JP2000307380A - 弾性表面波素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】簡単な構造で周波数特性の良い弾性表面波素子
を提供する。 【解決手段】櫛型電極と接続電極２６，４６等を備えた
弾性表面波共振器が各々１枚の圧電性基板１４，３４上
に形成され、各々別々の圧電性基板１４，３４上に形成
された弾性表面波共振器の接続電極２６，４６等をワイ
ヤや導電性樹脂等により縦続接続した。この一対の圧電
性基板１４，３４は同一に設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、特定の周波数帯
域の電磁波を抽出する周波数フィルタであって、弾性表
面波を利用した弾性表面波素子に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、弾性表面波素子は、図７に示すよ
うに、横結合共振器が縦続接続されたものの場合、水晶
などの圧電性の１枚の基板１上に二対の櫛形電極２，３
が設けられ、この櫛形電極２，３の側方には、各々等ピ
ッチにパターンが形成された反射器４が各々配置されて
いる。また各櫛形電極２，３には、入力電極５及び出力
電極６が接続され、これら入出力電極５，６に並んで、
各反射器にアース電極７が接続されている。

【０００３】また、トランスバーサル型弾性表面波素子
は、図９に示すように基板１を収容したセラミックス等
のパッケージ８に設けられ、基板１上の出力側のアース
電極９は、シールド電極１３と共通に接続され、パッケ
ージ８のアース電極９ａとワイヤ１７で接続されてい
る。また、入力側のアース電極９は、パッケージ８のア
ース電極９ｂとワイヤ１７で接続され、基板１の入力電
極５はパッケージ８の入力電極５ａと、出力電極６はパ
ッケージ８の出力電極６ａとワイヤ１７で各々接続され
ている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術の前者の
場合、基板１を伝わる弾性表面波は、櫛型電極３の表面
を伝播するものの他、基板１の裏面側に伝播して表面側
に反射してくるものがある。この裏面からの反射波は、
図８に示すように中心周波数の側方に表れるスプリアス
の原因となっており、周波数フィルタとしての性能を低
下させていた。

【０００５】また、上記従来技術の後者の場合、基板１
の入力または出力電極とアース電極９が基板１上で接続
されて、パッケージ８上の共通のアース電極９ａに接続
されているため、シールド電極１３によるシールド効果
が得られず、シールド電極１３がない場合と同程度の周
波数特性しか得られないものであった。即ち、上記構成
のシールド電極を設けた場合、直達波や漏れ信号である
ＲＦフィールドスルー信号を抑制する効果が小さいもの
であった。

【０００６】この発明は上記従来の技術の問題点に鑑み
てなされたものであり、良好な周波数特性を得ることが
できる弾性表面波素子を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明は、櫛型電極と
接続電極等を備えた弾性表面波共振器が各々独立した１
枚の圧電性基板上に形成され、各々別々の圧電性基板上
に形成された弾性表面波共振器の接続電極をワイヤや導
電性樹脂等により縦続接続した弾性表面波素子である。
この一対の圧電性基板は同一パッケージ内で接していて
も良い。また、弾性表面波共振器は、横結合共振器や縦
結合共振器の何れでも良い。

【０００８】この発明の弾性表面波素子は、縦続接続さ
れた一対の弾性表面波共振器が、各々別々の圧電性基板
上に形成され、互いの共振振動が、圧電性基板の裏面で
反射して伝播することがないようにしたものである。

【０００９】またこの発明は、圧電性基板上に形成され
た櫛型電極に近接して、シールド電極が上記圧電性基板
上に設けられたトランスバーサル型の弾性表面波素子で
あって、上記櫛型電極と上記シールド電極の各電極を上
記圧電性基板上で各々独立に設け、上記圧電性基板を収
容したパッケージに上記基板上の各電極と接続される複
数の電極を設け、上記櫛形電極と接続するアース電極
と、上記シールド電極と接続するアース電極とを各々独
立に上記パッケージに形成した弾性表面波素子である。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面に基づいて説明する。図１〜図３はこの発明の
一実施形態の弾性表面波素子に用いられる一対の弾性表
面波素子１０，１２を示している。弾性表面波素子１０
は、水晶やリチウムタンタレート等の圧電性を有した第
一基板１４の表面に、アルミニウムまたはアルミニウム
合金等の金属薄膜により二対の第一櫛形電極１６が各々
交互に対向して設けられ、この第一櫛形電極１６の両側
方には、等ピッチにアルミニウムまたはアルミニウム合
金等の金属薄膜の導電体による格子状のパターンが形成
された第一反射器１８，２０が各々形成されている。こ
の櫛型電極１６および反射器１８のピッチは、所望の中
心周波数の波長に対応したものである。

【００１１】また、第一櫛形電極１６の一方に隣接した
側方には、入力電極２２が接続し、他方の側には、弾性
表面波素子１２と接続する電気的接続部である接続電極
２６が設けられている。第一反射器１８，２０には、各
々アース電極２４が接続し、この第一基板１４上に形成
された第一櫛型電極１６や第一反射器１８，２０が、第
一弾性表面波共振器１１を構成する。

【００１２】次に第二弾性表面波素子１２は、上記と同
様に水晶やリチウムタンタレート等の圧電性を有した第
二基板３４の表面に、アルミニウムまたはアルミニウム
合金等の金属薄膜による第二櫛形電極３６と第二反射器
３８，４０が形成されている。この実施形態では、第二
基板３４は第一基板１４と等しい大きさである。

【００１３】さらに第二弾性表面波素子１２の第二櫛形
電極３６の一方の側には、出力電極４２が設けられ、出
力電極４２とは反対側には、ワイヤ４５により第一弾性
表面波素子１０の接続電極２６と電気的に接続される接
続電極４６が設けられている。また、第二反射器３８，
４０にもアース電極４４が各々設けられている。そし
て、この第二基板３４上に形成された第二櫛型電極３６
や第二反射器３８，４０が、第二弾性表面波共振器３１
を構成する。

【００１４】この実施形態の弾性表面波素子の組立は、
図２に示すように、第一，第二基板１４，３４をセラミ
ックパッケージ５０の収容部底面に接着し収納する。こ
のとき、セラミックパッケージ５０内では、第一，第二
基板１４，３４は互いに接していても良い。この状態
で、第一，第二基板１４，３４の接続電極２６，４６を
ワイヤ４５で接続する。これにより、第一弾性表面波共
振器１１と第二弾性表面波共振器３１とが縦続接続され
た状態となる。なお、この接続は、第一，第二基板１
４，３４を近接させてセラミックパッケージ６０内に固
定した状態で、導電性樹脂等の導電体により接続しても
良い。またセラミックパッケージ６０の底面に形成した
接続用導体により接続しても良い。

【００１５】そして、セラミックパッケージ５０内で
は、第一，第二基板１４，３４をセラミックパッケージ
５０内の電極と各々ワイヤ４５でボンディングし、互い
に電気的接続を図る。また、セラミックパッケージ５０
の上部開口は、被覆部材５２等により覆われる。

【００１６】この実施形態の弾性表面波素子によれば、
第一，第二基板１４，３４が各々別体に設けられ、基板
裏面での反射波が隣の弾性表面波共振器に伝播せず、悪
影響を互いに与えないものである。これにより、図３に
示すように、中心周波数がはっきりしてスプリアスの小
さい周波数特性を得ることができる。

【００１７】次にこの発明の第二実施形態について図４
を基にして説明する。ここで、上記実施形態と同様の構
成は同一の符号を付して説明を省略する。この実施形態
の弾性表面波素子の弾性表面波共振器の型は、図１に示
す横結合型ではなく、縦結合型の弾性表面波共振器を２
個縦続接続したものである。この場合も第一，第二基板
１４，３４の二対の接続電極２６，４６を、各々ワイヤ
４５で接続する。これにより、縦結合型の弾性表面波共
振器においても、上記第一実施形態と同様の効果を得る
ことができる。

【００１８】次にこの発明の第三実施形態について図
５，図６を基にして説明する。ここで、上記実施形態と
同様の構成は同一の符号を付して説明を省略する。この
実施形態の弾性表面波素子は、トランスバーサル型の弾
性表面波素子であって、水晶やリチウムタンタレート等
の圧電性を有した基板５４の表面に、アルミニウムまた
はアルミニウム合金等の金属薄膜により二対の櫛形電極
５６が各々交互に対向して設けられている。各対の櫛形
電極５６間の基板５４上には、シールド電極５８が設け
られている。

【００１９】櫛型電極５６とシールド電極５８は、各々
基板５４上で独立に設けられたアース電極６０，６１，
６２，６３に接続され、各アース電極６０，６１，６
２，６３は、各々ワイヤ６４によりこの基板５４を収容
したパッケージ６６のアース電極７０，７１，７２，７
３に接続されている。そして、パッケージ６６側のアー
ス電極７０，７１，７２，７３も、各々独立に形成され
ている。また、基板５４の入力電極７４は、パッケージ
６６の入力電極７６とワイヤ６４で接続され、出力電極
７８は、パッケージ６６の出力電極８０とワイヤ６４で
接続されている。

【００２０】この実施形態の弾性表面波装置は、シール
ド電極５８に接続されたアース電極６１，６２を、各々
櫛形電極５６と接続したアース電極６０，６３，７０，
７３とは独立に設けたので、ＲＦフィールドスルー信号
を効果的に抑制することができ、図６に示すように中心
周波数の側方に表れる信号をより確実に抑えられてい
る。

【００２１】

【発明の効果】この発明の弾性表面波素子は、弾性表面
波共振器が各々別々の圧電性基板上に位置し、互いの基
板裏面で反射した弾性波が隣接する基板に伝播せず、ス
プリアスの小さい良好な周波数特性得られる。

【００２２】また、シールド電極が接続したアース電極
が櫛形電極側のアース電極とは別に設けられた弾性表面
波素子の場合、周波数フィルタとして通過帯域特性を変
えずに抑圧減衰量を大きくすることができ、周波数特性
の良好な弾性表面波素子を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第一実施形態の弾性表面波素子の平
面図である。

【図２】この発明の第一実施形態の弾性表面波素子を備
えたパッケージの断面図である。

【図３】この発明の第一実施形態の弾性表面波素子の周
波数特性を示すグラフである。

【図４】この発明の第二実施形態の弾性表面波素子の平
面図である。

【図５】この発明の第三実施形態の弾性表面波素子の平
面図である。

【図６】この発明の第三実施形態の弾性表面波素子の周
波数特性と従来の弾性表面波素子の周波数特性を示すグ
ラフである。

【図７】従来の技術の弾性表面波素子の平面図である。

【図８】従来の技術の弾性表面波素子の周波数特性を示
すグラフである。

【図９】他の従来の弾性表面波素子の平面図である。

【符号の説明】

１０ 第一弾性表面波素子 １２ 第二弾性表面波素子 １４ 第一基板 １６ 第一櫛形電極 １８，２０ 第一反射器 ２２ 入力電極 ２４，４４ アース電極 ２６，４６ 接続電極 ３４ 第二基板 ３６ 第二櫛形電極 ３８，４０ 第二反射器 ４２ 出力電極

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 櫛型電極と接続電極を備えた弾性表面波
   共振器を各々１枚の圧電性基板上に形成し、各々別々の
   圧電性基板上に形成された弾性表面波共振器の接続電極
   を縦続接続したことを特徴とする弾性表面波素子。
2. 【請求項２】 上記一対の圧電性基板は同一パッケージ
   内に設けられている請求項１記載の弾性表面波素子。
3. 【請求項３】 圧電性基板上に形成された櫛型電極に近
   接して、シールド電極が上記圧電性基板上に設けられた
   トランスバーサル型の弾性表面波素子において、上記櫛
   型電極と上記シールド電極の各電極を上記圧電性基板上
   で各々独立に設け、上記圧電性基板を収容したパッケー
   ジに上記基板上の各電極と接続される複数の電極を設
   け、上記櫛形電極と接続するアース電極と、上記シール
   ド電極と接続するアース電極とを各々独立に上記パッケ
   ージに形成したことを特徴とする弾性表面波素子。