JP2000312864A - 可撓性基板の液切り装置 - Google Patents
可撓性基板の液切り装置Info
- Publication number
- JP2000312864A JP2000312864A JP11120584A JP12058499A JP2000312864A JP 2000312864 A JP2000312864 A JP 2000312864A JP 11120584 A JP11120584 A JP 11120584A JP 12058499 A JP12058499 A JP 12058499A JP 2000312864 A JP2000312864 A JP 2000312864A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- substrate
- roller
- flexible substrate
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 液切り工程において、薄板の低剛性基板や凸
カール（下面側へのカール）を有する基板においても、
ジャムや蛇行等の発生を防止し基板搬送の安定を図る。 【解決手段】 可撓性枚様基板１０は洗浄後、搬送ホイ
ール１５上に載置され、前段エアーナイフ１１ａ及び前
段吸水ローラ１２ａにより構成される前段液切り部に搬
送される。前段吸水ローラ１２ａは複数の溝部１２ａ′
を有し、該溝部１２ａ′でその前後の搬送ホイール１５
ａ1，１５ａ2と互いに交差している。そのため、基板１
０が低剛性の場合や先端部に凸カールが存在する場合で
も、その搬送面より下方への屈曲量が大幅に規制され、
先端部が吸水ローラ１２ａに引っ掛かることなく、一定
速度の搬送が可能となる。後段吸水ローラ１２ｂも前段
吸水ローラ１２ａと同様であるが、その溝部１２ｂ′が
前段の溝部１２ａ′と互いに重ならない位置にあり、基
板１０の裏面に付着している洗浄液は、全裏面にわたり
除去される。
カール（下面側へのカール）を有する基板においても、
ジャムや蛇行等の発生を防止し基板搬送の安定を図る。 【解決手段】 可撓性枚様基板１０は洗浄後、搬送ホイ
ール１５上に載置され、前段エアーナイフ１１ａ及び前
段吸水ローラ１２ａにより構成される前段液切り部に搬
送される。前段吸水ローラ１２ａは複数の溝部１２ａ′
を有し、該溝部１２ａ′でその前後の搬送ホイール１５
ａ1，１５ａ2と互いに交差している。そのため、基板１
０が低剛性の場合や先端部に凸カールが存在する場合で
も、その搬送面より下方への屈曲量が大幅に規制され、
先端部が吸水ローラ１２ａに引っ掛かることなく、一定
速度の搬送が可能となる。後段吸水ローラ１２ｂも前段
吸水ローラ１２ａと同様であるが、その溝部１２ｂ′が
前段の溝部１２ａ′と互いに重ならない位置にあり、基
板１０の裏面に付着している洗浄液は、全裏面にわたり
除去される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、可撓性基板の液切
り装置、より詳細には、可撓性を有する枚様の基板を連
続して所定方向に搬送し、超音波洗浄あるいはシャワー
洗浄等により洗浄を行った後、乾燥するにあたり、該可
撓性基板の表裏面に付着した洗浄液を予め除去する、液
切り装置に関するものである。
り装置、より詳細には、可撓性を有する枚様の基板を連
続して所定方向に搬送し、超音波洗浄あるいはシャワー
洗浄等により洗浄を行った後、乾燥するにあたり、該可
撓性基板の表裏面に付着した洗浄液を予め除去する、液
切り装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、フレキシブルプリント基板
（ＦＰＣ）、フィルム基板を用いた液晶パネル（ＰＦ−
ＬＣＤ）等の製造工程では、各製造工程において基板上
に付着した油脂等の汚れ、及び、微細な塵埃を確実に除
去するための洗浄工程が不可欠であり、洗浄後の乾燥を
効率的に行い、且つ、洗浄液の残留によるウォータマー
クの発生を防止するため、乾燥前に基板の表裏面に付着
した洗浄液を予め除去する、液切り工程が必要である。
（ＦＰＣ）、フィルム基板を用いた液晶パネル（ＰＦ−
ＬＣＤ）等の製造工程では、各製造工程において基板上
に付着した油脂等の汚れ、及び、微細な塵埃を確実に除
去するための洗浄工程が不可欠であり、洗浄後の乾燥を
効率的に行い、且つ、洗浄液の残留によるウォータマー
クの発生を防止するため、乾燥前に基板の表裏面に付着
した洗浄液を予め除去する、液切り工程が必要である。
【０００３】図８は、本発明が適用される可撓性基板
（フィルム）製造工程における洗浄工程部の一例を説明
するための要部概略構成図で、図中、Ｉは洗浄装置部、
IIは液（水）切り装置部、IIIは乾燥装置部で、可撓性
フィルム（例えば、液晶表示装置）１０は、搬送ホイー
ル２１によって洗浄装置部Ｉへ搬送され、該洗浄装置部
Ｉにおいて、スプレー２２より噴射される洗浄水（液）
により水洗処理され、次いで、液切り装置部IIに搬送さ
れ、該液切り装置部IIにおいて、エアー吹き出しユニッ
ト（エアーナイフ）１１ａ，１１ｂから噴射される乾燥
空気によって可撓性フィルム１０上の液滴が除去され、
その後、乾燥装置部IIIへ送られるようになっている。
（フィルム）製造工程における洗浄工程部の一例を説明
するための要部概略構成図で、図中、Ｉは洗浄装置部、
IIは液（水）切り装置部、IIIは乾燥装置部で、可撓性
フィルム（例えば、液晶表示装置）１０は、搬送ホイー
ル２１によって洗浄装置部Ｉへ搬送され、該洗浄装置部
Ｉにおいて、スプレー２２より噴射される洗浄水（液）
により水洗処理され、次いで、液切り装置部IIに搬送さ
れ、該液切り装置部IIにおいて、エアー吹き出しユニッ
ト（エアーナイフ）１１ａ，１１ｂから噴射される乾燥
空気によって可撓性フィルム１０上の液滴が除去され、
その後、乾燥装置部IIIへ送られるようになっている。
【０００４】上述のように、フレキシブルプリント基
板，フィルム基板を用いた液晶パネル等の可撓性基板の
製造工程中には、該可撓性基板を洗浄する洗浄装置及び
該洗浄によって可撓性基板上に付着した洗浄液と除去す
る液切り装置を必要とする。図９乃至図１２は、上述の
ごとき液切り装置部IIの従来技術を説明するための要部
構成図で、図９は液切り部の正面図、図１０は液切り部
の側面図、図１１は基板搬送ホイール部の側面図、図１
２は基板搬送時の不具合を示す正面図で、周知のよう
に、枚様の可撓性基板１０は駆動ギア１７により一方向
に回転駆動される複数の搬送ホイール１５（１５ａ，１
５ｂ）上に載置され、エアーナイフ１１（１１ａ，１１
ｂ）及び吸水ローラ１２（１２ａ，１２ｂ）により構成
される液切り部IIに搬送される。該液切り部IIにおい
て、前記可撓性基板１０の上面側に付着している洗浄液
は、エアーナイフ１１より噴出される空気噴出圧力によ
り除去され、下面側に付着している洗浄液は、前記エア
ーナイフ１１と対向配置したＰＶＡあるいはＰＶＣ等の
発泡材により形成された吸水ローラ１２に前記可撓性基
板を前記エアーナイフ１１の空気噴出圧力により均一に
押し付け、接触させることにより吸水除去される。
板，フィルム基板を用いた液晶パネル等の可撓性基板の
製造工程中には、該可撓性基板を洗浄する洗浄装置及び
該洗浄によって可撓性基板上に付着した洗浄液と除去す
る液切り装置を必要とする。図９乃至図１２は、上述の
ごとき液切り装置部IIの従来技術を説明するための要部
構成図で、図９は液切り部の正面図、図１０は液切り部
の側面図、図１１は基板搬送ホイール部の側面図、図１
２は基板搬送時の不具合を示す正面図で、周知のよう
に、枚様の可撓性基板１０は駆動ギア１７により一方向
に回転駆動される複数の搬送ホイール１５（１５ａ，１
５ｂ）上に載置され、エアーナイフ１１（１１ａ，１１
ｂ）及び吸水ローラ１２（１２ａ，１２ｂ）により構成
される液切り部IIに搬送される。該液切り部IIにおい
て、前記可撓性基板１０の上面側に付着している洗浄液
は、エアーナイフ１１より噴出される空気噴出圧力によ
り除去され、下面側に付着している洗浄液は、前記エア
ーナイフ１１と対向配置したＰＶＡあるいはＰＶＣ等の
発泡材により形成された吸水ローラ１２に前記可撓性基
板を前記エアーナイフ１１の空気噴出圧力により均一に
押し付け、接触させることにより吸水除去される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
従来の液切り方法によれば以下のような不具合が生じ
る。第１に、図１２に示すように、可撓性基板１０の搬
送上の不具合が生じる。可撓性基板１０の板厚が薄く剛
性が低い場合、あるいは、可撓性基板１０の搬送方向先
端部に凸カール（下面側へのカール）が存在する場合、
液切り部において、可撓性基板１０の先端部はエアーナ
イフ１１から噴出される空気圧により搬送ホイール１５
と吸水ローラ１２の間隙に押し下げられ、基板１０の先
端部が吸水ローラ１２に引っ掛かる形で搬送が妨げられ
る。この時、基板１０の先端部以外の部分は前記搬送ホ
イール１５とピンチローラ１４により一定速度の搬送が
継続されている、この結果、フレキシブル基板１０は液
切り部とその後方で搬送の速度差を生じ、タルミが発生
する。更に、このタルミが継続，拡大する事によりジャ
ム，蛇行等の搬送不良となる。
従来の液切り方法によれば以下のような不具合が生じ
る。第１に、図１２に示すように、可撓性基板１０の搬
送上の不具合が生じる。可撓性基板１０の板厚が薄く剛
性が低い場合、あるいは、可撓性基板１０の搬送方向先
端部に凸カール（下面側へのカール）が存在する場合、
液切り部において、可撓性基板１０の先端部はエアーナ
イフ１１から噴出される空気圧により搬送ホイール１５
と吸水ローラ１２の間隙に押し下げられ、基板１０の先
端部が吸水ローラ１２に引っ掛かる形で搬送が妨げられ
る。この時、基板１０の先端部以外の部分は前記搬送ホ
イール１５とピンチローラ１４により一定速度の搬送が
継続されている、この結果、フレキシブル基板１０は液
切り部とその後方で搬送の速度差を生じ、タルミが発生
する。更に、このタルミが継続，拡大する事によりジャ
ム，蛇行等の搬送不良となる。
【０００６】第２に、ＰＶＡあるいはＰＶＣ等の発泡材
により形成された吸水ローラ１２は、当然の如く、これ
に含水される許容含水量には限度がある。前述のよう
に、洗浄工程より連続搬送される可撓性基板１０の裏面
に残留する洗浄液は、吸水ローラ１２に接触することに
より吸水されるが、前記許容含水量を超えると吸水効果
は著しく低下する。更に、吸水ローラ１２は基板１０の
裏面から吸水出来ないだけでなく吸水ローラ１２上の飽
和液を逆に基板１０の裏面に付着させ、液切り機能を果
たさなくなる。
により形成された吸水ローラ１２は、当然の如く、これ
に含水される許容含水量には限度がある。前述のよう
に、洗浄工程より連続搬送される可撓性基板１０の裏面
に残留する洗浄液は、吸水ローラ１２に接触することに
より吸水されるが、前記許容含水量を超えると吸水効果
は著しく低下する。更に、吸水ローラ１２は基板１０の
裏面から吸水出来ないだけでなく吸水ローラ１２上の飽
和液を逆に基板１０の裏面に付着させ、液切り機能を果
たさなくなる。
【０００７】第３に、前述の液切り部において、前工程
のトラブルあるいはラインの品種交換等の段取り替え等
の理由により、可撓性基板１０の搬送が断続的になった
り、長時間停止した場合、吸水ローラ１２は、その間、
前述のように、エアーナイフ１１より噴出される空気噴
流に暴露され続ける。その結果、吸水ローラ１２はその
含水分が蒸発し、乾燥状態に陥る。ＰＶＡあるいはＰＶ
Ｃ等の発泡材により形成された吸水ローラ１２は、内部
に形成された連続した微小な空洞に液体を含浸する事に
より一定の形状（図示例では円筒形状）を保持する性質
があるが、前述のような乾燥状態の場合、前記微小な空
洞の特に表面付近において含浸する液体が不均一とな
り、円筒表面の平滑性が失われ、凸凹となる。その結
果、吸水ローラ１２と基板１０の接触が不均一となり基
板１０の裏面に残留する洗浄液の除去（吸水）が不完全
なものとなり、前述のように、乾燥工程において水滴残
りあるいはウォータマークの発生等の不具合を発生す
る。
のトラブルあるいはラインの品種交換等の段取り替え等
の理由により、可撓性基板１０の搬送が断続的になった
り、長時間停止した場合、吸水ローラ１２は、その間、
前述のように、エアーナイフ１１より噴出される空気噴
流に暴露され続ける。その結果、吸水ローラ１２はその
含水分が蒸発し、乾燥状態に陥る。ＰＶＡあるいはＰＶ
Ｃ等の発泡材により形成された吸水ローラ１２は、内部
に形成された連続した微小な空洞に液体を含浸する事に
より一定の形状（図示例では円筒形状）を保持する性質
があるが、前述のような乾燥状態の場合、前記微小な空
洞の特に表面付近において含浸する液体が不均一とな
り、円筒表面の平滑性が失われ、凸凹となる。その結
果、吸水ローラ１２と基板１０の接触が不均一となり基
板１０の裏面に残留する洗浄液の除去（吸水）が不完全
なものとなり、前述のように、乾燥工程において水滴残
りあるいはウォータマークの発生等の不具合を発生す
る。
【０００８】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなさ
れたもので、その目的は、可撓性を有する枚様の基板を
連続して所定方向に搬送し、洗浄を行った後、基板の表
裏面に付着した洗浄液を予め除去する、液切り工程にお
いて、薄板の低剛性基板や凸カール（下面側へのカー
ル）を有する基板においても、ジャムや蛇行等の発生を
防止して基板搬送の安定化を図ると共に、吸水ローラに
含水される含水量を常に一定に保持する事により、吸水
性能を継続して維持し、液切り工程における基板裏面の
水滴残りを防止し、安定した液切りを提供することにあ
る。
れたもので、その目的は、可撓性を有する枚様の基板を
連続して所定方向に搬送し、洗浄を行った後、基板の表
裏面に付着した洗浄液を予め除去する、液切り工程にお
いて、薄板の低剛性基板や凸カール（下面側へのカー
ル）を有する基板においても、ジャムや蛇行等の発生を
防止して基板搬送の安定化を図ると共に、吸水ローラに
含水される含水量を常に一定に保持する事により、吸水
性能を継続して維持し、液切り工程における基板裏面の
水滴残りを防止し、安定した液切りを提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、フレ
キシブルプリント基板（ＦＰＣ）、フィルム基板を用い
た液晶表示装置（ＬＣＤ）等の可撓性を有する枚様の基
板を連続して所定方向に搬送して洗浄し、洗浄した後の
付着洗浄液を除去し、乾燥するにあたり、前記可撓性基
板の上面側に付着している洗浄液をエアーナイフにより
除去し、下面側に付着している洗浄液を前記エアーナイ
フと対向配置した吸水ローラにより除去する液切り装置
において、前記吸水ローラは、少なくとも、前段吸水ロ
ーラと後段吸水ローラの２本以上を有し、前段吸水ロー
ラには吸水部に円周方向に複数本の溝を有するととも
に、該溝部に該吸水ローラの進行方向の前後に配置した
搬送ホイールを互いに交差する位置に有し、更に、前記
前段吸水ローラの進行方向の後方に後段吸水ローラを前
記前段吸水ローラの複数の溝部と後段吸水ローラの複数
の溝部が互いに重ならない位置に有することを特徴とし
たものである。
キシブルプリント基板（ＦＰＣ）、フィルム基板を用い
た液晶表示装置（ＬＣＤ）等の可撓性を有する枚様の基
板を連続して所定方向に搬送して洗浄し、洗浄した後の
付着洗浄液を除去し、乾燥するにあたり、前記可撓性基
板の上面側に付着している洗浄液をエアーナイフにより
除去し、下面側に付着している洗浄液を前記エアーナイ
フと対向配置した吸水ローラにより除去する液切り装置
において、前記吸水ローラは、少なくとも、前段吸水ロ
ーラと後段吸水ローラの２本以上を有し、前段吸水ロー
ラには吸水部に円周方向に複数本の溝を有するととも
に、該溝部に該吸水ローラの進行方向の前後に配置した
搬送ホイールを互いに交差する位置に有し、更に、前記
前段吸水ローラの進行方向の後方に後段吸水ローラを前
記前段吸水ローラの複数の溝部と後段吸水ローラの複数
の溝部が互いに重ならない位置に有することを特徴とし
たものである。
【００１０】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記吸水ローラは該吸水ローラに含水される含水量
を一定に保持するため、水分を補給するための給水管と
過剰に吸水された洗浄液を絞り出すための絞りローラを
共に備えたことを特徴としたものである。
て、前記吸水ローラは該吸水ローラに含水される含水量
を一定に保持するため、水分を補給するための給水管と
過剰に吸水された洗浄液を絞り出すための絞りローラを
共に備えたことを特徴としたものである。
【００１１】請求項３の発明は、請求項１又は２の発明
において、前記エアーナイフ及び吸水ローラにより構成
される液切り部の進行方向の手前に前記可撓性基板の搬
送位置を検出する基板センサを有し、該基板センサによ
り前記可撓性基板の搬送位置を検出し、前記可撓性基板
の搬送時のみ前記エアーナイフを作動させることを特徴
としたものである。
において、前記エアーナイフ及び吸水ローラにより構成
される液切り部の進行方向の手前に前記可撓性基板の搬
送位置を検出する基板センサを有し、該基板センサによ
り前記可撓性基板の搬送位置を検出し、前記可撓性基板
の搬送時のみ前記エアーナイフを作動させることを特徴
としたものである。
【００１２】請求項４の発明は、請求項１乃至３のいず
れかの発明において、前記基板センサにより前記可撓性
基板の搬送位置を検出し、前記可撓性基板の非搬送時の
み前記絞りローラを作動させることを特徴としたもので
ある。
れかの発明において、前記基板センサにより前記可撓性
基板の搬送位置を検出し、前記可撓性基板の非搬送時の
み前記絞りローラを作動させることを特徴としたもので
ある。
【００１３】請求項５の発明は、請求項１乃至４のいず
れかの発明において、前記基板センサにより前記可撓性
基板の搬送位置を検出し、前記可撓性基板の非搬送時の
み前記給水管より給水を作動させることを特徴としたも
のである。
れかの発明において、前記基板センサにより前記可撓性
基板の搬送位置を検出し、前記可撓性基板の非搬送時の
み前記給水管より給水を作動させることを特徴としたも
のである。
【００１４】
【発明の実施の形態】請求項１の発明の実施例 図１は、本発明による液切り装置の正面図、図２は前段
液切り部の側面図、図３は後段液切り部の側面図、図４
は液切り装置の平面図で、図中、図８乃至図１２に示し
た従来技術と同様の作用をする部分には、図８乃至図１
２の場合と同一の参照番号が付してある。図１乃至図４
において、枚様の可撓性基板１０は、搬送ホイール軸１
８上の複数の搬送ホイール１５上に載置され、図示しな
い電動機等の駆動装置より駆動ギア１７により搬送ホイ
ール軸１８を一方向に回転駆動することにより、順次液
切り装置に搬送される。液切り部は、前記可撓性基板１
０の上面側に付着している洗浄液を除去するための空気
流を噴出するエアーナイフ１１と、下面側に付着してい
る洗浄液を除去するためＰＶＡあるいはＰＶＣ等の発泡
材により形成された吸水ローラ１２とを一対で対向配置
して有する。
液切り部の側面図、図３は後段液切り部の側面図、図４
は液切り装置の平面図で、図中、図８乃至図１２に示し
た従来技術と同様の作用をする部分には、図８乃至図１
２の場合と同一の参照番号が付してある。図１乃至図４
において、枚様の可撓性基板１０は、搬送ホイール軸１
８上の複数の搬送ホイール１５上に載置され、図示しな
い電動機等の駆動装置より駆動ギア１７により搬送ホイ
ール軸１８を一方向に回転駆動することにより、順次液
切り装置に搬送される。液切り部は、前記可撓性基板１
０の上面側に付着している洗浄液を除去するための空気
流を噴出するエアーナイフ１１と、下面側に付着してい
る洗浄液を除去するためＰＶＡあるいはＰＶＣ等の発泡
材により形成された吸水ローラ１２とを一対で対向配置
して有する。
【００１５】前記エアーナイフ１１と吸水ローラ１２で
構成される液切り部は、少なくとも、前段エアーナイフ
１１ａと前段吸水ローラ１２ａで構成される前段液切り
部と、後段エアーナイフ１１ｂと後段吸水ローラ１２ｂ
で構成される後段液切り部の２段以上により構成され、
前段吸水ローラ１２ａには吸水部（発泡材部：梨地模様
にて示す）が円周方向に複数本形成され、それらの間に
溝１２ａ′が形成され、該溝部１２ａ′に前段吸水ロー
ラ１２ａの進行方向の前後に配置した搬送ホイール１５
ａ1，１５ａ2を互いに交差する位置に配置する。また、
前段吸水ローラ１２ａの進行方向の後方に後段吸水ロー
ラ１２ｂを前記前段吸水ローラ１２ａの複数の溝部１２
ａ′と後段吸水ローラ１２ｂの複数の溝部１２ｂ′が互
いに重ならない位置に配置し、この溝部１２ｂ′にも、
前記前段部と同様、搬送ホイール１５ｂ1，１５ｂ2を配
置する。
構成される液切り部は、少なくとも、前段エアーナイフ
１１ａと前段吸水ローラ１２ａで構成される前段液切り
部と、後段エアーナイフ１１ｂと後段吸水ローラ１２ｂ
で構成される後段液切り部の２段以上により構成され、
前段吸水ローラ１２ａには吸水部（発泡材部：梨地模様
にて示す）が円周方向に複数本形成され、それらの間に
溝１２ａ′が形成され、該溝部１２ａ′に前段吸水ロー
ラ１２ａの進行方向の前後に配置した搬送ホイール１５
ａ1，１５ａ2を互いに交差する位置に配置する。また、
前段吸水ローラ１２ａの進行方向の後方に後段吸水ロー
ラ１２ｂを前記前段吸水ローラ１２ａの複数の溝部１２
ａ′と後段吸水ローラ１２ｂの複数の溝部１２ｂ′が互
いに重ならない位置に配置し、この溝部１２ｂ′にも、
前記前段部と同様、搬送ホイール１５ｂ1，１５ｂ2を配
置する。
【００１６】可撓性枚様基板１０は洗浄後、複数の搬送
ホイール１５上に載置され、前段エアーナイフ１１ａ及
び前段吸水ローラ１２ａにより構成される前段液切り部
に搬送される。ここで、前段吸水ローラ１２ａはその前
後の搬送ホイール１５ａ1，１５ａ2と互いに交差してい
るため、前記可撓性基板１０が低剛性の場合や先端部に
凸カール（下面側へのカール）が存在する場合でも、そ
の搬送面より下方への屈曲量が大幅に規制され、該基板
１０の先端部が吸水ローラ１２ａに引っ掛かることな
く、一定速度の搬送が可能となる。また、前記前段液切
り部において、前述のように、前段吸水ローラ１２ａは
これと前後する搬送ホイール１５ａ1，１５ａ2を交差さ
せるため、吸水部に円周方向に複数本の溝１２ａ′を形
成している。従って、該溝部１２ａ′においては、基板
１０裏面と前段吸水ローラ１２ａは接触せず、基板１０
の裏面に付着している洗浄液の除去は出来ないことにな
る。しかしながら、後段液切り部において、後段吸水ロ
ーラ１２ｂの複数の溝部１２ｂ′を前記前段吸水ローラ
１２ａの複数の溝部１２ａ′と互いに重ならない位置に
配置することにより、基板１０の全裏面は前段吸水ロー
ラ１２ａもしくは後段吸水ローラ１２ｂの少なくともど
ちらか一方には必ず接触する事になり、基板１０の裏面
に付着している洗浄液は、全裏面にわたり吸水，除去さ
れることになる。
ホイール１５上に載置され、前段エアーナイフ１１ａ及
び前段吸水ローラ１２ａにより構成される前段液切り部
に搬送される。ここで、前段吸水ローラ１２ａはその前
後の搬送ホイール１５ａ1，１５ａ2と互いに交差してい
るため、前記可撓性基板１０が低剛性の場合や先端部に
凸カール（下面側へのカール）が存在する場合でも、そ
の搬送面より下方への屈曲量が大幅に規制され、該基板
１０の先端部が吸水ローラ１２ａに引っ掛かることな
く、一定速度の搬送が可能となる。また、前記前段液切
り部において、前述のように、前段吸水ローラ１２ａは
これと前後する搬送ホイール１５ａ1，１５ａ2を交差さ
せるため、吸水部に円周方向に複数本の溝１２ａ′を形
成している。従って、該溝部１２ａ′においては、基板
１０裏面と前段吸水ローラ１２ａは接触せず、基板１０
の裏面に付着している洗浄液の除去は出来ないことにな
る。しかしながら、後段液切り部において、後段吸水ロ
ーラ１２ｂの複数の溝部１２ｂ′を前記前段吸水ローラ
１２ａの複数の溝部１２ａ′と互いに重ならない位置に
配置することにより、基板１０の全裏面は前段吸水ロー
ラ１２ａもしくは後段吸水ローラ１２ｂの少なくともど
ちらか一方には必ず接触する事になり、基板１０の裏面
に付着している洗浄液は、全裏面にわたり吸水，除去さ
れることになる。
【００１７】請求項２の発明の実施例 図５は、本発明の他の実施例を説明するための要部構成
図で、この実施例は、前記前段液切り部及び後段液切り
部において、吸水ローラ１２（１２ａ，１２ｂ）の下方
で該吸水ローラ１２と平行に、該吸水ローラ１２の吸水
部に対向した位置に前記洗浄液の複数の噴出口を備えた
給水管ＳＷ（ＳＷａ，ＳＷｂ）を配置し、更に、前記給
水管ＳＷに対し前記吸水ローラ１２の回転方向後方の隣
接する位置に、図示しない接離機構により前記吸水ロー
ラ１２の吸水部に対し軸方向平行に押圧する絞りローラ
ＳＲ（ＳＲａ，ＳＲｂ）を配置する。給水管ＳＷより噴
出される洗浄液は前記吸水ローラ１２の吸水部に水分
（洗浄液）を補給し該吸水ローラの乾燥を防止する。
又、絞りローラＳＲは吸水部への押圧により該吸水部に
過剰に吸水されている洗浄液を絞り出し、前記吸水部の
含水分量を減少させる。
図で、この実施例は、前記前段液切り部及び後段液切り
部において、吸水ローラ１２（１２ａ，１２ｂ）の下方
で該吸水ローラ１２と平行に、該吸水ローラ１２の吸水
部に対向した位置に前記洗浄液の複数の噴出口を備えた
給水管ＳＷ（ＳＷａ，ＳＷｂ）を配置し、更に、前記給
水管ＳＷに対し前記吸水ローラ１２の回転方向後方の隣
接する位置に、図示しない接離機構により前記吸水ロー
ラ１２の吸水部に対し軸方向平行に押圧する絞りローラ
ＳＲ（ＳＲａ，ＳＲｂ）を配置する。給水管ＳＷより噴
出される洗浄液は前記吸水ローラ１２の吸水部に水分
（洗浄液）を補給し該吸水ローラの乾燥を防止する。
又、絞りローラＳＲは吸水部への押圧により該吸水部に
過剰に吸水されている洗浄液を絞り出し、前記吸水部の
含水分量を減少させる。
【００１８】請求項３，４，５の発明の実施例 次に、図５乃至図７を参照して、本発明の他の実施例に
ついて説明する。前記エアーナイフ１１と吸水ローラ１
２で構成される前段液切り部と、後段液切り部の各々に
ついて、基板１０の進行方向手前の所定位置に反射型光
ファイバーセンサＦＳ（ＦＳａ，ＦＳｂ）等を配置し、
基板１０の搬送位置を検出する。図７のタイムチャート
に基づいて動作を説明すると、 基板１０が搬送ホイール１５に載置され、搬送され
る。 基板１０の先頭位置を基板センサＦＳが検出する。 図示しない制御回路内のタイマーにより所定時間（ｔ
１）後、エアーナイフ１１（１１ａ，１１ｂ）の空気供
給回路内の電磁弁ＡＶ（ＡＶａ，ＡＶｂ）が作動し空気
流を噴出する。該空気流の噴出圧力により、基板１０の
表面においては、これに付着している洗浄液が拡散除去
され、同時に、基板１０は吸水ローラ１２に対して均一
に押圧される。 給水管ＳＷの純水供給回路内の電磁弁ＷＶ（ＷＶａ，
ＷＶｂ）が閉動作し、吸水ローラ１２（１２ａ，１２
ｂ）の吸水部への水分（洗浄液）補給を停止する。 更に、絞りローラＳＲ（ＳＲａ，ＳＲｂ）の図示しな
い接離機構が開放作動し、吸水ローラ１２の吸水部への
押圧が解除される。 枚様基板１０が順次搬送され、基板センサＦＳ（ＦＳ
ａ，ＦＳｂ）の検出領域を通過すると、図示しない、制
御回路内のタイマーにより所定時間（ｔ２）後、前述の
エアーナイフ１１（１１ａ，１１ｂ）の空気供給回路内
の電磁弁ＡＶ（ＡＶａ，ＡＶｂ）が閉動作し、空気流の
噴出を停止する。 同時に、給水シャワーＳＷ（ＳＷａ，ＳＷｂ）の純水
供給回路内の電磁弁ＷＶ（ＷＶａ，ＷＶｂ）が開動作
し、吸水ローラ１２（１２ａ，１２ｂ）の吸水部へ洗浄
液の補給を開始する。 更に、絞りローラＳＲ（ＳＲａ，ＳＲｂ）の接離機構
が作動し吸水ローラ１２（１２ａ，１２ｂ）が吸水部へ
押圧され、該吸水部に過剰に含水された洗浄液を絞り出
す。
ついて説明する。前記エアーナイフ１１と吸水ローラ１
２で構成される前段液切り部と、後段液切り部の各々に
ついて、基板１０の進行方向手前の所定位置に反射型光
ファイバーセンサＦＳ（ＦＳａ，ＦＳｂ）等を配置し、
基板１０の搬送位置を検出する。図７のタイムチャート
に基づいて動作を説明すると、 基板１０が搬送ホイール１５に載置され、搬送され
る。 基板１０の先頭位置を基板センサＦＳが検出する。 図示しない制御回路内のタイマーにより所定時間（ｔ
１）後、エアーナイフ１１（１１ａ，１１ｂ）の空気供
給回路内の電磁弁ＡＶ（ＡＶａ，ＡＶｂ）が作動し空気
流を噴出する。該空気流の噴出圧力により、基板１０の
表面においては、これに付着している洗浄液が拡散除去
され、同時に、基板１０は吸水ローラ１２に対して均一
に押圧される。 給水管ＳＷの純水供給回路内の電磁弁ＷＶ（ＷＶａ，
ＷＶｂ）が閉動作し、吸水ローラ１２（１２ａ，１２
ｂ）の吸水部への水分（洗浄液）補給を停止する。 更に、絞りローラＳＲ（ＳＲａ，ＳＲｂ）の図示しな
い接離機構が開放作動し、吸水ローラ１２の吸水部への
押圧が解除される。 枚様基板１０が順次搬送され、基板センサＦＳ（ＦＳ
ａ，ＦＳｂ）の検出領域を通過すると、図示しない、制
御回路内のタイマーにより所定時間（ｔ２）後、前述の
エアーナイフ１１（１１ａ，１１ｂ）の空気供給回路内
の電磁弁ＡＶ（ＡＶａ，ＡＶｂ）が閉動作し、空気流の
噴出を停止する。 同時に、給水シャワーＳＷ（ＳＷａ，ＳＷｂ）の純水
供給回路内の電磁弁ＷＶ（ＷＶａ，ＷＶｂ）が開動作
し、吸水ローラ１２（１２ａ，１２ｂ）の吸水部へ洗浄
液の補給を開始する。 更に、絞りローラＳＲ（ＳＲａ，ＳＲｂ）の接離機構
が作動し吸水ローラ１２（１２ａ，１２ｂ）が吸水部へ
押圧され、該吸水部に過剰に含水された洗浄液を絞り出
す。
【００１９】
【発明の効果】請求項１の発明に対する効果 請求項１の可撓性基板の液切り装置においては、吸水ロ
ーラは、少なくとも、前段吸水ローラと後段吸水ローラ
の２本以上を有し、前段吸水ローラには吸水部に円周方
向に複数本の溝を有し、該溝部に該吸水ローラの進行方
向の前後に配置した搬送ホイールを互いに交差する位置
に配置し、更に、前段吸水ローラの進行方向の後方に後
段吸水ローラを前記前段吸水ローラの複数の溝部と後段
吸水ローラの複数の溝部が互いに重ならない位置に配置
したことにより、可撓性基板の板厚が薄く剛性が低い場
合あるいは前記可撓性基板の搬送方向先端部に凸カール
（下面側へのカール）が存在する場合でも、該可撓性基
板が搬送ホイールと吸水ローラの間隙に押し下げられ、
先端部が吸水ローラに引っ掛かることがなく、搬送が妨
げられることがなくなる。従って、剛性の低い薄板基板
やカールの存在する基板においても、ジャム，蛇行等の
発生が防止でき、安定した基板搬送が可能となる。更
に、前段吸水ローラの複数の溝部と後段吸水ローラの複
数の溝部が互いに重ならない位置に配置したことにより
基板の全裏面は前段吸水ローラもしくは後段吸水ローラ
の少なくともどちらか一方には必ず接触する事になり、
基板裏面に付着している洗浄液は、全裏面にわたり吸
水，除去が可能となる。
ーラは、少なくとも、前段吸水ローラと後段吸水ローラ
の２本以上を有し、前段吸水ローラには吸水部に円周方
向に複数本の溝を有し、該溝部に該吸水ローラの進行方
向の前後に配置した搬送ホイールを互いに交差する位置
に配置し、更に、前段吸水ローラの進行方向の後方に後
段吸水ローラを前記前段吸水ローラの複数の溝部と後段
吸水ローラの複数の溝部が互いに重ならない位置に配置
したことにより、可撓性基板の板厚が薄く剛性が低い場
合あるいは前記可撓性基板の搬送方向先端部に凸カール
（下面側へのカール）が存在する場合でも、該可撓性基
板が搬送ホイールと吸水ローラの間隙に押し下げられ、
先端部が吸水ローラに引っ掛かることがなく、搬送が妨
げられることがなくなる。従って、剛性の低い薄板基板
やカールの存在する基板においても、ジャム，蛇行等の
発生が防止でき、安定した基板搬送が可能となる。更
に、前段吸水ローラの複数の溝部と後段吸水ローラの複
数の溝部が互いに重ならない位置に配置したことにより
基板の全裏面は前段吸水ローラもしくは後段吸水ローラ
の少なくともどちらか一方には必ず接触する事になり、
基板裏面に付着している洗浄液は、全裏面にわたり吸
水，除去が可能となる。
【００２０】請求項２の発明に対する効果 請求項２の可撓性基板の液切り装置においては、吸水ロ
ーラに水分を補給するための給水管と過剰に吸水された
洗浄液を絞り出すための絞りローラを備えたことによ
り、吸水ローラに含水される水分量のコントロールが可
能となり、吸水性能を継続して維持し、液切り工程にお
ける基板裏面の水滴残りを防止し、安定した液切りが可
能となる。
ーラに水分を補給するための給水管と過剰に吸水された
洗浄液を絞り出すための絞りローラを備えたことによ
り、吸水ローラに含水される水分量のコントロールが可
能となり、吸水性能を継続して維持し、液切り工程にお
ける基板裏面の水滴残りを防止し、安定した液切りが可
能となる。
【００２１】請求項３乃至５の発明に対する効果 エアーナイフ及び吸水ローラにより構成される液切り部
の進行方向の手前に可撓性基板の搬送位置を検出する基
板センサを配置し、該基板センサにより前記可撓性基板
の搬送位置を検出し、前記可撓性基板の搬送時のみ前記
エアーナイフを作動させ、可撓性基板の非搬送時のみ前
記絞りローラを作動させ、可撓性基板の非搬送時のみ前
記給水管より給水を作動させることにより、 前述のようなライントラブルや段取り替え等の理由に
より、基板の搬送が断続的になったり、長時間停止した
場合でも、吸水ローラはエアーナイフより噴出される空
気噴流に暴露され続けることがなくなる。その結果、吸
水ローラはその含水分の蒸発が防止でき、ローラ表面の
平滑性が失われることなく基板裏面との均一接触が維持
され、接触不均一により発生する基板裏面の吸水ムラの
発生が解消される。また、エアーナイフの空気噴出動作
を基板の搬送時のみ行うことにより、圧縮空気の使用量
の低減による省エネが図られる。 吸水ローラへの水分の補給作用と余剰含水分の絞り除
去作用が基板の非搬送時に継続的行われ、吸水ローラに
含水される含水分量を常に一定に保持することが可能と
なる。その結果、吸水ローラの吸水性能を継続して維持
し、液切り工程における基板裏面の水滴残りを防止し、
安定した液切りが達成される。
の進行方向の手前に可撓性基板の搬送位置を検出する基
板センサを配置し、該基板センサにより前記可撓性基板
の搬送位置を検出し、前記可撓性基板の搬送時のみ前記
エアーナイフを作動させ、可撓性基板の非搬送時のみ前
記絞りローラを作動させ、可撓性基板の非搬送時のみ前
記給水管より給水を作動させることにより、 前述のようなライントラブルや段取り替え等の理由に
より、基板の搬送が断続的になったり、長時間停止した
場合でも、吸水ローラはエアーナイフより噴出される空
気噴流に暴露され続けることがなくなる。その結果、吸
水ローラはその含水分の蒸発が防止でき、ローラ表面の
平滑性が失われることなく基板裏面との均一接触が維持
され、接触不均一により発生する基板裏面の吸水ムラの
発生が解消される。また、エアーナイフの空気噴出動作
を基板の搬送時のみ行うことにより、圧縮空気の使用量
の低減による省エネが図られる。 吸水ローラへの水分の補給作用と余剰含水分の絞り除
去作用が基板の非搬送時に継続的行われ、吸水ローラに
含水される含水分量を常に一定に保持することが可能と
なる。その結果、吸水ローラの吸水性能を継続して維持
し、液切り工程における基板裏面の水滴残りを防止し、
安定した液切りが達成される。
【図１】 本発明による、液切り装置部の正面図であ
る。
る。
【図２】 本発明による、前段液切り部の側面図であ
る。
る。
【図３】 本発明による、後段液切り部の側面図であ
る。
る。
【図４】 本発明による、液切り装置の平面図である。
【図５】 本発明の他の実施例を示す液切り装置の正面
図である。
図である。
【図６】 本発明の他の実施例を示す液切り装置の側面
図である。
図である。
【図７】 本発明の他の実施例を説明するためのタイム
チャートである。
チャートである。
【図８】 本発明が適用される可撓性基板製造工程にお
ける液切り工程部の一例を説明するための図である。
ける液切り工程部の一例を説明するための図である。
【図９】 従来の液切り装置の一例を示す正面図であ
る。
る。
【図１０】 従来の液切り装置の一例を示す側面図であ
る。
る。
【図１１】 従来の基板搬送ホイール部の側面図であ
る。
る。
【図１２】 従来の基板搬送時の不具合を示す正面図で
ある。
ある。
１０…枚様可撓性基板、１１（１１ａ，１１ｂ）…エア
ーナイフ、１２（１２ａ，１２ｂ）…吸水ローラ、１４
（１４ａ，１４ｂ）…ピンチローラ、１５（１５ａ，１
５ｂ）…搬送ホイール、１７…駆動ギア、ＡＶ，ＷＶ…
電磁弁、Ｆ…フィルタ、ＦＳ…基板センサ、ＭＶ…手動
弁、ＳＣ…流量調整弁、ＳＲ…絞りローラ、ＳＷ…給水
シャワー。
ーナイフ、１２（１２ａ，１２ｂ）…吸水ローラ、１４
（１４ａ，１４ｂ）…ピンチローラ、１５（１５ａ，１
５ｂ）…搬送ホイール、１７…駆動ギア、ＡＶ，ＷＶ…
電磁弁、Ｆ…フィルタ、ＦＳ…基板センサ、ＭＶ…手動
弁、ＳＣ…流量調整弁、ＳＲ…絞りローラ、ＳＷ…給水
シャワー。
Claims (5)
- 【請求項１】 フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）、
フィルム基板を用いた液晶表示装置（ＬＣＤ）等の可撓
性を有する枚様の基板を連続して所定方向に搬送して洗
浄し、洗浄した後の付着洗浄液を除去し、乾燥するにあ
たり、前記可撓性基板の上面側に付着している洗浄液を
エアーナイフにより除去し、下面側に付着している洗浄
液を前記エアーナイフと対向配置した吸水ローラにより
除去する液切り装置において、前記吸水ローラは、少な
くとも、前段吸水ローラと後段吸水ローラの２本以上を
有し、前段吸水ローラには吸水部に円周方向に複数本の
溝を有するとともに、該溝部に該吸水ローラの進行方向
の前後に配置した搬送ホイールを互いに交差する位置に
有し、更に、前記前段吸水ローラの進行方向の後方に後
段吸水ローラを前記前段吸水ローラの複数の溝部と後段
吸水ローラの複数の溝部が互いに重ならない位置に有す
ることを特徴とする可撓性基板の液切り装置。 - 【請求項２】 前記吸水ローラは該吸水ローラに含水さ
れる含水量を一定に保持するため、水分を補給するため
の給水管と過剰に吸水された洗浄液を絞り出すための絞
りローラを共に備えたことを特徴とする請求項１に記載
の可撓性基板の液切り装置。 - 【請求項３】 前記エアーナイフ及び吸水ローラにより
構成される液切り部の進行方向の手前に前記可撓性基板
の搬送位置を検出する基板センサを有し、該基板センサ
により前記可撓性基板の搬送位置を検出し、該可撓性基
板の搬送時のみ前記エアーナイフを作動させることを特
徴とする請求項１又は２に記載の可撓性基板の液切り装
置。 - 【請求項４】 前記基板センサにより前記可撓性基板の
搬送位置を検出し、前記可撓性基板の非搬送時のみ前記
絞りローラを作動させることを特徴とする請求項１乃至
３のいずれかに記載の可撓性基板の液切り装置。 - 【請求項５】 前記基板センサにより前記可撓性基板の
搬送位置を検出し、前記可撓性基板の非搬送時のみ前記
給水管より給水を作動させることを特徴とする請求項１
乃至４のいずれかに記載の可撓性基板の液切り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11120584A JP2000312864A (ja) | 1999-04-27 | 1999-04-27 | 可撓性基板の液切り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11120584A JP2000312864A (ja) | 1999-04-27 | 1999-04-27 | 可撓性基板の液切り装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000312864A true JP2000312864A (ja) | 2000-11-14 |
Family
ID=14789904
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11120584A Pending JP2000312864A (ja) | 1999-04-27 | 1999-04-27 | 可撓性基板の液切り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000312864A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100917611B1 (ko) | 2008-03-03 | 2009-09-17 | 삼성전기주식회사 | 액절 장치 |
| KR101261431B1 (ko) * | 2012-06-22 | 2013-05-10 | (주) 디바이스이엔지 | 플렉시블 필름이 부착된 캐리어 기판의 배면 세정장치 |
| TWI407522B (zh) * | 2008-11-18 | 2013-09-01 | Semes Co Ltd | 基板處理裝置及其清潔模組 |
| WO2014075278A1 (zh) * | 2012-11-13 | 2014-05-22 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种玻璃基板位置校正装置及方法 |
| JP2015228410A (ja) * | 2014-05-30 | 2015-12-17 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置 |
-
1999
- 1999-04-27 JP JP11120584A patent/JP2000312864A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100917611B1 (ko) | 2008-03-03 | 2009-09-17 | 삼성전기주식회사 | 액절 장치 |
| TWI407522B (zh) * | 2008-11-18 | 2013-09-01 | Semes Co Ltd | 基板處理裝置及其清潔模組 |
| KR101261431B1 (ko) * | 2012-06-22 | 2013-05-10 | (주) 디바이스이엔지 | 플렉시블 필름이 부착된 캐리어 기판의 배면 세정장치 |
| WO2014075278A1 (zh) * | 2012-11-13 | 2014-05-22 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种玻璃基板位置校正装置及方法 |
| JP2015228410A (ja) * | 2014-05-30 | 2015-12-17 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3918401B2 (ja) | 基板乾燥装置及び乾燥方法、並びに基板の製造方法 | |
| JPH05500119A (ja) | 処理装置 | |
| JPH08276166A (ja) | 板ガラスの洗滌乾燥機に於ける板ガラス搬送装置 | |
| JP5965304B2 (ja) | 塗布装置 | |
| JP4400494B2 (ja) | インクジェット記録装置 | |
| JP2000312864A (ja) | 可撓性基板の液切り装置 | |
| JP4122674B2 (ja) | 基板乾燥装置及び乾燥方法 | |
| JP4878900B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| JP2001284777A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
| JP2000024565A (ja) | 回転ロール型塗工装置 | |
| JP2004161491A (ja) | 印刷用又は加工用シート材の除塵装置 | |
| JP2019150758A (ja) | 液体塗布装置、液体塗布搬送装置、画像形成装置および画像形成システム | |
| JP3763696B2 (ja) | フィルム基板の製造方法 | |
| JP2983495B2 (ja) | 基板の乾燥方法 | |
| JP4043410B2 (ja) | インライン式現像処理装置 | |
| JP4091909B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
| JP2988828B2 (ja) | 基板の液切り乾燥装置 | |
| JP2008227195A (ja) | 液処理装置 | |
| JPH09225420A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP5906035B2 (ja) | 塗布装置 | |
| JP2004125342A (ja) | エアナイフ乾燥の制御方法及び装置 | |
| JP4035947B2 (ja) | 基板乾燥装置 | |
| JP5065826B2 (ja) | 基板の液処理装置及び液処理方法 | |
| JP2007015318A (ja) | 画像記録装置 | |
| JPH11297605A (ja) | 剥離方法および同装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |