JP2000310529A - 表面性状測定機 - Google Patents
表面性状測定機Info
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- JP2000310529A JP2000310529A JP11120752A JP12075299A JP2000310529A JP 2000310529 A JP2000310529 A JP 2000310529A JP 11120752 A JP11120752 A JP 11120752A JP 12075299 A JP12075299 A JP 12075299A JP 2000310529 A JP2000310529 A JP 2000310529A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 表面性状測定機の検出器増幅率を自動調整す
る。 【解決手段】 載物台１２上にワーク１４を載せ、スタ
イラスを有する検出装置１６を図中Ｘ軸方向に移動させ
てワーク１４表面をトレースする。検出装置１６は、ワ
ーク１４の凹凸を電気信号に変換し、増幅した後デジタ
ル変換してコンピュータに出力する。検出装置１６の増
幅率は当初最高値に設定され、測定値がレンジオーバと
判定された場合に段階的に低下調整する。
る。 【解決手段】 載物台１２上にワーク１４を載せ、スタ
イラスを有する検出装置１６を図中Ｘ軸方向に移動させ
てワーク１４表面をトレースする。検出装置１６は、ワ
ーク１４の凹凸を電気信号に変換し、増幅した後デジタ
ル変換してコンピュータに出力する。検出装置１６の増
幅率は当初最高値に設定され、測定値がレンジオーバと
判定された場合に段階的に低下調整する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は表面性状測定機、特
に検出信号の増幅率調整に関する。
に検出信号の増幅率調整に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、被測定物（ワーク）表面をス
タイラスで走査し、表面の凹凸（あるいは粗さや、うね
り）を測定する表面性状測定機が周知である。
タイラスで走査し、表面の凹凸（あるいは粗さや、うね
り）を測定する表面性状測定機が周知である。
【０００３】表面性状測定機においては、スタイラスを
一定方向（Ｘ軸方向）に移動させ、ワークの凹凸により
生じたスタイラスの上下方向の移動（Ｚ軸方向）を電気
信号に変換し、増幅器で増幅した後にデジタル信号に変
換し、移動距離（Ｘ軸方向）の関数として表示装置に表
示し、あるいは印刷装置に印刷する。
一定方向（Ｘ軸方向）に移動させ、ワークの凹凸により
生じたスタイラスの上下方向の移動（Ｚ軸方向）を電気
信号に変換し、増幅器で増幅した後にデジタル信号に変
換し、移動距離（Ｘ軸方向）の関数として表示装置に表
示し、あるいは印刷装置に印刷する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ここで、表面性状測定
機に用いられる検出器は一般に高感度である一方、検出
ストローク（測定可能範囲）は大きくない。また、検出
分解能は使用するＡ／Ｄ変換器の性能や増幅器のノイズ
レベルに起因する制約があるため、無制限に大きくする
ことができない。そこで、増幅器の増幅率を複数段階に
切り替え可能とし、高分解能、短ストロークのレンジか
ら低分解能、長ストロークのレンジまでを適宜選択する
ことが考えられている。
機に用いられる検出器は一般に高感度である一方、検出
ストローク（測定可能範囲）は大きくない。また、検出
分解能は使用するＡ／Ｄ変換器の性能や増幅器のノイズ
レベルに起因する制約があるため、無制限に大きくする
ことができない。そこで、増幅器の増幅率を複数段階に
切り替え可能とし、高分解能、短ストロークのレンジか
ら低分解能、長ストロークのレンジまでを適宜選択する
ことが考えられている。
【０００５】しかしながら、このようなレンジ切替選択
機能を有する表面性状測定機を用いる場合、ワーク表面
の凹凸の大きさに応じて、予め複数レンジから最適レン
ジを決めておく必要がある。従って、最適レンジを決め
るための予備測定が本測定に先立って必要となり、表面
性状測定機の使い勝手を低下させ、測定時間も増大する
問題がある。
機能を有する表面性状測定機を用いる場合、ワーク表面
の凹凸の大きさに応じて、予め複数レンジから最適レン
ジを決めておく必要がある。従って、最適レンジを決め
るための予備測定が本測定に先立って必要となり、表面
性状測定機の使い勝手を低下させ、測定時間も増大する
問題がある。
【０００６】本発明は、上記従来技術の有する課題に鑑
みなされたものであり、その目的は、増幅率を自動調整
することで予備測定を不要とし、短時間に測定すること
ができる表面性状測定機を提供することにある。
みなされたものであり、その目的は、増幅率を自動調整
することで予備測定を不要とし、短時間に測定すること
ができる表面性状測定機を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、被測定物の凹凸を電気信号に変換する検
出手段と、前記検出手段からの電気信号を増幅する増幅
手段と、前記増幅手段で増幅された電気信号をデジタル
信号に変換するＡ／Ｄ変換手段とを有する表面性状測定
機において、前記Ａ／Ｄ変換手段からのデジタル信号が
所定の範囲内にあるか否かを判定する判定手段と、前記
判定手段で所定の範囲外であると判定された場合に前記
増幅手段の増幅率を低下させる制御手段とを有すること
を特徴とする。デジタル信号が所定範囲外、すなわちレ
ンジオーバである場合には、増幅手段での増幅率が適当
でないとして低下させ、最適の増幅率に自動設定するの
で、増幅率を最適の値に予め設定するための予備測定が
不要となり、効率的な測定を行うことができる。
に、本発明は、被測定物の凹凸を電気信号に変換する検
出手段と、前記検出手段からの電気信号を増幅する増幅
手段と、前記増幅手段で増幅された電気信号をデジタル
信号に変換するＡ／Ｄ変換手段とを有する表面性状測定
機において、前記Ａ／Ｄ変換手段からのデジタル信号が
所定の範囲内にあるか否かを判定する判定手段と、前記
判定手段で所定の範囲外であると判定された場合に前記
増幅手段の増幅率を低下させる制御手段とを有すること
を特徴とする。デジタル信号が所定範囲外、すなわちレ
ンジオーバである場合には、増幅手段での増幅率が適当
でないとして低下させ、最適の増幅率に自動設定するの
で、増幅率を最適の値に予め設定するための予備測定が
不要となり、効率的な測定を行うことができる。
【０００８】ここで、前記制御手段は、前記被測定物の
所定測定長さ毎に前記増幅率の初期値として最高増幅率
を設定し、前記判定手段の判定結果に応じて段階的に前
記増幅率を低下させることができる。被測定物の所定測
定長さとは、ワーク表面をスタイラスでトレースする際
の一定トレース長さであり、トレースして得られた電気
信号をＡ／Ｄ変換手段でデジタル変換する際のデータの
処理単位である。スタイラスを一定速度で駆動する場合
には、所定測定長さは所定測定時間と等価である。所定
測定長さ毎に増幅率を最高値から自動調整することで、
確実にレンジオーバを防止することができる。
所定測定長さ毎に前記増幅率の初期値として最高増幅率
を設定し、前記判定手段の判定結果に応じて段階的に前
記増幅率を低下させることができる。被測定物の所定測
定長さとは、ワーク表面をスタイラスでトレースする際
の一定トレース長さであり、トレースして得られた電気
信号をＡ／Ｄ変換手段でデジタル変換する際のデータの
処理単位である。スタイラスを一定速度で駆動する場合
には、所定測定長さは所定測定時間と等価である。所定
測定長さ毎に増幅率を最高値から自動調整することで、
確実にレンジオーバを防止することができる。
【０００９】また、前記制御手段は、測定開始時に前記
増幅率の初期値として最高増幅率を設定し、前記判定手
段の判定結果に応じて段階的に前記増幅率を低下させる
ことができる。測定開始時に１回だけ増幅率を最高値に
設定し、全測長にわたって段階的に最適に調整すること
で、確実にレンジオーバを防止できるとともに、増幅率
の切替回数も低減させ、一層効率的な測定を行うことが
できる。
増幅率の初期値として最高増幅率を設定し、前記判定手
段の判定結果に応じて段階的に前記増幅率を低下させる
ことができる。測定開始時に１回だけ増幅率を最高値に
設定し、全測長にわたって段階的に最適に調整すること
で、確実にレンジオーバを防止できるとともに、増幅率
の切替回数も低減させ、一層効率的な測定を行うことが
できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づき本発明の実施
形態について説明する。
形態について説明する。
【００１１】図１に、本実施形態に係る表面性状測定機
の外観構成図が示されている。基台１０上に載物台１２
が設けられ、この載物台１２の上にワーク１４が固定さ
れる。また、基台１０にはスタイラスを有する検出装置
１６が駆動装置１８により支柱２０に設けられている。
検出装置１６は、駆動装置１８により図中Ｘ方向及びＺ
方向に駆動され、Ｚ方向の駆動によりスタイラスの先端
をワーク１４の表面に接触させ、Ｘ方向の移動によりワ
ーク１４表面の凹凸を検出する。検出された凹凸量は既
述したように電気信号に変換され、コンピュータディス
プレイなどの表示装置２２に供給され表示される。
の外観構成図が示されている。基台１０上に載物台１２
が設けられ、この載物台１２の上にワーク１４が固定さ
れる。また、基台１０にはスタイラスを有する検出装置
１６が駆動装置１８により支柱２０に設けられている。
検出装置１６は、駆動装置１８により図中Ｘ方向及びＺ
方向に駆動され、Ｚ方向の駆動によりスタイラスの先端
をワーク１４の表面に接触させ、Ｘ方向の移動によりワ
ーク１４表面の凹凸を検出する。検出された凹凸量は既
述したように電気信号に変換され、コンピュータディス
プレイなどの表示装置２２に供給され表示される。
【００１２】表示装置２２をコンピュータディスプレイ
とした場合、コンピュータ本体の制御装置が通信装置を
介して駆動装置１８を駆動制御するとともに、検出装置
１６からの検出信号を処理して表示装置２２上に表示す
ることができる。
とした場合、コンピュータ本体の制御装置が通信装置を
介して駆動装置１８を駆動制御するとともに、検出装置
１６からの検出信号を処理して表示装置２２上に表示す
ることができる。
【００１３】図２には、本実施形態の構成ブロック図が
示されている。共通バスに、ＣＰＵ２４、ＲＡＭなどの
データ記憶装置２６、ＲＯＭなどのプログラム記憶装置
２８、表示装置２２、キー入力装置３２、検出装置１
６、駆動装置１８、計時装置３４、通信装置３６及び印
刷装置３８が接続されている。ＣＰＵ２４、データ記憶
装置２６、プログラム記憶装置２８、計時装置３４はコ
ンピュータ内に設けられ、キー入力装置３２や印刷装置
３８はコンピュータに接続されている。
示されている。共通バスに、ＣＰＵ２４、ＲＡＭなどの
データ記憶装置２６、ＲＯＭなどのプログラム記憶装置
２８、表示装置２２、キー入力装置３２、検出装置１
６、駆動装置１８、計時装置３４、通信装置３６及び印
刷装置３８が接続されている。ＣＰＵ２４、データ記憶
装置２６、プログラム記憶装置２８、計時装置３４はコ
ンピュータ内に設けられ、キー入力装置３２や印刷装置
３８はコンピュータに接続されている。
【００１４】コンピュータ内のＣＰＵ２４は、駆動装置
１８を駆動して検出装置１６のスタイラスをワーク表面
に接触させ、一定の速度で検出装置１６をＸ軸方向に駆
動する。そして、検出装置１６からの検出信号をデータ
記憶装置２６に記憶し、粗さ曲線から算術平均粗さＲ
ａ、最大高さＲｙ、凹凸の平均間隔Ｓｍなどを演算して
表示装置２２に出力する。プログラム記憶装置２８に
は、ワークの表面性状を測定するためのシステムデフォ
ルト値及び制御プログラムが記憶されており、ＣＰＵ２
４はこの制御プログラムに基づいて測定する。一方、ユ
ーザはキー入力装置３２（キーボードやマウス）を用い
て測定に必要なパラメータを設定し、カスタマイズする
ことができる。
１８を駆動して検出装置１６のスタイラスをワーク表面
に接触させ、一定の速度で検出装置１６をＸ軸方向に駆
動する。そして、検出装置１６からの検出信号をデータ
記憶装置２６に記憶し、粗さ曲線から算術平均粗さＲ
ａ、最大高さＲｙ、凹凸の平均間隔Ｓｍなどを演算して
表示装置２２に出力する。プログラム記憶装置２８に
は、ワークの表面性状を測定するためのシステムデフォ
ルト値及び制御プログラムが記憶されており、ＣＰＵ２
４はこの制御プログラムに基づいて測定する。一方、ユ
ーザはキー入力装置３２（キーボードやマウス）を用い
て測定に必要なパラメータを設定し、カスタマイズする
ことができる。
【００１５】図３には、図２における検出装置１６の詳
細構成ブロック図が示されている。検出器１６ａは、差
動トランスやインダクタンスで構成され、ワーク表面の
凹凸によるスタイラスのｚ軸方向の移動を電気信号に変
換して増幅回路１６ｂに出力する。増幅回路１６ｂは、
設定された増幅率（ゲイン）で信号を増幅し、Ａ／Ｄ変
換回路１６ｃに出力する。測定が開始されると、ＣＰＵ
２４はトレースの一定長さＬ、あるいはスタイラスを一
定速度で駆動する場合には一定時間Ｔ（計時装置３４で
計測）毎にＡ／Ｄ変換回路１６ｃに対して変換指示の制
御信号を出力する。Ａ／Ｄ変換回路１６ｃはこの制御信
号に従ってデジタル信号に変換する。デジタル信号に変
換された検出データは共通バスを介してＣＰＵ２４に供
給される。ＣＰＵ２４は、デジタルデータを入力し、そ
の範囲に応じてゲイン切替回路１６ｄに切替制御信号を
供給する。具体的には、Ａ／Ｄ変換データが一定の範囲
内でない場合（レンジオーバ）には、増幅回路１６ｂの
増幅率が高すぎるとして、ゲイン切替回路１６ｄに増幅
率低下の制御信号を出力する。ゲイン切替回路１６ｄ
は、ＣＰＵ２４からのこの制御信号に従って増幅回路１
６ｂの増幅率（ゲイン）を段階的に切り替え、再度検出
信号を増幅し、Ａ／Ｄ変換回路１６ｃでデジタル信号に
変換する。
細構成ブロック図が示されている。検出器１６ａは、差
動トランスやインダクタンスで構成され、ワーク表面の
凹凸によるスタイラスのｚ軸方向の移動を電気信号に変
換して増幅回路１６ｂに出力する。増幅回路１６ｂは、
設定された増幅率（ゲイン）で信号を増幅し、Ａ／Ｄ変
換回路１６ｃに出力する。測定が開始されると、ＣＰＵ
２４はトレースの一定長さＬ、あるいはスタイラスを一
定速度で駆動する場合には一定時間Ｔ（計時装置３４で
計測）毎にＡ／Ｄ変換回路１６ｃに対して変換指示の制
御信号を出力する。Ａ／Ｄ変換回路１６ｃはこの制御信
号に従ってデジタル信号に変換する。デジタル信号に変
換された検出データは共通バスを介してＣＰＵ２４に供
給される。ＣＰＵ２４は、デジタルデータを入力し、そ
の範囲に応じてゲイン切替回路１６ｄに切替制御信号を
供給する。具体的には、Ａ／Ｄ変換データが一定の範囲
内でない場合（レンジオーバ）には、増幅回路１６ｂの
増幅率が高すぎるとして、ゲイン切替回路１６ｄに増幅
率低下の制御信号を出力する。ゲイン切替回路１６ｄ
は、ＣＰＵ２４からのこの制御信号に従って増幅回路１
６ｂの増幅率（ゲイン）を段階的に切り替え、再度検出
信号を増幅し、Ａ／Ｄ変換回路１６ｃでデジタル信号に
変換する。
【００１６】図４には、本実施形態の処理フローチャー
トが示されている。測定が開始されると、まず増幅回路
１６ｂの初期増幅率を最高値（最高レンジ）に設定して
検出信号を増幅する（Ｓ１０１）。次に、トレースの一
定長さＬに達した場合に、ＣＰＵ２４はＡ／Ｄ変換回路
１６ｃに対してＡ／Ｄ変換を指示する制御信号を出力す
る（Ｓ１０２）。得られたデジタルデータはＣＰＵ２４
に供給する。ＣＰＵ２４は、このデジタルデータを入力
し（Ｓ１０３）、予め定められた一定の範囲内に入って
いるか否か、すなわちデジタルデータがレンジオーバか
否かを判定する（Ｓ１０４）。例えば、Ａ／Ｄ変換によ
り入力され得る値が＋５１２〜−５１２の範囲である場
合、デジタルデータが＋４８０〜−４８０の範囲外であ
る場合にはレンジオーバであると判定する。
トが示されている。測定が開始されると、まず増幅回路
１６ｂの初期増幅率を最高値（最高レンジ）に設定して
検出信号を増幅する（Ｓ１０１）。次に、トレースの一
定長さＬに達した場合に、ＣＰＵ２４はＡ／Ｄ変換回路
１６ｃに対してＡ／Ｄ変換を指示する制御信号を出力す
る（Ｓ１０２）。得られたデジタルデータはＣＰＵ２４
に供給する。ＣＰＵ２４は、このデジタルデータを入力
し（Ｓ１０３）、予め定められた一定の範囲内に入って
いるか否か、すなわちデジタルデータがレンジオーバか
否かを判定する（Ｓ１０４）。例えば、Ａ／Ｄ変換によ
り入力され得る値が＋５１２〜−５１２の範囲である場
合、デジタルデータが＋４８０〜−４８０の範囲外であ
る場合にはレンジオーバであると判定する。
【００１７】レンジオーバか否かを判定した結果、レン
ジオーバでなければＣＰＵ２４は測定結果に現在の増幅
率に相当する重み係数を乗算してデータ記憶装置２６に
格納する（Ｓ１０５）。一方、レンジオーバであると判
定した場合には、既に最低の増幅率（最低レンジ）であ
るか否かを判定し（Ｓ１０６）、最低でなければ現在よ
りも低い増幅率に切り替える（Ｓ１０８）。そして、低
い増幅率に切り替えた後、再び同一の検出信号に対して
Ａ／Ｄ変換を指示し（Ｓ１０２）、レンジオーバか否か
を判定する（Ｓ１０４）。低い増幅率に切り替えてもな
おレンジオーバである場合には、Ｓ１０４でＹＥＳと判
定されるため、再びより低い増幅率に切り替えて（Ｓ１
０８）、Ｓ１０２以降の処理を繰り返す。また、レンジ
オーバと判定された際に現在の増幅率が既に最低値であ
る場合には、検出信号が過大であるとして警告を出力す
る（Ｓ１０７）。警告を出力するとともに、検出装置１
６の駆動を停止してもよい。
ジオーバでなければＣＰＵ２４は測定結果に現在の増幅
率に相当する重み係数を乗算してデータ記憶装置２６に
格納する（Ｓ１０５）。一方、レンジオーバであると判
定した場合には、既に最低の増幅率（最低レンジ）であ
るか否かを判定し（Ｓ１０６）、最低でなければ現在よ
りも低い増幅率に切り替える（Ｓ１０８）。そして、低
い増幅率に切り替えた後、再び同一の検出信号に対して
Ａ／Ｄ変換を指示し（Ｓ１０２）、レンジオーバか否か
を判定する（Ｓ１０４）。低い増幅率に切り替えてもな
おレンジオーバである場合には、Ｓ１０４でＹＥＳと判
定されるため、再びより低い増幅率に切り替えて（Ｓ１
０８）、Ｓ１０２以降の処理を繰り返す。また、レンジ
オーバと判定された際に現在の増幅率が既に最低値であ
る場合には、検出信号が過大であるとして警告を出力す
る（Ｓ１０７）。警告を出力するとともに、検出装置１
６の駆動を停止してもよい。
【００１８】以上のようにして、トレースの一定長さＬ
における測定値データをデータ記憶装置２６に格納した
後は、再びＳ１０１に移行して増幅率を初期値の最高値
に戻し、次の一定長さＬ分の測定値について同様の処理
を実行し増幅率を調整する。
における測定値データをデータ記憶装置２６に格納した
後は、再びＳ１０１に移行して増幅率を初期値の最高値
に戻し、次の一定長さＬ分の測定値について同様の処理
を実行し増幅率を調整する。
【００１９】このように、本実施形態では、測定結果が
レンジオーバである場合には、レンジ内におさまるまで
段階的に増幅率を自動低下させるので、効率的な測定が
可能となる。
レンジオーバである場合には、レンジ内におさまるまで
段階的に増幅率を自動低下させるので、効率的な測定が
可能となる。
【００２０】なお、本実施形態において、例えば増幅回
路１６ｂが３段階の増幅率を有する場合には、一定長さ
Ｌ毎に最大３回の増幅率切替が行われ、この結果最大３
回のＡ／Ｄ変換が行われる可能性があるので、サンプリ
ング間隔であるトレースの一定長さＬに要する時間Ｔを
小さくすることができず、サンプリングレートが低下す
る場合もあり得る。
路１６ｂが３段階の増幅率を有する場合には、一定長さ
Ｌ毎に最大３回の増幅率切替が行われ、この結果最大３
回のＡ／Ｄ変換が行われる可能性があるので、サンプリ
ング間隔であるトレースの一定長さＬに要する時間Ｔを
小さくすることができず、サンプリングレートが低下す
る場合もあり得る。
【００２１】したがって、このような場合には、測定開
始時に１回だけ増幅回路１６ｂの増幅率を最高値に設定
し、レンジオーバと判定されて増幅率が低下調整された
後はその増幅率を次回の一定長さＬの測定にもそのまま
用いて（すなわち、初期値を最高値とするのではなく、
現在の増幅率として調整していく）測定を行うことが好
適である。具体的には、図４のフローチャートにおい
て、一定長さＬの測定値を格納した後、次の一定長さＬ
の測定に移行する際に、Ｓ１０１から処理を行うのでは
なくＳ１０２から処理を行えばよい。これにより、一定
長さＬ毎に増幅率を最高値から複数回切り替えるという
処理が不要となり、サンプリングレートの低下を防止す
ることができる。
始時に１回だけ増幅回路１６ｂの増幅率を最高値に設定
し、レンジオーバと判定されて増幅率が低下調整された
後はその増幅率を次回の一定長さＬの測定にもそのまま
用いて（すなわち、初期値を最高値とするのではなく、
現在の増幅率として調整していく）測定を行うことが好
適である。具体的には、図４のフローチャートにおい
て、一定長さＬの測定値を格納した後、次の一定長さＬ
の測定に移行する際に、Ｓ１０１から処理を行うのでは
なくＳ１０２から処理を行えばよい。これにより、一定
長さＬ毎に増幅率を最高値から複数回切り替えるという
処理が不要となり、サンプリングレートの低下を防止す
ることができる。
【００２２】あるいは、図３における増幅回路１６ｂと
Ａ／Ｄ変換回路１６ｃをそれぞれ複数備える構成とし、
各増幅回路の増幅率を異なる値に設定して複数のＡ／Ｄ
変換回路で同時にＡ／Ｄ変換を行わせてそれぞれの結果
からレンジオーバの判定を行えば、増幅率切替え回数を
減らすことができ、サンプリングレートの低下を防止す
ることができる。
Ａ／Ｄ変換回路１６ｃをそれぞれ複数備える構成とし、
各増幅回路の増幅率を異なる値に設定して複数のＡ／Ｄ
変換回路で同時にＡ／Ｄ変換を行わせてそれぞれの結果
からレンジオーバの判定を行えば、増幅率切替え回数を
減らすことができ、サンプリングレートの低下を防止す
ることができる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
表面性状測定機の検出器における増幅率を自動調整する
ことで予備測定を不要とし、短時間に表面性状を測定す
ることができる。
表面性状測定機の検出器における増幅率を自動調整する
ことで予備測定を不要とし、短時間に表面性状を測定す
ることができる。
【図１】 実施形態の外観構成図である。
【図２】 実施形態の構成ブロック図である。
【図３】 図２における検出装置の詳細構成ブロック図
である。
である。
【図４】 実施形態の処理フローチャートである。
１０ 基台、１２ 載物台、１４ ワーク、１６ 検出
装置、１８ 駆動装置、２０ 支柱、２２ 表示装置。
装置、１８ 駆動装置、２０ 支柱、２２ 表示装置。
フロントページの続き (72)発明者 本田 博臣 宮崎県宮崎市橘通東３丁目１番47号 株式 会社ミツトヨ内 (72)発明者 加納 孝文 広島県呉市広古新開６丁目８番20号 株式 会社ミツトヨ内 (72)発明者 石橋 一成 広島県呉市広古新開６丁目８番20号 株式 会社ミツトヨ内 Ｆターム(参考） 2F069 AA54 AA57 AA60 DD15 GG01 GG12 GG62 HH01 HH30 LL03 NN08
Claims (3)
- 【請求項１】 被測定物の凹凸を電気信号に変換する検
出手段と、 前記検出手段からの電気信号を増幅する増幅手段と、 前記増幅手段で増幅された電気信号をデジタル信号に変
換するＡ／Ｄ変換手段と、 を有する表面性状測定機において、 前記Ａ／Ｄ変換手段からのデジタル信号が所定の範囲内
にあるか否かを判定する判定手段と、 前記判定手段で所定の範囲外であると判定された場合に
前記増幅手段の増幅率を低下させる制御手段と、 を有することを特徴とする表面性状測定機。 - 【請求項２】 請求項１記載の装置において、 前記制御手段は、前記被測定物の所定測定長さ毎に前記
増幅率の初期値として最高増幅率を設定し、前記判定手
段の判定結果に応じて段階的に前記増幅率を低下させる
ことを特徴とする表面性状測定機。 - 【請求項３】 請求項１記載の装置において、 前記制御手段は、測定開始時に前記増幅率の初期値とし
て最高増幅率を設定し、前記判定手段の判定結果に応じ
て段階的に前記増幅率を低下させることを特徴とする表
面性状測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11120752A JP2000310529A (ja) | 1999-04-27 | 1999-04-27 | 表面性状測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11120752A JP2000310529A (ja) | 1999-04-27 | 1999-04-27 | 表面性状測定機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000310529A true JP2000310529A (ja) | 2000-11-07 |
Family
ID=14794124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11120752A Pending JP2000310529A (ja) | 1999-04-27 | 1999-04-27 | 表面性状測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000310529A (ja) |
Cited By (3)
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