JP2000317820A - 研磨方法および研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 限られたスペースの中で同時に多量のワーク
の研磨加工を高精度で行い得るようにする。 【解決手段】 下定盤１１は固定され、中定盤１２と上
定盤１３は下定盤１１に向けて上下動自在となってお
り、中定盤１２のみが回転自在となっている。下定盤１
１の上面には研磨具１４が設けられ、中定盤１２には上
面と下面とにそれぞれ研磨具１５，１６が設けられ、上
定盤１３の下面には研磨具１７が設けられている。下定
盤１１の研磨具１４と中定盤１２の上には、ワークＷを
収容する収容孔１９が設けられたキャリア１８が複数個
配置される。上下に２段となって配置されるキャリア１
８はそれぞれ太陽歯車３１，６５と内歯歯車と噛み合っ
て自転しながら公転移動する。ワークＷを研磨加工する
際には、それぞれ静止状態の下定盤１１と上定盤１３と
の間の中定盤１２が回転される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は磁気ディスク用基板
やシリコンウエハなどのワークを研磨加工するための研
磨技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】複数枚の磁気ディスク用基板の両面を同
時に研磨加工するための研磨装置としては、上面に下側
砥石が設けられた下定盤と、下面に上側砥石が下側砥石
に対向するようにして設けられた上定盤とを有するもの
がある。ワークである磁気ディスク用基板は、下側砥石
に配置されるキャリアに保持されるようになっており、
キャリアは下定盤の回転中心軸と同心状の太陽歯車軸に
設けられた太陽歯車と、下定盤の外側に設けられた内歯
歯車とに噛み合っている。

【０００３】太陽歯車を回転させると、ワークを保持し
たキャリアは太陽歯車の周りに自転しながら公転し、上
定盤と下定盤とを回転させることによって、ワークは上
側砥石と下側砥石とに接触しながら滑り移動して両面が
同時に研磨加工される。このようなタイプの研磨装置と
しては、たとえば、特開平3-149179号公報に示されるよ
うなものがある。

【０００４】キャリアを自転と公転との複合回転させる
ために、太陽歯車を回転駆動して内歯歯車を固定させる
ようにしたり、太陽歯車と内歯歯車の両方を回転させる
ようにしており、これらの歯車を相対回転させることに
よってキャリアの複合回転が行われている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】磁気ディスク用基板の
製造工程としては、アルミニウムやガラスからなる基板
を所定のディスク形状に形成した後に、砥石を用いてワ
ークである基板の表面を削り取る研削工程、ワークの表
面仕上げ状態を改善するために行うラッピング工程、ワ
ークの表面に高精度の表面を形成するためのポリッシン
グ工程があり、ラッピングやポリッシングを行うには、
前述した研磨装置における砥石に代えて研磨布、バフな
どが研磨具として使用される。また、ラッピングやポリ
ッシングにおいても、研磨具の種類や研磨液を変えてそ
れぞれ複数段階の処理が行われている。

【０００６】したがって、研削処理、ラッピング処理お
よびポリッシング処理を順次行うために、磁気ディスク
用基板の製造ラインには、基本的構造が同一である研磨
装置を複数台配置しなければならない。しかも、このよ
うな磁気ディスク用基板は量産品であることから、同種
の処理を行う研磨装置を製造ラインに複数台設置しなけ
ればならず、限られた設置スペースの中でいかにして多
数枚のワークを同時に研磨加工し得るようにするかがこ
の分野における重要な解決課題であった。

【０００７】さらに、同時に複数枚のワークを加工する
場合には、同時に加工されるそれぞれのワークの加工精
度のバラ付きを少なくするとともに、加工誤差を少なく
して加工精度を高めることが重要な解決課題である。

【０００８】下定盤や上定盤を回転させる場合には、そ
れぞれの定盤表面の平坦度などのように定盤を製造する
際における形状の誤差と、回転時に回転中心軸の傾斜な
どによって発生する回転誤差との両方がワークの研磨加
工精度に大きく影響することが考えられる。

【０００９】しかしながら、たとえば、下定盤などの定
盤を回転させることなく固定式とすると、前述したよう
に定盤を回転させる場合に比して、定盤の回転中心軸の
傾斜や偏心に起因した加工精度の低下を防止できること
が判明した。つまり、定盤を回転させないようにする
と、回転しない固定式の定盤の表面が基準面となって、
研磨面をワークに沿って回転させるための回転機構の回
転中心軸が傾斜しても、その回転誤差を研磨加工誤差に
影響を与えないようすることができることが判明した。

【００１０】本発明の目的は、限られたスペースの中で
同時に多量のワークの研磨加工を行い得るようにするこ
とにある。

【００１１】本発明の他の目的は、ワークの研磨加工精
度を向上することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の研磨方法は、上
面に研磨面を有する下定盤の上に配置されたキャリアの
収容孔と、上面と下面に研磨面を有し前記下定盤から上
方に退避した状態の中定盤の上に配置されたキャリアの
収容孔とにワークを装填するワーク装填工程と、前記下
定盤に向けて前記中定盤を下降移動させて前記下定盤の
上に装填されたワークに前記中定盤の下面の研磨面を接
触させ、下面に研磨面を有する上定盤を前記中定盤に向
けて下降移動させて前記中定盤の上に装填されたワーク
に前記上定盤の下面の研磨面を接触させる研磨具接触工
程と、前記中定盤の上下両側に配置された前記キャリア
に噛み合う太陽歯車と内歯歯車とを相対回転させるとと
もに、少なくとも前記中定盤を回転させることにより、
前記複数のワークの両面を同時に研磨加工する研磨工程
とを有することを特徴とする。また、本発明の研磨方法
は、前記研磨工程において前記下定盤と前記上定盤の回
転を停止させて前記中定盤を回転させることを特徴とす
る。

【００１３】本発明の研磨装置は、ワークを収容する収
容孔が形成されたキャリアを支持する研磨面を上面に有
する下定盤と、前記下定盤の上側に上下動自在に設けら
れ、下面に研磨面が設けられた上定盤と、前記キャリア
を支持する研磨面を上面に有するとともに下面に下定盤
と対向する研磨面を有し、前記下定盤および前記上定盤
の間で回転自在かつ上下動自在に配置された中定盤と、
前記下定盤の上に配置される下側のキャリアと中定盤の
上に配置される上側のキャリアとに噛み合う内歯歯車
と、前記下側のキャリアに噛み合う下側太陽歯車および
前記上側のキャリアに噛み合う上側太陽歯車と、前記内
歯歯車と前記下側太陽歯車および上側太陽歯車とを相対
回転させるキャリア回転手段と、少なくとも前記中定盤
を回転させる定盤回転手段とを有し、前記中定盤の上下
両側に配置された前記キャリアにそれぞれ収容されたワ
ークの両面を同時に研磨加工するようにしたことを特徴
とする。また、本発明の研磨装置は、前記定盤回転手段
により、前記下定盤と前記上定盤とを回転させることな
く、前記中定盤のみを回転するようにしたことを特徴と
する。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００１５】図１は本発明の一実施の形態である研磨装
置の下側の部分を示す断面図であり、図２は研磨装置の
上側の部分を示す断面図であり、図３は図１および図２
に示された３つの定盤を示す分解斜視図であり、図４〜
図６はこの研磨装置の作動状態を示すスケルトン図であ
る。

【００１６】図３に示すように、この研磨装置は下定盤
１１と中定盤１２と上定盤１３の３つの定盤を有してお
り、下定盤１１の上面には研磨具１４が設けられ、中定
盤１２の上面と下面とにはそれぞれ研磨具１５，１６が
設けられ、上定盤１３の下面には研磨具１７が設けられ
ている。それぞれの研磨具１４〜１７は、アルミニウム
やガラスなどにより外周が円形に形成された磁気ディス
ク用基板をワークＷとしてこれを研削加工する場合には
砥石が使用され、それぞれ定盤１１〜１３に対して取り
外し自在となっている。また、ワークをラッピング加工
やポリッシング加工する場合には、バフなどの研磨具を
それぞれの定盤１１〜１３に取り付けるようにしたり、
それぞれの鋼材製の定盤１１〜１３の平坦に仕上げられ
た表面に所定の深さの格子状の溝を形成することによっ
て、定盤１１〜１３の表面を研磨面としても良い。

【００１７】下定盤１１の研磨具１４の上には複数のワ
ークキャリアつまりキャリア１８が支持されるようにな
っており、それぞれのキャリア１８はワークＷの厚みよ
りも薄い部材が使用されており、外周面に歯車が形成さ
れ、複数の収容孔１９が形成されている。中定盤１２の
研磨具１５の上にも、同様のキャリア１８が同様の枚数
支持されるようになっている。図１および図２にあって
は、ワークＷおよびキャリア１８は省略されており、図
３にあっては、ワークＷおよびキャリア１８の厚みは誇
張して示されている。

【００１８】それぞれの研磨具１４，１５の上に配置さ
れるキャリア１８の数は、図３に示す場合には５つとな
っているが、たとえば、７個あるいは１０個程度などの
任意の数のキャリア１８を配置することができる。ま
た、それぞれのキャリア１８に形成される収容孔１９の
数も任意の数とすることができる。

【００１９】中定盤１２には、図示しない複数の研磨液
供給孔が形成され、それぞれの研磨液供給孔から研磨具
１５，１６の表面に研磨液が吐出されるようになってい
る。ただし、これに合わせて、定盤の外部に設けられた
ノズルからも研磨液を供給するようにしても良く、下定
盤１１と上定盤１３に研磨液供給孔を形成するようにし
ても良い。

【００２０】図１に示すように、研磨装置は支持板２１
に固定された支持ボックス２２を有し、この支持ボック
ス２２には支持筒体２３が固定され、この支持筒体２３
に取り付けられた固定ブロック２４には固定台座２５が
取り付けられている。この固定台座２５の上には下定盤
１１が固定され、この下定盤１１の中心部に貫通孔が形
成されている。

【００２１】支持筒体２３の内部にはスペーサを介して
支持スリーブ２６が固定されており、この支持スリーブ
２６の内部には上下の軸受２７を介して円筒形状の中空
駆動シャフト２８が回転自在に装着されている。この中
空駆動シャフト２８の上端には下定盤１１の研磨具１４
の上に配置されるキャリア１８と噛み合う太陽歯車３１
が取り付けられている。この中空駆動シャフト２８を回
転駆動するために、中空駆動シャフト２８の下端にはウ
オーム歯車３２が固定され、このウオーム歯車３２には
図４に示すように太陽歯車駆動モータＭ１により回転駆
動されるウオームが噛み合うようになっている。

【００２２】中空駆動シャフト２８の内部には上下の軸
受３３を介して駆動シャフト３４が回転自在に装着さ
れ、この駆動シャフト３４の上端にはスプラインやセレ
ーションなどからなる噛み合い部３５が設けられてお
り、この噛み合い部３５を介して駆動シャフト３４は中
定盤１２に連結されるようになっている。この駆動シャ
フト３４を回転駆動するために、駆動シャフト３４の下
端にはウオーム歯車３６が固定され、このウオーム歯車
３６には図４に示すように中定盤駆動モータＭ２により
回転駆動されるウオームが噛み合うようになっている。

【００２３】支持筒体２３には板状の支持部材３７が固
定され、この支持部材３７に軸受３８を介して回転自在
に駆動筒体３９が装着されている。この駆動筒体３９に
は下定盤１１の上に配置されたキャリア１８に噛み合う
内歯歯車４１と、中定盤１２の上に配置されたキャリア
１８に噛み合う内歯歯車４２とが設けられており、それ
ぞれの内歯歯車４１，４２の内径は下定盤１１の外径よ
りも大きく設定されている。

【００２４】駆動筒体３９には歯車４０が設けられてお
り、この歯車４０には図４に示すように内歯歯車駆動モ
ータＭ３により回転駆動される歯車が噛み合っている。
これにより、それぞれの内歯歯車４１，４２はモータＭ
３により回転駆動されるようになっている。なお、両方
の内歯歯車４１，４２を一体に形成するようにしても良
い。

【００２５】図１に示した支持板２１の上方には、支柱
を介して図２に示す支持板４３が設けられ、この支持板
４３に固定された複数の案内筒体４４にはそれぞれ上下
方向に移動自在に上下動ロッド４５が設けられている。
それぞれの上下動ロッド４５の下端には第１の連結プレ
ート４６が固定されており、上定盤１３に複数本の連結
ロッド４７により連結された第２の連結プレート４８
は、第１の連結プレート４６に対してユニバーサルジョ
イント４９を介して連結されている。

【００２６】このユニバーサルジョイント４９は第１の
連結プレート４６に固定される内側筒体５１と、第２の
連結プレート４８に固定される外側筒体５２と、これら
の筒体５１，５２の間に配置される中間筒体５３とを有
している。内側筒体５１と中間筒体５３は水平方向とな
った２本の連結ピン５４によりこれを中心に揺動自在に
連結され、中間筒体５３と外側筒体５２は連結ピン５４
に対して直角方向を向くとともに水平方向となった２本
の連結ピン５５によりこれを中心に揺動自在に連結され
ている。図２においては、作図の便宜上、相互に直角方
向を向いた連結ピン５４，５５を１本ずつ同一面に示し
ている。

【００２７】上定盤１３を下定盤１１の上方において上
下方向に駆動するために、支持板４３に取り付けられた
支持台５６には空気圧シリンダ５７が固定され、この空
気圧シリンダ５７のピストンロッド５８は、上下動ロッ
ド４５の上端に取り付けられた上下動プレート５９に固
定されている。この空気圧シリンダ５７によって、上定
盤１３は回転運動することなく、上下方向に往復動する
ことになるとともに、上定盤１３によりワークＷに対し
て加えられる押し付け力を調整することができる。この
押し付け力は、鋼板製の上定盤１３の定盤荷重を最大値
として空気圧シリンダ５７により上定盤１３を引き上げ
る力を調整することによって、任意の値に設定すること
ができる。また、空気圧シリンダ５７によって定盤荷重
による押し付け力に加えてさらに押し付け力を増加させ
るようにしても良い。

【００２８】支持板４３に取り付けられた軸受ボックス
６１には回転体６２が回転自在に取り付けられ、この回
転体６２には軸方向に摺動自在にスプラインシャフト６
３が噛み合っている。このスプラインシャフト６３の下
端に固定された駆動筒体６４には、中定盤１２の上に配
置されたキャリア１８と噛み合う太陽歯車６５が設けら
れている。

【００２９】駆動筒体６４の内部には軸受６６を介して
回転筒体６７が回転自在に装着され、回転筒体６７には
中定盤１２が取り付けられている。この回転筒体６７の
内周面には、図１に示された噛み合い部３５と噛み合う
スプラインやセレーションなどからなる噛み合い部６８
が形成されている。したがって、スプラインシャフト６
３を下降移動させると、回転筒体６７の噛み合い部６８
は駆動シャフト３４の噛み合い部３５と噛み合って、駆
動シャフト３４によって中定盤１２を回転駆動すること
ができる。

【００３０】スプラインシャフト６３を回転駆動して太
陽歯車６５を駆動するために、回転体６２にプーリ７１
が取り付けられ、支持板４３には太陽歯車駆動モータＭ
４が取り付けられ、このモータＭ４のシャフトに取り付
けられたプーリ７２とプーリ７１とにはタイミングベル
ト７３が掛け渡されている。したがって、このモータＭ
４によりタイミングベルト７３を介して回転体６２を回
転させると、スプラインシャフト６３を介して太陽歯車
６５は回転駆動される。なお、タイミングベルト７３に
代えてローラチェーンを使用するようにしても良く、そ
の場合にはプーリ７１，７２に代えてスプロケットホイ
ールが使用される。

【００３１】スプラインシャフト６３を上下動するため
に、スプラインシャフト６３の上端には軸受７４を介し
て連結ソケット７５が取り付けられ、支持板４３に固定
された支持台７６には図４に示す空気圧シリンダ７７が
取り付けられている。支持台７６にピン７８により揺動
自在に取り付けられた揺動レバー７９の一端は空気圧シ
リンダ７７のピストンロッド８０に連結され、他端は連
結ソケット７５に固定されたピン８１に連結されてい
る。

【００３２】したがって、空気圧シリンダ７７によって
スプラインシャフト６３を介して中定盤１２は上下動さ
れることになるとともに、中定盤１２によりワークＷに
対して加えられる押し付け力を調整することができる。
この押し付け力は、鋼板製の中定盤１２を引き上げる力
を調整することによって、任意の値に設定することがで
き、空気圧シリンダ７７によって中定盤１２の荷重以上
の押し付け力を加えることもできる。なお、それぞれの
空気圧シリンダ５７、７７に代えて、それぞれ油圧シリ
ンダや電動モータを用いて上定盤１３や中定盤１２を上
下動させるようにしても良い。

【００３３】次に、この研磨装置によりワークＷの両面
を同時に研磨加工する手順について説明する。

【００３４】図４は空気圧シリンダ５７によって複数の
上下動ロッド４５を介して上定盤１３が上昇限位置とな
り、空気圧シリンダ７７によってスプラインシャフト６
３を介して中定盤１２が下定盤１１と上定盤１３の中間
位置となった状態を示す。

【００３５】このように、３つの定盤１１〜１３が相互
に所定の隙間を介して離れた状態のもとで、それぞれの
キャリア１８に形成された収容孔１９の中に磁気ディス
ク基板であるワークＷが装填される。このワーク装填工
程は、上段側と下段側のキャリア１８のいずれを先に行
っても良くほぼ同時に行っても良い。

【００３６】次いで、空気圧シリンダ５７によって上定
盤１３を所定のストロークだけ下降させると、図５に示
すように、上定盤１３の下面に設けられた研磨具１７の
研磨面が中定盤１２の上のワークＷに接触することにな
る。引き続いて、両方の空気圧シリンダ５７、７７によ
って上定盤１３と中定盤１２とを下降移動させると、図
６に示すように、中定盤１２の下面の研磨具１６の研磨
面が下定盤１１の上のワークＷに接触することになる。

【００３７】このように図５〜図６に示す接触工程によ
って、上下２段となって中定盤１２の両側に配置された
ワークＷには、その両面から研磨具１４〜１７が接触す
ることになる。

【００３８】ただし、図４に示すワーク装填工程から研
磨具接触工程に移る際には、空気圧シリンダ７７により
中定盤１２をその下側の研磨具１６が下定盤１１の上に
ワークＷに接触するまで下降移動させた後に、空気圧シ
リンダ５７により上定盤１３をその下面の研磨具１７が
中定盤１２の上のワークＷに接触するまで下降移動させ
るようにしても良い。

【００３９】図６に示す研磨具接触工程が完了した状態
のもとで、モータＭ１〜Ｍ４を駆動させると、それぞれ
のキャリア１８は太陽歯車３１，６５と内歯歯車４１，
４２に駆動されて自転しながら太陽歯車３１，６５の周
りを公転する。さらに、中定盤１２はそれぞれの静止状
態となった下定盤１１と上定盤１３との間で回転駆動さ
れることになり、ワークＷはキャリア１８に保持されて
両面が研磨具に接触しながら、サイクロイド曲線ないし
トロコイド曲線を描いて水平方向に移動することにな
る。このときには、研磨液供給孔からワークＷの両面に
研磨液が塗布される。

【００４０】中定盤１２の上側のキャリアにより保持さ
れて研磨加工されるワークと、下側のキャリアにより保
持されて研磨加工されるワークとを同一の研磨速度で研
磨加工する場合には、図７の速度線図で示すようにして
加工することになる。

【００４１】この場合には、図７に示すように、太陽歯
車３１，６５と内歯歯車４１、４２はそれぞれ同一の方
向に同一の回転速度（Ｎrpm)つまり回転数により回転
し、中定盤１２は同一の方向に太陽歯車などの２倍の回
転速度（２Ｎrpm)により回転する。下定盤１１と上定盤
１３は回転しないので、中定盤１２の回転速度を太陽歯
車などの回転速度の２倍に設定すると、上下両側のワー
クＷの上下両面の研磨具に対する公転速度を同一とする
ことができる。

【００４２】ただし、上下両側のワークＷの両面を相違
した公転速度で研磨具に接触させる場合には、回転方向
や回転速度を前述した条件と相違させるようにしても良
く、下定盤１１と上定盤１３の一方を回転させるように
しても良い。

【００４３】研磨加工が終了した後には、図６に示す状
態から図５に示す状態を経て図４に示す状態として、加
工済みのワークＷを外部に搬出することになり、次い
で、新たな未処理のワークＷがそれぞれの研磨具１４，
１５の上に装填される。このように、中定盤の両側に２
段に配置されるキャリア１８にそれぞれワークを装填す
ることによって、中定盤１２を用いることなく、１段に
キャリア１８を配置して研磨加工を行う場合に比して２
倍の加工能率でワークを研磨加工することができる。

【００４４】たとえば、それぞれ５つのワークＷを収容
するキャリア１８を１０枚ずつ上下２段に配置して加工
すれば、同時に１００枚のワークＷの両面を加工するこ
とができる。したがって、限られた装置の設置スペース
の中で効率的にワークの研磨加工を行うことができる。

【００４５】下定盤１１を回転させる場合には、その回
転中心軸の傾斜が避けられず、下定盤１１の回転に起因
してワークの加工精度のばら付きが発生することがある
が、この研磨装置の下定盤１１は支持ボックス２２を介
して支持板２１に固定されて回転運動しないので、下定
盤１１の回転に起因した加工誤差の発生を防止すること
ができる。中定盤１２は回転駆動されることになるが、
その回転時に中定盤１２の回転中心軸が傾斜しても、中
定盤１２はワークＷを介して下定盤１１に接触すること
から、下定盤１１の表面を基準面として中定盤１２は傾
斜移動することなく、下定盤１１の表面に追従して、回
転しない下定盤１１の水平度を保ちながら回転すること
になる。これにより、全てのワークＷを加工誤差を少な
くして均一に研磨加工することができる。

【００４６】この研磨装置にあっては、研磨具１４〜１
７として砥石を用いれば、研磨加工の一種である研削加
工を行うことができ、バフなどの研磨具を用いたり、そ
れぞれの定盤に格子状の溝からなる研磨具を形成すれ
ば、ラッピング加工やポリッシング加工を同一の研磨装
置で行うことができる。また、砥粒やバフの種類を代え
ることにより、研磨量が相違した複数種類のラッピング
加工やポリッシング加工を同一の研磨装置によって行う
ことができる。さらに、上側のワークと下側のワークと
で研磨液を相違させれば、上下で相違した研磨条件でワ
ークを加工することができる。

【００４７】本発明は前記実施の形態に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
あることはいうまでもない。

【００４８】たとえば、図示する実施の形態である研磨
装置においては、上定盤１３を下定盤に向けて上下動さ
せるようにしているが、上定盤１３は下定盤１１に対し
て相対的に上下動すれば良く、上定盤１３を上下動させ
ることなく、下定盤１１を上下動させるようにしても良
い。また、下定盤１１と上定盤１３とを加工時に静止さ
せるようにしているが、下定盤１１のみを静止させ上定
盤１３を回転させるようにしても良く、その場合には上
段側のワークと下段側のワークとでは相違した研磨加工
条件で加工されることになる。

【００４９】

【発明の効果】本発明にあっては、ワークを収容するキ
ャリアが中定盤の上下両側に配置されるので、同時に多
数枚のワークを研磨加工することができ、研磨作業能率
が大幅に向上することになる。また、中定盤の両側にワ
ークを配置して同時に研磨加工を行うようにしたので、
研磨装置の設置面積を大きくすることなく、能率的に研
磨加工することができる。下定盤や上定盤を回転させる
ことなく、少なくとも中定盤を回転させるようにしたの
で、静止状態の定盤の表面を基準面としてそれに沿って
ワークを公転移動させるようにしたので、回転軸の振れ
などに起因した加工精度の低下を防止することができ、
高精度でワークを研磨加工することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態である研磨装置の下側の
部分を示す断面図である。

【図２】研磨装置の上側の部分を示す断面図である。

【図３】図１および図２に示された３つの定盤を示す分
解斜視図である。

【図４】研磨装置の作動状態を示すスケルトン図であ
る。

【図５】研磨装置の作動状態を示すスケルトン図であ
る。

【図６】研磨装置の作動状態を示すスケルトン図であ
る。

【図７】研磨装置を構成する中定盤などの部材の回転速
度を示す速度線図である。

【符号の説明】

１１ 下定盤 １２ 中定盤 １３ 上定盤 １４〜１７ 研磨具 １８ キャリア １９ 収容孔 ２２ 支持ボックス ２３ 支持筒体 ２４ 固定ブロック ２５ 固定台座 ２６ 支持スリーブ ２８ 中空駆動シャフト ３１ 太陽歯車 ３４ 駆動シャフト ３５ 噛み合い部 ３９ 駆動筒体 ４１，４２ 内歯歯車 ４５ 上下動ロッド ４９ ユニバーサルジョイント ５７ 空気圧シリンダ ５８ ピストンロッド ６３ スプラインシャフト Ｍ１ 太陽歯車駆動モータ Ｍ２ 中定盤駆動モータ Ｍ３ 内歯歯車駆動モータ Ｍ４ 太陽歯車駆動モータ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上面に研磨面を有する下定盤の上に配置
   されたキャリアの収容孔と、上面と下面に研磨面を有し
   前記下定盤から上方に退避した状態の中定盤の上に配置
   されたキャリアの収容孔とにワークを装填するワーク装
   填工程と、 前記下定盤に向けて前記中定盤を下降移動させて前記下
   定盤の上に装填されたワークに前記中定盤の下面の研磨
   面を接触させ、下面に研磨面を有する上定盤を前記中定
   盤に向けて下降移動させて前記中定盤の上に装填された
   ワークに前記上定盤の下面の研磨面を接触させる研磨具
   接触工程と、 前記中定盤の上下両側に配置された前記キャリアに噛み
   合う太陽歯車と内歯歯車とを相対回転させるとともに、
   少なくとも前記中定盤を回転させることにより、前記複
   数のワークの両面を同時に研磨加工する研磨工程とを有
   することを特徴とする研磨方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載の研磨方法において、前記
   研磨工程は前記下定盤と前記上定盤の回転を停止させて
   前記中定盤を回転させることを特徴とする研磨方法。
3. 【請求項３】 ワークを収容する収容孔が形成されたキ
   ャリアを支持する研磨面を上面に有する下定盤と、 前記下定盤の上側に上下動自在に設けられ、下面に研磨
   面が設けられた上定盤と、 前記キャリアを支持する研磨面を上面に有するとともに
   下面に下定盤と対向する研磨面を有し、前記下定盤およ
   び前記上定盤の間で回転自在かつ上下動自在に配置され
   た中定盤と、 前記下定盤の上に配置される下側のキャリアと中定盤の
   上に配置される上側のキャリアとに噛み合う内歯歯車
   と、 前記下側のキャリアに噛み合う下側太陽歯車および前記
   上側のキャリアに噛み合う上側太陽歯車と、 前記内歯歯車と前記下側太陽歯車および上側太陽歯車と
   を相対回転させるキャリア回転手段と、 少なくとも前記中定盤を回転させる定盤回転手段とを有
   し、 前記中定盤の上下両側に配置された前記キャリアにそれ
   ぞれ収容されたワークの両面を同時に研磨加工するよう
   にしたことを特徴とする研磨装置。
4. 【請求項４】 請求項３記載の研磨装置において、前記
   定盤回転手段は、前記下定盤と前記上定盤とを回転させ
   ることなく、前記中定盤のみを回転するようにしたこと
   を特徴とする研磨装置。