JP2000311332A - 磁気記録媒体および該磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 低浮上型ヘッドを用いても分解することな
く、潤滑特性、ＣＳＳ耐久性を向上させた磁気記録媒体
を提供する。 【解決手段】 潤滑層に環状トリホスファゼン系潤滑剤
を単独で使用するか、または環状トリホスファゼン系潤
滑剤をパーフルオロポリエーテル系潤滑剤と組み合わせ
て使用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コンピューターの
外部記録装置に搭載される磁気記録媒体および該磁気記
録媒体の製造方法に関する。特に本発明は、磁気記録媒
体の表面上に塗布される潤滑特性（ＣＳＳ耐久性）を改
善した潤滑剤に関する。

【０００２】

【従来の技術】固体磁気記録媒体を用いた記録装置など
は、一般に、磁気記録媒体の回転時には磁気ヘッドが浮
上し、回転駆動モーターが停止した時には磁気ヘッドが
磁気記録媒体表面と接触するコンタクト・スタート・ス
トップ（ＣＳＳ）方式が採用されている。従来の磁気記
録媒体は、表面保護層としてダイヤモンド状カーボン
（ＤＬＣ）に、さらに少量のＮやＳｉ等を添加したもの
が用いられている。そして、一般に、このような表面保
護層の潤滑特性を改良するために、該表面保護層の上に
パーフルオロポリエーテル系潤滑剤を塗布する。かかる
潤滑剤を使用し保護層表面を覆い尽くすことは、表面に
有害なガスや有機汚染物が吸着することを防ぎ、さらに
潤滑特性を向上させ、ＣＳＳ耐久性に優れかつ安定した
磁気記録媒体を得る一つの手段となる。

【０００３】ＤＬＣ系カーボン表面は、反応性のカルボ
ニル基、カルボキシル基や水酸基等の官能基を有する薄
い酸化膜で覆われており、ここに汚染物が積極的に吸
着、結合し存在する。このような汚染物の吸着は、有極
性末端基を有するパーフルオロポリエーテルを使用する
ことで抑止することができるが、パーフルオロポリエー
テルの分子量が低すぎると潤滑特性が低下し、逆に分子
量が高すぎるとヘッドと潤滑層との吸着傾向が高くな
る。また、比較的分子量の大きいパーフルオロポリエー
テルを使用した場合、一般的に保護層上に数１０Å塗布
した程度では分子と分子との間に隙間が生じ、保護層表
面を完全に覆うのは困難である。従って、このような比
較的分子量の大きいパーフルオロポリエーテルを使用し
て、保護層表面を完全に覆うためには、潤滑剤の膜厚を
５０Å以上に厚く塗布しなければならず、５０Å位まで
厚くすると磁気記録媒体と磁気ヘッドとの吸着を回避す
ることは困難となる。

【０００４】近年では高密度記録に伴い磁気ヘッドの低
浮上化が進み、磁気ヘッドの構造も従来のＴＲＣヘッド
からＴｒｉ−ｏｍｅｇａヘッド、ＭＲヘッド等の低浮上
型ヘッドが採用されるようになってきた。それに伴い、
ヘッド材質が触媒作用を受けるか、または摩擦熱を発生
することにより、パーフルオロポリエーテル系潤滑剤の
主鎖部（エーテル部位）では分解が進むことになる。さ
らに、この分解物やディスク表面に吸着したガス等の腐
食成分が磁気ヘッド表面に転写され、磁気ヘッドの浮上
特性を乱し、再生出力の低下を招くことになる。また、
分解したパーフルオロポリエーテル系潤滑剤は、潤滑特
性が低下するため保護層の摩耗が生じ、最悪の場合には
ヘッドクラッシュを引き起こすことになる。

【０００５】一方で、従来から環状トリホスファゼン系
潤滑剤は、潤滑特性の向上やパーフルオロポリエーテル
系潤滑剤の分解抑制に効果があることが知られている。
例えば、特開平９−３０５９６１号公報では、以下の構
造式（II）で示されるような環状トリホスファゼン系潤
滑剤をパーフルオロポリエーテル系潤滑剤と組み合わせ
て使用することにより磁気記録媒体における潤滑特性が
改善されることを開示している。

【０００６】

【化３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、パーフルオロ
ポリエーテル系潤滑剤と環状トリホスファゼン系潤滑剤
とは互いに非常に混ざりにくく、さらに潤滑層として塗
布され、ある環境下に放置されると凝集してしまうとい
う解決すべき課題がある。その結果、従来の技術では、
固定磁気記録媒体を用いた記録装置の特性を大幅に低下
することがある。また、上述した課題を解決するため
に、各種のパーフルオロポリエーテル系潤滑剤を用いる
試みが種々なされているが、要求される全ての性能を満
足し得る技術は未だ確立されていないのが現状である。

【０００７】従って、本発明の目的は、高密度記録に伴
う磁気ヘッドの低浮上化による潤滑剤の分解および保護
層の摩耗を防止し、長期にわたる潤滑特性の安定化（Ｃ
ＳＳ耐久性の向上）を実現する磁気記録媒体および該磁
気記録媒体の製造方法を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記の目
的を達成するため、潤滑層に用いる潤滑剤について鋭意
検討した結果、分子量が小さく、安定性が高く、耐熱性
に優れた新規の環状ホスファゼン系潤滑剤を使用するこ
とにより、前記の目的を達成できることを見出し本願発
明を完成するに至った。すなわち、本発明の磁気記録媒
体は、非磁性基体上に下地層、磁性層、保護層、および
潤滑層を有し、かかる潤滑層は少なくとも、以下の構造
式（Ｉ）：

【０００９】

【化４】 で示される環状トリホスファゼン系潤滑剤を含むことを
特徴とする。上述した潤滑層には、さらに、少なくとも
１つの有極性末端基を有するパーフルオロポリエーテル
系潤滑剤を含んでもよく、そのパーフルオロポリエーテ
ル系潤滑剤の重量平均分子量は１，５００から５，５０
０であることが好ましい。

【００１０】本発明の磁気記録媒体の製造方法は、非磁
性基体上に下地層を積層する工程と、該下地層上に磁性
層を積層する工程と、該磁性層上に保護層を積層する工
程と、該保護層上に潤滑層を積層する工程とを具え、か
かる潤滑層は少なくとも以下の構造式（Ｉ）：

【００１１】

【化５】 で示される環状トリホスファゼン系潤滑剤を用いて形成
されることを特徴とする。上述した潤滑層は、さらにパ
ーフルオロポリエーテル系潤滑剤を用いて形成してもよ
い。

【００１２】本発明の磁気記録媒体の製造方法におい
て、潤滑層を積層する工程は、上述した環状トリホスフ
ァゼン系潤滑剤とパーフルオロポリエーテル系潤滑剤と
を別々に塗布するか、または上述した環状トリホスファ
ゼン系潤滑剤とパーフルオロポリエーテル系潤滑剤とを
混合して塗布するかしてもよい。それらの塗布は、ディ
ップコート法またはスピンコート法で行うことが好まし
い。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明に基づく磁気記録媒体は、
該磁気記録媒体の表面の潤滑特性を改善するために、潤
滑層に以下の構造式（Ｉ）で示される新規の環状トリホ
スファゼン系潤滑剤を使用する。

【００１４】

【化６】 環状トリホスファゼン系潤滑剤は、単独でまたは少なく
とも１つの有極性末端基を有するパーフルオロポリエー
テル系潤滑剤と組み合わせて使用することができる。環
状トリホスファゼン系潤滑剤をパーフルオロポリエーテ
ル系潤滑剤と組み合わせて使用する場合には、各潤滑剤
を別々に塗布して２層構造にするか、または先に各潤滑
剤を混合して塗布することができる。各潤滑剤はよく混
ざり合い、従来問題となっていた凝集は起こらない。ま
た、必要に応じて各潤滑剤を任意の溶剤で希釈してもよ
い。

【００１５】構造式（Ｉ）で示される環状トリホスファ
ゼン系潤滑剤は、限定されるものではないが、例えば、
環状トリホスファゼン化合物と以下に示す反応式（１）
および（２）で得られた化合物とを混合することによっ
て調製することができる。

【００１６】すなわち、慣用の方法にしたがって、溶媒
の存在下、反応式（１）に示すように１，２，３，４，
５，６−フロロヘプタノール［Ｆ（ＣＦ₂）₆ＣＨ₂Ｏ
Ｈ］と金属ナトリウムとを低温で反応させ、ナトリウム
アルコキシドとする。

【００１７】

【化７】 また、慣用の方法にしたがって、溶媒の存在下、反応式
（２）に示したようにｍ−トリフルオロメチル−フェノ
ールと金属ナトリウムとを低温で反応させ、ナトリウム
フェノキシドとする。

【００１８】

【化８】 上記の反応式（１）および（２）で得られた化合物と環
状トリホスファゼン化合物とを作用させることにより、
構造式（Ｉ）で示される環状トリホスファゼン系潤滑剤
が得られる。

【００１９】さらに、上記環状トリホスファゼン系潤滑
剤と組み合わせて使用してもよいパーフルオロポリエー
テル系潤滑剤は、好適には１，５００から５，５００、
より好適には２，５００から４，０００の重量平均分子
量を有するものである。かかる分子量が低すぎると潤滑
特性が低下し、また分子量が高すぎるとヘッドと潤滑層
との吸着傾向が大きくなってしまう。少なくとも１つの
有極性末端基を有するパーフルオロエーテルを組み合わ
せることで、磁気記録媒体への汚染物の付着防止をより
効果的にすることができる。このようなパーフルオロポ
リエーテル潤滑剤の一例として、モンテカチーニ社製の
Fomblin Z-dol 4000（商品名）が挙げられる。

【００２０】前記各潤滑剤の塗布は、当業者に既知の方
法、好ましくはディップコート法、スピンコート法を用
いて行うことが好ましい。塗布の際、必要に応じて各潤
滑剤を適当な溶剤で希釈してもよく、０．０５ｗｔ％の
濃度が適当である。そして、上述のような本発明の環状
トリホスファゼン系潤滑剤、またはパーフルオロポリエ
ーテル系潤滑剤と組み合わせた環状トリホスファゼン系
潤滑剤で磁気記録媒体の保護層表面を完全に覆うことに
より、汚染物の吸着抑止および潤滑特性を向上させ、Ｃ
ＳＳ耐久性に優れた磁気記録媒体を得ることが可能とな
る。

【００２１】本発明に係る磁気記録媒体の一実施態様を
図１に示し、図１を参照しながら以下に概説するが、こ
れらに限定されるものではない。

【００２２】本発明に係る磁気記録媒体の一実施態様で
は、非磁性基板１１（例えば、Ａｌ−Ｍｇ）および非磁
性金属層１２（例えば、合金基板上に無電解メッキした
Ｎｉ−Ｐ）とからなる非磁性の基体１、該基体１の上に
積層した非磁性の金属下地層２、該金属下地層２の上に
薄膜上に積層した強磁性合金である磁性層３（例えば、
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ等）、さらに該磁
性層３の上に積層した保護層４（例えば、カーボン層）
とを備える。そして、前記のように保護層４まで順次積
層された上に、さらに潤滑層５を備える。

【００２３】以下、本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法について実施例により説明するが、本発明は以下に示
す実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲において種々変更可能であることは言うまでも
ない。

【００２４】１．磁気記録媒体の製造 （実施例１）最初に、本発明に係る磁気記録媒体の潤滑
層に使用する構造式（Ｉ）で示される環状トリフォスフ
ァゼン系潤滑剤の調製について例示する。

【００２５】（ａ）ナトリウムアルコキシド化 蒸留などでよく脱水させた３０ｍｌのＨＦＥ７２００
（商品名、３Ｍ社製）に金属ナトリウム１．０ｇを加え
たものを、１０ｇの１，２，３，４，５，６−フロロヘ
プタノール［Ｆ（ＣＦ₂）₆ＣＨ₂ＯＨ］と０．１ｇのピ
リジンとを１００ｍｌのＨＦＥ７２００に溶解させた溶
液に加えた後、０℃に冷却した。この溶液の温度を０℃
以下に保ちながら、１０時間にわたって撹拌した。ＮＭ
Ｒ測定により反応の終点を確認した後、反応溶液を濾過
して固形物を取り除き、純水で洗浄し、さらにＨＦＥ７
２００を除去して目的とする１，２，３，４，５，６−
フロロヘプタノールアルコキシド７．３ｇを得た。

【００２６】（ｂ）ナトリウムフェノキシド化 蒸留などでよく脱水させた３０ｍｌのジエチルエーテル
に金属ナトリウム１．０ｇを加えたものを、１０ｇのｍ
−トリフルオロメチルフェノールと０．１ｇのピリジン
とを８０ｍｌのジエチルエーテルに溶解させた溶液に加
えた後、０℃に冷却した。この溶液を０℃以下に保ちな
がら、５時間にわたって撹拌した。ＮＭＲ測定により反
応の終点を確認した後、反応溶液を濾過して固形物を取
り除き、純水で洗浄し、さらにジエチルエーテルを除去
して目的とするナトリウム ｍ−トリフルオロメチル−
フェノキシド８．５ｇを得た。

【００２７】（ｃ）環状トリホスファゼン系潤滑剤の調
製 オートクレーブに、上記（ａ）で得られた１，２，３，
４，５，６−フロロヘプタノールアルコキシドを２．０
ｇ、上記（ｂ）で得られたナトリウム ｍ−トリフルオ
ロメチル−フェノキシドを６．０ｇ、ヘキサクロロホス
ファゼンＮ₃Ｐ₃Ｃｌ₆を３．０ｇ、さらにＨＦＥ７２０
０を７０ｍｌ入れて、オートクレーブ内をＮ₂で置換し
た後、８０℃で２５０時間にわたって反応させた。ＮＭ
Ｒ測定により反応の終点を確認した後、水およびエタノ
ールで洗浄し、所望の環状トリホスファゼンを鎖状分子
の末端に有する１，２，３，４，５，６−フロロヘプタ
ノールを２．４ｇ得た。なお、得られた潤滑剤は必要に
応じて適当な溶剤で希釈して使用する。

【００２８】次に、上述のようにして得られた環状トリ
ホスファゼン系潤滑剤を用いた磁気記録媒体の製造につ
いて例示する。

【００２９】Ａｌ−Ｍｇ合金基板上に無電解メッキによ
りＮｉ−Ｐメッキを施した非磁性金属層を１３μｍ形成
し、その表面をポリッシュにより表面粗さＲａが１０Å
になるように研磨した後、ダイヤモンドスラリーを使用
して、表面粗さＲａが４０Åとなるように、同心円状の
溝をテクスチャー加工により施した。得られた基体を洗
浄した後、ＤＣスパッタ法により膜厚５００ÅのＣｒか
らなる非磁性金属下地層、次いで膜厚３００ÅのＣｏ−
Ｃｒ−Ｔａからなる磁性層、さらに膜厚１５０ÅのＤＬ
Ｃからなる保護層を作製した。

【００３０】上述のように保護層まで順次積層させた上
（以下、保護層の上という）に、先に調製した環状トリ
ホスファゼン系潤滑剤（構造式（Ｉ）で示される化合
物、だたしｎは１から６）を使用し潤滑層を成膜した。
その際、かかる環状トリホスファゼン系潤滑剤はｎ−ヘ
キサンを溶剤として用い希釈し、その濃度が０．０５ｗ
ｔ％になるように予め調製した。得られた潤滑剤溶液を
ディップコート法により塗布し、２０Åの潤滑層を有す
る磁気記録媒体を作製した。

【００３１】（比較例１）構造式（Ｉ）で示される化合
物の代わりに、以下の構造式（II）：

【００３２】

【化９】 で示される従来の環状トリホスファゼン系潤滑剤を保護
層の上に使用することを除いて、実施例１と同様に実施
することにより相当する磁気記録媒体を作製した。

【００３３】（実施例２）実施例１で記述した保護層の
上に、ｎが１から６である構造式（Ｉ）で示される環状
トリホスファゼン系潤滑剤を成膜した。その際、かかる
環状トリホスファゼン系潤滑剤を溶剤としてｎ−ヘキサ
ンを用いて希釈し、その濃度が０．０５ｗｔ％になるよ
うに予め調製し、ディップコート法により塗布し、５Å
の潤滑層を成膜した。

【００３４】次いで、モンテカチーニ社製のFomblin Z-
dol 4000（商品名）等の重量平均分子量が４，０００
で、かつ水酸基を末端基に有するパーフルオロポリエー
テルを、溶媒として３Ｍ社製のＦＣ−７７（商品名）等
のフルオロカーボンを用いて希釈し、その濃度が０．０
５ｗｔ％になるように調製した。得られた潤滑剤溶液を
スピンコート法（回転数１，８００ｒｐｍ）で塗布し、
膜厚２０Åのパーフルオロポリエーテル系潤滑層を成膜
した。そして、各潤滑層を有する磁気記録媒体を作製し
た。

【００３５】（比較例２）構造式（Ｉ）で示される化合
物の代わりに、前記構造式（II）で示される従来の環状
トリホスファゼン系潤滑剤を保護層の上に使用すること
を除いて、実施例２と同様に実施することにより相当す
る磁気記録媒体を作製した。

【００３６】（比較例３）実施例２において、保護層の
上に環状トリホスファゼン系潤滑剤を成膜しないことを
除いて、実施例２と同様に実施することにより相当する
磁気記録媒体を作製した。

【００３７】２．磁気記録媒体の評価 上述した実施例１、２および比較例１〜３で作製した磁
気記録媒体表面の潤滑層に関して、以下、評価１および
評価２に示すような分解評価を行った。評価１ 上述した実施例１、２および比較例１〜３で作製した各
々の磁気記録媒体の表面上に、Ａｌ₂Ｏ₃−ＴｉＣ粉と超
純水の混合液１滴を滴下し、次いでデシケータ内に入れ
８０℃／８０％相対湿度の条件下で２４時間放置した。
次いで、磁気記録媒体の表面にある潤滑剤の分解の有無
をフーリエ変換式赤外分光光度計（ＦＴ−ＩＲ）を用い
て確認した。これらの結果を以下の表１に示す。

【００３８】評価２ 上述した実施例１、２および比較例１〜３において作製
した各々の磁気記録媒体について、それらの表面上に超
純水１滴を滴下した磁気記録媒体と１０ｃｃの１％ Ｈ₂
ＳＯ₄とを入れたシャーレをデシケータ内に入れ、８０
℃／８０％相対湿度の条件下で２４時間にわたって放置
した後、媒体表面潤滑剤の分解の有無をフーリエ変換式
赤外分光光度計（ＦＴ−ＩＲ）にて確認した。これらの
結果を以下の表１に示す。

【００３９】

【表１】 表１から明らかなように、評価１および評価２のいずれ
においても、保護層を少なくとも本発明の環状トリホス
ファゼン系潤滑剤で塗布した磁気記録媒体では、潤滑剤
の分解が見られないことが分かった。

【００４０】次に、上述した実施例１、２および比較例
１〜３で作製した磁気記録媒に関し、以下、評価３およ
び評価４に示すような潤滑特性の評価を行った。

【００４１】評価３ 上述した実施例１、２および比較例１〜３において作製
した各々の磁気記録媒体の表面上に、ヘッド荷重が１０
ｇｆの磁極ヘッドを、半径位置２１．５ｍｍ、回転数１
ｒｐｍで摺動させて、この時の動摩擦係数μ_Iを測定し
た。その後、回転数１００ｒｐｍで１時間摺動させた
後、回転数１００ｒｐｍで摺動させた時の動摩擦係数μ
_Lを測定した。これらの結果を以下の表２に示す。

【００４２】評価４ 上述した実施例１、２および比較例１〜３において作製
した各々の磁気記録媒体を、評価３と同様のヘッドを用
い実際の磁気ディスクドライブに組み込み、初期の摩擦
係数μ_Iを測定した。その後、常温／常湿（２５℃／５
０％）と６０℃／８０％相対湿度の条件下で、２０，０
００回のＣＳＳを繰り返した後、摩擦係数μ_Lを測定し
た。また、６０℃／８０％相対湿度の条件下で、ＣＳＳ
を２０，０００回繰り返したものについて、ヘッドの汚
れの有無を光学顕微鏡により観察した。これらの結果を
以下の表２に示す。

【００４３】

【表２】 表２から明らかなように、評価３および４に関して、保
護層を少なくとも本発明の環状トリホスファゼン系潤滑
剤で塗布した磁気記録媒体（実施例１および２）は、い
ずれの環境下においても初期摩擦係数μ_Iが小さく、２
０，０００回のＣＳＳにおける摩擦係数の上昇も少な
い。これに対し、パーフルオロポリエーテル系潤滑剤の
みを使用したもの（比較例３）は摩擦係数が上昇し、さ
らに保護層の摩耗が生じた。このことから、本発明に係
る潤滑剤を使用することで、磁気記録媒体の摺動特性お
よびＣＳＳ耐久特性を改善できることが分かった。

【００４４】また、実施例１および２において作製され
た本発明に係る潤滑剤を表面に塗布した磁気記録媒体で
は、ヘッドの汚れは確認できなかった。

【００４５】最後に、上述した実施例１、２および比較
例１〜３において作製した磁気記録媒体表面の潤滑層に
関して、以下、評価５に示すような凝集評価を行った。

【００４６】評価５ 上述した実施例１、２および比較例１〜３で作製した各
々の磁気記録媒体を恒温恒湿槽に８０℃／８０％で５日
間にわたり放置した後、磁気記録媒体表面の凝集の有無
を光学顕微鏡により観察した。これらの結果を以下の表
３に示す。

【００４７】

【表３】 表３から明らかなように、本発明に係る環状トリホスフ
ァゼン系潤滑剤を使用した実施例１において、凝集現象
は観察されなかった。また、同様に本発明に係る環状ト
リホスファゼン系潤滑剤とパーフルオロポリエーテルと
を組み合わせた実施例２についても凝集現象は観察され
ず、各々の潤滑剤がよく混ざり合うことが分かる。

【００４８】一方、前記構造式（II）で示される従来型
の環状トリホスファゼン系潤滑剤を用いた比較例１およ
び２では、凝集現象が確認された。

【００４９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に基づく環状トリホスファゼン系潤滑剤を単独でまたは
パーフルオロポリエーテル系潤滑剤と組み合わせて使用
することにより、低浮上型の磁気ヘッドに対して潤滑特
性およびＣＳＳ耐久性の向上を与える。その結果、従来
のものに比べて長期使用時における特性安定に優れた磁
気記録媒体を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明にもとづく磁気記録媒体の一例
を示す断面斜視図である。

【符号の説明】

１ 基体 ２ 金属下地層 ３ 磁性層 ４ 保護層 ５ 潤滑層 １１ 非磁性基板 １２ 非磁性金属層（メッキ層）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ１０Ｎ 40:18 (72)発明者 白井 信二 神奈川県川崎市川崎区田辺新田１番１号 富士電機株式会社内 Ｆターム(参考） 4H104 BH14A CD04A EA03A LA20 PA16 5D006 AA01 AA06 DA03 FA02 FA06 5D112 AA07 AA11 AA24 BC02 BC10 CC01 CC05

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 非磁性基体上に下地層、磁性層、保護
   層、および潤滑層を有する磁気記録媒体において、前記
   潤滑層は少なくとも、以下の構造式（Ｉ）： 【化１】 で示される環状トリホスファゼン系潤滑剤を含むことを
   特徴とする磁気記録媒体。
2. 【請求項２】 前記潤滑層に、さらに少なくとも１つの
   有極性末端基を有するパーフルオロポリエーテル系潤滑
   剤を含むことを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒
   体。
3. 【請求項３】 前記パーフルオロポリエーテル系潤滑剤
   は、重量平均分子量が１，５００から５，５００である
   ことを特徴とする請求項２に記載の磁気記録媒体。
4. 【請求項４】 非磁性基体上に下地層を積層する工程
   と、該下地層上に磁性層を積層する工程と、該磁性層上
   に保護層を積層する工程と、該保護層上に潤滑層を積層
   する工程とを具えた磁気記録媒体の製造方法において、
   前記潤滑層は、少なくとも以下の構造式（Ｉ）： 【化２】 で示される環状トリホスファゼン系潤滑剤を用いて形成
   されることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
5. 【請求項５】 前記潤滑層は、さらにパーフルオロポリ
   エーテル系潤滑剤を用いて形成されることを特徴とする
   請求項４に記載の磁気記録媒体の製造方法。
6. 【請求項６】 前記潤滑層を積層する工程は、前記環状
   トリホスファゼン系潤滑剤を塗布する工程と、前記パー
   フルオロポリエーテル系潤滑剤を塗布する工程とを具え
   ることを特徴とする請求項５に記載の磁気記録媒体の製
   造方法。
7. 【請求項７】 前記潤滑層を積層する工程は、前記環状
   トリホスファゼン系潤滑剤と前記パーフルオロポリエー
   テル系潤滑剤とを混合して塗布する工程を具えることを
   特徴とする請求項５に記載の磁気記録媒体の製造方法。
8. 【請求項８】 前記塗布する工程が、ディップコート法
   またはスピンコート法であることを特徴とする請求項６
   または７に記載の磁気記録媒体の製造方法。
9. 【請求項９】 請求項１から３のいずれかに記載の磁気
   記録媒体を搭載することを特徴とする記録装置。