JP2000314603A - 位置検出装置 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 34
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 22
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 101710170230 Antimicrobial peptide 1 Proteins 0.000 description 1
- 101710170231 Antimicrobial peptide 2 Proteins 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- AJCDFVKYMIUXCR-UHFFFAOYSA-N oxobarium;oxo(oxoferriooxy)iron Chemical compound [Ba]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O AJCDFVKYMIUXCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Actuator (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 相互に移動関係にある２つの部材の位置を高
精度で検出する。 【解決手段】 磁石が設けられた第１の部材と、磁石の
磁力に感応する複数の磁気抵抗素子を有し第１の部材に
対して相対的に移動する第２の部材とが所定の被検出位
置となったことを検出する。相互に平行に延びる３つの
磁気抵抗素子ＭＲ１〜ＭＲ３と、これらに対してほぼ直
角方向に延びる磁気抵抗素子ＭＲ４とを有し、磁気抵抗
素子ＭＲ１，ＭＲ２の接続端からの出力信号に基づいて
２つの部材が原点位置であることを検出し、磁気抵抗素
子ＭＲ３，ＭＲ４の接続端からの出力信号に基づいて２
つの部材が被検出領域内であることを検出し、これらの
検出信号に基づいて２つの部材が所定の被検出位置とな
ったことを検出する。
精度で検出する。 【解決手段】 磁石が設けられた第１の部材と、磁石の
磁力に感応する複数の磁気抵抗素子を有し第１の部材に
対して相対的に移動する第２の部材とが所定の被検出位
置となったことを検出する。相互に平行に延びる３つの
磁気抵抗素子ＭＲ１〜ＭＲ３と、これらに対してほぼ直
角方向に延びる磁気抵抗素子ＭＲ４とを有し、磁気抵抗
素子ＭＲ１，ＭＲ２の接続端からの出力信号に基づいて
２つの部材が原点位置であることを検出し、磁気抵抗素
子ＭＲ３，ＭＲ４の接続端からの出力信号に基づいて２
つの部材が被検出領域内であることを検出し、これらの
検出信号に基づいて２つの部材が所定の被検出位置とな
ったことを検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は移動部材の他の部材
に対する位置を検出するための位置検出技術に関する。
に対する位置を検出するための位置検出技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】往復動部材を支持部材に往復動自在に装
着して往復動部材に配置された治具やワークを往復動す
る場合がある。この場合の往復動部材の駆動源として
は、往復動部材に連結されたピストンロッドを空気圧シ
リンダや油圧シリンダにより駆動するようにして流体圧
を利用したものがある。また、往復動部材にボールねじ
をねじ結合してボールねじを電動モータにより回転駆動
してボールねじの回転運動を往復動部材の直線運動に変
換するようにしたり、リニアモータを用いて往復動部材
を直接駆動するようにしたものなどのように電力を駆動
源として利用したものがある。
着して往復動部材に配置された治具やワークを往復動す
る場合がある。この場合の往復動部材の駆動源として
は、往復動部材に連結されたピストンロッドを空気圧シ
リンダや油圧シリンダにより駆動するようにして流体圧
を利用したものがある。また、往復動部材にボールねじ
をねじ結合してボールねじを電動モータにより回転駆動
してボールねじの回転運動を往復動部材の直線運動に変
換するようにしたり、リニアモータを用いて往復動部材
を直接駆動するようにしたものなどのように電力を駆動
源として利用したものがある。
【０００３】このような往復動部材を駆動する場合に
は、支持部材に対して基準となる絶対位置を検出し、移
動した距離をエンコーダなどによって検出することによ
り、往復動部材の支持部材に対する相対位置を検出する
ようにしている。
は、支持部材に対して基準となる絶対位置を検出し、移
動した距離をエンコーダなどによって検出することによ
り、往復動部材の支持部材に対する相対位置を検出する
ようにしている。
【０００４】往復動部材の支持部材に対する絶対位置を
高精度で検出するために、従来では、往復動部材に特定
の部位に光を照射し、その反射光を受光素子により検出
するようにした光学センサを用いた位置検出装置があ
る。
高精度で検出するために、従来では、往復動部材に特定
の部位に光を照射し、その反射光を受光素子により検出
するようにした光学センサを用いた位置検出装置があ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】絶対位置の検出のため
に光を照射するようにすると、位置検出を高精度で検出
することができるが、所定の検出精度を維持し得る温度
範囲には限度があり、所定の温度範囲を超えた環境で使
用すると、所定の検出精度を維持することができなくな
るという問題点がある。さらに、光学センサを用いた場
合には、光学センサの小型化および高密度化には限度が
あり、位置検出装置を小型化することが困難である。
に光を照射するようにすると、位置検出を高精度で検出
することができるが、所定の検出精度を維持し得る温度
範囲には限度があり、所定の温度範囲を超えた環境で使
用すると、所定の検出精度を維持することができなくな
るという問題点がある。さらに、光学センサを用いた場
合には、光学センサの小型化および高密度化には限度が
あり、位置検出装置を小型化することが困難である。
【０００６】本発明の目的は、相互に移動関係にある２
つの部材の位置を高精度で検出し得るようにすることに
ある。
つの部材の位置を高精度で検出し得るようにすることに
ある。
【０００７】本発明の他の目的は、２つの部材の位置を
検出するための位置検出装置の小型化を達成することに
ある。
検出するための位置検出装置の小型化を達成することに
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の位置検出装置
は、磁石が設けられた第１の部材と、前記磁石の磁力に
感応する複数の磁気抵抗素子を有し前記第１の部材に対
して相対的に移動する第２の部材とが所定の被検出位置
となったことを検出する位置検出装置であって、それぞ
れ一端が相互に接続され、他端が相互に電位の相違した
電源端子に接続され、相互に前記第２の部材の移動方向
に対して直角の方向に相互に平行に延びる第１と第２の
磁気抵抗素子と、一端が一方の電源端子に接続され前記
第１と第２の磁気抵抗素子に平行に延びる第３の磁気抵
抗素子と、前記第３の磁気抵抗素子に直列に接続される
とともに直角方向に沿って延び、他端が他方の電源端子
に接続される第４の磁気抵抗素子と、前記第１と第２の
磁気抵抗素子の接続端からの出力信号に基づいて、前記
２つの部材が原点位置であることを検出する原点検出手
段と、前記第３と第４の磁気抵抗素子の接続端からの出
力信号に基づいて、前記２つの部材が被検出領域内であ
ることを検出する領域検出手段と、前記原点検出手段と
前記領域検出手段との出力信号に基づいて、前記第１と
第２の部材が所定の被検出位置となったことを検出する
ようにしたことを特徴とする。
は、磁石が設けられた第１の部材と、前記磁石の磁力に
感応する複数の磁気抵抗素子を有し前記第１の部材に対
して相対的に移動する第２の部材とが所定の被検出位置
となったことを検出する位置検出装置であって、それぞ
れ一端が相互に接続され、他端が相互に電位の相違した
電源端子に接続され、相互に前記第２の部材の移動方向
に対して直角の方向に相互に平行に延びる第１と第２の
磁気抵抗素子と、一端が一方の電源端子に接続され前記
第１と第２の磁気抵抗素子に平行に延びる第３の磁気抵
抗素子と、前記第３の磁気抵抗素子に直列に接続される
とともに直角方向に沿って延び、他端が他方の電源端子
に接続される第４の磁気抵抗素子と、前記第１と第２の
磁気抵抗素子の接続端からの出力信号に基づいて、前記
２つの部材が原点位置であることを検出する原点検出手
段と、前記第３と第４の磁気抵抗素子の接続端からの出
力信号に基づいて、前記２つの部材が被検出領域内であ
ることを検出する領域検出手段と、前記原点検出手段と
前記領域検出手段との出力信号に基づいて、前記第１と
第２の部材が所定の被検出位置となったことを検出する
ようにしたことを特徴とする。
【０００９】本発明の位置検出装置は、磁石が設けられ
た第１の部材と、前記磁石の磁力に感応する複数の磁気
抵抗素子を有し前記第１の部材に対して相対的に移動す
る第２の部材とが所定の被検出位置となったことを検出
する位置検出装置であって、それぞれ一端が相互に接続
され、他端が相互に電位の相違した電源端子に接続さ
れ、相互に前記第２の部材の移動方向に対して直角の方
向に相互に平行に延びる第１と第２の磁気抵抗素子と、
それぞれ一端が相互に接続され、他端が相互に電位の相
違した電源端子に接続され、相互に前記第２の部材の移
動方向に対して直角の方向に相互に平行に延びるととも
に前記第１と第２の磁気抵抗素子に対して前記移動方向
にずれた第３と第４の磁気抵抗素子と、一端が一方の電
源端子に接続されそれぞれの前記磁気抵抗素子に平行に
延びる第５の磁気抵抗素子と、前記第５の磁気抵抗素子
に直列に接続されるとともに直角方向に沿って延び、他
端が他方の電源端子に接続される第６の磁気抵抗素子
と、前記第１と第２の磁気抵抗素子の接続端からの出力
信号に基づいて、前記２つの部材が第１の原点位置であ
ることを検出する第１の原点検出手段と、前記第３と第
４の磁気抵抗素子の接続端からの出力信号に基づいて、
前記２つの部材が第１の原点位置から離れた第２の原点
位置であることを検出する第２の原点検出手段と、前記
第５と第６の磁気抵抗素子の接続端からの出力信号に基
づいて、前記２つの部材が被検出領域内であることを検
出する領域検出手段と、前記第１と第２の原点検出手段
と前記領域検出手段との出力信号に基づいて、前記第１
と第２の部材が２つの原点位置の間の所定の被検出位置
となったことを検出するようにしたことを特徴とする。
た第１の部材と、前記磁石の磁力に感応する複数の磁気
抵抗素子を有し前記第１の部材に対して相対的に移動す
る第２の部材とが所定の被検出位置となったことを検出
する位置検出装置であって、それぞれ一端が相互に接続
され、他端が相互に電位の相違した電源端子に接続さ
れ、相互に前記第２の部材の移動方向に対して直角の方
向に相互に平行に延びる第１と第２の磁気抵抗素子と、
それぞれ一端が相互に接続され、他端が相互に電位の相
違した電源端子に接続され、相互に前記第２の部材の移
動方向に対して直角の方向に相互に平行に延びるととも
に前記第１と第２の磁気抵抗素子に対して前記移動方向
にずれた第３と第４の磁気抵抗素子と、一端が一方の電
源端子に接続されそれぞれの前記磁気抵抗素子に平行に
延びる第５の磁気抵抗素子と、前記第５の磁気抵抗素子
に直列に接続されるとともに直角方向に沿って延び、他
端が他方の電源端子に接続される第６の磁気抵抗素子
と、前記第１と第２の磁気抵抗素子の接続端からの出力
信号に基づいて、前記２つの部材が第１の原点位置であ
ることを検出する第１の原点検出手段と、前記第３と第
４の磁気抵抗素子の接続端からの出力信号に基づいて、
前記２つの部材が第１の原点位置から離れた第２の原点
位置であることを検出する第２の原点検出手段と、前記
第５と第６の磁気抵抗素子の接続端からの出力信号に基
づいて、前記２つの部材が被検出領域内であることを検
出する領域検出手段と、前記第１と第２の原点検出手段
と前記領域検出手段との出力信号に基づいて、前記第１
と第２の部材が２つの原点位置の間の所定の被検出位置
となったことを検出するようにしたことを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
に基づいて詳細に説明する。
【００１１】図１は支持部材１１とこれに直線方向に往
復動自在に装着された往復動部材１２とを有する直線往
復動装置を示す図である。第１の部材である支持部材１
１に沿って第２の部材である往復動部材１２を駆動する
ために、空気圧シリンダなどの流体圧シリンダにより駆
動されるピストンロッドを往復動部材１２に連結するよ
うにしたり、電動モータにより回転駆動されるボールね
じを往復動部材１２にねじ結合することになる。また、
この往復動装置をリニアモータとすることにより、往復
動部材１２を駆動するようにしても良い。
復動自在に装着された往復動部材１２とを有する直線往
復動装置を示す図である。第１の部材である支持部材１
１に沿って第２の部材である往復動部材１２を駆動する
ために、空気圧シリンダなどの流体圧シリンダにより駆
動されるピストンロッドを往復動部材１２に連結するよ
うにしたり、電動モータにより回転駆動されるボールね
じを往復動部材１２にねじ結合することになる。また、
この往復動装置をリニアモータとすることにより、往復
動部材１２を駆動するようにしても良い。
【００１２】往復動部材１２が支持部材１１に対して所
定の被検出位置となったことを検出するために、往復動
部材１２には磁石１３が設けられており、支持部材１１
には複数の磁気抵抗素子からなる位置検出器１４が設け
られている。ただし、磁石１３を支持部材に設け、位置
検出器１４を往復動部材１２に設けるようにしても良
い。
定の被検出位置となったことを検出するために、往復動
部材１２には磁石１３が設けられており、支持部材１１
には複数の磁気抵抗素子からなる位置検出器１４が設け
られている。ただし、磁石１３を支持部材に設け、位置
検出器１４を往復動部材１２に設けるようにしても良
い。
【００１３】図２は図１に示された磁石１３を拡大して
示す図であり、この磁石１３としては、平板状の異方性
磁石を用いたバリウムフェライトプラスチック成形磁石
が使用されており、着磁は多極着磁の要領で規定の位置
にパルス着磁することにより形成される。図２におい
て、符号Ｍは着磁部を示す。
示す図であり、この磁石１３としては、平板状の異方性
磁石を用いたバリウムフェライトプラスチック成形磁石
が使用されており、着磁は多極着磁の要領で規定の位置
にパルス着磁することにより形成される。図２におい
て、符号Ｍは着磁部を示す。
【００１４】図３は図１に示された位置検出器１４を拡
大して示す図であり、磁石１３の磁力に感応して抵抗値
が変化する４つの強磁性体製の磁気抵抗素子を有してお
り、それぞれの磁気抵抗素子はガラスやセラミックなど
からなる基板１５の上に強磁性体薄膜を蒸着することに
より形成されている。
大して示す図であり、磁石１３の磁力に感応して抵抗値
が変化する４つの強磁性体製の磁気抵抗素子を有してお
り、それぞれの磁気抵抗素子はガラスやセラミックなど
からなる基板１５の上に強磁性体薄膜を蒸着することに
より形成されている。
【００１５】位置検出器１４は、図３に示すように、往
復動部材１２の移動方向が矢印Ｐで示される方向である
とすると、この移動方向Ｐに対してほぼ直角の方向に相
互に平行に線状に延びる第１の磁気抵抗素子ＭＲ１と、
第２の磁気抵抗素子ＭＲ２とを有し、これらの素子ＭＲ
１，ＭＲ２は所定の距離Ｄだけ離れている。これらの磁
気抵抗素子ＭＲ１，ＭＲ２はそれぞれ原点検出用となっ
ており、それぞれの一端は相互にリード線により接続さ
れている。また、それぞれの素子の他端は相互に電位が
相違した電源端子に接続されている。つまり、第１の磁
気抵抗素子ＭＲ１の他端は高電位側のプラス端子＋に接
続され、第２の磁気抵抗素子ＭＲ２の他端は低電位側の
マイナス端子−に接続されている。
復動部材１２の移動方向が矢印Ｐで示される方向である
とすると、この移動方向Ｐに対してほぼ直角の方向に相
互に平行に線状に延びる第１の磁気抵抗素子ＭＲ１と、
第２の磁気抵抗素子ＭＲ２とを有し、これらの素子ＭＲ
１，ＭＲ２は所定の距離Ｄだけ離れている。これらの磁
気抵抗素子ＭＲ１，ＭＲ２はそれぞれ原点検出用となっ
ており、それぞれの一端は相互にリード線により接続さ
れている。また、それぞれの素子の他端は相互に電位が
相違した電源端子に接続されている。つまり、第１の磁
気抵抗素子ＭＲ１の他端は高電位側のプラス端子＋に接
続され、第２の磁気抵抗素子ＭＲ２の他端は低電位側の
マイナス端子−に接続されている。
【００１６】２つの磁気抵抗素子ＭＲ１，ＭＲ２の間に
は、これらの素子から離れて平行に線状に延びる第３の
磁気抵抗素子ＭＲ３が設けられており、この素子ＭＲ３
の一端はプラス端子＋に接続されている。この素子ＭＲ
３の他端に接続される第４の磁気抵抗素子ＭＲ４は、前
記３つの素子ＭＲ１〜ＭＲ３に対して直角方向、つまり
往復動部材１２の移動方向に沿って線状に延びており、
一端で素子ＭＲ３に接続された素子ＭＲ４の他端はマイ
ナス端子−に接続されている。素子ＭＲ４の長手方向中
央部分は第３の磁気抵抗素子ＭＲ３の延長上となってお
り、これらの素子ＭＲ３，ＭＲ４は、領域検出用の磁気
抵抗素子となっている。
は、これらの素子から離れて平行に線状に延びる第３の
磁気抵抗素子ＭＲ３が設けられており、この素子ＭＲ３
の一端はプラス端子＋に接続されている。この素子ＭＲ
３の他端に接続される第４の磁気抵抗素子ＭＲ４は、前
記３つの素子ＭＲ１〜ＭＲ３に対して直角方向、つまり
往復動部材１２の移動方向に沿って線状に延びており、
一端で素子ＭＲ３に接続された素子ＭＲ４の他端はマイ
ナス端子−に接続されている。素子ＭＲ４の長手方向中
央部分は第３の磁気抵抗素子ＭＲ３の延長上となってお
り、これらの素子ＭＲ３，ＭＲ４は、領域検出用の磁気
抵抗素子となっている。
【００１７】これらの４つの磁気抵抗素子はブリッジ回
路を構成しており、３つの素子ＭＲ１〜ＭＲ３が相互に
平行となり、他の１つの素子ＭＲ４がそれぞれの３つの
素子に対して直角方向に延びている。領域検出用の第３
の磁気抵抗素子ＭＲ３は、原点検出用の２つの磁気抵抗
素子ＭＲ１，ＭＲ２の中間の位置となっており、その位
置が往復動部材１２の支持部材１１に対する原点つまり
基準となる位置となっている。ただし、第３の素子ＭＲ
３が２つの素子ＭＲ１，ＭＲ２の一方側に偏っていて
も、２つの素子ＭＲ１，ＭＲ２の中間位置を原点として
検出することは可能である。
路を構成しており、３つの素子ＭＲ１〜ＭＲ３が相互に
平行となり、他の１つの素子ＭＲ４がそれぞれの３つの
素子に対して直角方向に延びている。領域検出用の第３
の磁気抵抗素子ＭＲ３は、原点検出用の２つの磁気抵抗
素子ＭＲ１，ＭＲ２の中間の位置となっており、その位
置が往復動部材１２の支持部材１１に対する原点つまり
基準となる位置となっている。ただし、第３の素子ＭＲ
３が２つの素子ＭＲ１，ＭＲ２の一方側に偏っていて
も、２つの素子ＭＲ１，ＭＲ２の中間位置を原点として
検出することは可能である。
【００１８】図３にあっては、それぞれの素子ＭＲ１〜
ＭＲ４は１本の太線により示されているが、必要とする
感度に応じて任意の太さに設定することができ、さら
に、１本の線状に素子を形成することなく、任意の本数
だけ折り返すように蛇行させるようにして素子を形成す
るようにしても良い。
ＭＲ４は１本の太線により示されているが、必要とする
感度に応じて任意の太さに設定することができ、さら
に、１本の線状に素子を形成することなく、任意の本数
だけ折り返すように蛇行させるようにして素子を形成す
るようにしても良い。
【００１９】２つの素子ＭＲ１，ＭＲ２を相互に接続す
る接続端はセンサ出力端子に接続され、２つの素子Ｍ
Ｒ３，ＭＲ４を相互に接続する接続端はセンサ出力端子
に接続されている。
る接続端はセンサ出力端子に接続され、２つの素子Ｍ
Ｒ３，ＭＲ４を相互に接続する接続端はセンサ出力端子
に接続されている。
【００２０】それぞれの素子ＭＲ１〜ＭＲ４は、図４
（Ａ）に示すように、素子に作用する磁力に応じて抵抗
が変化を示すＢ−Ｒ特性を有しており、往復動部材１２
の移動に伴って素子ＭＲ１，ＭＲ２には磁石１３の磁界
が図４（Ｂ）に示すように作用することになる。図４
（Ｂ）において素子ＭＲ１に作用する磁界は実線で示さ
れ、素子ＭＲ２に作用する磁界は破線で示されており、
両方の素子ＭＲ１，ＭＲ２に使用する磁界は、これらの
素子が移動方向に距離Ｄだけずれているので、ずれ距離
Ｄに対応した時間差をもって作用することになる。
（Ａ）に示すように、素子に作用する磁力に応じて抵抗
が変化を示すＢ−Ｒ特性を有しており、往復動部材１２
の移動に伴って素子ＭＲ１，ＭＲ２には磁石１３の磁界
が図４（Ｂ）に示すように作用することになる。図４
（Ｂ）において素子ＭＲ１に作用する磁界は実線で示さ
れ、素子ＭＲ２に作用する磁界は破線で示されており、
両方の素子ＭＲ１，ＭＲ２に使用する磁界は、これらの
素子が移動方向に距離Ｄだけずれているので、ずれ距離
Ｄに対応した時間差をもって作用することになる。
【００２１】図４（Ｃ）は、素子ＭＲ１，ＭＲ２に図４
（Ｂ）に示すような磁界が作用した場合におけるそれぞ
れの素子ＭＲ１，ＭＲ２の抵抗の変化を示しており、ず
れ距離Ｄに応じた時間差をもって抵抗が変化する。この
変化に応じてセンサ出力端子の電圧と基準電圧とをＯ
Ｐアンプにより比較すると、図４（Ｄ）において実線で
示すように、両方の素子ＭＲ１，ＭＲ２の抵抗の変化の
差に応じた電圧信号つまり原点信号Ｅを得ることができ
る。
（Ｂ）に示すような磁界が作用した場合におけるそれぞ
れの素子ＭＲ１，ＭＲ２の抵抗の変化を示しており、ず
れ距離Ｄに応じた時間差をもって抵抗が変化する。この
変化に応じてセンサ出力端子の電圧と基準電圧とをＯ
Ｐアンプにより比較すると、図４（Ｄ）において実線で
示すように、両方の素子ＭＲ１，ＭＲ２の抵抗の変化の
差に応じた電圧信号つまり原点信号Ｅを得ることができ
る。
【００２２】同様にして、素子ＭＲ３，ＭＲ４も磁界に
応じて抵抗が変化することになるが、これらの素子ＭＲ
３，ＭＲ４は相互にほぼ直角方向となっているので、セ
ンサ出力端子の電圧と基準電圧とをＯＰアンプにより
比較すると、図４（Ｄ）において破線で示すように、両
方の素子ＭＲ３，ＭＲ４の抵抗の変化の差に応じた電圧
信号つまり領域信号Ｆを得ることができる。
応じて抵抗が変化することになるが、これらの素子ＭＲ
３，ＭＲ４は相互にほぼ直角方向となっているので、セ
ンサ出力端子の電圧と基準電圧とをＯＰアンプにより
比較すると、図４（Ｄ）において破線で示すように、両
方の素子ＭＲ３，ＭＲ４の抵抗の変化の差に応じた電圧
信号つまり領域信号Ｆを得ることができる。
【００２３】領域信号Ｆの電圧をしきい値Ｊと比較し
て、図４（Ｅ）に示すように、DATA信号を得ることがで
き、これにより、検出すべき原点位置Ｓに対して往復動
部材１２が所定の被検出領域の範囲Ｋ内となっているこ
とを検出することができる。
て、図４（Ｅ）に示すように、DATA信号を得ることがで
き、これにより、検出すべき原点位置Ｓに対して往復動
部材１２が所定の被検出領域の範囲Ｋ内となっているこ
とを検出することができる。
【００２４】また、原点信号Ｅに基づいて電圧信号の極
性が変化する点の位置から原点位置Ｓに対応したCLK 信
号を得ることができ、DATA信号とCLK 信号とをフリップ
フロップ回路に送ることによって、出力信号OUT が出力
される。この出力信号OUT は、往復動部材１２が原点位
置Ｓとなったときから、所定の時間Ｔだけ出力されるこ
とになり、その状態を示すＬＥＤなどの表示部に出力信
号が送られるとともに、図１に示す駆動装置を有する種
々の装置の作動を制御するための制御装置に出力信号が
送られることになる。
性が変化する点の位置から原点位置Ｓに対応したCLK 信
号を得ることができ、DATA信号とCLK 信号とをフリップ
フロップ回路に送ることによって、出力信号OUT が出力
される。この出力信号OUT は、往復動部材１２が原点位
置Ｓとなったときから、所定の時間Ｔだけ出力されるこ
とになり、その状態を示すＬＥＤなどの表示部に出力信
号が送られるとともに、図１に示す駆動装置を有する種
々の装置の作動を制御するための制御装置に出力信号が
送られることになる。
【００２５】磁石１３から発生する副磁束の影響によっ
て往復動部材１２の移動に伴って磁石１３と位置検出器
１４とが所定の位置となる前に原点信号Ｅが出力される
ことがあるが、原点信号Ｅと領域信号Ｆとの両方の信号
を合成することによって、副磁束により発生する原点信
号の影響を排除して原点位置Ｓを正確に検出することが
できる。しかも、磁気抵抗素子を用いることによって、
光を使用した場合に比して、低温環境から高温環境まで
の広い温度範囲で所望の検出精度を得ることができる。
さらに、磁気抵抗素子と周辺回路を含めたインテリジェ
ントセンサにより位置検出装置の小型化が可能となり、
位置検出装置を有するアクチュエータなどの駆動部材を
小型化することが可能となる。
て往復動部材１２の移動に伴って磁石１３と位置検出器
１４とが所定の位置となる前に原点信号Ｅが出力される
ことがあるが、原点信号Ｅと領域信号Ｆとの両方の信号
を合成することによって、副磁束により発生する原点信
号の影響を排除して原点位置Ｓを正確に検出することが
できる。しかも、磁気抵抗素子を用いることによって、
光を使用した場合に比して、低温環境から高温環境まで
の広い温度範囲で所望の検出精度を得ることができる。
さらに、磁気抵抗素子と周辺回路を含めたインテリジェ
ントセンサにより位置検出装置の小型化が可能となり、
位置検出装置を有するアクチュエータなどの駆動部材を
小型化することが可能となる。
【００２６】図５はそれぞれの素子ＭＲ１〜ＭＲ４から
の信号を処理して位置検出を行う制御回路を示す図であ
り、直流電源１６のプラス側端子は位置検出器１４のプ
ラス端子＋に接続され、電源１６のマイナス側端子はマ
イナス端子−に接続されている。
の信号を処理して位置検出を行う制御回路を示す図であ
り、直流電源１６のプラス側端子は位置検出器１４のプ
ラス端子＋に接続され、電源１６のマイナス側端子はマ
イナス端子−に接続されている。
【００２７】センサ出力端子はＯＰアンプＡＭＰ１ａ
の入力端子に接続されており、このアンプＡＭＰ１ａか
らは図４（Ｄ）に示す原点信号Ｅが出力される。このア
ンプＡＭＰ１ａからの出力信号をＯＰアンプＡＭＰ１ｂ
に入力することにより極性が変化する点の位置を求める
ことができ、ＡＭＰ１ｂからは原点位置Ｓに対応したCL
K 信号が出力される。
の入力端子に接続されており、このアンプＡＭＰ１ａか
らは図４（Ｄ）に示す原点信号Ｅが出力される。このア
ンプＡＭＰ１ａからの出力信号をＯＰアンプＡＭＰ１ｂ
に入力することにより極性が変化する点の位置を求める
ことができ、ＡＭＰ１ｂからは原点位置Ｓに対応したCL
K 信号が出力される。
【００２８】一方、センサ出力端子はＯＰアンプＡＭ
Ｐ２ａの入力端子に接続されており、このアンプＡＭＰ
２ａからは図４（Ｄ）に示す領域信号が出力される。こ
のアンプＡＭＰ２ａからの出力信号をＯＰアンプＡＭＰ
２ｂに入力することにより、しきい値Ｊを超える領域を
求めることができ、ＡＭＰ２ｂからは原点位置Ｓを中心
として往復動部材１２が所定の領域の範囲Ｋ内となって
いることを示すDATA信号が出力される。
Ｐ２ａの入力端子に接続されており、このアンプＡＭＰ
２ａからは図４（Ｄ）に示す領域信号が出力される。こ
のアンプＡＭＰ２ａからの出力信号をＯＰアンプＡＭＰ
２ｂに入力することにより、しきい値Ｊを超える領域を
求めることができ、ＡＭＰ２ｂからは原点位置Ｓを中心
として往復動部材１２が所定の領域の範囲Ｋ内となって
いることを示すDATA信号が出力される。
【００２９】両方のアンプＡＭＰ１ｂ、ＡＭＰ２ｂの出
力信号をフリップフロップ回路D-FFに入力することによ
り、図４（Ｅ）に示す出力信号OUT が出力される。この
出力信号OUT をＬＥＤ点灯用のトランジスタ１７に出力
すると、ＬＥＤ１８が所定の時間だけ点灯し、これと同
時に制御用のトランジスタ１９からは制御装置に対して
出力信号OUTPUTが出力される。
力信号をフリップフロップ回路D-FFに入力することによ
り、図４（Ｅ）に示す出力信号OUT が出力される。この
出力信号OUT をＬＥＤ点灯用のトランジスタ１７に出力
すると、ＬＥＤ１８が所定の時間だけ点灯し、これと同
時に制御用のトランジスタ１９からは制御装置に対して
出力信号OUTPUTが出力される。
【００３０】図１に示す場合には、支持部材１１の１個
所に磁石を設けて、往復動部材１２の支持部材１１に対
する検出する位置を１個所としているが、複数個所の位
置を検出することも可能である。
所に磁石を設けて、往復動部材１２の支持部材１１に対
する検出する位置を１個所としているが、複数個所の位
置を検出することも可能である。
【００３１】図６はこのように複数個所の位置を検出す
るようにした場合における直線往復動装置を示す図であ
り、支持部材１１には１〜４で示すように、４個所に着
磁部を形成してその部分を磁石としている。この場合に
は、たとえば、往復動部材が図６において左側から右側
に移動するときに、往復動部材がそれぞれの位置となっ
たことを検出することができる。これにより、移動開始
点１から加速開始点２までは往復動部材を加速移動さ
せ、その点を通過した時には一定速度で移動させ、減速
開始点３から終点４までは減速移動させるように往復動
部材の移動速度を制御することができる。
るようにした場合における直線往復動装置を示す図であ
り、支持部材１１には１〜４で示すように、４個所に着
磁部を形成してその部分を磁石としている。この場合に
は、たとえば、往復動部材が図６において左側から右側
に移動するときに、往復動部材がそれぞれの位置となっ
たことを検出することができる。これにより、移動開始
点１から加速開始点２までは往復動部材を加速移動さ
せ、その点を通過した時には一定速度で移動させ、減速
開始点３から終点４までは減速移動させるように往復動
部材の移動速度を制御することができる。
【００３２】図７は本発明の他の実施の形態である位置
検出装置を示す図であり、この場合には往復動部材１２
が支持部材１１に対して所定の区間の中に存在している
か否かを検出するようにしている。
検出装置を示す図であり、この場合には往復動部材１２
が支持部材１１に対して所定の区間の中に存在している
か否かを検出するようにしている。
【００３３】図示する位置検出器１４は、往復動部材１
２の移動方向Ｐに対してほぼ直角の方向に相互に平行に
線状に延びる第１の磁気抵抗素子ＭＲ１と、第２の磁気
抵抗素子ＭＲ２とを有し、これらの素子ＭＲ１，ＭＲ２
は所定の距離Ｄ1 だけ離れ、それぞれの一端が相互に接
続されている。さらに、第２の磁気抵抗素子ＭＲ２の移
動方向Ｐの両側には第３の磁気抵抗素子ＭＲ３と第４の
磁気抵抗素子ＭＲ４とが相互に平行に線状に延びてお
り、これらは距離Ｄ2 だけ離れて相互に一端が接続され
ている。
２の移動方向Ｐに対してほぼ直角の方向に相互に平行に
線状に延びる第１の磁気抵抗素子ＭＲ１と、第２の磁気
抵抗素子ＭＲ２とを有し、これらの素子ＭＲ１，ＭＲ２
は所定の距離Ｄ1 だけ離れ、それぞれの一端が相互に接
続されている。さらに、第２の磁気抵抗素子ＭＲ２の移
動方向Ｐの両側には第３の磁気抵抗素子ＭＲ３と第４の
磁気抵抗素子ＭＲ４とが相互に平行に線状に延びてお
り、これらは距離Ｄ2 だけ離れて相互に一端が接続され
ている。
【００３４】第１と第２の磁気抵抗素子ＭＲ１，ＭＲ２
は対となり、第３と第４の磁気抵抗素子ＭＲ３，ＭＲ４
は対となってそれぞれ原点検出用の素子を形成してお
り、素子ＭＲ１，ＭＲ３の他端はプラス端子＋に接続さ
れ、素子ＭＲ２，ＭＲ４の他端はマイナス端子−に接続
されている。
は対となり、第３と第４の磁気抵抗素子ＭＲ３，ＭＲ４
は対となってそれぞれ原点検出用の素子を形成してお
り、素子ＭＲ１，ＭＲ３の他端はプラス端子＋に接続さ
れ、素子ＭＲ２，ＭＲ４の他端はマイナス端子−に接続
されている。
【００３５】２つの磁気抵抗素子ＭＲ３，ＭＲ２の間に
は、これらの素子から離れて平行に線状に延びる第５の
磁気抵抗素子ＭＲ５が設けられており、この素子ＭＲ５
の一端はプラス端子＋に接続されている。この素子ＭＲ
５の他端に接続される第６の磁気抵抗素子ＭＲ６は、他
の素子ＭＲ１〜ＭＲ５に対して直角方向に沿って線状に
延びており、他端はマイナス端子−に接続されている。
素子ＭＲ６の長手方向中央部分は第５の磁気抵抗素子Ｍ
Ｒ５の延長上となっており、これらの素子ＭＲ５，ＭＲ
６は、領域検出用の磁気抵抗素子となっている。
は、これらの素子から離れて平行に線状に延びる第５の
磁気抵抗素子ＭＲ５が設けられており、この素子ＭＲ５
の一端はプラス端子＋に接続されている。この素子ＭＲ
５の他端に接続される第６の磁気抵抗素子ＭＲ６は、他
の素子ＭＲ１〜ＭＲ５に対して直角方向に沿って線状に
延びており、他端はマイナス端子−に接続されている。
素子ＭＲ６の長手方向中央部分は第５の磁気抵抗素子Ｍ
Ｒ５の延長上となっており、これらの素子ＭＲ５，ＭＲ
６は、領域検出用の磁気抵抗素子となっている。
【００３６】図８（Ａ）は図７に示した位置検出器１４
におけるＢ−Ｒ特性を示し、図８（Ｂは素子ＭＲ１，Ｍ
Ｒ２に作用する磁界を示し、図８（Ｃ）はそれぞれの素
子ＭＲ１，ＭＲ２の抵抗の変化を示しており、それぞれ
図４（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）と同様である。
におけるＢ−Ｒ特性を示し、図８（Ｂは素子ＭＲ１，Ｍ
Ｒ２に作用する磁界を示し、図８（Ｃ）はそれぞれの素
子ＭＲ１，ＭＲ２の抵抗の変化を示しており、それぞれ
図４（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）と同様である。
【００３７】図８（Ｄ）に示すように、素子ＭＲ１，Ｍ
Ｒ２の抵抗の変化の差に応じた原点信号Ｅ1 を得ること
ができ、他の２つの素子ＭＲ３，ＭＲ４の抵抗の変化の
差に応じて原点信号Ｅ2 を得ることができる。
Ｒ２の抵抗の変化の差に応じた原点信号Ｅ1 を得ること
ができ、他の２つの素子ＭＲ３，ＭＲ４の抵抗の変化の
差に応じて原点信号Ｅ2 を得ることができる。
【００３８】ＯＰアンプにより原点信号Ｅ1 の極性が変
化する点を求めると、それは第１の原点位置Ｓ1 に対応
し、そのＯＰアンプからの反転出力信号は、図８（Ｅ）
においてOUT1で示されている。ＯＰアンプにより原点信
号Ｅ1 の極性が変化する点は第２の原点位置Ｓ2 に対応
し、そのＯＰアンプからの出力信号は、図８（Ｅ）にお
いてOUT2で示されている。
化する点を求めると、それは第１の原点位置Ｓ1 に対応
し、そのＯＰアンプからの反転出力信号は、図８（Ｅ）
においてOUT1で示されている。ＯＰアンプにより原点信
号Ｅ1 の極性が変化する点は第２の原点位置Ｓ2 に対応
し、そのＯＰアンプからの出力信号は、図８（Ｅ）にお
いてOUT2で示されている。
【００３９】図４に示す場合と同様に、第５と第６の磁
気抵抗素子ＭＲ５，ＭＲ６は相互にほぼ直角方向となっ
ているので、センサ出力端の電圧と基準電圧とを比較
とする、両方の素子ＭＲ５，ＭＲ６の抵抗の変化の差に
応じた領域信号Ｆが得られることになる。この領域信号
Ｆの電圧をしきい値Ｊと比較することにより、図８
（Ｅ）に示すように、出力信号OUT3が得られる。
気抵抗素子ＭＲ５，ＭＲ６は相互にほぼ直角方向となっ
ているので、センサ出力端の電圧と基準電圧とを比較
とする、両方の素子ＭＲ５，ＭＲ６の抵抗の変化の差に
応じた領域信号Ｆが得られることになる。この領域信号
Ｆの電圧をしきい値Ｊと比較することにより、図８
（Ｅ）に示すように、出力信号OUT3が得られる。
【００４０】これらのOUT1〜OUT3の信号に基づいて、OU
T1が反転出力信号を出力してLOW となり、OUT2およびOU
T3が出力信号を出力してHIGHとなったときに、往復動部
材１２が支持部材１１に対して２つの原点位置の間の区
間Ｌの中に位置していることを検出することができる。
T1が反転出力信号を出力してLOW となり、OUT2およびOU
T3が出力信号を出力してHIGHとなったときに、往復動部
材１２が支持部材１１に対して２つの原点位置の間の区
間Ｌの中に位置していることを検出することができる。
【００４１】図９はそれぞれの素子ＭＲ１〜ＭＲ６から
の信号を処理して位置検出を行う制御回路を示す図であ
り、直流電源１６のプラス側端子は位置検出器１４のプ
ラス端子＋に接続され、電源１６のマイナス側端子はマ
イナス端子−に接続されている。
の信号を処理して位置検出を行う制御回路を示す図であ
り、直流電源１６のプラス側端子は位置検出器１４のプ
ラス端子＋に接続され、電源１６のマイナス側端子はマ
イナス端子−に接続されている。
【００４２】センサ出力端子はＯＰアンプＡＭＰ１ａ
の入力端子に接続されており、このアンプＡＭＰ１ａか
らは図８（Ｄ）に示す原点信号Ｅ1 が出力される。この
アンプＡＭＰ１ａからの出力信号をＯＰアンプＡＭＰ１
ｂに入力することにより極性が変化する点の位置を求め
ることができ、ＡＭＰ１ｂからは原点位置Ｓ1 に対応し
た反転出力信号OUT1が出力される。
の入力端子に接続されており、このアンプＡＭＰ１ａか
らは図８（Ｄ）に示す原点信号Ｅ1 が出力される。この
アンプＡＭＰ１ａからの出力信号をＯＰアンプＡＭＰ１
ｂに入力することにより極性が変化する点の位置を求め
ることができ、ＡＭＰ１ｂからは原点位置Ｓ1 に対応し
た反転出力信号OUT1が出力される。
【００４３】センサ出力端子はＯＰアンプＡＭＰ２ａ
の入力端子に接続されており、このアンプＡＭＰ２ａか
らは図８（Ｄ）に示す原点信号Ｅ2 が出力される。この
アンプＡＭＰ２ａからの出力信号をＯＰアンプＡＭＰ２
ｂに入力することにより極性が変化する点の位置を求め
ることができ、ＡＭＰ１ｂからは原点位置Ｓ2 に対応し
た出力信号OUT2が出力される。
の入力端子に接続されており、このアンプＡＭＰ２ａか
らは図８（Ｄ）に示す原点信号Ｅ2 が出力される。この
アンプＡＭＰ２ａからの出力信号をＯＰアンプＡＭＰ２
ｂに入力することにより極性が変化する点の位置を求め
ることができ、ＡＭＰ１ｂからは原点位置Ｓ2 に対応し
た出力信号OUT2が出力される。
【００４４】一方、センサ出力端子はＯＰアンプＡＭ
Ｐ３ａの入力端子に接続されており、このアンプＡＭＰ
３ａからは図４（Ｄ）に示す領域信号Ｆが出力される。
このアンプＡＭＰ３ａからの出力信号をＯＰアンプＡＭ
Ｐ３ｂに入力することにより、しきい値Ｊを超える領域
を求めることができ、ＡＭＰ３ｂからは区間Ｌを中心と
して往復動部材１２が所定の領域の範囲Ｋ内となってい
ることを示す出力信号OUT3が出力される。
Ｐ３ａの入力端子に接続されており、このアンプＡＭＰ
３ａからは図４（Ｄ）に示す領域信号Ｆが出力される。
このアンプＡＭＰ３ａからの出力信号をＯＰアンプＡＭ
Ｐ３ｂに入力することにより、しきい値Ｊを超える領域
を求めることができ、ＡＭＰ３ｂからは区間Ｌを中心と
して往復動部材１２が所定の領域の範囲Ｋ内となってい
ることを示す出力信号OUT3が出力される。
【００４５】両方のアンプＡＭＰ１ｂ、ＡＭＰ２ｂの出
力信号をフリップフロップ回路D-FFに入力することによ
り、図４（Ｅ）に示す出力信号OUT が出力される。この
出力信号OUT をＬＥＤ点灯用のトランジスタ１７に出力
すると、ＬＥＤ１８が所定の時間だけ点灯し、これと同
時に制御用のトランジスタ１９からは制御装置に対して
出力信号OUTPUTが出力される。
力信号をフリップフロップ回路D-FFに入力することによ
り、図４（Ｅ）に示す出力信号OUT が出力される。この
出力信号OUT をＬＥＤ点灯用のトランジスタ１７に出力
すると、ＬＥＤ１８が所定の時間だけ点灯し、これと同
時に制御用のトランジスタ１９からは制御装置に対して
出力信号OUTPUTが出力される。
【００４６】それぞれの出力信号OUT1〜OUT3は、ＤＴＬ
ダイオード２１〜２３を介してトランジスタ１７，１９
のベースに出力される。
ダイオード２１〜２３を介してトランジスタ１７，１９
のベースに出力される。
【００４７】本発明は前記実施の形態に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
あることはいうまでもない。
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
あることはいうまでもない。
【００４８】たとえば、図示する実施の形態にあって
は、固定側の支持部材１１に対して往復動部材１２が移
動するようにした往復動装置における往復動部材１２の
位置を検出するようにしているが、両方の部材がそれぞ
れ移動する場合においても、２つの部材の相互の位置を
検出するために本発明を適用することができる。
は、固定側の支持部材１１に対して往復動部材１２が移
動するようにした往復動装置における往復動部材１２の
位置を検出するようにしているが、両方の部材がそれぞ
れ移動する場合においても、２つの部材の相互の位置を
検出するために本発明を適用することができる。
【００４９】
【発明の効果】本発明によれば、レーザ光などの光を使
用することなく、移動部材が所定の位置となったか否か
を検出することができる。位置検出のための磁気抵抗素
子を使用したので、使用することができる温度環境を広
い範囲とすることができる。位置検出装置を小型化する
ことができる。
用することなく、移動部材が所定の位置となったか否か
を検出することができる。位置検出のための磁気抵抗素
子を使用したので、使用することができる温度環境を広
い範囲とすることができる。位置検出装置を小型化する
ことができる。
【図１】直線往復動装置を示す一部切り欠き正面図であ
る。
る。
【図２】図１に示された磁石を示す斜視図である。
【図３】図１に示された位置検出器を示す斜視図であ
る。
る。
【図４】（Ａ）は磁気抵抗素子のＢ−Ｒ特性を示す線図
であり、（Ｂ）は磁気抵抗素子に作用する磁界を示す線
図であり、（Ｃ）は磁気抵抗素子の抵抗値の変化を示す
線図であり、（Ｄ）は原点信号と領域信号を示す線図で
あり、（Ｅ）は制御回路からの出力信号を示す線図であ
る。
であり、（Ｂ）は磁気抵抗素子に作用する磁界を示す線
図であり、（Ｃ）は磁気抵抗素子の抵抗値の変化を示す
線図であり、（Ｄ）は原点信号と領域信号を示す線図で
あり、（Ｅ）は制御回路からの出力信号を示す線図であ
る。
【図５】図３に示す位置検出器からの信号を処理して位
置検出を行う制御回路である。
置検出を行う制御回路である。
【図６】本発明の他の実施の形態である位置検出装置が
設けられた直線往復動装置を示す斜視図である。
設けられた直線往復動装置を示す斜視図である。
【図７】他のタイプの位置検出器を示す斜視図である。
【図８】（Ａ）は磁気抵抗素子のＢ−Ｒ特性を示す線図
であり、（Ｂ）は磁気抵抗素子に作用する磁界を示す線
図であり、（Ｃ）は磁気抵抗素子の抵抗値の変化を示す
線図であり、（Ｄ）は原点信号と領域信号を示す線図で
あり、（Ｅ）は制御回路からの出力信号を示す線図であ
る。
であり、（Ｂ）は磁気抵抗素子に作用する磁界を示す線
図であり、（Ｃ）は磁気抵抗素子の抵抗値の変化を示す
線図であり、（Ｄ）は原点信号と領域信号を示す線図で
あり、（Ｅ）は制御回路からの出力信号を示す線図であ
る。
【図９】図７に示す位置検出器からの信号を処理して位
置検出を行う制御回路である。
置検出を行う制御回路である。
１１ 支持部材 １２ 往復動部材 １３ 磁石 １４ 位置検出器 １５ 基板 １６ 電源 １７，１９ トランジスタ １８ ＬＥＤ
Claims (2)
- 【請求項１】 磁石が設けられた第１の部材と、前記磁
石の磁力に感応する複数の磁気抵抗素子を有し前記第１
の部材に対して相対的に移動する第２の部材とが所定の
被検出位置となったことを検出する位置検出装置であっ
て、 それぞれ一端が相互に接続され、他端が相互に電位の相
違した電源端子に接続され、相互に前記第２の部材の移
動方向に対して直角の方向に相互に平行に延びる第１と
第２の磁気抵抗素子と、 一端が一方の電源端子に接続され前記第１と第２の磁気
抵抗素子に平行に延びる第３の磁気抵抗素子と、前記第
３の磁気抵抗素子に直列に接続されるとともに直角方向
に沿って延び、他端が他方の電源端子に接続される第４
の磁気抵抗素子と、 前記第１と第２の磁気抵抗素子の接続端からの出力信号
に基づいて、前記２つの部材が原点位置であることを検
出する原点検出手段と、 前記第３と第４の磁気抵抗素子の接続端からの出力信号
に基づいて、前記２つの部材が被検出領域内であること
を検出する領域検出手段と、 前記原点検出手段と前記領域検出手段との出力信号に基
づいて、前記第１と第２の部材が所定の被検出位置とな
ったことを検出するようにしたことを特徴とする位置検
出装置。 - 【請求項２】 磁石が設けられた第１の部材と、前記磁
石の磁力に感応する複数の磁気抵抗素子を有し前記第１
の部材に対して相対的に移動する第２の部材とが所定の
被検出位置となったことを検出する位置検出装置であっ
て、 それぞれ一端が相互に接続され、他端が相互に電位の相
違した電源端子に接続され、相互に前記第２の部材の移
動方向に対して直角の方向に相互に平行に延びる第１と
第２の磁気抵抗素子と、 それぞれ一端が相互に接続され、他端が相互に電位の相
違した電源端子に接続され、相互に前記第２の部材の移
動方向に対して直角の方向に相互に平行に延びるととも
に前記第１と第２の磁気抵抗素子に対して前記移動方向
にずれた第３と第４の磁気抵抗素子と、 一端が一方の電源端子に接続されそれぞれの前記磁気抵
抗素子に平行に延びる第５の磁気抵抗素子と、前記第５
の磁気抵抗素子に直列に接続されるとともに直角方向に
沿って延び、他端が他方の電源端子に接続される第６の
磁気抵抗素子と、 前記第１と第２の磁気抵抗素子の接続端からの出力信号
に基づいて、前記２つの部材が第１の原点位置であるこ
とを検出する第１の原点検出手段と、 前記第３と第４の磁気抵抗素子の接続端からの出力信号
に基づいて、前記２つの部材が第１の原点位置から離れ
た第２の原点位置であることを検出する第２の原点検出
手段と、 前記第５と第６の磁気抵抗素子の接続端からの出力信号
に基づいて、前記２つの部材が被検出領域内であること
を検出する領域検出手段と、 前記第１と第２の原点検出手段と前記領域検出手段との
出力信号に基づいて、前記第１と第２の部材が２つの原
点位置の間の所定の被検出位置となったことを検出する
ようにしたことを特徴とする位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11123317A JP2000314603A (ja) | 1999-04-30 | 1999-04-30 | 位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11123317A JP2000314603A (ja) | 1999-04-30 | 1999-04-30 | 位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000314603A true JP2000314603A (ja) | 2000-11-14 |
Family
ID=14857572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11123317A Pending JP2000314603A (ja) | 1999-04-30 | 1999-04-30 | 位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000314603A (ja) |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
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|
| A977 | Report on retrieval |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A02 | Decision of refusal |
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