JP2000305105A - 液晶表示素子 - Google Patents
液晶表示素子Info
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- JP2000305105A JP2000305105A JP11111204A JP11120499A JP2000305105A JP 2000305105 A JP2000305105 A JP 2000305105A JP 11111204 A JP11111204 A JP 11111204A JP 11120499 A JP11120499 A JP 11120499A JP 2000305105 A JP2000305105 A JP 2000305105A
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- well
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 液晶表示素子の高画素密度化や、大開口率
化、小型化を図る。 【解決手段】 互いに隣接する4つの画素ごとに1つの
pウェル212bが形成され、このpウェル212b内
に上記4つの画素のn型トランジスタ202が形成され
ている。また、各画素におけるn型トランジスタ202
の対角上の位置にp型トランジスタ201が形成されて
いる。このように、pウェル212b内に同極性の複数
のトランジスタを形成することにより、トランジスタの
誤動作を生じさせることなく、トランジスタ間の距離を
短く設定することができるので、実質的にトランジスタ
の占める面積を小さくすることができる。
化、小型化を図る。 【解決手段】 互いに隣接する4つの画素ごとに1つの
pウェル212bが形成され、このpウェル212b内
に上記4つの画素のn型トランジスタ202が形成され
ている。また、各画素におけるn型トランジスタ202
の対角上の位置にp型トランジスタ201が形成されて
いる。このように、pウェル212b内に同極性の複数
のトランジスタを形成することにより、トランジスタの
誤動作を生じさせることなく、トランジスタ間の距離を
短く設定することができるので、実質的にトランジスタ
の占める面積を小さくすることができる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、各画素ごとに対応
した半導体素子を備え、テレビ受像機やコンピュータデ
ィスプレイなどの画像表示装置に用いられる液晶表示素
子に関し、特に、ビデオプロジェクタやデータプロジェ
クタ等の液晶プロジェクタにおけるライトバルブとして
用いられた場合でも、明るい画像を表示することができ
る液晶表示素子に関するものである。
した半導体素子を備え、テレビ受像機やコンピュータデ
ィスプレイなどの画像表示装置に用いられる液晶表示素
子に関し、特に、ビデオプロジェクタやデータプロジェ
クタ等の液晶プロジェクタにおけるライトバルブとして
用いられた場合でも、明るい画像を表示することができ
る液晶表示素子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、直視型や投射型の画像表示装置に
液晶表示素子が多く用いられつつある。特に、投射型の
画像表示装置において、CRTに代えてライトバルブと
しての液晶表示素子を備えることにより、高輝度化およ
びコンパクト化が図られている。この種の画像表示装置
は、直視型の画像表示装置に比べて、一層高画素密度
(高解像度)、かつ大開口率(高輝度)であることが必
要とされるため、特に反射型の液晶表示素子が注目され
ている。
液晶表示素子が多く用いられつつある。特に、投射型の
画像表示装置において、CRTに代えてライトバルブと
しての液晶表示素子を備えることにより、高輝度化およ
びコンパクト化が図られている。この種の画像表示装置
は、直視型の画像表示装置に比べて、一層高画素密度
(高解像度)、かつ大開口率(高輝度)であることが必
要とされるため、特に反射型の液晶表示素子が注目され
ている。
【0003】以下、従来の液晶表示素子の例として、例
えばSXGAデータプロジェクタなどに用いられる反射
型の液晶表示素子について説明する。
えばSXGAデータプロジェクタなどに用いられる反射
型の液晶表示素子について説明する。
【0004】液晶表示素子は、例えば図11に示すよう
に、透明基板101とシリコン基板102との間に液晶
層103が設けられて構成されている。上記透明基板1
01には、透明の対向電極104が形成されている。ま
た、シリコン基板102には、各表示画素に対応してマ
トリクス状に配置された画素スイッチングトランジスタ
111、絶縁層112、および遮光層113が形成され
るとともに、さらに、それぞれ上記画素スイッチングト
ランジスタ111に接続された画像信号線114、走査
信号線115、および反射画素電極116が形成されて
いる。上記遮光層113は、反射画素電極116の間隙
から入射した光がシリコン基板102に到達しにくいよ
うにして、シリコン基板102の電気抵抗が低下するこ
とによる画素スイッチングトランジスタ111の誤動作
を防止するために設けられている。
に、透明基板101とシリコン基板102との間に液晶
層103が設けられて構成されている。上記透明基板1
01には、透明の対向電極104が形成されている。ま
た、シリコン基板102には、各表示画素に対応してマ
トリクス状に配置された画素スイッチングトランジスタ
111、絶縁層112、および遮光層113が形成され
るとともに、さらに、それぞれ上記画素スイッチングト
ランジスタ111に接続された画像信号線114、走査
信号線115、および反射画素電極116が形成されて
いる。上記遮光層113は、反射画素電極116の間隙
から入射した光がシリコン基板102に到達しにくいよ
うにして、シリコン基板102の電気抵抗が低下するこ
とによる画素スイッチングトランジスタ111の誤動作
を防止するために設けられている。
【0005】上記画素スイッチングトランジスタ111
は、より詳しくは図12に示すように、ソース電極、ゲ
ート電極、およびドレイン電極が、それぞれ画像信号線
114、走査信号線115、または反射画素電極116
に接続され、走査信号線115から入力される走査信号
に応じて、画像信号線114から入力される画像信号電
圧がスイッチングされて反射画素電極116に印加され
るようになっている。さらに、ドレイン電極と共通電極
117との間には補助容量118が接続されている。上
記補助容量118が設けられることにより、反射画素電
極116と対向電極104との間に形成される液晶容量
119を実質的に増大させ、画素スイッチングトランジ
スタ111がOFF状態のときに、液晶容量119に蓄
積された電荷が放電することによる電圧の低下が小さく
抑えられるようになっている。
は、より詳しくは図12に示すように、ソース電極、ゲ
ート電極、およびドレイン電極が、それぞれ画像信号線
114、走査信号線115、または反射画素電極116
に接続され、走査信号線115から入力される走査信号
に応じて、画像信号線114から入力される画像信号電
圧がスイッチングされて反射画素電極116に印加され
るようになっている。さらに、ドレイン電極と共通電極
117との間には補助容量118が接続されている。上
記補助容量118が設けられることにより、反射画素電
極116と対向電極104との間に形成される液晶容量
119を実質的に増大させ、画素スイッチングトランジ
スタ111がOFF状態のときに、液晶容量119に蓄
積された電荷が放電することによる電圧の低下が小さく
抑えられるようになっている。
【0006】上記のような液晶表示素子では、図示しな
い偏光板等を介して所定の偏光方向に揃えられた入射光
Pが入射すると、液晶層103を透過する際に、その偏
光方向が対向電極104と反射画素電極116との間の
電圧(電界)に応じて変化し(偏光方向が変調され)、
出射光Qが出射する。そこで、この出射光Qが偏光板を
透過する際に、上記偏光方向の変化量に応じた光量とな
って画像が表示される。
い偏光板等を介して所定の偏光方向に揃えられた入射光
Pが入射すると、液晶層103を透過する際に、その偏
光方向が対向電極104と反射画素電極116との間の
電圧(電界)に応じて変化し(偏光方向が変調され)、
出射光Qが出射する。そこで、この出射光Qが偏光板を
透過する際に、上記偏光方向の変化量に応じた光量とな
って画像が表示される。
【0007】ところで、画像表示装置の高画質化を図る
ためには、液晶容量119に蓄積された電荷の放電によ
る電圧の低下を小さく抑える必要がある。このため、上
記のように液晶容量119と並列に設けられる補助容量
118は、できるだけ大きな容量に設定されることが好
ましいが、一般に、形成し得る電極の面積等の制約か
ら、液晶容量119と同程度、またはその数倍程度の容
量に設定される。それゆえ、上記電圧の低下をより小さ
く抑えて、画質を大幅に向上させることが困難である。
ためには、液晶容量119に蓄積された電荷の放電によ
る電圧の低下を小さく抑える必要がある。このため、上
記のように液晶容量119と並列に設けられる補助容量
118は、できるだけ大きな容量に設定されることが好
ましいが、一般に、形成し得る電極の面積等の制約か
ら、液晶容量119と同程度、またはその数倍程度の容
量に設定される。それゆえ、上記電圧の低下をより小さ
く抑えて、画質を大幅に向上させることが困難である。
【0008】そこで、液晶容量119に蓄積された電荷
の放電自体を少なく抑えるために、例えば図1に示すよ
うに、各画素ごとに、互いに逆極性の走査信号によって
駆動されるp型トランジスタ201とn型トランジスタ
202との1対のトランジスタを並列に設けることが考
えられる。すなわち、p型トランジスタ201とn型ト
ランジスタ202には、互いに逆方向の光電流が生じる
ために電荷の移動が相殺されるので、実質的に光電流に
よる放電を防止または低減することができる。また、2
つのトランジスタを設けることによって、各トランジス
タの耐圧を低く設定することができるので、各トランジ
スタを微細化して、液晶表示素子の小型化を図ったり、
大開口率化(高輝度化)を図ったりすることもできる。
の放電自体を少なく抑えるために、例えば図1に示すよ
うに、各画素ごとに、互いに逆極性の走査信号によって
駆動されるp型トランジスタ201とn型トランジスタ
202との1対のトランジスタを並列に設けることが考
えられる。すなわち、p型トランジスタ201とn型ト
ランジスタ202には、互いに逆方向の光電流が生じる
ために電荷の移動が相殺されるので、実質的に光電流に
よる放電を防止または低減することができる。また、2
つのトランジスタを設けることによって、各トランジス
タの耐圧を低く設定することができるので、各トランジ
スタを微細化して、液晶表示素子の小型化を図ったり、
大開口率化(高輝度化)を図ったりすることもできる。
【0009】上記のような1対のトランジスタは、例え
ば図13に示すように形成することが考えられる。すな
わち、シリコン基板121の画像表示領域全体がnウェ
ルであるとすると、p型トランジスタ201は、シリコ
ン基板121上にp-領域201aおよびp+領域201
bを設けることにより形成することができる。一方、n
型トランジスタ202は、シリコン基板121上にpウ
ェル122を形成し、そのpウェル122内にn-領域
202aおよびn+領域202bを設けることにより形
成することができる。なお、同図において、203は第
1走査信号線、204は第2走査信号線、205は画像
信号線、206は反射画素電極である。また、同図にお
いては、便宜上、主としてp型トランジスタ201およ
びn型トランジスタ202に関連する部材だけが描かれ
ている。
ば図13に示すように形成することが考えられる。すな
わち、シリコン基板121の画像表示領域全体がnウェ
ルであるとすると、p型トランジスタ201は、シリコ
ン基板121上にp-領域201aおよびp+領域201
bを設けることにより形成することができる。一方、n
型トランジスタ202は、シリコン基板121上にpウ
ェル122を形成し、そのpウェル122内にn-領域
202aおよびn+領域202bを設けることにより形
成することができる。なお、同図において、203は第
1走査信号線、204は第2走査信号線、205は画像
信号線、206は反射画素電極である。また、同図にお
いては、便宜上、主としてp型トランジスタ201およ
びn型トランジスタ202に関連する部材だけが描かれ
ている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように各画素ごとに互いにチャネルのタイプが異なる1
対のトランジスタを形成する場合、画素のサイズを小さ
くして表示画像の高精細化や液晶表示素子の小型化を図
ることが困難になる。すなわち、半導体のレイアウト設
計においては、半導体素子の誤動作を回避するために設
けられた種々のルールに従う必要があり、特に、隣接す
るトランジスタ間の距離を最小限界以上に設定する必要
がある。
ように各画素ごとに互いにチャネルのタイプが異なる1
対のトランジスタを形成する場合、画素のサイズを小さ
くして表示画像の高精細化や液晶表示素子の小型化を図
ることが困難になる。すなわち、半導体のレイアウト設
計においては、半導体素子の誤動作を回避するために設
けられた種々のルールに従う必要があり、特に、隣接す
るトランジスタ間の距離を最小限界以上に設定する必要
がある。
【0011】具体的には、例えばp型トランジスタ20
1およびn型トランジスタ202に印加される電圧が1
5V程度である場合、図13に示す距離S1,S2(各
トランジスタからウェルの境界までの距離)は、少なく
とも2μm程度に設定する必要がある。そこで、例えば
p型トランジスタ201およびn型トランジスタ202
のサイズが2.5×6μm、画素の形状が正方形とする
と、同図から明らかなように、画素のサイズを13μm
角より小さくすることはできず、補助容量を形成する場
合には、さらに画素のサイズが大きくなる。このこと
は、最先端の半導体技術である0.35〜0.8μmク
ラスの微細加工技術を用いたとしても同じである。
1およびn型トランジスタ202に印加される電圧が1
5V程度である場合、図13に示す距離S1,S2(各
トランジスタからウェルの境界までの距離)は、少なく
とも2μm程度に設定する必要がある。そこで、例えば
p型トランジスタ201およびn型トランジスタ202
のサイズが2.5×6μm、画素の形状が正方形とする
と、同図から明らかなように、画素のサイズを13μm
角より小さくすることはできず、補助容量を形成する場
合には、さらに画素のサイズが大きくなる。このこと
は、最先端の半導体技術である0.35〜0.8μmク
ラスの微細加工技術を用いたとしても同じである。
【0012】ここで、例えば、一般に投射型の画像表示
装置に用いられている対角寸法が0.9インチの大きさ
で、いわゆるハイビジョン(HDTV)画像を表示し得
る1080×1920画素のライトバルブを作製しよう
とすると、画素のサイズを10μm角程度に設定する必
要がある。
装置に用いられている対角寸法が0.9インチの大きさ
で、いわゆるハイビジョン(HDTV)画像を表示し得
る1080×1920画素のライトバルブを作製しよう
とすると、画素のサイズを10μm角程度に設定する必
要がある。
【0013】上記の点に鑑み、本発明は、液晶容量に蓄
積された電荷の放電を少なく抑えるとともに、高画素密
度化や、大開口率化、小型化を図ることができる液晶表
示素子の提供を目的としている。
積された電荷の放電を少なく抑えるとともに、高画素密
度化や、大開口率化、小型化を図ることができる液晶表
示素子の提供を目的としている。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明は、基板と、上記基板上に、各画素ごとに形
成された画素電極と、上記画素電極に対向させて設けら
れた対向電極と、上記画素電極と上記対向電極との間に
設けられた液晶層と、上記基板上に、各画素ごとに複数
形成された、互いに極性または種類の異なる半導体素子
とを備えた液晶表示素子であって、上記基板上に、p
型、またはn型の少なくとも一方の極性のウェルが、互
いに隣接する複数の画素にわたって部分的に形成され、
上記ウェル内に、上記互いに隣接する複数の画素におけ
る上記半導体素子のうち、同極性または同種類の半導体
素子が形成されていることを特徴としている。
め、本発明は、基板と、上記基板上に、各画素ごとに形
成された画素電極と、上記画素電極に対向させて設けら
れた対向電極と、上記画素電極と上記対向電極との間に
設けられた液晶層と、上記基板上に、各画素ごとに複数
形成された、互いに極性または種類の異なる半導体素子
とを備えた液晶表示素子であって、上記基板上に、p
型、またはn型の少なくとも一方の極性のウェルが、互
いに隣接する複数の画素にわたって部分的に形成され、
上記ウェル内に、上記互いに隣接する複数の画素におけ
る上記半導体素子のうち、同極性または同種類の半導体
素子が形成されていることを特徴としている。
【0015】上記互いに極性または種類の異なる半導体
素子としては、例えばp型トランジスタとn型トランジ
スタや、p型またはn型のトランジスタとダイオードが
用いられる。
素子としては、例えばp型トランジスタとn型トランジ
スタや、p型またはn型のトランジスタとダイオードが
用いられる。
【0016】上記のように構成することにより、同一の
ウェル内に形成される同極性または同種類の半導体素子
間の距離は、ウェル境界を介して形成される極性または
種類の異なる半導体素子間の距離よりも短くなるように
配置しても半導体素子の誤動作を生じないようにするこ
とができるので、実質的に半導体素子の占める面積を小
さくすることができる。それゆえ、画素のサイズを小さ
くして、高画素密度化や小型化を図ったり、大開口率化
を図ったりすることが容易にできる。
ウェル内に形成される同極性または同種類の半導体素子
間の距離は、ウェル境界を介して形成される極性または
種類の異なる半導体素子間の距離よりも短くなるように
配置しても半導体素子の誤動作を生じないようにするこ
とができるので、実質的に半導体素子の占める面積を小
さくすることができる。それゆえ、画素のサイズを小さ
くして、高画素密度化や小型化を図ったり、大開口率化
を図ったりすることが容易にできる。
【0017】上記ウェルは、互いに隣接する4つの画素
にわたって形成するようにしてもよい。この場合には、
ウェル内に狭い間隔で形成される半導体素子の数が多い
ので、画素のサイズを大幅に小さくすることなどが容易
にできる。また、上記ウェルは、互いに隣接する2つの
画素にわたって形成するようにしてもよい。このような
構成は、配線パターンのレイアウト上の制約によって3
つ以上のトランジスタを近接させることができないなど
の場合に有効である。
にわたって形成するようにしてもよい。この場合には、
ウェル内に狭い間隔で形成される半導体素子の数が多い
ので、画素のサイズを大幅に小さくすることなどが容易
にできる。また、上記ウェルは、互いに隣接する2つの
画素にわたって形成するようにしてもよい。このような
構成は、配線パターンのレイアウト上の制約によって3
つ以上のトランジスタを近接させることができないなど
の場合に有効である。
【0018】また、上記画素電極として、可視光を反射
する反射電極を用い、反射型の液晶表示素子を構成して
もよい一方、上記画素電極として、可視光を透過させる
透明電極を用い、透過型の液晶表示素子を構成してもよ
い。反射型の液晶表示素子を構成する場合には、前記の
ように画素のサイズを小さくして高画素密度化や小型化
を図ったりすることが容易にできる一方、透過型の液晶
表示素子を構成する場合には、さらに、実質的に半導体
素子の占める面積を小さくすることによる大開口率化を
図ることも容易にできる。
する反射電極を用い、反射型の液晶表示素子を構成して
もよい一方、上記画素電極として、可視光を透過させる
透明電極を用い、透過型の液晶表示素子を構成してもよ
い。反射型の液晶表示素子を構成する場合には、前記の
ように画素のサイズを小さくして高画素密度化や小型化
を図ったりすることが容易にできる一方、透過型の液晶
表示素子を構成する場合には、さらに、実質的に半導体
素子の占める面積を小さくすることによる大開口率化を
図ることも容易にできる。
【0019】また、上記のように実質的に半導体素子の
占める面積を小さくすることによって、補助容量手段の
容量を例えば液晶容量以上に設定することなども容易に
できるので、液晶容量に蓄積された電荷の放電による電
圧の低下を小さく抑えることも容易にできる。
占める面積を小さくすることによって、補助容量手段の
容量を例えば液晶容量以上に設定することなども容易に
できるので、液晶容量に蓄積された電荷の放電による電
圧の低下を小さく抑えることも容易にできる。
【0020】
【発明の実施の形態】(実施の形態1)本発明の実施の
形態1として、投射型の液晶表示装置に用いられる反射
型の液晶表示素子について説明する。
形態1として、投射型の液晶表示装置に用いられる反射
型の液晶表示素子について説明する。
【0021】まず、液晶表示素子の回路について説明す
る。この液晶表示素子には、図1に示すように、各画素
ごとに、p型トランジスタ201とn型トランジスタ2
02とが設けられている。これらのトランジスタのゲー
ト電極は、それぞれ第1走査信号線203または第2走
査信号線204に接続されている。また、ソース電極は
ともに画像信号線205に接続され、ドレイン電極はと
もに反射画素電極206に接続されている。上記反射画
素電極206は、対向電極207との間で液晶容量20
8を形成するようになっている。また、p型トランジス
タ201およびn型トランジスタ202のドレイン電極
と共通電極209との間には補助容量210が接続され
ている。
る。この液晶表示素子には、図1に示すように、各画素
ごとに、p型トランジスタ201とn型トランジスタ2
02とが設けられている。これらのトランジスタのゲー
ト電極は、それぞれ第1走査信号線203または第2走
査信号線204に接続されている。また、ソース電極は
ともに画像信号線205に接続され、ドレイン電極はと
もに反射画素電極206に接続されている。上記反射画
素電極206は、対向電極207との間で液晶容量20
8を形成するようになっている。また、p型トランジス
タ201およびn型トランジスタ202のドレイン電極
と共通電極209との間には補助容量210が接続され
ている。
【0022】上記第1走査信号線203または第2走査
信号線204は、互いに逆極性の走査信号をp型トラン
ジスタ201およびn型トランジスタ202に与えるよ
うになっている。この走査信号に応じて、画像信号線2
05から入力される画像信号電圧がスイッチングされて
反射画素電極206に印加されるようになっている。上
記のように、互いに逆極性の走査信号によって駆動され
るp型トランジスタ201とn型トランジスタ202と
の1対のトランジスタが並列に設けられることにより、
それぞれのトランジスタに互いに逆方向の光電流が生じ
るため、電荷の移動が相殺されるので、実質的に光電流
による放電が防止または低減される。また、2つのトラ
ンジスタを設けることによって各トランジスタの耐圧を
低く設定することができるので、各トランジスタを微細
化して画素のサイズを小さくし、高画素密度化や小型化
を図ったりすることもできる。
信号線204は、互いに逆極性の走査信号をp型トラン
ジスタ201およびn型トランジスタ202に与えるよ
うになっている。この走査信号に応じて、画像信号線2
05から入力される画像信号電圧がスイッチングされて
反射画素電極206に印加されるようになっている。上
記のように、互いに逆極性の走査信号によって駆動され
るp型トランジスタ201とn型トランジスタ202と
の1対のトランジスタが並列に設けられることにより、
それぞれのトランジスタに互いに逆方向の光電流が生じ
るため、電荷の移動が相殺されるので、実質的に光電流
による放電が防止または低減される。また、2つのトラ
ンジスタを設けることによって各トランジスタの耐圧を
低く設定することができるので、各トランジスタを微細
化して画素のサイズを小さくし、高画素密度化や小型化
を図ったりすることもできる。
【0023】次に、液晶表示素子の構造について説明す
る。
る。
【0024】液晶表示素子は、図2(後述する図3のA
−A断面図)に示すように、透明基板211とp型シリ
コン基板212との間に液晶層213が設けられて構成
されている。上記液晶層213としては、例えば、ツイ
スト角が40〜70°程度のツイステッドネマティック
液晶モード(TN)や、負の誘電率異方性を有するネマ
ティック液晶を用いた垂直配向モ−ド(VA)が適用さ
れる。上記透明基板211には、透明の対向電極207
が形成されている。また、p型シリコン基板212に
は、各表示画素に対応してマトリクス状に配置された画
素スイッチング用のp型トランジスタ201、およびn
型トランジスタ202が形成されている。より詳しく
は、p型シリコン基板212上には、画像表示領域全域
にわたってnウェル212aが形成されるとともに、こ
のnウェル212a内に部分的にpウェル212bが形
成されている。p型トランジスタ201は、上記nウェ
ル212a内に、p-領域201aおよびp+領域201
bが設けられることにより形成されている。一方、n型
トランジスタ202は、上記部分的に形成されたpウェ
ル212b内に、n-領域202aおよびn+領域202
bが設けられることにより形成されている。なお、これ
らのp型トランジスタ201およびn型トランジスタ2
02の配置パターンについては後に詳述する。
−A断面図)に示すように、透明基板211とp型シリ
コン基板212との間に液晶層213が設けられて構成
されている。上記液晶層213としては、例えば、ツイ
スト角が40〜70°程度のツイステッドネマティック
液晶モード(TN)や、負の誘電率異方性を有するネマ
ティック液晶を用いた垂直配向モ−ド(VA)が適用さ
れる。上記透明基板211には、透明の対向電極207
が形成されている。また、p型シリコン基板212に
は、各表示画素に対応してマトリクス状に配置された画
素スイッチング用のp型トランジスタ201、およびn
型トランジスタ202が形成されている。より詳しく
は、p型シリコン基板212上には、画像表示領域全域
にわたってnウェル212aが形成されるとともに、こ
のnウェル212a内に部分的にpウェル212bが形
成されている。p型トランジスタ201は、上記nウェ
ル212a内に、p-領域201aおよびp+領域201
bが設けられることにより形成されている。一方、n型
トランジスタ202は、上記部分的に形成されたpウェ
ル212b内に、n-領域202aおよびn+領域202
bが設けられることにより形成されている。なお、これ
らのp型トランジスタ201およびn型トランジスタ2
02の配置パターンについては後に詳述する。
【0025】上記p型トランジスタ201およびn型ト
ランジスタ202の中央部(ゲート部)には、それぞ
れ、絶縁層214,215を介してゲート電極216,
217が設けられている。これらのゲート電極216,
217は、図示しない断面における第1走査信号線20
3、または第2走査信号線204に形成された凸部によ
り構成されている。また、p型トランジスタ201およ
びn型トランジスタ202におけるソースとなるp+領
域201bおよびn+領域202bには、画像信号線2
05が接続されている。一方、ドレインとなるp+領域
201bおよびn+領域202bには、第1中継電極2
18、第2中継電極219、およびコンタクトホール電
極220を介して反射画素電極206が接続されてい
る。さらに、上記第1中継電極218には、補助容量電
極210aが接続されている。この補助容量電極210
aと、絶縁層210bと、共通電極209を兼ねるnウ
ェル212aとで、液晶容量208を実質的に増大させ
る補助容量210が構成されている。この補助容量21
0は、例えば液晶容量208と同程度、またはそれ以上
(数倍程度など)の容量に設定されている。また、上記
p型トランジスタ201およびn型トランジスタ202
と反射画素電極206との間には、絶縁層221が設け
られている。
ランジスタ202の中央部(ゲート部)には、それぞ
れ、絶縁層214,215を介してゲート電極216,
217が設けられている。これらのゲート電極216,
217は、図示しない断面における第1走査信号線20
3、または第2走査信号線204に形成された凸部によ
り構成されている。また、p型トランジスタ201およ
びn型トランジスタ202におけるソースとなるp+領
域201bおよびn+領域202bには、画像信号線2
05が接続されている。一方、ドレインとなるp+領域
201bおよびn+領域202bには、第1中継電極2
18、第2中継電極219、およびコンタクトホール電
極220を介して反射画素電極206が接続されてい
る。さらに、上記第1中継電極218には、補助容量電
極210aが接続されている。この補助容量電極210
aと、絶縁層210bと、共通電極209を兼ねるnウ
ェル212aとで、液晶容量208を実質的に増大させ
る補助容量210が構成されている。この補助容量21
0は、例えば液晶容量208と同程度、またはそれ以上
(数倍程度など)の容量に設定されている。また、上記
p型トランジスタ201およびn型トランジスタ202
と反射画素電極206との間には、絶縁層221が設け
られている。
【0026】上記p型トランジスタ201およびn型ト
ランジスタ202は、図3に示すように配置されてい
る。すなわち、互いに隣接する4つの画素ごとに1つの
pウェル212bが形成され、このpウェル212b内
に上記4つの画素のn型トランジスタ202が形成され
ている。また、各画素におけるn型トランジスタ202
の対角上の位置にp型トランジスタ201が形成されて
いる。なお、同図においては、便宜上、主としてp型ト
ランジスタ201およびn型トランジスタ202に関連
する部材だけが描かれている。
ランジスタ202は、図3に示すように配置されてい
る。すなわち、互いに隣接する4つの画素ごとに1つの
pウェル212bが形成され、このpウェル212b内
に上記4つの画素のn型トランジスタ202が形成され
ている。また、各画素におけるn型トランジスタ202
の対角上の位置にp型トランジスタ201が形成されて
いる。なお、同図においては、便宜上、主としてp型ト
ランジスタ201およびn型トランジスタ202に関連
する部材だけが描かれている。
【0027】上記のように、4つの画素ごとに形成され
た1つのpウェル212b内に4つのn型トランジスタ
202を形成すると、互いに同極性のトランジスタが隣
接することになる。この場合、各トランジスタの誤動作
を防止するためには、図3に示す距離S11,S12
(各トランジスタからウェルの境界までの距離)は2μ
m程度以上に設定する必要があるが、距離S13(同一
のウェル内での互いに同極性のトランジスタ間の距離)
は、0.5〜0.6μm程度に設定することができる。
そこで、例えばp型トランジスタ201およびn型トラ
ンジスタ202のサイズが2.5×6μm、画素の形状
が正方形とすると、同図から明らかなように、画素のサ
イズを約10μm角程度にすることができる。
た1つのpウェル212b内に4つのn型トランジスタ
202を形成すると、互いに同極性のトランジスタが隣
接することになる。この場合、各トランジスタの誤動作
を防止するためには、図3に示す距離S11,S12
(各トランジスタからウェルの境界までの距離)は2μ
m程度以上に設定する必要があるが、距離S13(同一
のウェル内での互いに同極性のトランジスタ間の距離)
は、0.5〜0.6μm程度に設定することができる。
そこで、例えばp型トランジスタ201およびn型トラ
ンジスタ202のサイズが2.5×6μm、画素の形状
が正方形とすると、同図から明らかなように、画素のサ
イズを約10μm角程度にすることができる。
【0028】それゆえ、この液晶表示素子は、例えば、
一般に投射型の画像表示装置に用いられている対角寸法
が0.9インチの大きさで、いわゆるハイビジョン(H
DTV)画像を表示し得る1080×1920画素のラ
イトバルブとして用いることができる。また、実質的に
トランジスタの占める面積を小さく抑えることができる
ので、大きな面積の補助容量を形成することも容易にで
きる。一方、画素の形状を長方形に形成する場合には、
さらに画素密度を高くしたり液晶表示素子の小型化を図
ったりすることも容易にできる。
一般に投射型の画像表示装置に用いられている対角寸法
が0.9インチの大きさで、いわゆるハイビジョン(H
DTV)画像を表示し得る1080×1920画素のラ
イトバルブとして用いることができる。また、実質的に
トランジスタの占める面積を小さく抑えることができる
ので、大きな面積の補助容量を形成することも容易にで
きる。一方、画素の形状を長方形に形成する場合には、
さらに画素密度を高くしたり液晶表示素子の小型化を図
ったりすることも容易にできる。
【0029】なお、各画素ごとのp型トランジスタ20
1とn型トランジスタ202とは、上記のように対角上
の位置に配置するものに限らず、例えば図4に示すよう
に同一の辺に添って配置するなどしてもよい。
1とn型トランジスタ202とは、上記のように対角上
の位置に配置するものに限らず、例えば図4に示すよう
に同一の辺に添って配置するなどしてもよい。
【0030】(実施の形態2)本発明の実施の形態2と
して、互いに隣接する2つの画素ごとに1つのpウェル
が形成された液晶表示素子について説明する。この液晶
表示素子の回路構成は前記実施の形態1(図1)と同じ
である。なお、以下の実施の形態において、前記実施の
形態1と同様の機能を有する構成要素については同一の
符号を付して説明を省略する。
して、互いに隣接する2つの画素ごとに1つのpウェル
が形成された液晶表示素子について説明する。この液晶
表示素子の回路構成は前記実施の形態1(図1)と同じ
である。なお、以下の実施の形態において、前記実施の
形態1と同様の機能を有する構成要素については同一の
符号を付して説明を省略する。
【0031】この液晶表示素子は、図5に示すように、
互いに隣接する2つの画素ごとに1つのpウェル212
bが形成され、このpウェル212b内に上記2つの画
素のn型トランジスタ202が形成されている。このよ
うに構成する場合には、同図における画素の上下方向の
寸法を短くすることはできないが、横方向の寸法を短く
することができるので、やはり、画素のサイズを小さく
したり補助容量を大きくしたりすることなどが容易にで
きる。このような構成は、配線パターンのレイアウト上
の制約によって3つ以上のトランジスタを近接させるこ
とができないなどの場合に有効である。
互いに隣接する2つの画素ごとに1つのpウェル212
bが形成され、このpウェル212b内に上記2つの画
素のn型トランジスタ202が形成されている。このよ
うに構成する場合には、同図における画素の上下方向の
寸法を短くすることはできないが、横方向の寸法を短く
することができるので、やはり、画素のサイズを小さく
したり補助容量を大きくしたりすることなどが容易にで
きる。このような構成は、配線パターンのレイアウト上
の制約によって3つ以上のトランジスタを近接させるこ
とができないなどの場合に有効である。
【0032】なお、上記のような配置に限らず、例えば
図6に示すように、同図における上下方向のp型トラン
ジスタ201およびn型トランジスタ202の位置を揃
えるように配置するなどしてもよい。また、例えば図7
に示すように、同図における上下方向に隣接する画素の
n型トランジスタ202を同一のpウェル212b内に
形成するなどしてもよい。
図6に示すように、同図における上下方向のp型トラン
ジスタ201およびn型トランジスタ202の位置を揃
えるように配置するなどしてもよい。また、例えば図7
に示すように、同図における上下方向に隣接する画素の
n型トランジスタ202を同一のpウェル212b内に
形成するなどしてもよい。
【0033】(実施の形態3)本発明の実施の形態3と
して、前記実施の形態1のn型トランジスタ202に代
えてダイオードが用いられた液晶表示素子の例を説明す
る。
して、前記実施の形態1のn型トランジスタ202に代
えてダイオードが用いられた液晶表示素子の例を説明す
る。
【0034】この液晶表示素子には、図8に示すよう
に、各画素ごとに、p型トランジスタ201と、アノー
ドがバイアス信号線231に接続されて常に逆バイアス
電圧が印加されるダイオード232とが設けられてい
る。このようにダイオード232が設けられることによ
り、やはり漏れ電流を減少させ、p型トランジスタ20
1がOFF状態のときに、液晶容量208に蓄積された
電荷が放電することによる電圧の低下が小さく抑えられ
る。
に、各画素ごとに、p型トランジスタ201と、アノー
ドがバイアス信号線231に接続されて常に逆バイアス
電圧が印加されるダイオード232とが設けられてい
る。このようにダイオード232が設けられることによ
り、やはり漏れ電流を減少させ、p型トランジスタ20
1がOFF状態のときに、液晶容量208に蓄積された
電荷が放電することによる電圧の低下が小さく抑えられ
る。
【0035】上記ダイオード232は、図9(図10の
B−B断面図)に示すように、pウェル212b内にn
-領域232aおよびn+領域232bが設けられること
により形成されている。ここで、nウェル212aは、
補助容量210の共通電極209を兼ねるとともに、ダ
イオード232のバイアス信号線231を兼ねている。
また、p型トランジスタ201およびダイオード232
は、図10に示すように配置されている。すなわち、互
いに隣接する4つの画素ごとに1つのpウェル212b
が形成され、このpウェル212b内に上記4つの画素
のダイオード232が形成されている。
B−B断面図)に示すように、pウェル212b内にn
-領域232aおよびn+領域232bが設けられること
により形成されている。ここで、nウェル212aは、
補助容量210の共通電極209を兼ねるとともに、ダ
イオード232のバイアス信号線231を兼ねている。
また、p型トランジスタ201およびダイオード232
は、図10に示すように配置されている。すなわち、互
いに隣接する4つの画素ごとに1つのpウェル212b
が形成され、このpウェル212b内に上記4つの画素
のダイオード232が形成されている。
【0036】上記のように構成されることにより、ダイ
オード232はトランジスタよりも占める面積が小さい
ことや配線数が少ないことに加えて、pウェル212b
内でのダイオード232間の距離を0.5〜0.6μm
程度に設定することができるので、一層、画素のサイズ
を小さくしたり補助容量を大きくしたりすることが容易
にできる。
オード232はトランジスタよりも占める面積が小さい
ことや配線数が少ないことに加えて、pウェル212b
内でのダイオード232間の距離を0.5〜0.6μm
程度に設定することができるので、一層、画素のサイズ
を小さくしたり補助容量を大きくしたりすることが容易
にできる。
【0037】なお、上記のようにp型トランジスタとダ
イオードとの組み合わせに限らず、n型トランジスタと
ダイオードとを組み合わせるようにしてもよい。
イオードとの組み合わせに限らず、n型トランジスタと
ダイオードとを組み合わせるようにしてもよい。
【0038】また、上記のように互いに隣接する4つの
画素ごとに1つのpウェルを形成するものに限らず、前
記実施の形態2と同様に、互いに隣接する4つの画素ご
とに1つのpウェルを形成するようにしてもよい。さら
に、実施の形態1、2で説明したのと同様な種々の配置
パターンの変形も可能である。
画素ごとに1つのpウェルを形成するものに限らず、前
記実施の形態2と同様に、互いに隣接する4つの画素ご
とに1つのpウェルを形成するようにしてもよい。さら
に、実施の形態1、2で説明したのと同様な種々の配置
パターンの変形も可能である。
【0039】また、実施の形態1〜3においては、p型
シリコン基板212上にnウェル212aを形成し、上
記nウェル212a内に部分的に、互いに隣接する複数
の画素にわたるpウェル212bを形成する例を示した
が、半導体の種類やp、nのタイプは上記に限るもので
はない。すなわち、少なくとも一方の極性のウェルを互
いに隣接する複数の画素にわたって部分的に形成し、そ
のウェル内に同極性の複数のトランジスタやダイオード
を形成すれば、同様の効果を得ることができる。
シリコン基板212上にnウェル212aを形成し、上
記nウェル212a内に部分的に、互いに隣接する複数
の画素にわたるpウェル212bを形成する例を示した
が、半導体の種類やp、nのタイプは上記に限るもので
はない。すなわち、少なくとも一方の極性のウェルを互
いに隣接する複数の画素にわたって部分的に形成し、そ
のウェル内に同極性の複数のトランジスタやダイオード
を形成すれば、同様の効果を得ることができる。
【0040】また、各画素ごとにp型トランジスタとn
型トランジスタとの対を2対以上設けるなどしてもよ
い。
型トランジスタとの対を2対以上設けるなどしてもよ
い。
【0041】また、上記のように単結晶のシリコン基板
上にトランジスタを形成するものに限らず、例えば絶縁
基板上にポリシリコン層やアモルファスシリコン層を形
成してトランジスタやダイオードを形成するなどしても
よい。
上にトランジスタを形成するものに限らず、例えば絶縁
基板上にポリシリコン層やアモルファスシリコン層を形
成してトランジスタやダイオードを形成するなどしても
よい。
【0042】また、上記のように投射型の液晶表示装置
に用いられる反射型の液晶表示素子に限らず、透過型の
液晶表示素子を構成するようにしてもよいし、直視型の
液晶表示装置に用いられる反射型または透過型の液晶表
示素子を構成するようにしてもよい。特に透過型の液晶
表示素子を構成する場合には、実質的にトランジスタ等
のサイズを小さくすることができるので、開口率を大き
くすることもできる。
に用いられる反射型の液晶表示素子に限らず、透過型の
液晶表示素子を構成するようにしてもよいし、直視型の
液晶表示装置に用いられる反射型または透過型の液晶表
示素子を構成するようにしてもよい。特に透過型の液晶
表示素子を構成する場合には、実質的にトランジスタ等
のサイズを小さくすることができるので、開口率を大き
くすることもできる。
【0043】
【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。
施され、以下に記載されるような効果を奏する。
【0044】すなわち、基板上に、p型、またはn型の
少なくとも一方の極性のウェルが、互いに隣接する複数
の画素にわたって部分的に形成され、上記ウェル内に、
上記互いに隣接する複数の画素における半導体素子のう
ち、同極性または同種類の半導体素子が形成されること
により、半導体素子の誤動作を生じることなく半導体素
子の間隔を狭く設定することができるので、実質的に半
導体素子の占める面積を小さくすることができ、したが
って、画素のサイズを小さくして、高画素密度化や小型
化を図ったり、大開口率化を図ったりすることが容易に
できるという効果を奏する。
少なくとも一方の極性のウェルが、互いに隣接する複数
の画素にわたって部分的に形成され、上記ウェル内に、
上記互いに隣接する複数の画素における半導体素子のう
ち、同極性または同種類の半導体素子が形成されること
により、半導体素子の誤動作を生じることなく半導体素
子の間隔を狭く設定することができるので、実質的に半
導体素子の占める面積を小さくすることができ、したが
って、画素のサイズを小さくして、高画素密度化や小型
化を図ったり、大開口率化を図ったりすることが容易に
できるという効果を奏する。
【図1】 実施の形態1の液晶表示素子の回路構成を示
す回路図
す回路図
【図2】 実施の形態1の液晶表示素子の構造を示す縦
断面図
断面図
【図3】 実施の形態1のトランジスタの配置を示す平
面図
面図
【図4】 実施の形態1のトランジスタの配置の変形例
を示す平面図
を示す平面図
【図5】 実施の形態2におけるトランジスタの配置を
示す平面図
示す平面図
【図6】 実施の形態2のトランジスタの配置の変形例
を示す平面図
を示す平面図
【図7】 実施の形態2のトランジスタの配置の他の変
形例を示す平面図
形例を示す平面図
【図8】 実施の形態3の液晶表示素子の回路構成を示
す回路図
す回路図
【図9】 実施の形態3の液晶表示素子の構造を示す縦
断面図
断面図
【図10】 実施の形態3のトランジスタ等の配置を示
す平面図
す平面図
【図11】 従来の液晶表示素子の構造を示す縦断面図
【図12】 従来の液晶表示素子の回路構成を示す回路
図
図
【図13】 各画素ごとにp型とn型のトランジスタが
設けられる場合に考えられるトランジスタの配置を示す
平面図
設けられる場合に考えられるトランジスタの配置を示す
平面図
201 p型トランジスタ 201a p-領域 201b p+領域 202 n型トランジスタ 202a n-領域 202b n+領域 203 第1走査信号線 204 第2走査信号線 205 画像信号線 206 反射画素電極 207 対向電極 208 液晶容量 209 共通電極 210 補助容量 210a 補助容量電極 210b 絶縁層 211 透明基板 212 p型シリコン基板 212a nウェル 212b pウェル 213 液晶層 214,215 絶縁層 216,217 ゲート電極 218 第1中継電極 219 第2中継電極 220 コンタクトホール電極 221 絶縁層 231 バイアス信号線 232 ダイオード 232a n-領域 232b n+領域
フロントページの続き (72)発明者 西山 和廣 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 滝本 昭雄 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 2H092 HA05 JA23 JA29 JA38 JA42 JA46 JB42 JB56 JB63 JB69 KA03 KA07 MA35 MA37 NA07 NA24 NA25 NA27 PA12 5C094 AA05 AA10 AA15 BA03 BA16 BA43 CA19 DA13 EA04 EA10 FB14 HA08
Claims (9)
- 【請求項1】基板と、 上記基板上に、各画素ごとに形成された画素電極と、 上記画素電極に対向させて設けられた対向電極と、 上記画素電極と上記対向電極との間に設けられた液晶層
と、 上記基板上に、各画素ごとに複数形成された、互いに極
性または種類の異なる半導体素子とを備えた液晶表示素
子であって、 上記基板上に、p型、またはn型の少なくとも一方の極
性のウェルが、互いに隣接する複数の画素にわたって部
分的に形成され、上記ウェル内に、上記互いに隣接する
複数の画素における上記半導体素子のうち、同極性また
は同種類の半導体素子が形成されていることを特徴とす
る液晶表示素子。 - 【請求項2】請求項1の液晶表示素子であって、 上記互いに極性の異なる半導体素子は、p型トランジス
タと、n型トランジスタとであることを特徴とする液晶
表示素子。 - 【請求項3】請求項1の液晶表示素子であって、 上記互いに種類の異なる半導体素子は、p型またはn型
のトランジスタと、ダイオードとであることを特徴とす
る液晶表示素子。 - 【請求項4】請求項1の液晶表示素子であって、 上記ウェルは、互いに隣接する4つの画素にわたって形
成されていることを特徴とする液晶表示素子。 - 【請求項5】請求項1の液晶表示素子であって、 上記ウェルは、互いに隣接する2つの画素にわたって形
成されていることを特徴とする液晶表示素子。 - 【請求項6】請求項1の液晶表示素子であって、 上記画素電極は、可視光を反射する反射電極であること
を特徴とする液晶表示素子。 - 【請求項7】請求項1の液晶表示素子であって、 上記画素電極は、可視光を透過させる透明電極であるこ
とを特徴とする液晶表示素子。 - 【請求項8】請求項1の液晶表示素子であって、 上記基板は、単結晶シリコンを含むことを特徴とする液
晶表示素子。 - 【請求項9】請求項1の液晶表示素子であって、 さらに、一方側の電極が上記画素電極に接続された補助
容量手段を備え、 上記補助容量手段の容量が、上記画素電極と上記対向電
極との間に形成される液晶容量以上に設定されているこ
とを特徴とする液晶表示素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11111204A JP2000305105A (ja) | 1999-04-19 | 1999-04-19 | 液晶表示素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11111204A JP2000305105A (ja) | 1999-04-19 | 1999-04-19 | 液晶表示素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000305105A true JP2000305105A (ja) | 2000-11-02 |
Family
ID=14555159
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11111204A Pending JP2000305105A (ja) | 1999-04-19 | 1999-04-19 | 液晶表示素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000305105A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6507376B2 (en) | 2000-12-25 | 2003-01-14 | Kawasaki Microelectronics, Inc. | Display device formed on semiconductor substrate and display system using the same |
| JP2020064192A (ja) * | 2018-10-17 | 2020-04-23 | 日本放送協会 | 液晶光変調器、液晶表示装置、およびホログラフィ装置 |
-
1999
- 1999-04-19 JP JP11111204A patent/JP2000305105A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6507376B2 (en) | 2000-12-25 | 2003-01-14 | Kawasaki Microelectronics, Inc. | Display device formed on semiconductor substrate and display system using the same |
| JP2020064192A (ja) * | 2018-10-17 | 2020-04-23 | 日本放送協会 | 液晶光変調器、液晶表示装置、およびホログラフィ装置 |
| JP7165556B2 (ja) | 2018-10-17 | 2022-11-04 | 日本放送協会 | 液晶光変調器、液晶表示装置、およびホログラフィ装置 |
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