JP2000321180A - 器機の表面汚染測定器 - Google Patents

器機の表面汚染測定器

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 被測定対象の表面凹凸に関わりなく付着した
パーティクルを確実に測定できる器機の表面汚染測定器
を提供することにある。 【解決手段】 被測定対象物の近傍からの空気を吸引す
る吸引手段と、吸引した空気中のパーティクルの量や成
分等を測定する測定部と、被測定対象物の表面へ流体を
吐出する吐出手段と、被測定対象物の表面に近接配置せ
しめられるサンプリング部材であって、当該サンプリン
グ部材の周囲に可撓性部材で構成された遮蔽部材が設け
られたので、効率よくパーティクルを捕捉する事が出来
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ表面
や液晶ガラスやチップ或いは半導体装置又はそれらの製
造用器機の表面に付着したパーティクルを捕捉して、パ
ーティクルの発生源を解析するための器機の表面汚染測
定器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、従来の器機の表面汚染測定器
は、例えば図６に示すように、吹き出しノズル５の周囲
に吸引ノズル６を配設し、被測定対象物７の表面に付着
したパーティクル８を先ず、吹き出しノズル５からのエ
アで巻き上げ、次に吸引ノズル６で捕捉するものであ
る。捕捉したパーティクル８は、図外のフィルタ上に集
めてパーティクル発生の原因を分析するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、上述のよ
うな従来の器機の表面汚染測定器では、以下の問題点を
有している。例えば、図６に示す様な形式のものでは、
吸引ノズル６に周囲から大量の空気が入り込んでしまう
ために、被測定対象物に付着したパーティクル８を効率
良く吸引する事ができなかった。また、被測定対象物７
にノズルを近接させると、吸引力は増すが半導体ウエハ
等とのギヤップの制御が困難であると云う問題があっ
た。
【０００４】更に、この種の器機の表面汚染測定器は、
特開平１０−１００１８号等に開示されている。この形
式の器機の表面汚染測定器は、前記した様に吸引ノズル
６の周囲から大量の空気が入り込んでしまい、被測定対
象物に付着したパーティクル８を効率良く吸引する事が
できない。
【０００５】本発明の目的は、上記した従来技術の欠点
を改良し、被測定対象物表面上のパーティクルを効率よ
く、しかも、隙間制御の困難さ等を必要とする事なく測
定できる器機の表面汚染測定器を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成する為、以下に示す様な基本的な技術構成を採用す
るものである。即ち、本発明に係る第１の態様として
は、被測定対象物の近傍からの空気を吸引する吸引手段
と、吸引した空気中のパーティクルの量や成分等を測定
する測定部と、被測定対象物の表面へ流体を吐出する吐
出手段と、被測定対象物の表面に近接配置せしめられる
サンプリング部材であって、当該サンプリング部材の周
囲に可撓性部材で構成された遮蔽部材が設けられたこと
を特徴とするものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の器機の表面汚染測定器
は、上記した様な従来技術における問題点を解決する為
に、被測定対象物表面からの空気を吸引する吸引手段
と、吸引した空気中のパーティクルを測定する測定部
と、被測定対象物表面へ空気を吐出する吐出手段と、被
測定対象物表面に取り付けられるサンプリング部材とを
備え、当該サンプリング部材の周囲を可撓性部材で覆っ
て外部と遮蔽したので、パーティクルを効率よく捕捉す
る事が出来る。
【０００８】
【発明の実施例】以下に、本発明に係る器機の表面汚染
測定器の具体的構成を図面を用いながら説明する。図１
は、本発明の一実施例である器機の表面汚染測定器の全
体構成を示す構成図、図２は、同器機の表面汚染測定器
のサンプリング部材を示す底面図、図３は、同器機の表
面汚染測定器のサンプリング部材を示す斜視図である。
ここで器機の表面汚染測定器１０は、被測定対象物の近
傍からの空気を吸引する吸引手段である吸引ポンプ１１
と、吸引した空気中のパーティクルの量や成分等を測定
する測定部１３と、被測定対象物の表面へ流体を吐出す
る吐出手段である吐出ポンプ１５と、被測定対象物の表
面に近接配置せしめられるサンプリング部材１６であっ
て、当該サンプリング部材１６の周囲に可撓性部材１７
で構成され、当該サンプリング部材１６の周囲を可撓性
部材１７で覆って外部と遮蔽したものである。
【０００９】器機の表面汚染測定器１０には、吸引ポン
プ１１と吐出ポンプ１５とが備えられてあり、吸引ポン
プ１１から延設された吸引チューブ２１がサンプリング
部材１６の吸引口１９に連通している。吸引口１９は、
第一の実施例では、円形のサンプリング部材１６の略中
央に開口している。吸引口１９から吸引されたパーティ
クル１２は、吸引チューブ２１を通って測定部１３に運
ばれ、ここで、フィルタ等で捕捉される。捕捉されたパ
ーティクルは、元素分析装置等に供給される。
【００１０】一方、吐出ポンプ１５に接続された吐出チ
ューブ２０は、サンプリング部材１６の吐出口１８に連
通している。吐出口１８は、図２に示すように吸引口１
９の周囲に配設されている。また、サンプリング部材１
６の被測定対象物７に対向する面には、周囲に可撓性部
材１７が連続的に配設されている。可撓性部材１７は、
柔軟性を有するラバー状の材質が高さ数ｍｍから１ｃｍ
程度に渡り外周に沿って取り付けられている。可撓性部
材１７は、本実施例では、一枚物のラバー等から構成さ
れている。
【００１１】次に、以上のように構成された器機の表面
汚染測定器の使用方法について説明する。測定手順は、
先ず被測定対象物表面１４にサンプリング部材１６を隙
間がないように接触させる。次に、被測定対象物表面に
微量空気を吐出ポンプ１５、吐出チューブ２０を介して
吐出口１８から吹き付ける。この吐出口１８からの空気
により、被測定対象物表面１４に付着したパーティクル
が舞い上がり、吸引口１９から吸引される。吸引された
パーティクルは、吸引チューブ２１を通って、測定部１
３へ運ばれる。
【００１２】この時、サンプリング部材１６の周囲は、
可撓性部材１７で覆われており、被測定対象物表面１４
とサンプリング部材１６との間の雰囲気を吸引し測定す
る事が出来る。したがって、外部からの空気を吸引しな
いので、被測定対象物表面１４のパーティクルのみを効
率よく吸引する事が出来る。また、サンプリング部材１
６の周囲が可撓性部材１７で覆われているので、吐出口
１８からの微量空気で付着したパーティクルを舞上げる
事ができる。
【００１３】次に、図４は、本発明の器機の表面汚染測
定器のサンプリング部材の他の実施例を示す斜視図であ
る。本実施例では、可撓性部材１７は、短冊状の細片１
７ａを複数重ねて膜状に形成したものである。すなわ
ち、短冊状の細片１７ａは、隣接するそれぞれが一部重
複する様に配設されている。
【００１４】この様に構成した場合、被測定対象物表面
１４とサンプリング部材１６との間の空間を外部から遮
蔽し、効率的にパーティクルを吸引する事が出来る。ま
た、可撓性部材１７が自在に変形する事により、被測定
対象物表面１４が球形や凹凸形成であってもパーティク
ルを吸引できる。
【００１５】また、サンプリング部材１６自体の形状も
被測定対象物の形状に合わせて、矩形、三角形状、扇形
等に自在に変える事ができる。
【００１６】図５は、本発明の器機の表面汚染測定器の
サンプリング部材１６の第三の実施例を示す斜視図であ
る。本実施例において、可撓性部材１７は、短冊状のラ
バー細片１７ｂをブラシ状に外周に沿って取り付けたも
のである。
【００１７】この様に構成した場合、被測定対象物表面
１４とサンプリング部材１６との間の隙間を密閉する事
が出来る。したがって、微量の空気を吹き付けるのみ
で、パーティクルを舞上げ効率よく吸引する事が出来
る。
【００１８】尚、本発明は以上の実施例に限ることなく
本発明の技術思想に基づいて種々の設計変更が可能であ
る。
【００１９】
【発明の効果】以上詳細に示したように、本発明の器機
の表面汚染測定器によれば、第１の効果は、被測定対象
物の表面が球形や凹凸であっても、サンプリング部材と
被測定対象物との間に隙間が生じる事なく、表面上のパ
ーティクルを効率的に吸引する事が出来る。また、被測
定対象物表面とサンプリング部材との隙間が密閉されて
いるので、微量の空気で付着しているパーティクルを効
果的に舞上げる事が出来る。
【００２０】更に、被測定対象物表面とサンプリング部
材との隙間が密閉されているので、舞い上がったパーテ
ィクルを逃す事なくと的確に捕捉する事が出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の一実施例である器機の表面汚
染測定器の全体構成を示す構成図である。
【図２】図２は、同器機の表面汚染測定器のサンプリン
グ部材を示す底面図である。
【図３】図３は、同器機の表面汚染測定器のサンプリン
グ部材を示す斜視図である。
【図４】図４は、同器機の表面汚染測定器のサンプリン
グ部材の他の実施例を示す斜視図である。
【図５】図５は、同器機の表面汚染測定器のサンプリン
グ部材の第三の実施例を示す斜視図である。
【図６】図６は、従来の表面汚染測定器の一例を示す説
明図である。
【符号の説明】
５ 吹き出しノズル ６ 吸引ノズル ７ 被測定対象物 ８ パーティクル １０ 器機の表面汚染測定器 １１ 吸引ポンプ １２ パーティクル １３ 測定部 １４ 被測定対象物表面 １５ 吐出ポンプ １６ サンプリング部材 １７ 可撓性部材 １８ 吐出口 １９ 吸引口 ２０ 吐出チューブ ２１ 吸引チューブ

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 被測定対象物の近傍からの空気を吸引す
    る吸引手段と、吸引した空気中のパーティクルの量や成
    分等を測定する測定部と、被測定対象物の表面へ流体を
    吐出する吐出手段と、被測定対象物の表面に近接配置せ
    しめられるサンプリング部材であって、当該サンプリン
    グ部材の周囲に可撓性部材で構成された遮蔽部材が設け
    られたことを特徴とする器機の表面汚染測定器。
  2. 【請求項２】 前記可撓性部材は、薄い膜状部材である
    ことを特徴とする請求項１記載の器機の表面汚染測定
    器。
  3. 【請求項３】 前記可撓性部材は、一枚物の合成ゴムで
    あることを特徴とする請求項１記載の器機の表面汚染測
    定器。
  4. 【請求項４】 前記可撓性部材は、短冊状に構成された
    複数のユニット部材のそれぞれが少なくともその一部が
    重複する様に連設されたものであることを特徴とする請
    求項１記載の器機の表面汚染測定器。
  5. 【請求項５】 前記可撓性部材は、ブラシ状に連設され
    ていることを特徴とする請求項１記載の器機の表面汚染
    測定器。
  6. 【請求項６】 前記遮蔽部材は、当該サンプリング部材
    の周縁近傍で一端が当該サンプリング部材本体に固定さ
    れ、他端が自由端となるように構成されていることを特
    徴とする請求項１記載の器機の表面汚染測定器。
  7. 【請求項７】 前記遮蔽部材は、前記サンプリング部材
    と被測定対象物との間に低圧力空間が形成されるように
    構成されることを特徴とする請求項１記載の器機の表面
    汚染測定器。
  8. 【請求項８】 前記サンプリング部材は、平面形状が円
    形であることを特徴とする請求項１記載の器機の表面汚
    染測定器。
  9. 【請求項９】 前記サンプリング部材は、平面形状が矩
    形であることを特徴とする請求項１記載の器機の表面汚
    染測定器。
  10. 【請求項１０】 前記サンプリング部材は、平面形状が
    三角形であることを特徴とする請求項１記載の器機の表
    面汚染測定器。
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