JP2000290032A - スクライブ方法 - Google Patents
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Abstract
成するスクライブ方法において、良好なスクライブ線を
形成する。 【解決手段】 スクライブ本体は、カッタ(当接部材)
と、このカッタに振動を付与する振動発生部材とを有し
ている。スクライブ本体をワーク面50aに沿って相対
送りし、これと同時に振動発生部材の振動をカッタに付
与することにより、スクライブ線を形成する。カッタの
先端部を構成するダイヤモンド圧子20は、第1稜線2
1と第2稜線22を有して先端が尖っている。これら稜
線21,22は送り方向に対峙しており、ワーク面50
aとのなす角Θβが小さい第2稜線22が送り方向に位
置し、ワーク面50aとのなす角Θαが大きい第1稜線
21が、送り方向の反対側に位置している。
Description
ミックス板等の硬質脆性材料からなるワークの面にスク
ライブ線を形成する方法に関する。
動を与えながらスクライブ線を形成する装置が特開平9
−25134号公報に開示されている。このスクライブ
装置は、エアーシリンダの外筒を支持部に固定し、エア
ーシリンダの内筒を振動発生部材の一端に連結してい
る。さらに、振動発生部材の他端には、カッタ保持部が
連結され、カッタ保持部はスライド機構を介して上記支
持部にスライド可能に取り付けられている。そして、エ
アーシリンダの力でカッタ保持部を付勢することによ
り、このカッタ保持部に保持されたカッタをワーク面に
押し付けるとともに、振動発生部材に高周波電圧を付与
して、その伸縮によりカッタを振動させ、この状態で、
支持部をワーク面に沿って移動させることにより、ワー
ク面にスクライブ線を形成するようになっている。
カッタは振動の各周期毎にワーク面を押し、これにより
ワーク面には塑性変形による微小な凹みが形成され、こ
の凹みからワークの厚み方向にクラックが発生する。そ
して、上記微小凹みが連なるとともにクラックが連なっ
て、スクライブ線が形成されることになる。
ッタの先端形状に対する分析が足りず、単に先端を尖ら
せるだけで満足していた。そのため、上記微小凹みから
スクライブ線と交差する方向にもクラックが延びてしま
い、スクライブ線に沿う有効なクラックの形成に振動エ
ネルギーを集中して使うことができなかった。そのた
め、上記スクライブ線に沿う有効なクラックが深く形成
されず、スクライブ線に沿う破断をより一層容易に行い
たいとの要求に答えることができなかった。
めに、本発明の第1の態様では、第1,第2の2つの稜
線を有して先端を尖らせた当接部材と、この当接部材に
振動を付与する振動発生部材とを含むスクライブ本体を
用い、上記当接部材の先端をワーク面に当てた状態で、
この当接部材に振動発生部材からの振動を付与するとと
もに、上記スクライブ本体をワーク面に沿って相対的に
送ることにより、ワーク面にスクライブ線を形成する方
法において、上記第1,第2の2つの稜線がワーク面と
なす角度を異ならせるとともに、これら第1,第2の稜
線を上記スクライブ本体の相対送り方向に沿って対峙さ
せることを特徴とする。本発明の第2の態様は、第1の
態様のスクライブ方法において、上記第1稜線とワーク
面のなす角度を、上記第2稜線とワーク面とのなす角度
より大きくし、第2稜線を上記相対送り方向に位置させ
第1稜線を相対送り方向の反対側に位置させることを特
徴とする。
のスクライブ方法において、上記振動の各周期に当接部
材の先端がワーク面を押すことによって得られる塑性変
形部を互いに離し、上記第1,第2稜線に対応する塑性
変形部の2つの角から上記送り方向に延びるクラックを
結ぶことにより、上記スクライブ線を形成することを特
徴とする。本発明の第4の態様は、第1〜第3の態様の
スクライブ方法において、上記当接部材の先端部の中心
軸線に対して上記第1,第2稜線が等しい角度をなし、
この中心軸線がワーク面の法線に対して上記送り方向に
傾斜し、これにより、第1,第2の稜線とワーク面との
なす角度を異ならせたことを特徴とする。本発明の第5
の態様は、第1〜第4の態様のスクライブ方法におい
て、上記第1,第2稜線とワーク面とのなす角度の差が
1°〜10°であることを特徴とする。
のスクライブ装置について、図面に基づいて説明する。
図1,図2に示すように、このスクライブ装置は、垂直
をなす支持板(支持部)1と、この支持板1にスライド
機構2を介して垂直方向にスライド可能に支持されたス
クライブ本体10とを備えている。
定されて垂直に延びるガイド2aと、このガイド2aに
垂直方向にスライド可能に支持されたスライダ2bとを
有している。このスライダ2bには、上下のブラケット
3を介して計4枚の板ばね4が取り付けられており、こ
れら板ばね4に上記スクライブ本体10のボデイ11が
支持されている。
をなす上記ボデイ11と、縦長の箱形状をなしてこのボ
デイ11に収容されるとともに微小量の垂直方向スライ
ドを可能にして支持されたホルダ12と、このホルダ1
2の下端に設けられたカッタ13(ヘッド,当接部材)
と、ホルダ12に収容されてこのホルダ12に振動を付
与するピエゾアクチュエータ等からなる縦長の振動発生
部材14と、を備えている。
ルダ12と同軸をなしており(これらの中心軸線を図に
おいてLで示す)、軸方向(垂直方向)の振動を発生す
る。振動発生部材14の下端は、ホルダ12の内部空間
の底面12a(当接部)に当たっている。上記ホルダ1
2の上端部は、ボデイ11の上端部に設けたガイド部材
15により、上記中心軸線Lに沿う方向(振動方向)に
微少量スライド可能に支持されている。
掛け渡された板ばね16と、ゴムや樹脂等の弾性材料か
らなる球形のボール17(与圧供給部材)により支持さ
れている。このボール17は、ボデイ11に固定された
受板18とホルダ12との間に介在されている。上記ボ
ール17は、その弾性復元力でホルダ12を上方に付勢
し、ホルダ12の内部空間の底面12aと、上記ガイド
部材15にねじ込まれた調節ねじ15aとの間で振動発
生部材14に予圧(振動発生部材14を軸方向に圧縮す
る方向の力)を付与している。
ようにして2股に別れて下方に延びている。これら一対
の延長部の下端部には、ホルダ12に対して角度調節可
能なアタッチメント19を介して上記カッタ13が取り
付けられている。このカッタ13は、上記ボデイ11や
振動発生部材14のほぼ中心軸線L上に位置しており、
下端に向かって先細となる円錐形状をなすベース部13
aと、このベース部13aの下端に固着された四角錐形
状をなすダイヤモンド圧子20とを有している。このダ
イヤモンド圧子20は、カッタ13の先端部を構成して
いる。
持するテーブル30と、移動機構40とを備えている。
この移動機構40は、支持板1を水平移動し、ひいては
スライド機構2と板ばね4を介してスクライブ本体10
を水平移動させるものである。
3、図4を参照しながら説明する。上記ダイヤモンド圧
子20は、上述したように四角錐をなし、その頂点20
aが下を向いており、この頂点20aから4つの稜線2
1〜24が延びている。ダイヤモンド圧子20は正四角
錐ではなく、対向する稜線21,22を含む平面と対向
する稜線23,24を含む平面とが交差する軸線を中心
軸線25とした時、中心軸線25と第1稜線21間の角
度Θ1が最も小さく、中心軸線25と第2稜線22との
なす角度Θ2が最も大きい。第3稜線23,第4稜線2
4と中心軸線25とのなす角度は、互いに等しく上記Θ
1、Θ2の中間の大きさである。
は,上記ボデイ11等の中心軸線L(振動軸線)と同軸
ないしは平行になっており、ワーク50の面50aに対
して垂直になっている。そのため、ダイヤモンド圧子2
0の第1稜線21とワーク面50aとのなす角度Θαが
最も大きく、第2稜線22とワーク面50aとのなす角
度Θβが最も小さくなっている。ダイヤモンド圧子20
は上述したように正四角錐でないので、水平面(ワーク
面50aと平行な面)で切った断面の形状は正四角形で
はなく、図4に示すような四角形となる。
ライブ方法について説明する。上記テーブル30にワー
ク50を位置決めして水平にセットする。この状態で、
スクライブ本体10をワーク面50aに載せ、振動発生
部材14に高周波電圧を付与するとともに、移動機構4
0により、スクライブ本体10を所定軌跡例えば直線に
沿って水平移動させる(図1において、矢印Xで示
す)。すなわち、スクライブ本体10をワーク面50a
に沿って相対送りする。
る押圧力(静圧)が常に付与されている。この押圧力
は、本実施形態ではスクライブ本体Aの自重に起因する
ものである。振動発生部材14は、上記高周波電圧を受
けて軸方向に周期的に伸縮し、この周期的伸縮に伴うホ
ルダ12の振動がカッタ13を介してワーク50に伝達
される。その結果、カッタ13は、ワーク面50aに沿
って送られながら、周期的にワーク面50aを押す(接
しながら叩く)ことになり、これにより、ワーク面50
aにはスクライブ線が形成される。
る。上記カッタ13の先端のダイヤモンド圧子20は、
振動の各周期毎にワーク50面を押す。そのため、ワー
ク面50aには図5に示すように塑性変形された凹み5
5(塑性変形部)が形成される。この凹み55は、図4
に示すダイヤモンド圧子20の水平断面形状に対応して
四角形をなしており、上記稜線21〜24に対応する角
55a〜55dを有している。
より、ワーク面50aには、上記凹み55から延びる表
層マイクロクラックが形成される。上述したように、稜
線21〜24のワーク面50aに対する角度が異なるた
め、ワーク50に生じる衝撃応力に方向性があり、図5
に示すように主に凹み55の稜線21,22に対応する
角55a,55bから表層マイクロクラック56,57
が延びることが、実験から確認されている。しかも、こ
のクラック56,57は角56a,56bの対峙方向に
延び、稜線21に対応するクラック56が、稜線22に
対応するクラック57より長いことも確認されている。
のワーク面50aとの角度の相違により生じるクラック
56,57の延び方向の特異性を利用して、良好なスク
ライブ線を形成するものである。すなわち、上記ダイヤ
モンド圧子20をカッタ13のベース部13aに固着す
る際、その向きを調整し、その稜線21,22が送り方
向Xに沿うように対峙させる。すると、上記クラック5
6,57は図6に示すように、送り方向Xすなわちカッ
タ13の移動軌跡に沿って延びることになる。
り方向Xに向け、第1稜線21を送り方向Xと反対側に
位置させたことにより、第1稜線21に対応して長く延
びるクラック56を直前に形成された凹み55に向かっ
て確実に伸ばすことができる。これは、凹み55近傍部
において内部応力が蓄積されており、上記クラック56
を導くからである。
している。すなわち、図6に示すように、上記振動の1
周期毎のカッタ13の押圧によって形成される凹み55
を送り方向に離間させている。そして、この凹み55か
ら延びるクラック56,57を結んでスクライブ線60
を形成している。すなわち、前回形成した凹み55から
送り方向に延びるクラック57と今回形成した凹み55
から送り方向と逆方向に延びるクラック56とを結ぶの
である。なお、このようなスクライブ線60を形成する
ための条件について説明する。送り速度V(mm/se
c),振動周波数をF(回数/sec)とした時、1周
期当たりの送り量S(μm)は、下記式で表すことがで
きる。 S=(V/F)×1000 そして、凹み55の送り方向の長さをL(μm),クラ
ック56,57の合計長さをΔLとした時、上記スクラ
イブ線60を形成するための条件は、次式で表すことが
できる。 L<S≦L+ΔL 上記L,ΔLは、上記静圧、振動荷重、圧子20の形状
によって決定されるものである。
記凹み55と表層のクラック56,57から厚み方向に
もクラックが発生しており、このようなスクライブ線6
0が形成されたワーク50は、テーブル3から取り外さ
れ、図示しない破断装置により、スクライブ線60に沿
って破断される。
ては、クラック56,57がスクライブ線60に沿って
延びていること、長いクラック56が確実にこのスクラ
イブ線60に沿うこと、凹み55が連続せず、間隔を明
けて形成されていること、により、このスクライブ線6
0に沿って破断した時に、その破断面を非常に滑らかに
することができる。
なす角度Θα,Θβの差は、1°〜10°が好ましい。
1°より小さい場合、10°より大きい場合には、クラ
ック56,57の延び方向が不安定になるからである。
ず、種々の態様が可能である。例えば、上記実施形態で
は、直線からなるスクライブ線を形成する方法について
説明したが、曲線からなるスクライブ線を形成してもよ
い。この場合、送り方法は曲線の接線方向となる。
ヤモンド圧子20’を用いてもよい。すなわち、このダ
イヤモンド圧子20’では、図8に示すように中心軸線
25と直交する断面が正方形となり、中心軸線25と稜
線21,22のなす角度も等しくなる。このような形状
のダイヤモンド圧子20’を用いる場合には、稜線2
1,22を送り方向Xに対峙させるとともに、中心軸線
25をワーク面50aの法線と一致させず送り方向に傾
ける。これにより、稜線21〜24の位置関係は、最初
の実施形態のダイヤモンド圧子20と同様となる。ま
た、この傾斜状態にあるダイヤモンド圧子20’をワー
ク面50aと平行な面で切った時の断面形状は、図9に
示すようになる。その結果、このダイヤモンド圧子2
0’でワーク面50aを押すことにより、図5に示すよ
うな凹み55とクラック56,57を得ることができ、
図6に示すようなスクライブ線60を形成することがで
きる。なお、この中心軸線25と法線のなす角度は、上
記第1実施形態における角度差Θα―Θβが1°〜10
°であることから容易に理解できるように、0.5°〜
5°が好ましい。
用いてもよい。この場合、図10に示すように、ダイヤ
モンド圧子20”の中心軸線25と直交する断面が扁平
な菱形となり、その長軸を送り方向に沿わせるようにす
る。中心軸線25と稜線21,22のなす角度が等しい
場合には、稜線21,22を送り方向Xに対峙させると
ともに、中心軸線25をワーク面の法線と一致させず送
り方向に傾ける。この傾斜状態にあるダイヤモンド圧子
20”をワーク面と平行な面で切った時の断面形状は、
図11に示すようになる。稜線21,22のワーク面に
対する角度は、前述の実施形態と同様である。
えば図12に示すように第1,第2の稜線21,22が
2つの湾曲面の交差により形成されるものであってもよ
い。中心軸線25と稜線21,22のなす角度が等しい
場合には、稜線21,22を送り方向Xに対峙させると
ともに、中心軸線25をワーク面の法線と一致させず送
り方向に傾ける。この傾斜状態にあるダイヤモンド圧子
をワーク面と平行な面で切った時の断面形状は、図13
に示すようになる。稜線21,22のワーク面に対する
角度は、前述の実施形態と同様である。
ける方法は種々ある。第1の方法は、カッタ13のベー
ス部13aの軸線に対して中心軸線25が傾くようにダ
イヤモンド圧子を固着することである。第2の方法は、
アタッチメント19をボデイ11等の中心軸線Lに対し
て傾けることである。第3の方法は、ボデイ11等の中
心軸線L(振動軸線)をワーク面の法線に対して傾ける
ことである。
る素材として、ダイヤモンド圧子の他にワークより遥か
に硬い材料を用いてもよい。スクライブ本体を移動させ
ずにワークを移動させることにより、スクライブ本体を
ワークに対して相対送りさせてもよい。前述の全ての実
施形態とは逆に、第1稜線とワーク面とのなす角度を第
2稜線とワーク面とのなす角度より小さくしてもよい。
この場合、前述の実施形態よりスクライブ線はきれいで
なくなるが、従来方法より遥かに良好なスクライブ線が
得られる。また、微小凹みは送り方向に離れずに、角同
士が連なるようにしてもよいし、微小凹みがオーバーラ
ップしていてもよい。この場合、前述の実施形態よりス
クライブ線はきれいでなくなるが、従来方法より遥かに
良好なスクライブ線が得られる。
様によれば、ワーク面との角度が異なる第1,第2の稜
線を送り方向に対峙させることにより、クラックの延び
方向を送り方向と一致させることにより、スクライブ線
に沿って深いクラックを形成することができ、このスク
ライブ線に沿う破断を良好に行うことができる。本発明
の第2の態様によれば、さらに角度の小さな第2稜線を
送り方向に位置させ、角度の大きな第1稜線を送り方向
の反対側に位置させたことにより、クラックをより一層
確実に送り方向に沿わせることができ、より一層良好な
スクライブ線を形成することができる。本発明の第3の
態様によれば、送り方向に沿って塑性変形部を間隔を置
いて形成し、この塑性変形部から延びるクラックを結ぶ
ようにしてスクライブ線を形成したので、より一層良好
なスクライブ線を形成することができる。本発明の第4
の態様によれば、当接部先端部を製造し易くなる。本発
明の第5の態様によれば、クラックの延び方向を安定さ
せることができる。
体を示す正面図である。
イヤモンド圧子の拡大縦断面図である。
圧子の横断面図である。
面に形成される凹みとクラックを示す拡大平面図であ
る。
示す平面図である。
子の拡大縦断面図である。
7中VIII−VIII線に沿う(中心軸線と直交する
平面で切ったときの)横断面図である。
7中IX−IX線に沿う(水平面切ったときの)横断面
図である。
相当図である。
図9相当図である。
相当図である。
図9相当図である。
先端部) 21 第1稜線 22 第2稜線 25 中心軸線 50 ワーク 55 凹み(塑性変形部) 56,57 クラック 60 スクライブ線
Claims (5)
- 【請求項1】 第1,第2の2つの稜線を有して先端を
尖らせた当接部材と、この当接部材に振動を付与する振
動発生部材とを含むスクライブ本体を用い、 上記当接部材の先端をワーク面に当てた状態で、この当
接部材に振動発生部材からの振動を付与するとともに、
上記スクライブ本体をワーク面に沿って相対的に送るこ
とにより、ワーク面にスクライブ線を形成する方法にお
いて、 上記第1,第2の2つの稜線がワーク面となす角度を異
ならせるとともに、これら第1,第2の稜線を上記スク
ライブ本体の相対送り方向に沿って対峙させることを特
徴とするスクライブ方法。 - 【請求項2】 上記第1稜線とワーク面のなす角度を、
上記第2稜線とワーク面とのなす角度より大きくし、第
2稜線を上記相対送り方向に位置させ第1稜線を相対送
り方向の反対側に位置させることを特徴とする請求項1
に記載のスクライブ方法。 - 【請求項3】 上記振動の各周期に当接部材の先端がワ
ーク面を押すことによって得られる塑性変形部を互いに
離し、上記第1,第2稜線に対応する塑性変形部の2つ
の角から上記送り方向に延びるクラックを結ぶことによ
り、上記スクライブ線を形成することを特徴とする請求
項1または2に記載のスクライブ方法。 - 【請求項4】 上記当接部材の先端部の中心軸線に対し
て上記第1,第2稜線が等しい角度をなし、この中心軸
線がワーク面の法線に対して上記送り方向に傾斜し、こ
れにより、第1,第2の稜線とワーク面とのなす角度を
異ならせたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに
記載のスクライブ方法。 - 【請求項5】 上記第1,第2稜線とワーク面とのなす
角度の差が1°〜10°であることを特徴とする請求項
1〜4のいずれかに記載のスクライブ方法。
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