JP2000298141A - プローブカードの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 プローブカードの交換作業を容易にする
こと 【解決手段】 プローブカード検査装置は、プローブカ
ードの針先が接触されるコンタクト板の上方に空間をフ
レームにより形成し、コンタクト板に対応する箇所に開
口を有するカードホルダを前記空間に配置し、プローブ
カードのプローブに接続される接続装置をプローブカー
ドの上に配置する。カードホルダは、組み付け手段によ
りフレームに、前記開口がコンタクト板の上方に位置す
る第１の位置と、少なくともプローブカードが前記空間
の外に位置する第２の位置であって第１の位置から水平
方向に間隔をおいた第２の位置とに移動可能に組み付け
られる。これにより、前記空間の外においてプローブカ
ードの交換をすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路のような
被検査体の通電試験に用いるプローブカードを検査する
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】プローブカードは、一般に、その製作途
中、製作後、使用途中等において、プローブ先端の高さ
位置のばらつき、電極への接触状態の良否等の検査をさ
れる。

【０００３】従来のこの種の検査装置は、開口を有する
ベースプレートを針先が接触するコンタクト板の上方に
コンタクト板と平行に設け、テストボードをベースフレ
ームの開口を閉鎖するように鉤型の複数のボード押えに
よりベースフレームの上にベースフレームと平行に組み
付け、プローブカードをテストボードの下側に電気的接
続装置を介して組み付けている。

【０００４】テストボードは、外周部の複数箇所におい
てボード押えによりベースフレームに装着されている。
検査時、プローブカードとコンタクト板とが相対的に押
圧されて、プローブの針先とコンタクト板とが接触され
る。このときプローブカードに作用する反力（すなわ
ち、針圧に対する反力）は、電気的接続装置、テストボ
ード及びボード押えを介してベースフレームに伝達され
る。

【０００５】上記の検査装置において、プローブカード
の交換は、テストボードをベースフレームから取り外
し、プローブカードを電気的接続装置及びテストボード
から外し、その後新たなプローブカードを電気的接続装
置及びテストボードに組み付け、そのテストボードをベ
ースフレームに組み付けることにより行われる。

【０００６】

【解決しようとする課題】このため、上記の検査装置で
は、プローブカードの交換作業が面倒である。特に、プ
ローブ数の多い大型のプローブカードの場合、電気的接
続装置及びテストボードも大型化し、検査装置自体も大
きくなるため、プローブカード、電気的接続装置及びテ
ストボードの取り扱いが難しく、作業者にとって危険で
ある。

【０００７】それゆえに、プローブカードの検査装置に
おいては、プローブカードの交換作業を容易にすること
が重要である。

【０００８】

【解決手段、作用及び効果】本発明に係るプローブカー
ド検査装置は、プローブカードの針先が接触されるコン
タクト板と、該コンタクト板の上方に空間を形成するフ
レームと、前記空間に配置されたカードホルダであって
前記コンタクト板に対応する箇所に開口を有し、前記プ
ローブカードを受ける受け部を前記開口の周りに有する
カードホルダと、該カードホルダに配置されたプローブ
カードの上に配置される接続装置であってそのプローブ
カードのプローブに接続される接続装置と、前記カード
ホルダを前記フレームに、前記開口が前記コンタクト板
の上方に位置する第１の位置と、少なくとも前記プロー
ブカードが前記空間の外に位置する第２の位置であって
前記第１の位置から水平方向に間隔をおいた第２の位置
とに移動可能に組み付ける組み付け手段とを含む。

【０００９】プローブカードはそのプローブの針先をカ
ードホルダの開口からコンタクト板側に突出させた状態
にカードホルダの受け部に配置されており、カードホル
ダは第１の位置に移動されている。その状態において、
プローブカードはコンタクト板に押圧される。

【００１０】プローブカードを交換するとき、カードホ
ルダが第１の位置から第２の位置へ移動される。これに
よりプローブカードが空間の外に移動されるから、プロ
ーブカードを持ち上げてカードホルダから取り出し、新
たなプローブカードを上方からカードホルダに配置する
ことができる。

【００１１】上記の結果、本発明の検査装置によれば、
従来装置に比べ、プローブカードの交換の作業性がよ
く、交換作業が安全になると共に交換作業を速く行うこ
とができ、しかも熟練を要しない。

【００１２】検査装置は、さらに、前記コンタクト板の
上方に位置するベースであって前記カードホルダを着脱
可能に受けかつ前記コンタクト板に対応する箇所に第２
の開口を有するベースを含み、前記カードホルダを、そ
の一部が前記第２の開口に位置する状態に配置すること
ができる。このようにすれば、針先をコンタクト板に接
近させることができる。

【００１３】前記組み付け手段は、前記フレームに間隔
をおいて配置されて水平方向へ伸びる一対のレールと、
該レールに沿って移動可能に配置されたスライドトレー
と、該スライドトレーに回転可能に配置された昇降用リ
ングと、該昇降用リングの内側に昇降可能に配置された
昇降トレーであって前記カードホルダが配置された昇降
トレーとを備え、前記昇降トレー及び前記昇降用リング
の一方は係止部を有し、前記昇降トレー及び前記昇降用
リングの他方は前記係止部が滑動可能に係止する傾斜し
た溝を有することができる。この場合、プローブカード
は前記昇降トレーに配置することができる。このように
すれば、昇降用リングを回転させることにより、昇降用
トレーを上げ下げすることができるから、常時は昇降用
トレーを下降させてプローブの針先を開口から突出さ
せ、プローブカードの交換時は昇降用トレーを上昇させ
てプローブの針先を開口の上方に位置させることがで
き、その結果がプローブの針先がスライドトレーの引き
出しに妨げにならず、したがって交換作業がより容易に
なる。

【００１４】検査装置は、さらに、前記接続装置の上方
にあって前記フレームに上下方向へ移動可能に配置され
た押圧板と、前記フレームに支持されて前記押圧板を前
記接続装置に押圧する押圧体とを含むことができる。こ
のようにすれば、針先がコンタクト板に押圧されたとき
の反力を、接続装置、押圧板及び押圧体を介してフレー
ムに伝達することができる。

【００１５】前記接続装置は、前記プローブカードの上
側に配置される板状の接続器であってそのプローブカー
ドのプローブに接続される複数の第１の導電体を有する
接続器と、該接続器の上側に配置された板状の中継器で
あって前記第１の導電体に接続された複数の第２の導電
体を有し、前記フレームに配置された中継器と、前記接
続器及び前記中継器を解除可能に結合する結合機構とを
備え、前記接続器を前記押圧板に組み付けてもよい。こ
のようにすれば、接続器と中継器との係合を解除して、
押圧板を上昇させることにより、接続器を中継器から切
り離すことができ、したがって中継器をスライドとレー
ト共に引き出すことなく、プローブの交換をすることが
できる。また、中継器を各種のプローブカードに共通に
用い、プローブカードの交換時に接続装置を新たなプロ
ーブカードに対応した接続装置に交換することにより、
同じ検査装置を複数種類のプローブカードの検査に用い
ることができる。

【００１６】前記中継器及び前記押圧板を、それぞれ、
前記押圧板及び前記押圧体に組み付けることができる。
このようにすれば、押圧体を上昇させることにより、中
継器を接続器から離間させることができる。

【００１７】前記結合機構は、前記接続装置の周りを角
度的に回転可能に前記押圧板又は前記中継器に配置され
たリングであって前記接続器を相対的移動可能に受ける
リングと、該リングを前記接続装置に対して角度的に回
転させるべく前記押圧板又は前記中継器に配置された駆
動機構とを備え、前記接続器を前記リングに該リングの
角度的回転にともなって解除可能に係止させてもよい。
このようにすれば、リングを回転させることにより、接
続器を押圧板に対し着脱することができる。

【００１８】前記結合機構は、さらに、前記回転リング
の回転方向に間隔をおいて前記接続器及び前記回転リン
グの一方に配置された複数のローラと、前記回転の回転
方向に間隔をおいて前記接続器及び前記回転リングの他
方に配置された複数の係止片であって前記ローラに解除
可能に係止する係止片と、前記回転リングを前記接続装
置に対して角度的に回転させるべく前記押圧板に配置さ
れた駆動機構とを備えることができる。このようにすれ
ば、回転リングをわずかに回転させるだけで、ローラと
係止片とに係合及びその解除をさせることができる。

【００１９】前記フレームは、左右方向に間隔をおいて
前記ベースに配置された下部フレームと、と共同して前
記空間を形成すべく前記下部フレームに配置された上部
フレームであって前記押圧体を支持しかつ前記空間を上
方へ開放する上部フレームとを備え、前記カードホルダ
を、前記下部フレームの前方への開放箇所を介して前記
空間に出入り可能にすることができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】本発明においては、後に説明する
スライドトレーを出し入れする水平の方向を前後方向
（Ｙ方向）といい、前後方向と直角の水平の方向を左右
方向（Ｘ方向）という。

【００２１】図１から図４を参照するに、プローブカー
ド検査装置１０は、プローブカード１２の検査に用いら
れる。プローブカード１２は、図４に示すように、導電
性金属細線から製作されたニードルタイプの複数のプロ
ーブ１４をそれらの針先が下方へ突出した状態に配線基
板１６に装着している。各プローブ１４の針先は、集積
回路のような被検査体の通電試験時に、被検査体の電極
部に押圧される。プローブカード１２は、プローブ１４
を図示しないテスターに接続するための複数のテスター
ランド１８（図１０参照）を配線基板１６の外周縁部に
有する。

【００２２】検査装置１０は、直方体状の筐体２０を台
車として用い、その上板を板状のベースすなわちベース
板２２として用いている。筐体２０は、複数のキャスタ
ー２４により二次元的に移動可能である。ベース２２の
上には、各種の情報及び指令を入力する操作パネル２６
と、検査状態を映し出すモニタ２８と、後に説明する各
種機器の配置空間を形成するフレーム３０とが配置され
ている。

【００２３】ベース２２は、円形の開口３２を中央に有
する。フレーム３０は、前後方向（図４において左右の
方向）間隔をおいた一対の下部フレーム３４と、下方に
開放するコ字状の上部フレーム３６とを備える。両下部
フレーム３４は、開口３２の上方の空間が両者の間に入
るように、ベース２２に配置されている。上部フレーム
３６は、一方の下部フレーム３４の上部にシャフト３８
により枢軸運動可能に連結されている。

【００２４】上部フレーム３６は、常時はフレーム３０
により形成される内側空間を閉鎖しており、内側空間を
開閉するときはシャフト３８がモータ４０により回転さ
れる。上部フレーム３６は、内側空間を閉鎖している
間、内部空間を開放することを下部フレーム３４に設け
られたフック４２により阻止されている。フック４２
は、エアーシリンダのような適宜な駆動機構４３によ
り、フック４２が上部フレーム３６による内側空間の開
放を阻止する位置と、その開放を許容する位置とに移動
される。

【００２５】上部フレーム３６には、四角形の押圧板４
４が配置されている。押圧板４４は、上部フレーム３６
に設けられたエアーシリンダのような駆動機構４６によ
り上下方向（Ｚ方向）に移動される。押圧板４４は上部
フレーム３６の内側に設けられた複数のガイドレール４
８により案内されるガイド部４４ａを有し、上部フレー
ム３６は複数の開口５０を駆動機構４６の周りに有す
る。

【００２６】図５及び図６に示すように、導電性材料か
ら形成されたコンタクト板５２は、筐体２０内に配置さ
れたステージ５４の上に組み付けられている。ステージ
５４は、筐体２０に備えられた板状のステージベース５
６に配置されている。

【００２７】ステージ５４は、左右方向（図６において
左右方向）へ伸びる複数のＹガイドレール５８に沿って
移動可能のＹステージ６０と、Ｙステージ６０に前後方
向（図５において左右方向）へ移動可能に配置されたＸ
ステージ６２と、Ｘステージ６２の移動により上下方向
へ移動されるＺステージ６４と、Ｘステージ６２をＸ方
向へ移動させる移動機構６６とを備える。

【００２８】Ｙステージ６０は、上方に開放する箱の形
をしており、また上下方向へ伸びる複数のガイドレール
６８を内側に有する。Ｚステージ６４は、そのガイド部
６４ａをガイドレール６８に滑動可能に嵌合させてい
る。

【００２９】図４から図８に示すように、検査装置１０
は、また、プローブカード１２のプローブの電気的に接
続される円板状の接続器７０と、接続器７０を図示しな
いテスターに接続する円板状の中継器７２とを含む。接
続器７０及び中継器７２は、相互に組み合わされて接続
装置を構成する。

【００３０】接続器７０は、プローブカード１２のプロ
ーブ１４に個々に接続される細長い複数の第１の導電体
７４を電気絶縁材料からなる円板状の接続板７６に配置
し、第１の導電体７４を中継器７２に接続するための円
板状の接続基板７８を接続板７６の上に複数のねじ部材
により組み付けている。

【００３１】中継器７２は、接続器７０によりプローブ
１４に個々に接続される細長い複数の第２の導電体８０
を電気絶縁材料からなる円板状の中継板８２に配置し、
第２の導電体８０をテスターに接続するための円板状の
中継基板８４を中継板８２の上に複数のねじ部材により
組み付け、複数のコネクタ８６を中継基板８４の上に組
み付けている。中継器７２は、押圧板４４の下側に複数
のねじ部材により組み付けられている。

【００３２】第１の導電体７４は、対応するプローブ１
４のテスターランド１８に対向するように接続板７６に
配置されており、また接続板７６を厚さ方向に貫通して
上下にわずかに突出している。接続基板７８は、第１及
び第２の導電体７４及び８０を相互に接続する複数の配
線部を有する配線基板である。

【００３３】第２の導電体８０は、接続基板７８の対応
する配線部に対向するように中継板８２に配置されてお
り、また中継板８２を厚さ方向に貫通して上下にわずか
に突出している。中継基板８４は、第２の導電体８０と
コネクタ８６とを相互に接続する複数の配線部を有する
配線基板である。

【００３４】第１及び第２の導電体７４及び８０とし
て、コイルばねとピンとを筒状部材内に配置したいわゆ
るポゴピンを用いることができる。しかし、第１及び第
２の導電体７４及び８０は、導電性の金属線のような他
の部材であってもよい。

【００３５】図７及び図８に示すように、接続器７０と
中継器７２とは、中継板８２に設けられた複数の位置決
めピン８８が接続基板７８に設けられた穴９０に受け入
れられることにより、相互に位置決められる。接続器７
０と中継器７２とは、結合機構により解除可能に上記の
ように結合されて、接続装置を構成する。

【００３６】そのような結合機構は、図７から図９に示
すように、接続装置の周りを角度的に回転可能の結合用
リング９２を備える。

【００３７】回転リングすなわち結合用リング９２は、
リング９２のを受ける複数の支持ローラ９４と、リング
９２の外周面に接触する複数のサイドローラ９６とによ
り、押圧板４４に支持されていると共に、回転位置を規
制されている。支持ローラ９４及びサイドローラ９６
は、押圧板４４の下側に組み付けられている。

【００３８】結合用リング９２は、また、複数のリンク
アーム９８と、各リンクアーム９８を揺動させるエアー
シリンダのような駆動機構１００とにより上下方向へ伸
びる軸線の周りに角度的に回転される。

【００３９】リンクアーム９８は、上下方向へ伸びる軸
線の周りに角度的に回転可能に押圧板４４の下面に組み
付けられており、また結合用リング９２に設けられたピ
ン９３と、ピン９３が活動可能に係合するようにリンク
アーム９８に形成された長穴９５とにより、結合用リン
グ９２に係合されている。

【００４０】駆動機構１００は、リンクアーム９８を角
度的に回転させるように押圧板４４の下面に組み付けら
れている。接続器７０は、その外周部に角度的間隔をお
いて設けられた複数の係合片１０２が結合用リング９２
に設けられた結合ローラ１０４に受けられていることに
より、中継器７２に結合される。

【００４１】結合ローラ１０４は、ブラケット１０８に
より結合用リング９２に組み付けられている。結合用リ
ング９２、支持ローラ９４、サイドローラ９６、リンク
アーム９８及び駆動機構１００の１つ以上のものを中継
器７２に組み付けてもよい。また、係合片１０２及び結
合ローラ１０４をそれぞれ結合用リング９２及び接続器
７０に配置してもよい。

【００４２】図８は、接続器７０と中継器７２とが結合
されている状態を実線で示し、そのような結合が解除さ
れている状態を点線で示す。それゆえに、接続器７０と
中継器７２とは、結合用リング９２が一方へ移動される
ことにより結合され、他方へ移動されることによりその
結合を解除される。

【００４３】図７に示すように、各コネクタ８６には、
テスターに接続されるケーブル１１０の端部が結合され
る。ケーブル１１０は、押圧板４４に形成された開口１
１２及び上部フレーム３６に形成された開口５０を介し
て伸びている。

【００４４】図９から図１３に示すように、プローブカ
ード１２は円形をしたカードホルダ１１４に受けられて
おり、カードホルダ１１４は短い円筒状の昇降トレー１
１６に配置されており、昇降トレー１１６はその周りに
配置された回転リング１１８を介して引き出し状のスラ
イドトレー１２０に配置されており、スライドトレー１
２０は一対のスライドレール１２２により下部フレーム
３４に出し入れ可能に支持されている。

【００４５】カードホルダ１１４は、コンタクト板５２
に対応する箇所に開口１２４を有し、プローブカード１
２を受ける受け部１２６を開口１２４の周りに有する。
受け部１２６は、その周りより低い段部である。カード
ホルダ１１４は、昇降トレー１１６の下端部に設けられ
た内向きのフランジ１２８に外周部を受けられている。

【００４６】カードホルダ１１４に対するプローブカー
ド１２及び接続器７０の位置決め及びその維持は、それ
ぞれ、カードホルダ１１４に設けられた複数のピン１３
０及び１３２がプローブカード１２及び接続器７０に形
成された穴１３４及び１３６に嵌合されることにより行
われる。

【００４７】昇降トレー１１６に対するカードホルダ１
１４の位置決め及びその維持は、昇降トレー１１６に設
けられた複数のピン１３８がカードホルダ１１４に形成
された穴１４０に嵌合されることにより、行われる。

【００４８】回転リングすなわち昇降用リング１１８
は、リング１１８を受ける複数のアンダローラ１４２
と、リング１４４の外周面に接触する複数のサイドロー
ラ１４４とにより、スライドトレー１２０に組み付けら
れていると共に、回転位置を規制されている。両ローラ
１４２，１４４は、スライドトレー１２０に取り付けら
れている。

【００４９】昇降用リング１１８は、スライドトレー１
２０の前方に伸びる回転用グリップ１４６により、所定
の角度範囲内で昇降用リング１１８の軸線の周りに回転
させることができる。

【００５０】昇降トレー１１６はその外周面に昇降用溝
１４８を有し、昇降用リング１１８はこれの角度的回転
にともなって溝１４８内を移動するＺアップローラ１５
０を有する。昇降用溝１４８は、図１３に示すように、
一端側が低く、他端側が高くなるように、中央において
傾斜している。

【００５１】昇降トレー１１６は、昇降用リング１１８
が一方向へ回転されることにより低い位置から高い位置
に上昇され、昇降用リング１１８が他方向へ回転される
ことにより高い位置から低い位置に下降される。これに
より、カードホルダ１１４も昇降される。

【００５２】昇降トレー１１６の昇降は、ブラケット１
５２によりスライドトレー１２０に上下方向へ伸びる状
態に組み付けられた複数のガイドレール１５４と、各ガ
イドレール１５４に滑動可能に嵌合するガイド１５６と
により案内される。ガイド１５６は、昇降トレー１１６
に設けられている。

【００５３】スライドトレー１２０は、フレーム３０に
より形成される内側空間から前方に突出する出し入れ用
の取手１５８を有する。このため、スライドトレー１２
０は、取手１５８を利用して、内側空間に出し入れする
ことができる。

【００５４】検査装置１０において、図７に示すよう
に、接続器７０及び中継器７２は、予め組み立てられて
いると共に、相互に結合されており、中継器７２は押圧
板４４にねじ止めされている。

【００５５】また、図５に示すように、スライトトレー
１２０は、プローブカード１２をカードホルダ１１４に
収容した状態で、プローブカード１２がコンタクト板５
２の上方となる位置に移動されており、昇降トレー１１
６はベース２２の開口３２に受け入れられた状態に下降
されている。このため、プローブ１４はその針先をベー
ス２２の下方へ突出させている。

【００５６】上記状態において、上部フレーム３６が内
部空間を閉鎖する位置に変位され、押圧板４４が下降さ
れると、接続器７０及び中継器７２を組み合わせた接続
装置は、プローブカード１２の上に重ねられて、押圧板
４４によりプローブカード１２に押圧される（図５及び
図６参照）。この状態において、カードホルダ１１４は
その受け部１２６をベース２２の開口３２に位置され、
プローブ１４はその針先をコンタクト板に接近される。

【００５７】上記の結果、接続器７０の第１の導電体７
４はプローブカード１２のテスターランド１８に押圧さ
れる。押圧板４４の最下端位置は、押圧板４４がスライ
ドトレー１２０に設けられた複数のストッパ１６０に当
接することにより、制限される。このため、接続装置及
び押圧板が相互に及びカードホルダ１１４に過剰に押圧
されることが防止される。

【００５８】上記状態で、プローブ１４は、その先端の
高さ位置のばらつき、電極に対する接触状態の良否等の
検査をされる。検査時、コンタクト板５２は、ステージ
５４により上昇されて、プローブカード１２の針先に押
圧され、テスターから所定の電気信号を受ける。

【００５９】検査の針圧に対する反力は、プローブカー
ド１２から接続装置を介して押圧板４４に伝達される。
しかし、プローブカード１２と接続装置、並びに、接続
装置と押圧板４４が広範囲にわたって接触しているか
ら、プローブカード１２がカードホルダ１１４の受け部
１２６に受けられていることと相まって、部材相互間に
必要な平行度が小さくてよく、しかも針圧に対する反力
に起因する、プローブカード１２、接続装置及び押圧板
４４の撓みが著しく小さい。

【００６０】検査が終了すると、次のプローブカードを
検査するために、検査済みのプローブカードが検査装置
１０から取り出され、その代わりに新たなプローブカー
ドが検査装置１０に配置される。

【００６１】同種のプローブカードの交換は、次のよう
に行われる。

【００６２】先ず、押圧板４４が駆動機構４６により図
４に点線で示す位置に変位される。これにより、接続器
７２及び中継器７２は、図１４（Ａ）に示す位置から図
１４（Ｂ）に示す位置に移動される。すなわち、接続器
７２及び中継器７２は、カードホルダ１１４から取り除
かれると共に、スライドトレー１２０の出し入れの妨げ
にならない位置に移動される。

【００６３】次いで、昇降用リング１１８がハンドル１
４６により回転される。これにより、昇降トレー１１６
は、図１３及び図１４（Ｃ）に示すように、プローブ１
４がスライドトレー１２０の出し入れの妨げにならない
位置に上昇される。

【００６４】次いで、スライドトレー１２０が図１５に
示すように引き出される。この状態において、プローブ
カードの交換が行われる。図１５に示すスライドトレー
１２０の位置は、少なくともプローブカード１２がフレ
ーム３０による内部空間の外となる位置とすることがで
き、好ましくはカードホルダ１１４が内部空間の外とな
る位置とすることができる。

【００６５】スライドトレー１２０が図１５に示すよう
に引き出された状態において、検査済みのプローブカー
ド１２がカードホルダ１１４から取り出され、その代わ
りに同種の他のプローブカードがカードホルダ１１４に
配置される。

【００６６】プローブカードの着脱時、交換時にケーブ
ル１１０をコネクタ８６から外す必要がない。また、プ
ローブカードの着脱作業をフレーム３０、押圧板４４及
び接続装置に妨げられることなく行うことができるか
ら、プローブカードの交換の作業性がよく、交換作業が
安全になると共に交換作業を速く行うことができ、しか
も熟練を要しない。

【００６７】種類が異なるプローブカードの交換は、次
のように行われる。

【００６８】先ず、図１６（Ａ）に示す状態において、
結合用リング９２が角度的に回転されて、接続器７０と
中継器７２との結合が結合機構により解除される。

【００６９】次いで、押圧板４４が駆動機構４６により
図４に点線で示す位置に変位される。これにより、接続
器７２はプローブカード１２と共にカードホルダ１１４
に受けられているが、中継器７２は、図１６（Ａ）に示
す位置から図１６（Ｂ）に示す位置に移動される。すな
わち、中継器７２は、カードホルダ１１４から取り除か
れると共に、スライドトレー１２０の出し入れの妨げに
ならない位置に移動される。

【００７０】次いで、昇降用リング１１８がハンドル１
４６により回転される。これにより、昇降トレー１１６
は、図１３及び図１６（Ｃ）に示すように、プローブ１
４がスライドトレー１２０の出し入れの妨げにならない
位置に上昇される。

【００７１】次いで、スライドトレー１２０が図１６に
示すように引き出される。この状態において、プローブ
カードの交換が行われる。図１７に示すスライドトレー
１２０の位置は、少なくともプローブカード１２及び接
続器７０がフレーム３０による内部空間の外となる位置
とすることができ、好ましくはカードホルダ１１４が内
部空間の外となる位置とすることができる。

【００７２】次いで、使用済みのプローブカード１２及
び接続器７２がカードホルダ１１４から取り出され、そ
の代わりに同種の他のプローブカード及び対応する接続
器がカードホルダ１１４に配置される。

【００７３】上記のように、種類の異なるプローブカー
ドに交換するときは、接続器も交換される。これは、プ
ローブカードのテスターランドの配置位置がプローブカ
ードの種類により異なり、同じ接続器を異なるプローブ
カードに共通して用いることができないからである。し
たがって、新たな接続器は、新たなプローブカードのテ
スターランド１８を中継器７２の第２の導電体８０に接
続することができるものである。

【００７４】種類が異なるプローブカードの交換時にお
いても、ケーブル１１０をコネクタ８６から外す必要が
ない。また、接続器及びプローブカードの着脱作業をフ
レーム３０、押圧板４４及び中継器に妨げられることな
く行うことができるから、接続器及びプローブカードの
交換の作業性がよく、交換作業が安全になると共に交換
作業を速く行うことができ、しかも熟練を要しない。

【００７５】上記実施例において、カードホルダ１１４
は昇降トレー１１６と一体的であってもよい。また、接
続器及び中継器は、それぞれ、ねじ止めされた２つの部
材７６，７８及び８２，８４から形成しなくてもよい。

【００７６】図１８は、接続器１７０及び中継器１７２
をそれぞれ配線基板により形成された実施例を示す。接
続器１７０及び中継器１７２を用いて検査されるプロー
ブカード１２は、テスターランドの代わりに、それぞれ
が複数のプローブ１４に接続された複数のコネクタ１７
４を配線基板１６の上面に有する。

【００７７】接続器１７０は、プローブカード１２のコ
ネクタ１７４に接続される複数のコネクタ１７６を下面
に有すると共に、配線パターンによりコネクタ１７６に
接続された複数のコネクタ１７８を上面に有する。中継
器１７２は、接続器１７０のコネクタ１７８に接続され
る複数のコネクタ１８０を下面に有すると共に、配線パ
ターンによりコネクタ１８０に接続された複数のコネク
タ８６を上面に有する。各コネクタ８６には、ケーブル
１１０が接続される。

【００７８】コネクタ１７４及び１７６並びに１７８及
び１８０は、それらの結合及びその解除に力を殆ど必要
としないいわゆる無接点コネクタである。そのようなコ
ネクタの一例は、例えば実用新案登録第２５７６２３３
号に記載されている。しかし、そのようなコネクタの代
わりに、一般的なコネクタを用いてもよい。

【００７９】図１８に示す実施例においては、図１９に
示すように、プローブカード１２をカードホルダ１１４
に配置し、接続器１７０及び中継器１７２を重ね、中継
器１７２を複数のねじ部材により押圧板４４の下面に組
み付けることにより、検査可能なる。接続器１７０及び
中継器１７２の結合の際に、コネクタ１７４及び１７６
並びに１７８及び１８０がそれぞれ結合されて電気的に
接続される。

【００８０】プローブカード１２を交換するときは、接
続器１７０及び中継器１７２を押圧板４４により上昇さ
せた状態で、既に述べた実施例と同様に行えばよい。プ
ローブと接続板１７０とを交換するときは、接続器１７
０を中継器１７２から切り離した状態で、既に述べた実
施例と同様に行えばよい。

【００８１】上記実施例においては、接続器と中継器と
により接続装置を形成して、中継器を各種のプローブカ
ードに共通に用いていいるが、接続装置をプローブカー
ドの種類毎に用意してもよい。この場合、接続器及び中
継器の機能を備えた接続装置とされる。

【００８２】本発明は、上記実施例に限定されない。例
えば、本発明は、ニードルタイプ以外のプローブ、例え
ばブレードタイプ、ピンタイプ等、他のタイプのプロー
ブを用いたプローブカードの検査装置にも適用すること
ができる。それゆえに、本発明は、その趣旨を逸脱しな
い限り、種々変更することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るプローブ検査装置の一実施例を示
す平面図

【図２】図１に示す検査装置の正面図

【図３】図１に示す検査装置の右側面図

【図４】検査装置の上部フレームを開いた状態を示す断
面図

【図５】検査装置の主要部の縦断面図

【図６】図５における６−６線に沿って得た断面図

【図７】接続装置近傍の拡大断面図

【図８】図７の下面図

【図９】接続装置及びトレーの端部を拡大した断面図

【図１０】接続装置を除去した状態におけるトレーの部
分の平面図

【図１１】図１０における１１−１１線に沿って得た断
面図

【図１２】昇降トレー、昇降用リング及びスライドトレ
ーとの関係を示す平面図

【図１３】昇降トレーを上昇させた状態で昇降トレー、
昇降用リング及びスライドトレーとの関係を示す図

【図１４】プローブカードの交換動作を説明するための
概略図

【図１５】図１４に示す状態からスライドトレーを引き
出した状態を示す概略図

【図１６】プローブカード及び接続器の交換動作を説明
するための概略図

【図１７】図１６に示す状態からスライドトレーを引き
出した状態を示す概略図

【図１８】本発明で用いる接続装置の他の実施例を示す
分解斜視図

【図１９】図１８の接続装置をプローブカードと共にカ
ードホルダに配置した状態を示す概略図

【符号の説明】

１０ プローブカード検査装置 １２ プローブ １４ プローブ ２０ 筐体 ２２ ベース ３０ フレーム ３２ ベースの開口 ３４ 下部フレーム ３６ 上部フレーム ３８ 軸 ４０ 上部フレーム用駆動機構 ４４ 押圧板 ４６ 押圧板用の駆動機構 ５２ コンタクト板 ５４ ステージ ７０，１７０ 接続器 ７２，１７２ 中継器 ７４，８０ 第１及び第２の導電体 ７６ 接続板 ７８ 接続基板 ８２ 中継板 ８４ 中継基板 ８６ コネクタ ９２ 結合用リング（回転リング） ９４ 支持ローラ ９６ サイドローラ １００ 駆動機構 １１４ カードホルダ １１６ 昇降トレー １１８ 昇降用リング １２０ スライドトレー １２２ スライドレール １２４ カードホルダの開口 １２６ 受け部

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プローブカードの針先が接触されるコン
   タクト板と、 該コンタクト板の上方に空間を形成するフレームと、 前記空間に配置されたカードホルダであって前記コンタ
   クト板に対応する箇所に開口を有し、前記プローブカー
   ドを受ける受け部を前記開口の周りに有するカードホル
   ダと、 該カードホルダに配置されたプローブカードの上に配置
   される接続装置であってそのプローブカードのプローブ
   に接続される接続装置と、 前記カードホルダを前記フレームに、前記開口が前記コ
   ンタクト板の上方に位置する第１の位置と、少なくとも
   前記プローブカードが前記空間の外に位置する第２の位
   置であって前記第１の位置から水平方向に間隔をおいた
   第２の位置とに移動可能に組み付ける組み付け手段とを
   含む、プローブカードの検査装置。
2. 【請求項２】 さらに、前記コンタクト板の上方に位置
   するベースであって前記カードホルダを着脱可能に受け
   かつ前記コンタクト板に対応する箇所に第２の開口を有
   するベースを含み、前記カードホルダは、その一部を前
   記第２の開口に位置させた状態に前記ベースに配置され
   ている、請求項１に記載の検査装置。
3. 【請求項３】 前記組み付け手段は、前記フレームに間
   隔をおいて配置されて水平方向へ伸びる一対のレール
   と、該レールに沿って移動可能に配置されたスライドト
   レーと、該スライドトレーに回転可能に配置された昇降
   用リングと、該昇降用リングの内側に昇降可能に配置さ
   れた昇降トレーであって前記カードホルダが配置された
   昇降トレーとを備え、前記昇降トレー及び前記昇降用リ
   ングの一方は係止部を有し、前記昇降トレー及び前記昇
   降用リングの他方は前記係止部が滑動可能に係止する傾
   斜した溝を有する、請求項１又は２に記載の検査装置。
4. 【請求項４】 さらに、前記接続装置の上方にあって前
   記フレームに上下方向へ移動可能に配置された押圧板
   と、前記フレームに支持されて前記押圧板を前記接続装
   置に押圧する押圧体とを含む、請求項１，２又は３に記
   載の検査装置。
5. 【請求項５】 前記接続装置は、前記プローブカードの
   上側に配置される板状の接続器であってそのプローブカ
   ードのプローブに接続される複数の第１の導電体を有す
   る接続器と、該接続器の上側に配置された板状の中継器
   であって前記第１の導電体に接続された複数の第２の導
   電体を有し、前記フレームに配置された中継器と、前記
   接続器及び前記中継器を解除可能に結合する結合機構と
   を備え、前記中継器は前記押圧板に組み付けられてい
   る、請求項４記載の検査装置。
6. 【請求項６】 前記中継器及び前記押圧板は、それぞ
   れ、前記押圧板及び前記押圧体に組み付けられている、
   請求項５に記載の検査装置。
7. 【請求項７】 前記結合機構は、前記接続装置の周りを
   角度的に回転可能に前記押圧板又は前記中継器に配置さ
   れたリングであって前記接続器を相対的移動可能に受け
   るリングと、該リングを前記接続装置に対して角度的に
   回転させるべく前記押圧板又は前記中継器に配置された
   駆動機構とを備え、前記中継器は前記リングに該リング
   の角度的回転にともなって解除可能に係止されている、
   請求項６に記載の検査装置。
8. 【請求項８】 前記結合機構は、さらに、前記回転リン
   グの回転方向に間隔をおいて前記接続器及び前記回転リ
   ングの一方に配置された複数のローラと、前記回転の回
   転方向に間隔をおいて前記接続器及び前記回転リングの
   他方に配置された複数の係止片であって前記ローラに解
   除可能に係止する係止片と、前記回転リングを前記接続
   装置に対して角度的に回転させるべく前記押圧板に配置
   された駆動機構とを備える、請求項７に記載の検査装
   置。
9. 【請求項９】 前記フレームは、左右方向に間隔をおい
   て前記ベースに配置された下部フレームと、該下部フレ
   ームと共同して前記空間を形成すべく前記下部フレーム
   に配置された上部フレームであって前記押圧体を支持し
   かつ前記空間を上方へ開放する上部フレームとを備え、
   前記カードホルダは、その一部を前記第２の開口に位置
   させ状態に前記ベースフレームに配置されていると共
   に、前記下部フレームの前方への開放箇所を介して前記
   空間に出入り可能である、請求項２から８のいずれか１
   項に記載の検査装置。