JP2000296368A

JP2000296368A - 洗浄装置

Info

Publication number: JP2000296368A
Application number: JP11105621A
Authority: JP
Inventors: Takashi Sasaki; 隆佐々木
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1999-04-13
Filing date: 1999-04-13
Publication date: 2000-10-24

Abstract

(57)【要約】【課題】被洗浄処理基板の表面と洗浄ブラシの相対速
度を容易に高くできる洗浄装置を提供する。【解決手段】本発明に係る洗浄装置は、半導体ウエハ
１１を載置する載置台１３と、該載置台１３の上方に配
置された回転軸１５と、該回転軸１５を回転駆動させる
駆動手段と、該回転軸１５の一端に連結され、該回転軸
１５に垂直方向に配置されたアーム１７と、該アーム１
７に取付けられ、該回転軸１５の一端から所定間隔を設
けて配置された洗浄ブラシ１９と、を具備するものであ
る。これにより、被洗浄処理基板の表面と洗浄ブラシの
相対速度を容易に高くできる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、回転するブラシを
洗浄面に押し当て、表面付着物をこすり洗浄する洗浄装
置に関する。特には、被洗浄処理基板の表面と洗浄ブラ
シの相対速度を容易に高くできる洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図８（ａ）は、従来の洗浄装置を示す平
面図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）に示す洗浄装置
の側面図である。この洗浄装置は特開平８−３１７８０
号公報に開示されている。

【０００３】この洗浄装置は被洗浄処理基板としての半
導体基板１を載置する載置台１ａを有し、載置台１ａの
上方には噴射水を噴射するノズル３が配置されている。
また、載置台１ａの近傍には回転軸５が配置されてお
り、この回転軸５にはアーム６の基端が接続されてい
る。このアーム６の先端には回転駆動する円板７が取付
けられており、この円板７には回転駆動する洗浄ブラシ
２が取付けられている。

【０００４】次に、上記洗浄装置の動作について説明す
る。

【０００５】６インチ径のシリコンウエハからなる半導
体基板１を８００rpmで回転させ、アーム６の先端の円
板７を半導体基板１表面に軽く押し付ける。そして、ノ
ズル３から温水を噴射水４として放出させながら、洗浄
ブラシ２を半導体基板１の表面上で回転させると共に円
板７を回転させ、回転軸５を中心として左右にゆっくり
アーム６を移動させる。これにより、半導体基板１上の
ゴミ等の異物をスクラバ除去する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このように上記従来の
洗浄装置では、半導体基板１、洗浄ブラシ２及び円板７
を回転させ、回転軸５を固定した状態でアーム６を左右
に移動させることにより、半導体基板１表面を洗浄して
いる。このため、洗浄ブラシ２が半導体基板１の回転中
心まで移動したときに、半導体基板１と洗浄ブラシ２の
相対速度が低くなり、基板１表面のパーティクルを十分
に除去できないことがある。つまり、半導体基板１の外
周側では基板１と洗浄ブラシ２の相対速度が比較的高い
ため、パーティクルの除去効果も比較的大きいものとな
るが、半導体基板１の回転中心及びその近傍ではパーテ
ィクルの除去効果が小さくなってしまう。

【０００７】このような基板１の回転中心及びその近傍
において基板１と洗浄ブラシ２の相対速度を高くするた
めには、アーム６の移動速度を上げることが考えられ
る。しかし、アーム６は回転軸５を中心として左右に移
動させるという構成であるため、アーム６の移動速度を
十分に高くすることは困難である。

【０００８】本発明は上記のような事情を考慮してなさ
れたものであり、その目的は、被洗浄処理基板の表面と
洗浄ブラシの相対速度を容易に高くできる洗浄装置を提
供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明に係る洗浄装置は、被洗浄処理基板を載置す
る載置台と、該載置台の上方に配置された回転軸と、該
回転軸を回転駆動させる駆動手段と、該回転軸の一端に
連結され、該回転軸に垂直方向に配置されたアームと、
該アームに取付けられ、該回転軸の一端から所定間隔を
設けて配置された洗浄ブラシと、を具備することを特徴
とする。

【００１０】上記洗浄装置では、回転軸を駆動手段で回
転させることによりアームを回転させ、洗浄ブラシを回
転軸を中心に所定間隔の半径で回転させ、被洗浄処理基
板の表面を洗浄ブラシにより洗浄している。このように
回転軸によりアームを回転させる構成であるため、アー
ムの回転速度を十分に高くすることができる。これによ
り、被洗浄処理基板の表面の中心部においても該基板表
面の外周側と同様に該基板表面と洗浄ブラシとの相対速
度を容易に高くすることができる。

【００１１】また、本発明に係る洗浄装置において、上
記被洗浄処理基板の直径が６インチ〜１２インチの場合
は、上記所定間隔が３インチ〜６インチであることが好
ましい。また、上記洗浄ブラシは上記アームに複数取付
けられていることも可能である。また、上記アームが弾
性材からなることも可能である。これにより、被洗浄処
理基板に反りがあっても基板表面を均一に洗浄すること
ができる。

【００１２】また、本発明に係る洗浄装置において、上
記アームは、上記洗浄ブラシを複数の位置に取り付ける
取付け手段を備えていることが好ましい。これにより、
被洗浄処理基板のサイズや洗浄条件に合わせて洗浄ブラ
シの回転半径を設定することができ、より効率良く基板
を洗浄することができる。

【００１３】また、本発明に係る洗浄装置において、上
記アームは、上記洗浄ブラシを取り付ける位置を調整す
る手段を備えていることが好ましい。これにより、被洗
浄処理基板のサイズや洗浄条件に合わせて洗浄ブラシの
回転半径を自由に設定することができる。

【００１４】また、本発明に係る洗浄装置においては、
上記駆動手段の回転駆動力を上記洗浄ブラシに伝達する
伝達手段をさらに含むことも可能である。これにより、
より効率良く被洗浄処理基板の洗浄を行うことができ
る。

【００１５】また、本発明に係る洗浄装置においては、
上記洗浄ブラシを回転駆動させる駆動手段をさらに含む
ことが好ましい。

【００１６】本発明に係る洗浄装置は、被洗浄処理基板
を載置する載置台と、該載置台の上方に配置された回転
軸と、該回転軸を回転駆動させる駆動手段と、該回転軸
の一端に連結され、該回転軸に垂直方向に配置された第
１の弾性力を有する第１のアームと、該回転軸の一端に
連結され、該回転軸に垂直方向に配置された第２の弾性
力を有する第２のアームと、上記第１のアームに取付け
られ、該回転軸の一端から所定間隔を設けて配置された
第１の洗浄ブラシと、上記第２のアームに取付けられ、
該回転軸の一端から所定間隔を設けて配置された第２の
洗浄ブラシであって、上記第１の洗浄ブラシとは材質が
異なる第２の洗浄ブラシと、を具備することを特徴とす
る。

【００１７】上記洗浄装置では、第１及び第２のアーム
を弾性力が異なる弾性材を用いて形成しているため、洗
浄ブラシの性質に応じて洗浄ブラシ毎に押圧を調整する
ことができる。

【００１８】本発明に係る洗浄装置は、被洗浄処理基板
を載置する載置台と、該載置台の上方に配置された回転
軸と、該回転軸を回転駆動させる駆動手段と、該回転軸
の一端に連結され、該回転軸に垂直方向に配置されたア
ームと、該アームに取付けられた第１の洗浄ブラシと、
該アームに取付けられた、該第１の洗浄ブラシとは材質
が異なる第２の洗浄ブラシと、を具備することを特徴と
する。

【００１９】上記洗浄装置では、アームに材質の異なる
第１及び第２の洗浄ブラシを取り付けることにより、洗
浄能力を向上させることができる。

【００２０】また、本発明に係る洗浄装置においては、
上記回転軸を、上記被洗浄処理基板の表面に対して平行
方向に移動させる移動手段をさらに含むことが好まし
い。また、上記載置台に設けられた回転軸であって該載
置台の上面に対して垂直方向と平行な回転軸と、その回
転軸を回転させる駆動手段と、をさらに含むことが好ま
しい。また、上記被洗浄処理基板の表面に純水を噴射す
るノズルをさらに含むことが好ましい。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。

【００２２】図１（ａ）は、本発明の第１の実施の形態
による洗浄装置の構成を示す平面図であり、図１（ｂ）
は、図１（ａ）に示す矢印１ｂの方向に視た側面図であ
る。

【００２３】図１（ｂ）に示すように、この洗浄装置
は、被洗浄処理基板としての半導体ウエハ１１を載置す
る円盤形状からなる載置台１３を有しており、この載置
台１３の下部には回転軸１３ａを備えている。この回転
軸１３ａの基端側には図示せぬ駆動手段が連結されてお
り、この駆動手段により回転軸１３ａを回転駆動させる
ように構成されている。

【００２４】載置台１３の上方には回転軸１５が配置さ
れている。この回転軸１５の基端には図示せぬ駆動手段
が連結されており、この駆動手段により回転軸１５を回
転駆動させるように構成されている。また、回転軸１５
の先端にはアーム１７が取り付けられており、このアー
ム１７の一端側にはブラシ材（植毛）１９ａを備えた洗
浄ブラシ１９が取付けられている。この洗浄ブラシ１９
は、回転軸１５の先端から任意の距離に配置されてい
る。この任意の距離としては、ウエハ１１が例えば８イ
ンチのものの場合は例えば７．５〜１２．５ｃｍ程度が
好ましく、ウエハが例えば１２インチのものの場合は例
えば１２．５〜１７．５ｃｍ程度が好ましい。また、洗
浄ブラシ１９は、ブラシ材１９ａの先端がウエハ１１の
表面に押し当てられるような位置に配置されている。

【００２５】上記回転軸１５にはウエハ１１の表面に対
して平行方向に移動させる移動手段（図示せず）が連結
されており、この移動手段によって回転軸１５が図１
（ａ）に示すＸ方向１６ａ及びＹ方向１６ｂに自由に移
動可能に構成されている。また、載置台１３の上方に
は、ウエハ１１を洗浄する際に洗浄ブラシ１９又はウエ
ハ１１に洗浄液（純水）を噴射するノズル（図示せず）
が配置されている。

【００２６】次に、上記洗浄装置の動作について説明す
る。

【００２７】まず、載置台１３上にウエハ１１を載置
し、回転軸１３ａを駆動手段で回転させることにより載
置台１３を回転させる。次に、回転軸１５を駆動手段で
回転させることによりアーム１７を矢印１４のように回
転させる。これと共に、ウエハ１１の表面にノズルから
純水を噴出させながら、洗浄ブラシ１９のブラシ材１９
ａをウエハ１１表面に押し当てる。そして、回転軸１５
をウエハ１１表面に対して平行方向１６ａ，１６ｂに移
動させる。このようにしてウエハ１１表面をブラシ材１
９ａでこすり洗浄することにより、ウエハ１１表面に付
着したパーティクル等をスクラバ除去する。

【００２８】上記第1の実施の形態によれば、回転軸１
５を駆動手段で回転させることによりアーム１７を矢印
１４のように回転させ、洗浄ブラシ１９を回転軸を中心
に任意の半径で回転させ、ウエハ１１表面を洗浄ブラシ
１９により洗浄している。このため、ウエハ１１表面の
回転中心及びその近傍においても従来の洗浄装置のよう
にウエハ１１と洗浄ブラシ１９との相対速度が低くなる
ことがない。つまり、従来の洗浄装置では、アームを左
右に移動させる構成であるため、アームの移動速度を十
分に高くすることが困難であったが、本実施の形態によ
る洗浄装置では、回転軸１５によりアーム１７を回転さ
せる構成であるため、アーム１７の回転速度を十分に高
くすることができる。このため、ウエハ１１表面の中心
部においてもウエハ１１表面の外周側と同様にウエハ表
面と洗浄ブラシとの相対速度を高く維持することができ
る。従って、ウエハ１１の回転中心及びその近傍でのパ
ーティクルの除去効果を従来の洗浄装置に比べて大きく
することができる。

【００２９】尚、上記第1の実施の形態では、ウエハ１
１を洗浄する際に、洗浄ブラシ１９自体は回転させてい
ないが、洗浄ブラシ１９自体を回転させながらウエハ１
１表面を洗浄することも可能である。この場合は、洗浄
装置において洗浄ブラシ１９を回転駆動させる駆動手段
をさらに備える必要がある。

【００３０】また、本実施の形態では、弾性力を有しな
い材質によりアーム１７を形成しているが、弾性材によ
りアームを形成することも可能である。これにより、反
りのある被洗浄処理基板を洗浄する場合でも該基板表面
に対してある程度の押し圧を与えることができ、その結
果、洗浄力を高めることができる。

【００３１】また、本実施の形態では、アーム１７に１
個の洗浄ブラシ１９を取り付けているが、アーム１７に
複数の洗浄ブラシを取り付けることも可能である。これ
により、洗浄力を高めることができる。

【００３２】図２は、本発明の第２の実施の形態による
洗浄装置を示す側面図であり、図１と同一部分には同一
符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。

【００３３】回転軸１５の先端にはエンプラ等の弾性材
からなる第１のアーム２１の一端が取付けられており、
このアーム２１の他端にはブラシ材（植毛）１９ａを備
えた第１の洗浄ブラシ１９が取付けられている。また、
回転軸１５の先端の第１のアーム２１の下には弾性材か
らなる第２のアーム２３の一端が取りつけられており、
このアーム２３の他端にはブラシ材（植毛）２５ａを備
えた第２の洗浄ブラシ２５が取付けられている。

【００３４】第１のアーム２１と第２のアーム２３は互
いに重ならないように配置されている。第１のアーム２
１の弾性材は、第２のアーム２３のそれとは異なるもの
であり、異なる弾性係数を有している。第１の洗浄ブラ
シ１９のブラシ材１９ａは、第２の洗浄ブラシ２５のブ
ラシ材２５ａと異なる材質からなるものである。

【００３５】上記第２の実施の形態においても第１の実
施の形態と同様の効果を得ることができる。

【００３６】さらに、上記第２の実施の形態では、第１
及び第２のアーム２１，２３を弾性係数が異なる弾性材
を用いて形成することにより、被洗浄処理基板に反りが
あっても基板表面を均一に洗浄することができる。従っ
て、洗浄効率を向上させることができる。

【００３７】また、アーム２１，２３を弾性係数が異な
る弾性材を用いて形成しているため、洗浄ブラシの性質
に応じて洗浄ブラシ毎に押圧を調整することができる。
具体的には、比較的硬い材質（こしが強い）のような第
１の洗浄ブラシ１９に対して比較的弾性係数の低い材質
のような第１のアーム２１を用い、比較的やわらかい材
質（こしが弱い）のような第２の洗浄ブラシ２５に対し
て比較的弾性係数の高い材質のような第２のアーム２３
を用いることにより、パーティクルの除去効果を向上さ
せることができる。

【００３８】図３は、本発明の第３の実施の形態による
洗浄装置を示す側面図であり、図１と同一部分には同一
符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。

【００３９】アーム１７の一端にはブラシ材（植毛）１
９ａを備えた洗浄ブラシ１９が取付けられており、アー
ム１７の他端には洗浄用のスポンジブラシ２７が取付け
られている。また、洗浄ブラシ１９及びスポンジブラシ
２７は適切な位置に配置され、回転軸１５の先端からの
距離はそれぞれ異なるものとすることも可能である。

【００４０】上記第３の実施の形態においても第１の実
施の形態と同様の効果を得ることができる。

【００４１】さらに、アーム１７に性質の異なる洗浄ブ
ラシを取り付けることにより、洗浄能力を向上させるこ
とができる。具体的には、洗浄ブラシ１９によりウエハ
表面のパーティクルを剥がし、このパーティクルをスポ
ンジブラシ２７によりウエハ表面の外へ吐き出すことが
できる。

【００４２】図４は、本発明の第４の実施の形態による
洗浄装置を示す側面図であり、図１と同一部分には同一
符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。

【００４３】回転軸１５の先端にはロール２９が取付け
られている。アーム１７の一端には回転軸を介して洗浄
ブラシ１９が取付けられており、この回転軸にはロール
３０が取付けられている。ロール２９，３０は互いにベ
ルト３１により連結されている。従って、回転軸１５を
駆動手段（図示せず）で回転させるとロール２９も回転
し、この回転がベルト３１によってロール３０に伝達さ
れ、ロール３０が回転することによって洗浄ブラシ１９
が自転する。つまり、回転軸１５と同じ回転速度で洗浄
ブラシ１９を回転させることができる。

【００４４】上記第４の実施の形態においても第１の実
施の形態と同様の効果を得ることができる。

【００４５】また、本実施の形態では、回転軸１５の回
転力をロール２９，３０及びベルト３１で洗浄ブラシ１
９に伝達するため、洗浄ブラシ１９を回転駆動させるた
めの駆動手段を取り付けなくても該ブラシ１９を回転さ
せることができる。従って、より効率良くウエハの洗浄
を行うことができる。

【００４６】尚、上記第４の実施の形態では、ロール２
９，３０及びベルト３１により回転軸１５の回転力を洗
浄ブラシ１９に伝達しているが、他の伝達手段を用いて
回転軸の回転力を伝達することも可能であり、例えば歯
車を用いて伝達することも可能である。

【００４７】図５は、本発明の第５の実施の形態による
洗浄装置を示す側面図であり、図１と同一部分には同一
符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。

【００４８】回転軸１５の先端にはアーム３３が取り付
けられており、このアーム３３には複数の洗浄ブラシを
取り付ける取付手段が設けられている。即ち、アーム３
３には第１〜第３の取付手段１７ａ〜１７ｃが設けられ
ており、これらの手段１７ａ〜１７ｃのいずれにも洗浄
ブラシ１９を取り付けることができるようになってい
る。この取付手段はウエハのサイズ又は洗浄条件に応じ
て適切な位置となるように配置されている。

【００４９】上記第５の実施の形態においても第１の実
施の形態と同様の効果を得ることができる。

【００５０】また、本実施の形態では、アーム３３に複
数の取付手段１７ａ〜１７ｃを設けているため、ウエハ
のサイズや洗浄条件に合わせて洗浄ブラシ１９の回転半
径を設定することができる。従って、より効率良くウエ
ハを洗浄することができる。

【００５１】図６は、本発明の第６の実施の形態による
洗浄装置を示す側面図であり、図１と同一部分には同一
符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。

【００５２】回転軸１５の先端には編む３５が取り付け
られており、このアーム３５には洗浄ブラシ１９を取り
付ける取付手段３７が設けられている。この取付手段３
７は洗浄ブラシの取付位置を矢印のようにアーム３５に
沿って適宜調整できるように構成されている。この取付
手段３７の位置調整方法は、具体的には、アーム３５に
設けられたガイドに沿ってブラシが平行移動可能で、ア
ームに対してのブラシの固定はネジ又はカムによるロッ
クを用いる。

【００５３】上記第６の実施の形態においても第１の実
施の形態と同様の効果を得ることができる。

【００５４】また、本実施の形態では、取付手段３７の
位置をアーム３５上で自由に調整できるため、ウエハの
サイズや洗浄条件に合わせて洗浄ブラシ１９の回転半径
を自由に設定することができる。従って、より効率良く
ウエハを洗浄することができる。

【００５５】図７は、本発明の第７の実施の形態による
洗浄装置を示す側面図であり、図４と同一部分には同一
符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。

【００５６】アーム３９には複数の回転軸が回転可能に
取り付けられており、これら回転軸は洗浄ブラシ１９を
取付け可能に構成されている。また、回転軸それぞれに
はロール４１〜４３が取付けられている。ロール２９，
４１は互いにベルト４４により連結され、ロール４１，
４２は互いにベルト４５により連結され、ロール４２，
４３は互いにベルト４６により連結されている。従っ
て、回転軸１５を駆動手段（図示せず）で回転させると
ロール２９も回転し、この回転がベルト４４〜４６によ
ってロール４１〜４３に伝達され、これらロールが回転
することによって洗浄ブラシ１９が自転する。つまり、
回転軸１５と同じ回転速度で洗浄ブラシ１９を回転させ
ることができる。

【００５７】上記第７の実施の形態においても第１の実
施の形態と同様の効果を得ることができる。

【００５８】また、本実施の形態では、回転軸１５の回
転力をロール２９，４１〜４３及びベルト４４〜４６で
洗浄ブラシ１９に伝達するため、洗浄ブラシ１９を回転
駆動させるための駆動手段を取り付けなくても該ブラシ
１９を回転させることができる。従って、より効率良く
ウエハの洗浄を行うことができる。

【００５９】また、本実施の形態では、アーム３９に洗
浄ブラシを取付け可能な複数の回転軸を設けているた
め、ウエハのサイズや洗浄条件に合わせて洗浄ブラシ１
９の回転半径を設定することができる。従って、より効
率良くウエハを洗浄することができる。

【００６０】また、本実施の形態では、アーム３９に一
つの洗浄ブラシ１９を取り付けているが、アーム３９に
複数の洗浄ブラシを取り付けることも可能である。これ
により、洗浄効率を向上させることができる。

【００６１】尚、本発明は上記実施の形態に限定され
ず、種々変更して実施することが可能である。例えば、
上記第１〜第７の実施の形態における洗浄装置の構成部
材を適宜組み合わせることも可能である。

【００６２】また、上記実施の形態では、洗浄装置にお
いて載置台１３を回転させる駆動手段を設けているが、
この駆動手段は必ずしも必要ではなく、ウエハ１１が停
止した状態で該ウエハ１１を洗浄することも可能であ
る。

【００６３】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、回
転軸の一端に連結され、該回転軸に垂直方向に配置され
たアームと、該アームに取付けられ、該回転軸の一端か
ら所定間隔を設けて配置された洗浄ブラシと、を具備す
る。したがって、被洗浄処理基板の表面と洗浄ブラシの
相対速度を容易に高くできる洗浄装置を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１（ａ）は、本発明の第１の実施の形態によ
る洗浄装置の構成を示す平面図であり、図１（ｂ）は、
図１（ａ）に示す矢印１ｂの方向に視た側面図である。

【図２】本発明の第２の実施の形態による洗浄装置を示
す側面図である。

【図３】本発明の第３の実施の形態による洗浄装置を示
す側面図である。

【図４】本発明の第４の実施の形態による洗浄装置を示
す側面図である。

【図５】本発明の第５の実施の形態による洗浄装置を示
す側面図である。

【図６】本発明の第６の実施の形態による洗浄装置を示
す側面図である。

【図７】本発明の第７の実施の形態による洗浄装置を示
す側面図である。

【図８】図８（ａ）は、従来の洗浄装置を示す平面図で
あり、図８（ｂ）は、図８（ａ）に示す洗浄装置の側面
図である。

【符号の説明】

１半導体基板１ａ載置台２洗浄ブラシ３ノズル４噴射水５回転軸６アーム７円板１１半導体ウエハ１３載置台１３ａ回転軸１４矢印１５回転軸１６ａＸ方
向１６ｂＹ方向１７アーム１７ａ〜１７ｃ取付手段１９洗浄ブ
ラシ１９ａブラシ材（植毛）２１第１の
アーム２３第２のアーム２５第２の
洗浄ブラシ２５ａブラシ材（植毛）２７スポン
ジブラシ２９，３０ロール３１ベルト３３，３５アーム３７取付手
段３９アーム４１〜４３
ロール４４〜４６ベルト

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被洗浄処理基板を載置する載置台と、該載置台の上方に配置された回転軸と、該回転軸を回転駆動させる駆動手段と、該回転軸の一端に連結され、該回転軸に垂直方向に配置
されたアームと、該アームに取付けられ、該回転軸の一端から所定間隔を
設けて配置された洗浄ブラシと、を具備することを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】上記被洗浄処理基板の直径が６インチ〜
１２インチ場合は、上記所定間隔が３インチ〜６インチ
であることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項３】上記洗浄ブラシは上記アームに複数取付
けられていることを特徴とする請求項１記載の洗浄装
置。
【請求項４】上記アームが弾性材からなることを特徴
とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項５】上記アームは、上記洗浄ブラシを複数の
位置に取り付ける取付け手段を備えていることを特徴と
する請求項１記載の洗浄装置。
【請求項６】上記アームは、上記洗浄ブラシを取り付
ける位置を調整する手段を備えていることを特徴とする
請求項１記載の洗浄装置。
【請求項７】上記駆動手段の回転駆動力を上記洗浄ブ
ラシに伝達する伝達手段をさらに含むことを特徴とする
請求項１〜６のうちいずれか１項記載の洗浄装置。
【請求項８】上記洗浄ブラシを回転駆動させる駆動手
段をさらに含むことを特徴とする請求項１〜６のうちい
ずれか１項記載の洗浄装置。
【請求項９】被洗浄処理基板を載置する載置台と、該載置台の上方に配置された回転軸と、該回転軸を回転駆動させる駆動手段と、該回転軸の一端に連結され、該回転軸に垂直方向に配置
された第１の弾性力を有する第１のアームと、該回転軸の一端に連結され、該回転軸に垂直方向に配置
された第２の弾性力を有する第２のアームと、上記第１のアームに取付けられ、該回転軸の一端から所
定間隔を設けて配置された第１の洗浄ブラシと、上記第２のアームに取付けられ、該回転軸の一端から所
定間隔を設けて配置された第２の洗浄ブラシであって、
上記第１の洗浄ブラシとは材質が異なる第２の洗浄ブラ
シと、を具備することを特徴とする洗浄装置。
【請求項１０】被洗浄処理基板を載置する載置台と、該載置台の上方に配置された回転軸と、該回転軸を回転駆動させる駆動手段と、該回転軸の一端に連結され、該回転軸に垂直方向に配置
されたアームと、該アームに取付けられた第１の洗浄ブラシと、該アームに取付けられた、該第１の洗浄ブラシとは材質
が異なる第２の洗浄ブラシと、を具備することを特徴とする洗浄装置。
【請求項１１】上記回転軸を、上記被洗浄処理基板の
表面に対して平行方向に移動させる移動手段をさらに含
むことを特徴とする請求項１〜１０のうちいずれか１項
記載の洗浄装置。
【請求項１２】上記載置台に設けられた回転軸であっ
て該載置台の上面に対して垂直方向と平行な回転軸と、
その回転軸を回転させる駆動手段と、をさらに含むこと
を特徴とする請求項１〜１１のうちいずれか１項記載の
洗浄装置。
【請求項１３】上記被洗浄処理基板の表面に純水を噴
射するノズルをさらに含むことを特徴とする請求項１〜
１２のうちいずれか１項記載の洗浄装置。