ
リンダに内挿したピストンの移動方向両端部もしくは移
動部の移動方向両端部またはその近傍に取り付けられて
いるために、比較的近い二箇所の位置で位置検出を行な
う場合でも一本のセンサ取付用の溝部に複数の磁気近接
センサを直列に配置することが可能である。したがって
同一面に複数のセンサ取付用の溝部を設ける必要がな
く、この点からも当該アクチュエータを小型化すること
ができる。

【００５３】更にまた、上記構成を備えた本発明の請求
項４による流体圧アクチュエータにおいては、案内機構
が、固定部に設けた凹溝内に配置された一対のベアリン
グレースと、凹溝と対向するように移動部に設けた凹溝
内に配置された一対のベアリングレースと、二対四本の
ベアリングレースの間に転動自在に配置された転動体
と、移動部の側面から一方の凹溝の底面に貫通配置され
た調整ネジとを有しているために、調整ネジを適宜締め
込むことによってベアリングレースおよび転動体をガタ
なく組み付けることが可能であり、また上記従来技術の
ように、かしめや接着等でベアリングレースを固定部に
固定する必要がないために、固定が緩んだり外れたりす
ることがない。したがって案内機構の動作精度が劣化す
ることがなく、耐久性に優れた案内機構を備えたアクチ
ュエータを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施形態に係る流体圧アクチュエ
ータの正面図

【図２】同流体圧アクチュエータの平面図

【図３】同流体圧アクチュエータの側面図

【図４】図３におけるＡ−Ａ線断面図

【図５】図４におけるＢ−Ｃ−Ｄ−Ｅ線断面図

【図６】図５の一部拡大図

【図７】本発明の第二実施形態に係る流体圧アクチュエ
ータの一部断面図

【図８】本発明の第三実施形態に係る流体圧アクチュエ
ータの一部断面図

【図９】（Ａ）は従来例に係る流体圧アクチュエータの
平面図、（Ｂ）はドア流体圧アクチュエータの縦断面図

【符号の説明】

１ボディ（固定部）１ａ凸部２テーブル（移動部）２ａ，８ｄ雌ネジ３，４凹溝３ａ，３０ｂ円弧部４ａ側壁部５案内機構６，７取付部８孔部９溝部８ａ深ザグリ８ｂ小径部８ｃ着座面１０突起１１貫通孔１２開口部１３連通部１４連結部材１４ａ雄ネジ１５ピストン１５ａ係合孔１６永久磁石１７蓋部材１８第二ピストン１９ピストンシール２０閉止部材２１Ｏリング２２穴用止め輪２３シリンダ室２４配管ポート２５調整部材２５ａ先端部２６，３２ネジ孔２７当接部材２８緩衝部材２９，３０ベアリングレース２９ａ，３０ａ，３０ｃ，３０ｄ，３３ａ平面部３１ボール（転動体）３３調整ネジ３４，３６鍋子ネジ３５端部材３７固定ナット３８シリンダ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】シリンダ（３８）を設けた固定部（１）
と、前記固定部（１）に案内機構（５）を介して相対変
位可能に連結された移動部（２）とを備え、前記シリン
ダ（３８）に圧縮空気を供給して前記移動部（２）を前
記固定部（１）に対して相対変位させる流体圧アクチュ
エータであって、前記固定部（１）の平面に設けた取付部材差込み用の孔
部（８）と、前記固定部（１）の側面に設けたセンサ取
付用の溝部（９）とを互いに交差させて設けたことを特
徴とする流体圧アクチュエータ。
【請求項２】シリンダ（３８）を設けた固定部（１）
と、前記固定部（１）に案内機構（５）を介して相対変
位可能に連結された移動部（２）とを備え、前記シリン
ダ（３８）に圧縮空気を供給して前記移動部（２）を前
記固定部（１）に対して相対変位させる流体圧アクチュ
エータであって、前記移動部（２）の停止位置を調整する調整部材（２
５）を、前記固定部（１）の肉厚内に前記シリンダ（３
８）と並べて設けたネジ孔（２６）に進退自在にねじ込
んだことを特徴とする流体圧アクチュエータ。
【請求項３】シリンダ（３８）を設けた固定部（１）
と、前記固定部（１）に案内機構（５）を介して相対変
位可能に連結された移動部（２）とを備え、前記シリン
ダ（３８）に圧縮空気を供給して前記移動部（２）を前
記固定部（１）に対して相対変位させる流体圧アクチュ
エータであって、前記移動部（２）の位置を検出する磁気近接センサを作
動させる永久磁石（１６）を、前記シリンダ（３８）に
内挿したピストン（１５）の移動方向両端部もしくは前
記移動部（２）の移動方向両端部またはその近傍に取り
付けたことを特徴とする流体圧アクチュエータ。
【請求項４】請求項１、２または３の流体圧アクチュ
エータにおいて、案内機構（５）が、前記固定部（１）に設けた凹溝
（３）内に配置された一対のベアリングレース（２９）
と、前記凹溝（３）と対向するように前記移動部（１）
に設けた凹溝（４）内に配置された一対のベアリングレ
ース（３０）と、前記二対四本のベアリングレース（２
９）（３０）の間に転動自在に配置された転動体（３
１）と、前記移動部（２）の側面から一方の前記凹溝
（４）の底面に貫通配置された調整ネジ（３３）とを有
することを特徴とする流体圧アクチュエータ。