JP2000288876A - 生産制御装置および生産制御方法 - Google Patents

生産制御装置および生産制御方法

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JP2000288876A JP10013199A JP10013199A JP2000288876A JP 2000288876 A JP2000288876 A JP 2000288876A JP 10013199 A JP10013199 A JP 10013199A JP 10013199 A JP10013199 A JP 10013199A JP 2000288876 A JP2000288876 A JP 2000288876A
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明夫 青木
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    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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  • General Factory Administration (AREA)
  • Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 生産ラインにおいて様々な状況で装置の障害
が発生した場合であっても、有効性の高い生産スケジュ
ールの再作成を可能にし、生産スケジュールに従って正
確に製品を製造する。 【解決手段】 生産スケジュールに従って稼働する生産
ラインの管理において、生産ラインの各装置において発
生し得る障害に関して、個々の障害を解消するために必
要となる各物的資源および人的資源の種類および占有時
間を含む資源情報を記憶し、生産ラインの各装置におい
て障害が発生した時に、その障害を解消するために必要
な資源の資源情報を用いて算出した復旧時間に基づいて
生産制御のための生産スケジュールを再作成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、生産ラインの管理
方法に関するもので、特に生産工程が多数あり、各工程
の加工装置または製造装置が多数備わり、かつ高度に自
動化された比較的大規模な生産工場に適用する生産制御
装置、生産制御システムおよび生産制御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、大規模な生産工場において、生産
効率の向上を目的とした設備、生産制御などの自動化が
進んでいる。特に、半導体デバイス製造工場において
は、クリーンルームのクリーン度を上げる目的も伴うこ
とから、高度な自動化が実現されてきた。高度に自動化
された工場においては、製造装置または加工装置におけ
る処理時間、あるいは搬送設備による加工品などの搬送
時間などが精度よく算出可能なことから、生産制御に関
して有効性の高い生産スケジュールを作成することがで
きる。
【0003】例えば半導体デバイス製造工場において
は、ホストコンピュータを利用して、工場の各ラインの
稼働状況の監視、生産計画および稼働状況に基づいた生
産スケジュールの作成、および生産スケジュールに応じ
た各ラインの制御を行なっている。またこのような工場
において生産ライン中の装置に障害が発生した場合に
は、過去に発生した同種の障害の復旧時間に基づいて生
産スケジュールの再作成を行なう。そのために、生産ラ
インにおいて発生した障害の復旧時間の履歴をホストコ
ンピュータが参照可能なデータとして記録する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では障害発生などの異常時に行なう生産スケジュー
ルの再作成のデータとして過去の同種の障害の復旧時間
を利用していたため、その時間が障害発生時の様々な条
件によって変化する場合に、再作成した生産スケジュー
ルの有効性が低下するという欠点があった。
【0005】本発明の目的は、このような従来技術の問
題点に鑑み、生産ラインにおいて様々な状況で装置の障
害が発生した場合であっても、常に生産制御装置によっ
て、有効性の高い生産スケジュールの再作成を可能に
し、生産スケジュールに従って正確に製品を製造し得る
生産制御装置、生産制御システムおよび生産制御方法を
提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するため、本発明の生産制御装置は、生産スケジュー
ルを作成する手段と、生産スケジュールに従って稼働す
る生産ラインの各装置において発生し得る障害に関し
て、個々の障害を解消するために必要となる各物的資源
および人的資源の種類および占有時間を含む資源情報を
記憶する手段と、生産ラインの各装置において障害が発
生した時に、その障害を解消するために必要な資源の資
源情報を用いて算出した復旧時間に基づいて生産制御の
ための生産スケジュールを再作成する手段とを有するこ
とを特徴とする。
【0007】上記記憶した資源情報は、生産制御システ
ム上の端末から更新要求があった場合に、その要求の内
容にしたがって記憶内容を更新し、また復旧時間算出の
際には、資源の種類の指定に応じて、指定された資源の
占有時間を返すように動作する。
【0008】本発明の生産制御システムは、生産スケジ
ュールにより生産ラインの各装置を管理するための生産
制御装置と、生産スケジュールに従って稼働する生産ラ
インとを具備する生産制御システムにおいて、生産制御
装置は、生産ラインの各装置において発生し得る障害に
関して、個々の障害を解消するために必要となる各物的
資源および人的資源の種類および占有時間を含む資源情
報を、障害の種類を示すエラーコード毎に記憶する手段
を有し、生産ラインにおいて障害が発生した装置は、そ
の障害の種類に該当するエラーコードを生産制御装置に
通知し、生産制御装置は、通知されたエラーコードをキ
ーとして検索した資源情報を用いて復旧時間を算出し生
産制御のための生産スケジュールを再作成することを特
徴とする。
【0009】また、本発明は、生産スケジュールに従っ
て稼働する生産ラインの装置に障害が発生した際に、過
去に発生した同種の障害における復旧時間に基づいて再
作成した生産スケジュールに従って生産ラインを稼働す
る生産制御方法において、過去に発生した障害の復旧に
必要となった各物的資源および人的資源の占有時間から
障害の復旧時間を算出し、この算出した復旧時間に基づ
いて生産制御のための生産スケジュールを再作成するこ
とを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施形態によれ
ば、生産ラインにおいて障害が発生した時に必要な資源
を利用するための待ち時間が発生する場合には、その待
ち時間を加味して復旧時間を算出する。
【0011】具体的には、生産スケジュールを再作成す
る手段は、生産ラインの各装置において発生し得る障害
を解消するために必要となる各資源の割り当てを行なっ
て資源の使用予定を管理する資源管理手段を具備し、使
用予定に基づいて待ち時間を算出し、算出した待ち時間
を加味して復旧時間を算出する。
【0012】上記資源管理手段は、各復旧資源について
総量および使用状況を管理し、資源の使用要求があった
場合、要求された資源に空きがあればそれを指定時間だ
け割当て、空きがなければその資源の種類に応じて使用
中の資源の解放または供給までの待ち時間を返すように
動作する。
【0013】
【実施例】図1は、本発明の特徴を最も良く表す一実施
例に係る生産ラインと制御システムの構成を説明する模
式図である。同図において1は本実施例の主たる構成要
素として生産制御手段、生産スケジュール作成手段、資
源情報記憶手段および復旧資源管理手段からなる生産制
御装置、2は生産制御装置1の制御対象である生産ライ
ン、3は工場内の搬送手段を制御する搬送制御装置、4
は生産制御装置1、生産ライン2および搬送制御装置3
間あるいは生産ライン2の各装置間の通信を可能にして
いる工場内通信手段である。前記生産制御手段は、生産
ライン2の各装置から状態の変化に伴って随時送られる
装置状態に基づいて生産ライン2の状態を管理するとと
もに、該装置状態および前記生産スケジュール作成手段
によって作成された生産スケジュールに従って生産ライ
ン2の各装置などを制御する。前記資源情報記憶手段
は、データベースシステム上に実現されていて、生産ラ
イン2上の装置において発生した障害を解消するために
必要となる各物的資源および人的資源の種類、量および
占有時間について、障害の種類(装置種類およびエラー
コード)をキーにして更新および参照を可能にしてい
る。前記復旧資源管理手段は、前記資源情報記憶手段に
登録される全ての資源の有効数を管理し、障害の発生に
際しては、必要に応じて資源の割当てを行なう。
【0014】図2は、露光装置およびコータ・デベロッ
パからなる生産ラインの1つのブロックを表す図であ
り、同図において101、102および103はそれぞ
れレチクルに形成されている回路パターンをシリコンウ
エハに転写する露光装置、111、112および113
はそれぞれ露光前のシリコンウエハにフォトレジストを
塗布し、露光後のシリコンウエハのフォトレジストを現
像するコータ・デベロッパ、20は工場内の各設備また
は装置の間でレチクルまたはシリコンウエハを搬送する
工場内搬送手段を表す。工場内搬送手段20は前記搬送
制御装置3によって全ての搬送が制御され、図2のブロ
ックにおいては、各露光装置101〜103と各コータ
・デベロッパ111〜113の間のシリコンウエハの搬
送、各コータ・デベロッパ111〜113とこのブロッ
ク外との間のシリコンウエハの搬送、および各露光装置
とこのブロック外とのレチクルの搬送を行なう。また、
各露光装置およびコータ・デベロッパは障害が発生した
際に、工場内通信手段4を介して生産制御装置1にエラ
ーコードを通知する。
【0015】図3は、前記資源情報記憶手段に記憶され
るデータを表す図であり、同図において、各レコードは
エラーコード、資源の種類、資源の量および占有時間で
構成される。前記エラーコードは、4つのフィールドか
ら構成され、装置において発生した障害の種類を示す。
前記資源の種類は、資源に固有の名前または記号を用い
て、障害を解消するために必要な資源を示す。
【0016】前記資源の量は、障害を解消するために必
要な資源の量を示すが、−1は、その障害が重大な故障
であることを示し、そのような障害を発生した装置は、
即座に生産制御の対象から外される。前記占有時間は、
障害を解消するために必要な資源の占有時間を示すが、
−1は、その資源が使用後に回収されないことを示し、
通常、交換部品に設定される。
【0017】また、前記資源の種類が人的資源である場
合には、通常エンジニアであり、その占有時間は総作業
時間を示す。さらに、エンジニアの一定基準に基づいた
技術レベルおよび作業能力を区別するために、エンジニ
ア1やエンジニア2のように区別して表現される。
【0018】図4は、前記復旧資源管理手段が資源の管
理のために用いるデータを表す図であり、同図におい
て、各レコードは、資源の種類、在庫量および使用予定
で構成される。ここで資源の種類は、前記資源情報記録
手段のデータと同じ表現が用いられる。前記在庫量は、
利用可能な資源の量を示すが、−1は、その資源が消費
されないもの、つまり人的資源や計測機器であることを
示す。前記使用予定は、前記在庫量が−1の場合に限っ
て設定されるデータであり、資源の使用予定管理テーブ
ルを示す。前記使用予定管理テーブルの各レコードは、
その資源が使用される装置、使用開始予定時刻、使用終
了予定時刻で構成される。
【0019】図5は、生産制御システムが生産ライン中
の装置において障害が発生した時に実行する障害処理手
順を示すフローチャートである。前記障害処理手順は、
障害が発生した装置からエラーコードとともに障害の発
生が通知された時に開始され(ステップS1)、該障害
を解消するために必要な資源を確定するために前記エラ
ーコードをキーにして前記資源情報記憶手段に記憶され
るデータを検索し(ステップS2)、検索が成功すれば
(ステップS3のNo)、検索されたデータに基づいて
前記復旧資源管理手段によって必要な資源の確保ととも
に資源の使用開始時刻を確定し(ステップS4)、資源
の確保に成功すれば(ステップS5のNo)、ステップ
S2で求めた資源の占有時間およびステップS4で求め
た資源の使用開始時刻から障害の解消に要する時間を算
出し(ステップS6)、生産スケジュール作成手段によ
って生産スケジュールを再作成して(ステップS7)、
処理を終了する(ステップS8)。
【0020】また、前記障害処理手順において、前記資
源情報記憶手段の検索が失敗した場合(ステップS3の
Yes)、あるいは前記復旧資源管理手段による資源の
確保が失敗した場合(ステップS5のYes)には、資
源不明時の処理として予め決められている処理を行なう
(ステップS9)。
【0021】このように上記実施例によれば、生産ライ
ン中の装置に障害が発生した時に、障害の認知から生産
スケジュールの再作成までの処理を、人間の介在無しで
自動的に実行することができる。また、人的資源である
エンジニアの技術レベルおよび作業能力を区別して管理
するため、作業時間などの誤差をより小さなものとして
扱うことができ、結果として障害解消に要する時間の算
出精度を向上させることができる。また、前記資源情報
記憶手段および前記復旧資源管理手段において、物的資
源と人的資源とを同様に扱うようにしたため、データ管
理の複雑化を防ぐとともに、これらの手段の実現を容易
にしている。
【0022】さらに、前記復旧資源管理手段において、
資源の使用開始予定時刻および使用終了予定時刻を用い
て資源の状態を管理するため、効率良く資源の管理をす
ることができる。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
生産ラインの装置において発生し得る障害に関して、個
々の障害を解消するために必要となる各物的資源および
人的資源の種類および占有時間を、エラーコード毎に記
憶する資源情報記憶手段を具備し、障害の解消に必要な
資源の占有時間を用いて復旧時間の算出を行なうことに
より、障害発生時の該資源の状態の影響を受けずに、従
来技術と比べてより正確に復旧に要する時間を算出する
ことができる。したがって、生産スケジュールに対して
正確に製品を生産することが可能となる。
【0024】また、本発明によれば、生産ラインの装置
において発生し得る障害を解消するために必要となる各
資源の割り当てを行なう復旧資源管理手段を具備し、実
際に生産ラインにおいて障害が発生した時には、該復旧
資源管理手段によって必要な資源の割当を行ない、その
結果として必要な資源を利用するために待ち時間が発生
する場合には、該待ち時間を加味して前記復旧時間を算
出することにより、障害の解消に必要な人的資源を含む
資源の量に制限がある場合にも、正確に復旧に要する時
間を算出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例に係る生産ラインと制御シ
ステムの構成を説明する図である。
【図2】 本発明の一実施例に係る生産ラインの詳細を
説明する図である。
【図3】 本発明の一実施例に係る資源情報記録手段を
説明する図である。
【図4】 本発明の一実施例に係る復旧資源管理手段を
説明する図である。
【図5】 本発明の一実施例に係る障害処理手順を説明
する図である。
【符号の説明】
1:生産制御装置、2:生産ライン、3:搬送制御装
置、4:工場内通信手段、101〜103:露光装置、
111〜113:コータ・デベロッパ、20:工場内搬
送手段。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 生産スケジュールを作成する手段と、前
    記生産スケジュールに従って稼働する生産ラインの各装
    置において発生し得る障害に関して、個々の障害を解消
    するために必要となる各物的資源および人的資源の種類
    および占有時間を含む資源情報を記憶する手段と、前記
    生産ラインの各装置において障害が発生した時に、その
    障害を解消するために必要な資源の資源情報を用いて算
    出した復旧時間に基づいて生産制御のための生産スケジ
    ュールを再作成する手段とを有することを特徴とする生
    産制御装置。
  2. 【請求項2】 前記生産スケジュールを再作成する手段
    は、前記生産ラインの各装置において必要となる資源の
    使用予定を管理する資源管理手段をさらに具備し、生産
    ラインにおいて障害が発生した時に必要な資源を利用す
    るために待ち時間が発生する場合には、その待ち時間を
    前記使用予定に基づいて算出し、算出した待ち時間を加
    味して前記復旧時間を算出することを特徴とする請求項
    1記載の生産制御装置。
  3. 【請求項3】 前記資源管理手段は資源の使用予定を使
    用予定管理テーブルとして各資源毎に記憶し、前記生産
    ラインにおいて障害が発生した時に、その障害の復旧に
    必要な資源の使用予定管理テーブルに、復旧作業を行う
    装置並びに復旧作業の開始時間および終了時間を使用予
    定として追加することを特徴とする請求項2記載の生産
    制御装置。
  4. 【請求項4】 生産スケジュールにより生産ラインの各
    装置を管理するための生産制御装置と、前記生産スケジ
    ュールに従って稼働する生産ラインとを具備する生産制
    御システムにおいて、前記生産制御装置は、前記生産ラ
    インの各装置において発生し得る障害に関して、個々の
    障害を解消するために必要となる各物的資源および人的
    資源の種類および占有時間を含む資源情報を、前記障害
    の種類を示すエラーコード毎に記憶する手段を有し、前
    記生産ラインにおいて障害が発生した装置は、その障害
    の種類に該当するエラーコードを前記生産制御装置に通
    知し、前記生産制御装置は、通知されたエラーコードを
    キーとして検索した資源情報を用いて復旧時間を算出し
    生産制御のための生産スケジュールを再作成することを
    特徴とする生産制御システム。
  5. 【請求項5】 生産スケジュールに従って稼働する生産
    ラインの装置に障害が発生した際に、過去に発生した同
    種の障害における復旧時間に基づいて生産スケジュール
    を再作成する生産制御方法において、前記過去に発生し
    た障害の復旧に必要となった各物的資源および人的資源
    の占有時間から前記障害の復旧時間を算出し、この算出
    した復旧時間に基づいて生産制御のための生産スケジュ
    ールを再作成することを特徴とする生産制御方法。
  6. 【請求項6】 生産ラインにおいて障害が発生した時
    に、必要な資源を利用するために待ち時間が発生する場
    合には、その待ち時間を加味して前記復旧時間を算出す
    ることを特徴とする請求項5記載の生産制御方法。
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