JP2000321545A

JP2000321545A - 液晶パネル検査装置

Info

Publication number: JP2000321545A
Application number: JP11091186A
Authority: JP
Inventors: Tomoyasu Hirasawa; 友康平澤
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1999-03-05
Filing date: 1999-03-31
Publication date: 2000-11-24

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、テーブルの周囲に異なる処理を行
なう複数のステーションを設置することにより、複数の
液晶パネルを並行して処理して液晶パネルの検査時間を
短縮することができるとともに、処理装置を各ステーシ
ョンに振分けることにより、処理装置のレイアウトを容
易にして異なる種類の検査を容易に行なうことができる
液晶パネル検査装置を提供するものである。【解決手段】間欠回転可能なテーブル１と、テーブル
１上に設けられた複数のステージ２〜５と、ステージ１
の周囲に設置された投入ステーション６、検出ステーシ
ョン７、検査ステーション８および排出ステーション９
を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネル検査装
置に関し、詳しくは、液晶パネルの無点灯時の所定の欠
陥（パネル表面の傷や液晶の注入状態等）および点灯時
の表示パターンの判定を自動的に行なう液晶パネル検査
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の液晶パネル検査装置とし
ては、例えば、特開平９−２１８１３１号公報に記載さ
れたようなものが知られている。

【０００３】このものは、未検査の液晶パネルを収納し
たカセットからこの液晶パネルを１つのステージ上にセ
ットした後（投入工程）、認識カメラで液晶パネルを撮
像する（位置合わ工程）。

【０００４】次いで、プローブと液晶パネルの電極の位
置合わせを行なってプローブをパネル電極に接触させた
後、信号発生器によってプローブに信号を与えて液晶パ
ネルを点灯し、次いで、点灯している液晶パネルをカメ
ラで撮像し、その画像を基に画像処理装置によって液晶
パネルの欠陥や点灯不良を判定する（検査工程）。この
検査の終了後に、液晶パネルを検査結果に応じて異なる
カセットに排出している（排出工程）。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の液晶パネルの検査方法にあっては、１つのス
テージによって、液晶パネルの投入、位置合わせ、検査
および排出を行なうようになっていたため、液晶パネル
をステージに出し入れする際に多大な待ち時間が発生し
てしまう上に、複数の検査を行なうために複数の処理装
置を必要とする場合には、１つのステージに複数の処理
装置をレイアウトすることが困難なのもとなってしまっ
た。

【０００６】そこで本発明は、テーブルの周囲に異なる
処理を行なう複数のステーションを設置することによ
り、複数の液晶パネルを並行して処理して液晶パネルの
検査時間を短縮することができるとともに、処理装置を
各ステーションに振分けることにより、処理装置のレイ
アウトを容易にして異なる種類の検査を容易に行なうこ
とができる液晶パネル検査装置を提供することを目的と
している。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
上記課題を解決するために、液晶パネルの無点灯時の所
定の欠陥および点灯時の表示パターンの判定を自動的に
行なう液晶パネル検査装置において、間欠回転可能なテ
ーブルと、該テーブル上に設けられた複数のステージ
と、前記ステージに前記液晶パネルに投入する投入ステ
ーションと、前記ステージに投入された液晶パネルの電
極の位置を検出する検出ステーションと、前記ステージ
に投入された液晶パネルの前記欠陥および表示パターン
の判定を行なう検査ステーションと、検査が終了した液
晶パネルを前記ステージから排出する排出ステーション
とを有し、前記投入ステーション、検出ステーション、
検査ステーションおよび排出ステーションを前記テーブ
ルの周囲に設置したことを特徴としている。

【０００８】その場合、テーブルの周囲に異なる処理を
行なう複数のステーションを設置することにより、複数
の液晶パネルを並行して処理して液晶パネルの検査時間
を短縮することができるとともに、処理装置を各ステー
ションに振分けることにより、処理装置のレイアウトを
容易にして異なる種類の検査を容易に行なうことができ
る。

【０００９】請求項２記載の発明は、上記課題を解決す
るために、請求項１記載の発明において、前記投入ステ
ーションは、未検査の液晶パネルを所定間隔離隔して積
層して収納するカセットから未検査の液晶パネルを１枚
ずつ送り出す送り出し手段と、該送り出し手段から送り
出された未検査の液晶パネルの電極と前記検査ステーシ
ョンに設置されるパネル点灯用のプローブとの方向を合
わせる電極方向調整手段と、該調整後の未検査の液晶パ
ネルを前記ステージに搬送して仮位置調整してステージ
上に仮位置決めする位置決め手段とを有することを特徴
としている。

【００１０】その場合、未検査の液晶パネルがカセット
に如何なる方向で収納された場合であっても、このカセ
ットから送り出される未検査の液晶パネルの電極の方向
を電極方向調整手段によってプローブに対して合わせる
ことができる。

【００１１】また、液晶パネルを送り出し手段によって
カセットから電極方向調整手段に向かって自動的に送り
出すことができるため、液晶パネルの検査を簡単にする
ことができるとともに検査時間を短縮することができ
る。

【００１２】また、仮位置調整手段によってステージ上
の液晶パネルの仮位置調整することができるため、ステ
ージ上の任意の位置に液晶パネルを位置決めすることが
できる。

【００１３】請求項３記載の発明は、上記課題を解決す
るために、請求項１または２記載の発明において、前記
検出ステーションは、前記ステージに載置された未検査
の液晶パネルの電極の画像を撮像する撮像手段と、該撮
像手段によって撮像された画像から液晶パネルの電極の
位置を検出する画像処理手段と、該画像処理手段によっ
て得られた位置データを保存する保存手段とを有するこ
とを特徴としている。

【００１４】その場合、液晶パネルの電極の位置を撮像
することにより、電極の精度に比べて液晶パネルの外径
精度がラフであっても、各ステージにおける液晶パネル
の位置決め精度を電極の精度に対してラフにしても液晶
パネルの電極とプローブの位置合わせを高精度に行なう
ことが可能となる。

【００１５】請求項４記載の発明は、上記課題を解決す
るために、請求項１〜３何れかに記載の発明において、
前記検査ステーションは、前記検出ステーションの保存
手段に格納されたデータに基づいて液晶パネルの電極と
プローブの位置決めを行なった後、該プローブを該電極
に接触させるプローブ移動手段と、前記プローブを通じ
て液晶パネルの電極に駆動信号を印加する信号発生手段
と、前記液晶パネルの外観および電極の点灯パターンを
撮像する撮像手段と、該撮像された画像データから液晶
パネルの無点灯時の所定の欠陥および点灯不良を判定す
る判定手段とを有することを特徴としている。

【００１６】その場合、プローブ移動手段を移動させる
ことにより液晶パネルの電極とプローブの位置決めを行
なった後、該プローブを液晶パネルの電極に接触させる
ようにしたため、電極にプローブを合わせるためにテー
ブル上でステージを移動させるのを不要にでき、ステー
ジの位置の加工精度を上げることなしにパネルの欠陥お
よび点灯不良を検査することができる上に、ステージを
移動させる機構が不要になるため、テーブルをコンパク
トにすることができる。

【００１７】請求項５記載の発明は、上記課題を解決す
るために、請求項１〜４何れかに記載の発明において、
前記排出ステーションは、前記ステージ上で検査が終了
した液晶パネルを不良品の液晶パネルを収納するカセッ
トまたは良品の液晶パネルを収納するカセットの何れか
一方に排出する排出手段を有することを特徴としてい
る。

【００１８】その場合、良品の液晶パネルと不良品の液
晶パネルを自動的に仕分けてカセットに収納することが
でき、液晶パネルをカセットに収納する手間が省ける上
に選別作業の作業時間を短縮することができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に基づいて説
明する。

【００２０】図１〜５は本発明に係る液晶パネル検査装
置の一実施形態を示す図である。

【００２１】まず、構成を説明する。図１において、１
はイクデックステーブル（テーブル）であり、このテー
ブル１は図示しない駆動モータによって間欠回転可能に
なっている。

【００２２】また、テーブル１上にはそれぞれ図示しな
い液晶パネルが載置可能な４つのステージ２〜５が設け
られており、このステージ２〜５には液晶パネルを吸引
する吸引ノズルが備えられている。また、ステージ２〜
５はテーブル１に対して交換可能になっており、ステー
ジ２〜５は液晶パネルの種類に応じて任意の形状のもの
が取付けられる。

【００２３】また、テーブル１の周囲にはステージ２〜
５に液晶パネルを投入する投入ステーション６と、ステ
ージ２〜５に投入された液晶パネルの電極の位置を検出
する検出ステーション７と、ステージ２〜５に投入され
た液晶パネルの無点灯時の欠陥（パネル表面の傷や液晶
の注入状態等）および表示パターンの判定を行なう検査
ステーション８と、検査が終了した液晶パネルをステー
ジ２〜５から排出する排出ステーション９が設けられて
おり、この各ステーション６〜９は９０゜の間隔で設置
されている。

【００２４】投入ステーション６は、図２に示すように
構成されている。図２において、10はカセットであり、
このカセット10は前後方向（矢印ａ方向）が開口すると
ともに上下方向に板部材が積層された本体を有し、この
板部材に未検査の液晶パネルを所定間隔離隔して積層す
ることにより、複数の液晶を収納可能になっている。

【００２５】また、カセット10は図示しない昇降手段に
搭載可能になっており、この昇降手段によって昇降可能
になっている。

【００２６】また、カセット10に対向して直動アクチュ
エータ（送り出し手段）11が設けられており、このアク
チュエータ11は前後方向に移動可能なロッド11ａの先端
部がカセット10内の液晶パネルを送り出すようになって
いる。また、カセット10内から液晶パネルが送り出され
ると、昇降手段によってカセット10が上昇または下降す
ることにより、次に送り出される液晶パネルがロッド11
ａに対向するようになっている。

【００２７】カセット10から送り出された液晶パネルは
回転ステージ12（電極方向調整手段）上に載置されるよ
うになっており、この回転ステージ12は所定方向に回転
することにより、液晶パネルの電極と検査ステーション
７に設けられた後述するパネル点灯用のプローブとの方
向を合わせるようになっている。

【００２８】また、回転ステージ12の近傍には図示しな
い直動アクチュエータによってＸ−Ｙ方向（Ｘ−Ｙ平
面）に駆動される当接部材（位置決め手段）13が設けら
れており、この当接部材13は回転テーブル12上で調整後
の液晶パネルをステージ２に搬送するとともにステージ
２上の液晶パネルをＸ−Ｙ方向に仮位置調整してステー
ジ２上に仮位置決めするようになっている。

【００２９】このとき、吸引ノズルを作動させて液晶パ
ネルがステージ２に吸引されて固定されるようになって
いる。

【００３０】また、検出ステーション７は図３に示すよ
うに構成されている。図３において、14はＣＣＤカメラ
（撮像手段）であり、このＣＣＤカメラ14はステージ３
に載置された（なお、本実施形態ではテーブル１が回転
するためステージ２〜５の位置は一定位置にないが、説
明の便宜上、ステージ２〜５は図１に示す位置に基づい
て説明する）液晶パネルの電極の幅方向（外径辺方向）
両端部または、電極の幅方向両端部に設けられたマーク
を撮像するようになっている。このＣＣＤカメラ14によ
って撮像された画像データはコンピュータ（画像処理手
段）15によって電極の位置と電極幅の累積誤差が演算さ
れるようになっており、この演算結果である位置データ
はコンピュータ15に内蔵されたメモリ（保存手段）に格
納されるようになっている。

【００３１】また、検査ステーション８は、図４に示す
ように構成されている。図４において、16はプローブ移
動機構（プローブ移動手段）であり、この移動機構16は
図示しない２つの直動アクチュエータに駆動されてテー
ブル１に近接・離隔する方向（矢印ｄで示す）とその方
向ｄと直交する方向（矢印ｅで示す）に移動可能な架台
17と、架台17に立設された昇降シリンダー18と、昇降シ
リンダー18に設けられ、互いに近接離隔する方向（図４
中、上下方向）に移動可能なパネル点灯用のプローブ19
および押えプレート20とから構成され、このプローブ移
動機構16は、コンピュータ15からの指令信号に基づいて
作動されるようになっている。

【００３２】また、テーブル１の下面にはバックライト
22が設けられているとともに、テーブル１を挟んで偏光
板23、24が設けられており、偏光板24の上方にはＣＣＤ
カメラ（撮像手段）25が設けられている。

【００３３】ＣＣＤカメラ25はバックライト22を点灯し
たときの液晶パネルの画像を撮像するようになってお
り、コンピュータ15はこの画像データに基づいて液晶パ
ネルの無点灯時の所定の欠陥（パネル表面の傷や液晶の
注入状態等）を判定するようになっている。

【００３４】一方、コンピュータ15は、テーブル１が回
転している最中に、コンピュータ15のメモリから転送さ
れた液晶パネルの電極の位置と電極幅の累積誤差の情報
に基づいて、プローブ移動機構16の２つの直動アクチュ
エータを駆動するようになっており、このとき、プロー
ブ19はテーブル１から離隔する方向からプローブ電極の
延在方向に沿って移動され、液晶パネルの電極幅の累積
誤差をプローブ19の両側に均等に振分けてパネルの電極
とプローブ19が確実に接触するように位置合わせするよ
うになっている。

【００３５】このとき、プローブ19およびプレート20が
テーブル４を挟んで対向するため、昇降シリンダ18によ
ってプローブ19およびプレート20を近接させることによ
り、プローブ19を液晶パネルの電極に接触させるととも
にプレート20によって液晶パネルを挟み込む。

【００３６】また、コンピュータ15にはプローブ19を通
じて電極パネルに駆動信号を印加する信号発生手段とし
てのパルス発生器が設けられており、このパルス発生器
によってプローブ19に駆動信号を印加することにより、
電極を点灯させるようになっている。

【００３７】ＣＣＤカメラ25は上述したパネルの電極の
点灯時の画像を撮像するようになっており、コンピュー
タ15はこの画像データに基づいて液晶パネルの点灯不良
を判定するようになっている。なお、本実施形態では、
コンピュータ15が判定手段を構成している。

【００３８】また、本実施形態では、プローブ19が昇降
シリンダ18の上側にプレート20が下側に配設されている
が、これは本実施形態の液晶パネルの電極が表面側にあ
ると想定したからである。したがって、液晶パネルの電
極が裏面側にある場合には、プローブ19を昇降シリンダ
18の下側にプレート20を上側に配設すれば良い。

【００３９】また、排出ステーション９は、図５に示す
ように構成されている。図５において、26は直動アクチ
ュエータであり、この直動アクチュエータ26は検査が終
了した液晶パネルをステージ５から回転ステージ27に排
出するようになっている。回転ステージ27は回転可能に
なっており、ステージ５から排出された液晶パネルを良
品収納用28または不良品収納用のカセット29に位置決め
するようになっている。

【００４０】カセット28、29は前後方向（矢印ｂ、ｃ方
向）が開口するとともに上下方向に板部材が積層された
本体を有し、この板部材に未検査の液晶パネルを所定間
隔離隔して積層することにより、複数の液晶を収納可能
になっている。また、カセット28、29は図示しない昇降
手段に搭載可能になっており、この昇降手段によって昇
降可能になっている。

【００４１】また、回転ステージ27の上方にはアクチュ
エータ21が設けられており、このアクチュエータは回転
ステージ27の回転に伴ってカセット28またはカセット29
方向に回動し、回転ステージ27によってカセット28また
はカセット29に収納可能なように位置決めされた液晶パ
ネルの搬送方向後端部に当接した後、液晶パネルをカセ
ット28またはカセット29に搬送するように駆動可能にな
っている。なお、図１、５では液晶パネルをカセット28
側に排出するときのアクチュエータ21の押し出し部の位
置を示している。なお、本実施形態では直動アクチュエ
ータ26、回転ステージ27およびアクチュエータ21が排出
手段を構成している。

【００４２】次に、液晶パネルの検査方法を説明する。

【００４３】まず、未検査の液晶パネルが収納されたカ
セット10が前工程から投入ステーション６に搬入される
と、アクチュエータ11によってカセット10内の液晶パネ
ルが回転ステージ12に送り出される。このとき、回転ス
テージ12が所定方向に回転して液晶パネルの電極と検査
ステーション７に設けられたプローブ19との方向を合わ
せる。

【００４４】次いで、直動アクチュエータによって当接
部材13が駆動され、当接部材13によって回転テーブル12
上で調整された液晶パネルをステージ２に搬送するとと
もにステージ２上の液晶パネルをＸ−Ｙ方向に仮位置調
整してステージ２上に仮位置決めした後、吸引ノズルに
よって液晶パネルがステージ２に吸引される。

【００４５】次いで、テーブル１が回動し、ステージ２
がステージ３に示す位置に移動して液晶パネルが検査ス
テーション７に移動する。また、ステージ２がステージ
３に示す位置に移動したときに、投入ステーション６の
ステージ２に上述した手順で液晶パネルが投入される。

【００４６】検出ステーション７に搬送された液晶パネ
ルは、ＣＣＤカメラ14によって液晶パネルの電極の幅方
向の両端部または、電極の幅方向両端部に設けられたマ
ークが撮像される。ＣＣＤカメラ14によって撮像された
画像データはコンピュータ15によって電極位置と電極幅
の累積誤差が演算された後、この演算結果である位置デ
ータがコンピュータ15に内蔵されたメモリに格納され
る。

【００４７】次いで、テーブル１が回転してステージ３
がステージ４に示す位置に移動して液晶パネルが検査ス
テーション８に移動する。

【００４８】このテーブル１が検査ステーション８に移
動する際に、コンピュータ15のメモリに記憶された液晶
パネルの電極の位置と電極幅の累積誤差の情報に基づい
て、プローブ移動機構16の直動アクチュエータを駆動す
るようになっており、このとき、プローブ19はテーブル
１から離隔する方向からプローブ電極の延在方向に沿っ
て移動し、液晶パネルの電極幅の累積誤差をプローブ19
の両側に均等に振分け、パネルの電極の上方にプローブ
19を位置決めする。

【００４９】次いで、バックライト22を点灯し、ＣＣＤ
カメラ25によって液晶パネルの画像を撮像する。コンピ
ュータ15はこの画像データに基づいて液晶パネルの無点
灯時の所定の欠陥（パネル表面の傷や液晶の注入状態
等）を判定する。

【００５０】次いで、昇降シリンダ18によってプローブ
19およびプレート20を近接させることにより、プローブ
19を液晶パネルの電極に接触させるとともにプレート20
によって液晶パネルを挟み込む。

【００５１】次いで、パルス発生器によってプローブ19
を通じて電極パネルに駆動信号を印加して電極を点灯さ
せ、ＣＣＤカメラ25によってパネルの電極の点灯時の画
像を撮像する。コンピュータ15はこの画像データに基づ
いて液晶パネルの点灯不良を判定する。

【００５２】この検査が終了すると、テーブル４をテー
ブル５に位置に移動させ、液晶パネルを排出ステーショ
ン９に移動させる。次いで、直動アクチュエータ26を駆
動させ、液晶パネルをステージ５から回転ステージ27に
排出する。

【００５３】また、液晶パネルが良品か不良品かがコン
ピュータ15によって判定されるため、液晶パネルを良品
収納用のカセット28または不良品収納用のカセット29に
スムーズに収納可能なように回転ステージ27を位置決し
た後、回転ステージ27の上方に設けられたアクチュエー
タ21を回転ステージ27の回転に伴ってカセット28または
カセット29方向に回動した後、アクチュエータ21を液晶
パネルの搬送方向後端部に当接させた後、液晶パネルを
カセット28またはカセット29に搬送してカセット28また
はカセット29に収納し、次いで、このカセット28または
カセット29を次工程に搬出する。

【００５４】このように本実施形態では、テーブル１の
周囲に異なる処理を行なう複数のステーション６〜９を
設置することにより、複数の液晶パネルを並行して処理
して液晶パネルの検査時間を短縮することができるとと
もに、処理装置を各ステーション６〜９に振分けること
により、処理装置のレイアウトを容易にして異なる種類
の検査を容易に行なうことができる。

【００５５】また、投入ステーション６を、未検査の液
晶パネルを所定間隔離隔して積層して収納するカセット
10から未検査の液晶パネルを１枚ずつ送り出す直動アク
チュエータ11と、直動アクチュエータ11から送り出され
た未検査の液晶パネルの電極と検査ステーション８のプ
ローブ19との方向を合わせる回転ステージ12と、調整後
の未検査の液晶パネルをステージ２に搬送して仮位置調
整してステージ２上に仮位置決めする当接部材13とから
構成したため、未検査の液晶パネルがカセット10に如何
なる方向で収納された場合であっても、このカセット10
から送り出される未検査の液晶パネルの電極の方向を回
転ステージ12によってプローブ19に対して合わせること
ができる。

【００５６】また、液晶パネルを直動アクチュエータ11
によってカセット10から回転ステージ12に向かって自動
的に送り出すことができるため、液晶パネルの検査を簡
単にすることができるとともに検査時間を短縮すること
ができる。

【００５７】また、当接部材13によってステージ２上の
液晶パネルの仮位置調整することができるため、ステー
ジ２上の任意の位置に液晶パネルを位置決めすることが
できる。

【００５８】また、検出ステーション７を、ステージ３
に載置された未検査の液晶パネルの電極の画像を撮像す
るＣＣＤカメラ14と、ＣＣＤカメラ14によって撮像され
た画像から液晶パネルの電極の位置を検出するコンピュ
ータ15と、コンピュータ15によって得られた位置データ
を保存するメモリとから構成したため、液晶パネルの電
極の位置を撮像することにより、電極の精度に比べて液
晶パネルの外径精度がラフであっても、各ステージ２〜
５における液晶パネルの位置決め精度を電極の精度に対
してラフにしても液晶パネルの電極とプローブの位置合
わせを高精度に行なうことが可能となる。

【００５９】また、検査ステーション８を、コンピュー
タ15のメモリに格納されたデータに基づいて液晶パネル
の電極とプローブ19の位置決めを行なった後、プローブ
を液晶パネルの電極に接触させるプローブ移動機構16
と、プローブ19を通じて電極パネルに駆動信号を印加す
るパルス発生器と、液晶パネルの外観および液晶パネル
の電極の点灯パターンを撮像するＣＣＤカメラ25と、撮
像された画像データから液晶パネルの無点灯時の所定の
欠陥および点灯不良を判定するコンピュータ15とから構
成したため、プローブ移動機構16をｄ方向およびｅ方向
に移動させることにより液晶パネルの電極とプローブ19
の位置決めを行なった後、プローブ19を電極に接触させ
ることができ、電極にプローブ19を合わせるためにテー
ブル１上でステージ２〜５を移動させるのを不要にでき
る。この結果、ステージ２〜５の位置の加工精度を上げ
ることなしにパネルの欠陥および点灯不良を検査するこ
とができる上に、ステージ１を移動させる機構が不要に
なるため、テーブル１をコンパクトにすることができ
る。

【００６０】さらに、排出ステーション９を、ステージ
５上で検査が終了した液晶パネルを不良品の液晶パネル
を収納するカセット29または良品の液晶パネルを収納す
るカセット28の何れか一方に搬出する回転ステージ27お
よびアクチュエータから構成したため、良品の液晶パネ
ルと不良品の液晶パネルを自動的に仕分けてカセット28
またはカセット29に収納することができ、液晶パネルを
カセット28またはカセット29に収納する手間が省ける上
に選別作業の作業時間を短縮することができる。

【００６１】なお、本実施形態では、各ステーション６
〜９毎に１つのステージ上に載置された液晶パネルを処
理しているが、これに限らず、各ステーション６〜９を
それぞれ２つ設け、各ステーションに対応するようにス
テージを８つ設けるようにしても良い。

【００６２】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、テーブル
の周囲に異なる処理を行なう複数のステーションを設置
することにより、複数の液晶パネルを並行して処理して
液晶パネルの検査時間を短縮することができるととも
に、処理装置を各ステーションに振分けることにより、
処理装置のレイアウトを容易にして異なる種類の検査を
容易に行なうことができる。

【００６３】請求項２記載の発明によれば、未検査の液
晶パネルがカセットに如何なる方向で収納された場合で
あっても、このカセットから送り出される未検査の液晶
パネルの電極の方向を電極方向調整手段によってプロー
ブに対して合わせることができる。

【００６４】また、液晶パネルを送り出し手段によって
カセットから電極方向調整手段に向かって自動的に送り
出すことができるため、液晶パネルの検査を簡単にする
ことができるとともに検査時間を短縮することができ
る。

【００６５】また、仮位置調整手段によってステージ上
の液晶パネルの仮位置調整することができるため、ステ
ージ上の任意の位置に液晶パネルを位置決めすることが
できる。

【００６６】請求項３記載の発明によれば、液晶パネル
の電極の位置を撮像することにより、電極の精度に比べ
て液晶パネルの外径精度がラフであっても、各ステージ
における液晶パネルの位置決め精度を電極の精度に対し
てラフにしても液晶パネルの電極とプローブの位置合わ
せを高精度に行なうことが可能となる。

【００６７】請求項４記載の発明によれば、プローブ移
動手段を移動させることにより液晶パネルの電極とプロ
ーブの位置決めを行なった後、該プローブを電極に接触
させるようにしたため、電極にプローブを合わせるため
にテーブル上でステージを移動させるのを不要にでき、
ステージの位置の加工精度を上げることなしにパネルの
欠陥および点灯不良を検査することができる上に、ステ
ージを移動させる機構が不要になるため、テーブルをコ
ンパクトにすることができる。

【００６８】請求項５記載の発明によれば、良品の液晶
パネルと不良品の液晶パネルを自動的に仕分けてカセッ
トに収納することができ、液晶パネルをカセットに収納
する手間が省ける上に選別作業の作業時間を短縮するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る液晶パネル検査装置の一実施形態
を示す図であり、その概略構成図である。

【図２】一実施形態の投入ステーションの概略構成図で
ある。

【図３】一実施形態の検出ステーションの概略構成図で
ある。

【図４】一実施形態の検査ステーションの概略構成図で
ある。

【図５】一実施形態の排出ステーションの概略構成図で
ある。

【符号の説明】

１イクデックステーブル（テーブル）２〜５ステージ６投入ステーション７検出ステーション８検査ステーション９排出ステーション 10 カセット 11 直動アクチュエータ（送り出し手段） 12 回転ステージ12（電極方向調整手段） 13 当接部材（位置決め手段） 14 ＣＣＤカメラ（撮像手段） 15 コンピュータ（画像処理手段、判定手段） 16 プローブ移動機構（プローブ移動手段） 19 プローブ 21 アクチュエータ（排出手段） 25 ＣＣＤカメラ（撮像手段） 26 直動アクチュエータ（排出手段） 27 回転ステージ（アクチュエータ） 28、29 カセット

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液晶パネルの無点灯時の所定の欠陥および
点灯時の表示パターンの判定を自動的に行なう液晶パネ
ル検査装置において、間欠回転可能なテーブルと、該テーブル上に設けられた複数のステージと、前記ステージに前記液晶パネルに投入する投入ステーシ
ョンと、前記ステージに投入された液晶パネルの電極の位置を検
出する検出ステーションと、前記ステージに投入された液晶パネルの前記欠陥および
表示パターンの判定を行なう検査ステーションと、検査が終了した液晶パネルを前記ステージから排出する
排出ステーションとを有し、前記投入ステーション、検出ステーション、検査ステー
ションおよび排出ステーションを前記テーブルの周囲に
設置したことを特徴とする液晶パネル検査装置。
【請求項２】前記投入ステーションは、未検査の液晶パ
ネルを所定間隔離隔して積層して収納するカセットから
未検査の液晶パネルを１枚ずつ送り出す送り出し手段
と、該送り出し手段から送り出された未検査の液晶パネルの
電極と前記検査ステーションに設置されるパネル点灯用
のプローブとの方向を合わせる電極方向調整手段と、該調整後の未検査の液晶パネルを前記ステージに搬送し
て仮位置調整してステージ上に仮位置決めする位置決め
手段とを有することを特徴とする請求項１記載の液晶パ
ネル検査装置。
【請求項３】前記検出ステーションは、前記ステージに
載置された未検査の液晶パネルの電極の画像を撮像する
撮像手段と、該撮像手段によって撮像された画像から液晶パネルの電
極の位置を検出する画像処理手段と、該画像処理手段によって得られた位置データを保存する
保存手段とを有することを特徴とする請求項１または２
記載の液晶パネル検査装置。
【請求項４】前記検査ステーションは、前記検出ステー
ションの保存手段に格納されたデータに基づいて液晶パ
ネルの電極とプローブの位置決めを行なった後、該プロ
ーブを該電極に接触させるプローブ移動手段と、前記プローブを通じて液晶パネルの電極に駆動信号を印
加する信号発生手段と、前記液晶パネルの外観および電極の点灯パターンを撮像
する撮像手段と、該撮像された画像データから液晶パネルの無点灯時の所
定の欠陥および点灯不良を判定する判定手段とを有する
ことを特徴とする請求項１〜３何れかに記載の液晶パネ
ル検査装置。
【請求項５】前記排出ステーションは、前記ステージ上
で検査が終了した液晶パネルを不良品の液晶パネルを収
納するカセットまたは良品の液晶パネルを収納するカセ
ットの何れか一方に排出する排出手段を有することを特
徴とする請求項１〜４何れかに記載の液晶パネル検査装
置。