JP2000285848A - 飛行時間型質量分析装置 - Google Patents
飛行時間型質量分析装置Info
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- JP2000285848A JP2000285848A JP11087653A JP8765399A JP2000285848A JP 2000285848 A JP2000285848 A JP 2000285848A JP 11087653 A JP11087653 A JP 11087653A JP 8765399 A JP8765399 A JP 8765399A JP 2000285848 A JP2000285848 A JP 2000285848A
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- ion
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Abstract
(57)【要約】
【課題】装置を大型化することなく、高分解能のマスス
ペクトルを得ることのできる飛行時間型質量分析装置を
提供する。 【解決手段】イオンが飛行する軌道上に減速電場、次い
で加速電場を設け、イオンの飛行方向を変えることな
く、イオンに減速、次いで加速を行なわせるようにし
た。
ペクトルを得ることのできる飛行時間型質量分析装置を
提供する。 【解決手段】イオンが飛行する軌道上に減速電場、次い
で加速電場を設け、イオンの飛行方向を変えることな
く、イオンに減速、次いで加速を行なわせるようにし
た。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、飛行時間型質量分
析装置に関し、特に、マススペクトルの分解能を向上さ
せることのできる飛行時間型質量分析装置に関する。
析装置に関し、特に、マススペクトルの分解能を向上さ
せることのできる飛行時間型質量分析装置に関する。
【0002】
【従来の技術】質量分析装置は、試料から生成するイオ
ンを真空中で飛行させ、飛行の過程で質量の異なるイオ
ンを分離して、スペクトルとして記録する装置である。
質量分析装置には、扇形磁場を用いてイオンの質量分散
を行なわせる磁場型質量分析装置、四重極電極を用いて
質量によるイオンの選別(フィルタリング)を行なわせ
る四重極質量分析装置(QMS)、質量によるイオンの
飛行時間の違いを利用してイオンを分離する飛行時間型
質量分析装置(TOFMS;time of flight MS)な
どが知られている。
ンを真空中で飛行させ、飛行の過程で質量の異なるイオ
ンを分離して、スペクトルとして記録する装置である。
質量分析装置には、扇形磁場を用いてイオンの質量分散
を行なわせる磁場型質量分析装置、四重極電極を用いて
質量によるイオンの選別(フィルタリング)を行なわせ
る四重極質量分析装置(QMS)、質量によるイオンの
飛行時間の違いを利用してイオンを分離する飛行時間型
質量分析装置(TOFMS;time of flight MS)な
どが知られている。
【0003】これらの質量分析装置の内、磁場型質量分
析装置とQMSは、連続的にイオンを生成するタイプの
イオン源に適合しているのに対し、TOFMSは、パル
ス状にイオンを生成するタイプのイオン源に適合してい
る。従って、連続型のイオン源をTOFMSに利用しよ
うとすれば、イオン源の利用のしかたに工夫が必要であ
る。垂直加速型飛行時間型質量分析装置(OA−TOF
MS;orthogonal acceleration TOFMS)は、連続
型のイオン源からパルス状のイオンを射出することがで
きるように工夫されたTOFMSの一例である。
析装置とQMSは、連続的にイオンを生成するタイプの
イオン源に適合しているのに対し、TOFMSは、パル
ス状にイオンを生成するタイプのイオン源に適合してい
る。従って、連続型のイオン源をTOFMSに利用しよ
うとすれば、イオン源の利用のしかたに工夫が必要であ
る。垂直加速型飛行時間型質量分析装置(OA−TOF
MS;orthogonal acceleration TOFMS)は、連続
型のイオン源からパルス状のイオンを射出することがで
きるように工夫されたTOFMSの一例である。
【0004】図1に、典型的なOA−TOFMSの構成
を示す。OA−TOFMSは、電子衝撃(EI)イオン
源、化学イオン化(CI)イオン源、電界脱離(FD)
イオン源、エレクトロスプレイ(ESI)イオン源、高
速原子衝撃(FAB)イオン源などの連続型のイオン源
1と、イオンガイド2が置かれた中間室3と、集光レン
ズ4、押し出し電極5、加速レンズ6、リフレクトロン
7、イオン検出器8などのイオン光学系を構成する構成
物が置かれた測定室9とから成っている。
を示す。OA−TOFMSは、電子衝撃(EI)イオン
源、化学イオン化(CI)イオン源、電界脱離(FD)
イオン源、エレクトロスプレイ(ESI)イオン源、高
速原子衝撃(FAB)イオン源などの連続型のイオン源
1と、イオンガイド2が置かれた中間室3と、集光レン
ズ4、押し出し電極5、加速レンズ6、リフレクトロン
7、イオン検出器8などのイオン光学系を構成する構成
物が置かれた測定室9とから成っている。
【0005】このような構成において、イオン源1にお
いて試料から生成したイオンは、中間室3に置かれたイ
オンガイド2によって高真空な測定室9へと誘導され
る。中間室3と測定室9を仕切る隔壁には、オリフィス
10が設けられていて、イオンガイド2から誘導されて
きたイオンは、オリフィス10によって一定の径を持っ
たイオンビームに整形されて、測定室9に導入される。
いて試料から生成したイオンは、中間室3に置かれたイ
オンガイド2によって高真空な測定室9へと誘導され
る。中間室3と測定室9を仕切る隔壁には、オリフィス
10が設けられていて、イオンガイド2から誘導されて
きたイオンは、オリフィス10によって一定の径を持っ
たイオンビームに整形されて、測定室9に導入される。
【0006】測定室9の入口には、集光レンズ4が設置
されている。測定室9に入ってきたイオンビームは、集
光レンズ4により収束されて、押し出し電極5と加速レ
ンズ6との間隙に沿った細長い空間に、押し出し電極5
及び加速レンズ6に対して平行に進入する。押し出し電
極5及び加速レンズ6の近傍を移動する一定の長さを持
ったイオンビームは、押し出し電極5及び加速レンズ6
にパルス状の加速電圧を印加することにより、イオンビ
ームの進入軸方向とは垂直な方向にパルス状に加速さ
れ、イオンパルスとなって、押し出し電極5及び加速レ
ンズ6と対向する位置に設けられたリフレクトロン7に
向けて飛行を開始する。
されている。測定室9に入ってきたイオンビームは、集
光レンズ4により収束されて、押し出し電極5と加速レ
ンズ6との間隙に沿った細長い空間に、押し出し電極5
及び加速レンズ6に対して平行に進入する。押し出し電
極5及び加速レンズ6の近傍を移動する一定の長さを持
ったイオンビームは、押し出し電極5及び加速レンズ6
にパルス状の加速電圧を印加することにより、イオンビ
ームの進入軸方向とは垂直な方向にパルス状に加速さ
れ、イオンパルスとなって、押し出し電極5及び加速レ
ンズ6と対向する位置に設けられたリフレクトロン7に
向けて飛行を開始する。
【0007】垂直方向に加速されたイオンは、測定室9
に導入されたときの速度と、それとは垂直な方向に押し
出し電極5及び加速レンズ6によって与えられた速度と
が加わるため、完全に垂直な方向ではなく、わずかに斜
めを向いた垂直方向に飛行し、リフレクトロン7で反射
されて、イオン検出器8に到達する。
に導入されたときの速度と、それとは垂直な方向に押し
出し電極5及び加速レンズ6によって与えられた速度と
が加わるため、完全に垂直な方向ではなく、わずかに斜
めを向いた垂直方向に飛行し、リフレクトロン7で反射
されて、イオン検出器8に到達する。
【0008】イオンの加速の過程では、軽いイオンほど
速度が速くなり、重いイオンほど速度が遅くなるため、
イオンの質量の違いがイオン検出器8に到達するまでの
到達時間の違いとなって現れ、イオンの質量の違いをイ
オンの飛行時間の違いとして分離することができる。
速度が速くなり、重いイオンほど速度が遅くなるため、
イオンの質量の違いがイオン検出器8に到達するまでの
到達時間の違いとなって現れ、イオンの質量の違いをイ
オンの飛行時間の違いとして分離することができる。
【0009】このように、連続型のイオン源1から生成
したイオンビームを、押し出し電極5及び加速レンズ6
によってパルス状に加速することにより、パルス状に生
成するイオン源に対して適合性を持つTOFMSに、連
続型のイオン源を適用することができる。
したイオンビームを、押し出し電極5及び加速レンズ6
によってパルス状に加速することにより、パルス状に生
成するイオン源に対して適合性を持つTOFMSに、連
続型のイオン源を適用することができる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】このような構成におい
て、TOFMSでは、イオンの質量差が、所定の空間を
飛行する際のイオンの飛行時間の差となって現れるた
め、マススペクトルの高分解能を得ようとすれば、最も
簡単には、イオンの自由飛行空間を長く取らなければな
らなかった。
て、TOFMSでは、イオンの質量差が、所定の空間を
飛行する際のイオンの飛行時間の差となって現れるた
め、マススペクトルの高分解能を得ようとすれば、最も
簡単には、イオンの自由飛行空間を長く取らなければな
らなかった。
【0011】そして、イオンの自由飛行空間を長く取る
ためには、装置を大型化しなければならないという問題
があった。
ためには、装置を大型化しなければならないという問題
があった。
【0012】本発明の目的は、上述した点に鑑み、装置
を大型化することなく、高分解能のマススペクトルを得
ることのできるTOFMSを提供することにある。
を大型化することなく、高分解能のマススペクトルを得
ることのできるTOFMSを提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明にかかるTOFMSは、イオンが飛行する軌
道上に減速電場、次いで加速電場を設け、イオンの飛行
方向を変えることなく、イオンに減速、次いで加速を行
なわせるようにしたことを特徴としている。
め、本発明にかかるTOFMSは、イオンが飛行する軌
道上に減速電場、次いで加速電場を設け、イオンの飛行
方向を変えることなく、イオンに減速、次いで加速を行
なわせるようにしたことを特徴としている。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態を説明する。図2は、本発明にかかるOA−
TOFMSの一実施例を表わしたものである。本実施例
は、電子衝撃(EI)イオン源、化学イオン化(CI)
イオン源、電界脱離(FD)イオン源、エレクトロスプ
レイ(ESI)イオン源、高速原子衝撃(FAB)イオ
ン源などの連続型のイオン源1と、イオンガイド2が置
かれた中間室3と、集光レンズ4、押し出し電極5、加
速レンズ6、リフレクトロン7、イオン検出器8などの
イオン光学系を構成する構成物が置かれた測定室9とか
ら成っている。
実施の形態を説明する。図2は、本発明にかかるOA−
TOFMSの一実施例を表わしたものである。本実施例
は、電子衝撃(EI)イオン源、化学イオン化(CI)
イオン源、電界脱離(FD)イオン源、エレクトロスプ
レイ(ESI)イオン源、高速原子衝撃(FAB)イオ
ン源などの連続型のイオン源1と、イオンガイド2が置
かれた中間室3と、集光レンズ4、押し出し電極5、加
速レンズ6、リフレクトロン7、イオン検出器8などの
イオン光学系を構成する構成物が置かれた測定室9とか
ら成っている。
【0015】このような構成において、イオン源1にお
いて試料から生成したイオンは、中間室3に置かれたイ
オンガイド2によって高真空な測定室9へと誘導され
る。中間室3と測定室9を仕切る隔壁には、オリフィス
10が設けられていて、イオンガイド2から誘導されて
きたイオンは、オリフィス10によって一定の径を持っ
たイオンビームに整形されて、測定室9に導入される。
いて試料から生成したイオンは、中間室3に置かれたイ
オンガイド2によって高真空な測定室9へと誘導され
る。中間室3と測定室9を仕切る隔壁には、オリフィス
10が設けられていて、イオンガイド2から誘導されて
きたイオンは、オリフィス10によって一定の径を持っ
たイオンビームに整形されて、測定室9に導入される。
【0016】測定室9の入口には、集光レンズ4が設置
されている。測定室9に入ってきたイオンビームは、集
光レンズ4により収束されて、押し出し電極5と加速レ
ンズ6との間隙に沿った細長い空間に、押し出し電極5
及び加速レンズ6に対して平行に進入する。押し出し電
極5及び加速レンズ6の近傍を移動する一定の長さを持
ったイオンビームは、押し出し電極5及び加速レンズ6
にパルス状の加速電圧を印加することにより、イオンビ
ームの進入軸方向とは垂直な方向にパルス状に加速さ
れ、イオンパルスとなって、押し出し電極5及び加速レ
ンズ6と対向する位置に設けられたリフレクトロン7に
向けて飛行を開始する。
されている。測定室9に入ってきたイオンビームは、集
光レンズ4により収束されて、押し出し電極5と加速レ
ンズ6との間隙に沿った細長い空間に、押し出し電極5
及び加速レンズ6に対して平行に進入する。押し出し電
極5及び加速レンズ6の近傍を移動する一定の長さを持
ったイオンビームは、押し出し電極5及び加速レンズ6
にパルス状の加速電圧を印加することにより、イオンビ
ームの進入軸方向とは垂直な方向にパルス状に加速さ
れ、イオンパルスとなって、押し出し電極5及び加速レ
ンズ6と対向する位置に設けられたリフレクトロン7に
向けて飛行を開始する。
【0017】垂直方向に加速されたイオンは、測定室9
に導入されたときの速度と、それとは垂直な方向に押し
出し電極5及び加速レンズ6によって与えられた速度と
が加わるため、完全に垂直な方向ではなく、わずかに斜
めを向いた垂直方向に飛行し、リフレクトロン7で反射
されて、イオン検出器8に到達する。
に導入されたときの速度と、それとは垂直な方向に押し
出し電極5及び加速レンズ6によって与えられた速度と
が加わるため、完全に垂直な方向ではなく、わずかに斜
めを向いた垂直方向に飛行し、リフレクトロン7で反射
されて、イオン検出器8に到達する。
【0018】本実施例では、このリフレクトロン7の後
段、すなわちリフレクトロン7とイオン検出器8との間
のイオン飛行空間に、減速レンズ11と加速レンズ12
を設けている。このように構成することにより、直線状
の飛行空間を飛行中のイオンは、飛行方向を何ら変える
ことなく、減速レンズ11によって作られる減速電場で
いったん減速された後、加速レンズ12によって作られ
る加速電場で再び元の速度まで加速される。その結果、
イオンは何も場を受けなかった状態になり、その上、飛
行時間を増やすことができるので、実効飛行時間が長く
なる。
段、すなわちリフレクトロン7とイオン検出器8との間
のイオン飛行空間に、減速レンズ11と加速レンズ12
を設けている。このように構成することにより、直線状
の飛行空間を飛行中のイオンは、飛行方向を何ら変える
ことなく、減速レンズ11によって作られる減速電場で
いったん減速された後、加速レンズ12によって作られ
る加速電場で再び元の速度まで加速される。その結果、
イオンは何も場を受けなかった状態になり、その上、飛
行時間を増やすことができるので、実効飛行時間が長く
なる。
【0019】図3は、イオンの飛行軌道上における電位
の配置図である。図の縦軸はイオンに印加される電位を
表わし、図の横軸はイオンの飛行距離を表わしている。
の配置図である。図の縦軸はイオンに印加される電位を
表わし、図の横軸はイオンの飛行距離を表わしている。
【0020】試料イオンが正イオンの場合を例にとって
説明すると、押し出し電極5には、+数百ボルトの加速
電位が印加される。また、押し出し電極5から加速レン
ズ6の終端部にかけては、下りの電位差が設けられる。
従って、押し出し電極5から加速レンズの終端部にかけ
ては下り方向に電場勾配が形成され、イオンは加速され
る。加速レンズ6の終端部では、−数キロボルトの電位
になっている。イオンが加速レンズ6を離れると、電位
は−数キロボルトで平坦になるため、イオンは一定の速
度で飛行を続ける。
説明すると、押し出し電極5には、+数百ボルトの加速
電位が印加される。また、押し出し電極5から加速レン
ズ6の終端部にかけては、下りの電位差が設けられる。
従って、押し出し電極5から加速レンズの終端部にかけ
ては下り方向に電場勾配が形成され、イオンは加速され
る。加速レンズ6の終端部では、−数キロボルトの電位
になっている。イオンが加速レンズ6を離れると、電位
は−数キロボルトで平坦になるため、イオンは一定の速
度で飛行を続ける。
【0021】このイオンがリフレクトロン7に突入する
と、リフレクトロン7の登り勾配の電場が作用して、イ
オンは飛行速度を落とし、+数百ボルト以上になったと
ころで飛行の方向を反転させ、リフレクトロン7の外部
へと押し戻される。リフレクトロン7を出たイオンは、
リフレクトロン7に入る前の飛行速度と同じ飛行速度で
飛行を続けるが、飛行方向はほぼ反対方向になってい
る。
と、リフレクトロン7の登り勾配の電場が作用して、イ
オンは飛行速度を落とし、+数百ボルト以上になったと
ころで飛行の方向を反転させ、リフレクトロン7の外部
へと押し戻される。リフレクトロン7を出たイオンは、
リフレクトロン7に入る前の飛行速度と同じ飛行速度で
飛行を続けるが、飛行方向はほぼ反対方向になってい
る。
【0022】リフレクトロン7とイオン検出器8の間に
は減速レンズ11と加速レンズ12が設置されているた
め、イオンに印加される電位は、減速レンズ11を通過
する際にいったん上昇した後、加速レンズ12を通過す
る際に再び元の電位に低下する。このときの最高電位
は、減速レンズ11から加速レンズ12へ向けてイオン
を通過させる必要上、接地電位を超えてはならない。そ
して、イオンが両レンズを通過するのに伴って、イオン
の飛行速度もいったん減速した後、再び加速されて元の
速度に戻る。
は減速レンズ11と加速レンズ12が設置されているた
め、イオンに印加される電位は、減速レンズ11を通過
する際にいったん上昇した後、加速レンズ12を通過す
る際に再び元の電位に低下する。このときの最高電位
は、減速レンズ11から加速レンズ12へ向けてイオン
を通過させる必要上、接地電位を超えてはならない。そ
して、イオンが両レンズを通過するのに伴って、イオン
の飛行速度もいったん減速した後、再び加速されて元の
速度に戻る。
【0023】このような減速レンズ11と加速レンズ1
2の作用により、イオンの実効飛行距離は事実上延長さ
れ、TOFMSの装置を大型化することなく、マススペ
クトルの分解能を向上させることができる。
2の作用により、イオンの実効飛行距離は事実上延長さ
れ、TOFMSの装置を大型化することなく、マススペ
クトルの分解能を向上させることができる。
【0024】一方、試料イオンが負イオンの場合は、こ
れまで述べてきたイオンの飛行経路に印加される電位の
極性は、すべて反転して用いられる。
れまで述べてきたイオンの飛行経路に印加される電位の
極性は、すべて反転して用いられる。
【0025】なお、本実施例では、リフレクトロン7の
後段、すなわちリフレクトロン7とイオン検出器8の間
に、減速レンズ11及び加速レンズ12を設置したが、
これらの設置場所は、必ずしもリフレクトロン7の後段
に限定されるものではない。例えば、リフレクトロン7
の前段、すなわち加速レンズ6とリフレクトロン7の間
に設置されていても良く、あるいは、リフレクトロン7
の前段と後段の両方に設置されていても良い。
後段、すなわちリフレクトロン7とイオン検出器8の間
に、減速レンズ11及び加速レンズ12を設置したが、
これらの設置場所は、必ずしもリフレクトロン7の後段
に限定されるものではない。例えば、リフレクトロン7
の前段、すなわち加速レンズ6とリフレクトロン7の間
に設置されていても良く、あるいは、リフレクトロン7
の前段と後段の両方に設置されていても良い。
【0026】また、本実施例では、減速レンズと加速レ
ンズを並べて設置しているが、両レンズを引き離して設
置することも可能である。ただ、その場合には、イオン
の収束性が悪くなる可能性があるので、マススペクトル
の分解能が低下する懸念があって、必ずしも好ましいこ
とではない。
ンズを並べて設置しているが、両レンズを引き離して設
置することも可能である。ただ、その場合には、イオン
の収束性が悪くなる可能性があるので、マススペクトル
の分解能が低下する懸念があって、必ずしも好ましいこ
とではない。
【0027】また、本実施例では、リフレクトロン型の
OA−TOFMSを取り扱ったが、本発明の適用範囲
は、リフレクトロン型のOA−TOFMSに限定される
ものではなく、リニア型のOA−TOFMSやOA−T
OFMS以外のTOFMSにも適用できることは言うま
でもない。
OA−TOFMSを取り扱ったが、本発明の適用範囲
は、リフレクトロン型のOA−TOFMSに限定される
ものではなく、リニア型のOA−TOFMSやOA−T
OFMS以外のTOFMSにも適用できることは言うま
でもない。
【0028】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明のTOFMS
によれば、イオンの飛行速度が減速レンズでいったん減
速された後に、加速レンズで元の速度まで加速されるた
め、イオンの実効飛行距離が増え、TOFMSの装置を
大型化することなく、マススペクトルの分解能を向上さ
せることができる。
によれば、イオンの飛行速度が減速レンズでいったん減
速された後に、加速レンズで元の速度まで加速されるた
め、イオンの実効飛行距離が増え、TOFMSの装置を
大型化することなく、マススペクトルの分解能を向上さ
せることができる。
【図1】従来の垂直加速型飛行時間型質量分析装置を示
す図である。
す図である。
【図2】本発明にかかる垂直加速型飛行時間型質量分析
装置の一実施例を示す図である。
装置の一実施例を示す図である。
【図3】本発明にかかる垂直加速型飛行時間型質量分析
装置のイオン飛行軌道上における電位配置の一実施例を
示す図である。
装置のイオン飛行軌道上における電位配置の一実施例を
示す図である。
1・・・イオン源、2・・・イオンガイド、3・・・中間室、4・
・・集光レンズ、5・・・押し出し電極、6・・・加速レンズ、
7・・・リフレクトロン、8・・・イオン検出器、9・・・測定
室、10・・・オリフィス、11・・・減速レンズ、12・・・
加速レンズ。
・・集光レンズ、5・・・押し出し電極、6・・・加速レンズ、
7・・・リフレクトロン、8・・・イオン検出器、9・・・測定
室、10・・・オリフィス、11・・・減速レンズ、12・・・
加速レンズ。
Claims (1)
- 【請求項1】イオンが飛行する軌道上に減速電場、次い
で加速電場を設け、イオンの飛行方向を変えることな
く、イオンに減速、次いで加速を行なわせるようにした
ことを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11087653A JP2000285848A (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 飛行時間型質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11087653A JP2000285848A (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 飛行時間型質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000285848A true JP2000285848A (ja) | 2000-10-13 |
Family
ID=13920930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11087653A Withdrawn JP2000285848A (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 飛行時間型質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000285848A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2231860C2 (ru) * | 2002-07-30 | 2004-06-27 | Самарский государственный аэрокосмический университет им. акад. С.П.Королева | Газопылеударный масс-спектрометр |
| GB2408144A (en) * | 2003-11-17 | 2005-05-18 | Micromass Ltd | A mass filter for a mass spectrometer |
| US7297960B2 (en) | 2003-11-17 | 2007-11-20 | Micromass Uk Limited | Mass spectrometer |
| JP2015179629A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-10-08 | 株式会社島津製作所 | 飛行時間型質量分析装置 |
| CN112885701A (zh) * | 2021-02-26 | 2021-06-01 | 中国科学院化学研究所 | 一种离子过滤装置及方法 |
-
1999
- 1999-03-30 JP JP11087653A patent/JP2000285848A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2231860C2 (ru) * | 2002-07-30 | 2004-06-27 | Самарский государственный аэрокосмический университет им. акад. С.П.Королева | Газопылеударный масс-спектрометр |
| GB2408144A (en) * | 2003-11-17 | 2005-05-18 | Micromass Ltd | A mass filter for a mass spectrometer |
| JP2005190994A (ja) * | 2003-11-17 | 2005-07-14 | Micromass Uk Ltd | 質量分析計 |
| GB2408144B (en) * | 2003-11-17 | 2006-04-26 | Micromass Ltd | Mass spectrometer |
| US7297960B2 (en) | 2003-11-17 | 2007-11-20 | Micromass Uk Limited | Mass spectrometer |
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| CN112885701B (zh) * | 2021-02-26 | 2022-02-11 | 中国科学院化学研究所 | 一种离子过滤装置及方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060606 |