JP2000298963A

JP2000298963A - 圧電素子駆動装置

Info

Publication number: JP2000298963A
Application number: JP11105889A
Authority: JP
Inventors: Masamichi Shimoda; 雅通下田
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1999-04-13
Filing date: 1999-04-13
Publication date: 2000-10-24

Abstract

(57)【要約】【課題】荷電制御型圧電素子であっても環境条件や通
電時間によって圧電素子のヒステリシス特性に変化が生
じてしまう。【解決手段】圧電素子にかかる電圧を検出し測定信号
と検出信号から調整ゲインを求め、制御信号に調整ゲイ
ンを乗じて出力する補正動作を行う。従って、Ｃ／Ｃｐ
の比が変化してもその分制御信号が補正されるので、環
境条件や温度係数の違いから発生するループゲイン変動
を防ぐことが出来る。また、磁気ヘッド毎にこの補正動
作を行って磁気ヘッド毎に調整ゲインを与えると、磁気
ヘッド毎のループゲイン変動も防ぐことが出来る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電素子駆動装置
に関し、特に、磁気ディスク装置の磁気ヘッド位置決め
回路に使用して好適な圧電素子駆動装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスク装置の高記録密度化のため
に、ボイスコイルモータ（以下ＶＣＭという）を用いた
粗動アクチュエータと、圧電素子を用いた微動アクチュ
エータによって磁気ヘッドを高精度に位置決めする２段
サーボ方式が検討されている。圧電素子は電界中におか
れると結晶が伸縮する材料であり、かかる効果を利用し
て超精密位置決めが行われる。図５は圧電素子の電圧制
御型駆動回路であり、同図において、演算増幅器９０１
と抵抗器９０２，９０３とによって反転増幅器を構成さ
れており、入力信号に比例した電圧が圧電素子９０４に
与えられ、圧電素子の変位が制御される。

【０００３】上記構成においては圧電素子はその印加電
圧によって制御され、圧電素子は印加電圧によって一般
に図７に示すようなヒステリシス特性を有する。従っ
て、ヘッド位置決めのフィードバック系を組んだとき
に、このヒステリシス特性がループゲインの変動として
現れてしまう。

【０００４】これに対し、例えば特開平９−１８２４６
６号公報に記載されているように、圧電素子を電荷で制
御すると、図６のように、ヒステリシス特性が小さくな
ることが知られている。図４は電荷制御型駆動回路の一
例であり、同図においては、圧電素子１０１に対して電
荷検出コンデンサ１０２が直列に挿入されて圧電素子１
０１と電荷検出コンデンサ１０２の電荷は等しくなって
いる。

【０００５】電荷検出コンデンサ１０２の両端電圧は、
演算増幅器１１０と抵抗器１１１〜１１４で構成される
差動増幅器によって演算増幅器１２０に帰還されてお
り、この演算増幅器１２０の入力信号Ｖｉｎに比例した
電荷が圧電素子１０１に供給される。この構成によっ
て、圧電素子においては、図６に示したようなヒステリ
シスの小さい特性が得られるので、ループゲインの変動
が押さえられてヘッドの位置決め精度の悪化を防げる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の圧電素
子駆動装置においては、以下のような課題があった。す
なわち、上記構成において、抵抗器１２２／抵抗器１２
１の比をＡ、抵抗器１１３／抵抗器１１１（＝抵抗器１
１４／抵抗器１１２）の比をＢとすると、入力信号Ｖｉ
ｎから圧電素子１０１に加わる電圧Ｖｐまでの交流的な
ゲインはＶｐ／Ｖｉｎ＝（Ｃ／Ｃｐ）×（Ａ／Ｂ）と表
せる。Ｃは電荷検出コンデンサ１０２の静電容量、Ｃｐ
は圧電素子１０１の静電容量である。

【０００７】圧電素子１０１はＨＤＡ内部に位置し、電
荷検出コンデンサ１０２は基板上に位置しているので、
両者の周りの雰囲気温度は環境条件や通電時間によって
違ってしまう。また、圧電素子１０１と電荷検出コンデ
ンサ１０２の温度係数も違うので、これらの原因により
Ｃ／Ｃｐの比が変わり、この結果入力電圧から圧電素子
１０１が発生する電圧までのゲインが変動することにな
る。言い換えれば、図６の傾きが変わることになる。

【０００８】本発明は、上記課題にかんがみてなされた
もので、環境条件や通電時間等の条件が変化した場合で
も、高精度かつ高信頼性である圧電素子駆動装置を提供
することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１にかかる発明は、圧電素子に対して直列に
電荷検出コンデンサを挿入し、この電荷検出コンデンサ
の両端の電圧をフィードバックすることにより入力信号
に比例した電荷を圧電素子に供給して、この圧電素子を
駆動する圧電素子駆動装置であって、圧電素子を駆動す
るための制御信号を発生させる制御信号発生手段と、こ
の制御信号発生手段からの制御信号によって圧電素子に
発生する電圧を検出する電圧検出手段と、上記制御信号
を入力とし検出電圧を出力とするゲインに対する、上記
圧電素子の静電容量と電荷検出用コンデンサの静電容量
との比の変動に基づく理想値からのずれを減じるための
調整ゲインを算出する調整ゲイン算出手段と、調整ゲイ
ン算出手段の算出した調整ゲインを上記制御信号に乗じ
ることにより上記フィードバック制御のループゲイン変
動を補正するループゲイン補正手段とを具備する構成と
してある。

【００１０】すなわち、本発明において圧電素子は直列
に電荷検出コンデンサを挿入されており、この電荷検出
コンデンサの両端の電圧をフィードバックすることによ
り入力信号に比例した電荷を圧電素子に供給する電荷制
御型駆動回路で圧電素子を駆動する。また、制御信号発
生手段は圧電素子を駆動するための制御信号を発生さ
せ、電圧検出手段は圧電素子にて発生している電圧を検
出する。

【００１１】調整ゲイン算出手段においては制御信号を
入力として検出電圧を出力とするゲインを考え、このゲ
インにおける圧電素子の静電容量と電荷検出用コンデン
サの静電容量との比の変動に基づく理想値からのずれを
減じるための調整ゲインを算出する。調整ゲイン算出手
段が調整ゲインを算出すると、ループゲイン補正手段は
調整ゲイン算出手段の算出した調整ゲインを上記圧電素
子の駆動を制御するための制御信号に乗じることにより
上記フィードバック制御のループゲイン変動を補正す
る。

【００１２】ここで、制御信号発生手段にて発生させる
制御信号は圧電素子を駆動するためのものであって、圧
電素子駆動中においては圧電素子に当該駆動をさせた信
号であり、圧電素子駆動前には圧電素子の発生電圧を測
定可能な所定の信号を発生させるなどすればよい。ま
た、この制御信号は増幅されるなどして、上記直列に接
続された圧電素子及び電荷検出コンデンサに印加するよ
う構成すればよく、この結果、圧電素子にて所望の電圧
が発生する。

【００１３】調整ゲイン算出手段にて算出する調整ゲイ
ンは、かかるゲインによって圧電素子の静電容量と電荷
検出用コンデンサの静電容量との比の変動に基づく理想
値からのずれを減じることができればよく、その構成の
具体例として、請求項２にかかる発明は、請求項１に記
載の圧電素子駆動装置において、上記調整ゲイン算出手
段が、入力される検出電圧からｍａｘ値−ｍｉｎ値を計
算し、理想値との比を求めて、この算出された比を調整
ゲインとする構成としてある。

【００１４】すなわち、例えば上述の図４における回路
においては、入力信号Ｖｉｎから圧電素子１０１に加わ
る電圧Ｖｐまでの交流的なゲインは、Ｖｐ／Ｖｉｎ＝
（Ｃ／Ｃｐ）×（Ａ／Ｂ）と表すことができる。しか
し、環境条件によってＣ／Ｃｐは変動するので、初期の
理想とするＣ／Ｃｐの値からずれが生ずる。従って、実
際に計測した値と理想値との比を調整ゲインとして、上
記制御信号に乗ずるよう構成すれば、理想的なＣ／Ｃｐ
に近づけるように制御信号に対して補正を行うことがで
きる。

【００１５】また、以上の発明を装置として具現化する
には様々な態様が考えられるが、その構成の一例とし
て、請求項３にかかる発明は、請求項１または請求項２
に記載の圧電素子駆動装置であって、上記制御信号発生
手段と電圧検出手段と調整ゲイン算出手段とが、ＣＰＵ
内に備えられる構成としてある。

【００１６】すなわち、ＣＰＵは様々な制御を行うのに
好適なデバイスであり、制御信号発生手段と電圧検出手
段と調整ゲイン算出手段とをＣＰＵ内に構成することに
より、これらの制御を容易に行うことができる。

【００１７】上述ように、圧電素子を駆動するための制
御信号に補正を加えることによってより精密に圧電素子
の駆動を制御することが可能となる。かかる精密駆動が
可能な圧電素子は様々な装置に応用可能であるが、その
好適な応用例として、請求項４にかかる発明は、請求項
１〜請求項３のいずれかに記載の圧電素子駆動装置であ
って、本圧電素子駆動装置が、ボイスコイルモータから
なる粗動アクチュエータと圧電素子からなる微動アクチ
ュエータとを備えた２段サーボ方式によって磁気ヘッド
位置を決定する磁気ディスク装置の磁気ヘッド位置決め
回路において、この圧電素子を駆動するために使用され
る構成としてある。

【００１８】すなわち、本発明にかかる圧電素子駆動装
置によって、より高精度に駆動可能になった圧電素子を
上記微動アクチュエータに使用する。この結果、２段サ
ーボ方式によって磁気ヘッドを高精度に位置決めされ、
磁気ディスク装置の高記録密度化が可能となる。

【００１９】また、磁気ディスク装置においては、一般
に磁気ヘッドは複数個であり、かかる複数の磁気ヘッド
全てに本発明を適用することが考えられる。このような
構成の具体例として請求項５にかかる発明は、請求項４
に記載の圧電素子駆動装置であって、上記磁気ヘッド位
置決め回路は複数の磁気ヘッドを制御し、これらの磁気
ヘッド毎に個々の調整ゲインを有する構成としてある。

【００２０】すなわち、磁気ヘッド位置決め回路におい
て複数の磁気ヘッドを制御するように構成し、これらの
磁気ヘッド毎に個々の調整ゲインを与えつつ位置決めを
行う。従って、磁気ヘッド毎のループゲイン変動も防ぐ
ことができる。

【００２１】さらに、本発明によっては圧電素子と電荷
検出コンデンサとの環境条件による特性の変化に対応す
ることができるが、環境条件は徐々に変化していくもの
である。そこで、環境条件の変化に対応するための構成
の具体例として、請求項６にかかる発明は、請求項１〜
請求項５のいずれかに記載の圧電素子駆動装置であっ
て、上記ループゲイン補正手段が、本圧電素子駆動装置
動作中の一定時間毎に補正を行う構成としてある。

【００２２】すなわち、ループゲイン補正手段が本圧電
素子駆動装置動作中の一定時間毎に補正を行うことによ
って、環境条件の変化に補正動作が追従して一定時間経
過後もループゲイン変動が生じなくなる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、図面にもとづいて本発明の
実施形態を説明する。図１は、本発明にかかる圧電素子
駆動装置を使用した磁気ディスク装置のヘッド位置決め
回路をブロック図によって示している。同図において、
磁気ディスク装置のヘッド位置決め回路は、磁気ヘッド
の位置を決定する位置情報信号に応じて磁気ヘッド位置
を決定する回路である。この磁気ヘッド位置決め回路
は、位置情報信号と圧電素子電圧信号とを入力として各
種のディジタル演算を行って磁気ヘッド位置を制御する
ＣＰＵ３００と、圧電素子１０１を駆動する電荷制御型
駆動回路１００と、ＶＣＭ２０１を駆動するＶＣＭ駆動
回路２００を備えている。

【００２４】ＣＰＵ３００は、入力される位置情報信号
３０１に基づいて磁気ヘッドの粗動を制御するための粗
動制御信号４０１と、微動を制御するための微動制御信
号４１１とを出力するようになっており、調整ゲインを
計算するために圧電素子電圧信号４２２を入力するよう
になっている。ＶＣＭ駆動回路２００は、入力信号に応
じてＶＣＭ２０１を駆動する回路であり、このＶＣＭ駆
動回路２００の出力信号によって磁気ヘッド位置の粗動
が制御される。

【００２５】電荷制御型駆動回路１００は、入力信号に
比例した電荷を与えつつ圧電素子１０１を駆動する回路
であり、この電荷制御型駆動回路１００の出力信号によ
って磁気ヘッド位置の微動が制御される。さらに、電荷
制御型駆動回路１００は、ＣＰＵ３００の処理によって
調整ゲインを計算するために圧電素子電圧信号４２１を
出力可能になっている。

【００２６】また、ＣＰＵ３００は、制御や処理をディ
ジタル信号に基づいて行うデバイスであり、電荷制御型
駆動回路１００とＶＣＭ駆動回路２００とは、処理をア
ナログ信号に基づいて行う回路である。従って、ＣＰＵ
３００から出力されるディジタル信号である粗動制御信
号４０１はＤ／Ａ変換回路４００を介してアナログ信号
に変換され、粗動制御信号４０２としてＶＣＭ駆動回路
２００に入力されるようになっている。

【００２７】同様にディジタル信号である微動制御信号
４１１はＤ／Ａ変換回路４１０を介してアナログ信号に
変換され、微動制御信号４１２として電荷制御型駆動回
路１００に入力されるようになっている。逆に、アナロ
グ信号である圧電素子電圧信号４２１はＡ／Ｄ変換回路
４２０を介してディジタル信号に変換され、圧電素子電
圧信号４２２としてＣＰＵ３００に入力されるようにな
っている。

【００２８】図２はＣＰＵ３００の内部構成を示すブロ
ック図である。同図において、ＣＰＵ３００は、ディジ
タル補償器３１０と、ゲイン調整部３２０と、測定信号
発生器３３０と、ゲイン測定部３４０と、スイッチ３５
０とを備えている。ディジタル補償器３１０は、位置情
報信号３０１を入力として位置決めに必要な補償演算を
行って粗動制御信号４０１と制御信号３１１を出力する
ようになっている。

【００２９】この粗動制御信号４０１は上述のＶＣＭ２
０１を駆動するための制御信号であり、制御信号３１１
は微動制御信号４１１の元となる信号であって以下の処
理がなされる。すなわち、測定信号発生器３３０は圧電
素子１０１に発生する電圧を測定するための測定信号３
３１を発生させ、測定時にスイッチ３５０によって微動
制御信号４１１と同経路にて電荷制御型駆動回路１００
に入力される。

【００３０】ゲイン測定部３４０は、測定信号３３１と
圧電素子電圧信号４２２から調整ゲインを求めるように
なっており、求められたゲイン調整値３４１はゲイン調
整部３２０に入力される。ゲイン調整部３２０にはこの
ゲイン調整値３４１と制御信号３１１が入力され、制御
信号３１１とゲイン調整値３４１とが乗じられてゲイン
調整信号３２１として出力される。かかるゲイン調整信
号３２１は、スイッチ３５０に切り替えられつつ微動制
御信号４１１として電荷制御型駆動回路１００に入力さ
れる。従って、電荷制御型駆動回路１００のループゲイ
ン変動が補正される。

【００３１】この意味において、ゲイン調整部３２０と
測定信号発生器３３０とが上記制御信号発生手段を構成
し、ゲイン測定部３４０が電圧検出手段を構成し、ゲイ
ン測定部３４０が調整ゲイン算出手段を構成し、ゲイン
調整部３２０がループゲイン補正手段を構成する。

【００３２】また、電荷制御型駆動回路１００は、上述
の従来例と同様に図４に示す回路で構成される。すなわ
ち、圧電素子１０１に対し電荷検出コンデンサ１０２が
直列に挿入され、直列に接続した圧電素子１０１と電荷
検出コンデンサ１０２を演算増幅器１２０が駆動する。

【００３３】そして、電荷検出コンデンサ１０２の両端
電圧は、電圧フォロワ１３０及び電圧フォロワ１３１を
介して抵抗器１１１〜抵抗器１１４と演算増幅器１１０
から構成される差動増幅器に送られ、抵抗器１２２を介
して演算増幅器１２０にフィードバックされる。入力信
号は微動制御信号４１１であり、電圧フォロワ１３１の
出力が圧電素子電圧信号４２１になる。また、圧電素子
１０１と電荷検出コンデンサ１０２にそれぞれ並列に入
っている抵抗器１０３、１０４は直流安定化のためであ
る。

【００３４】以下、上記構成からなる圧電素子駆動装置
の動作を説明する。本実施形態において上記磁気ヘッド
位置決め回路を使用した磁気ディスク装置は、粗動アク
チュエータ用としてＶＣＭ２０１を持ち、微動アクチュ
エータ用として圧電素子１０１を持つ２段アクチュエー
タ方式のサーボ機構を有している。磁気ヘッドはＶＣＭ
２０１によって目標トラック近傍へ移動し、そこから圧
電素子１０１に通電して目標トラックへ高精度に位置決
めを行う。

【００３５】これらの動作は上述のようにＣＰＵ３００
が担っており、目標トラック近傍へのシーク動作の際
は、位置情報信号３０１をもとに補償演算を行い粗動制
御信号４０１を出力する。粗動制御信号４０１はＤ／Ａ
変換回路４００でアナログの粗動制御信号４０２に変換
され、その後、ＶＣＭ駆動回路２００によって電流に変
換されてＶＣＭ２０１に送られることで、磁気ヘッドが
所望の制御通りに駆動する。

【００３６】目標トラック近傍まで磁気ヘッドが来る
と、今度は磁気ヘッドに対して微動制御を行う。このと
き、ＣＰＵ３００は制御信号３１１をゲイン調整部３２
０に対して出力し、ゲイン調整部３２０が出力するゲイ
ン調整信号３２１はスイッチ３５０、Ｄ／Ａ変換回路４
１０、電荷制御型駆動回路１００を介して制御信号３１
１に比例した電荷を圧電素子１０１に与えることで磁気
ヘッドを微少に制御する。

【００３７】次に、ループゲインの調整について説明す
る。シーク時などのように圧電素子１０１に通電してい
ない状態では、スイッチ３５０の切り替えにより測定信
号３３１を微動制御信号４１１としてＤ／Ａ変換回路４
１０へ送る。ここで、測定信号３３１としては制御帯域
付近の交流信号が望ましいので、数ｋＨｚ程度の正弦波
信号を測定信号発生器３３０で生成している。

【００３８】ゲイン測定部３４０では、このとき圧電素
子１０１に加わっている電圧を圧電素子電圧信号４２２
として受け取る。その後、ディジタル信号である圧電素
子電圧信号４２２からｍａｘ値−ｍｉｎ値を計算し、ノ
ミナル値との比を求めて、その比をゲイン調整値３４１
としてゲイン調整部３２０に送る。ゲイン調整部３２０
は、このゲイン調整値３４１を制御信号３１１に乗じて
ゲイン調整信号３２１として出力する。

【００３９】ここで、仮にＣ／Ｃｐ＝１として考えた場
合、Ｃ／Ｃｐ＞１になったときは、ゲイン調整部３２０
で制御信号３１１は「１」以下のゲイン調整値３４１を
掛けて出力する。逆に、Ｃ／Ｃｐ＜１になったときは、
ゲイン調整部３２０で制御信号３１１は「１」以上のゲ
イン調整値３４１を掛けて出力する。この動作により、
環境条件の影響などや温度係数の違いによってＣ／Ｃｐ
の比が変わっても、それに応じて制御信号３１１はゲイ
ン調整部３２０でゲイン調整されるので、ループゲイン
は一定に保たれる。

【００４０】また、この一連の補正動作を磁気ディスク
装置に電源が入ってから一定時間毎に行うことで、環境
条件の変化に補正動作が追従して、ループゲイン変動を
生じなくすることが出来る。さらに、複数の磁気ヘッド
を搭載した磁気ディスクの場合、圧電素子１０１はヘッ
ド毎に存在しまたヘッド毎にＣｐの値も違うので、ゲイ
ン調整値３４１をヘッド毎に持てば、ヘッド毎のバラツ
キにも対応できる。

【００４１】このように、上述の実施形態によってＣ／
Ｃｐの環境条件等の変動に基づく理想値とのずれを相殺
することができるが、ハードウェア構成としては必ずし
も上記のようなものに限ることもない。図３は本発明の
他の実施形態を示すブロック図である。この実施形態が
図１と違う点はＡ／Ｄ変換回路４２０が比較器４２５に
なっている点である。

【００４２】他の構成は上記図１に示す実施形態と同様
であり、この場合、測定信号発生器３３０では、測定信
号３３１の振幅を少しずつ大きくしていき比較器９の出
力が切り替わったときの測定信号３３１の振幅をゲイン
測定部３４０で記憶し、その振幅とノミナル値とから調
整ゲインを測定する。この方が安価に装置を構成でき
る。

【００４３】このように、本発明においては、圧電素子
にかかる電圧を検出し測定信号と検出信号から調整ゲイ
ンを求め、制御信号に調整ゲインを乗じて出力する補正
動作を行う。従って、Ｃ／Ｃｐの比が変化してもその分
制御信号が補正されるので、環境条件や温度係数の違い
から発生するループゲイン変動を防ぐことが出来る。ま
た、磁気ヘッド毎にこの補正動作を行って磁気ヘッド毎
に調整ゲインを与えると、磁気ヘッド毎のループゲイン
変動も防ぐことが出来る。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
環境条件や通電時間等の条件が変化した場合でも、高精
度かつ高信頼性である圧電素子駆動装置を提供すること
ができる。また、請求項２における発明によれば、簡易
な構成により調整ゲインを算出することができる。

【００４５】さらに、請求項３における発明によれば、
簡易な構成により本発明による制御を行うことができ
る。さらに、請求項４における発明によれば、磁気ディ
スク装置の精度が向上し、高記録密度化を図ることがで
きる。

【００４６】さらに、請求項５における発明によれば、
複数の磁気ヘッドを有する磁気ディスク装置に本発明を
適用することができる。さらに、請求項６における発明
によれば、継続して高精度に圧電素子を駆動することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる圧電素子駆動装置を使用した磁
気ディスク装置のヘッド位置決め回路を示すブロック図
である。

【図２】ＣＰＵの内部構成を示すブロック図である。

【図３】本発明の他の実施形態を示すブロック図であ
る。

【図４】電荷制御型駆動回路の一例にかかる回路図であ
る。

【図５】電圧制御型駆動回路の一例にかかる回路図であ
る。

【図６】電荷制御型の圧電素子のヒステリシス特性を示
す図である。

【図７】電圧制御型の圧電素子のヒステリシス特性を示
す図である。

【符号の説明】

１００電荷制御型駆動回路２００ＶＣＭ駆動回路３００ＣＰＵ３０１位置情報信号３１０ディジタル補償器３１１制御信号３２０ゲイン調整部３２１ゲイン調整信号３３０測定信号発生器３３１測定信号３４０ゲイン測定部３４１ゲイン調整値３５０スイッチ４００Ｄ／Ａ変換回路４０１粗動制御信号４１０Ｄ／Ａ変換回路４１１微動制御信号４２０Ａ／Ｄ変換回路４２２圧電素子電圧信号

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電素子に対して直列に電荷検出コンデ
ンサを挿入し、この電荷検出コンデンサの両端の電圧を
フィードバックすることにより入力信号に比例した電荷
を圧電素子に供給して、この圧電素子を駆動する圧電素
子駆動装置であって、圧電素子を駆動するための制御信号を発生させる制御信
号発生手段と、この制御信号発生手段からの制御信号によって圧電素子
に発生する電圧を検出する電圧検出手段と、上記制御信号を入力とし検出電圧を出力とするゲインに
対する、上記圧電素子の静電容量と電荷検出用コンデン
サの静電容量との比の変動に基づく理想値からのずれを
減じるための調整ゲインを算出する調整ゲイン算出手段
と、調整ゲイン算出手段の算出した調整ゲインを上記制御信
号に乗じることにより上記フィードバック制御のループ
ゲイン変動を補正するループゲイン補正手段とを具備す
ることを特徴とする圧電素子駆動装置。
【請求項２】上記請求項１に記載の圧電素子駆動装置
において、上記調整ゲイン算出手段は、入力される検出電圧からｍ
ａｘ値−ｍｉｎ値を計算し、理想値との比を求めて、こ
の算出された比を調整ゲインとする圧電素子駆動装置。
【請求項３】上記請求項１または請求項２に記載の圧
電素子駆動装置であって、上記制御信号発生手段と電圧検出手段と調整ゲイン算出
手段とがＣＰＵ内に備えられることを特徴とする圧電素
子駆動装置。
【請求項４】上記請求項１〜請求項３のいずれかに記
載の圧電素子駆動装置であって、本圧電素子駆動装置が、ボイスコイルモータからなる粗
動アクチュエータと圧電素子からなる微動アクチュエー
タとを備えた２段サーボ方式によって磁気ヘッド位置を
決定する磁気ディスク装置の磁気ヘッド位置決め回路に
おいて、この圧電素子を駆動するために使用されること
を特徴とする圧電素子駆動装置。
【請求項５】上記請求項４に記載の圧電素子駆動装置
であって、上記磁気ヘッド位置決め回路が複数の磁気ヘッドを制御
し、これらの磁気ヘッド毎に個々の調整ゲインを有する
ことを特徴とする圧電素子駆動装置。
【請求項６】上記請求項１〜請求項５のいずれかに記
載の圧電素子駆動装置であって、上記ループゲイン補正手段が、本圧電素子駆動装置動作
中の一定時間毎に補正を行うことを特徴とする圧電素子
駆動装置。