JP2000303190A - シャドウマスクの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 適正なエッチング液を容易に調整することが
でき、かつエッチング液の寿命を延ばして、廃棄を低減
できるシャドウマスクの製造方法を得ることを目的とす
る。 【解決手段】 シャドウマスクの製造方法において、エ
ッチング実施時のエッチング液の濃度に対して保管、運
搬時のエッチング液濃度を相対的に低濃度とし、エッチ
ング実施時にその相対的に低濃度のエッチング液に鉄と
塩素を添加して化学反応により相対的に高濃度のエッチ
ング液を作り、この相対的に高濃度のエッチング液をエ
ッチング実施時のエッチング液に適宜添加した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、カラー受像管用
シャドウマスクの製造方法に係り、特に開孔を形成する
エッチングを改善したシャドウマスクの製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一般にカラー受像管は、図４に示すよう
に、パネル１と漏斗状のファンネル２とからなる外囲器
を有し、そのパネル１の内面に、青、緑、赤に発光する
３色蛍光体層からなる蛍光体スクリーン３が設けられ、
この蛍光体スクリーン３に対向して、その内側に多数の
開孔が所定の配列で形成されたシャドウマスク４が配置
されている。また、ファンネル２のネック６内に３電子
ビーム７B ，７G ，７Rを放出する電子銃８が配設され
ている。そして、この電子銃８から放出される３電子ビ
ーム７B ，７G ，７R をファンネル２の外側に装着され
た偏向装置１０により偏向し、シャドウマスク４を介し
て蛍光体スクリーン３を水平、垂直走査することによ
り、カラー画像を表示する構造に形成されている。

【０００３】上記シャドウマスク４は、電子銃８から放
出される３電子ビーム７B ，７G ，７R を選別して、蛍
光体スクリーン３を構成する３色蛍光体層に入射させる
ための色選別電極であり、蛍光体スクリーン３上に色純
度の良好な画像を表示するためには、開孔を異なる角度
で横切る３電子ビーム７（７B ，７G ，７R ）の通過量
を一定にし、かつ３電子ビーム７が開孔の内壁に衝突し
て蛍光体スクリーン方向に反射しない形状にする必要が
ある。

【０００４】その開孔形状として、一般にシャドウマス
ク４の開孔は、図５に示すように、蛍光体スクリーン側
の面に形成された大孔１２と電子銃側の面に形成された
小孔１３とが電子銃の面に近い位置で合致した形状に形
成され、かつ大孔１２の内壁に衝突して蛍光体スクリー
ン方向に反射する電子ビーム７（７B ，７G ，７R ）を
なくすため、大孔１２が小孔１３に対して約３倍の面積
に形成されている。

【０００５】従来より上記シャドウマスク４の開孔は、
フォトエッチング法により形成されている。すなわち、
鉄材または鉄・ニッケル合金材（アンバー材）などから
なる帯状の金属薄板の両面に感光剤を塗布してフォトレ
ジストを形成する。ついでこの両面のフォトレジスト
に、上記シャドウマスク４の大孔１２および小孔１３に
対応するパターンが形成された一対のフォトマスクを密
着して露光し、両面のフォトレジストにこのフォトマス
クのパターンを焼付ける。ついでこのパターンの焼付け
られた両面のフォトレジストを現像して、上記シャドウ
マスク４の大孔１２および小孔１３に対応するパターン
からなるレジストを形成する。ついでこのレジストの形
成された金属薄板に塩化第２鉄を主成分とするエッチン
グ液をスプレーして、一方の面からの大孔１２と他方の
面からの小孔１３とが合致した開孔をエッチング形成す
る方法で形成している。

【０００６】そのエッチングは、金属薄板を長手方向に
連続的に走行移動させながら、エッチングチャンバー内
で金属薄板の両面にエッチング液をスプレーするととも
に、スプレーされたエッチング液を回収する経路の途中
に設けられた再生装置で再生してエッチング液槽に回収
し、その回収エッチング液を再使用する方法でおこなわ
れている。その再生装置での回収エッチング液の再生
は、一定のエッチング能力を保持するように回収エッチ
ング液に塩素と水を供給して、金属薄板のエッチングに
より生成した塩化第１鉄を塩化第２鉄にし、回収エッチ
ング液の温度、比重、塩化第２鉄の濃度などを所定の規
定値に保つようにおこなわれる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、カラー
受像管のシャドウマスクの開孔は、フォトエッチング法
により形成され、その開孔のエッチングは、レジストの
形成された金属薄板の両面に塩化第２鉄を主成分とする
エッチング液をスプレーするとともに、スプレーされた
エッチング液を再生装置で再生し、その回収エッチング
液を再使用する方法でおこなわれている。

【０００８】しかし、上記従来のエッチング方法には、
つぎのような問題がある。

【０００９】一般に塩化第２鉄溶液は、濃度が高いほど
凝固点が低く、高濃度の塩化第２鉄溶液は、保管、運搬
に不適である。一方、フォトエッチング法によりシャド
ウマスクの開孔をエッチング形成する場合、所望形状の
開孔を安定に形成するためには、温度が低く、比重、濃
度の高いエッチング液がよい。しかし、温度が低いとエ
ッチングに時間がかかりすぎるため、エッチングには温
度を高くすることが望まれる。このようなことから、安
定な開孔形成とエッチング時間の短縮を得るためには、
温度６５〜７５℃、比重１．４９０〜１．４９５、濃度
５２．５°Be程度のエッチング液が望まれる。しかし、
濃度５２．５°Beの塩化第２鉄溶液は、凝固点が約２５
℃であるため、エッチングを停止してエッチング液を放
置した場合、温度低下にともなってエッチング液が常温
になると凝固する。

【００１０】つまり、所望形状、大きさの開孔を安定か
つ時間をかけることなく短時間にエッチング形成するた
めには、５２．５°Be程度の相対的に高濃度のエッチン
グ液がよいが、保管、運搬に対しては、４７．５°Be程
度の相対的に低濃度の方がよいという問題がある。

【００１１】また、特に鉄・ニッケル合金からなる金属
薄板をエッチングする場合は、エッチングの進行にとも
なってエッチング液中のニッケルが増え、エッチング能
力が低下して開孔面積のばらつきによるむら品位の劣化
が生ずる。またエッチング速度が低下し、帯状金属薄板
に開孔の大きさがエッチングの途中で変化する。しか
も、そのエッチング能力を低下させるニッケルをエッチ
ング液から取除くことは容易でない。そのため、鉄・ニ
ッケル合金からなる金属薄板をエッチングする場合は、
ニッケル濃度の規制値を設定し、規制値を越える時点を
エッチング液の寿命としで廃棄している。たとえばディ
スプレイ管に用いられる高精細シャドウマスクの開孔を
エッチング形成する場合は、規制値を約２％とし、この
規制値を越える時点で廃棄しており、エッチング液の排
気量が多いという問題がある。

【００１２】この発明は、上記問題点に鑑みてなされた
ものであり、適正なエッチング液を容易に調整すること
ができ、かつエッチング液の寿命を延ばして、廃棄を低
減できるシャドウマスクの製造方法を得ることを目的と
する。

【００１３】

【課題を解決するための手段】シャドウマスクの開孔に
対応するパターンからなるレジストが形成された金属薄
板の板面に塩化第２鉄を主成分とするエッチング液をス
プレーして上記開孔をエッチング形成するとともに、ス
プレーされたエッチング液を回収して再使用するシャド
ウマスクの製造方法において、エッチング実施時のエッ
チング液の濃度に対して保管、運搬時のエッチング液の
濃度を相対的に低濃度とし、エッチング実施時にその相
対的に低濃度のエッチング液に鉄と塩素を添加して化学
反応により相対的に高濃度のエッチング液を作り、この
相対的に高濃度のエッチング液をエッチング実施時のエ
ッチング液に適宜添加した。

【００１４】また、シャドウマスクの開孔に対応するパ
ターンからなるレジストが形成された金属薄板の板面に
塩化第２鉄を主成分とするエッチング液をスプレーして
上記開孔をエッチング形成するとともに、スプレーされ
たエッチング液を回収して再使用するシャドウマスクの
製造方法において、エッチング実施時のエッチング液の
濃度よりも相対的に低濃度の塩化第２鉄溶液を保管して
おき、この相対的に低濃度の塩化第２鉄溶液に鉄と塩素
を添加して化学反応により相対的に高濃度の塩化第２鉄
溶液を作り、この相対的に高濃度の塩化第２鉄溶液をエ
ッチング実施時のエッチング液に適宜添加してエッチン
グ液の濃度と比重を一定に保つようにした。

【００１５】さらに、シャドウマスクの開孔に対応する
パターンからなるレジストが形成された鉄を主成分とす
る合金からなる金属薄板の板面に塩化第２鉄を主成分と
するエッチング液をスプレーして上記開孔をエッチング
形成するとともに、スプレーされたエッチング液を回収
して再使用するシャドウマスクの製造方法において、エ
ッチング実施時のエッチング液の濃度よりも相対的に低
濃度の塩化第２鉄溶液に鉄と塩素を添加して化学反応に
より相対的に高濃度の塩化第２鉄溶液を作り、この相対
的に高濃度の塩化第２鉄溶液をエッチング実施時のエッ
チング液中の鉄以外の金属成分の濃度の上昇にともなっ
て添加するようにした。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
実施の形態について説明する。

【００１７】図１にその一形態であるシャドウマスクの
製造方法の主要工程を示す。図１（ａ）に示すように、
鉄材または鉄・ニッケル合金材（アンバー材）など鉄を
主成分とする合金材からなる帯状の金属薄板２０の両面
に、牛乳カゼイン酸アルカリと重クロム酸アンモニウム
を主成分とする感光剤を塗布し乾燥してフォトレジスト
２１を形成する。つぎに同（ｂ）に示すように、上記両
面のフォトレジスト２１に、シャドウマスクの一方の面
側の大孔および他方の面側の小孔（図５参照）に対応す
るパターンが形成された一対のフォトマスク２２a ，２
２b を密着して露光し、両面のフォトレジスト２０にフ
ォトマスク２２a ，２２b のパターンを焼付ける。つぎ
にこのパターンの焼付けられた両面のフォトレジスト２
１を現像して未感光部を除去し、同（ｃ）に示すよう
に、上記シャドウマスクの大孔および小孔に対応するパ
ターンからなるレジスト２３a ，２３b を形成する。つ
ぎにこのレジスト２３a ，２３b の形成された金属薄板
２０の両面に塩化第２鉄を主成分とするエッチング液を
スプレーして、同（ｄ）に示すように、一方の面から大
孔１２、他方の面から小孔１３をエッチングし、これら
大孔１２と小孔１３が合致した開孔２４を形成する。つ
ぎに同（ｅ）に示すように、金属薄板の両面に残存する
レジストを剥離除去する。

【００１８】上記エッチングは、両面にレジストの形成
された金属薄板２０を長手方向に連続的に走行移動させ
ながら、図２に示すエッチングチャンバー２６内でその
金属薄板２０の両面にエッチング液をスプレーするとと
も、スプレーされたエッチング液を回収する経路の途中
に設けられた再生装置２７で再生してエッチング液槽２
８に回収し、この回収エッチング液を再使用する方法で
おこなわれる。その再生装置２７での再生は、回収エッ
チング液に塩素と水を供給して、エッチングにより生成
した塩化第１鉄を塩化第２鉄とし、温度、比重、塩化第
２鉄の濃度などを所定の規定値に保つことによりおこな
われる。

【００１９】上記シャドウマスクの製造方法において、
特にこの実施の一形態では、エッチング実施時のエッチ
ング液の濃度に対して、エッチングを停止して保管ある
いは運搬するときのエッチング液の濃度を相対的に低濃
度とし、エッチング実施時に、その相対的に低濃度のエ
ッチング液に鉄、塩素、塩酸および水を添加し、下記化
学反応 Ｆｅ＋２ＦｅＣｌ₃ →３ＦｅＣｌ₂ ２ＦｅＣｌ₂ ＋Ｃｌ₂ →２ＦｅＣｌ₃ により、相対的に高濃度の所定濃度のエッチング液と
し、この相対的に高濃度のエッチング液でエッチングを
おこなうようにした。なお、塩酸は、水酸化物の生成を
抑制する作用をなす。

【００２０】また、実施の他の形態では、図３に示すよ
うに、エッチング液槽２８に塩化第２鉄溶液保管槽２９
を接続し、この保管槽２９にエッチング実施時のエッチ
ング液よりも相対的に低濃度、たとえば市販の塩化第２
鉄溶液を保管し、この相対的に低濃度の塩化第２鉄溶液
に鉄、塩素、塩酸および水を添加して、上記化学反応に
より相対的に高濃度の塩化第２鉄溶液を作り、この相対
的に高濃度の塩化第２鉄溶液をエッチング実施中のエッ
チング液に適宜添加してエッチングを続行する。

【００２１】さらに、実施の他の異なる形態として、鉄
・ニッケル合金材など鉄を主成分とする合金材からなる
金属薄板２０に開孔を形成する場合、エッチングの進行
にともなって増加する鉄以外の合金成分による開孔面積
のばらつきや、エッチング速度の低下による開孔の大き
さの変化などを防止するために、エッチング実施時のエ
ッチング液に、たとえば図３に示した塩化第２鉄溶液保
管槽２９の相対的に低濃度の塩化第２鉄溶液に鉄、塩
素、塩酸および水を添加して化学反応により相対的に高
濃度の塩化第２鉄溶液を作り、この相対的に高濃度の塩
化第２鉄溶液を上記鉄以外の合金成分の増加にともなっ
て、エッチング実施中のエッチング液に適宜添加するよ
うにした。

【００２２】このような方法によりシャドウマスクを製
造すると、所望形状、大きさの開孔を安定かつ時間をか
けることなく短時間にエッチング形成することができ
る。

【００２３】すなわち、一般に保管、運搬される塩化第
２鉄溶液は、凝固点の低い高濃度液は不適であり、凝固
点の高い低濃度液が望まれる。市販の塩化第２鉄溶液
も、通常の保管状態では凝固しない４７．５°Be程度の
濃度となっている。これに対し、シャドウマスクの開孔
をエッチング形成する場合、所望形状、大きさの開孔を
安定かつ時間をかけることなく短時間に形成するために
は、約５２．５°Be（温度６５〜７５℃、比重１．４９
０〜１．４９５）と、より高い濃度が望まれる。

【００２４】このようなことから、この実施の形態での
エッチングのように、エッチングを停止して保管あるい
は運搬するときのエッチング液の濃度を相対的に低濃度
とし、エッチング実施時に、その相対的に低濃度のエッ
チング液に鉄、塩素、塩酸および水を添加して化学反応
によりエッチングの実施に必要な相対的に高濃度のエッ
チング液としたり、あるいは相対的に低濃度の塩化第２
鉄溶液を保管し、この相対的に低濃度の塩化第２鉄溶液
に鉄、塩素、塩酸および水を添加して化学反応により得
られる相対的に高濃度の塩化第２鉄溶液をエッチング実
施時のエッチング液に適宜添加すると、保管、運搬する
ときのエッチング液の凝固を防止でき、かつ相対的に低
濃度のエッチング液を速やかにエッチングの実施に必要
な高濃度にすることができる（実施の一形態）。また、
エッチング実施時のエッチング液の濃度変化を抑制（実
施の他の形態）して、所望形状、大きさの開孔を安定か
つ時間をかけることなく短時間にエッチング形成するこ
とができる。

【００２５】また、鉄・ニッケル合金材など鉄を主成分
とする合金材からなる金属薄板２０に開孔を形成する場
合については、エッチングの進行にともなって鉄以外の
合金成分が増え、開孔面積のばらつきやエッチング速度
の低下による開孔の大きさが変化するが、相対的に低濃
度の塩化第２鉄溶液に鉄、塩素、塩酸および水を添加し
て化学反応により得られる相対的に高濃度の塩化第２鉄
溶液をエッチング実施時のエッチング液に適宜添加する
ことにより、エッチング能力の急激な低下を抑え、長期
にわたり安定したエッチングをおこなうことができ、エ
ッチング液の寿命を延ばすことができる（実施の他の異
なる形態）。

【００２６】以下、この発明の実施の形態を実施例によ
り説明する。

【００２７】

【実施例１】板厚０．２５mmの鉄・ニッケル合金材から
なる帯状の金属薄板の両面に、図１（ａ）に示したよう
に、カゼイン酸アルカリと重クロム酸アンモニウムを主
成分とするフォトレジスト２１を形成し、同（ｂ）に示
すように、この両面のフォトレジスト２１に、一対のフ
ォトマスク２２a ，２２b を密着して露光し、両面のフ
ォトレジスト２０にこのフォトマスク２２a ，２２b の
パターンを焼付けたのち、現像して、同（ｃ）に示した
ように、シャドウマスクの大孔および小孔に対応するパ
ターンからなからなるレジスト２３a ，２３b を形成し
た。その後、このレジスト２３a ，２３b の形成された
金属薄板２０の両面にエッチング液をスプレーし、かつ
スプレーされたエッチング液を回収して再使用する方法
で、孔径０．１５mm×０．５７mmの矩形状開孔をエッチ
ング形成した。

【００２８】そのエッチング液として、同一濃度の温度
ｔ＝７２℃、比重ｄ＝１．４９２、温度ｔ＝６５℃、比
重ｄ＝１．５２０のエッチング液、およびこれらエッチ
ング液とは濃度の異なる温度ｔ＝７２℃、比重ｄ＝１．
４７５の３種類のエッチング液を用い、表１に示す結果
が得られた。

【００２９】

【表１】 この表１でのむら品位の判定は、○印に対して×印の方
が若干劣ることを示している。上記３種類のエッチング
液のうち、むら品位、エッチング時間から総合して、温
度ｔ＝７２℃、比重ｄ＝１．４７５のエッチング液が開
孔のエッチング形成に最も適している。

【００３０】しかし、このエッチング液の濃度は約５
２．５°Beであり、凝固点が約２５℃であるため、エッ
チングを停止して通常の状態で保管すると、温度低下に
ともなって、スプレーノズルにエッチング液を送る配管
内などで凝固し、エッチングの再開を困難にする。

【００３１】このようなことから、エッチングを停止し
てエッチング液を保管するとき、エッチング液を希釈し
て常温で凝固しない約４７．５°Beとし、エッチングの
開始するとき、そのエッチング液に鉄、塩素、塩酸およ
び水を添加して化学反応により濃度を高めることによ
り、速やかにエッチングに必要な約５２．５°Beにする
ことができ、所望形状、大きさの開孔を安定かつ短時間
にエッチング形成することができた。

【００３２】

【実施例２】鉄材からなる帯状の金属薄板の両面に、図
１（ａ）に示したように、カゼイン酸アルカリと重クロ
ム酸アンモニウムを主成分とするフォトレジスト２１を
形成し、同（ｂ）に示すように、この両面のフォトレジ
スト２１に、一対のフォトマスク２２a ，２２b を密着
して露光し、両面のフォトレジスト２０にこのフォトマ
スク２２a ，２２b のパターンを焼付けたのち、現像し
て、同（ｃ）に示したように、シャドウマスクの大孔お
よび小孔に対応するパターンからなからなるレジスト２
３a ，２３b を形成した。その後、このレジスト２３a
，２３b の形成された金属薄板２０の両面にエッチン
グ液をスプレーし、かつスプレーされたエッチング液を
回収して再使用する方法で開孔をエッチング形成した。

【００３３】この場合、上記エッチング液とは別に約４
７．５°Beの相対的に低濃度の塩化第２鉄溶液を保管し
ておき、この相対的に低濃度の塩化第２鉄溶液に鉄、塩
素、塩酸および水を添加して化学反応により相対的に高
濃度の塩化第２鉄溶液を作り、この相対的に高濃度の塩
化第２鉄溶液を上記エッチング実施時のエッチング液に
適宜添加して、エッチング液の濃度を所定の規定値に抑
えながらエッチングを続行した。

【００３４】その結果、所望形状、大きさの開孔を安定
かつ短時間にエッチング形成することができた。

【００３５】なお、このようなエッチング方法は、１つ
の塩化第２鉄溶液保管槽に相対的に低濃度の塩化第２鉄
溶液を保管しておき、その相対的に低濃度の塩化第２鉄
溶液に鉄、塩素、塩酸および水を添加して化学反応によ
り相対的に高濃度の塩化第２鉄溶液を作って、複数のエ
ッチングラインに供給でき、エッチングラインの複雑化
を避けることができる。

【００３６】

【実施例３】実施例１と同様に鉄・ニッケル合金材から
なる帯状の金属薄板の両面に、図１（ａ）に示したよう
に、カゼイン酸アルカリと重クロム酸アンモニウムを主
成分とするフォトレジスト２１を形成し、同（ｂ）に示
すように、この両面のフォトレジスト２１に、一対のフ
ォトマスク２２a ，２２b を密着して露光し、両面のフ
ォトレジスト２０にこのフォトマスク２２a ，２２b の
パターンを焼付けたのち、現像して、同（ｃ）に示した
ように、シャドウマスクの大孔および小孔に対応するパ
ターンからなからなるレジスト２３a ，２３b を形成し
た。その後、このレジスト２３a ，２３b の形成された
金属薄板２０の両面にエッチング液をスプレーし、かつ
スプレーされたエッチング液を回収して再使用する方法
で開孔をエッチング形成した。

【００３７】この場合、上記エッチング液とは別に約４
７．５°Beの相対的に低濃度の塩化第２鉄溶液を保管し
ておき、この相対的に低濃度の塩化第２鉄溶液に鉄、塩
素、塩酸および水を添加して化学反応により相対的に高
濃度の塩化第２鉄溶液を作り、この高濃度の塩化第２鉄
溶液を上記エッチング液中のニッケル濃度が０．１％上
がるごとに添加して、エッチング液の比重を０．００１
上げた。

【００３８】その結果、エッチング液中のニッケル濃度
が増加することによるエッチング速度の低下を防止で
き、従来ニッケル濃度が２％を越えると、開孔面積にば
らつきが生じ、むら品位が劣化するために、ニッケル濃
度が２％を越える時点を寿命としていたエッチング液の
寿命を２倍の４％まで延ばし、エッチング液の廃棄を減
らすことができた。

【００３９】

【発明の効果】上述のように、フォトエッチング法によ
りシャドウマスクの開孔をエッチング形成すると、エッ
チングを停止して保管あるいは運搬するときのエッチン
グ液の凝固を防止でき、かつ相対的に低濃度のエッチン
グ液を速やかにエッチングの実施に必要な高濃度にする
ことができる。また、エッチング実施時のエッチング液
の濃度変化を抑制して、所望形状、大きさの開孔を安定
かつ時間をかけることなく短時間にエッチング形成する
ことができる。

【００４０】また、鉄・ニッケル合金材など鉄を主成分
とする合金材からなる金属薄板に開孔を形成する場合に
適用して、エッチングの進行にともなって鉄以外の合金
成分が増え、開孔面積のばらつきやエッチング速度の低
下による開孔の大きさの変化を防止して、長期にわたり
安定したエッチングをおこなうことができ、エッチング
液の寿命を延ばし、エッチング液の廃棄を減らすことが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１（ａ）乃至（ｅ）はそれぞれこの発明の実
施の形態であるシャドウマスクの製造方法の主要工程を
示す図である。

【図２】この発明の実施の一形態におけるエッチングラ
インの構成を説明するための図である。

【図３】この発明の実施の他の形態におけるエッチング
ラインの構成を説明するための図である。

【図４】カラー受像管の構成を示す図である。

【図５】カラー受像管のシャドウマスクの開孔形状を示
す図である。

【符号の説明】

２０…金属薄板 ２３a ，２３b …レジスト ２４…開孔

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 シャドウマスクの開孔に対応するパター
   ンからなるレジストが形成された金属薄板の板面に塩化
   第２鉄を主成分とするエッチング液をスプレーして上記
   開孔をエッチング形成するとともに、スプレーされたエ
   ッチング液を回収して再使用するシャドウマスクの製造
   方法において、 エッチング実施時のエッチング液の濃度に対して保管、
   運搬時のエッチング液の濃度を相対的に低濃度とし、エ
   ッチング実施時に上記相対的に低濃度のエッチング液に
   鉄と塩素を添加して化学反応により相対的に高濃度のエ
   ッチング液を作り、この相対的に高濃度のエッチング液
   を上記エッチング実施時のエッチング液に適宜添加する
   ことを特徴とするシャドウマスクの製造方法。
2. 【請求項２】 シャドウマスクの開孔に対応するパター
   ンからなるレジストが形成された金属薄板の板面に塩化
   第２鉄を主成分とするエッチング液をスプレーして上記
   開孔をエッチング形成するとともに、スプレーされたエ
   ッチング液を回収して再使用するシャドウマスクの製造
   方法において、 エッチング実施時のエッチング液の濃度よりも相対的に
   低濃度の塩化第２鉄溶液を保管しておき、この相対的に
   低濃度の塩化第２鉄溶液に鉄と塩素を添加して化学反応
   により相対的に高濃度の塩化第２鉄溶液を作り、この相
   対的に高濃度の塩化第２鉄溶液を上記エッチング実施時
   のエッチング液に適宜添加してエッチング液の濃度と比
   重を一定に保つことを特徴とするシャドウマスクの製造
   方法。
3. 【請求項３】 シャドウマスクの開孔に対応するパター
   ンからなるレジストが形成された鉄を主成分とする合金
   からなる金属薄板の板面に塩化第２鉄を主成分とするエ
   ッチング液をスプレーして上記開孔をエッチング形成す
   るとともに、スプレーされたエッチング液を回収して再
   使用するシャドウマスクの製造方法において、 エッチング実施時のエッチング液の濃度よりも相対的に
   低濃度の塩化第２鉄溶液に鉄と塩素を添加して化学反応
   により相対的に高濃度の塩化第２鉄溶液を作り、この相
   対的に高濃度の塩化第２鉄溶液を上記エッチング実施時
   のエッチング液中の鉄以外の金属成分の濃度の上昇にと
   もなって添加することを特徴とするシャドウマスクの製
   造方法。