JP2000298052A - 貯蔵装置及び貯蔵レベルの検知方法 - Google Patents
貯蔵装置及び貯蔵レベルの検知方法Info
- Publication number
- JP2000298052A JP2000298052A JP11106446A JP10644699A JP2000298052A JP 2000298052 A JP2000298052 A JP 2000298052A JP 11106446 A JP11106446 A JP 11106446A JP 10644699 A JP10644699 A JP 10644699A JP 2000298052 A JP2000298052 A JP 2000298052A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage
- electrode
- container
- value
- detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 容器に貯蔵物を満たすだけで貯蔵レベルの検
知が可能となる貯蔵装置及び貯蔵レベル検知方法を提供
する。 【解決手段】 検出電極を下部電極と上部電極から形成
し、容器内に貯蔵物が投入される場合に、下部電極が貯
蔵物に埋まる際の電気的特性の測定値の変化を求め、か
かる測定値の変化と上部電極から得られる貯蔵物の電気
的特性の測定値とを比較することにより、容器内に投入
された貯蔵物の貯蔵レベルを検知する。
知が可能となる貯蔵装置及び貯蔵レベル検知方法を提供
する。 【解決手段】 検出電極を下部電極と上部電極から形成
し、容器内に貯蔵物が投入される場合に、下部電極が貯
蔵物に埋まる際の電気的特性の測定値の変化を求め、か
かる測定値の変化と上部電極から得られる貯蔵物の電気
的特性の測定値とを比較することにより、容器内に投入
された貯蔵物の貯蔵レベルを検知する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、容器に貯蔵された
液状物や粉状物等の貯蔵レベルを測定するための貯蔵装
置及び貯蔵レベルの検知方法に関する。
液状物や粉状物等の貯蔵レベルを測定するための貯蔵装
置及び貯蔵レベルの検知方法に関する。
【0002】
【従来の技術】容器に貯蔵された貯蔵物の量、即ち貯蔵
レベルを検知する方法としては、電極等の検知部を貯蔵
物に接触させて測定する接触方式と、接触させないで行
なう非接触方式とがある。図11は、接触方式により貯
蔵レベルを検知するための貯蔵装置の概略図である。か
かる貯蔵装置では、接地された金属からなる容器1の中
に、液体19が貯蔵されている。液体19の中には、検
知部として電極20が略垂直方向に挿入されている。電
極20は、検出回路21に接続され、検出回路により、
電極20と容器1との間の電気抵抗、静電容量、インピ
ーダンス等の電気的特性が検出される。そして、検出さ
れた電気的特性の変化をもとに、貯蔵物の貯蔵レベルを
検知し、容器1から貯蔵物が溢れないように制御する。
レベルを検知する方法としては、電極等の検知部を貯蔵
物に接触させて測定する接触方式と、接触させないで行
なう非接触方式とがある。図11は、接触方式により貯
蔵レベルを検知するための貯蔵装置の概略図である。か
かる貯蔵装置では、接地された金属からなる容器1の中
に、液体19が貯蔵されている。液体19の中には、検
知部として電極20が略垂直方向に挿入されている。電
極20は、検出回路21に接続され、検出回路により、
電極20と容器1との間の電気抵抗、静電容量、インピ
ーダンス等の電気的特性が検出される。そして、検出さ
れた電気的特性の変化をもとに、貯蔵物の貯蔵レベルを
検知し、容器1から貯蔵物が溢れないように制御する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】貯蔵装置では、貯蔵物
に電極20を接触させて貯蔵レベルを検知し、容器1か
ら貯蔵物が溢れないようにすることが必要であるが、貯
蔵物の種類により電極20で検出される物性値が異なる
ため、貯蔵される貯蔵物毎に、予め、電極20で検出さ
れる測定値と貯蔵レベルとの関係を校正することが必要
であった。具体的には、図11において、容器1に液体
19を貯蔵するにあたり、実際に液体19を貯蔵する前
に、容器1が空の状態で電極20と容器1との間の電気
的特性を測定し、その測定値を記憶させる(以後、「ゼ
ロ設定」という。)とともに、容器1に最大レベルまで
液体19を満たした状態で同じく電気的特性を測定し、
測定値を記憶させ(以後、「スパン設定」という。)、
かかる設定値をもとに校正を行うことが不可欠であり、
しかも、液体19の種類が異なると設定値が変わるた
め、その都度、校正をやりなおす必要があった。また、
貯蔵物の組成が経時的に変化するような場合には、レベ
ル測定ができなかった。更に、レベル測定の誤差原因と
なる電極表面の汚染を電気的に検知することができない
ため、レベル測定に誤差を生じることもあった。そこ
で、本発明は、予め容器に貯蔵物を満たして、測定値と
貯蔵レベルとの関係を校正することなく、容器に貯蔵物
を満たすだけで貯蔵レベルの検知が可能となり、しか
も、種類の異なる貯蔵物に交換する場合にも、正確に貯
蔵レベルの検知が可能となる貯蔵装置及び貯蔵レベル検
知方法を提供することを目的とする。
に電極20を接触させて貯蔵レベルを検知し、容器1か
ら貯蔵物が溢れないようにすることが必要であるが、貯
蔵物の種類により電極20で検出される物性値が異なる
ため、貯蔵される貯蔵物毎に、予め、電極20で検出さ
れる測定値と貯蔵レベルとの関係を校正することが必要
であった。具体的には、図11において、容器1に液体
19を貯蔵するにあたり、実際に液体19を貯蔵する前
に、容器1が空の状態で電極20と容器1との間の電気
的特性を測定し、その測定値を記憶させる(以後、「ゼ
ロ設定」という。)とともに、容器1に最大レベルまで
液体19を満たした状態で同じく電気的特性を測定し、
測定値を記憶させ(以後、「スパン設定」という。)、
かかる設定値をもとに校正を行うことが不可欠であり、
しかも、液体19の種類が異なると設定値が変わるた
め、その都度、校正をやりなおす必要があった。また、
貯蔵物の組成が経時的に変化するような場合には、レベ
ル測定ができなかった。更に、レベル測定の誤差原因と
なる電極表面の汚染を電気的に検知することができない
ため、レベル測定に誤差を生じることもあった。そこ
で、本発明は、予め容器に貯蔵物を満たして、測定値と
貯蔵レベルとの関係を校正することなく、容器に貯蔵物
を満たすだけで貯蔵レベルの検知が可能となり、しか
も、種類の異なる貯蔵物に交換する場合にも、正確に貯
蔵レベルの検知が可能となる貯蔵装置及び貯蔵レベル検
知方法を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】そこで、発明者は鋭意研
究の結果、検出電極を下部電極と上部電極から形成し、
容器内に貯蔵物が充填される場合に、下部電極が貯蔵物
に埋まる際の電気的特性の測定値の変化を求め、かかる
測定値の変化と上部電極から得られる貯蔵物の電気的特
性の測定値とを比較することにより、容器内に充填され
た貯蔵物の貯蔵レベルを検知することができることを見
出し、本発明を完成した。
究の結果、検出電極を下部電極と上部電極から形成し、
容器内に貯蔵物が充填される場合に、下部電極が貯蔵物
に埋まる際の電気的特性の測定値の変化を求め、かかる
測定値の変化と上部電極から得られる貯蔵物の電気的特
性の測定値とを比較することにより、容器内に充填され
た貯蔵物の貯蔵レベルを検知することができることを見
出し、本発明を完成した。
【0005】即ち、本発明は、容器内の貯蔵物の貯蔵レ
ベルを検知する貯蔵装置であって、貯蔵物を貯蔵する導
電性の容器と、該容器内に略垂直に配置され、該貯蔵物
に接触させる検出電極と、該検出電極に接続され、貯蔵
物の電気的特性を測定する測定手段と、該測定手段で得
られた測定値を処理する処理手段とを備え、該検出電極
が、互いに電気的に分離された下部電極と上部電極とを
少なくとも含み、該容器内に貯蔵物が投入される場合
に、該下部電極が貯蔵物に埋まる際の電気的特性の測定
値の変化を該測定手段で測定し、かかる測定値の変化と
該上部電極から得られる貯蔵物の電気的特性の測定値と
を該処理手段により比較して、該容器内に投入され、該
上部電極に接触する貯蔵物の貯蔵レベルを検知すること
を特徴とする貯蔵装置である。かかる貯蔵装置を用いる
ことにより、従来方法のように、予め貯蔵物を容器に満
たして静電容量を測定することなく、実際に貯蔵物を投
入しながら貯蔵レベルの検知が可能となる。また、この
ような貯蔵レベルの検知は、貯蔵物が排出、投入される
毎に行われるため、貯蔵物の種類が変わった場合にも正
確に貯蔵レベルの検知を行うことが可能となる。尚、検
知電極は、3以上の電極から構成することも可能であ
る。
ベルを検知する貯蔵装置であって、貯蔵物を貯蔵する導
電性の容器と、該容器内に略垂直に配置され、該貯蔵物
に接触させる検出電極と、該検出電極に接続され、貯蔵
物の電気的特性を測定する測定手段と、該測定手段で得
られた測定値を処理する処理手段とを備え、該検出電極
が、互いに電気的に分離された下部電極と上部電極とを
少なくとも含み、該容器内に貯蔵物が投入される場合
に、該下部電極が貯蔵物に埋まる際の電気的特性の測定
値の変化を該測定手段で測定し、かかる測定値の変化と
該上部電極から得られる貯蔵物の電気的特性の測定値と
を該処理手段により比較して、該容器内に投入され、該
上部電極に接触する貯蔵物の貯蔵レベルを検知すること
を特徴とする貯蔵装置である。かかる貯蔵装置を用いる
ことにより、従来方法のように、予め貯蔵物を容器に満
たして静電容量を測定することなく、実際に貯蔵物を投
入しながら貯蔵レベルの検知が可能となる。また、この
ような貯蔵レベルの検知は、貯蔵物が排出、投入される
毎に行われるため、貯蔵物の種類が変わった場合にも正
確に貯蔵レベルの検知を行うことが可能となる。尚、検
知電極は、3以上の電極から構成することも可能であ
る。
【0006】上記測定手段は、上記容器と上記検出電極
との間の静電容量を測定するものであっても良い。
との間の静電容量を測定するものであっても良い。
【0007】上記測定手段は、上記容器と上記検出電極
との間の電気抵抗を測定するものであっても良い。
との間の電気抵抗を測定するものであっても良い。
【0008】本発明は、更に、上記測定手段が、貯蔵物
に埋まった上記下部電極の電気的特性を測定し、貯蔵物
の物性値の経時変化を検知する検知手段を備えるもので
もある。下部電極全体が貯蔵物に埋もれているため、下
部電極で貯蔵物の電気的特性をモニタすることにより、
貯蔵物の物性値の経時変化を検知することができ、貯蔵
物の濃度変化の検知に加えて、電極の汚染等の発生も検
知することができる。
に埋まった上記下部電極の電気的特性を測定し、貯蔵物
の物性値の経時変化を検知する検知手段を備えるもので
もある。下部電極全体が貯蔵物に埋もれているため、下
部電極で貯蔵物の電気的特性をモニタすることにより、
貯蔵物の物性値の経時変化を検知することができ、貯蔵
物の濃度変化の検知に加えて、電極の汚染等の発生も検
知することができる。
【0009】上記検出電極は、該検出電極を構成する各
電極の間、上部及び下部に設けられ、ガード電位に接続
された複数のガード電極を有することが好ましい。かか
る構造とすることにより、下部電極又は上部電極を用い
て電気的特性を測定している場合に、不要な浮遊容量が
発生せず、正確な測定値を得ることが可能となる。
電極の間、上部及び下部に設けられ、ガード電位に接続
された複数のガード電極を有することが好ましい。かか
る構造とすることにより、下部電極又は上部電極を用い
て電気的特性を測定している場合に、不要な浮遊容量が
発生せず、正確な測定値を得ることが可能となる。
【0010】また、本発明は、更に、上記検出電極を構
成する一の電極を選択して測定手段に接続し、残りの電
極をガード電位に接続する切換手段を備えるものであっ
ても良い。このように、測定に用いない他方の電極をガ
ード電位とすることにより、かかる電極に発生する浮遊
容量をなくして正確な測定が可能となる。
成する一の電極を選択して測定手段に接続し、残りの電
極をガード電位に接続する切換手段を備えるものであっ
ても良い。このように、測定に用いない他方の電極をガ
ード電位とすることにより、かかる電極に発生する浮遊
容量をなくして正確な測定が可能となる。
【0011】更に、上記検出電極で検出された結果を表
示する表示手段を備えることが好ましい。貯蔵物レベル
や、貯蔵物の物性値の変化を目視で確認するためであ
る。
示する表示手段を備えることが好ましい。貯蔵物レベル
や、貯蔵物の物性値の変化を目視で確認するためであ
る。
【0012】また、本発明は、容器内の貯蔵物の貯蔵レ
ベルを検知する貯蔵レベルの検知方法であって、貯蔵物
を入れる導電性の容器と、該容器に略垂直に入れられ、
貯蔵物と接触する略同一形状の下部電極と上部電極とを
含む検知電極とを準備し、該容器に貯蔵物を入れない状
態で、該下部電極及び該上部電極を用いて電気的特性を
測定し、その値をゼロ点設定値CLZ、CHZとして記憶
し、該容器に貯蔵物を投入し、該上部電極の測定値が変
化し始める時点における該下部電極の測定値をスパン設
定値CLSとして記憶し、該上部電極を用いて該上部電極
に接触した貯蔵物の電気的特性を測定して測定値CHと
し、該ゼロ点設定値CLZと該スパン設定値CLSとから求
めた変化率と、該ゼロ点設定値CHZと該測定値CHとの
変化量とを比較して、該上部電極に接触している貯蔵物
の貯蔵レベルを求めることを特徴とする貯蔵レベルの検
知方法である。かかる検知方法を用いることにより、従
来方法のように、予め貯蔵物を容器に満たして静電容量
を測定することなく、実際に貯蔵物を投入しながら貯蔵
レベルの検知が可能となる。また、貯蔵物が他の種類の
貯蔵物に交換された場合、上記方法を繰り返すことによ
りゼロ点設定値等が更新され、正確に交換された貯蔵物
の貯蔵レベル等を検知することが可能となる。
ベルを検知する貯蔵レベルの検知方法であって、貯蔵物
を入れる導電性の容器と、該容器に略垂直に入れられ、
貯蔵物と接触する略同一形状の下部電極と上部電極とを
含む検知電極とを準備し、該容器に貯蔵物を入れない状
態で、該下部電極及び該上部電極を用いて電気的特性を
測定し、その値をゼロ点設定値CLZ、CHZとして記憶
し、該容器に貯蔵物を投入し、該上部電極の測定値が変
化し始める時点における該下部電極の測定値をスパン設
定値CLSとして記憶し、該上部電極を用いて該上部電極
に接触した貯蔵物の電気的特性を測定して測定値CHと
し、該ゼロ点設定値CLZと該スパン設定値CLSとから求
めた変化率と、該ゼロ点設定値CHZと該測定値CHとの
変化量とを比較して、該上部電極に接触している貯蔵物
の貯蔵レベルを求めることを特徴とする貯蔵レベルの検
知方法である。かかる検知方法を用いることにより、従
来方法のように、予め貯蔵物を容器に満たして静電容量
を測定することなく、実際に貯蔵物を投入しながら貯蔵
レベルの検知が可能となる。また、貯蔵物が他の種類の
貯蔵物に交換された場合、上記方法を繰り返すことによ
りゼロ点設定値等が更新され、正確に交換された貯蔵物
の貯蔵レベル等を検知することが可能となる。
【0013】更に、上記上部電極を用いて該上部電極に
接触している貯蔵物の電気的特性を測定し、該測定値が
上記スパン設定値CLSと等しくなった時点の測定値をス
パン設定値CHSとして記憶し、該スパン設定値CHSを貯
蔵物の貯蔵レベルの上限とするものであっても良い。こ
のようにして貯蔵レベルの上限を求めることにより、貯
蔵物が容器から溢れるのを防止することができる。
接触している貯蔵物の電気的特性を測定し、該測定値が
上記スパン設定値CLSと等しくなった時点の測定値をス
パン設定値CHSとして記憶し、該スパン設定値CHSを貯
蔵物の貯蔵レベルの上限とするものであっても良い。こ
のようにして貯蔵レベルの上限を求めることにより、貯
蔵物が容器から溢れるのを防止することができる。
【0014】また、本発明は、更に、上記下部電極が貯
蔵物に埋まった状態で、該下部電極を用いて貯蔵物の電
気的特性を測定し、貯蔵物の物性値を検知するものでも
ある。これにより、貯蔵物の濃度変化等も検知できると
ともに、電極の汚染等の発生も検知することができる。
蔵物に埋まった状態で、該下部電極を用いて貯蔵物の電
気的特性を測定し、貯蔵物の物性値を検知するものでも
ある。これにより、貯蔵物の濃度変化等も検知できると
ともに、電極の汚染等の発生も検知することができる。
【0015】
【発明の実施の形態】実施の形態1.実施の形態1につ
いて、図1を参照しながら説明する。図1は、本発明に
かかるレベル自動補正機能付レベルセンサのシステム構
成を表す。図1において、1は貯蔵物を入れる導電性の
容器であり、アース電位に接地されている。容器1内に
は、略垂直方向に検出電極が設けられているが、かかる
検出電極は、互いに電気的に分離された下部電極2と上
部電極3から構成される。4は上部電極2と下部電極3
とからなる検出電極の間で測定に用いる電極を切替える
検出電極切替手段である。5は検出電極と容器1との間
の静電容量を測定する静電容量測定手段である。かかる
測定手段には、浮遊容量の発生を排除するためのガード
出力(図3の符号14参照)が設けられている。6は検
出電極の選択、測定結果記憶、及び測定結果をもとにし
て貯蔵レベルの演算を行う制御手段である。7は制御手
段6で演算された貯蔵レベル等を表示するレベル表示手
段である。
いて、図1を参照しながら説明する。図1は、本発明に
かかるレベル自動補正機能付レベルセンサのシステム構
成を表す。図1において、1は貯蔵物を入れる導電性の
容器であり、アース電位に接地されている。容器1内に
は、略垂直方向に検出電極が設けられているが、かかる
検出電極は、互いに電気的に分離された下部電極2と上
部電極3から構成される。4は上部電極2と下部電極3
とからなる検出電極の間で測定に用いる電極を切替える
検出電極切替手段である。5は検出電極と容器1との間
の静電容量を測定する静電容量測定手段である。かかる
測定手段には、浮遊容量の発生を排除するためのガード
出力(図3の符号14参照)が設けられている。6は検
出電極の選択、測定結果記憶、及び測定結果をもとにし
て貯蔵レベルの演算を行う制御手段である。7は制御手
段6で演算された貯蔵レベル等を表示するレベル表示手
段である。
【0016】図2は、本実施の形態1の静電容量測定に
用いる回路構成であり、ガード出力の出力方法、及び浮
遊容量の排除方法の原理を示している。ここでは、被測
定要素である貯蔵物19のインピーダンスZx(Zxは
複素インピーダンスであり、明細書中ではZxに付すド
ットを省略して表す。以下、同じ。)に対して、回路全
体が集中定数回路として取り扱える範囲の波長を持つ正
弦波交流電圧を印加している。符号9で示す電圧測定手
段では電圧Vを測定し、符号10で示す電流測定手段で
は電流Iを測定し、かかる測定結果から、式:Zx=V
/Iを用いてインピーダンスZxを求める。ここで、イ
ンピーダンスZxの虚数成分は、ほぼ静電容量Cに相当
すると考えられるため、インピーダンスZxの測定結果
をもとに、静電容量が計算できることとなる。更に、図
2の回路では、符号11で示す位置の電圧を被測定要素
であるZxの周囲にガード出力として出力する。このよ
うにガード出力を印加することにより、符号8で示す交
流電圧源が出力インピーダンスがゼロの理想的な交流電
圧源であり、かつ符号10で示す電流測定手段が、イン
ピーダンスがゼロの理想的な電流測定手段であれば、符
号12で示す測定印加電圧と符号11で示すガード出力
が同電位となり、漏れ電流がなくなり、測定結果に浮遊
容量が加算されなくなる。実際の測定においても、ガー
ド出力を用いることによりこのような理想状態に近い状
態が得られ、測定結果に浮遊容量が加算されず、ほぼ正
確な静電容量が測定されているものと考えられる。測定
に使用される正弦波交流電圧の周波数は、これら静電容
量測定手段の位相分解能、電極の大きさ、システムコス
ト等から決定され、10kHz〜1MHzが実用に供さ
れている。
用いる回路構成であり、ガード出力の出力方法、及び浮
遊容量の排除方法の原理を示している。ここでは、被測
定要素である貯蔵物19のインピーダンスZx(Zxは
複素インピーダンスであり、明細書中ではZxに付すド
ットを省略して表す。以下、同じ。)に対して、回路全
体が集中定数回路として取り扱える範囲の波長を持つ正
弦波交流電圧を印加している。符号9で示す電圧測定手
段では電圧Vを測定し、符号10で示す電流測定手段で
は電流Iを測定し、かかる測定結果から、式:Zx=V
/Iを用いてインピーダンスZxを求める。ここで、イ
ンピーダンスZxの虚数成分は、ほぼ静電容量Cに相当
すると考えられるため、インピーダンスZxの測定結果
をもとに、静電容量が計算できることとなる。更に、図
2の回路では、符号11で示す位置の電圧を被測定要素
であるZxの周囲にガード出力として出力する。このよ
うにガード出力を印加することにより、符号8で示す交
流電圧源が出力インピーダンスがゼロの理想的な交流電
圧源であり、かつ符号10で示す電流測定手段が、イン
ピーダンスがゼロの理想的な電流測定手段であれば、符
号12で示す測定印加電圧と符号11で示すガード出力
が同電位となり、漏れ電流がなくなり、測定結果に浮遊
容量が加算されなくなる。実際の測定においても、ガー
ド出力を用いることによりこのような理想状態に近い状
態が得られ、測定結果に浮遊容量が加算されず、ほぼ正
確な静電容量が測定されているものと考えられる。測定
に使用される正弦波交流電圧の周波数は、これら静電容
量測定手段の位相分解能、電極の大きさ、システムコス
ト等から決定され、10kHz〜1MHzが実用に供さ
れている。
【0017】図3は、図1で使用される検出電極の側面
図である。検出電極は、それぞれが電気的に分離された
下部電極2と上部電極3とからなり、下部電極2の下
方、下部電極2と上部電極3との間、上部電極3の上方
には、ガード電位と接続されたガード電極14が設けら
れている。下部電極2、上部電極3は、導線により切替
手段4に接続され、ガード電極14も導線によりガード
出力に接続される。なお、上部電極3の長さのみを下部
電極2より長くすることも可能である。かかる場合に
も、下部電極2を用いた測定値をもとに、上部電極3に
接触している貯蔵物の貯蔵レベルを検知することができ
るからである。
図である。検出電極は、それぞれが電気的に分離された
下部電極2と上部電極3とからなり、下部電極2の下
方、下部電極2と上部電極3との間、上部電極3の上方
には、ガード電位と接続されたガード電極14が設けら
れている。下部電極2、上部電極3は、導線により切替
手段4に接続され、ガード電極14も導線によりガード
出力に接続される。なお、上部電極3の長さのみを下部
電極2より長くすることも可能である。かかる場合に
も、下部電極2を用いた測定値をもとに、上部電極3に
接触している貯蔵物の貯蔵レベルを検知することができ
るからである。
【0018】図4は、図1で使用される電極切替手段4
の詳細を表した図であり、電極切替回路15と、それに
接続された静電容量測定回路16と、制御回路17とか
らなる。また、符号18は、リレー、アナログスイッチ
等の信号切替デバイスを示す。電極切替回路15の周囲
は、ガード出力によりガードされている。電極切替回路
では、下部電極2又は上部電極3のいずれか一方が制御
回路17によって選択された場合、他方の電極はガード
出力に接続されるようになり、他方の電極の浮遊容量が
測定値に加算されないようになっている。
の詳細を表した図であり、電極切替回路15と、それに
接続された静電容量測定回路16と、制御回路17とか
らなる。また、符号18は、リレー、アナログスイッチ
等の信号切替デバイスを示す。電極切替回路15の周囲
は、ガード出力によりガードされている。電極切替回路
では、下部電極2又は上部電極3のいずれか一方が制御
回路17によって選択された場合、他方の電極はガード
出力に接続されるようになり、他方の電極の浮遊容量が
測定値に加算されないようになっている。
【0019】次に、図5〜9を用いて、本発明にかかる
貯蔵装置を用いた貯蔵レベルの検知方法について説明す
る。図5は貯蔵物を入れる前の空の状態貯蔵装置の断面
図である。容器1の中には、略垂直方向に上述の検出電
極(図3参照)が配置されている。電極の上端は、それ
ぞれ、図4の右端の端子に接続され、静電容量測定回路
に接続されている。容器1は導電性金属からなり、アー
ス電位に接地されている。又、ガード電極14は、それ
ぞれ、図4のガード出力に接続されている。下部電極2
と、上部電極3とは略同じ形状である。
貯蔵装置を用いた貯蔵レベルの検知方法について説明す
る。図5は貯蔵物を入れる前の空の状態貯蔵装置の断面
図である。容器1の中には、略垂直方向に上述の検出電
極(図3参照)が配置されている。電極の上端は、それ
ぞれ、図4の右端の端子に接続され、静電容量測定回路
に接続されている。容器1は導電性金属からなり、アー
ス電位に接地されている。又、ガード電極14は、それ
ぞれ、図4のガード出力に接続されている。下部電極2
と、上部電極3とは略同じ形状である。
【0020】本実施の形態にかかる検知方法において
は、図9のフローチャートに示すように、貯蔵物を入れ
ない状態(図5)で、図4の制御回路における電極選択
出力により電極のスキャンを行い、下部電極2と容器1
との間の静電容量、上部電極3と容器1との間の静電容
量を測定している。下部電極2と上部電極3との形状は
略同一であり、かかる空の状態で測定した、下部電極2
の静電容量CLZ、上部電極3の静電容量CHZは等しくな
る(ステップ91)。続いて、ステップ92に示すよう
に、静電容量CHZ、静電容量CLZを、ゼロ点の値とし
て、静電容量測定回路に接続された制御回路にて記憶す
る(ゼロ点設定)。
は、図9のフローチャートに示すように、貯蔵物を入れ
ない状態(図5)で、図4の制御回路における電極選択
出力により電極のスキャンを行い、下部電極2と容器1
との間の静電容量、上部電極3と容器1との間の静電容
量を測定している。下部電極2と上部電極3との形状は
略同一であり、かかる空の状態で測定した、下部電極2
の静電容量CLZ、上部電極3の静電容量CHZは等しくな
る(ステップ91)。続いて、ステップ92に示すよう
に、静電容量CHZ、静電容量CLZを、ゼロ点の値とし
て、静電容量測定回路に接続された制御回路にて記憶す
る(ゼロ点設定)。
【0021】続いて、図6に示すように、貯蔵物19が
投入され、制御回路により電極のスキャンが行われる。
ここでは貯蔵物19は液体とするが、液体以外の粉状
体、粒状体、ペレット等でも良い。貯蔵物19を投入す
ることにより貯蔵物19の貯蔵レベルが下部電極2の下
端に接触すると、静電容量の値が徐々に大きくなり、こ
れは貯蔵物19の投入量に比例する。しかし、この時点
では、レベル換算するためのデータの取得はできないの
で、貯蔵レベルの検知、表示はできない。
投入され、制御回路により電極のスキャンが行われる。
ここでは貯蔵物19は液体とするが、液体以外の粉状
体、粒状体、ペレット等でも良い。貯蔵物19を投入す
ることにより貯蔵物19の貯蔵レベルが下部電極2の下
端に接触すると、静電容量の値が徐々に大きくなり、こ
れは貯蔵物19の投入量に比例する。しかし、この時点
では、レベル換算するためのデータの取得はできないの
で、貯蔵レベルの検知、表示はできない。
【0022】続いて、図7に示すように、貯蔵物19の
貯蔵レベルが上昇し、上部電極3の下端に達すると、上
部電極3で測定される静電容量の値が増加し始める。図
9のステップ93に示すように、かかる上部電極3の静
電容量の増加を検知することにより、下部電極2がすべ
て貯蔵物19に接触したものとして、ステップ94に示
すように、この時点での下部電極2で測定される静電容
量CLSを記憶する(スパン設定1)。
貯蔵レベルが上昇し、上部電極3の下端に達すると、上
部電極3で測定される静電容量の値が増加し始める。図
9のステップ93に示すように、かかる上部電極3の静
電容量の増加を検知することにより、下部電極2がすべ
て貯蔵物19に接触したものとして、ステップ94に示
すように、この時点での下部電極2で測定される静電容
量CLSを記憶する(スパン設定1)。
【0023】続いて、更に貯蔵物19が投入され、ステ
ップ95に示すように、下部電極2で測定した静電容量
と、上部電極3で測定した静電容量とが同じでなった時
点を検知する。上述のように、下部電極2上部電極3と
の形状は略同じであるため、かかる時点が、即ち、図8
に示すように貯蔵物の上端が上部電極2の上端に達した
状態として検知されることとなる。従って、上部電極3
の上端を予め貯蔵レベルの上端となる位置に設定してお
けば、従来方法のように、予め貯蔵物19を容器の上限
まで満たしてその時に静電容量を測定しておくことな
く、実際に貯蔵物19を投入しながら、貯蔵レベルの上
限を検知し、貯蔵物19の投入を停止することが可能と
なる。
ップ95に示すように、下部電極2で測定した静電容量
と、上部電極3で測定した静電容量とが同じでなった時
点を検知する。上述のように、下部電極2上部電極3と
の形状は略同じであるため、かかる時点が、即ち、図8
に示すように貯蔵物の上端が上部電極2の上端に達した
状態として検知されることとなる。従って、上部電極3
の上端を予め貯蔵レベルの上端となる位置に設定してお
けば、従来方法のように、予め貯蔵物19を容器の上限
まで満たしてその時に静電容量を測定しておくことな
く、実際に貯蔵物19を投入しながら、貯蔵レベルの上
限を検知し、貯蔵物19の投入を停止することが可能と
なる。
【0024】最後に、ステップ96に示すように、下部
電極2、上部電極3で測定される静電容量が等しくなっ
た時点で、上部電極の静電容量CHSを記憶する(スパン
設定2)。
電極2、上部電極3で測定される静電容量が等しくなっ
た時点で、上部電極の静電容量CHSを記憶する(スパン
設定2)。
【0025】以上の工程により、初期設定が完了し、ス
テップ97に示すように、レベル換算が開始される。即
ち、下部電極2、上部電極3で検知される静電容量と、
貯蔵物19の貯蔵レベルとは比例するため、ゼロ点設定
の値、スパン設定1、2の値と、測定値とを比較するこ
とにより、貯蔵物19の貯蔵レベルの検知が可能とな
る。
テップ97に示すように、レベル換算が開始される。即
ち、下部電極2、上部電極3で検知される静電容量と、
貯蔵物19の貯蔵レベルとは比例するため、ゼロ点設定
の値、スパン設定1、2の値と、測定値とを比較するこ
とにより、貯蔵物19の貯蔵レベルの検知が可能とな
る。
【0026】ステップ98〜102は、初期設定終了後
におけるレベル測定の一連の動作を示したフローチャー
トである。
におけるレベル測定の一連の動作を示したフローチャー
トである。
【0027】まず、ステップ98に示すように、上下両
電極で測定される静電容量が異なる場合には、貯蔵レベ
ルが上限より下がっている場合であるため、その測定値
から換算される貯蔵レベルを表示する。
電極で測定される静電容量が異なる場合には、貯蔵レベ
ルが上限より下がっている場合であるため、その測定値
から換算される貯蔵レベルを表示する。
【0028】一方、上下両電極で測定される静電容量が
同じ場合には、測定値が各初期設値CHs、CLsより低い
(小さい)か否かを判断する(ステップ99)。そし
て、低いと判断した場合には、今度はゼロ点設定値
CHZ、CLZより低いか否か判断する(ステップ10
0)。更に、低いと判断された場合は、容器1が空であ
り、下部電極2、上部電極3とも貯蔵物19に触れてい
ないと考えられるため、ゼロ点設定の値を補正するた
め、ゼロ点設定値CHZ、CLZを更新する。
同じ場合には、測定値が各初期設値CHs、CLsより低い
(小さい)か否かを判断する(ステップ99)。そし
て、低いと判断した場合には、今度はゼロ点設定値
CHZ、CLZより低いか否か判断する(ステップ10
0)。更に、低いと判断された場合は、容器1が空であ
り、下部電極2、上部電極3とも貯蔵物19に触れてい
ないと考えられるため、ゼロ点設定の値を補正するた
め、ゼロ点設定値CHZ、CLZを更新する。
【0029】また、ステップ99で測定値がスパン値C
Hs、CLsより低くない場合、ステップ100で測定値が
初期設定のゼロ点設定値CHZ、CLZより低くない場合に
は、貯蔵物19の濃度等が変化したためにスパン値
CHs、CLsが変化したものと考えられるため、ステップ
101により上下両電極のスパン設定値CHs、CLsの更
新を行う。これにより、貯蔵物19の濃度等が貯蔵中に
変化した場合にも、正確な貯蔵レベルの検知をおこなう
ことが可能となる。
Hs、CLsより低くない場合、ステップ100で測定値が
初期設定のゼロ点設定値CHZ、CLZより低くない場合に
は、貯蔵物19の濃度等が変化したためにスパン値
CHs、CLsが変化したものと考えられるため、ステップ
101により上下両電極のスパン設定値CHs、CLsの更
新を行う。これにより、貯蔵物19の濃度等が貯蔵中に
変化した場合にも、正確な貯蔵レベルの検知をおこなう
ことが可能となる。
【0030】以上に述べたように、本実施の形態にかか
る貯蔵装置を用いることにより、従来方法のように、予
め貯蔵物を容器に満たして静電容量を測定することな
く、実際に貯蔵物を投入しながら貯蔵レベルの検知が可
能となる。また、貯蔵物の濃度変化等に伴い、静電容量
が変化した場合でも、変化に対応して自動的に設定値の
微調整が行われるため、測定誤差を生じることなくレベ
ル測定が可能となる。
る貯蔵装置を用いることにより、従来方法のように、予
め貯蔵物を容器に満たして静電容量を測定することな
く、実際に貯蔵物を投入しながら貯蔵レベルの検知が可
能となる。また、貯蔵物の濃度変化等に伴い、静電容量
が変化した場合でも、変化に対応して自動的に設定値の
微調整が行われるため、測定誤差を生じることなくレベ
ル測定が可能となる。
【0031】また、下部電極2の上端以上に貯蔵レベル
が保たれている場合には、下部電極2で測定される静電
容量をモニタすることにより、異常な測定状況や電極の
汚染等、測定に支障がでる状況の発生も検知することが
できる。
が保たれている場合には、下部電極2で測定される静電
容量をモニタすることにより、異常な測定状況や電極の
汚染等、測定に支障がでる状況の発生も検知することが
できる。
【0032】また、例えば、貯蔵物19を容器1の下部
から排出する場合において、上部電極3の静電容量が一
定値以上減少しないうちに下部電極2の静電容量が減少
し始めた場合などは、電極に付着物が発生していると認
識することができる。
から排出する場合において、上部電極3の静電容量が一
定値以上減少しないうちに下部電極2の静電容量が減少
し始めた場合などは、電極に付着物が発生していると認
識することができる。
【0033】実施の形態2.本実施の形態では、インピ
ーダンスを測定することにより、貯蔵物19の物性変化
の検出装置も兼ねたレベル検知装置について説明する。
即ち、実施の形態1では、静電容量を測定することによ
り、貯蔵物19のレベル検知を行なっていたが、本実施
の形態では、これに加えて電気抵抗を同時に測定するこ
ととする。換言すれば、インピーダンスの実成分(電気
抵抗)と虚数成分(静電容量)を分離して測定すること
によって、測定物の物性変化を捉えることが可能とな
る。
ーダンスを測定することにより、貯蔵物19の物性変化
の検出装置も兼ねたレベル検知装置について説明する。
即ち、実施の形態1では、静電容量を測定することによ
り、貯蔵物19のレベル検知を行なっていたが、本実施
の形態では、これに加えて電気抵抗を同時に測定するこ
ととする。換言すれば、インピーダンスの実成分(電気
抵抗)と虚数成分(静電容量)を分離して測定すること
によって、測定物の物性変化を捉えることが可能とな
る。
【0034】例えば、半導体製造の過程におけるウェッ
トエッチング装置等で発生する廃液を一時的に貯蔵する
タンクのレベルを測定しつつ、同時にこれの汚濁の度合
いも管理することが可能となる。従来方法の場合、図1
1に示すように、電極20が1本で、本実施の形態のよ
うに2つに分離していないので、貯蔵レベルが変化する
たびにインピーダンスが変化し、汚濁度合いだけを検出
することが不可能であった。これに対して、本実施の形
態では、下部電極が2が、貯蔵レベルの変化によらず貯
蔵液19に浸った状態とすることができるため、下部電
極2を用いて電気抵抗値を測定することにより、貯蔵液
19の物性変化の検出が可能となる。
トエッチング装置等で発生する廃液を一時的に貯蔵する
タンクのレベルを測定しつつ、同時にこれの汚濁の度合
いも管理することが可能となる。従来方法の場合、図1
1に示すように、電極20が1本で、本実施の形態のよ
うに2つに分離していないので、貯蔵レベルが変化する
たびにインピーダンスが変化し、汚濁度合いだけを検出
することが不可能であった。これに対して、本実施の形
態では、下部電極が2が、貯蔵レベルの変化によらず貯
蔵液19に浸った状態とすることができるため、下部電
極2を用いて電気抵抗値を測定することにより、貯蔵液
19の物性変化の検出が可能となる。
【0035】また、本実施の形態にかかる貯蔵装置を用
いることにより、貯蔵物19の水分管理も可能となる。
例えば、代替フロン洗浄剤は、比誘電率が2程度の洗浄
剤と、比誘電率が80程度の水との混合液からなるが、
下部電極2を用いて静電容量を測定することにより、洗
浄剤中に含まれる水分の経時変化を検知することが可能
となる。また、電気抵抗値を測定することにより、溶液
に汚染の程度を測定することができる。なお、この実施
の形態2の貯蔵物19の物性変化等の検知に加えて、実
施の形態1で述べた貯蔵レベルの自動調整機能を併せて
用いることができることは言うまでもない。
いることにより、貯蔵物19の水分管理も可能となる。
例えば、代替フロン洗浄剤は、比誘電率が2程度の洗浄
剤と、比誘電率が80程度の水との混合液からなるが、
下部電極2を用いて静電容量を測定することにより、洗
浄剤中に含まれる水分の経時変化を検知することが可能
となる。また、電気抵抗値を測定することにより、溶液
に汚染の程度を測定することができる。なお、この実施
の形態2の貯蔵物19の物性変化等の検知に加えて、実
施の形態1で述べた貯蔵レベルの自動調整機能を併せて
用いることができることは言うまでもない。
【0036】実施の形態3.実施例1では、図3に示す
ように、検知電極として、下部電極2と上部電極3との
2つに分離した電極を用いて、貯蔵レベルの測定を行な
っていたが、更に、3以上に分離した電極として、各電
極を用いて電気的特性を測定することも可能である。
ように、検知電極として、下部電極2と上部電極3との
2つに分離した電極を用いて、貯蔵レベルの測定を行な
っていたが、更に、3以上に分離した電極として、各電
極を用いて電気的特性を測定することも可能である。
【0037】かかる電極を用いた応用例としては、例え
ば、水と油のような混じり合わずに放置すると分離する
液体の界面検出や層の検知が考えられる。この場合、貯
蔵液19を投入した直後や混合した場合におけるエマル
ジョン状態、乳化状態などの把握なども同時に可能とな
る。又、複数に分離した電極を用いた場合、最も上部の
電極以外に異常が発生しても、最も上部の電極が正常に
動作していれば、貯蔵物19の上限の検知が可能とな
り、貯蔵物19が容器1から溢れることを防止すること
が可能となる。
ば、水と油のような混じり合わずに放置すると分離する
液体の界面検出や層の検知が考えられる。この場合、貯
蔵液19を投入した直後や混合した場合におけるエマル
ジョン状態、乳化状態などの把握なども同時に可能とな
る。又、複数に分離した電極を用いた場合、最も上部の
電極以外に異常が発生しても、最も上部の電極が正常に
動作していれば、貯蔵物19の上限の検知が可能とな
り、貯蔵物19が容器1から溢れることを防止すること
が可能となる。
【0038】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
にかかる貯蔵装置を用いることにより、従来方法のよう
に、予め貯蔵物を容器に満たして静電容量、電気抵抗、
又はインピーダンスを測定することなく、実際に貯蔵物
を投入しながら貯蔵レベルの検知が可能となる。
にかかる貯蔵装置を用いることにより、従来方法のよう
に、予め貯蔵物を容器に満たして静電容量、電気抵抗、
又はインピーダンスを測定することなく、実際に貯蔵物
を投入しながら貯蔵レベルの検知が可能となる。
【0039】また、下部電極で測定される電気的特性を
モニタすることにより、貯蔵物の特性変化や電極の汚染
等を検知することも可能となる。
モニタすることにより、貯蔵物の特性変化や電極の汚染
等を検知することも可能となる。
【0040】また、貯蔵物が他の種類の貯蔵物に交換さ
れた場合にも、設定値が更新されるため、正確に貯蔵物
の貯蔵レベル等を検知することが可能となる。
れた場合にも、設定値が更新されるため、正確に貯蔵物
の貯蔵レベル等を検知することが可能となる。
【0041】また、分離した3以上の電極から検知電極
を構成することにより、エマルジョン状態等の混合溶液
の状態の検知も可能となる。
を構成することにより、エマルジョン状態等の混合溶液
の状態の検知も可能となる。
【図1】 本実施の形態にかかるレベル自動補正機能付
レベルセンサのシステム構成図である。
レベルセンサのシステム構成図である。
【図2】 本実施の形態にかかる静電容量測定用回路の
回路構成である。
回路構成である。
【図3】 本実施の形態にかかる検知電極の側面図であ
る。
る。
【図4】 本実施の形態にかかる電極切替手段の回路構
成である。
成である。
【図5】 本実施の形態にかかる貯蔵レベル検知の工程
図である。
図である。
【図6】 本実施の形態にかかる貯蔵レベル検知の工程
図である。
図である。
【図7】 本実施の形態にかかる貯蔵レベル検知の工程
図である。
図である。
【図8】 本実施の形態にかかる貯蔵レベル検知の工程
図である。
図である。
【図9】 本実施の形態にかかる初期設定のフローチャ
ートである。
ートである。
【図10】 本実施の形態にかかるレベル測定のフロー
チャートである。
チャートである。
【図11】 従来方法にかかる貯蔵装置の断面図であ
る。
る。
1 貯蔵容器、2 下部電極、3 上部電極、4 静電
電極切替手段、5 静電容量測定手段、6 制御手段、
7 表示手段、8 交流電圧源、9 電圧測定手段、1
0 電流測定手段、11 ガード出力、12 測定印加
電圧、14 ガード電極、15 電極切替手段、16
静電容量測定回路、17 制御回路、18 信号切替デ
バイス、19 貯蔵物、20 電極、21 検出回路。
電極切替手段、5 静電容量測定手段、6 制御手段、
7 表示手段、8 交流電圧源、9 電圧測定手段、1
0 電流測定手段、11 ガード出力、12 測定印加
電圧、14 ガード電極、15 電極切替手段、16
静電容量測定回路、17 制御回路、18 信号切替デ
バイス、19 貯蔵物、20 電極、21 検出回路。
Claims (10)
- 【請求項1】 容器内の貯蔵物の貯蔵レベルを検知する
貯蔵装置であって、 貯蔵物を貯蔵する導電性の容器と、 該容器内に略垂直に配置され、該貯蔵物に接触させる検
出電極と、 該検出電極に接続され、貯蔵物の電気的特性を測定する
測定手段と、 該測定手段で得られた測定値を処理する処理手段とを備
え、 該検出電極が、互いに電気的に分離された下部電極と上
部電極とを少なくとも含み、該容器内に貯蔵物が投入さ
れる場合に、該下部電極が貯蔵物に埋まる際の電気的特
性の測定値の変化を該測定手段で測定し、かかる測定値
の変化と該上部電極から得られる貯蔵物の電気的特性の
測定値とを該処理手段により比較して、該容器内に投入
され、該上部電極に接触する貯蔵物の貯蔵レベルを検知
することを特徴とする貯蔵装置。 - 【請求項2】 上記測定手段が、上記容器と上記検出電
極との間の静電容量を測定することを特徴とする請求項
1に記載の貯蔵装置。 - 【請求項3】 上記測定手段が、上記容器と上記検出電
極との間の電気抵抗を測定することを特徴とする請求項
1に記載の貯蔵装置。 - 【請求項4】 更に、上記測定手段が、貯蔵物に埋まっ
た上記下部電極の電気的特性を測定し、貯蔵物の物性値
の経時変化を検知する検知手段を備えることを特徴とす
る請求項1に記載の貯蔵装置。 - 【請求項5】 上記検出電極が、該検出電極を構成する
各電極の間、上部及び下部に設けられ、ガード電位に接
続された複数のガード電極を有することを特徴とする請
求項1に記載の貯蔵装置。 - 【請求項6】 更に、上記検出電極を構成する一の電極
を選択して測定手段に接続し、残りの電極をガード電位
に接続する切換手段を備えることを特徴とする請求項1
に記載の貯蔵装置。 - 【請求項7】 更に、上記検出電極で検出された結果を
表示する表示手段を備えることを特徴とする請求項1に
記載の貯蔵装置。 - 【請求項8】 容器内の貯蔵物の貯蔵レベルを検知する
貯蔵レベルの検知方法であって、 貯蔵物を入れる導電性の容器と、該容器に略垂直に入れ
られ、貯蔵物と接触する略同一形状の下部電極と上部電
極とを含む検知電極とを準備し、 該容器に貯蔵物を入れない状態で、該下部電極及び該上
部電極を用いて電気的特性を測定し、その値をゼロ点設
定値CLZ、CHZとして記憶し、 該容器に貯蔵物を投入し、該上部電極の測定値が変化し
始める時点における該下部電極の測定値をスパン設定値
CLSとして記憶し、 該上部電極を用いて該上部電極に接触した貯蔵物の電気
的特性を測定して測定値CHとし、 該ゼロ点設定値CLZと該スパン設定値CLSとから求めた
変化率と、該ゼロ点設定値CHZと該測定値CHとの変化
量とを比較して、該上部電極に接触している貯蔵物の貯
蔵レベルを求めることを特徴とする貯蔵レベルの検知方
法。 - 【請求項9】 更に、上記上部電極を用いて該上部電極
に接触している貯蔵物の電気的特性を測定し、該測定値
が上記スパン設定値CLSと等しくなった時点の測定値を
スパン設定値CHSとして記憶し、 該スパン設定値CHSを貯蔵物の貯蔵レベルの上限とする
ことを特徴とする請求項8に記載の検知方法。 - 【請求項10】 更に、上記下部電極が貯蔵物に埋まっ
た状態で、該下部電極を用いて貯蔵物の電気的特性を測
定し、貯蔵物の物性値を検知することを特徴とする請求
項8又は9に記載の検知方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11106446A JP2000298052A (ja) | 1999-04-14 | 1999-04-14 | 貯蔵装置及び貯蔵レベルの検知方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11106446A JP2000298052A (ja) | 1999-04-14 | 1999-04-14 | 貯蔵装置及び貯蔵レベルの検知方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000298052A true JP2000298052A (ja) | 2000-10-24 |
Family
ID=14433855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11106446A Pending JP2000298052A (ja) | 1999-04-14 | 1999-04-14 | 貯蔵装置及び貯蔵レベルの検知方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000298052A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011237240A (ja) * | 2010-05-10 | 2011-11-24 | Nihon Itomic Co Ltd | スケール検知用センサ及びスケール検知方法 |
| JP2012163508A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-08-30 | Mitsubishi Electric Corp | 燃料検出装置 |
| JP2013092510A (ja) * | 2011-10-27 | 2013-05-16 | Seiko Epson Corp | センサー装置およびセンサーシステム |
| JP2023098616A (ja) * | 2021-12-28 | 2023-07-10 | 深▲せん▼麦克韋爾科技有限公司 | 電子霧化装置及び加熱方法、液体含有量の検出方法 |
-
1999
- 1999-04-14 JP JP11106446A patent/JP2000298052A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011237240A (ja) * | 2010-05-10 | 2011-11-24 | Nihon Itomic Co Ltd | スケール検知用センサ及びスケール検知方法 |
| JP2012163508A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-08-30 | Mitsubishi Electric Corp | 燃料検出装置 |
| JP2013092510A (ja) * | 2011-10-27 | 2013-05-16 | Seiko Epson Corp | センサー装置およびセンサーシステム |
| JP2023098616A (ja) * | 2021-12-28 | 2023-07-10 | 深▲せん▼麦克韋爾科技有限公司 | 電子霧化装置及び加熱方法、液体含有量の検出方法 |
| US12527359B2 (en) | 2021-12-28 | 2026-01-20 | Shenzhen Smoore Technology Limited | Electronic vaporization device and heating method and liquid content detection method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4208572B2 (ja) | 水準を計測するための方法および装置 | |
| JP5757798B2 (ja) | 容器内の充填媒質の非侵襲性容量式充填レベル測定装置および方法 | |
| JP3219918U (ja) | 成形電極による流動性材料レベル感知 | |
| US10422680B2 (en) | Method for monitoring at least one media-specific property of a medium | |
| US9500735B2 (en) | Method for calibrating a conductivity measuring cell | |
| US20030000303A1 (en) | Auto-compensating capacitive level sensor | |
| JP2008545138A (ja) | 基準特徴を用いて液体レベルを検知する方法と装置 | |
| US11543279B2 (en) | Method for process monitoring | |
| CN110869720A (zh) | 电容式测量方法和料位测量设备 | |
| WO2008021546A2 (en) | Impedance measurement of a ph electrode | |
| JP2012194027A (ja) | 水分含有材の水分測定装置及び該水分測定装置を使用した水分測定方法 | |
| JPH035863Y2 (ja) | ||
| CA3168409C (en) | CAPACITIVE LEVEL MEASUREMENT PROBE WITH NO DEAD ZONE | |
| US20020027085A1 (en) | Method for monitoring the quality of electrochemical measuring sensors and a measuring arrangement with an electrochemical measuring sensor | |
| JP7071723B2 (ja) | 複素誘電率測定用回路、複素誘電率測定装置及び複素誘電率の測定方法 | |
| US20200333175A1 (en) | Dual Polarity Mutual Capacitive Liquid Sensing | |
| JP2000298052A (ja) | 貯蔵装置及び貯蔵レベルの検知方法 | |
| WO2000043735A3 (en) | Method and apparatus for measuring fluid levels in vessels | |
| KR20100085418A (ko) | 정전용량 수위 감지센서 및 시스템 | |
| US20250189358A1 (en) | Method and device for monitoring the filling level of a medium in a container | |
| JP6598171B1 (ja) | 内容量推定方法、及び内容量推定システム | |
| JP7390180B2 (ja) | 測定装置及び測定方法 | |
| JP5934563B2 (ja) | 電極故障診断装置 | |
| JP4532357B2 (ja) | 濃度測定装置 | |
| JP7093924B2 (ja) | 非接触測定システム |