JP2000317276A

JP2000317276A - 濾過装置

Info

Publication number: JP2000317276A
Application number: JP11131218A
Authority: JP
Inventors: Yosuke Yamada; 要輔山田; Mitsuhiro Ogami; 充弘大神; Akira Nakajima; 顕中嶋
Original assignee: ZENKEN KK
Current assignee: ZENKEN KK
Priority date: 1999-05-12
Filing date: 1999-05-12
Publication date: 2000-11-21

Abstract

(57)【要約】【課題】中空糸膜型の濾過装置における目詰まりを防
止する。【解決手段】ハウジングケース１１は、漏斗型の底面
１２ａにより、上側の濾過室１２と下側の付着物回収室
１３とに２分されている。中空糸膜モジュール１１４が
配置された濾過室１２には濾過液Ｗ１が供給され濾過が
行われると共に、供給された濾過液により濾過室１２内
は乱流となっており、各中空糸膜１４ａは揺れ、中空糸
膜表面に付着した付着物３０が剥離・除去される。除去
された付着物３０は、底面１２ａの下端開口を通って、
濾過液Ｗ１が静流となっている付着物回収室１３に入
る。付着物回収室１３に入った付着物３０は、濾過室１
２に戻ることはなく、一旦除去した付着物３０が、中空
糸膜モジュール１４に再付着することはない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は濾過装置に関し、濾
過液を筒状（ストロー状）の膜フィルタ（中空糸膜やセ
ラミック膜フィルタ）を用いて外圧濾過方式により濾過
する装置において、膜フィルタの外周面に付着した付着
物を濾過作業中に効果的に除去できると共に、除去した
付着物の再付着を防止するように工夫したものである。

【０００２】

【従来の技術】液体の濾過をする媒体として中空糸膜が
知られている。この中空糸膜を用いることにより、超純
水の製造、上水の除菌、溶剤や潤滑油の精製、溶剤中の
有効物質の回収、廃液・排水の処理や回収等を行うこと
ができる。

【０００３】中空糸膜を用いて濾過をする方式として
は、外圧濾過方式と内圧濾過方式とがある。この中空糸
膜を用いた濾過装置では、ハウジングケース内に多数本
の中空糸膜を配置している。

【０００４】外圧濾過方式では、筒状（ストロー状）の
中空糸膜の一端は封止しておき、他端は開放しておく
（他端を出口端面としておく）。そして濾過液を加圧し
て中空糸膜の外周面側に供給する。濾過液は中空糸膜の
外周面側から内周面側に透過し、汚濁物がフィルタリン
グされ透過液が中空糸膜の内部空間に入り、この透過液
が出口端面から出ていく。かかる外圧濾過方式では、濾
過の際には、すべての濾過液が中空糸膜を透過（外周側
から内周側に透過）していく。したがってこの濾過方式
を外圧全濾過方式とも称している。

【０００５】内圧濾過方式では、筒状（ストロー状）の
中空糸膜の一端および他端を共に開放しておく（一端を
入口端面とし他端を出口端面としておく）。そして、加
圧した濾過液を、入口端面から中空糸膜の内部空間に供
給し、出口端面から流出させる。このとき加圧されてい
る濾過液の一部が、中空糸膜の内周面側から外周面側に
透過し、透過液が中空糸膜の外周面から出ていく。汚濁
物は中空糸膜の内部空間を濾過液と共に流通していき、
中空糸膜の外周側に出ていくことはない。かかる内圧濾
過方式では、濾過の際には、濾過液の全部ではなくその
一部が中空糸膜を透過（内周側から外周側に透過）して
いく。

【０００６】ところで、外圧濾過方式を採用した場合に
は、すべての濾過液が中空糸膜を透過していくため、中
空糸膜の外周面には多量の汚濁物（付着物）が短時間で
付着してしまう。このように汚濁物が付着すると目詰ま
りが生じて濾過効率が低下してしまう。

【０００７】そこで従来では、中空糸膜を用いて外圧濾
過方式により濾過をする濾過装置において、中空糸膜の
外周面に付着した汚濁物を除去して中空糸膜を再生する
ために、濾過運転停止後に次のような再生操作をしてい
る。

【０００８】即ち、濾過運転を停止させてから、中空糸
膜の出口端面側から中空糸膜の内部空間に清澄な水や空
気を供給し、この水や空気を内周面側から外周面側に透
過させる逆洗（フラッシング）操作をして付着物を除去
したり、中空糸膜が配置されているハウジングケースの
内部空間に気泡状の空気を供給することによりハウジン
グケース内の液体を振動させ、これにより中空糸膜をゆ
らして付着物を除去したりしている。そして、除去した
付着物をハウジングケースの外に排出している。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、中空糸膜を
用いて外圧濾過方式により濾過をする濾過装置におい
て、上述した従来技術により付着物を除去するために
は、一時的に濾過運転を停止しなければならず、濾過運
転効率が悪かった。また、長時間に亘って濾過運転を行
うことができなかった。

【００１０】本発明は、上記従来技術に鑑み、中空糸膜
等の筒状の膜フィルタを用いて外圧濾過方式により濾過
をする濾過装置において、中空糸膜等の筒状の膜フィル
タの外周面に付着した付着物を濾過運転中に除去するこ
とができると共に、除去した付着物が膜フィルタの外周
面に再付着することを防止することのできる濾過装置を
提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の構成は、ハウジングケースの内部空間に複数本の筒
状の膜フィルタが上下方向に伸びる状態で配置されてお
り、しかも各膜フィルタの下端面は封止されると共に上
端面は開放された出口端面となっており、前記ハウジン
グケースの内部空間に濾過液が供給される濾過装置にお
いて、前記膜フィルタをハウジングケースで囲ってなる
濾過室に濾過液を供給すると共に、この濾過室の下方に
配置された付着物回収室と濾過室の底部とを連通したこ
とを特徴とする。

【００１２】また本発明は、ハウジングケースの内部空
間に複数本の筒状の膜フィルタが上下方向に伸びる状態
で配置されており、しかも各膜フィルタの下端面は封止
されると共に上端面は開放された出口端面となってお
り、前記ハウジングケースの内部空間に濾過液が供給さ
れる濾過装置において、前記膜フィルタをハウジングケ
ースで囲ってなる濾過室に濾過液を供給すると共に、濾
過室の底面は下方に向かうに従い狭められるような傾斜
面で形成されており、この濾過室の下方に配置された付
着物回収室と濾過室の底部とを連通したことを特徴とす
る。

【００１３】また本発明は、前記濾過室に供給される濾
過液は、濾過室内の膜フィルタに向かって流れるように
供給されるか、または、濾過室の内周縁に沿う方向に回
流するように供給されていることを特徴とする。

【００１４】また本発明の構成は、前記濾過室と前記付
着物回収室とは、一体のハウジングケースにより囲まれ
て形成されており、このハウジングケース内の空間を、
濾過室の底面により上下に２分することにより、濾過室
と付着物回収室とが形成されていることを特徴とする。

【００１５】また本発明の構成は、前記濾過室に対して
前記付着物回収室は細く形成されていることを特徴とす
る。

【００１６】また本発明の構成は、前記濾過室と前記付
着物回収室とは、中空の連結部材により連結されている
ことを特徴とする。

【００１７】また本発明の構成は、前記濾過室に供給さ
れる濾過液に空気を連続的に又は間欠的に混入するミキ
サーを備えていることを特徴とする。

【００１８】また本発明の構成は、筒状の前記膜フィル
タは、中空糸膜またはセラミック膜フィルタであること
を特徴とする。

【００１９】また本発明の構成は、前記濾過室に気体を
供給する気体供給手段と、前記付着物回収室の底部に連
結されており前記気体供給手段により空気が供給されて
から開状態となって付着物を付着物回収室の外部に排出
する付着物排出手段とが備えられていることを特徴とす
る。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
に基づき詳細に説明する。

【００２１】＜第１の実施の形態＞本発明の第１の実施
の形態にかかる濾過装置を図１を参照しつつ説明する。
なお図１では、配管系は簡略化して直線で描いている。

【００２２】図１に示すように、本実施の形態にかかる
濾過装置１０では、円筒形となっている一体のハウジン
グケース１１の内部空間に、濾過室１２と付着物回収室
１３とが形成されている。つまり、濾過室１２の底面１
２ａにより、ハウジングケース１１の内部空間を上下に
２分することにより、上側空間が濾過室１２となり、下
側空間が付着物回収室１３となっている。なお、ハウジ
ングケース１１は上下端面が閉塞されている。

【００２３】濾過室１２の底面１２ａは、下方に向かう
に従い開口面積が狭められるような円錐形状面（傾斜
面）となっており、下端面は開口している。即ち、底面
１２ａは漏斗型の形状となっており、濾過室１２と付着
物回収室１３とを分離する隔壁としての機能を有してい
る。そして底面１２ａの下端開口を介して、濾過室１２
と付着物回収室１３とが連通している。

【００２４】濾過室１２内には中空糸膜モジュール１４
が配置されている。この中空糸膜モジュール１４は、複
数本（数百本〜数千本）の中空糸膜１４ａを束にしたも
のであり、各中空糸膜１４ａが上下方向に伸びる状態で
配置されている。各中空糸膜１４ａは、その下端面が封
止されており、その上端面は開放された出口端面となっ
ている。

【００２５】ハウジングケース１１のうち濾過室１２を
形成する部分には、液供給口１５，気液排出口１６及び
気体供給口１７が接続されている。また、ハウジングケ
ース１１のうち付着物回収室１３を形成する部分の底部
には、ドレン排出口１８が接続されている。

【００２６】一方、貯留槽２０には濾過液Ｗ１が貯溜さ
れており、貯溜槽２０と、濾過装置１０の液供給口１５
とは、配管Ｌ１により接続されている。この配管Ｌ１に
は、濾過液Ｗ１を供給するためのポンプＰと、濾過液Ｗ
１に空気を混入するためのミキサーＭと、バルブＶ１が
介装されている。

【００２７】気液排出口１６と貯溜槽２０とは、気液配
管Ｌ２により接続されており、この気液配管Ｌ２にはバ
ルブＶ２が介装されている。気体供給口１７には、気体
配管Ｌ３が接続されており、この気体配管Ｌ３にはバル
ブＶ３が介装されている。ドレン排出口１８にはドレン
配管Ｌ４が接続されており、このドレン配管Ｌ４にはバ
ルブＶ４が介装されている。中空糸膜モジュール１４
（中空糸膜１４ａ）の出口端面には、配管Ｌ５が接続さ
れている。

【００２８】上記構成となっている第１の実施の形態に
かかる濾過装置１０では、濾過運転をするときには、バ
ルブＶ１，Ｖ２を開状態とすると共に、バルブＶ３，Ｖ
４を閉状態として、ポンプＰ及びミキサーＭを駆動す
る。

【００２９】そうすると、貯溜槽２０内の濾過液Ｗ１
が、ポンプＰにより配管Ｌ１を介して、液供給口１５か
ら濾過室１２内に供給される。また、供給される濾過液
Ｗ１には、ミキサーＭにより空気が気泡となって混入さ
れる。

【００３０】このようにして濾過液Ｗ１が供給される
と、濾過室１２及び、この濾過室１２に連通した付着物
回収室１３が濾過液Ｗ１により満たされる。この濾過液
Ｗ１はポンプＰにより加圧されているため、濾過液Ｗ１
は各中空糸膜１４ａを、外周側から内周側に透過し、汚
濁物がフィルタリングされた透過液Ｗ２が各中空糸膜１
４ａの内部空間に入る。この透過液Ｗ２は、中空糸膜モ
ジュール１４ａの出口端面から配管Ｌ５に送られ、この
配管Ｌ５を通って濾過槽（図示省略）に送られる。この
ようにして濾過作業が行われる。なお、気泡と濾過液Ｗ
１とが混じった気液は、気液配管Ｌ２を通って、貯留槽
２０に戻る。

【００３１】濾過液Ｗ１を濾過室１２に供給すると、濾
過室１２内の濾過液Ｗ１は乱流となって濾過室１２内で
渦巻く。このように濾過室１２内の濾過液Ｗ１は乱流と
なって渦巻くため、中空糸膜１４ａは連続的に常に揺れ
る。このように中空糸膜１４ａが連続的に常に揺れるた
め、中空糸膜１４ａの外周面に付着した付着物（汚濁
物）３０は、中空糸膜１４ａの外周面から剥がれ除去さ
れる。

【００３２】また、濾過液Ｗ１に混入された気泡が濾過
室１２内を浮上することによっても、濾過室１２内の濾
過液Ｗ１が振動するため、この振動によっても付着物３
０の除去が行われる。

【００３３】かくして、中空糸膜１４ａの外周面に付着
した付着物３０を、濾過運転中に除去することができ
る。このため、濾過運転時間を長くすることができ、長
時間に亘り連続濾過運転ができる。

【００３４】除去された付着物３０は、濾過液Ｗ１より
も重いので、濾過液Ｗ１が乱流となっていても比重差に
より次第に下方に沈下していく。沈下していった付着物
３０は底面（傾斜面）１２ａに沿い下方に移動し、更に
底面１２ａの下端開口から付着物回収室１３内に落下す
る。

【００３５】付着物回収室１３は、底面１２ａの下端開
口を除き、底面１２ａにより濾過室１２と仕切られてい
るため、付着物回収室１３内の濾過液Ｗ１は乱流となる
ことはなく、ほぼ静止状態となっている。このため、付
着物回収室１３内に落下した付着物３０は付着物回収室
１３の底部に堆積する。また、底面１２ａの下端開口は
狭いため、付着物回収室１３内に入った付着物３０は、
濾過室１２側に戻ることはない。

【００３６】このように、除去して付着物回収室１３に
入った付着物３０が、濾過室１２側に戻ることがないた
め、除去した付着物３０が、中空糸膜１４ａの外周面に
再付着することを防止することができる。

【００３７】濾過運転が終了したら、バルブＶ１，Ｖ２
を閉状態とすると共に、ポンプＰ及びミキサーＭの駆動
を停止する。そして、バルブＶ４を閉状態とした状態
で、バルブＶ３を開状態として、気体配管Ｌ３を介して
濾過室１２内に気体（空気やＳＯ₄）を供給（圧送）す
る。こうすると、供給された気体の圧力により付着物回
収室１３内の濾過液Ｗ１の圧力も高くなる。そして、気
体の圧送開始から１〜２秒後に、バルブＶ４を開放する
と、付着物回収室１３の底部に堆積した付着物３０は、
ドレン排出口１８及びドレン配管Ｌ４を通って強制的に
外部に排出される。

【００３８】このように強制排出するため、付着物３０
が付着物回収室１３の底部で堆積・固化していても確実
に付着物３０を外部に排出できると共に、付着物３０に
よりドレン配管Ｌ４を詰まらせることもない。また、付
着物３０を短時間で外部に排出することができ、この結
果、付着物３０と共に外部に排出される濾過液Ｗ１の量
を極力抑えることができる。

【００３９】付着物３０を外部に排出したら、バルブＶ
３，Ｖ４を閉状態とする。なお、気体供給口１７，気体
配管Ｌ３及びバルブＶ３により、気体供給手段が構成さ
れており、ドレン排出口１８，ドレン配管Ｌ４及びバル
ブＶ４により付着物排出手段が構成されている。

【００４０】なお、逆洗用の空気を中空糸膜１４ａの出
口端面から供給できるように構成しておき、この逆洗用
の空気供給機構を、上述した気体供給手段（気体供給口
１７，気体配管Ｌ３及びバルブＶ３）の代りに用いても
良い。

【００４１】また、横断面である図２（ａ）に示すよう
に、液供給口１５を径方向に配置して、濾過液Ｗ１を中
空糸膜モジュール１４に向けて流したり、図２（ｂ）に
示すように、液供給口１５を径方向に対して斜めに配置
して、濾過液Ｗ１をハウジングケース１１の内周縁に沿
う方向に回流させるようにしてもよい。

【００４２】図２（ｂ）のようにした場合には、濾過室
１２内の濾過液Ｗ１は、竜巻き状に渦巻き回流するた
め、より強く各中空糸膜１４ａを揺らすことができ、付
着物３０を強力に除去することができる。除去された付
着物３０は、比重差により下方に沈下していく。つま
り、比重差を利用したサイクロン効果により、下方に沈
下していく。

【００４３】また、液供給口１５の先端を絞ってノズル
形状として、濾過室１２内に濾過液Ｗ１を強く噴出する
ようにしてもよい。このようにすることにより、濾過室
１２内での濾過液Ｗ１の乱流や回流が強くなり、更に強
力に付着物３０の除去ができる。

【００４４】なお、第１の実施の形態では、ミキサーＭ
を採用して空気を混入するようにしたが、空気を混入し
ない構成としてもよい。この場合には、気液排出口１６
及び気液配管Ｌ２も不要になる。

【００４５】また、付着物３０を強制排出しない構成と
してもよい。この場合には、気体供給手段（気体供給口
１７，気体配管Ｌ３及びバルブＶ３）及び付着物排出手
段（ドレン排出口１８，ドレン配管Ｌ４及びバルブＶ
４）は不要になる。強制排出しない場合には、付着物回
収室１３の底面にバルブを接続しておき、付着物排出時
にこのバルブを開として、付着物３０を濾過液Ｗ１と共
に自然排出するようにする。

【００４６】＜第１の実施の形態の変形例＞図３は、第
１の実施の形態の変形例を示している。この例では、中
空糸膜モジュール１４の中央部分、つまり、多数本の束
となった中空糸膜１４ａの束の中央部分に、ノズル４０
を配置している。このノズル４０は図示しない支持体に
よりハウジングケース１１に支持されており、ノズル４
０の周面には、多数の供給孔４１が形成されている。他
の部分の構成は、図１に示す第１の実施の形態と同様で
ある。

【００４７】ノズル４０内に、貯留槽２０内の濾過液Ｗ
１が供給されると、ノズル４０の供給口４１から濾過液
Ｗ１が、濾過室１２内に供給（ないし噴出）され、濾過
室１２内の濾過液Ｗ１が乱流となり、中空糸膜１４ａは
連続的に常に揺れる。このように中空糸膜１４ａが連続
的に常に揺れるため、中空糸膜１４ａの外周面に付着し
た付着物（汚濁物）３０は、中空糸膜１４ａの外周面か
ら剥がれ除去される。

【００４８】また、ノズル４０の供給孔４１を系方向に
対して斜めに形成して、濾過液１２を周方向に供給する
ことにより、濾過室１２内の濾過液Ｗ１を回流させるこ
ともできる。

【００４９】更に、配管Ｌ１を、付着物回収室１３の底
部を貫通させると共に、濾過室１２の底面１２ａの下端
開口を通してノズル４０に接続するように構成してもよ
い。

【００５０】＜第２の実施の形態＞図４は本発明の第２
の実施の形態にかかる濾過装置１０Ａを示す。この濾過
装置１０Ａでは、濾過室１２Ａに対して付着物回収室１
３Ａが細く形成されている。そして、上側の濾過室１２
Ａと下側の付着物回収室１３Ａとは、下方に向かうに従
い開口面積が狭められている傾斜面１２ｂにより連通し
ている。他の部分の構成は第１の実施の形態と同様であ
る。

【００５１】この第２の実施の形態では、付着物回収室
１３Ａが細長い筒状となっておりその開口面積が狭いた
め、濾過室１２Ａ内の濾過液Ｗ１が乱流となっていて
も、この付着物回収室１３Ａ内（特に付着物回収室１３
Ａの底面部分）の濾過液Ｗ１はほぼ静止状態となってい
る。このため、付着物回収室１３Ａの底面に堆積した付
着物３０が、濾過室１２Ａ側に戻ることはなく、付着物
３０が中空糸膜１４ａに再付着することはない。

【００５２】なお、傾斜面１２ｂを用いずに、濾過室１
２Ａの底面と、付着物回収室１３Ａとを直接連通しても
良い。つまり、傾斜面１２ｂの部分を傾斜させずに、こ
の面を水平面とした構成としても良い。

【００５３】＜第３の実施の形態＞なお、濾過室と付着
物回収室とを別個のハウジングケースにより形成し、濾
過室の下方に付着物回収室を配置し、濾過室の底部と付
着物回収室とをチューブ等の中空の連結部材により連結
する構成とすることもできる。

【００５４】なお、上記各実施の形態では、中空糸膜を
束にした中空糸膜モジュールを採用しているが、中空糸
膜を直線状に並べた（縄暖簾状に形成した）中空糸膜モ
ジュールを用いることもできる。更に、中空糸膜の代わ
りに、セラミックを筒状( ストロー状）に形成したセラ
ミック膜フィルタを用いることもできる。

【００５５】

【発明の効果】以上実施の形態と共に具体的に説明した
ように、本発明では、膜フィルタを備えた濾過室に濾過
液を供給することにより、濾過室内に乱流を生じさせて
膜フィルタを連続的に揺らすことにより、膜フィルタの
表面に付着した付着物を、濾過運転中に剥がし除去する
ことができる。そして、濾過室の下方に連通・配置した
付着物回収室に、除去した付着物が落下していき濾過室
に戻ることがないように構成したため、除去した付着物
が膜フィルタに再付着することを防止することができ
る。かくして、付着物による膜フィルタの目詰まりを防
止して、長時間に亘り連続濾過運転を行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態にかかる濾過装置を
示す構成図。

【図２】濾過装置のハウジングケースの部分を示す横断
面図。

【図３】本発明の第１の実施の形態の変形例を示す構成
図。

【図４】本発明の第２の実施の形態にかかる濾過装置を
示す構成図。

【符号の説明】

１０，１０Ａ濾過装置１１ハウジングケース１２，１２Ａ濾過室１２ａ底面１２ｂ傾斜面１３，１３Ａ付着物回収室１４中空糸膜モジュール１４ａ中空糸膜１５液供給口１６気液排出口１７気体供給口１８ドレン排出口２０貯溜槽３０付着物４０ノズル４１供給口ＰポンプＭミキサーＶ１〜Ｖ４バルブＷ１濾過液Ｗ２透過液

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者中嶋顕千葉県船橋市二和東六丁目32番地の５株式会社全研内Ｆターム(参考） 4D006 GA02 HA03 HA19 JA13A JA25A JA31A JA33A JA34A JA63A KA43 KC03 KC14 MA01 MC03 PA04 PB06 PB08 PB14 PB24 PC02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ハウジングケースの内部空間に複数本の
筒状の膜フィルタが上下方向に伸びる状態で配置されて
おり、しかも各膜フィルタの下端面は封止されると共に
上端面は開放された出口端面となっており、前記ハウジ
ングケースの内部空間に濾過液が供給される濾過装置に
おいて、前記膜フィルタをハウジングケースで囲ってなる濾過室
に濾過液を供給すると共に、この濾過室の下方に配置さ
れた付着物回収室と濾過室の底部とを連通したことを特
徴とする濾過装置。
【請求項２】ハウジングケースの内部空間に複数本の
筒状の膜フィルタが上下方向に伸びる状態で配置されて
おり、しかも各膜フィルタの下端面は封止されると共に
上端面は開放された出口端面となっており、前記ハウジ
ングケースの内部空間に濾過液が供給される濾過装置に
おいて、前記膜フィルタをハウジングケースで囲ってなる濾過室
に濾過液を供給すると共に、濾過室の底面は下方に向か
うに従い狭められるような傾斜面で形成されており、こ
の濾過室の下方に配置された付着物回収室と濾過室の底
部とを連通したことを特徴とする濾過装置。
【請求項３】前記濾過室に供給される濾過液は、濾過
室内の膜フィルタに向かって流れるように供給される
か、または、濾過室の内周縁に沿う方向に回流するよう
に供給されていることを特徴とする濾過装置。
【請求項４】前記濾過室と前記付着物回収室とは、一
体のハウジングケースにより囲まれて形成されており、
このハウジングケース内の空間を、濾過室の底面により
上下に２分することにより、濾過室と付着物回収室とが
形成されていることを特徴とする請求項１または請求項
２または請求項３の濾過装置。
【請求項５】前記濾過室に対して前記付着物回収室は
細く形成されていることを特徴とする請求項１または請
求項２または請求項３または請求項４の濾過装置。
【請求項６】前記濾過室と前記付着物回収室とは、中
空の連結部材により連結されていることを特徴とする請
求項１または請求項２または請求項３の濾過装置。
【請求項７】前記濾過室に供給される濾過液に空気を
連続的に又は間欠的に混入するミキサーを備えているこ
とを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３
または請求項４または請求項５または請求項６の濾過装
置。
【請求項８】筒状の前記膜フィルタは、中空糸膜また
はセラミック膜フィルタであることを特徴とする請求項
１または請求項２または請求項３または請求項４または
請求項５または請求項６または請求項７の濾過装置。
【請求項９】前記濾過室に気体を供給する気体供給手
段と、前記付着物回収室の底部に連結されており前記気
体供給手段により空気が供給されてから開状態となって
付着物を付着物回収室の外部に排出する付着物排出手段
とが備えられていることを特徴とする請求項１または請
求項２または請求項３または請求項４または請求項５ま
たは請求項６または請求項７または請求項８の濾過装
置。