JP2000287137A - 固体撮像素子 - Google Patents

固体撮像素子

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JP2000287137A
JP2000287137A JP11089333A JP8933399A JP2000287137A JP 2000287137 A JP2000287137 A JP 2000287137A JP 11089333 A JP11089333 A JP 11089333A JP 8933399 A JP8933399 A JP 8933399A JP 2000287137 A JP2000287137 A JP 2000287137A
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switch
output
imaging device
state imaging
solid
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Tadashi Sugiki
忠 杉木
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Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】複数の画素の読み出し信号の間で直流レベルの
差が生じないようにし、画質向上を得る。 【解決手段】複数のアナログデジタル変換器を有し、前
記アナログデジタル変換器の出力を順次選択し、デジタ
ル映像出力を得る固体撮像素子において、ノイズキャン
セル(比較)部NR1を複数段の増幅器501,502で
構成するとともに、2段目以降の増幅器502にクラン
プ回路を設けた構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、映像信号がデジ
タル信号で得られる固体撮像素子に関するもので、特に
複数のAD変換器を有した固体撮像素子であり、AD変換器
間の変換特性に生じるばらつきを低減できるようにした
ものである。
【0002】
【従来の技術】固体撮像素子に有効なアナログデジタル
変換器として、例えば特開平9−238286号公報に
記載された技術がある。しかしながら、アナログデジタ
ル変換特性としてさらなる改善が必要であることに本件
発明者は注目するものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記のアナログデジタ
ル変換器は、まずカウンタを所定のタイミングでスター
トし、このカウンタのカウント値に応じて変化する基準
電圧を発生する。次に、各画素から取り出した信号電圧
と前記基準電圧とを各比較器で比較し、傾斜を持って変
化する基準電圧と信号電圧のレベルが一致したときにラ
ッチパルスを得るものである。そしてこのラッチパルス
により、このパルス発生時のデジタルカウント値をラッ
チ回路でラッチし、デジタル変換出力とする。このよう
に得られた各比較器からのデジタル値は、水平走査回路
の制御に基づき、水平期間に順次読み出される。
【0004】ここで通常は、信号電圧を正確なものとす
るために、各比較器においては、比較を行う前に比較器
の入力と出力側の直流レベルを同一にするための処理を
行う。つまり、比較器の入出力端子間に並列に設けられ
たスイッチを一端閉じて、いわゆるクランプ処理を行
い、各比較器間の入力オフセットばらつきを低減してい
る。
【0005】しかしながらこのクランプ処理の際に比較
器と並列に設けられた上記スイッチの制御端子と入出力
端子間に存在する寄生容量のために、比較器の閾値電圧
とクランプ電圧に差異が生じる。
【0006】この差異は前記スイッチ製造ばらつきより
影響を受け、結果的には各比較器の出力の直流レベルと
の間でばらつきが生じる。このばらつきは、結果的には
後段に設けられている各アナログデジタル変換器におい
て得られたデジタル値のチャンネル間ばらつきとして現
れることになる。
【0007】そこでこの発明は、同一水平ライン方向の
複数の画素の各読み出し信号の間で、直流レベルのばら
つきを生じないようにし、画質向上を得ることができる
固体撮像素子を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明は上記の目的を
達成するために、複数のアナログデジタル変換器を有
し、前記アナログデジタル変換器の出力を順次選択し、
デジタル映像出力を得る固体撮像素子において、前記ア
ナログデジタル変換器で使用する電圧比較部を複数段の
増幅器で構成し、2段目以降の増幅器をクランプ回路と
して機能させ、クランプ回路の直流再生特性ばらつきの
影響を低減させるようにしたものである。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を参照して説明する。
【0010】図1には、固体撮像素子のアナログデジタ
ル変換部を中心に示している。撮像部の1つの画素ブロ
ックPB11を代表してその構成を説明する。画素ブロック
部PB11は、電源400と接地間に直列接続されたスイッ
チ402と受光素子401があり、スイッチ402と受
光素子401の接続点には、増幅器403の入力端子が
接続され、この増幅器403の出力端子はスイッチ40
4を介して信号導出ライン(垂直ライン)VL1に接続
されている。
【0011】画素ブロックPB11を代表して説明したが、
他の画素ブロックPB12〜PBnm(m水平方向画素番号、n
垂直方向画素番号)も同様な構成である。
【0012】画素ブロックPB11、PB12、…、PB1m
は第1の水平ライン方向の画素列を示し、画素ブロック
PB21、PB22、…、PB2mは第2の水平ライン方向の
画素列を示す。各画素ブロック内は同じ構成であるから
同一符号を付している。各画素ブロックの垂直方向の列
は、それぞれ対応する信号導出ライン(垂直ライン)V
L1〜VLmに接続されている。
【0013】垂直ラインVL1〜VLmは、それぞれアナログ
デジタル変換部の一部をなすノイズキャンセル(比較)
部に導かれている。各ノイズキャンセル(比較)部の構
成は同じ構成であるから、1つのノイズキャンセル(比
較)部N1の構成を代表して説明する。垂直ラインVL1は
コンデンサC1を介して電圧比較器501の一方の入力
端子に接続されている。電圧比較器501のこの一方の
入力端子と出力端子間にはスイッチCP1が接続されてい
る。電圧比較器501の他方の入力端子には、基準電圧
発生器311からの基準電圧が供給される。電圧比較器
501の出力端子は、コンデンサC2を介してインバータ
(増幅器)502の入力端子に接続されている。このイ
ンバータ502の入力端子と出力端子間にはスイッチC
P2が接続されている。増幅器502の出力端子は、対
応するラッチ回路11−1の駆動パルス入力端子Gに接
続されている。
【0014】上記の基準電圧発生器311の出力基準電
圧は、各電圧比較比較器501に共通に与えられてい
る。またノイズキャンセル(比較)部NR2に対応し
て、ラッチ回路11−2が設けられている。このラッチ
回路11−2の駆動パルス入力端Gには、ノイズキャン
セル(比較)部NR2の増幅器502の出力が供給され
ている。このようにノイズキャンセル(比較)部NR1
〜NRmに対応してラッチ回路11−1〜11−mが設
けらており、これらのラッチ回路11−1〜11−m
は、それぞれ対応するノイズキャンセル(比較)部のイ
ンバータの出力が反転した時点で、共通のカウンタ31
2のカウント値をラッチすることができる。このカウン
タ312の出力は、基準電圧発生器311にも入力され
ている。
【0015】複数のノイズキャンセル(比較)部NR1
〜NRmに対して、基準電圧発生器311が共有されて
いる。カウンタ312は、水平ドライブ信号HDの先頭
でリセットされ、クロックCLOCKを計数している。
この水平ドライブ信号HD及びクロックCLOCKは、
タイミング発生器313にも供給されており、各種のス
イッチ制御等のタイミング信号を生成している。
【0016】ラッチ回路11−1〜11−mに対応し
て、ラッチ回路12−1〜12−mが設けらている。こ
れらは、対応するラッチ回路11−1〜11−mにラッ
チされているデジタル値を、水平ドライブ信号HDのタ
イミングで一斉にラッチする。ラッチ回路12−1〜1
2−mの出力端子は、走査スイッチ13−1〜13−m
にそれぞれ接続されている。これらの走査スイッチ13
−1〜13−mは、1水平期間に次々とオンして、1走
査分の撮像信号のデジタル値を出力ライン70に導出す
る。
【0017】図2には、図1の固体撮像素子の要部の動
作タイミングの波形図を示している。図2(a)は、第
1の水平ラインにおける出力スイッチ404の動作波
形、図2(b)は、第2の水平ラインにおける出力スイ
ッチ404の動作波形である。図2(c)は、第1の水
平ラインにおけるリセットスイッチ402の動作波形、
図2(d)は、第2の水平ラインにおけるリセットスイ
ッチ402の動作波形である。
【0018】図2(e)は、ノイズキャンセル(比較)
部のスイッチCP1の動作波形図、図2(f)は、スイッ
チCP2の動作波形図である。
【0019】図2(g)、図2(h)は、それぞれノイ
ズキャンセル(比較)部NR1とNR2の各比較器501の
入力部の信号である。図の例では、第1の水平ラインの
画素ブロックPB11からは出力sig1が存在し、画素ブロ
ックPB12からは出力sig2(出力ゼロ)が存在する例を示
している。
【0020】比較器501、増幅器502部ではクラン
プ処理が行われる。
【0021】クランプ処理のために、例えば図2の
(e)、(f)のタイミングのように、スイッチCP
1、CP2が一旦オンされた後、オフされる。ここで後
段のスイッチCP2のオフタイミングは、スイッチCP
1のオフタイミングより遅らせる。
【0022】図面では、スイッチCP1、CP2がオンに
なるタイミングが一致しているが、要は、後段のスイッ
チCP2のオフタイミングが、スイッチCP1のオフタ
イミングより遅れていればよい。よって、後段のスイッ
チCP2のオンのタイミングは、スイッチCP1のオフ
タイミングより遅れていても構わない。
【0023】このように電圧比較部を複数の増幅器で構
成し、後段の増幅器にクランプ回路を設けると、スイッ
チCP1のばらつきによるチャンネル間のA/D変換特
性のばらつきは、スイッチCP2のクランプ動作により
キャンセルされる。スイッチCP2のばらつきにより、
チャンネル間のAD変換特性にチャンネル間ばらつきが
生じるが、入力信号レベルに対しては(1/A1)(A
1は比較器501の増幅率)倍のばらつきであり、信号
から見た場合、このばらつきは実質的にはなくなる。
【0024】またこの発明のノイズキャンセル部では、
上記したように信号出力側で、チャンネル間の直流のば
らつきを効果的に抑えることができるので、逆に撮像領
域側のばらつきの許容範囲が大きくなっても構わないと
言える。このことは、製造面でも有利であり、歩留まり
を高める上でも有利となる。
【0025】この発明は、上記した実施の形態に限定さ
れるものではなく、各種の実施の形態が可能である。図
3には、各種の変形例を示している。
【0026】図3(A)は、比較器501とコンデンサ
C2との間に更に増幅器511を設けた例である。図3
(B)は、先の実施の形態に比べて、スイッチCP1と、増
幅器511を省略した例である。また図3(C)の例う
ぁ、図3(B)の実施の形態に比べて、増幅器502の
後段に増幅器512を設けた例である。
【0027】この発明は上記の実施の形態に限定される
ものではない。
【0028】図4にはこの発明の他の実施の形態におけ
る基本構成を示している。即ち、図4において、破線で
囲む部分PBは、固体撮像素子の画素部であり、光電変換
素子PDのカソードは、直列にリセットスイッチRD,読
み出しスイッチ素子RSを介して直流電源100に接続
されている。スイッチ素子RDとRSの接続点は、増幅素子
Q1のゲートに接続されている。このスイッチ素子Q1の
一方の電極は、直流電源100に接続され、他方の電極
は、定電流源11を介して接地されている。
【0029】またこの他方の電極は、信号出力ノードと
して引き出され、ノイズキャンセル(比較)部13に導
かれている。ノイズキャンセル(比較)部13は、スイ
ッチS1が入力ノードに設けられる。このスイッチS1の
出力ノードは、コンデンサC11とC12の各一方の電極
に接続されている。コンデンサC12の他方の電極に
は、スイッチS2を介して基準電圧発生回路14からの基
準電圧が供給されるように構成される。コンデンサC1
2の他方の電極は、比較器A1とスイッチS3との並列回
路に接続されている。更に比較器A1の出力は、コンデ
ンサC13の一方の電極に接続されている。このコンデ
ンサC13の他方の電極は、インバータA2とスイッチS
4の並列回路を介してラッチ回路15のラッチパルス入
力端に接続されている。
【0030】ラッチ回路15には、カウンタ16からの
カウントデータが供給されている。また、このカウント
データは、基準電圧発生回路14にも供給されている。
基準電圧発生回路14は、カウントデータの値に対応し
た振幅の電圧Vsawを出力する。タイミング回路17
は、各スイッチ素子をオンオフさせるためのタイミング
パルスやカウンタ16のリセットパルス及びクロックを
出力する回路である。
【0031】図5には、上記の回路の動作を説明するた
めの波形を示している。
【0032】リセットパルス(図5(a))によりスイ
ッチ素子RSがオンすると、増幅素子Q1のゲートを高電
位にする。すると増幅素子Q1の出力電圧Vsigが高電位
となり、次にスイッチRSがオフ、スイッチ素子S1がオン
され、更にスイッチS3がオンされ次にオフされる。ス
イッチS3がオンしたときには、出力電圧Vsigの電位Va
とVthの差電圧、つまり(Va−Vth)がコンデンサC11に蓄
えられる。Vthは、比較器A1の閾値電圧である。
【0033】次にスイッチS4をオンオフする。これによ
り、誤差として残っていた直流成分がコンデンサC13
でクランプされる。
【0034】次に、スイッチS1のオン状態は維持し、
スイッチRDをオンする。つまり光電変換素子(フォト
ダイオード)PDに蓄積されている信号電荷を増幅素子Q
1のゲートに転送する。すると、増幅素子Q1の出力電
圧Vsigは、信号電荷(光電変換量)に応じた電圧とな
る。ここでスイッチS2をオンする。すると、このとき
の出力電圧Vbと基準電圧Vsawとの差電圧、つまり(Vb
−V0)がコンデンサC12に蓄えられる。
【0035】次にスイッチS1がオフされ、スイッチS
2のオン状態が維持され、基準電圧Vsawがカウンタ16
のカウント値に基づいて可変される。これにより基準電
圧Vsawは、順次増加又は減少する。スイッチS1がオフし
た後は、スイッチS2のみのオン状態が維持される。
【0036】ここで、比較器A1の入力電圧Vinを見
るとVin=Vsaw+(Vb−V0)−(Va−Vth)となる。
この式を変形するとVin=Vth+(Vb−Va)+(Vsaw
−V0)となる。つまり比較器A1の入力電圧Vinは、閾
値電圧Vthと、入力電圧を2時点でサンプリングした電
圧の電位差(Va−Vb)と、基準電圧の変化幅(Vsaw−V
0)との和となる。ここで基準電圧の変化幅(Vsaw−V
0)と,電位差(Va−Vb)との和がゼロとなったとき
に、Vin=Vth(閾値電圧)となり、比較器A1の
出力が反転することができる。
【0037】基準電圧の変化幅(Vsaw−V0)と,電位
差(Va−Vb)との和がゼロとなることは、(Vsaw−V
0)+(Va−Vb)=0であり、(Va−Vb)=−(Vsaw−
V0)と表わせる。図5の(h)には基準電圧Vsawの変
化の様子を示し、Vsaw−V0=V1が閾値Vthと等しく
なった場合を示している。このときは、比較器A1の出力
電圧Voutは、ハイレベルVHからローレベルVLに変化し、
増幅器A2の出力がラッチ回路15にラッチ用のクロッ
クとして供給される。
【0038】このとき、ラッチ回路15では、カウンタ
16のカウント値をラッチする。このラッチ回路15の
デジタル出力がアナログデジタル変換出力である。
【0039】上記のアナログデジタル変換器は増幅素子
Q1の出力側の信号線に重畳される直流成分(雑音成分)
に対しては感度を持たず、雑音低減回路として機能す
る。この実施の形態においても、先の図1の実施の形態
と同様の効果を得ることができる。
【0040】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
複数の画素の読み出し信号の間で、AD変換特性のばら
つきの影響を低減し、画質向上を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の一実施の形態を示す図。
【図2】 図1の回路の動作を説明するために示したタ
イミング図。
【図3】 この発明の他の実施の形態における要部を示
す図。
【図4】 この発明のさらに他の実施の形態を示す図。
【図5】 図4の回路の動作を説明するために示したタ
イミング図。
【符号の説明】
400…電源、401…受光素子、402…スイッチ、
403…増幅器、404…スイッチ、PB11〜PBnm…画
素ブロック、501…比較器、502…増幅器、CP1,CP
2…スイッチ、C1,C2…コンデンサ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4M118 AA06 AA10 AB01 BA14 CA02 DD09 FA06 FA50 5B047 BB02 BC01 CA06 CB17 DB01 5C024 AA01 CA13 CA14 FA01 GA11 HA14 HA18 5C051 AA01 BA03 DA03 DB01 DB08 DB15 DC03 DC07 DE02 DE13 DE15 DE16 DE17

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のアナログデジタル変換器を有し、
    前記アナログデジタル変換器の出力を順次選択し、デジ
    タル映像出力を得る固体撮像素子において、 前記アナログデジタル変換器で使用する電圧比較部を複
    数段の増幅器で構成するとともに、2段目以降の増幅器
    にクランプ回路を設けたことを特徴とする固体撮像素
    子。
  2. 【請求項2】 前記複数段の増幅器の複数段にクランプ
    回路を設け、クランプ回路のオフ時のタイミングは後段
    のクランプ回路の方が遅いタイミングであることを特徴
    とする請求項1記載の固体撮像素子。
  3. 【請求項3】 前記電圧比較部は、共通の基準電圧が与
    えられることを特徴とする請求項1記載の固体撮像素
    子。
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