JP2000286325A - ウエハアライメント装置 - Google Patents
ウエハアライメント装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガイド手段の交換なしに大きさの異なる二種
類のウエハのアライメントを行なうことができ、交換室
内のパーティクルによる汚染を防止でき、装置の稼働時
間を増やすことが可能なウエハアライメント装置を提供
することを課題とする。 【解決手段】 ウエハ１０３を挟むように配置され、ウ
エハ挿入方向と略直交する方向に移動可能な一対のプレ
ート１０５,１０５′と、各プレート１０５,１０５′上
に設けられ、小さなウエハ１０３の側面に当接可能な円
弧面１０７,１０７′を有する第一のガイド手段１０９,
１０９′と、各プレート１０５,１０５′上に設けら
れ、大きなウエハ１０３の側面に当接可能な複数のロー
ラ(円柱)１１１,１１１′からなる第二のガイド手段１
１３,１１３′とを設ける。
類のウエハのアライメントを行なうことができ、交換室
内のパーティクルによる汚染を防止でき、装置の稼働時
間を増やすことが可能なウエハアライメント装置を提供
することを課題とする。 【解決手段】 ウエハ１０３を挟むように配置され、ウ
エハ挿入方向と略直交する方向に移動可能な一対のプレ
ート１０５,１０５′と、各プレート１０５,１０５′上
に設けられ、小さなウエハ１０３の側面に当接可能な円
弧面１０７,１０７′を有する第一のガイド手段１０９,
１０９′と、各プレート１０５,１０５′上に設けら
れ、大きなウエハ１０３の側面に当接可能な複数のロー
ラ(円柱)１１１,１１１′からなる第二のガイド手段１
１３,１１３′とを設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、大きさの異なる二
種類のウエハのセンタリングと、ウエハのノッチ/オリ
フラの位置合わせとを行なうウエハアライメント装置に
関する。
種類のウエハのセンタリングと、ウエハのノッチ/オリ
フラの位置合わせとを行なうウエハアライメント装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】図８に示すように、半導体製造装置で
は、キャリア１に載置されたウエハ２は、搬送アーム３
により交換室４内に搬送される。
は、キャリア１に載置されたウエハ２は、搬送アーム３
により交換室４内に搬送される。
【０００３】ウエハ２が交換室４内に搬送されると、交
換室４内が密閉され、真空引きされると同時に、交換室
４内に設けられたウエハアライメント装置１０により、
ウエハ２の位置アライメントと、ウエハ２のノッチ/オ
リフラ検出とがなされる。
換室４内が密閉され、真空引きされると同時に、交換室
４内に設けられたウエハアライメント装置１０により、
ウエハ２の位置アライメントと、ウエハ２のノッチ/オ
リフラ検出とがなされる。
【０００４】ウエハアライメント装置１０は、ウエハ２
を挟むように配置され、ウエハ２の挿入方向と略直交す
る方向に移動可能で、ウエハ２の側面に当接可能なな円
弧状の面を有するガイド手段５,５′と、ウエハ２のノ
ッチ/オリフラを検出する光スイッチ(検出手段)７と、
ウエハ２を回転駆動する回転手段６とを有している。
を挟むように配置され、ウエハ２の挿入方向と略直交す
る方向に移動可能で、ウエハ２の側面に当接可能なな円
弧状の面を有するガイド手段５,５′と、ウエハ２のノ
ッチ/オリフラを検出する光スイッチ(検出手段)７と、
ウエハ２を回転駆動する回転手段６とを有している。
【０００５】最初に、ガイド手段５,５′がウエハ２を
挟み、ウエハ２のセンタリング(位置アライメント)を行
なう。次に、ガイド手段５,５′手段のウエハ２を挟む
状態を解除し、回転手段６がウエハを回転し、光スイッ
チ７でウエハ２のノッチ/オリフラ２ａを検出して、ウ
エハ２のノッチ/オリフラ２ａの位置合わせを行なう。
挟み、ウエハ２のセンタリング(位置アライメント)を行
なう。次に、ガイド手段５,５′手段のウエハ２を挟む
状態を解除し、回転手段６がウエハを回転し、光スイッ
チ７でウエハ２のノッチ/オリフラ２ａを検出して、ウ
エハ２のノッチ/オリフラ２ａの位置合わせを行なう。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成の従
来のウエハアライメント装置１０では、以下のような問
題点がある。
来のウエハアライメント装置１０では、以下のような問
題点がある。
【０００７】(1) ウエハ２の大きさ(径)に対応したガイ
ド手段５,５′が必要であり、ウエハ２の大きさを変え
る場合、ガイド手段５,５′の交換が必要である。 (2) 光スイッチ７の位置もウエハ２の大きさによって位
置を変更する必要がある。
ド手段５,５′が必要であり、ウエハ２の大きさを変え
る場合、ガイド手段５,５′の交換が必要である。 (2) 光スイッチ７の位置もウエハ２の大きさによって位
置を変更する必要がある。
【０００８】(3) 半導体製造装置は、パーティクル(分
子,粒子)を嫌う。一方、ウエハ２の大きさを変更する場
合に必要なガイド手段５,５′の交換、光スイッチ７の
位置変更作業は、交換室４内で行なわれる。
子,粒子)を嫌う。一方、ウエハ２の大きさを変更する場
合に必要なガイド手段５,５′の交換、光スイッチ７の
位置変更作業は、交換室４内で行なわれる。
【０００９】したがって、交換室４内がパーティクルに
より汚染される場合がある。 (4) ガイド手段５,５′の交換、光スイッチ７の位置変
更作業のために、装置を長時間停止しなければならな
い。
より汚染される場合がある。 (4) ガイド手段５,５′の交換、光スイッチ７の位置変
更作業のために、装置を長時間停止しなければならな
い。
【００１０】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、その第一の目的は、ガイド手段の交換なしに大き
さの異なる二種類のウエハのアライメントを行なうこと
ができ、交換室内のパーティクルによる汚染を防止で
き、装置の稼働時間を増やすことが可能なウエハアライ
メント装置を提供することにある。
ので、その第一の目的は、ガイド手段の交換なしに大き
さの異なる二種類のウエハのアライメントを行なうこと
ができ、交換室内のパーティクルによる汚染を防止で
き、装置の稼働時間を増やすことが可能なウエハアライ
メント装置を提供することにある。
【００１１】第二の目的は、ウエハのノッチ/オリフラ
を検出する検出手段の位置変更なしに大きさの異なる二
種類のウエハのアライメントを行なうことができ、交換
室内のパーティクルによる汚染を防止でき、装置の稼働
時間を増やすことが可能なウエハアライメント装置を提
供することにある。
を検出する検出手段の位置変更なしに大きさの異なる二
種類のウエハのアライメントを行なうことができ、交換
室内のパーティクルによる汚染を防止でき、装置の稼働
時間を増やすことが可能なウエハアライメント装置を提
供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する請求
項１記載の発明は、大きさの異なる二種類のウエハのセ
ンタリングと、ウエハのノッチ/オリフラの位置合わせ
とを行なうウエハアライメント装置であって、前記ウエ
ハを挟むように配置され、前記ウエハ挿入方向と略直交
する方向に移動可能な一対のプレートと、各プレート上
に設けられ、小さなウエハの側面に当接可能な円弧面を
有する第一のガイド手段と、各プレート上に設けられ、
大きなウエハの側面に当接可能な複数の円柱からなる第
二のガイド手段とを設けたことを特徴とするウエハアラ
イメント装置である。
項１記載の発明は、大きさの異なる二種類のウエハのセ
ンタリングと、ウエハのノッチ/オリフラの位置合わせ
とを行なうウエハアライメント装置であって、前記ウエ
ハを挟むように配置され、前記ウエハ挿入方向と略直交
する方向に移動可能な一対のプレートと、各プレート上
に設けられ、小さなウエハの側面に当接可能な円弧面を
有する第一のガイド手段と、各プレート上に設けられ、
大きなウエハの側面に当接可能な複数の円柱からなる第
二のガイド手段とを設けたことを特徴とするウエハアラ
イメント装置である。
【００１３】第一のガイド手段によって、大きさの異な
るウエハのうちの小さなウエハのセンタリングがなされ
る。第二のガイド手段によって、大きさの異なるウエハ
のうちの大きなウエハのセンタリングがなされる。
るウエハのうちの小さなウエハのセンタリングがなされ
る。第二のガイド手段によって、大きさの異なるウエハ
のうちの大きなウエハのセンタリングがなされる。
【００１４】第一及び第二のガイド手段を設けたことに
より、ガイド手段の交換なしに大きさの異なる二種類の
ウエハのセンタリングを行なうことができ、交換室内の
パーティクルによる汚染を防止でき、装置の稼働時間を
増やすことが可能となる。
より、ガイド手段の交換なしに大きさの異なる二種類の
ウエハのセンタリングを行なうことができ、交換室内の
パーティクルによる汚染を防止でき、装置の稼働時間を
増やすことが可能となる。
【００１５】請求項２記載の発明は、大きさの異なる二
種類のウエハのセンタリングと、ウエハのノッチ/オリ
フラの位置合わせとを行なうウエハアライメント装置で
あって、前記ウエハを挟むように配置され、前記ウエハ
挿入方向と略直交する方向に移動可能な一対のプレート
と、各プレート上に設けられ、小さなウエハの側面に当
接可能な複数の円柱からなる第一のガイド手段と、各プ
レート上に設けられ、大きなウエハの側面に当接可能な
複数の円柱からなる第二のガイド手段とを設けたことを
特徴とするウエハアライメント装置である。
種類のウエハのセンタリングと、ウエハのノッチ/オリ
フラの位置合わせとを行なうウエハアライメント装置で
あって、前記ウエハを挟むように配置され、前記ウエハ
挿入方向と略直交する方向に移動可能な一対のプレート
と、各プレート上に設けられ、小さなウエハの側面に当
接可能な複数の円柱からなる第一のガイド手段と、各プ
レート上に設けられ、大きなウエハの側面に当接可能な
複数の円柱からなる第二のガイド手段とを設けたことを
特徴とするウエハアライメント装置である。
【００１６】第一のガイド手段によって、大きさの異な
るウエハのうちの小さなウエハのセンタリングがなされ
る。第二のガイド手段によって、大きさの異なるウエハ
のうちの大きなウエハのセンタリングがなされる。
るウエハのうちの小さなウエハのセンタリングがなされ
る。第二のガイド手段によって、大きさの異なるウエハ
のうちの大きなウエハのセンタリングがなされる。
【００１７】第一及び第二のガイド手段を設けたことに
より、ガイドの交換なしに大きさの異なる二種類のウエ
ハのセンタリングを行なうことができ、交換室内のパー
ティクルによる汚染を防止でき、装置の稼働時間を増や
すことが可能となる。
より、ガイドの交換なしに大きさの異なる二種類のウエ
ハのセンタリングを行なうことができ、交換室内のパー
ティクルによる汚染を防止でき、装置の稼働時間を増や
すことが可能となる。
【００１８】請求項３記載の発明は、請求項１又は２記
載の発明の前記円柱は、ローラであることを特徴とする
ウエハアライメント装置である。円柱をローラとしたこ
とにより、ウエハのセンタリングの際にスムーズな動作
を得ることができる。
載の発明の前記円柱は、ローラであることを特徴とする
ウエハアライメント装置である。円柱をローラとしたこ
とにより、ウエハのセンタリングの際にスムーズな動作
を得ることができる。
【００１９】請求項４記載の発明は、請求項１乃至３の
いずれかに記載の発明において、前記ウエハのノッチ/
オリフラを検出する検出手段を前記大きさの異なる二種
類のウエハに対応して設けたことを特徴とするウエハア
ライメント装置である。
いずれかに記載の発明において、前記ウエハのノッチ/
オリフラを検出する検出手段を前記大きさの異なる二種
類のウエハに対応して設けたことを特徴とするウエハア
ライメント装置である。
【００２０】ウエハのノッチ/オリフラを検出する検出
手段を前記大きさの異なる二種類のウエハに対応して設
けたことにより、検出手段の位置変更なしに大きさの異
なる二種類のウエハのセンタリングを行なうことがで
き、交換室内のパーティクルによる汚染を防止でき、装
置の稼働時間を増やすことが可能となる。
手段を前記大きさの異なる二種類のウエハに対応して設
けたことにより、検出手段の位置変更なしに大きさの異
なる二種類のウエハのセンタリングを行なうことがで
き、交換室内のパーティクルによる汚染を防止でき、装
置の稼働時間を増やすことが可能となる。
【００２１】
【発明の実施の形態】1. 第一の実施の形態例(請求項
１,３,４に対応) 第一の実施の形態例のウエハアライメント装置の全体構
成を示す図１、図１におけるプレート部分の拡大図であ
る図２、図２におけるローラの断面図である図３を用い
て説明する。
１,３,４に対応) 第一の実施の形態例のウエハアライメント装置の全体構
成を示す図１、図１におけるプレート部分の拡大図であ
る図２、図２におけるローラの断面図である図３を用い
て説明する。
【００２２】図１において、交換室１００内には、ウエ
ハ１０３を挟むように配置され、ウエハ挿入方向(図に
おいて矢印A方向)と略直交する方向(矢印B)に移動可能
な一対のプレート１０５,１０５′が設けられている。
又、プレート１０５とプレート１０５′の間には、ウエ
ハ１０３を回転駆動する回転手段１０６が設けられてい
る。
ハ１０３を挟むように配置され、ウエハ挿入方向(図に
おいて矢印A方向)と略直交する方向(矢印B)に移動可能
な一対のプレート１０５,１０５′が設けられている。
又、プレート１０５とプレート１０５′の間には、ウエ
ハ１０３を回転駆動する回転手段１０６が設けられてい
る。
【００２３】図２に示すように、各プレート１０５,１
０５′上には、小さなウエハ(本実施の形態例では6イン
チウエハ)の側面に当接可能な円弧面１０７,１０７′を
有する第一のガイド手段１０９,１０９′と、大きなウ
エハ(本実施の形態例では8インチウエハ)の側面に当接
可能な複数(本実施の形態例では三本)の円柱としてのロ
ーラ１１１,１１１′からなる第二のガイド手段１１３,
１１３′とが設けられている。
０５′上には、小さなウエハ(本実施の形態例では6イン
チウエハ)の側面に当接可能な円弧面１０７,１０７′を
有する第一のガイド手段１０９,１０９′と、大きなウ
エハ(本実施の形態例では8インチウエハ)の側面に当接
可能な複数(本実施の形態例では三本)の円柱としてのロ
ーラ１１１,１１１′からなる第二のガイド手段１１３,
１１３′とが設けられている。
【００２４】ローラ１１１,１１１′は、図３に示すよ
うに、プレート１０５,１０５′上に立設された軸１１
１ａと、軸１１１ａの先端に設けられた軸受１１１ｂを
介して軸１１１ａに対して回転可能に設けられたローラ
本体１１１ｃとからなっている。
うに、プレート１０５,１０５′上に立設された軸１１
１ａと、軸１１１ａの先端に設けられた軸受１１１ｂを
介して軸１１１ａに対して回転可能に設けられたローラ
本体１１１ｃとからなっている。
【００２５】更に、図１に示すように、6インチウエハ
のノッチ/オリフラを検出する光スイッチ(検出手段)１
１５と、8インチウエハのノッチ/オリフラを検出する光
スイッチ(検出手段)１１７とが設けられている。
のノッチ/オリフラを検出する光スイッチ(検出手段)１
１５と、8インチウエハのノッチ/オリフラを検出する光
スイッチ(検出手段)１１７とが設けられている。
【００２６】次に、上記構成の動作を説明する。 (1) 6インチウエハの場合 図４(a)に示すように、小さなウエハである6インチウエ
ハ１０３Ｓは、第一のガイド手段１０９,１０９′の円
弧面１０７,１０７′によって挟まれ、6インチウエハ１
０３Ｓのセンタリングがなされる。
ハ１０３Ｓは、第一のガイド手段１０９,１０９′の円
弧面１０７,１０７′によって挟まれ、6インチウエハ１
０３Ｓのセンタリングがなされる。
【００２７】そして、第一のガイド手段１０９,１０
９′のウエハを挟む状態を解除し、回転手段１０６が6
インチウエハ１０３Ｓを回転し、光スイッチ１１５で6
インチウエハ１０３Ｓのノッチ/オリフラを検出して、6
インチウエハ１０３Ｓのノッチ/オリフラの位置合わせ
を行なう。
９′のウエハを挟む状態を解除し、回転手段１０６が6
インチウエハ１０３Ｓを回転し、光スイッチ１１５で6
インチウエハ１０３Ｓのノッチ/オリフラを検出して、6
インチウエハ１０３Ｓのノッチ/オリフラの位置合わせ
を行なう。
【００２８】(2) 8インチウエハの場合 図４(b)に示すように、大きなウエハである8インチウエ
ハ１０３Ｌは、第二のガイド手段１１３,１１３′のロ
ーラ１１１,１１１′によって挟まれ、8インチウエハ１
０３Ｌのセンタリングがなされる そして、第二のガイド手段１１３,１１３′のウエハを
挟む状態を解除し、回転手段１０６が8インチウエハ１
０３Ｌを回転し、光スイッチ１１７で8インチウエハ１
０３Ｌのノッチ/オリフラを検出して、8インチウエハ１
０３Ｌのノッチ/オリフラ１０３ａの位置合わせを行な
う。
ハ１０３Ｌは、第二のガイド手段１１３,１１３′のロ
ーラ１１１,１１１′によって挟まれ、8インチウエハ１
０３Ｌのセンタリングがなされる そして、第二のガイド手段１１３,１１３′のウエハを
挟む状態を解除し、回転手段１０６が8インチウエハ１
０３Ｌを回転し、光スイッチ１１７で8インチウエハ１
０３Ｌのノッチ/オリフラを検出して、8インチウエハ１
０３Ｌのノッチ/オリフラ１０３ａの位置合わせを行な
う。
【００２９】このような構成のウエハアライメント装置
によれば、以下のような効果を得ることができる。 (1) 第一及び第二のガイド手段１０９,１０９′を設け
たことにより、ガイド手段の交換なしに大きさの異なる
二種類のウエハ１０３Ｓ,１０３Ｌのセンタリングを行
なうことができ、交換室１００内のパーティクルによる
汚染を防止でき、装置の稼働時間を増やすことが可能と
なる。
によれば、以下のような効果を得ることができる。 (1) 第一及び第二のガイド手段１０９,１０９′を設け
たことにより、ガイド手段の交換なしに大きさの異なる
二種類のウエハ１０３Ｓ,１０３Ｌのセンタリングを行
なうことができ、交換室１００内のパーティクルによる
汚染を防止でき、装置の稼働時間を増やすことが可能と
なる。
【００３０】(2) 第二のガイド手段１１３,１１３′を
ローラ１１１,１１１′としたことにより、ウエハ１０
３Ｌのセンタリングの際にスムーズな動作を得ることが
できる。
ローラ１１１,１１１′としたことにより、ウエハ１０
３Ｌのセンタリングの際にスムーズな動作を得ることが
できる。
【００３１】特に、本実施の形態例では、軸１１１ａ,
１１１ａ′に対して、軸受１１１ｂ,１１１ｂ′を介し
てローラ本体１１１ｃ,１１１ｃ′を設けたことによ
り、ローラ本体１１１ｃ,１１１ｃ′の偏心は最小限に
抑えることができ、正確なセンタリングを行なうことが
できる。
１１１ａ′に対して、軸受１１１ｂ,１１１ｂ′を介し
てローラ本体１１１ｃ,１１１ｃ′を設けたことによ
り、ローラ本体１１１ｃ,１１１ｃ′の偏心は最小限に
抑えることができ、正確なセンタリングを行なうことが
できる。
【００３２】(3) ウエハ１０３Ｓ,１０３Ｌのノッチ/オ
リフラを検出する光スイッチ１１５,１１７を大きさの
異なる二種類のウエハ１０３Ｓ,１０３Ｌに対応して設
けたことにより、光スイッチの位置変更なしに大きさの
異なる二種類のウエハ１０３Ｓ,１０３Ｌのセンタリン
グを行なうことができ、交換室内のパーティクルによる
汚染を防止でき、装置の稼働時間を増やすことが可能と
なる。 2. 第二の実施の形態例(請求項２,３,４に対応) 本実施の形態例と第一の実施の形態例とで、同一部分に
は同一符号を付し、重複した説明は省略する。
リフラを検出する光スイッチ１１５,１１７を大きさの
異なる二種類のウエハ１０３Ｓ,１０３Ｌに対応して設
けたことにより、光スイッチの位置変更なしに大きさの
異なる二種類のウエハ１０３Ｓ,１０３Ｌのセンタリン
グを行なうことができ、交換室内のパーティクルによる
汚染を防止でき、装置の稼働時間を増やすことが可能と
なる。 2. 第二の実施の形態例(請求項２,３,４に対応) 本実施の形態例と第一の実施の形態例とで、同一部分に
は同一符号を付し、重複した説明は省略する。
【００３３】第二の実施の形態例のウエハアライメント
装置の全体構成を示す図５及び図５におけるプレート部
分の拡大図である図６に示すように、プレート１０５に
は、四本のローラ１３１,１３２,１３３,１３４が設け
られ、プレート１０５′上には、プレート１０５上のロ
ーラ１３１,１３２,１３３,１３４と点対称な位置にロ
ーラ１３１′,１３２′,１３３′,１３４′が設けられ
ている。
装置の全体構成を示す図５及び図５におけるプレート部
分の拡大図である図６に示すように、プレート１０５に
は、四本のローラ１３１,１３２,１３３,１３４が設け
られ、プレート１０５′上には、プレート１０５上のロ
ーラ１３１,１３２,１３３,１３４と点対称な位置にロ
ーラ１３１′,１３２′,１３３′,１３４′が設けられ
ている。
【００３４】尚、ローラ１３１,１３２,１３３,１３４,
１３１′,１３２′,１３３′,１３４′の構造は、図３
に示すものと同一とした。これらの八本のローラのう
ち、プレート１０５上のローラ１３２,１３３,１３４
と、プレート１０５′上のローラ１３２′,１３３′,１
３４′とは、小さなウエハである6インチウエハに当接
可能な第一のガイド手段を構成する。
１３１′,１３２′,１３３′,１３４′の構造は、図３
に示すものと同一とした。これらの八本のローラのう
ち、プレート１０５上のローラ１３２,１３３,１３４
と、プレート１０５′上のローラ１３２′,１３３′,１
３４′とは、小さなウエハである6インチウエハに当接
可能な第一のガイド手段を構成する。
【００３５】又、プレート１０５上のローラ１３１,１
３２,１３４と、プレート１０５′上のローラ１３１′,
１３２′,１３４′とは、大きなウエハである8インチウ
エハに当接可能な第二のガイド手段を構成する。
３２,１３４と、プレート１０５′上のローラ１３１′,
１３２′,１３４′とは、大きなウエハである8インチウ
エハに当接可能な第二のガイド手段を構成する。
【００３６】次に、上記構成の動作を説明する。 (1) 6インチウエハの場合 図７(a)に示すように、小さなウエハである6インチウエ
ハ１０３Ｓは、第一のガイド手段であるプレート１０５
上のローラ１３２,１３３,１３４と、プレート１０５′
上のローラ１３２′,１３３′,１３４′とによって挟ま
れ、6インチウエハ１０３Ｓのセンタリングがなされ
る。
ハ１０３Ｓは、第一のガイド手段であるプレート１０５
上のローラ１３２,１３３,１３４と、プレート１０５′
上のローラ１３２′,１３３′,１３４′とによって挟ま
れ、6インチウエハ１０３Ｓのセンタリングがなされ
る。
【００３７】そして、第一のガイド手段であるプレート
１０５上のローラ１３２,１３３,１３４と、プレート１
０５′上のローラ１３２′,１３３′,１３４′のウエハ
を挟む状態を解除し、回転手段１０６が6インチウエハ
１０３Ｓを回転し、光スイッチ１１５で6インチウエハ
１０３Ｓのノッチ/オリフラを検出して、6インチウエハ
１０３Ｓのノッチ/オリフラの位置合わせを行なう。
１０５上のローラ１３２,１３３,１３４と、プレート１
０５′上のローラ１３２′,１３３′,１３４′のウエハ
を挟む状態を解除し、回転手段１０６が6インチウエハ
１０３Ｓを回転し、光スイッチ１１５で6インチウエハ
１０３Ｓのノッチ/オリフラを検出して、6インチウエハ
１０３Ｓのノッチ/オリフラの位置合わせを行なう。
【００３８】(2) 8インチウエハの場合 図７(b)に示すように、大きなウエハである8インチウエ
ハ１０３Ｌは、第二のガイド手段であるプレート１０５
上のローラ１３１,１３２,１３４と、プレート１０５′
上のローラ１３１′,１３２′,１３４′とによって挟ま
れ、8インチウエハ１０３Ｌのセンタリングがなされる
そして、第二のガイド手段であるプレート１０５上のロ
ーラ１３１,１３２,１３４と、プレート１０５′上のロ
ーラ１３１′,１３２′,１３４′とのウエハを挟む状態
を解除し、回転手段１０６が8インチウエハ１０３Ｌを
回転し、光スイッチ１１７で8インチウエハ１０３Ｌの
ノッチ/オリフラを検出して、8インチウエハ１０３Ｌの
ノッチ/オリフラの位置合わせを行なう。
ハ１０３Ｌは、第二のガイド手段であるプレート１０５
上のローラ１３１,１３２,１３４と、プレート１０５′
上のローラ１３１′,１３２′,１３４′とによって挟ま
れ、8インチウエハ１０３Ｌのセンタリングがなされる
そして、第二のガイド手段であるプレート１０５上のロ
ーラ１３１,１３２,１３４と、プレート１０５′上のロ
ーラ１３１′,１３２′,１３４′とのウエハを挟む状態
を解除し、回転手段１０６が8インチウエハ１０３Ｌを
回転し、光スイッチ１１７で8インチウエハ１０３Ｌの
ノッチ/オリフラを検出して、8インチウエハ１０３Ｌの
ノッチ/オリフラの位置合わせを行なう。
【００３９】このような構成のウエハアライメント装置
によれば、以下のような効果を得ることができる。 (1) プレート１０５上のローラ１３２,１３３,１３４
と、プレート１０５′上のローラ１３２′,１３３′,１
３４′とで小さなウエハである6インチウエハ１０３Ｓ
に当接可能な第一のガイド手段を構成し、プレート１０
５上のローラ１３１,１３２,１３４と、プレート１０
５′上のローラ１３１′,１３２′,１３４′とで大きな
ウエハである8インチウエハ１０３Ｌに当接可能な第二
のガイド手段を構成したことにより、ガイド手段の交換
なしに大きさの異なる二種類のウエハ１０３Ｓ,１０３
Ｌのセンタリングを行なうことができ、交換室１００内
のパーティクルによる汚染を防止でき、装置の稼働時間
を増やすことが可能となる。
によれば、以下のような効果を得ることができる。 (1) プレート１０５上のローラ１３２,１３３,１３４
と、プレート１０５′上のローラ１３２′,１３３′,１
３４′とで小さなウエハである6インチウエハ１０３Ｓ
に当接可能な第一のガイド手段を構成し、プレート１０
５上のローラ１３１,１３２,１３４と、プレート１０
５′上のローラ１３１′,１３２′,１３４′とで大きな
ウエハである8インチウエハ１０３Ｌに当接可能な第二
のガイド手段を構成したことにより、ガイド手段の交換
なしに大きさの異なる二種類のウエハ１０３Ｓ,１０３
Ｌのセンタリングを行なうことができ、交換室１００内
のパーティクルによる汚染を防止でき、装置の稼働時間
を増やすことが可能となる。
【００４０】(2) 各ガイド手段をローラ１３１,１３２,
１３３,１３４,１３１′,１３２′,１３３′,１３４′
で構成したことにより、ウエハ１０３Ｓ,１０３Ｌのセ
ンタリングの際にスムーズな動作を得ることができる。
１３３,１３４,１３１′,１３２′,１３３′,１３４′
で構成したことにより、ウエハ１０３Ｓ,１０３Ｌのセ
ンタリングの際にスムーズな動作を得ることができる。
【００４１】本実施の形態例でも、第一の実施の形態例
と同様に、軸に対して、軸受を介してローラ本体を設け
たことにより、ローラ本体の偏心は最小限に抑えること
ができ、正確なセンタリングを行なうことができる。
と同様に、軸に対して、軸受を介してローラ本体を設け
たことにより、ローラ本体の偏心は最小限に抑えること
ができ、正確なセンタリングを行なうことができる。
【００４２】(3) ウエハ１０３Ｓ,１０３Ｌのノッチ/オ
リフラを検出する光スイッチ１１５,１１７を大きさの
異なる二種類のウエハ１０３Ｓ,１０３Ｌに対応して設
けたことにより、光スイッチの位置変更なしに大きさの
異なる二種類のウエハ１０３Ｓ,１０３Ｌのセンタリン
グを行なうことができ、交換室内のパーティクルによる
汚染を防止でき、装置の稼働時間を増やすことが可能と
なる。
リフラを検出する光スイッチ１１５,１１７を大きさの
異なる二種類のウエハ１０３Ｓ,１０３Ｌに対応して設
けたことにより、光スイッチの位置変更なしに大きさの
異なる二種類のウエハ１０３Ｓ,１０３Ｌのセンタリン
グを行なうことができ、交換室内のパーティクルによる
汚染を防止でき、装置の稼働時間を増やすことが可能と
なる。
【００４３】本発明は、上記実施の形態例に限定するも
のではない。上記実施の形態例では、6インチウエハと8
インチウエハとのセンタリングと、ウエハのノッチ/オ
リフラの位置合わせとを行なうことが可能な例で説明を
行なったが、第一及び第二のガイド手段を適宜選択する
ことで、様々な大きさのウエハのセンタリングと、ウエ
ハのノッチ/オリフラの位置合わせとを行なうウエハア
ライメント装置が実現できる。
のではない。上記実施の形態例では、6インチウエハと8
インチウエハとのセンタリングと、ウエハのノッチ/オ
リフラの位置合わせとを行なうことが可能な例で説明を
行なったが、第一及び第二のガイド手段を適宜選択する
ことで、様々な大きさのウエハのセンタリングと、ウエ
ハのノッチ/オリフラの位置合わせとを行なうウエハア
ライメント装置が実現できる。
【００４４】
【発明の効果】以上述べたように、請求項１及び請求項
２記載の発明によれば、第一及び第二のガイド手段を設
けたことにより、ガイド手段の交換なしに大きさの異な
る二種類のウエハのセンタリングを行なうことができ、
交換室内のパーティクルによる汚染を防止でき、装置の
稼働時間を増やすことが可能となる。
２記載の発明によれば、第一及び第二のガイド手段を設
けたことにより、ガイド手段の交換なしに大きさの異な
る二種類のウエハのセンタリングを行なうことができ、
交換室内のパーティクルによる汚染を防止でき、装置の
稼働時間を増やすことが可能となる。
【００４５】請求項３記載の発明によれば、円柱をロー
ラとしたことにより、ウエハのセンタリングの際にスム
ーズな動作を得ることができる。請求項４記載の発明に
よれば、ウエハのノッチ/オリフラを検出する検出手段
を前記大きさの異なる二種類のウエハに対応して設けた
ことにより、検出手段の位置変更なしに大きさの異なる
二種類のウエハのセンタリングを行なうことができ、交
換室内のパーティクルによる汚染を防止でき、装置の稼
働時間を増やすことが可能となる。
ラとしたことにより、ウエハのセンタリングの際にスム
ーズな動作を得ることができる。請求項４記載の発明に
よれば、ウエハのノッチ/オリフラを検出する検出手段
を前記大きさの異なる二種類のウエハに対応して設けた
ことにより、検出手段の位置変更なしに大きさの異なる
二種類のウエハのセンタリングを行なうことができ、交
換室内のパーティクルによる汚染を防止でき、装置の稼
働時間を増やすことが可能となる。
【図１】第一の実施の形態例のウエハアライメント装置
の全体構成を説明する図である。
の全体構成を説明する図である。
【図２】図１のプレート部分の拡大図で、(a)図は上面
図、(b)図は(a)図の左側面図である。
図、(b)図は(a)図の左側面図である。
【図３】図２におけるローラの断面図である。
【図４】図１の動作を説明する図である。
【図５】第二の実施の形態例のウエハアライメント装置
の全体構成を示す図である。
の全体構成を示す図である。
【図６】図５におけるプレート部分の拡大図である。
【図７】図５の動作を説明する図である。
【図８】従来のウエハアライメント装置を説明する図で
ある。
ある。
１０３ ウエハ １０５,１０５′ プレート １０７,１０７′ 円弧面 １０９,１０９′ 第一のガイド手段 １１１,１１１′ ローラ １１３,１１３′ 第二のガイド手段
Claims (4)
- 【請求項１】 大きさの異なる二種類のウエハのセンタ
リングと、ウエハのノッチ/オリフラの位置合わせとを
行なうウエハアライメント装置であって、 前記ウエハを挟むように配置され、前記ウエハ挿入方向
と略直交する方向に移動可能な一対のプレートと、 各プレート上に設けられ、小さなウエハの側面に当接可
能な円弧面を有する第一のガイド手段と、 各プレート上に設けられ、大きなウエハの側面に当接可
能な複数の円柱からなる第二のガイド手段とを設けたこ
とを特徴とするウエハアライメント装置。 - 【請求項２】 大きさの異なる二種類のウエハのセンタ
リングと、ウエハのノッチ/オリフラの位置合わせとを
行なうウエハアライメント装置であって、 前記ウエハを挟むように配置され、前記ウエハ挿入方向
と略直交する方向に移動可能な一対のプレートと、 各プレート上に設けられ、小さなウエハの側面に当接可
能な複数の円柱からなる第一のガイド手段と、 各プレート上に設けられ、大きなウエハの側面に当接可
能な複数の円柱からなる第二のガイド手段とを設けたこ
とを特徴とするウエハアライメント装置。 - 【請求項３】 前記円柱は、ローラであることを特徴と
する請求項１又は２記載のウエハアライメント装置。 - 【請求項４】 前記ウエハのノッチ/オリフラを検出す
る検出手段を前記大きさの異なる二種類のウエハに対応
して設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか
に記載のウエハアライメント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9163199A JP2000286325A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | ウエハアライメント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9163199A JP2000286325A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | ウエハアライメント装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000286325A true JP2000286325A (ja) | 2000-10-13 |
Family
ID=14031903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9163199A Pending JP2000286325A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | ウエハアライメント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000286325A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100481277B1 (ko) * | 2002-05-10 | 2005-04-07 | 한국디엔에스 주식회사 | 반도체 제조 장치 및 방법 |
| US7547181B2 (en) | 2004-11-15 | 2009-06-16 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate position correcting method and apparatus using either substrate radius or center of rotation correction adjustment sum |
| JP2014204121A (ja) * | 2013-04-08 | 2014-10-27 | ピーエスケー インコーポレイテッド | 基板処理設備及び方法 |
| KR20200001235U (ko) * | 2017-09-20 | 2020-06-15 | 사이언테크 코포레이션 | 기판 교정 장치 |
-
1999
- 1999-03-31 JP JP9163199A patent/JP2000286325A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100481277B1 (ko) * | 2002-05-10 | 2005-04-07 | 한국디엔에스 주식회사 | 반도체 제조 장치 및 방법 |
| US7547181B2 (en) | 2004-11-15 | 2009-06-16 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate position correcting method and apparatus using either substrate radius or center of rotation correction adjustment sum |
| JP2014204121A (ja) * | 2013-04-08 | 2014-10-27 | ピーエスケー インコーポレイテッド | 基板処理設備及び方法 |
| KR20200001235U (ko) * | 2017-09-20 | 2020-06-15 | 사이언테크 코포레이션 | 기판 교정 장치 |
| KR200493030Y1 (ko) * | 2017-09-20 | 2021-01-20 | 사이언테크 코포레이션 | 기판 교정 장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060223 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060307 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060428 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061017 |